TW459135B - Conductive contact device - Google Patents

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45 913 5 A7 _____B7____ 五、發明説明（·]) 〔發明所屬之技術領域〕 本發明，係關於具有由使針狀體的突出端接觸在被接 觸體而取出之電信號傳輸至外部電路用的信號傳輸線之導 電性接觸元件者。 〔習知技藝〕 已往，在進行印刷電路板的導體圖型或電子元件等之 電性檢查用的接觸探針所使用之導電性接觸元件，有具備 將導電性針狀體，和其針狀體向軸線方向自由出沒地支持 的保持器，使針狀體之突出端從保持器的前端（一方之軸 線方向端）突出的方向事先以螺旋彈簧反彈加勢，而使針 狀體之突出端反彈性地接觸在檢查對象的被接觸體者。 做爲使用如此之導電性針狀體進行電檢查的對象，近 年來，在半導體晶片裝載用基板和TAB，隨著物理速度 之高速化和晶片之小型化·薄型化，已進行微節距化。要 對此等進行電性檢查時，需要使之接觸以微節距被配置的 做爲被接觸體之各電極（陸地* T A B的領前）分別對應 而配設的各導電性接觸元件。 爲了對應如上述之被微節距化的被接觸體，各導電性 接觸元件互相之節距也將變窄，逐漸被要求例如〇 . 2〜 0 . 1 5 m m節距者。並且，爲了從導電性接觸元件將電 信號傳輸至外部電路，雖然需要設置做爲信號傳輸線的引 出線，可是在如上述之0 · 2 m m以下的節距之配設狀態 ，很難將引出線和每各導電性接觸元件相鄰者之間不會干 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -4- A7 B7 459135 五、發明説明（2 ) 擾地設置。 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 做爲在導電性接觸元件的已往之引出線安裝構造，有 如第7圖所示者。如圖所示，將導電性針狀體2 1的擴徑 軀幹部2 1 a ，和把針部2 1 b向突出方向（圖之下方） 反彈加勢的壓縮螺旋彈簧2 2，同軸地容接在中間層構件 2 3設置之貫通孔2 3 a內。然後，如挾持中間層構件 2 3地把上下的各層構件2 4，2 5疊片，而在下層構件 2 5設置只能插通針狀體2 1的針部2 1 b之小徑孔 2 5 a ，使軀幹部2 1 a衝擋而把針狀體2 1制脫，並且 在上層構件2 4，設置在貫通孔2 3 a內對針狀體2 1 a 只能插通經由管狀連接器2 6被連接的引出線2 7之小徑 孔2 4 a，而把螺旋彈簧2 2制脫。 並且，如第8圖所示地，有在螺旋彈簧2 2的兩螺旋 端部，分別將針狀體2 1 ，2 8結合，在各針狀體2 1 ， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 2 8之針部2 1b ，28b互相向相反方向突出地將各軀 幹部2 1 a ，2 8 a反彈加勢，使和將使之接觸在被接觸 體的一方之針狀體2 1相反側的他方之針狀體2 8的針部 2 8 b ，經由上層構件2 4之小徑孔2 4 a向上方突出， 而使之插入在上層構件2 4上面使疊片的配線板2 9被埋 入之管狀連接器2 6地反彈地接觸者。 〔發明所要解決之課題〕 然而，在上述各連接器，如第9圖所示，在引出線 2 7使用被覆線時，被形成有能夠插入其芯線2 7 a的孔 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X29.7公釐） 4 5 9 13 5 A7 B7 五、發明説明（3 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之管狀。使用管狀連接器2 6 ，係爲了使和引出線2 7的 連接作業成爲容易，可是爲了對應上述〇 . 1 5mm以下 之節距，而使管狀連接器2 6的外徑做爲0 · 1 1 m m以 下時，其厚度將需要0 . 0 4mm，其管狀之內徑將成爲 約0 . 07mm。