TW420964B - Organic electroluminescence display substrate, method of manufacturing it and organic electroluminescent display element - Google Patents

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A7 420964 B7 五、發明説明（'） 〔技術領域] (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本發明有關於家庭用電視機和高级資訊處理用終端顯 示裝置之發光型顯示器之有機電致發光顯示元件用基板 ，其製造方法，和有機電致發光顯示元件。 以下所述之說明中，以「EL」元件表示「電致發光 (electroluminescence}」元件 〇 〔背景技術〕 平板型顯示裝置之一之有機EL顯示元件是一種顯示裝 置，基本上採用以第1電極（陽極或陰極）和第2電極 (陰極或陽極）包夾有機EL媒體層之構造，利用在該兩個 電極間流動之電流用來進行發光。I L顯示元件因為 —-----— m 特徹可以獲得高亮度，高 缉野一& , 可以以一低雷鼷顒動。通常，第1電極和第2 電極形成矩陣構造，分別由多個電極線構成，該等第1 電極線和第2電極線互相交叉。存在於各値第1電極線 和各個第2電極之交點之有機EL媒體層之部份形成1値 之圖素。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 要ϋ製造具有1¾種矩陣電極1诰之窩精細度之有機 E丄顯示元件+時，需要對雷探蠕谁彳ί·#常徹細之圓型餺作 加工。 用以形薄膜之徹細之圖型之方法一般習知者有^影印法 和@罩蒸著> 0 但是，當利用影印法對第2電極層^行圖型製作時， 光铒U之溶劑和^像液等會侵入到底層之有機E L媒體 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（）） 1 I ,省成元件之破霞和。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 另外一方面，在光罩蒸箸法中，蒸箸光罩和基板間之 密著性變成非常重要。在，密~箸不良之情況扇，蒸著物會 轉入到蒸著光m 因而^使解像度一降」^ ^便^ 箸光蜃扁_制_@基板座^時，會停及有機EL媒體舍。 不會對有機EL媒體造成損傷，而能夠對第2電極線進 行徹細之圖型製作之方法被掲示在曰本國專利案特開平 5 - 2 5 8 8 5 9號公報和特開平5 - 2 5 8 8 6 0號公報，其中掲示有 使用多個隔壁之有機EL媒體和金颶之傾斜蒸箸法之技術 。在此種方法中，依照與陽極函型交叉之方向形成多値 隔壁，然後依照順序從傾斜方向蒸著有機EL媒體層和陰 極。在此種方法中，有機EL媒體和陰極物質之積層同時 進行圖型製作，但是，在此種方法中，f基板旋轉 進希蒸箸二和在大面稽要均一 W控制 \ ^ #困而且陽槿圖型之形狀只限於直線狀為其缺點。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 用以改善該隔壁傾斜蒸著法之技術被掲示在日本國專 利案特開平8 - 3 1 5 9 8 1號公報和特開平9 - 1 Q 2 3 9 3號公報。 在該等方法中，使用具有懸壁（被設在形成有第1電極 線之基板上）之隔壁（倒傾斜隔壁或剖面為T字形之隔壁） 。該等琨有技術之隔壁法基本上是利用隔壁之存在，可 以在對有機E L媒體和第2電搔線進行蒸箸之同時進行圖 型製作。經由使隔檗具有懸壁，卽使是利用基板之垂直 方向之蒸箸亦可以進行圖型製作，因此，具有可以使基 板旋轉同時進行蒸著之優點。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（3 ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 但是，在使用倒傾斜隔壁之情況時，在蒸著射束之射 入角小於傾斜角之情況，亦會在I壁之倒面生」I積， 冑有發路^間題，不適於對-之基板之 蒸著。另外，Τ字形隔壁之形成方法複雜。另外，因為 在該等隔壁和有機E L媒體層之間存在有間隙，當使用該 等隔壁進行有機E L媒體和第2電搔材料之蒸著時，第2 電極材料亦會堆積在有機EL媒體層未存在之部份，其結 果是在第2電極_J〇| 1電極直接接觸,會阻 礙」E常動作之趙_題。即使第2電極材料只堆積在有機EL 媒體存在之部份，不會産生短路之情況，因為電場集中 在第2電極端近傍之有機EL媒體變薄之積層之部份和第 2電極線之端緣部，所·^於絶緣煅羅取馬珅熱tflT 、奪化。為著防止此種問題提案有在隔壁之根本部形 成電絶緣層，但是其工程複雜。另外，有機EL媒體層/ 第2電極線之端緣露出之結果，容易從其端緣産生劣化 〇另外，和有LM E 第_2鬣極線之間 存在有間隙，疾2因為有,所 而交光晉通®該間隙或隔壁到捧顯示商，Ύπητ"顔 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 徹獲極大型 之以陽變動 線用於壓驅 極在由電壓 陽，，動電 著時況驅之 隨高情使件 是變之此元 題阻動因示 問電流，顯 2 之線大EL 第線極變機 -之極陽會無 5 關陽在降型 · 有當流壓Ac 件 。電電或 元阻之之置 示電需生裝 顯高所産示 EL生度所顯 機産亮阻晶 有會分電液 C 與化充之在 示 細得線。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（年） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之情況，為使JSJ内之顯示特性均一，所以需要包仓透 明__導_里_^^^_&線之電阻降低。在如同有機EL顯示元件 之電流驅動型.元件，更需要使電阻降低〇 使陽極線之電m降低之方法，已掲示有各種技術。例 如，日本國專利案特開平1 fl - 1 〇 6 7 5 1號公報和待開平 9 - 2 3 0 3 1 8號公報為其實例。依照待開平1 0 - 1 Q 6 7 5 1號公 報時，變與透明電線之兩魅而接觸之傣自漠 電性金腸線,可以實現陽極線之電里_之降。但是，在 該特開平10-106751號公報之方法中，因為該優良導電 性金屬線之高度被限制在透明電極線之高度，所以只能 實現某種程度之陽搔線之雷阻之降低，要_更進一 f的坚 電阳降低會有困難。 另外，依照特開平9- 9 3 0 3 1 8號公報時，掲示Um ft^TnjTT更化^脂使金颶配線之間f g也._之抟術但是 ，在此種方法中因為需要透明電極之_型製作，所以處 理變為複雜。另外，在該種情況，特別之間題是當利用 蝕刻液對诱明雷極材料進行圖塱製作時，不可避免 屬配線邊__被蝕刻液腐蝕。為著防止金颶配線之腐蝕，所 使用1^14_是使透明雷極端延伸到超越金屬配線 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ' 之ϋ鄰之UV硬也ϋ上。但是，在此種構造中所獲得之 顯示之色混雜，所以不能獲得純色之彩色顯示V 與有機 EL 元件有關之第3問題是和 第2電極線之劣化。 亦即，有機EL媒體層和第2電極線由於大氣中之水分 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（，） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 和氧氣等而劣化。為箸防[h此種由於水分和氧氣等使第 2電極和有機E L媒體劣化，使用覆蓋在第2電極線和有 機EL媒體之蓋子用來進行/密封A例如，在真空狀態或惰 性氣體之環境中，使用箱形形狀之蓋子用來覆蓋第2電 極線和有機EL媒體層，經由使其接著在基板上用來氣密 式的密封第2電極線和有機EL媒體。 但是，由於使用有蓋子，所以會産生下列之數個問題 。其中之一是當將箱形形狀等之蓋子裝載在基板上時， 蓋子之壁底面與第2電極線直接接觸，會經由該蓋子産 生短路，和由於傷及第2電搔和有機EL媒體層所以會引 起短路和發光不良。 另外，該箱形形狀等之蓋子是經由將接箸劑塗布在面 對基板前商之蓋子之壁底面用來接著在基板上。因為接 箸劑具有流動性，所以其一部份進行移動的接觸在有機 EL媒體層和第2電極線，因此會有劣化之情況。 因此，本發明之目的是用來克服上述之現有技術之問 題。 .‘ 亦即，本發明之第一目的是提供構浩不會複雜，製1 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 方法不會专到很大限制.和息備有改自之隔壁構诰之有 機KL顯示元件用基板和其势诰方及有機EL顯示元件·。 本發明之第2目的是提供#高精細度，大書面之有機 示元件中，可以使陽極線之雷阳晓低藉以獲得充分 亮_度之有機E丨,邏示元件用甚板和有機EL顯示元件及其製 造方法。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 另外，本發明之第3目的是提供可 租媒體靥之損傷和劣化，對該等進行簡便密封之 件用基梅及有機EL顯示元件〇 〔發明之掲示] 本發明之第〗目的之逹成是利用本發明之第1方面之 一種有機EL顯示元件用基板，在支持體上具備有被配置 成互相隔開之多锢第1電極線，和依照與該等第1電搔 線交叉之方向延伸之互相隔開之個隔壁，各楢隔壁在 上部具有遮蓋部，在下部具有下擺部。 本發明之第1方面之基板之製造是：在具有多値第1 電極線之支持體上，塗布負塑光抗蝕劑層；對於負型光 抗蝕劑層，對各個隔檗之包含遮蓋部之頂部之對應之多 個區域，進行曝光；對未曝光部份進行顯像。在本發明 中，在顯像後，最_好照射電子射束或UV用以進行事後烘· 烤。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，本發明之第1方面之基板之製造是：在形成有 第1電極線之基板上，形成負型光抗蝕劑層；對於該負 型光杭蝕劑層，對隔壁之包含遮蓋部之頂部之對應之區 域進行第1曝光，和對隔壁之至少在下擺部之前端部對 應之區域進行第2曝光，第1曝光和第2曝光同時進行 或互相前後的進行；和對未曝光部份進行顯像藉以形成 隔壁。 另外，本發明之第]方面之有機EL顯示元件用基板之 製造是：在形成有第1電極線之基板上，形成負型光抗 -8 ~ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（？） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 蝕劑層；對於該負型光抗蝕劑層，對隔壁之包含遮蓋部 之頂部之對應之區域進行第1曝光，和對隔壁之底部之 對應之區域進行第2曝光，第1曝光和第2曝光同時進 行或百相前後的進行；和對未曝光部份進行顯像藉以形 成隔壁。 另外，該第1方商之有機EL顯示元件用基板之製造是 :在形成有第1電極線之支持體上，形成負型光抗蝕劑 層；對於該負塑光蝕劑層，對各個隔壁之包含遮蓋部之 頂部之對應之區域進行第1曝光；使未曝光部份顯像至 栺定之厚度；對各個隔壁之下擺部之前端部對應之區域 進行第2曝光；和對未曝光部份進行顯像藉以形成隔壁。 在本發明之第1方而之佳態樣之有機EL顯示元件用 基板中，利g多痼連結帶用來使鄰接之隔壁之下擺部互 相連結。 該較佳態樣之基板之製造是在第i方面之有機EL元件 闬基板之製造方法中，對於用以連結鄰接之隔壁之區域 亦進行第2曝光。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，上述之第1方而之較佳態樣之有機EL顯示元件 用基板之製造，亦可以利用被設在支持體上之多個彩色過 滹器層。亦即，該製-造是：..!支持體.卜，設:置多個 彩^過濾器使其成為互相隔開之列和行；在其_J:形成互 相隔gia依彩色渦流^ 列_方向征伸^多鉬笛」霍揼線 ;在其上形成負型光抗蝕劑層；對於Μ鱼型光抗蝕劑層 ,翻隔骁：> 句含樜s邬：>τ自部>對_：>第1區域淮 -9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（ί ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 行等】曝光罩，從基板背面對與 彩色過濾器之行間之間隙相當之各個隔壁底部之對應之 第2區域，和與彩色過濾器之列間之間隙相當之第3區 域，進行第2曝光，該第1曝光和第2曝光同時進行或 互相前後的進行；對未曝光部份進行顯像；和形成以與 第3區域對麁之連結帶連結之隔壁。 本發明之第2目的之達成是利用本發明之第2方面之 一種有機電致顯示元件用基板，在支持體上具備有被配 置成互相隔開之多個第1電極線，和與該第1電極線實 質上平行延伸之多個導電性匯流排線，各値第1電極線 被配置成與該支持體具有間隔，和其一方之側端部在與 其鄰接之一導電件j W流排線之表而上延伸。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，本發明之第2方商之有機EL顯示元件用基板之 製造是：在支持體上形成分別具有倒傾斜狀之多個電絶 緣層；在具有該電絶緣層之該支持體之大致會而上，形 成導電件材料層；使該導電性材料層之殘留在該支持體 表而上之部份，與各個電絶緣層之一方之側端接觸，和 與另外一方之制端分離，經由除去該電絶緣層上之部份 用來形成多個導電性匯流排線，使各個i絶緣層只與該 一方之側端連接；和在具有該電絶綠層和該導電性匯流 排線之支持體上，經由形成第1電極層用來形成多個第 1電極線，從各個電絶緣層上延伸到與該電絶緣層連接 之導電性匯流排線上，在各値電絶緣層之該另外一方之 側端側互相分離 -1 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 420964 A7 B7 五、發明説明（9 ) 本發明之第3目的之達成是利用本發明之第3方面之 有機E丨.顯示元件用基板，具i有在支持I上被配置成互 相屢^之多鬼g 1電極線，和依照與該第1電極線交叉 之方向延伸之相個隔壁，和設弯.色m該隔壁 之ίΕ—架.，…里子。 本發明亦提供具備有本發明之有機EL顯示元件用基板 ,和形成在其上之有機EL媒體及第2電極線之有機電致 發光顯示元件。 本發明之更進一步之擴伸和所附之申請專利範圍所示。 〔圖而之簡單說明] 第1画是本發明之有機ΕΊκ霸示元件用基板之主要部份 之剖而_ ; 第2圖是概略斜視圖，用來部份的表示本發明之隔壁； 第3 _1用來說明本發明之隔壁之構造之細節； 第4Α圖至第7Β_用來表示本發明之有機EL顯示元件用基 板，和使用該基板之本發明之有機EL顯示元件之製造方 法，第4Α_,<第5Α爾，第6Α圖和第7Α圖是上而第4Β 圖是沿替第4 Α圖之線 I V Β之剖而圖，第5 Β圖是沿著第5 A 圖之線〖!B之剖而_，第6B圆是沿著第6A画之線 VIB之剖 而圖，第7B圖是沿著第7A圖之線VIIB之剖面圖； 第8A闺至第81)圖是概略剖面_，用來説明本發明之隔 荜之形虑原理；

J 第ί)Α_至第12B圖是概略_，用來說明本發明之有機 顯示元件用基板之較佳製造方法，第9Α圖，第10 Α圖， -1 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - · . 、·ύ ---------J--χ------訂------^ · (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

