TW410404B - Method for processing peripheral portion of thin plate and apparatus therefor - Google Patents

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A7 410404 ______B7__ 五、發明說明彳) 發明背景 ’ 發明領域 本發明有關一種處理諸如矽晶圓薄片周邊部份之方法 _及其裝置。 相關技藝之敘述 當在製造矽晶圓之製程中施行一硏磨步驟或雙面拋光 步驟時，震動（衝擊）負載施加至一矽晶圓之周邊部份。 一衝擊負載於半導體元件之製造過程中施加至晶圓之周邊 部份，這是因爲在室溫及攝氏一千與數百度間之加熱及冷 卻處理所造成之熱應力或因爲諸如氧化作用之薄膜成形處 理。再者，因爲於製造矽晶圓之製程中及於製造半導體元 件之製程中定位畢圓、在一裝置內轉移晶圓、在—声置及 另一裝置之間轉移晶圓、藉著使用該晶圓之周邊部份支撐 一晶圓等，一衝擊負載係局部及時常地施加至晶圓之周邊 部份。 當該衝擊負載局部地施加至一晶圓之周邊部份時’該 晶圓之周邊部份易於被切掉。因爲用做半導.體元件材'料之 矽晶圓係由矽製成及爲單晶體，該晶圓依其晶體方位而定 具有一裂紋及具脆性。當切開該晶圓時，其小碎片飛出。 因爲該小碎片黏著至形成該半導體元件之晶圓表面’將使 該半導體元件之特性及產量惡化。 根據一項較早之發展，已削去該晶圓周邊部份之稜角 ，以便避免或解開這些問題。~ {請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) /農----Γ---訂----- 線>- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） -4- A7 410404 ^___B7__ 五、發明說明6 ) 其次，將在下面說明典型削角裝置之三種型式。 第一種削角裝置係第7圖所示之成形削角裝置。該削 角裝置1 0 0包含具有一溝槽之磨輪1 0 1 (所謂成形磨 輪），該溝槽形狀係與一已削角部份之形狀相同。該晶圓 w藉著使用一真空夾頭固定在該夾持平台1 〇 2上。於該 削角裝置1 0 0中，藉著施加一不變之負載至該磨輪 1 0 1以將該磨輪推至該晶圓W，俾能處理該晶圓w之周 邊部份。根據該削角裝置1 0 0，該晶圓W之已削角部份 之形狀係由該磨輪1 0 1溝槽之形狀所決定。 第二種削角裝置係第8圖所示之一仿形削角裝置。該 削角裝置2 0 0包含一具有溝槽2 0 1 a之磨輪2 0 1， 該溝槽之寬度大於該晶圓W之厚度。該晶圓W藉著一對放 在欲夾住晶圓W之上下方位置之夾持主體2 0 2及_=2 0 3 夾住，以便固定該晶圓W。於該削角裝置2 〇 0中，仿形 模板2 0 4放在與該上夾持主體2 0 2相同之軸上。該仿 形模板2 0 4及該上夾持主體2 0 2 —起旋轉及在一垂直 方向中移動。一仿形滾筒2 0 5放在與該磨輪2 0 1相同 之軸上。該仿形滾筒2 0 5及該磨輪2 0 1彼此獨立地旋 轉。 如下藉著使用該削角裝置2 0 0施行該晶圓周邊部份 之削角處理。亦即在夾住該晶圓W之後，該仿形滾筒 2 0 5在該仿形模板2 0 4之方向中移動。滾動該仿形滾 筒2 0 5及該仿形模板2 0 4以便互相接觸。當該仿形滾 筒2 0 5移動時，該磨輪2 0 Ϊ接觸該晶圓W，以便開始 氏張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） Z ： -----------_.!裝—^ l·—訂---------線--V (請先閲讀背面之注意事項填寫本頁) ί 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7__ 五、發明說明έ ) ·· 削去該晶圓w周邊部份之稜角。於該削角製程中，藉著旋 轉該晶圓W —圈以處理該晶圓W之周邊部份。該晶圓W向 上移動及旋轉一圈，以便削去該晶圓W周邊部份之上表面 _之稜角。該晶圓w往下移動及旋轉一圈，以便削去該晶圓 W周邊部份之下表面之稜角 於該削角裝置2 0 0中，因爲基於該溝槽2 0 1 a底 部所測量之磨輪2 0 1直徑係與該仿形滾筒2 0 5之直徑 相同，該晶圓W之直徑與該仿形模板2 0 4之直徑相同。 藉著該溝槽2 0 1 a之上壁面處理該晶圓W周邊部份之上 表面。藉著該溝槽2 0 1 a之下壁面處理該晶圓W周邊部 份之下表面。其結果是該削角部份之上部形狀對應於該溝 槽2 0 1 a上壁面之形狀。同理，該削角部份之下部形狀 對應於該溝槽2 Pla下壁面之形狀。再者，當該圓W 向上移動及當該晶圓W往下移動時，藉著該晶圓W所放入 位置決定該削角部份之寬度。 第三種削角裝置係一未顯示圖面中之數値控制（N C )削角裝置。該削角裝置藉著該數値控制控制執行該晶圓 及該磨輪之相對位置之控制，而未藉著使用類似該仿形削 角裝置之仿形滾筒及該仿形模板。類似該仿形削角裝置施 行該晶圓周邊部份之削角處理。 該晶圓削角部份之功能不只防止該晶圓被切開。特別 是於製造外延晶圓之情況時，該晶圓之削角部份防止矽單 晶在該晶圓周邊部份之異常增長。再者’該晶圓之削角部 份在一抗蝕步驟中之自旋塗佈通間排出液體°這由該晶圓 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 間 讀 背 面 意 事 項 再 填 寫 本 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -6- 410404 A7 __B7__ 五、發明說明4 ) " 削角部份之橫截面形狀（在下文稱爲1‘削角形”）及該削角部 份之功能優於另一部份之尺寸所決定。