因此，要插入其孔26a的芯線27a 之直徑，將成爲0.07mm程度。 然而，在適合引出線2 7且容易得到的導線，如上述 0 . 0 7mm程度之直徑者的電阻，在長度3 〇 〇mm將 成爲2 Ω以上，而不適合做爲電檢查探針用配線材。一方 向，如果使用特殊的低電阻線材時，將有提高零件成本之 問題。 〔爲了解決課題之方法〕‘ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲了解決如此的課題，不需要將引出線之徑極端地細 徑化，爲了實現能夠對應微節距化的導電性接觸元件，在 本發明，係做爲具有導電性針狀體，和把前述針狀體向軸 線方向自由出沒地支持之保持器，及爲了將使前述針狀體 的突出端接觸在被接觸體而取出之電信號傳輸至外部電路 用的信號傳輸線之導電性接觸元件，其特徵爲，前述信號 傳輸線係由單線而成，前述信號傳輸線的一端部被容接在 前述保持器內，且該一端部之一部份被形成扁平狀，並且 前述保持器的端部，做爲雖然能夠使前述信號傳輸線通過 可是開口成將把前述形成扁平狀之部份制脫的大小者。 據此，只要在單線所成的信號傳輸線之一端部形成扁 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） άΒ9)35 Α7 _____Β7 五、發明説明（4 ) 平狀形成部，就能夠把信號傳輸線制脫在保持器端部，而 不需要使用管狀連接器，不必爲了使之插入爲了對應微節 距化而細徑化的管狀連接器之孔內，而把信號傳輸線需要 以上地做爲細，故能防止由信號傳輸線的細徑化之導線電 阻的增大，而且能夠微節距化。 .特別係，只要前述保持器之端部，由容接前述被形成 扁平狀的部份之大徑孔部，和雖然能通過前述信號傳輸線 卻把前述被形成扁平狀的部份制脫之大小的小徑孔部連續 地具有之貫通孔的構件被形成即可，據此，將由穿孔加工 之構件把扁平狀形成部容接並且制脫，故能容易地進行制 脫用保持器端部之加工和安裝。 或者’只要將前述保持器的端部，把設有連接前述被 形成扁平狀的部份之大徑貫通孔的第1疊片體，和雖然能 使前述信號傳輸線通過可是將把前述形成扁平狀之部份制 脫的大小之小徑貫通孔的第2疊片體疊片而被形成即可， 據此，由於把容接扁平狀形成部之孔，和制脫的孔分別形 成在各疊片體，故能容易地進行各孔加工。 〔實施例〕 以下，根據附圖所示的具體例，詳細說明本發明之實 施形態。 第1圖，係顯示適用本發明的探針單元之導電性接觸 元件1的主要部份切開斷面圖。再者，適用本發明之探針 單元’係適合多數的導電性接觸元件1 ，以所定之節距直 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS } A4规格（2Η)Χ；Ζ97公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

*tT 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 459135 A7 B7 五、發明説明（5 ) 接並列地被配設者。 如第1圖所示，下層構件2和中間層構件3及上層構 件4依此順序被疊片在中間層構件3的厚度方向被設有貫 通孔3 a。在其貫通孔3 a內，有導電性壓縮螺旋彈簧5 ，和被結合在其兩螺旋端部的一對導電性針狀體6，7， 同軸地且向軸線方向自由往復動地被容接。 導電性針狀體6 ，7，係由一面被在貫通孔3 a內引 導，被形成能移動程度的徑之擴徑軀幹部6 a ，. 7 a ，和 以能將壓縮螺旋彈簧5的螺旋端部捲著之徑被突設在軀幹 部6a ，7a的結合輪轂部6b，7b，及使之突出在和 結合輪較部6 b，7 b相反側地，被突設在擴徑軀幹部 6a ，7 a的針部6c ，7 c而成。在下層構件2 ，設有 做爲一方的導電性針狀體6之檢查針，比針部6 c被擴徑 而比軀幹部6 a被縮徑的針插通孔2 a ，經由針插通孔 2 a，有針部6 c從下層構件2向外方突出。 並且，在上層構件4，也設有能插通他方的導電性針 狀體7之針部，可是把軀幹部7 a制脫的大小之針插通孔 4a ，在其插通孔4a內有針部7c突入。