五、發明説明（、。） 第 第 第第 ，箸XI _ 沿線 而是之 上圖圖 B A 是 ο 1 圖1 1 A 第第 112' 0 娜ϋ❾ , 而是 圖剖圖 Α β 1 之丨 第 著 沿 是 圖 線 之 圖 剖 之12 XB第 線 ， 之 _ _ 而 A 丨 o 丨之 画 是 圖

i 元 1213示 第第顯 箸EI 線 之 _ _ 而 之 機 有 之 明 發 本 之 壁 隔 之 結 連 ·， 帶圖 結而 連上 以之 有板 備基 具用 是件 第 至 結造 連製. 以之 有板 備基 具用 明件 說一兀 來示 用顯 TL· ， CzJ _ 機 略有 概之 是明 _ 發 5B本 丨之 0 隔 圖 A 之 14結 第連 帶 法 方 第 圖 15而 第剖 和之 B 圖 V ; ΛΛ Til 4 X 圖 1線而 之剖 _ 之 第線 著之 沿圖 是5A0 ] 盯第 4 1 著 第沿 ,是 圖 圖 B 而 5 上 是 圖 第 (請先閱讀’背面之注意事項再填寫本頁) 第 至 圖 帶製 結 一 連另 以之. 有板 具基 明用 説件 來元 用示 ,顯 I1EL 略機 概有 是之 圖明 7B發 丨本 之 壁 隔 Ifi之 第結 連 法 方uixv 造第線 第

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法第 方至 造圖 製19A 備 具 用 使 明 説 來 用 圖 面 略 概 是 圖 基 用 件 元 示 顯 L E 機 有 之 ， 明法 發方 本造 之製 壁之 隔件 之元 結示 a0 帶EL 結機 連有 以之 有板 導造 有製 備及 具板 明基 説用 來件 用元 ，示 圖顯 而EL ώπ 機 略有 概之 是明 圖發 01本 2 之 線 th, 0 流 2n_ 第件 電 第 至 圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 420964 A<7 A7 B7 五、發明説明（"） 有機E I,顯示元件之方法； (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第21A圖和第21B圖用來表示具有導電性匯流排線之本 發明之另一有機F.L顯示元件用基板之不同方向之概略剖 而鬮； 第2 2_是使用有第2〗A_和第2〗B圖所示之具有隔壁之 有機K L顯示元件用基板之有機E L顯示元件之概略剖而圖； 第2 3圖是具備有導電性匯流排線之本發明之另一有機 KI.顯示元件之概略剖而圖； 第24_是具備有導電性匯流排線之本發明之更另一有 機E丨」顯示元件之概略剖而圖； 第25_是具備有框架之本發明之有機EL顯示元件用基 板之槪略斜視圖； 第2 0_是在框架上設有覆蓋之本發明之有機EL顯示元 件之概略剖而_ ; 第2 7圖是使用後而所詳述之實施例1之本發明之隔壁 進行有機E丨，媒體和第2電楝層之蒸箸之構造之SEM照Η ; 第2 8圖是在後商所詳述之實施例2中所製成之有機E L 顯示元件闬基板隔壁之SEM照Η。 〔用以實施本發明之最佳形態〕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 下面將參照附圖用來説明本發明。在全部之附圖中， 其相同之部份以相同之符號表示。在以下之說明中以第 1電極是陽棟，第2電極是陰楝之構造為ΐ進行說明， 徂是對於第1電極為陰楝，第2電極為陽極之情況，本 發明亦同樣的可以適用。 -1 3 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（π ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 首先参照第1圖用來說明本發明之有機E〖,顯示元件用 基板之基本構造。第1 _有關於第1電樺為陽栩，第2 電杨為陰楝之構造，_中顯示沿著第1電極線之剖而。 如第1圖所示，本發明之有機E丨」顯示元件用基板具有 第1電楝線1 2，在支持體1 1上配置有多個形成互相隔開 (第】_中只顯示1個之第].電極線1 2 )。在與第1電極 線1 2交叉之方向設有互相隔開進行延伸之多個隔壁1 3 (在第1 _中只顯示2摘之齒壁 支持體]1具有透光^^性和電絶緣性，可以以如同石英， 玻璃，透光件塑膨等彭成。 *'、 第1電楝線U在第V圓之實例中用來構成陽極線，分 別為透明之導電性材料，最好以姻鍚化合氧化物（I T 0)， 翻鋅化合氣化物，鋅Μ化合氣化物形成。 隔壁丨3用來使後來形成之第2電極線互相分離。本發 明之隔壁1 3在上部具有遮蓋部，在下部具有下擺部。該 隔壁1 3最奸由負型抗蝕劑形成。 第2圖和第3圖表示本發明之典型之隔壁之構造。第 2圖是部份表示該隔壁之斜視圖，第3圏是隔壁之横向 剖而圖。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之隔荦髖具有細長之鐵軌形之立體形狀， 成為-體，如第2圖所示，在概念上可以區分為：條帶 狀之頂部1 3 2 ,用來構成遮蓋部1 3 2 a ,】3 2 b ;同為條帶狀 之底部1 3 3 ;和剖而山形之本體部1 3 1，存在於頂部 1 3 2 和底部1 3 3之間，用來構成下擺部。該山形之本體部1 3 1 -1 4 - 本紙張X度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（β ) 具有傾斜狀側面1 3 1 a，b，從頂部1 3 2之下面之遮蓋部 1 2 a和】3 2 h之各個基端部延伸到底部 1 3 3之上而之幅度 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 方向之各個端線，彎曲成為凹狀。 參照第3 _，隔壁13之高度a.最好為至100#η ，如為1知1«至3 0 w m更佳。山形本體部〗31之上面之幅度 (從頂部1 3 2之幅度減去2個遮蓋部1 3 2 a，1 3 2 b之幅度之 合計所形成之部份之幅腠）b最奸為以上，如為 1 /i m以上更佳。各個遮蓋部1 3 2 a , 1 3 2 b之厚度c最好為 0.05知1*至10#相，如_為0.1#和至5々《«更佳〇各個遮蓋部 13 2?1，1:;121)之幅度（1蕞好為0.05#«1牵50#16，如為0.5#祖 牵更佳。下擺部之幅度e最好為O.ljum至100/iffl， 如為1 # ®至3 0 # m更佳。另外，下擺部幅度e最奸為隔 壁之高度a之0 . 1倍牵1 0倍，如為η . 5至3倍更佳。另外 ，底部U 3之幅度最好大於頂部1 3 2之幅度。換言之，下 擺部幅度e最奸大於幅度d 。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，下欏部之各锢前端部（相當於底部133之幅度方 向之各個端緣）和點P (水平方向之下擺部幅度之二分之 一點起之垂直線與側面131a, 131b之交叉點）之連結直線 與底部〗:U之上商所形成之角度（此角度在本說明書中稱 為「下擺部之前端角」）0最奸為45°以下（參照第3圖）。 本發明之隔壁因為具有滴蓋部和下擺部，所以可以保 ___ 持有先前枝林F之優^ JX解決卽存枝術之温_^ 〇亦 即，在有機媒體層，與隙，形成延 伸到隔壁之下擺部上，形成在其上之第2電掙線亦在有 -1 Si -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420984 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ β ) 1 1 機 E 1, 媒 ^ttt m 層 丄: 延 仲 到 隔 壁 之 下 擺 部 0 因 比 ， 可 以 避 免 由 Ί 於 與 隔 之 間 存 在 有 隙 而(造成之短t 、 絶 緣 破 壊 等 之 1 | 問 題 和 可 以 避 免 光 透 過 之 問 題 〇 而 a 9 蒸 m 射 束 之 飛 /-—^ 請 1 先 1 來 方 向 之 限 制 〇 可 以 大 幅 的 緩 和 因 此 » 大 而 積 之 基 板 閱 讀 1 之 使 用 蒸 箸 時 —口了 以 使 基 板 旋 轉 〇 另 外 ， 經 由 在 隔 壁 U 背 面 1 之 I 入 色 材 可 以 用 來 避 免 隔 壁 内 之 光 透 過 之 問 題 〇 注 意 I 下 而 將 參 照 第 4 A圖 至 第 7 B圖用 來 說 明 具 有 第 1 圖 所 示 事 項 1 I 再 Ί 之 構 诰 之 有 機 Κί,顯 示 元 件 用 基 板 及 使 用 有 該 基 板 之 有 機 填 寫 本 E1,顯 示 元 件 之 製 造 方 法 0 頁 S^ 1 I 首 先 如 第 4 Α和第 4 B圖所示 在 支 持 體 fj 1 1上 依 照 需 要 1 1 的 形 成 多 個 端 子 焊 接 點 (圖中未顯示）和 多 個 條 帶 狀 之 第 1 I 1 電 掙 線 ί在本實例中為陽極線> 1 2 0 m 時 ί 亦 可 以 設 置 1 訂 多 個 之 外 部 取 出 電 極 (圖中未顯示）供後來形成之第 2 電 1 栎 線 使 用 〇 在 第 4 A圖和第 4 B圖 中 亦 顯 示 有 多 個 第 1 電 極 1 | 線 1 2被配置成具有 一 定 間 隔 的 互 相 隔 開 0 1 I 該 多 個 第 1 電 m 線 12 可 以 在 支 持 體 1 1之 上 面 全體形成 1 第 1 電 楝 材 料 ， 利 用 通 常 之 影 印 法 等 之 技 術 對 其 進 行 園 :、 I 型 製 作 而 形 成 〇 在 本 實 \ 例 中 因 為 依 上 述 方 式 以 第 1 電 極 I 構 成 陽 極 » 所 以 電 極 材 料 使 用 透 明 之 導 電 件 材 料 ， 最 好 1 1 使 用 m 錫 化 合 氣 化 物 ( T T 0 ) 絪 鋅 化 合 氣 化 物 鋅 鋁 化 1 1 合 氧 化 物 等 〇 可 以 利 用 濺 鍍 法 將 該 等 電 m 材 料 覆 蓋 在 基 1 1 板 上 η 1 1 其 次 如 第 5 A和 5 fMil 所 示 形 成 隔 m "使 其 與 第 1 電 1 I 極 線 交 叉 m 以 製 作 本 發 明 之 有 機 E L顯示 元 件 用 基 板 〇 1 1 -] 6- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（< ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 木發明之隔檗1 3因為具有遮蓋部和下擺部，所以如上 所逑，可以大幅的緩和蒸著物飛來方向之限制，因此， 可以使用大面積支持體和使支持體旋轉。另外，在第5 A 和5 B圖中，所示者是苜線狀之隔壁1 3，但是在本發明中 亦可使隔壁成為曲線狀或析線狀。 下而將參照第8Λ圖〜第8F)_用來說明本發明之隔檗13 之形成原理^首先，和第8A國所示，在莪板31 (相當於 第4A鬮所示之形成有第1電楝線12之支持體H)之大致 兮面上形成包含有ϋ V吸收性物質或色材料之負型抗蝕劑 層3 2，使用具有滴當間距之光透部3 3 a之光罩33，以ϋ V 光（_中之箭頭所示）進行曝光。如此一來，從抗蝕劑層 3 2之表商到一定深度之部份進行感光，藉以形成烕光部 3 2 a ，但是因為ϋ V光被U V吸收性物質或色材料吸收，所 以不能到達深部，因此在下部成為未曝光之狀態。當以 此狀態進行顯像時，在表而層因為感光部32a不被溶解，

所以殘留之未曝光部份被除去（第8B圖）^在表而層之更 下部側，因為所有未f光部從側部進行更進一步之顯像 ，所以形成丨頃傾斜之\擺部（第8 C圖h另外，經由選擇 滴當之條件可以形成下擺部比遮蓋部長之隔壁1 3 (第8 D 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖）Λ 另外，因為iF.型光杭蝕劑會溶解曝光部，所以不能如 同上逑之負型光抗蝕劑的進行加工。 在本發明中，當在隔荦〗3之大致全而照射電子射束或 (丨V藉以進行事後烘烤時，看不出有事後烘烤之隔壁之變形。 -1 7 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 420964 A7 B7 五、發明説明（4 ) 配合負犁光抗蝕劑之ϋ V吸收性物質可以使用通常作為 11 V吸收件物質使用之苯眛苯条，苯水楊酸糸，氰基丙烯 酸条，苯酰Η唑条，草酸酰替苯胺条，三連氮条等之有 機υ V吸收件物質，和/或通常作為1) V吸收袢物質使闬之 破璃粉，氣化鈽，磺，氣化鈦，氧化鋅，氣化鐵等之無 機π ν吸收件物質，或該等之紐合。另外，作為色材料者 ，為转使隔壁具有黑條帶之功能，所以最好使用黑色顔 料，或紅，緣和餻之3色混合顔料，假如只是為箸形成 隔壁，可以使用單色顔料。另外，亦可以使用多種色材 料，單獨或使闬多種色材料與UV吸收件物質之組合。 亦即，依照上述之方式，在形成隔壁13之後，如第6A 和fi B _所示，利用蒸箸等之氣相堆積法依照順序的形成 有機EI.媒體層21和第2電栎線22。有機EL媒體21和第2 電楝線2 2亦可以形成在各個隔壁1 3之頂面上，因為在支 持體1 1上堆積成被遮蓋部分離之形態，所以可以進行自 勃之_型製作。第2電楝線/15丨」媒體線2〗之大部份直接 形成在第1電掙線1 2上，各個第2電楝線2 2之端部延仲 到各個隔壁1 3之下部之下擺部上，形成在與各個第1電 栎1 2分開之位置亦即，下擺部之前端角形成為4 5 °以 下，平穩的順序形成傾斜狀。其結果是可以抑制絶緣_破 Ρ λ另外，當下擺動比遮蓋部長時，亦可以利用垂茛蒸 著用夾形成有機Κ丨,媒體2〗和第2電楝線2 2。 經由適當的設定第2電楝線2 2之形成條件，可以使第 2電掙線2 2延伸到有機Ε [,媒體層2 1之端部之外側，形成 -1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4Λ格（210Χ297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

