JP2010509785A5 - - Google Patents

Description

１つの実施形態においては、コンパートメントが開放されており、且つ取外し可能である。ストッカは例えば、ロボット把持システムによってアクセス可能な棚状に構成されて配置されている、開放された取外し可能な複数のコンパートメントを有する。コンパートメントを、半径方向に移動し且つ回転するロボットを包囲するように環状に構成して配置することができるか、コンパートメントを直動のＸＹロボットに対面するように直線状にｘｙ軸に沿って配置することができる。この構成においては、３つの自由度を有するように、例えば半径方向の運動、回転運動、垂直方向の運動をするようにロボットハンドラを設計することができ、これにより速度およびスループットを改善することができる。３つの自由度を有するロボットは最小限の粒子しか生じないように良好に設置されており、したがってこの構成によりワークピースの保管に関してクリーンな環境を提供することができる。さらにストッカ保管領域は固定式であり、移動可能な複数のコンポーネントはロボットアセンブリであるので、これは保管ストッカのクリーンな環境にさらに寄与する。

１つの実施形態においては、コンパートメントが密閉されており、有利には個別に密閉されている。密閉されたコンパートメントにより、緊急アクセスに起因してその他のワークピースが汚染されることなく緊急的な取外しを行うことができる。さらには、密閉されたコンパートメントは他のコンパートメントに対して相互に密閉されているので、コンパートメント間の相互汚染を阻止する。密閉されたコンパートメントを用いることにより、障害時にはコンパートメントを取り外すためにストッカを開くことができる。密閉されたコンパートメントは有利には搬送を容易にするために取外し可能である。

Claims (30)