在此等3個構 件2 ’ 3 ’ 4設置各孔2a ，3a ，_4a而構成保持器之 主要部份。 在其上層構件4的上面，被疊片有做爲保持器的端部 之配線板8，而在其配線板8，在和上述針插通孔4 a對 向的部份’有做爲大徑孔部之保持孔8 a ，被設成所定之 深度。在保持孔8 a內，容接有做爲信號傳輸線的由漆包 本纸張尺度適用中国國家標準（CNS ) A4規格（210X297公酱） -------J----- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -8 - 459135 A7 ________B7___ 五、發明説明（6 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 線等之單線而成的引出線9之端部所形成的略圓形扁平部 9 a »該扁.平部9 a ，係如第2圖所示，可以爲將引出線 9之端部，向和軸線正交的方向以沖床加工使之塑性變形 而加工者，由此如圖所示地，被形成比引出線9的外徑（ 漆包線之外徑）d被擴徑（d + α )的略圓形形狀。 .再者，引出線9 ，係經由在配線板8上連接在上述保 持孔8 a且被設成如貫通的做爲小徑孔部之引出線插通孔 8 b伸出外方，而被連接在可以爲測定器等的外部電路 1 ◦。其引出線插通孔8 b ，係被形成將上述扁平部9 a 制脫之大小，而以能插通引出線9程度的徑開口。因此’ 被容接在上述保持孔8 a內之扁平部9 a，將由保持孔 8 a和引出線插通孔8 b的段部，對引出線9之伸出方向 被制脫。 然後，在保持孔8 a內被容接扁平部9 a的狀態之引 出線9的軸線方向端面9 b ，將成爲位於從保持孔8 a內 向針插通孔4 a內面臨，針狀體7之針部7 c ，將反彈地 擋接在其端面9 b。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 使用將如此構成的系數之導電性接觸元件直接地並列 而以所定節距配設成的探針單元，由使其探針單元接近做 爲檢査對象的例如半導體晶片裝載用基板11 ，做爲檢查 針的下側針狀體6之針部6 c的突出端，將反彈地擋接在 做爲被接觸體之電極1 1 a。以其針狀體6取出的電信號 ，將經由導電性線圈彈簧5，從上側針狀體7到達做爲信 號傳輸線的一端部之引出線9的端面9 b ，經由引出線9 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（210X297公釐} -9- 459135 A7 B7 五、發明説明（7 ) 被傳輸至外部電路1 〇。 ί請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在如此而成的導電性針狀體，使用如在習知例所示的 管狀連接器時’因不需要使用使其插入其細徑的管內之細 徑的引出線’故將不必把引出線9做爲需要以上地細者。 因此’能夠不使用導線電阻將成爲2 Ω以上的直徑 0 . 0 7 m m以下之導線，而使用直徑〇 . 〇 8 m m以上 的導線。例如直徑〇 . 〇 8〜0 · 0 9 m m之導線時，扁 平部9曰的寬度（d + α)將成爲約〇 _ 1〇〜〇 . 1 1 m m程度，即使由微節距化而節距成爲〇 . 1 5 ηι ηι程度 ’在相鄰的導電性接觸元件之間，能夠不干擾地形成保持 孔 8 a。. 再者，扁平部9 a和保持孔8 a的關係，雖以扁平部 9 a不會變位程度之緊度爲理想，可是也可以用接著劑固 定。並且，由於加工誤差使扁平部9 a在保持孔8 a內移 動’也因針狀體7被反彈加勢，使接觸狀態被確保，將不 會發生任何問題。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 而且’雖然在上述圖示例，係在1片配線板8，將保 持孔8 a和引出線插通孔8 b，以有段孔形狀形成，可是 也可以如第3圖所示，在上層構件4如將第1疊片體及做 爲第2疊片體的2片板片12 ，13疊片，在下側板片 1 2形成對應上速保持孔8 a之大徑貫通孔1 2 a ，而在 上側板片1 3形成做爲對應上述引出線插通孔8 b的小徑 貫通孔之引出線插通孔1 3 a。