420964 A7 B7 五、發明説明（) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 完ΐ覆蓋在有機K L媒體2 1之構造。利用這種方式可以防 ih各値陰稱線/各傾有機EL媒體層21之界而之露出，可 以抑制劣化（參照第fi A和GR圖）。 在木發明中，有機E L媒體2 1.如其領域所習知之方式， 可以形成钽含螢光物質之單層膜或多層膜〇 多_膜構造之有機1U媒體2 1可以採取2層構造（由電 洞注入輸送層，電子輸送件發光層，或電洞輸送性發光 肩和雷子輪送層所構成）或3層構造（由電洞注入輸送層 ,#光隔和電子輸送層所構成），另外，有機E L媒體2 1 亦可以形成更多層，在這_情況，在基板上順序的形成 各層。 電洞注入輸送材料可以選自銅酞菁，四（t - 丁基）銅酞 菁等之金屬酞膂類和無金画酞菁類，暗0丫酮化合物，1 , 1 _二（4 -二-P -甲苯氨基苯）環己烷，N , N '-二苯-N , N ’ -二 (3 -甲棊苯）-]，1 -二苯-4，4 ’ -二胺，N，N 1 -二（1 -赛基）- N , N ’ -二苯-1，1 ’ -二苯-4 , 4 ’ -二胺類等之芳香族胺条低 分子雷洞注入輸送材料或聚（P-苯乙烯撐），聚苯胺等之 高分子電洞輸送材料，聚硫笨低聚物材料，和其他已知 之電洞輸送材料。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 作為發光材料者可以使用9 , 1 0 -二芳基憩，茈，暈苯 ,龙，紅镂烯，1，丨，4 , 4 -四苯丁二烯，三（8 -陛啉蘇長 岩）鋁錯體，5(4-甲烷-8-睹啉蘇長岩）鋁錯體，二（8-特啉蘇長岩）鋁錯體，二（8 - »啉蘇長岩）鋳錯體，三（4 -甲烷-F,-三氟化甲酯-8 - i f啉蘇長岩）鋁錯體，二（2 -甲烷 -1 9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 42098^ A7 B7 五、發明説明（d ) -5 -三氟化甲酯-8 - Hf啉蘇長岩）[4 - ( 4 -氰基苯）笨酣鹽〕 鋁錯體，二（2-甲烷-5-氛基- 8-Pf啉蘇長岩）〔4 - (4-氰 基苯）苯酚竊〕鋁錯體，Η ( 8 -睹啉蘇長岩）航錯體，二 丨8 - ( Ρ -對甲苯磺酰）氨基if啉〕鋅錯體和鎘錯體，1，2， 3 , 4 -四苯環乙烷，五苯環乙烷，聚-2 , 5 -二庚基羥-卜苯 乙烯撐，香豆素糸螢光體，紫蘇烯糸螢光體，毗喃条螢 光體，聚_条螢光體，聚非林条螢光體，時吖_条螢 光體，N，N ’ -二烷基置換陴吖_条螢光體，萊二甲酰亞 胺条螢光體，N , N 1 -二芳基置換毗咯条螢光體等，該等 可以單獨使用，或與其他之低分子材料或复分子j〇U| 〇 作為電子輸送材料者可以使用2 - ( 4 -二苯）-5 - ( 4 - t - 丁 苺茱）-1，3，4 -噁二 _，2 , 5 -二（1 -萘基）-1，3，4 -噁二唑 ，和以換田方式等合成之噁二睥感應體（日本化學會誌 ，1 5 4 I) W , 1 9 9〗年），和二（1 0 -羥基苯并〔h〕W啉蘇長 岩）被錯體，以及被掲示在Η本專利案恃開平7 - 9 0 3 6 0號 公報之三睥化合物等。 有機Ε I,媒體餍2 1可以利用真空Μ箸法形成，其厚度在 顆屑或多_之仟俩一禪情況時，最好均為〗# «I以下，如 為ϊί (】至1 Γι 0 n in更佳。 作為陰掙線之材料者最奸使用電子注入效率較高之物 質。實質上，可以使用鎂（Mg),鋁（A1)或鏡（Yb)等之金 腸單體，或是在與有機EL媒體接合之界而包夾lnm程度 鋰，氧化鋰，氟化鋰等之化合物，使用高穩定性和導電 -2 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） L T Is , m- ^^^1 urn ^tK nn In u m. nn~iJi il^i ι^ϋ nt^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 420964 B7 五、發明説明（β ) 性之鋁或銅之積屑。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 或是，為箸兼具電子注入效率和穩定性，作為陰楝線 之材料者可以使用低工作函數之金屬（例如，L i，M g , C a , S r，！, a，C e . K r , K ti , S c，Y , Y h 等）之 1 練以上， 和穩定之金屬（例如，A g , A〗，C u等）之1種以上之合金 ,例如可以使用M g / A e合金，A丨/丨,i合金，C u /丨,i等。 , 在陰樺線之形成時，依照所使用之陰極材料，可以使 @電附加熱蒸著法，電子射束蒸著法，反應件蒸著法， 、 » 離子電鍍法，濺鍍法。陰極之厚度最好為10nm至1#用程 _ _ —. - — ^ 度。 最後，如第7 A和7 B圖所不，依照一般之方式形成密封 B 2 3 „該密封層2 3可以防ih由於水分或氣氣所诰成之陰 择線或有機ΙΠ,媒體2〗之劣化。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另外，使紅U ),緣（G ),藍U )之彩色過濾器層形成 在透明電極之下部，使用白色發光之有機E L (發光）媒體 可以穫得彩色顯示器。同樣的，在透明電楝之下部形成 紅，線螢光變換膜，即使使用藍色之有機E L媒體時亦可 以達成f彩色化„在這情況，因為存在有多個隔壁， 所以使用光罩蒸箸法可以使各色之E L媒體完今區分的積 層，，在痦_情況，光罩和有機E L媒體層不會接觸，而且 K I.媒體亦不會擴散。 在第1電楝為陰楝，第2電楝為陽極之情況時，利用 丄述之方法可以製造本發明之有機E L顯示元件用基板和 使用該某板之有機）? L顯示元件。 -2 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（/ ) F而將黎照第9 Λ _牵第1 2 B圖用來說明第1 _所示之 本發明之有機K L顯示元件用基板之製造方法之較佳實施 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 例。 首先，利用第5 Α和！ί R _所説明之方法，在支持體丨1之 之上形成多铜條帶狀之第1電楝線（在木實例中為陽楝 線）U (第9 Α鬪和第9 Η圖）。 其次，如第10Α和10Β阖所示，在支持體11之第1電楝 線1 2侧之表商（上而）上，令而的塗布負型光抗蝕劑層3 2 其中包含有第8Α_ ~第8D圖所說明之UV吸收性物質或色 材料。 在漆布負犁光抗蝕_層3 2，進行事先烘烤後，在塗布 隹犁光杭钟劑餍3 2之表而上裝載光罩4 1其中具有多値光 透過部4 1 a所具有之形狀對應到包含遮蓋部之隔壁之頂 而形狀。然後，照射UV光42，對具有形狀與包含遮蓋部 之隔壁之頂部1 3 2 (參照第3 _)之形狀對應之®域]3 2 ' 准行曝光。瘪時，ϋ V光4 2以如上述之方式，從光抗蝕劑 層3 2之表商起到達一定之深度，使該部份被威光，由於 _!i v趿收株物皙或色材料；> ’ ϋ V光$能到滓 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 與各摘頂部柙赏之區域1 3 2 ’之下側殘 留，所以稱為表@曝光。 然後除去光罩4】<> 在依上述方式進行表而曝光之後，如第Π A和]1 B圖所 示，在支持體U之背而，裝載光罩4 3具有多個光透過部 4 3 a其形狀對應到隔壁之底而形狀。然後，從背而照射 -2 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 420964 A7 B7五、發明説明（>1 ) 第 照 參 ί 部 底 之 隔 與 狀 形 有 具 使 來 用 4 4 光 底 之 圖 述電 上 1 如第 亦之 時明 這透 C 和 光11 曝體. 行持 進支 ,3忡 130 域透 區光 之該 應·# 對透 狀光 形ι)ν 之 ， 3 式 U方 部之 之色 内或 2 Γ 3 質 1 物 劑性 蝕收 杭吸 光 ；=: 達被 到為 而因 背 ， 之光 32烕 層份 劑部 練該 杭使 光 ， 從度 ，深 2 1 之 線定 稱一 3 1 ix 域體 區持 之支 當從 相為 部因 底光 與曝 使該 t ο 部留 深殘 逹的 到態 能狀 不光 以曝 所未 ，為 收成 趿部 料上 糾之 光 曝 而 背 為 稱 C 以43 所罩 ， 光 光去 曝除 商後 背然 之 當其 相對 部體 底液 和像 2 顯 3 ! 1 用 域 穷 SJ *4— 區 ， • 2 當 3 相層 部劑 頂蝕 行杭 漼光 式之 方後 _ 光 這曝 照之 依 3 Λζ Ί. it; 1 對域 Μ 從向 份方 部横 f 、7. /i 曝進 未亦 之倒 32下 層之 劑 2 蝕13 杭域 光區 使當 像相 顯部 該頂 用在 利 ， 。解 像溶 顯商 行表 准其 域1.0 , * ft 當 1 月 3 本 1 部而 底斜 建傾 到之 在斜 , 傾 解為 溶成 之曲 彎H 中而 途 ， 之丨 端 兩 商 上 之 第 照 參 亦 圖 除 解 溶 被 亦 部 光 曝 未 部 底 之 外 以 1 3 域 區 之 當 相 部 底 與 之外 狀另 形 。 示部 所擺 圖下 3 有 第具 和部 圖下 2 在 第 ， 有部 具蓋 個遮 多有 成具 形部 來上 一 在 眈 ， 如13 ο 壁. 去隔 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 的 開 隔 相 互 成 示 顯 C 被伸 13延 壁向 隔方 個之 各交 ) 正 中12 國線 B 2 極 i P V ί A 1 12第 第輿 在照 ，依 成 β ( 藉光 烤曝 烘而 後表 事' 行外 進另 ♦ ο 射造 照製 UV之 或板 束某 射用 子件 電一兀 以一不 ，顯 後RL 最機 有 it- V./1 淮 光序 曝 _ 光 曝 商 背 和 之 反 相 者 述 1 rj 與 以 以 可 亦 C 光行 曝准 2 時 第同 /|\· W- 可 亦 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ > Ο 1 1 依 照 痦 禪 方 式 9 除 r 對 隔 m 之 頂 部 相 當 m 域 進 行 曝 光 1 外 亦 對 隔 壁 之 底 部 相 當 區 域 進 行 曝 光 採 用 這 種 方 式 1 時 〇r 以 F. 確 的 規 定 下 擺 部 之 輻 度 « 可 以 製 造 圖 素 尺 寸 之 請 1 先 1 分 散 m 化 較 小 之 有 機 E I 顯 示 元 件 〇 閲 讀 1 I 第 _ 表 示 與 本 發 明 之 第 1 較 佳 實 施 例 有 關 之 多 個 隔 背 1¾ 1 I 之 1 壁 之 上 而 圖 5 其 中 具 有 多 個 條 帶 狀 之 連 結 帶 5 1在 下 擺 部 注 意 1 事 1 使 鄰 接 之 2 個 隔 壁 1 3 進 行 2 連 結 如 第 1 3 圖 所 示 以 指 定 項 I 之 間 隔 配 置 多 锢 具 有 第 _ 和 第 3 _ 所 示 構 造 之 隔 壁 13 再 填 寫 丄 本 鄰 接 之 隔 1 3利 用 隔 m 1 3之 下 擺 部 L 亦 m 底 部 13 3 ( 參 頁 1 I 眧 第 1 圃 )之多個連結帶5 1 ) V 相 連 結 0 該 連 結 帶 5 1 9 如 1 1 後 0 所 m 好 m 菁 成 用 來 堉 滿 鄰 接 之 第 1 電 m 線 (_中 1 1 未 m 示 )相互間之間隙， 和覆蓋在鄰接之第1 電極線之 1 訂 對 m JLUI _ 綠 <> 1 U 等 結 帶 5 1 具 有 Ρί 以 有 效 的 防 ih 第 I 電 栎 線 1 2之 側 1 1 tJH 線 輿 第 2 電 楝 線 短 路 Λ 亦 即 1 利 用 隔 m 之 下 擺 部 可 以 1 I 防 ih 第 2 電 栎 側 端 緣 之 第 2 電 m 線 與 第 1 電 稱 線 短 路 » 1 Λ 是 在 使 膜 變 大 藉 以 使 第 1 電 極 線 之 電 m 降 低 之 情 況 時 V I 1 有 機 E ! 媒 am m 層 在 變 厚 之 第 1 電 極 線 之 倒 Uli m 緣 部 m 産 生 % 1 I 破 裂 -- ·?&?· η 有 第 2 電 楝 線 在 該 部 位 産 生 短 路 之 問 題 〇 連 結 - 1 1 帶 [> 1 口 1 以 有 效 的 防 lh 該 破 裂 和 短 路 〇 1 I 第 1 4 Α广 -1 fi R 圖 用 來 説 明 具 有 第 1 a 圖 所 示 之 構 造 之 有 機 1 K 1 顯 示 ττί 件 用 某 板 之 製 诰 方 法 0 1 1 首 先 1 如 第 4 A和 4 fi 圖 所 説 明 之 方 式 1 在 支 持 m 1 1 上 形 1 I 成 第 1 電 楝 線 1 2 , 在 m 布 Η 有 ϋ V吸 件 物 質 之 員 型 光 1 1 1 -2 4 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 4 20 9 64 A7 B7 五、發明説明（4 ) 杭紳_膜3 2之後，淮行上逑之曝光。其次進行背面曝光 -所使用之光罩與第U A和1 1 B _所述之光罩不同。 亦即，在本實施例之情況，當進行背而曝光時，如第 1 4 A和1 4 B圖所示，使用光罩4 3 除了具有形狀與隔壁之 底部m對應之多锢光透過件窗4 3 a外，更具有形狀與連 結帶5U (參照第1 3 對應之多個第2光透過性窗4 3 b。該 第2窗4 3 h幕奸被設詈成用來使鄱接之第1電極線1 2之 間之間隙，和該等鄰接之第1電楝線1 2之而對側端緣部 U a，〗2 h之對應區域産生曝光n 使闬該光窠43'准行第UA和llfi_所説明之背而曝 光。用來使光杭練劑膜3 2之與底部柙赏之區域1 33和與 裨結帶相當之區域51 ’進行曝光。 然後，利用丄述之顯像，如第1 5A和1 5 R鬮所示，用來 權得上部具有遮蓋部，下部具有下擺部，而Μ在下擺部 利用多病連結帶5 1連接之第]3 _所示形狀之多個隔壁】3 。如上所示，因為各個連結帶5 1形成覆蓋在鄰接之第1 窜櫸線〗2之商對之側端緣〗2 a， 1 2 b ,所以可以完f防ih 後來形成之第2電楝線在第丨電樺線1 2之側端緣i 2 a， 1 2 h痒生短路。 最後，依照上钵之方式，照射電平射束或丨IV藉以進行 塞後烘烧，闬以完成有機K丨,顯示元件用某板之製诰。 第1 (; Λ阚牵第1 7 B圖用來説明具有第1 3 _所示構造之有 機Κ丨，顯示元件用基板之另一製造方法。在這禪情況，在 支持體U丄形成彩色過濾器，當背而曝光畤利用該等彩 -25- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 420964 B7 五、發明説明（>4 ) 色渦濾器作為光罩。 亦卽，首先，如第16A和} 6B_所示，在支持體11上， 利用通常之方法形成實質上在各個平而為短形之R . G . B . =色之彩色過濾器,排成行列狀在其相互間産生有格 子狀之間隙。然後，以覆蓋彩色過濾器之方式，在支 持餺〗1之前商f體形成外塗膜層β 2 ^如該領域所習知之 方式，外毕膜IP ft 2之目的是用來使用表而平坦化和保護 彩色過濾器U 1 ,可以以透明樹脂形成。在該外塗膜層6 2 上肜成第1電摔線1 2 各個第1電極線1 2如第1 β A _所 示，掙蓋在彩色過濾器fi 1之1锢列方向之鄰接行之各個 彩色過濾器fi 1 ,而目其幅度大於彩色過濾器列之幅度。 因此，各個第〗電栎線1 2形成所具有之間隔比彩色過濾 器之列間之間隔狹。 然後，塗布包含有丨)V吸收性物質或色材料之負型光抗 蝕劑_ ,進行表而曝光，在使隔壁之頂部相當區域1 3 2 曝光後，不需要使用另外之光罩，可以利用彩色過濾器 fi丨作為光罩，淮行隔壁之底部相當®域1 3 3 ’之背而曝光 „這時，因為！ I V光透過彩色過濾器（Π間之格子狀間隙部 位：所以不W是光抗蝕劑層3 2之隔壁之底部相當匾域1 3 3 ，而目存_結帶相當區域51 ’亦被曝光。 然後，如第1 7 A和1 7 Β Η所示，以與上述者冏樑之方式 淮行顯俾，藉.以横得隔壁1 最後，照射電子射束或II V藉以進行事後烘烤，用以完 成有機1Ϊ丨.顯示元件用基板。另外，第】曝光和背而曝光 -2 6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） I-----.--X --------1T------C、、· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 420964 B7 五、發明説明（<) 亦可以以與丄述者相反之順序進行，亦可以同時進行。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第18A牵圈是概略剖面圖，用來説明用以製造具有 第1 _或筚所示構造之有機1U,顯示元件用棊板之另 外一榑方法。其中之2次曝光均為表而曝光。 亦即，如第1 fU圖所示，在上述之支持_] 1上形成第 1窜椒線.然後在其j :磙布包含有丨! V吸收性物質或色 材料之負犁光杭蝕劑層3 2 ,進行表而曝光，用來使隔壁 之頂部相當匾域U 2 ‘進行曝光。然後，利用顯像液對該 光杭__劑騎3 2進行現象牵中途。亦即，如第1 8A圖所示， 該顯俛一苜進行牵從上商觀察時隔壁之下擺部從遮蓋部 之前端突出，光抗蝕劑層3 2在與隔壁相當之區域間被連 _薄膜化後之狀態，亦即，形成殘留有連績薄膜部5 1 1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 其次，如第]8B_所示，從第18 A_之構造之上商裝載 光罩7 U該光罩7】具有幅度與各槪隔壁之底部1 3 3 (參照 第2丨_)之幅度相同之縫隙狀光透過部7〗a，另外，光不 诱過部7 1 h位於連鑛薄膜部5 U上。最好，該光罩7 1亦具 有樹裨結帶5丨（參照第1 3鬪）相當之光ί香'0部（圖中未顯 不U在痦禪情況，連_薄曙_部JU 1之中 為溥結帶1彳之厚度„常使用該光罩7 1從支持體丄商曝光 (箭0 7 2丨時，因為頂部相當區域U 2 '亦具有作為光罩之 作用，所以可以蔟擇件的對隔荜之與前端部相當之連績 薄膜部5 1〗之區域5 1 1 a進行羅擇性之曝光。 然後，對第1 〇_所示之構造進行顯像，用來形成具 有第丨圖或第1 3 _之構造之隔孽1 3 (第1 8 C _)。 -27- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（4 ) 第1 9 A歪1_ 9 !)_是剖而圖，用來說明本發明之有機電致 發光顯示元件及其製造方法。 如第I 9 A _所示，準備具有第U圃所示構造之有機電 致發光顯示元件用基板8 0 „ 其女，如第1 9 B圖所尹，牵少在隔壁1 3間形成有機F,L 媒體2 U在第1 9 B圖中，以箭頭2 1丨表示有機R丨,媒體之蒸 普射束„使接板8 (1旋轉同時進行該蒸箸。在第丄9 B圖中 ，Μ著射束2 1丨指向支持體丨丨之大致垂苜之方=利用 該蒸箸使有機E1,媒體21形成在隔荦13之間和鄰接隔壁13 之ffii對下擺部上，和形成在隔壁U之頂部上。亦即，有 機1U媒體由於隔壁1 3之存在，可以與蒸著同時的進行_ 型製作。 其次，如第、1 _南示，至少Off隔壁1 3間形成第2電極 — --- -、 線2 I齐此_第1雷腸極，一第2電極線2 2為陰 栎』 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 之 轉 旋 ο 8 板 基 使 在 是 奸 最 2 2 線 楝 電 第 之 " 掙成 陰形 '行 外 准 另時 同 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 彳電 指 1 οώ 22第 束使 射向 料方 材之 掙斜 電傾 2 成 第形 將80 , 板 時基 同對 之以 轉為 )®Ε 8 , 板 _ 某 f _ 板 存媒 向 機 有 2 , 2 之 束間 料荦 材隔 栎在 板 某 達 到