1. ワークピースストッカにおいて、
   複数のコンパートメントに区画化されている、複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
   前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
   前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートと、
   １つのコンパートメントが緊急アクセスポートを介して開放されたときに他のコンパートメントの汚染を阻止するために個々のコンパートメントを隔離する、前記ロボットメカニズムの障害時に作動される閉鎖メカニズムと、
   を有し、
   個々のコンパートメントへのアクセスは、該緊急アクセスポートを用いることで他のコンパートメントの汚染が生じないように実行されることを特徴とする、ワークピースストッカ。
2. 前記緊急アクセスポートは、個々のコンパートメントに対してそれぞれアクセス可能なように設けられている、請求項１記載のワークピースストッカ。
3. 前記ロボットメカニズムは前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
4. 前記ワークピースは２．５ｍｍ以下の間隔で保管されており、前記ロボットメカニズムは前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
5. 前記ロボットメカニズムの障害を検出するセンサメカニズムを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
6. 前記緊急アクセスポート用のロードロックを有する、請求項１記載のワークピースストッカ。
7. ワークピースストッカにおいて、
   複数のコンパートメントに区画化されている、複数のワークピースを保管するためのチャンバを有し、前記コンパートメントは通常時には前記チャンバにおいて密閉されており、
   前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムを有し、該ロボットメカニズムは搬送されるべきワークピースを有する個々のコンパートメントを、前記ワークピースへのアクセスが行われる前に開放し、
   前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートを有し、前記ワークピースは、緊急アクセス中に前記チャンバが外部環境にさらされているときに、前記コンパートメント内に密閉されていることにより汚染から保護されており、
   １つのコンパートメントが緊急アクセスポートを介して開放されたときに他のコンパートメントの汚染を阻止するために個々のコンパートメントを隔離する閉鎖メカニズムを有し、前記閉鎖メカニズムは前記ロボットメカニズムの障害時に作動されることを特徴とする、ワークピースストッカ。
8. 開放が必要とされる個々のコンパートメントを決定するコントローラを有する、請求項７記載のワークピースストッカ。
9. 前記ロボットメカニズムは前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項７記載のワークピースストッカ。
10. 前記ワークピースは２．５ｍｍ以下の間隔で保管されており、前記ロボットメカニズムは前記ワークピースを把持するワンピースの周端エッジグリップを有する、請求項９記載のワークピースストッカ。
11. 前記ロボットメカニズムの障害を検出するセンサメカニズムを有する、請求項７記載のワークピースストッカ。
12. ワークピースストッカにおいて、
    複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
    前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
    前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートと、
    １つのコンパートメントが緊急アクセスポートを介して開放されたときに他のコンパートメントの汚染を阻止するために個々のコンパートメントを隔離する、前記ロボットメカニズムの障害時に作動される閉鎖メカニズムと、
    を有し、
    該緊急アクセスポートは移動式のワークピース取出し装置との接合面を有し、該接合面により前記ワークピースは外部環境にさらされることなく取り出されることを特徴とする、ワークピースストッカ。
13. 前記接合面に合わせられる移動式のクリーンルームを有する、請求項１２記載のワークピースストッカ。
14. 前記緊急アクセスポート用のロードロックを有する、請求項１２記載のワークピースストッカ。
15. 前記緊急アクセスポートはオペレータによってアクセスされる、請求項１２記載のワークピースストッカ。
16. 複数のコンパートメントに区画化されており、複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
    前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
    前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有するワークピースストッカの作業を改善する方法において、
    前記ロボットメカニズムの障害を判断し、
    前記ロボットメカニズムの障害を検出した後に全てのコンパートメントを個別に密閉し、
    他のコンパートメントを汚染することなくコンパートメントに緊急アクセスすることを特徴とする、ワークピースストッカの作業を改善する方法。
17. 前記ロボットメカニズムの障害をセンサメカニズムによって検出する、請求項１６記載の方法。
18. 他のコンパートメントを密閉したまま１つのコンパートメントを緊急アクセスのために開放する、請求項１６記載の方法。
19. 前記コンパートメントを開放する前に、開放されるコンパートメントの緊急アクセスポートにロードロックを取り付ける、請求項１６記載の方法。
20. 開放される前記コンパートメントの前記緊急アクセスポートに連結される移動式のワークピース取り出し装置を取り付ける、請求項１６記載の方法。
21. 前記コンパートメントを開放する前に、開放されるコンパートメントの緊急アクセスポートにロードロックを取り付け、
    開放される前記コンパートメントの前記緊急アクセスポートに連結される移動式のワークピース取り出し装置を取り付ける、請求項１６記載の方法。
22. 複数の密閉されたコンパートメントに区画化されており、複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
    前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
    前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有するワークピースストッカの作業を改善する方法において、
    アクセスされるべきワークピースを有する目下のコンパートメントを求め、
    該目下のコンパートメントを開放し、
    該目下のコンパートメント内のワークピースを搬送し、
    該目下のコンパートメントを再び密閉し、
    緊急アクセス中に前記チャンバが外部環境にさらされているときに、前記ワークピースを前記コンパートメントに密閉し、前記ロボットメカニズムの障害を検出した後に全てのコンパートメントを密閉することにより該ワークピースを汚染から保護することを特徴とする、ワークピースストッカの作業を改善する方法。
23. 前記目下のコンパートメントの後に必要とされる次のコンパートメントを求め、
    該次のコンパートメントを開放する、請求項２２記載の方法。
24. 前記次のコンパートメントを求めることは、前記目下のコンパートメントの後に必要とされる少なくとも１つのコンパートメントを求めることである、請求項２３記載の方法。
25. 前記ワークピースストッカは、開放が必要とされる個々のコンパートメントを決定するコントローラを有する、請求項２２記載の方法。
26. 前記ロボットメカニズムの障害をセンサメカニズムによって検出する、請求項２２記載の方法。
27. 複数のワークピースを保管するためのチャンバと、
    前記チャンバからＩＯステーションに前記ワークピースを搬送するロボットメカニズムと、
    前記ロボットメカニズムの障害時に前記ワークピースにアクセスするための複数の緊急アクセスポートとを有し、該緊急アクセスポートは移動式のワークピース取出し装置との接合面を有する形式のワークピースストッカの作業を改善する方法において、
    前記緊急アクセスポートを移動式のワークピース取出し装置に合わせ、
    前記ワークピースを外部環境にさらすことなく該ワークピースを取り出し、
    前記ロボットメカニズムの障害を検出した後に全てのコンパートメントを密閉することを特徴とする、ワークピースストッカの作業を改善する方法。
28. 前記接合面に合わせられる移動式のクリーンルームを取り付ける、請求項２７記載の方法。
29. 前記緊急アクセスポート用のロードロックを取りつける、請求項２７記載の方法。
30. オペレータが前記緊急アクセスポートにアクセスする、請求項２７記載の方法。