此時的效果，係和上述相 同，並且因對各板片之穿孔加工只要1次，故容易加工。 &張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） -10 - 459135 A7 B7 五、發明説明（8 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 而且，雖然在上述圖示例，係做爲在壓縮螺旋彈簧5 的兩螺旋端部分別設針狀體6，7之由兩端可動型針狀體 的導電性接觸元件之構造，可是也可以爲由單側可動型針 狀體的導電性接觸元件之構造，將其一例示如第4圖。再 者，關於和前述圖示例相同的部份，附以相同記號而省略 其詳細說明。 在第4圖所示者，係只在壓縮螺旋彈簧5的一方之螺 旋端部，被結合上述針狀體6，而他方的螺旋端部5 a ， 直接擋接在引出線9之端面9 b »在此情況，也能夠適用 根據本發明的引出線之端部形狀，其效果係和上述圖示例 相同。再者，雖然使之擋接在引出線9的端面9 a之線圈 端部的形狀，也不限於上述圖示例之直線形狀，可以做爲 把擋接端做爲尖銳的圓錐卷形狀，也可以使其圓錐狀之頂 部，擋接在引出線9的端面9 b。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，本發明也能夠適用在將保持器由管體形成之導 電性接觸元件，把其一例示如第5圖，第6圖。再者，關 於和前述圖示例相同的部份，將附以相同記號而省略其詳 細說明》 在第5圖者，係在中間層構件3內埋入管體1 4，在 其管體1 4內突接壓縮螺旋彈簧5及兩導電性針狀體6 ， 7，爲了將兩導電性針狀體6，7制脫，使管體1 4的軸 線方向兩端部向半徑方向向內彎曲，而形成向內凸緣部。 在如此構成之導電性接觸元件，能夠發揮和前述相同的效 果，而且能夠提高壓縮線圈彈簧5及兩導電性針狀體6， 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公嫠） -11 - A7 B7 459135 五、發明説明（9 ) 7對中間層構件3的裝配前之操作性。 在第6圖者，係使之在管體1 5內更將引出線9的_ 平部9 a也容接者。再者，爲了引出線側針狀體7之定位 及制脫。設置將管體1 5的中間部之該當部份向半徑方向 向內勒緊加工的向內凸部15a ，把管體15之扁平部 9 a突接側端部向半徑方向向內折曲，形成向內凸緣部 1 5 b，把扁平部9 a制脫。此時將能發揮和第5圖者相 同之效果，並且能夠以單獨使用。再者，要配設多數時， 如果把管體1 5由非導電性材形成，將能夠使相鄰者互相 密接而配設，而因應狹節距化。 〔發明之效果〕 如上述地根據本發明時，能夠由在單線而成的信號傳 輸線之一端部形成扁平部形成部的簡單之加工，進行信號 傳輸線的制脫，並且由於不需要使用管狀連接器而不必將 信號傳輸線做爲需要以上地細，故能防止導線電阻之增大 ’並且將能微節距化。特別係，由於以進行大小徑的穿孔 加工的構件，把扁平狀形成部容接且制脫，能夠容易地進 行保持器端部之加工和裝配，或者，由於在每各孔將疊片 體分別地形成制脫用保持器端部，能夠容易地進行各孔加 工。 〔圖面之簡單說明〕 〔第1圖]係顯示在適用本發明的探針單元之導電性 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公逢） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 f- 經濟部智葸財產局員工消費合作社印製 -12- ^5 9 1 3 5 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（10 ) 接觸元件的主要部份切開側視圖。 〔第2圖〕係顯示引出線的端部形狀之主要部份擴大 斜視圖。 〔第3圖〕係顯示配線板的第2例之主要部份側斷面 圖。 —〔第4圖〕係使用單側可動針狀體的對應第丨圖之主 要部份切開側斷面圖。 