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Ef在極 機存電 有之 2 之13第 上壁 , 部隔來 頂有一 之於此 3 δ Π 1 ί ¢.- 辟十 2 ο 隔線作 在極製 成電犁 形 2 圖 亦第被 H. ，的 而即時 ， 亦 同 L 。 覆 之上被 部 iN 與 擺21以 F 體所 之媒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 Λ7 Α7 Β7五、發明説明（β) 線2 2在隔壁Η間，形成與第1電極線彳2完f隔離之狀態。 而 C 氣231’ mp2 或封束 分密射 水之料 於常材 由涌；封 IK成密 防形射 _ 以照 為所而 , 今 後化 , 最劣時 體同 屬之 EI轉 機旋 , ο 有 8 或板 棟基 陰使 使在 被 與 3 2 層 封 密 該 線第· 掙在 電 ， 2 部 第頂 蓋之 覆13 間壁 3# 1 壁在 隔和 在 ' 部 作擺 0 f 犁之 0 1 被荦 的隔 fnl成 脔形 第 和 2 體 E 機 有 在 成 形 亦 部 頂 壁 ο 隔而 和側 h 之 2 2 2 2 線線 栎樺 電電 第第 照之 β 明 將發 而本 。 下明件 説元 第 0 來示 用顯 法及 方板 造基 製用 該件 據元 根示 ，顯 0 ^ ϊ ο 機 有 之 商 方 之材 樣色 同或 η質 體物 持性 支收 之趿 述UV 上有 輿 含 在布 ,锥 示而 所章 圃其 ΑΑ於 2 第:, 如|| 11. 4 9 先 _ 首待 支 抗 光 型 負 該 。 C.同 燥相 乾32 行層 進劑 後钟 然杭 C 光 οώ 1 型 If 負 之 述 1: 與 2 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 0 0 0 抗 光 型 # 0 之酬 料練 示 示 所顯 _ 未 中 2圖 第(Γ 如罩 次光 其,> 部 過 透 光 之 間 之 當 適 有 具 用 使 成 形 來 用 像 影 和 光 曝 V 17 准 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 電 1 之 9 狀屬 帶劑 條蝕 9 緣 絶 有 含 杭時 光光 型曝 負在 在以 為所 因 ， , 料 況材 情色 稗或 這質 在物 C 件 J—· 收 吸 質 物 91件 屑收 劑吸 0 ^ 抗被 光為 從冈 , 光 份 部 之 度 深 定 1 到 光 is 商 表 之 部 深 逹 到 能 不 以 所 收 吸 料 材 色 假 ΠΕ 態 狀 光 t 除： 曝2,被 未 CX 部 為 _ 光 成劑曝 部練未 下抗是 眈光{0 因在 , . '留 0 而 寿 去 fft^^T 二’ _解_ "打容# iiM 條 # ί冑 在 選 ί. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（>〇 以形成如销2 I) B圈所示之倒傾斜狀之霜絶緣層9 1 3 β (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次如第2 0 C _所示，在形成有電絶綠1 9 1 3之支持體 9 1 1之表而兮醭形成導電件材料S1 4 ^作為該導電件材料 者最好使用Φ屬材料撰自N i， C 11，C r， F e， C 〇，A u， A g ，P t. , R h , P d , P h , S n或包含有該等金屬元件素之1種 以丨：之合金導電性材料餍JH 4之形成可以以濺鍍法等 准行。 如第2 η (:圖所示，導電材料層9 1 4連績的形成在電絶緣 _ 9 U間之支持體9 U之表而上和電絶緣層9 1 :〗之頂面上 „存雷絶緣屑9〗3成為倒傾斜狀之情況時，導電件材料 層91 4存鄯接之電絶線層9 1 Η之間寶質上形成條帶部份9 1 4 a ，在輿雷絶緣屑91 3之锎商之柙形成有間隙9 1 5。導電性 材料肩ΪΠ 4之條帶部份91 4 a經(*電絶緣層上之部份5U 4 b 和形成在該等之間之薄階段部91 4 c形成舊續。 其次，為箸形成蝕刻導電性材料層91 4用之光罩，所 以如第2 η丨)圖所示，在導電件材料層9 1 4上形成光杭蝕劑 解 9 1 0。 然後，對光杭蝕酬層91 fi進行加工，在形成指定之蝕 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 刻光罩後，猙由對導電件材料層91 4淮行蝕刻用來形成 導窜忡_流排線、痦時該導電件爾流排線91fi只在一側 槔觸雷絶綠層9 1 3 (黎照第2 n F圖）。 眈稀導霄忡陳流排線9 1 8只在其一御丨與電絶緣_接觸 成為太發明之較徉形熊之一 Λ為轉宵現此揮形態，如第 2 (ms丨所示，常對光杭鈾劑層9 Hi進行加工藉以形成光抗 -an-本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 420964 A7 B7五、發明説明（々〉 型 111 劑 導 域 區 之 間 之 3 9 層 緣 絶 電 之 接 鄰 在 ®料 料材 材件 性電 窜導 在 蓋份 覆部 部之 端上 J 3 U 9 層 其 縐 " 7r絶 9 電 層和 rffl. C 劑 4 &«9 杭部 光梯 之階 上之 部 梯 皆 ep. 使 端 侧 1 另 其 在 部 端 側 .> 此 在 ο 出 露 、i l· 4 夕 910P 層在 料 材刻 性蝕 霄行 導准 對4C 當 9 態部 狀梯 粳階 時 刻 蝕 行 之 出 露 由 蓋 覆 型0 劑 蝕 杭 被 之 方 在 可中 !,其 却 8 私 1 0 9 行線 准排 不流 C#. 4 β 9 件 部 窜 梯導 階成 之形 0 如 以 殘 以當 可相 C 1 4 示 9 所部 圖梯 OF階 〇·〇 胬 部 端 倒 之 3 1— 9 層 綠 絶 霄 之 中 下 )|11 2 第 •C 侧 以nc Ac 部 之 絶 °*可 賴 接 91為 線奸 徘最 流侑 瞬 m 件霄 電其 導 ο 個低 各 5£： 可下 儘以 阳 Ω ο 窜 ο It 之 間 端 兩 其 使 奸 最 為 如 下 以 Ω 線 排 流. 匯0 各 率 過 透 之光 K 保 確 箸 為 是 似 c 桂 Ϊ .Ψ F / 1 1 以之 2 · 度 / lew i— ·υ- 之之 度線 幅極 大電 最 丨 之第 素在 _ , 是 外 奸另 最 C: 度 徉 ΙΙΦ' Η·\ Τ 為 如 以 線 之 下 以 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

，tT 匯 9 搁線 各排 為流 因 0 , 倘 時各 'M);1一 低之 很度 為幅 成大 能最 不之 阳素 電 _ 之：£ 8 1 有 具 奸 最 線 排 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 成形 形好 奸最 θ取 1r 度 9 * 1 *5ii. A 8?r --1- 9 Μ 線個 排各 匯外 個另 各 , , 度 外 高 另之 C i 度以 一,sm rfM y之1 寬為 9 制 _ 限 緣以 絶用 霄ih 與防 在箸 战為 梯 ’ 被外 成另 而 平 之 同 相 -* 質 W 商 頂 狹 變 角 野 視 之 向 方 射 放 光 屬 π Π 5 Π 金 成i.之 形帛體 奸.7 1㊣銅 線電m 排 1CIB 流第 Ω μ 於 T 個對2F 各 >.為 以 如 數 所例俗 , m χί χ< 雷之 。有 C 度具 ？ 高用 之使 r當 以 ， 度 長 成 形 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ >]〇 ) 1 1 m 流 排 線 9 1 8之情況， 在使W流排線9 1 8之幅度 成為柑 當 1 丨 於 m 素 度 之 1/4 之 2 5 β m , 和使高度成為5 a m時，則 1 m 流 排 線 9 1 s之兩端間之電m俏變成為1 η歐姆稈度。因 r*—-V 請 1 先 1 Hi. m 如 m a 由 m_ 化 合 氣 化 物 (i T 0 )構成之1 電 閲 讀 1 I 線 數 苗 分 之 1 之 電 m ， 可 以 用 來 防lh由於 第1雷 極 背 1 I 之 1 、之 R3， JSL JCL 1告 成 能 顧 j.ta m '失 〇 注 意 1>| I ¥, 外 存 樹. 各 铜 m. 霉 件 m 流 排 線 9 1 8之支持體ίΠ 1接 合 事 項 1 I iWi > m 奸 1 11» 光 M- φ m 氡 化 物 層 (丨国中未顯示）。 利 再 填 % X 本 用 .-1.- m 襌 方 式 9 在 各 俩 導 電 件 W-. 流 排 線 91 8具有作為黑條 頁 S_^ 1 I 帶 ；> 功 能 ， 經 由 防 (h 外 來 光 之 反 射 可以提高 E L顯示 元 1 1 件 對 H：, 〇 * 1 1 在 依 丄 方 式 形 成 購 流 排 線 9 1 8之後，如第2 0 G圖所 示 1 訂 i~3 萌 奸 利 用 m 鍍 法 形 成 透 明 導 電 膜 9 2 〇藉以構成第1電極 1 線 Λ 请 時 ，· 由 第 2 0 F圖可以瞭解， 因為雷絶緣層9 1 3在 形 1 I 成 m 禅 斜 m 狀 之 上 部 構 成 蘇 m 部 1 所 以其一方 之側端 部 1 1 9 1 3 Η m 形 成 谢 m 雷 袢 1« 流 棑 線 捞 觸 > 怛是另外 一方之 倒 1 Λ 端 部 3 1 Η A 側 不 與 ύ Μ 件 爾 流 棑 線 接 觸 (在與_流排線3 1 8 V . | 間 m 成 有 間 m 9 ) 所 η 當 形 成 W 明導電膜 時在側 .UIJ 'x 1 I 部 i H A Μ 被 切 撕 <> 闵 牝 該 诱 明 電 梅 膜 9 2 0在其形成之同時 1 1 然 被 Ν 製 作 η 利 用 请 榑 方 式 不 需要之另 外進行 透 1 I 明 導 窜 膜 之 圖 製 作 (圑型製作丁稈可以省略） 。因丨比 > 1 1 不 由 於 對 透 明 m 電 m 准 行 蝕 刻 時 之 蝕刻液而 産生導 電 1 1 件· m, 排 線 9 1 8之腐蝕〇 1 I 另 外 ·> 蹲 明 m 電 m 9 2 0亦可以以與上述之第] 電楝線 1 1 2 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（W ) 1 2同樣之電椒材料構成。 在形成透明導電暌Π 2 (丨之後，利用由樹脂等製成之電 絶綠物質3 2 ?充堉在雷絶緣層fH 3和鄰接之導電件_流排 線夕間之間隙ίΗ 9 ,搞以形成木發明之第2方而之有機 κ I, _示元件用棊板（#照第2 η η I国U 由以丨：之説明可以瞭解，本發明之有機R丨,顯示元件 用某板配詈有多個互栩隔開之第1電掙線9 2 (1，導電件 _流排線9 1 8形成實質上與第ί電稱線9 2 0平行的延伸。 另外，第〗電栎線9 2 0被配置成為與支持體9Π具有間隔 (因為存在有電絶緣層9 1. 3 )，而目其一方之側端部（只有 該一方）在與其鄰接之〗解導電件_流棑線918之表面上 延仲。依照请禪方式，經由使各個第1電楝線在形成於 专持體上之導霄件_流排線9 1 8之較寬廣之表而丄延伸， 可以滓成使第1電棒線9 2 ()之電闸更進一 Φ的降低，可以 使有機K丨,顯示元件之驅動霄懕降低。另外、依照木發明 時，第1霄楝線因為在其形成之同時被阖像製作，所以 不需要利用顯刻液進行圖型製作„ 其次，如第2 (Π阖所示，在與第1電楝線交叉(最奸為 ιΗ交）之方向，利用通常之方法形成有機E L媒體層2 1和 与相隔開之第2電極線；i 2，然後利用離子電鍍法等形成 密：Μ屑2 3，籍以完成有機KL顯示元件之製造。 佝是，在木發明之有機Ε I,顯示用棊板，最奸依照與第 1電栎線交义（YF交 > 之方向形成有機El,媒體和第2電棒I 線，同時設詈多個隔壁躲以同時准行圈型製作。該等隔 -3 3 - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公嫠） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 2 Ο 9 ο 4 Α7 Β7 五、發明説明（》) 崢之形成如第η η圖所示在有機e丨,顯示元件用基板上互相 隔開和依照輿第}電栎線9 2 0交叉（最奸為TF交）之方向 紙伸。各個隔牮亦坷以形成倒傾斜狀或τ字形，但是最 奸彬成具有太發明：> 糖蓋部和下欏部之隔壁„ 在本務明之較诖態樑中，該隔壁如第2和3 _所示， 在丨部具有賻蓋部.在下部具有下擺部„最奸是使多個 隔磲如第丨η圖所示，具有多锢連結帶用來使鄰接之隔壁 在其卞欏部与相溥結ρ 第21Α和2“_表示在第20Η_所示之基板上具有隔壁 1 3之本發明之有機E L顯示元件用基板。第2 1 Α圖表示與 第2 U A〜2 Π I _相同方向之(剖面_)，第2〗B同是與第2 1 A圖 FF交之方向之剖而丨國〇各倘隔孽U ,在上部具有遮蓋部 1 Η 2 a , 1 3 '1 h ,在下部具有下擺部1 :KU , 1 3 3 b ,和依照與第 1電榉線9 2 n TF交之方向延伸p 依照痦榑方式，在形成隔荦之情況時，塗布在支持體 f:之隔檗形成用之角犁光杭蝕劑（例如，參照第8 A (1(之 光杭蝕劑_ )木身，為0然的埋入到電絶緣層9 1 3和 _接之灌電件闺流排線之間之間隙ίΠ 9 ,所以不需要預先 以電絶緣物質充悚該間隙9 1 9 (參照第2 Ο Η圖U在這種情 況，間隙9 1 9之輻度最好為1〜5 0 0 # m。 另外，呉有倒傾斜狀之電絶緣厩91 3之形成原理基本 |瞰該隔壁1 3之形成原理相同。在電絶綠層91 3之情況 時 猙由撲擇顯像之條件可以使下擺部比遮蓋部短。 下商將參照第2 2 _用來説明使用箆2】A和2〗B _所示之 -3 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I---------X、------訂------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本莧) 4203〇4 Λ7 Α7 Β7五、發明説明（w) 隔 有 示 機 有0 製 以 用 板 基 用 件 元 示 顯 K 0 有 a 方 ,> 件 第 在 先 首 之 m 隔 有 具 之 示 所 111 板體 某媒 用R!, 件機 元有 示成 顯形 in 二、 K ^ 機替 有 Μ 空成 舆形 用法 使著 好蒸 最空 ,裒 述以 所奸 前最 先灰 如其 〇隔 層被 封畤 密同 成之 形成 法形 鍍其 電在 * 2 子 2 離料 以材 奸楝 最電 > 2 後第 然和 , 2 22體 線媒 0 Κ 雷機 卩 有 第該 行 彩 進 之 外 。示 另度所 要厚圖 需之24 和 不 „和 A 3 以 1 2 所成第 ,形如 積緒用 堆化利 的氧以 開用可 隔利 < 相以中 互可明 ,23發 型層本 _ 封在 作密 ， M。外 Z 刻¾ 壁蝕 0 器 對0 是 Ί1 画 0 丨 3 之 2 30 圖 1 οώ 9 2 層第 線與 絶是 電 _ 4» 成 2 構第 來 ， 用圖 R 而 之

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機基 有用 辟f 件 隔元 有示 具顯 之κ[, 示機 所有 圖壁 2 , Π有 Αί具 21.之 第痛 與對 和板 ,« 板用 某件 用一兀 件示 元顯 • L 示 E 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 板 IV 機 有 之 而 方 3 第 之 明 發 本 明 説 來 用 W 5 2 第 照 參 將 而 絶 件 光 透 之 等0 if 璃 玻 Μ 石 闬 C 和 板 ' 某示 用所 件一I 元25 示第 顯如 料 材 明 透 為 奸 最 第 之 狀 帶 條 搁 多 有 料有 緣— 楝 陽 為 中 例 實 1’本 1 在 體 ί 持線 支極 成雷 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 之 1 體 持 支 在 A7 420964 B7 五、發明説明（X ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 绵）1 2 „另外.在本持體端和恃園第1電栎線之Μ域之 間之橾域，最奸具備有多個條帶狀之補肋電極線91被設 青成钳第丨電掙線1 ί；隔開。該補肋電楝線31形成從後而 所示之框架9 _2包_之匾域朝向框架9 2之外側，形成與框 架92交叉的延伸，可以被使用作為電掙用來與後而所述 之第2電樺線連接。另外，在第2 5圖中，多個第1電極 線被配詈成互相隔開一定之間隔，和多锏補肋電楝線 9 1被配W成從支持體U之端側之第1電楝線1 2之一方之 側端緣之一定間隔之位置，依照第1電極1 2 ΪΕ交之方向 朝向支持體端方向延仲，和被配置成万相隔開。 該劣倘第〗霄栎線〗2之形成可以經由在支持體1 1之上 術ί形成窜梅材料，然後利用通常之影印等之枝術對其進 行_型製作而形成。在眈處最奸是在第1霄楝線1 2之形 成後，形成補肋電枰線H U亦即，與第1電楝線1 2同樣 的，在夸持體之前商形成補肋電極用之電楝材料層， 利用影印等之枝術對其漼行圖型製作而形成。最好是第 1電栎線12和補肋雷楝線91以相同電楝材料形成和同時 形成β 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 .在第2 5 _所示之宵例中，上述方式之第1電極線丨2因 為構成陽掙，所以作為雷樺材料者可以使用上述之透明 之遵霄忡材料，最好使用_錫化合氣化物U Τ 0 ),銦鋅 化合氣化物，鋅鋁化合氧化物等。另外，補肋電楝線9 1 之材料亦可以斑第1雷掙材料相同„ 泫笨锘梅；Μ料pf以經由濺鍍法覆蓋在支持體1 1上。 -36-* 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210Χ297公釐） 420964 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 1 另 外 框 m 9 2 包 闊 形 成 在 支 持 am 11 上 之 多 傾 第 1 電 極 1 線 1 2 ， 和 包 園 依 照 與 電 m 線 1 2 交 叉 之 方 向 V 相 隔 開 延 伸 1 之 多 倘 隔 m 1 3 〇 框 架 9 2 最 奸 被 配 置 成 與 第 1 電 m 線 1 2交 r·—S 請 1 先 1 ' 和 使 第 1 霄 榉 1 2延 伸 到 框 架 92之 外 側 0 另 外 9 在 形 聞 讀 1 成 有 補 肋 電 m 線 9 1 之 較 样 形 態 之 情 況 時 框 架 9 2形 成 與 背 面 1 I 之 1 補 電 線 9 1 交 叉 » 和 補 肋 電 極 線 9 1 從 框 架 9 2之 内 側 朝 注 意 Ί 向 外 m 仲 rTri 出 〇 事 項 1 | 為 m 形 成 隔 13和 椐 架 9 2 最 奸 使 用 上 述 之 本 發 明 之 再 填 % 1 本 方 法 ο 頁 1 I 利 用 ! 方 法 可 Pi 使 用 相 同 之 材 料 同 時 形 成 多 個 隔 1 1 1 ;i和 1 個 〆. 框 架 9 2 〇 此 種 隔 1 和 / 或 框 架 92之 形 成 1 1 亦 以 以 不 相 同 之 材 料 形 成 另 外 亦 可 以 利 用 相 同 之 1 訂 料 分 別 的 進 行 ' 但 是 最 奸 E3 AF 採 用 上 述 方 式 之 以 相 同 材 1 料 同 時 進 行 〇 1 1 在 形 成 隔 m 1 8 和 框 架 9 2 時 y 除 了 丄 逑 之 方 法 外 > 亦 可 1 I 以 採 用 該 铕 域 之 習 知 之 方 法 pg <·Λ\ 該 等 之 組 合 之 方 法 可 以 1 丄 伊 隔 1 3和 / 或 框 架 9 2之 各 個 部 份 形 成 多 樣 之 形 狀 〇 如 第 2 ΪΊ _ 所 示 ? 該 多 m 隔 1 3 最 奸 是 具 有 遮 蓋 部 和 下 擺 部 k I 1 形 狀 > fCJ 是 胡 其 相 對 的 框 架 9 2 具 有 首 侧 而 亦 可 〇 另 1 1 外 在 第 f _ 中 所 示 者 是 隔 壁 1 3 相 隔 開 的 依 照 第 1 1 I m m 線 1 2 > rH ΛΛ 方 向 延 伸 ， 框 架 9 2 是 方 形 形 狀 > 與 各 個 1 1 I m 1 電 線 1 和 各 個 補 肋 雷 楝 9 1 (T. 交 的 交 差 0 1 1 該 等 框 架 9 2和 隔 學 1 3在 昭 /'V、 射 電 子 射 束 或 U V後 被 施 加 事 1 I 後 烘 烤 1 m 以 t=L·* ΤΠ 成 本 發 明 之 有 機 R I 顯 示 τη 件 用 基 板 之 製 1 1 -* 7 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 420964 A7 A7 B7 五、發明説明（4) 诰„其中，隔壁1 3和框架9 2之最終高度最好為1牵5 0 // m。 K而將參照第；i f；圖用來説明本發明之具有框架之有機 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) IU顯示元件„ 如筚2 f; (1丨所示，有機K !,媒體層2〗牵Φ被設在隔壁〗3之 間，在其.〖：形成有第2電楝線2 2。 在丨：钵之掃佳形態之形成有補肋電掙線9〗之情況時， π|‘以使其與第2雷極線2 2葬接。其中，闵為第〗電楝線 1 2為陽極，所以第2霜極線2 2為陰择„ 在框架9 2上裝載框子93。 薷平9 3牵少覆蓋存框架9 2之頂商和框架9 2所包圍之區 域，最好具有從框架3 2之頂面之外側端緣延仲到外側之 部份。在第2 fi國中，蓋子9 3為平扣之板狀，使從框架9 2 之頂而之外倒端緣延伸到外側之部份涵蓋在全周（_中 未顯示）。 蓋平Μ之材料可以使用玻璃或余屬等之材料。 另外，在木發明中，可以使框架和蓋子93所包園之 • - - -—— 空間減圈η利用該減鬧可以減少殘罡在框架9 1 '蓋子9 i ---- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 和安持P 1 1所包園^卒間之Ί分和氣氣），可以I抑制ϋ 2 f極線‘Ζ 2和有機Κ丨,媒歷I」之劣化\存減鼷後可^^入懷1 性氣參 / 利用接箸酬9 4使框架9 2和蓋子93接箸f，尤其是被塗布 接箸劑9 4之場所最奸為框架9 2之外周而β亦即，經由使 接舞賴9 4之塗布場所成為框架9 2之外周商，可以防lh接 箸劑流動到框架9 2之内制之區域，因此可以確實的防It： - 3 8 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 420964 A7 B7 五、發明説明（W ) 其接觸在第2電樺線2 2或有機媒體2 1。蓋子9 3之最伟 形態具有從框架9 2之頂而之外側端緣延伸到稍徹外側之 部份.在眈稗形態中，因為形成包阚匾域（由從框架9 2 之陌而之外糊端線延伸刹外糊之蓋子端部之下而，框架 9 2之外周丨两，和框架9 2之外制之支持體丨：而所包圍之區 Μ ),所以綷由在該原域维布接肴劑，可以使接箸劑9 4 不宵流_剁框架9 2之内倾匾域，和可以將支持體1 1 ,框 架92和薷子}»3接餐成一勝。在第2fi國中，所示者是接# 劑9 4被磙布成為涵蓋在框架9 2之兮體外周而。 作為接-轉劑9 4者亦可以使用通常之常溫硬化型樹脂， 為转有效之接箸，最奸使用硬化速度快速之U V硬化樹脂。 祀木#明之—有」κ!, 元件J基板中，因為在_支„挂_農 上栢先形成框架，所以R需要裝載平坦之蓋子3 3就可以 很簡便的覆蓋第2霄掙線2 2和有機E丨，顯示元件2 U另外 ,利闬預先形成之框架存在，當裝載蓋子時，可以 擀译誤使接觸在第1霓栎2 2 „ F而將說明木發明之宥旃例„ 齊施例1 在木筲施例中，利用第4 A阖牵第7 B _所説明之方法， 闸來製诰有機ΡΛ顯示元件用苺板和有機FJ,顯示元件。 首先，利用濺鍍法在破璃支持體〗】上形成第〗雷楝線 用之.1 T 0層。然後，為著提高诱明件和導電性，在空氣 Ψ准行J)丨！熱處理用來使I T 0結晶化。 其次，利用影印和濕式蝕刻用來對丨T 0進行圖型製作 -3 9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > A4規格（210X297公釐） k . Γ L ,4 ΛΜί. ftnn flu -^—^1· mt fl··^— «4—fl^ n nflu 1^1 n^^l- tut—、-ηΑ ^^^^1 nm— Ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 420364 A7 B7 五、發明説明（W ) ，鉍以形成第1電楝線1 2 (參照第4 和第4 B _ )。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在形成有第1電掙線1 2之支持體U上塗布具有撤粒子 石墨黑色材料分散之負型威光件樹脂，在事先烘烤後， 准行曝光，顯像和事後烘烤轉以形成具有耱蓋部和下欏 部之隔禪Μ ,用以製造成為本發明之有機Ε I,顯示用基板 ('參照第ft Α圃和第5 Β _ ) ρ 其次，作為有機R 1.媒_ _ 2彳者，依照銅酞菁，N , !Τ -二（1 -赛某）-Ν , Ν '-二苯-1, 1 1 -二苯-4 , 4 1 -二胺，三⑦-Bf 啉 榦長岩）鋁錯體之順序，分別以2 0 η πι , fi 0 n ，7 0 rt m之膜 厚准行宾夺Μ箸，其次作為第2電楝線者是使基板旋轉 丨ff!時進行Λ丨之真空蒸著（參照第fiA和6Β圖），然後對氣化 緒准行1 A m離子電鋳用來形成密封層2 ^藉以製成本發明 之有機1U顯示元件（參照第7 A和7 B圖）。 使用本發明之隔舉准行K L媒體和第2電極層之蒸箸之 後之S Ιί Μ照Η如第2 7圖所示。由第2 7圖可以瞭解，在隔 筚間將Κ1,媒體和第2電栎_犁製作成為條帶狀，和使 第Ζ電極線之兩側之端之部份延仲到吸光件隔荜之下部 之下擺部之丨：，和完伞覆蓋R L媒體。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 所镌得之有機（U顯示元件因為使第2電掙線完全分離 ，所以不胄有第2電榉間之短路。另外，即使使驅動電 曝丨升到V以上時亦未觀察到有第2電極線端之元件 短路。 實施例2 使闬三建氤条有機II V吸收性物質用以代替檝粒子黑色 -4 0 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS > Α4規格（210X297公釐） 420 96 1 A7 B7 五、發明説明（巧） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 石墨，其他之部份與實施例1相同，用來製成有機K L顯 示元件用某板和有機K丨，顯示元件。所獲得之顯示元件用 苌板之隔壁之SEM照片如第所示。圖中顯示該顯示 兀件Μ有宵旅例之元件相同之件能。 實施例3 使闬餺酚糸之红色，锎酞醤条之線色和ϋ色之3色之 混合色材料，闬以代替微粒平黑色石擧，其他之身份與 宵脚例1相同s闬來製成有機顯示元件用某板和有機 κ I,顯示元件。該顯示元件具有與實施例1之元件相同之 件能。 實旃例4 在利用與實施例1柑同之工程所製成之隔壁〗3之大致 兮而照射電子射束或ϋ V後，進行1 5 0〜3 G (3 °C， 1 0〜1 2 0 分鋳之事後烘烤，用以製成本發明之有機E L顯示元件用 蘇板„另外，利用與實施例1相同之工稈形成本發明之 有機Κ ί,顯-示元件„所獲j之有機R L顯示j件因為使第2 霄桦線壳幸分離，.所以不會有第電樺間之短路。另外 ，Ri丨使使顒勒雷糜丨升到彳（IV以丄時_亦未察到有第2電 / ， 板線短路Γ, 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 卜h較例1 街宵施例1同樣的形成第】雷W線1 2之後，使用未具 有使黑色材料分散之負犁威光件樹脂，用以形成隔荦， 其他之部份與宵施例1相同的用以形成有機E L顯示元件 。該有機1U顯示元件之隔壁其下擺部之前端角為4 5 °以 -4 1 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4说格（210X297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（4。） 丨：，和在[:部沒有遮蓋部之形狀。由於蒸箸物附#在隔 荜側部，所以在第2電掙線間之一部份會有短路，另外 ，常驅動電歷1:升到10 V以丨：時，第2電栩線端會與第1 電掩線短路 C荊端角之影響> 其次，製作具有Τ擺部之前端角大約為3 (Τ ， 45° ,(UI夕隔牮試料，使其與泠有下擺部之隔壁試料進行 [h較„在下擺部之前端角為：Η) °和4 5 °之隔壁試料中， 在第〗電極和第2電極之間施加ί 0 V時不會發生短路， m w tF f m ^ n° 料中 > 4 o 9 r 個中