〔第5圖〕係顯示使用管體的導電性接觸元件之主要 部份切開斷面圖。 〔第6圖〕係顯示其他用管體的導電性接觸元件之主 要部份切開側斷面圖。 〔第7圖〕係顯示在已往的導電性接觸元件之一例的 主要部份切開側斷面圖。 〔第8圖〕係顯示在已往的導電性接觸元件之其他例 的主要部份切開側斷面圖。 〔第9圖〕係顯示在已往之導電性接觸元件所使用的 引出線連接用連接器之主要部份擴大斜視圖。 〔圖號說明〕 1 :導電性接觸元件 2 :下層構件 3 :中間層構件 3 a :貫通孔 4 :上層構件 5 :螺旋彈簧 5 a :螺旋端部 6 ’ 7 ·導電性針狀體 6 a，7 a :擴徑軀幹部 6 b，7 b :輪轂部 {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

本紙浪尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4规格（210X297公釐） _ 13 _ 4 5 9 13 5 A7 B7 五、發明説明（Μ ) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 6 C j 7 C 針 部 8 配 線 板 8 a 保持 孔 8 b 引 出 線 插 通 孔 9 引 出 線 9 a 扁 平 部 9 b ： 丄山 m 面 1 0 * 外 部 電 路 1 1 基 板 1 2 1 1 3 板 片 1 2 a ； 大 徑 貝 通孔 1 3 a 引 出 線 插 通 孔 1 4 1 1 5 管 體 1 5 a. ; 向 內 凸 部 1 5 b 向 內 凸 緣部 2 1 ; 導 電 性針狀 體 2 1 a 擴 徑 軀 幹部 2 1 b ; 針 2 2 螺 旋 彈 簧 2 3 中 間 層 構 件 2 3 a 通 孔 2 4 > 2 5 上 下 層 構件 2 4 a 2 5 a :小徑孔 2 6 連 接 器 2 7 引 出 線 2 8 ： 針狀 體 2 8 a 軀 幹 部 2 8 b I 針 部 2 9 :配線板 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙伕尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -14-

Claims (1)

1. 45913 6 Μ _§___ 六、申請專利範圍 1 . 一種導.電性接觸元件，係具有導電性針狀體，和 將前述針狀體在軸線方向自由出没地支持的保持器，及爲 了將由使前述針狀體之突出端接觸在被接觸體而取出的信 號傳輸至外部電路用之信號傳輸線的導電性接觸元件， 其特徵爲，前述信號傳輸線係由單線而成，前述信號 傳輸線之一端部被容接在前述保持器內，並且該一端部之 一部份被形成扁平狀， 而且前述保持器的端部，開口成雖然會通過前述信號 傳輸線部將前述形成扁平狀之部份制脫的大小者。 2 .如申請專利範圍第1項之導電性接觸元件，其中 ，前述保持器的端部，係由被設置連續地具有容接前述被 形成扁平狀部份之大徑孔部，和雖然能通過前述信號傳輸 線卻把前述被形成扁平狀的部份制脫之大小的小徑孔部之 貫通孔的構件所形成。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 中部信徑 其之述小 ，狀前的 件平過小 元扁通大 觸成能之 接形然脫 性被雖制 電述和份 導前，部 之把體的¾ 項有片狀彡 1 設疊平® 第將 1 扁而 圍係第成M-範，之形疊 利部孔被體 專端通述片 請的貫前疊 申器徑把 2 如持大卻第 保的線之 3述接輸孔 前容傳通 , 份號貫 ------------Ί^ι.· — —I — — —j 訂 i,· — I ---線.^ (請先朋讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用乍國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） -15-