' -J 在孜有下擺部之隔壁試料中太約 1 Π P — 牛 JS_gi。 <隔_之下擺部幅度和隔壁之高度之影響> 存隔孽高度2 《I，下擺部幅度（）.m之隔壁試料中 ------- 施加1 n v不會發生短輅，但在下擺部幅度為（1 · 2 # !8之 隔荦試料中I 409 Π個中_j：約5 %發生短路P在隔壁高度 HI « m ,卜擺部幅垵大約S η # ®之試料中，下擺部幅度發 牛：3 fl A IR〜〗Π丨）；《 ffl之大約分散變化P施加1 f) V未發生短路 ,彳U是發琨有國素形狀之分散變彳h。在下欏部幅度以 1 f)丨）# ffl為目_之試料中，在圖素部會库生殘留膜。 宵施例5 在本青施例5中，製作以第〗電梅作為陰極，以第2 電栎作為陽掙之有機R I,顯示元件用基板和有機E L基板顯 示元件Θ -4 2 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

X 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 420984 A7 B7 五、發明説明（4·Ι ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 在玻璃支持體1 1上成暌第1電掙線形成用之A ]，利用 通常之光蝕刻光加工成為條帶狀〇其次，使用具有破璃 粉分散之音型光杭蝕劑用以形成隔荦1 3。然後，蒸箸丨,i F 作為有機K丨,媒體隔，在依照=(8 - Bf丨林蘇長岩）鋁，N，N '- -·. Π -赛苺）-I N '- 一.苯撐〗5丨’-二笨-4 , 4 '-二胺，銅酞 臀之顒序進行蒸轉後，蒸著作為第2電楝線之網鋅化合 氣化物。在请稗情況.在第2霄楝線侧進行顯示„即使 妳加1 Π V亦未發現有短路^ 宵施例Γ> 在本宵旃例中，利用第9 Α圖牵第1 2 _所說明之方法用 來製作有機R丨,顯示元件用某板σ 首先，在玻璃支持鶫Π上利用濺鍍法形成厚度0 .】# m 之【Τ0)1 „然後為箸提高透明性和導電性，在空氣中進行 加熱處理用來使I T ()結晶化。 其次，利用影印法和濕式辣刻對I T 0層進行圖型製作 ，藉以形成多铜第1電掙1 2 (第9 A和9 B圖）。各個第I電 榉線丨2之I摇度為2 7 (1 # ffi ,其間隔為3 0 V Μ。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 在形成有第1霄掙線〗2之支持P U上，塗布負型光抗 触劑（其中分散有丨〜5事鼠°/„之由微粒子石墨形成之黑 色糾料用來形成光杭蝕_瞬3 2 ,對其淮行事先烘烤。 然後，使闬光鬣4 1 .從表商淮行（)V曝光，藉以使隔壁 之頂部相當原域1 32 ’被曝光（第1 I) Α和1 0 Β 各摘頂部 相常匾域〗3 2 '之_度為3 () " ill „ 其次，使用另外一搁光罩4 3，從背而進行曝光以 -4 3 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 420964 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 4-> ) 1 1 隔 m 之 底 部 相 當 區 域 1 3 3， 被 曝 光 (第1 1 A和 11 BWl ) 〇 各 1 1 倘 底 部 相 m m 域 1 3 3， 之 幅 度 為 50 Μ ΒΪ 〇 1 其 次 利 用 m 件 顯 像 液 淮 行 顯 像 藉 以 形 成 具 有 遮 蓋 請 1 先 1 部 和 下 擺 部 隔 13 (第1 2 A和 12 ΒΡΙ ) 〇 閱 讀 1 曰 m 後 照 射 電 子 射 束 或 II V 1 進 行 事 後 烘 m U 以 兀 成 有 背 Φ 1 I 之 1 機 K h 顯 示 元 件 用 某 板 之 製 作 0 利 用 光 罩 4 3控 制 下 欏 部 幅 注 意 J 事 1 海 利 用 顯 示 條 件 用 夾 消 除 分 散 ψ 化 〇 項 再 1 *1 背 m m 7 填 寫 本 在 木 宵 例 中 ' 利 甲 第 14 A園牵第15B圈所說明之方法用 頁 -—✓ 1 1 來 m 作 有 機 R L 顯 示 元 件 用 摇 板 〇 1 1 亦 即 除 了 使 用 第 14 A和1 4R 圖 所 示 之 光 罩 4 3 '淮行背而 1 1 曝 光 外 使 用 與 W 施 例 fi 同 樣 之 方 法 製 作 有 機 E L 顯 示 元 1 訂 件 用 基 板 〇 m 結 帶 5 1 之 Φ8 度 為 5 0 Μ ΪΪΪ 〇 1 宥 m 例 8 1 1 在 木 宵 施 例 中 » 依 眧 第 ί η A圖至第1 7 B 圖 所 説 明 之 方 法 1 I 製 作 有 機 R I 顯 示 元 件 用 蓽 板 〇 1 X 亦 m ， 首 先 利 用 m 印 法 在 玻 X|4f m 支 持 體 11 上 形 成 RGB I 一. 色 之 彩 m ‘·d* m. 器 (；1 然 後 在 彩 色 m 觴 器 0 1 之 上 形 成 由 | Μ 明 m 脂 製 成 外 維 m 層 U 1 〇 - 1 1 妖 •ΤΆ 後 依 m 旅 例 0 方 法 在 外 m 膜 層 fi 1 上 形 成 第 1 I 1 m 線 1 Ί 和 角 m 光 杭 η m 層 3 2 ， 妖 後 使 隔 m 之 頂 部 柑 1 1 當 域 1 ：i 1' 曝 光 〇 1 1 其 次 不 使 用 另 外 之 光 杭 蝕 劑 以 彩 色 過 m 器 6 1 作 為 1 I 光 罩 從 支 持 體 1 1 之 背 而 以 U \ 光 進 行 全 而 照 射 9 用 來 使 1 I -A 4 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 隔 之 底 部 相 m 域 13 3 f 曝 光 (第1 6 A和 1 fi 帽）。 1 Ί 狀 後 與 育 施 例 fi 同 樣 的 進 行 顯 像 > 進 行 電 子 射 束 照 1 1 射 和 惠 後 烘 m 1 籍 以 <=ί=» τπ 成 有 機 E L 顯 示 元 件 用 基 板 之 製 作 請 1 先 1 ί第1 7 A 和 17 h圖） η 閱 % 1 實 旅 例 9 背 1 I 之 1 在 施 例 中 Η 利 用 第 1 8 A辛：1 8 C _ 所 m 明 之 方 法 用 來 製 汪 意· 1 作 有 機 Κ 1, 顯 示 元 件 用 蘇 板 事 項 1 I 亦 m 依 昭 •'Λ'λ 宵 施 例 Γ> 之 方 法 在 支 持 體 11 上 形 成 第 再 填 % X 1 電 栎 線 1 Ζ ， 和 負 m 光 抗 蝕 劑 層 3 2 ， 在 使 隔 壁 之 頂 部 相 頁 1 I 當 Μ. 域 1 3 2 ' 曝 光 後 > 利 用 顯 像 液 進 行 顯 像 > m 以 在 隔 壁 1 1 相 常 區 域 間 m 留 0 . 5 μ m 厚 之 連 鑲 膜 5 1 1 ( 第 1.8 A圖） 〇 1 1 其 次 如 第 1 8 Α圖所示的裝載光罩7 1 , 從表而照射11 V 1 訂 光 -) 以 使 下 欏 部 之 前 端 部 相 當 直 域 5 1 1 a 曝 光 (第1 8B 1 [H )〇 1 I 其 次 ， 利 用 顯 像 液 對 第 1 8 B_之構造進行顯像， 藉以 1 I 形 成 隔 m 1 3 (第1 8 Γ 圖 )0 1 Λ 後 - 淮 行 m 實 施 例 5 相 同 之 霄 子 Μ 束 或 II V 之 昭 射 » 、--彳 | 和 奉 後 烘 烧 藉 .以 成 有 機 E 1 顯 示 元 件 用 基 板 之 製 作 〇 | η W. 例 1 0 1 1 在 本 η m 例 中 > 使 用 實 施 例 7 所 製 作 之 有 機 E L 顯 示 元 1 I 件 用 茶 板 利 用 第 1 9 Λ牵1 9 D 圖 所 說 明 之 方 法 ， 製 作 有 機 1 1 1 Κ 1 顯 示 7Γ 件 〇 1 1 亦 即 ♦ 對 於 宵 施 例 所 製 作 之 有 機 E L 顯 示 元 件 用 基 板 80 1 I (第1 9 Λ 圖 )， 依照綱酞膂， N ,N ( (1 -棊基）-Ν ,N ( 二. 苯 1 1 I —^ 5- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 OX297公釐） 42〇9〇4 A7 B7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（抖） 1 1 1 , 1 ' -身 ί - 4 , 4 ' -Γ -m , 和三（ 8 - Pf啉蘇長岩）之順序， Ί 進 行 裒 举 m m 以 形 成 有 機 R 1 媒體2 U第1 9 Β圔）。該3層 1 構 造 之 有 機 1U媒 體 2 1 之 厚 度 為 0」Λϋ 相0 /·-V 請 1 先 1 其 Μ 使 支 持 «Ufc 1 1 旋 轉 同 時 對鋁進行宾空蒸著用以形 閲 1 成 hh- 1 Mf» m. m 線 2 2 (第1 9C _ U 第2電 掙線2 2之厚度為 背 1 1 之 1 5 μ ϊϊι ο 注 意 盡 \ | 断 後 ·< 利 用 離 子 電 m 法 m 蓋 氣化緒用來形成密封屙2 3 Ψ 項 | Μ 以 兀 成 有 機 E i 顯 示 元 件 之 製诰（ 第1 9 1)鬮）。因為鄰 再 填 % 1 本 接 之 第 1 電 栎 線 1 2 之 對 向 側 iJIS 蘇ί 緣被連結帶覆蓋，所以可 頁 1—^ 1 I 以 確 '者 的 防 lh 該 部 位 之 第 1 電 極線1 2和第2電楝線2 2之 1 1 m 路 〇 1 1 實 施 例 11 1 訂 在 本 w 施 例 中 利 用 参 照 第 2 n a至 2 0 Η _所說明之方法 1 闬 來 m 作 有 機 fi I 顯 示 元 件 用 某 板。 1 I 亦 即 首 先 在 玻 璃 m 之 支 持 體川 上，塗布/乾燥該 1 I 分 散 有 « V吸 收 件 物 質 或 色 材 料 之負型光抗蝕劑，藉以形 1 成 光 杭 割 層 ί) ? 第 ^0 A鬪） | 其 今 使 用 間 跑 3 (! i) μ η 幅 度2 0以之條帶狀之光罩 I > 對 抗 純 劑 Η 1 2准行1丨 V曝光/顯像 以形成具有倒 1 1 傾 斜 形 狀 之 電 絶 線 P 9 1 3 ( 第 1 0 R|ij ) η 1 I 其 Μ 在 形 成 有 電 m «Λ. 1 緣 m 之玻 璃支持體JM 1上，利 1 1 用 濺 耨 法 形 成 電 絶 緣 9 1 3大致相 同厚度之銅層91 4 1 1 (第'1 0 ( _ )〇 1 I 在 該 銅 層 9 1 4之上形成光杭蝕爾層 fM 6 (第 2 0 D 圖）。 1 1 -A 6- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7 五、發明説明（C ) 對該光杭紳劑闕ίΠ (;進行II V曝光和顯像，藉以形成所 希望之杭钟劑1國1 7 {第2 η Κ _ )。 其次，在對銅屑Η 1 4准行蝕刻後，除去光杭_劑_型 9 1 7 ,轉以形成所希領之銅画流排線9丨8 (第2 0 F _)。 其次，利用_ _法形成厚度0 .〗# m之Τ Τ ί) _型9 2 0。因 為使電絶線JP 9〗;)形成倒傾斜形狀，所以在I Τ 0層9 2 0之 形成之同時，在電絶緣層9 1 3之一方之側端部9 1 3 Α被切 斷，自然的被圖型製作（第2 0 G圖）。 然後，以負杭蝕劑921埔入電絶錁層9〗3和銅匯流排線 9 1 8之間之間隙9 1 9 ,藉以完成有機E丨,顯示元件用基板之 製作（第2 ί) Η _ )。 實鞒伊Μ 2 在實施例1 1所製作之有機Κ丨,顯示元件用基板（第2 Cl H _ ) 上，利用黎照第8 Mil牵第ίΠ)圖所説明之方法形成隔壁1 3 成為與Π’ 0線9 2 Ιί和銅匯流排線9〗8 TF交之方式，藉以完成 具有隔壁之有機ΙΠ,頴示元件用基板之製作（第2 0 I _)。 實施例I 3 利用彩色過濾器（R. , G , Β )用來構成宵施例1 1和實施 例〗2所製作之有機ΚΙ,顯示元件用基板和具有隔壁之有機 Κ I,顯示元件用苺板之電絶緣層ίΠ 3，蘇以完成具有彩色 碑蔴器之有機！ί丨，顯示元件用某板，和具有彩色過濾器及 隔筚之有機IU頌示元件用某板（參照第2 3圖和第2 4 _)之 製作n 宵旃例1 4 -4 7 - 本紙張>^度適用中國國家標準（〇奶）人4規格（210'乂297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

X 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 420964 A7 B7 五、發明説明（4) 在寅旃例1 1所製作之有機K丨,顯示元件闬苺板，和實施 例丨彳所製作之具有隔壁之K I,顯示元件用基板上，依照順

以 ο 2 £,第 # ( 蒸件 空元 舆示 之顯 2 L 線機 楝有 電之 2 明 第發 和本 21成 0 製 光以 發 0 機封}0 有密圖 -T 2 2 2 准層第 的封 .. 序密阔U 元 示 顯 L· E 機 有 之 器 濾 過 色 彩 有 具 之 作 製 所 3 例 Ifi施 例筲 旃在 啻 之 壁 隔 及 器 基 用 件 元 示 顯 線機 楝有 霄之 2 明 第發 和本 2 成 層形 光以 發藉 濾機封 過有密 色 行2, 彩准層 有的封 具序密 和晒以 ，照 ， 板依箸 炼 ' ^ 用卜宰 件板裒 之顯 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 荦 _ 3 第 例 施W 件 h元以 ..-\ :7f 围 以 可 置 裝 示 顯 L Η 樑 有 之 作 技 1 知例 習施 :£ 菁· 化 阳 雷 低 線 掙 電 第 使 的0 一 准 機 有 之 0 構 之 示 所 圃 5 2 第 有 具 作0 i C 中 板 例某 施用 實件 木ΤΠ 在示 顯 度 厚 成 形 法 鍍 濺 用 利 上 2 1 板 基 璃 玻 在 先 首 性 電 導 和 性 明 透 高 提 著 為 後 然 C 0 Λί以 .1中 —氣 空 在 之 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 製 型 圖 行 C 進 化 層 1 ο 晶 Τ TL 結 4 ο 對 IT法 使刻 來蝕 用式 ，濕 理和 處法 熱印 加影 之用 時利 小 _ 1 次 行其 准 線為線 極療楝 電Ills電 丨之肋 第12補 値之個 多線各 成栎 ， 形窜'Iwirao 以—方ΙΛί Μ 筚一fill 、 锏外為 作名另隔 C ® 間 cn/^其 線50， 掙為卩 電隔 肋間20 補其為 個 ,度 多."_ 和 Π 之 Μ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 420964 A7 B7五、發明説明（47) 負 之 料 材 色 黑 之 成： 形 墨 C 石烤 子烘 粒先 微事 由行 有進 散其 分對 布’ 塗劑 ' 0 次杭 其光 型 相 部 頂 之 3 il 壁 隔 。 使光 來曝 用被 ，域 光區 曝當 l!v相 行部 灌頂 罩 光 用架 使框 後域 然區 當 之 2 框 和 3 壁 隔 成 形 以 0 像 顯 一了 進 液 像 顯 件 0 用 利 .欠 其 架 或 束 射 子 電 一7 //1 推 ο 而12 -%.牵 之10 92行 架進 框 P Π ft 丰 fl 3 3 1牵 壁 ο 隔15 在以 後後 然之 射 烤 烘 後 iwtr 之 鐘 作 製為 之度 板高 基後 用 最 件之 • Π 2 -' 9 示 I太 顯框 E » 株J 有5/ 成. 4 完為 以 麽 M高 « 照 後 最 之 3 隔 來 用 板 某 0 用件 件元 元示 示.顯 RI, L I E 機 機有 有之 之造 作構 製示 所所 nril ...... ο 例 2 施第 17K有 例用具 桥使作 宵 製 元基/有 長 示萘II成 顯1-請形 L· ( ^ i E 二 f P機-....-8賴 有 n(8， 之n4三nn 作，和70 製菁胺 ， 所酞二nl 6 1-0 1rf β例著,4, 施蒸-4nffl菁空笨 2 於真 二 為 對序'成 , 順,1厚即照 7膜 亦依笨各 ο ,一.：使 η 件 岩 機

板-體體 基 N 錯媒 用 N 錦 E (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 金 合 S 為 /Α度 Mg厚 ㈣之 I 2 *-供 2 空線 真極 時電 同 2 轉第 旋 C 1 2 1— 2 體線 持楝 支雷 璃 2 破第 使成 ,形 V IA "β 其輅 示，玻 顯 _ 著 EL減接 機間94 有空劑 使之著 ,鬨接 .J:.包以 92所， 架.93脂 框子樹 在薷化 載璃硬 裝玻 =5 93和布 子92雄 蓋架商 璃框固 玻，外 將板之 * 某92 後用架 0 件框 元在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（U ) 德Μ子铋以完成有機El,顯示元件之製作。 該有機顯示元件之j?)期亮度l3n〇cdZjij_^^_^期 翥命為5 ο (1 η小時」顯示具有雜__常優良之恃忡，因此利用 偏瞇可以減少殘留水分和氣氣以抑制其_垄_1&\。另 外，因為框架是預先形成，所以蓋子不會觸在第2電 礅等，和可以確筲防lh榕箸劑之流動b接觸在第2電極 或機K丨.媒體。 筲婉例1 8 在木宵施例中，使用實施例】β所準備之有機E丨,顯示元 件用某板，與實施例1 7同樣的製作有機KL媒.體和第2電 椒，在裝載破璃某板之後，使有機m,顯示元件用某板， 框架和玻璃蓋子所包圍之空間減頰。 然後，將氬氣封入減皭後之空間,ϋ架之外固而塗 布接转劑，接_巻破璃蓋子，緒以完成R丨.顯示元件之製作。 該有機Κ1,顯示元件之初期亮度為3(10cd/m2 ,半衰期 素命為4 (I G 0小時，顯示具有優良之恃性，因此利用減壓 m以減少殘胬水分和氧氣等，可以抑制其劣化。另外， m實施例ί 7同棒的.因為框架是預先形成，所以蓋子不 會接觸在第2電栎等，和可以確實防I卜接箸_之流動b 接觸存第2窜栎或有機Π,媒體。 筲旃例1 9 在本實施例中、對有機ίί丨,顯示元件用某板，框架和玻 璃慕子所包_之空間進行減壓，佝蹙不封入惰件氣禱：， 除眈之外，輿宵施例1 7或1 8同樑的製作有機E L顯示元件。 -5 η - -------,--X V-------訂------f f (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4«/格（210X297公釐） A7 420964 B7 五、發明説明（^) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 该绔有機KI,顯示元件之初期亮度為,具有 谢筲旃例〗7和宵旃例1«相间之俏。怛是，當與實施例17 ，1 «之兀件比較時，其耐劣化件較差。 W. l· .為箸易於瞭解本發明，以數個實施形態用來說 明本發明之恃擻，該等特徵可以依照目的進行適當之組 合巽者當可瞭解^亦即，本發明在其精神範圍内可以以 附_所示之宵桥形態以外之各榑形態實施。例如，在上 钵 > 各俩宵施形態中，第1.電栎線以陽極材料構成，第 —-— — ——

2雷椒線以陰栎材料構成，伯杲亦可以H 依照j #方本發明之第1方0時，所提供之_ 有機 窜钓餘明顯示元件用苺板可以使蒸箸射束方向（之限制·ίφ 小 时以在令而積具有均一之蒸著乂而月不需要短路防 i -- fh闲絶緣屑。另外提供之有機雷致發光顯示元件用 % #可以抑制來i背J&之透過光和外來光反Ιϋ另外， 所提供之有機雷致發光顯示元件不容易因為絶緣破壞而 發生短路，和不容易劣化。另外，可以使此種有機電致 發光顯示元件 < 棊板易於製造& 另外，在有機ΡΛ顯示元件用基板形成隔壁_其中具有遮 蓋Τ擺部用來使有機E L媒體/第2電楝線分離， 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ， '一 — u是隔擘之裤蓋部之幅度，其下擺部之幅度亦可以TF. Μ 的梓制，另外，依照木發明時，^由將用以連結鄰接之 隔牮夕建_緒帶形成—葸存鄰接之第之對向侧端緣 〜方式，ηί以用來確宵的防出_塵1電栎線之側_端緣與第 2窜待（線短路„ -5 1 -本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（K ) 依照木發明之筚彳方商時，經由在作為第ΐ電極線之 透明缚電膜線和支持體之間之區域，於釋明導電膜線之 ·> τ,設冓與透明輿電膜接合之導電件pr流棑線，可以甲 來使有機r丨，顯示元fp之驅動雷陲降低）依照木發明時， -#丨為依此方式設置之導電件流棑線之厚度不會受到透 明漠霄瞬之厚^會之限制，所以可以達成使第】電楝線更 准-_泛低電m北.，另外，因為該導電件_流排線具有 作為黑色條帶之功能，所以铒以提高m,顯示元件之對比 。綷由使霄絶緣層或彩色過濾器層成為倒傾斜形狀，因 '、在形成透明I雷膜f同時可以准行_型ιι)作，所.以m .ef摒酪诱明濟雷膜之圔型勉作丁 另外，.依照木發明之第3方商時，在有機IU顯示元件 用朵板具備有隔牮，和預先具備有框架，所以只需要在 該框架！裝載蓋子，就可以覆蓋第2電楝線和有機RL媒 體，，另外，經由在基板上預先具備框架，在王時 ，m以吸(h n接觸在第2電棟線0另外，因為5〇η吏 、 框架和蓋子所包圍之空間Ji I瓦以減分 和氣μ等、可以抑制第2雷掙線和有機Ε !,媒體之劣_北 猙由俾捺著i蓋平之接箸麵之塗布場所位於框架之外周 ^ .可！U來使榕禁_ :不會流_到框架内部t可以確實 的防ih接箸劑與第2電栎線或有機K丨,媒體庠生接觸。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 -52- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4g ( 210X297公釐） 420964 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 __B7五、發明説明（W ) _考符號説明 1 1......支持體 1 2.......第|窜掙線 H 陽壁 2 1.,.....有機K I,媒體 2 I . ·….第：ί電極線 Η .…密対_ …..負犁光杭蝕劑層 3 4 I 7 1 ....光罩 4 Ζ , 4 4 …II V 光 ίΠ ..淖結帶 *’> 1........彩色過據器 « 2 ..….·外磙膜）g 8 fl ·…· . ·苺板 9 I......補肋電極線 9 2......框架 9 :i......蓋子 94 ….接著劑 ! 3 1......本_部 132.....頂部 •U 3 ,』…，底部 Η 1 8......陳流排線 -53- ^^1- 1 ^^^1 ^—a— ml ^m—---^m^i ml nn 1-»1-(請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0〆297公釐）

Claims (1)

1. 條‘ 420964 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第88102650號「有機電致發光顯示用基板，其製造方法， 及有機電致發光顯示元件」專利案 (89年8月4日修正） A申請專利範圍： 1· 一種有機電致發光顯示元件用基板，在支持體上具備 有被配置成互相隔開之多個第1電極線，和依照與該 等第1電極線交叉之方向延伸之互相隔開之多個隔壁， 各個隔壁在上部具有遮蓋部，在下部具有下擺部。 2.如申請專利範圍第1項之基板，其中在與基板平行之 方向，該隔壁之下擺部比該隔壁之遮蓋部長。 3 .如申請專利範圍第】項之基板，其中該隔壁具有4 5 ° 以下之前端角。 4·如申請專利範圍第〗項之基板，其中該隔壁之全體由 相同之物質製成。 5 .如申謫專利範圍第1項之基板， 度之ϋ·彳倍〜丨〇倍之下擺部幅度 G .如申諮專利範園第1項之基板， U V吸收性物質和/或色材料之戲光性樹脂所形成。 7. 如申請專利範圍第6項之基板，其中該UV吸收性物質 和/或色材料為單獨一種或多種。 8. 如申請專利範圍第1項之基板，其中該隔壁為透明或 有色。 9 .如申請專利範圍第丨項之基板，其中當該隔壁被箸色 成為黑色時，可以用來作為兼具有黑色條帶之吸光性 隔壁。 1 η · 一禪有機電致發光顯示元件，其偽在申請專利範圍 第1項之有機電致發光顯示元件用基板上具有有機EL 媒體和第2電極線β 其中該隔壁具有其高 其中該隔壁由包含有 (請先閱讀背®之注意事項再填寫本頁) 、言 Μ- I. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（21〇χ297公釐） 39. 8. ^ί4θ 修正補充 420964 Α8 Β8 C8 D8 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 六、申請專利範圍 1 1 11 .如申請專利範圍第 10項之顯示元件 ，其中有機EL媒體考 '0 I 1 第 2 電 極 線 之 兩 側 之 端 之 部 份 > 延 伸 到 隔 壁 下 部 之 下 1 1 擺 部 之 上 與 第 1 電 極 線 形 成 非 接 觸 〇 請 1 先 1 U .如申請專利範園第1 0項之顯示元件， 其中第2 電極 閲 讀 1 線 延 仲 到 有 機 E L媒體 之 X.CU m 之 外 側 » 覆 蓋 在 EL媒體 0 背 ιέ 1 I 之 1 -種用以製造申誚專利範圍第1 項之有機電致發光 注 意 1 事 1 顯 示 元 件 用 基 板 之 製 造 方 法 所 包 含 之 步 驟 有 : 在 具 項 再 1 有 多 腩 第 1 電 極 線 之 支 持 體 上 9 塗 布 負 型 光 性 樹 脂 填 寫 1 未 1 層 對 於 負 m 威 光 性 樹 脂 層 » 對 各 個 隔 壁 之 包 含 遮 蓋 頁 1 I 部 之 頂 部 之 對 應 之 多 個 區 域 進 行 曝 光 對 未 曝 光 部 1 1 份 進 行 顯 像 用 以 形 成 隔 壁 » 然 後 昭 射 電 子 射 束 或 紫 外 1 1 線 用 以 進 行 事 後 烘 烤 〇 1 訂 14.- -種用以製造申請專利範圍第1 項之有機電致發光 1 顯 示 元 件 用 基 板 之 製 造 方 法 所 包 含 之 步 驟 有 ： 在 形 1 I 成 有 第 1 電 極 線 之 基 板 上 形 成 負 型 光 抗 蝕 劑 膜 對 1 I 於 該 負 m 光 抗 蝕 劑 膜 > 對 隔 壁 之 包 含 遮 蓋 部 之 頂 部 之 1 1 對 應 之 區 域 進 行 第 1 曝 光 ， 和 對 隔 壁 之 至 少 在 下 擺 部 级 之 前 JLLU 部 對 應 之 區 域 進 行 第 2 曝 光 i 第 1 曝 光 和 第 2 1 I 曝 光 同 時 進 行 或 U 相 刖 後 的 進 行 和 對 未 曝 光 部 份 進 1 1 行 顯 像 以 形 成 隔 m 〇 1 I 1 S .- -穐用以製造申請專利範園第1 項之有機電致發光 1 1 I 顯 示 元 件 用 基 板 之 製 造 方 法 所 包 含 之 步 驟 有 ： 在 形 1 成 有 第 3 電 極 線 之 基 板 上 形 成 負 型 光 抗 蝕 劑 膜 ) 對 1 於 該 負 型 光 抗 蝕 劑 膜 對 隔 壁 之 包 含 遮 蓋 部 之 頂 部 之 1 1 I - 2- 1 1 1 1 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -二 % Γ 赚44曰補J ：J L 420964 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 對 應 之 區 域 進 行 第 1 曝 光 ,和 對 隔 壁 之 底 部 之 對 應 之 區 域 進 行 第 2 曝 光 1 第 1 曝光 和 第 2 曝 光 同 時 進 行 或 η 相 前 後 的 進 行 和 對 未 曝光 部 份 進 行 顯 像 Μ 以 形 成 隔 壁 0 1 G .- -* > 庫用以製造申請專利範圍第】 項之有機電致發光 顯 示 元 件 用 基 板 之 製 造 方 法， 所 包 含 之 步 驟 有 ： 在 形 成 有 第 1 電 極 線 之 基 板 上 ,形 成 負 型 光 抗 蝕 劑 膜 對 於 該 負 型 光 抗 蝕 劑 膜 > 對 隔壁 之 包 含 遮 蓋 部 之 頂 部 之 對 m 之 區 域 進 行 第 1 曝 光 ，使 未 曝 光 部 份 顯 像 至 指 定 之 厚 度 對 隔 壁 之 下 擺 部 之前 XXU m 部 對 陴 之 區 域 進 行 第 2 曝 光 和 未 曝 光 部 份 進 行顯 像 藉 以 形 成 隔 壁 0 1 7 _如 申請專利範圍第1 4項之方法， 其中對於用以連結 鄰 接 之 隔 壁 之 連 結 帶 之 相 當之 區 域 > 亦 進 行 第 2 曝 光。 1 8 .如 申請專利範圍第1 5項之方法， 其中對於用以連結 鄰 接 之 隔 壁 之 連 結 帶 之 相 當之 區 域 > 亦 進 行 第 2 曝 光。 1 9 ·如 申請專利範圍第1 6項之方法， 其中對於用以連結 鄰 接 之 隔 壁 之 連 結 帶 之 相 當之 區 域 ， 亦 進 行 第 2 曝 光。 2 0.- -種有機電致發光顯示元件用基板之製造方法， 該 基 板 在 設 有 多 個 彩 色 過 鴻 器之 支 持 體 上 具 備 有 被 配 經 濟 部 置 成 互 相 隔 開 之 多 個 第 1 電極 線 > 和 依 昭 與 該 第 1 電 智 慧 極 線 交 叉 之 方 向 延 伸 之 互 相隔 開 之 多 個 隔 壁 9 該 隔 壁 財 產 局 員 在 丄 部 具 有 遮 蓋 部 » 在 下 部具 有 下 擺 部 » 該 製 造 方 法 所 包 含 之 φ 驟 有 在 支 持 體上 設 置 多 痼 彩 色 過 濾 器 使 消 費 其 成 為 互 相 隔 開 之 列 和 行 ;在 其 上 形 成 互 相 隔 開 之 依 合 作 社 3- 印 製 (請先閱讀背¾之注意事項再填寫本頁) 本紙浪尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 修正 420964 Μ 8約.㈠日補充I_ 六、申請專利範圍 彩色過濾器之列方向延伸之多個第1電極線；在其上 形成負型光杭蝕劑膜；對於該負型光抗蝕劑膜，對隔 荦之包含遮蓋部之頂部之對應之第1區域進行第1曝 光，以彩色過濾器作為光罩，從基板之背面對與彩色 過濾器之行間之間隙相當之隔壁底部之對應之第2區 域，和與彩色過濾器之列間之間隙相當之第3區域， 進行第2曝光，該第1曝光和第2曝光同時進行或互 相前後的進行；對未曝光部份進行顯像；和形成以與 第3區域對應之連结帶連结之隔壁。 2 1 .如申請專利範園第2 0項之方法，其中該負型光抗蝕 劑膜含有U V'吸收性物質或色材料。 2 2.—镩有機電致發光顯示元件用基板，具備有被配置 在基板上之互相隔開之多個第1電極線，和依照與該 第1電極線交叉之方向延伸之互相隔開之多個隔壁， 該隔壁在上部具有遮蓋部，在下部具有下擺部，和鄰 接之隔壁在下擺部利用多個連結帶互相連結。 遮 DBP 本 壁 隔 中 其 板 基 之 項 2 2 第 圍 範 利 專 SS 申 如 成 製 質 物 之 同 相 由 帶 結 連 和 部 擺 下 部 蓋 ---------f------ΐτ------.^. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 蓋 覆 帶 結 連 該 中 其 板 基 之 項 2 2 第 圍 範 利 專 謓 申 如 端 線 端 側 向 對 之 線 樺 電 第 之 接 鄰 在 帶 結 連 和 壁 隔 中 其 板 基 之 項 2 2 第 圍 範 利 專 如 或510帶 質：^2結 物 連 園 丨 性 和 範 收,||辟十 llsipi VII專 U I ， -'It J 有 色 ^ ^ 0 由&為 成 形 所 劑 蝕 抗 光 之 料 材 色 質 物 性 收 吸 V 中 其 板 基 之 隱 αβπ 基 0 作 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） Α8 Β8 C8 D8 修正 補充 六、申請專利範圍 2 7 · —種有機電致發光頴示元件，偽在申請專利範圍第 2 2項之有機電致發光顯示用基板上具有有機電致發光 媒體和第2電極線。 28.—種有機電致發光顯示元件用基板，在支持體上具 備有被配置置互相隔開之多値第1電極線，和與該第 1電栎線實質上平行延伸之多個導電性匯流排線，各 個第1電栎線被配置成與該支持體具有間隔，和其一 方之側端部在與其鄰接之一導電性匯流排綿之表而上 延仲ο 2 9 .如申謓專利範園第2 8項之基板，其中各値第1電極 線被設在位於該支持體上之電絶緣層之上。 3 0 .如申謓專利範圍第2 9項之基板，其中各個電絶緣層 形成倒傾斜狀。 31 .如申謓專利範圍第2 9項之基板，其中在各個電絶緣 層之兩側，其一方與該導電性匯流排線接觸，其另外 一方和與其鄰接之導電性匯流排線之間具有間隙。 32.如申請專利範圍第31項之基板，其中各個電絶緣層 和與其鄰接之該導電性匯流徘線之間之該間隙之幅度 (請先閲讀背®之注意事項再填寫本頁) 訂 埃— 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 緣 絶 個 各 在 中 其 板 基 之 項 3 第 園 C 範 m 丨 ο 專 5fl謓 ~ 申 ^1如 镇 充 被 隙 間 該 之 間 之 線 hF 流 匯 性 電 導 之 C 接質 鄰物 其緣 與絶 和電 層有 層 緣 絶 電 個 各 中 其 板 基 之 項 9 2 第 圍 範 利 專 Φ 如 成 形 劑 蝕 抗 光 型 負 之 料 材 色 或 質 物 性 收 吸 V U 有 含 由 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 修正 420964 ABCD 六、申請專利範圍 3 如申請專利範園第2 9項之基板，其中第1電極線為 陽楝，電絶線層用來構成彩色過濾器層。 3 如申請專利範圍第2 8項之基板，其中導電性匯流排 線由金屬材料形成，該金屬材料選自N i，C u， C r , T i ,Fe, Co, Ail, Ag, Al，Pt.，Ph，Pd，Pb和 Sn,及包 含該等金屬元素之至少〗種之合金。 3 7 .如申請專利範圍第2 8項之基板，其中導電性匯流排線 之高度為0·]〜100# m,其幅度為1〜50(1# nu 3 8 .如申請專利範圍第2 8項之基板，其中在與該導電性 匯流棑線之支持體接合之而設有吸光性層。 3 9 . —種有機電致發光顯示基板，係在申請專利範圍第2 8 項之有機電致發光顯示元件用基板上具有與該第1電 極線交差之多個隔壁，該隔壁在上部具有遮蓋部，在 下部具有下擺部。 4 1). 一種有機電致發光顯示元件，偽在申請專利範圍第1 項之有機電致發光顯示元件用基板上具有發光用媒體 和第2電極線及密封層。 41. 一種有機電致發光顯示元件用基板之製造方法，所 包含之步驟有：在支持體上形成分別具有倒傾斜狀之 多個電絶緣層；在具有該電絶緣層之該支持體之大致 今而上，形成導電性材料1 ;使該導電性材料層之殘 留在該支持體表而上之部份，與各個電絶緣層之一方 之側端接觸，和與另外一方之側端分離，經由除去該 電絶緣層上之部份用來形成多傾導電性匯流排線，使 -6 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背&之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 fp 充 420964 A8 B8 C8 D8 申請專利範圍 各润電絶緣層只與該一方之側端連接；和在具有該電 絶緣層和該導電性匯流排線之支持體上，經由形成第 1電極層用來形成多個第1電極線，從各値電絶緣層 上延仲到與該電絶緣層連接之導電性匯流排線上，在 各個電絶緣層之該另外一方之側端側互相分離。 42.—種有機電致發光顯示元件用基板，偽在支持體上 具備有被配置成互相隔開之多個第1電極線，和依照 與該第〗電極線交叉之方向延仲之互相隔開之多個隔 壁，和設有包圍該隔壁之框架用來裝載蓋子。 4 3 .如申請專利範圍第42項之基板，其中隔壁和框架由 相同之感光性材料形成。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 第 圍 範 利 專 請 申 在 偽 件 元 示 顯 光 發 致 電 機 有 il· 種 媒 L E 機 有 有 具 上 板 基 用 件 元 示 顯 光 發 致 EG 霄 機 有 之 項 線 極 電 2 第 和 體 和 端 體 持 支 在 中 其 板 基 之 項 2 4 第 圍 範 利 專 ¢ 如 補内 ， 有之開 具架隔 上框相 體從互 持，成 支開形 在隔側 ，線外 域極之 區電架 之 1 框 間第到 之與伸 域成延 區置的 線設叉 稱被交 8 ακ. 1 線框 第極與 圍電 ' 包肋側 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 接 連 線 極 電 2 第 與 來 用 由 線 極 電 助 補 中 其 板 基 之 項 5 4 第 園 範 利 專 Φ 如 成 形 料 材 之 同 相 線 梅 電 第 與 架 框 該 在 中 其 件 元 示 顯 之 項 4 4 第 圍 範 利 專 請 申 如 子惰 蓋入 該封 對後 ， 壓 域減 區在 之或 圍 ， 包 壓 所減 架行 框進 在間 蓋空 覆之 成園 形包 子所 蓋架 載框 裝該 丄和 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 39.%JU 修正 ·ρ範圍 體丨而 件·外 以 0 G /ί .-i ,· Α8 Β8 C8 D8 有 封 第 圍 範 利 專 請 Φ 如 劑 著 接 布 f 顆.¾ 媒i ί L®之丨 E 來 項 機7r用 其 電 該 2 ， 和 第ΐ架 和.，框 線 極 之 架 框 在 中 著 接 子 蓋 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、-* 線ί 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 X 297公釐）