必需考慮何種功能 較重要以合適地選擇該削角形狀及削角部份之尺寸。譬如 ’，該削角形狀係半圓形、梯形、梯形之一端點呈圓形等。 該削角部份有各種尺寸。 然而，於削角裝置之三種型式中，因爲該削角形狀係 由該磨輪之溝槽形狀所決定，當改變該削角部份之形狀時 ，必需將該磨輪更換成另一個具有不同溝槽之磨輪。必得 準備數種型式之磨輪以便更換磨輪。更換磨輪是麻煩的。 再者，有一項問題是更換磨輪時不能操作削角裝置。 發明槪要 本發明係由這些問題之角度所發展。 .，··· "τί 本發明之一目的係提供一種用以處理數種型式之削角 部份等而不須更換工具之處理方法及其處理裝置。 亦即按照本發明之一論點，處理薄片周邊部份之方法 包含下列步驟：以一具有圓形自由端及突出至該薄片以便 處理該薄片之接觸周邊部份之工具處理部件接觸該薄片， 及在該工具及薄片之一之方向中移動至少選自該工具及薄 片之另一個，該移動平行於該薄片之主要表面及位於該另 一個之方向中，該移動方向正交於該薄片之主要表面，以 便將該薄片周邊部份及該工具處理部件間之一接觸點改變 至另一接觸點，及處理該薄片周邊部份之已改變接觸點。 於該說明書中，假如未特@賦予-處理（process )" — 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (諳先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝！1!訂·---- 線J- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印*1衣 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 410404 A7 _____B7____ 五、發明說明έ ) 字其他意義，"處理（process ) ”一字意指該削角部份之處 理，亦即製成該削角部份及拋光該削角部份。 根據該薄片周邊部份之處理方法，因爲施行以一具有 _圓形自由端及突出至該薄片以便處理該薄片之接觸周邊部 份之工具處理部件接觸該薄片之步驟；及在該工具及薄片 之一之方向中移動至少選自該工具及薄片之另一個、該移 動平行於該薄片之主要表面及於該另一個之方向中、該移 動方向正交於該薄片之主要表面，以便將該薄片周邊部份 及該工具處理部件間之一接觸點改變至另一接觸點及處理 該薄片周邊部份之已改變接觸點之步驟，可藉著使用該工 具處理部件之每一點處理該薄片之周邊部份。其結果是藉 著一工具即可適當地製成具有各種形狀之削角部份。當用 以製成該削角部份之工具係更換成用以拋光該削角部份之 工具時，即可拋光具有各種形狀之削角部份。因爲負載係 分散進入整個處理部件而未將其施加至該工具之一特定位 置，可延長該工具之使用壽命" 藉著在正交於該工具及薄片之一之方向中進一步移動 至少選自該工具及薄片之另一個、該移動平行於該薄片之 主要表面及平行於該另一個之方向、該方向正交於該薄片 之主要表面即可施行該移動步驟。 根據該薄片周邊部份之處理方法，即使該薄片周邊部 份係由一線性形式所構成，仍可處理該薄片之周邊部份。 該工具之處理部件可包含一上下表面彼此平行之平坦 部份。 ------------裝 ill·!訂 ---- . C (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -8 - 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 410404 A7 _B7___ 五、發明說明έ ) " 可適當地處理該削角部份及該薄片主要表面間之邊界 部件之一逐漸傾斜部件= 該處理部件之厚度可爲該薄片厚度之二倍或更多倍。 ’該處理部件之圓形自由端之曲率半徑可大於該處理部件之 平坦部份之一半厚度。該工具可爲圓柱形及附著至該工具 周圍部份之處理部件爲環形。 按照本發明之另一論點，一薄片周邊部份之處理方法 包含下列步驟：以一工具之處理部件接觸該薄片，該處理 部件具有一設有圓形底部之溝槽，俾能以該處理部件由彼 此不同之三個方向圍繞著該薄片之周邊部份，以便處理該 薄片之接觸周邊部份，及在該工具及薄片之一之方向中移 動至少選自該工具及薄片之另一個，該移動平行於該薄片 之主要表面及位於該另一個之方向中，該移動正交於該薄 TSm 片之主要表面，以便將該薄片周邊部份及該工具處理部件 間之一接觸點改變至另一接觸點，及處理該薄片周邊部份 之已改變接觸點》 當該薄片之厚度係由5 0 0微米至9 0 0微米時，該 溝槽之開口寬度最好不小於1 0 0 0微米。該溝槽之開口 寬度必需不小於1 0 0 0微米，以便藉著使用一工具處理 這些薄片。 因爲施行以一工具之處理都件接觸該薄片，該處理部 件具有一設有圓形底部之溝槽，俾能以該處理部件由彼此 不同之三個方向圍繞著該薄片之周邊部份，以便處理該薄 片之接觸周邊部份之步驟；及^該工具及薄片之一之方向 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) Ό 裝ill·---丨訂----

本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -9- 410404 A7 、 _B7_ 五、發明說明f ) 中移動至少選自該工具及薄片之另=個，該移動平行於該 薄片之主要表面及位於該另一個之方向中，該移動正交於 該薄片之主要表面，以便將該薄片周邊部份及該工具處理 ‘部件間之一接觸點改變至另一接觸點，及處理該薄片周邊 部份之已改變接觸點之步驟，可藉著使用該工具處理部件 之每一點處理該薄片之周邊部份。其結果是藉著一工具即 可適當地製成厚度比該開口寬度小之薄片周邊部份。 藉著在正交於該工具及薄片之一之方向中進一步移動 至少選自該工具及薄片之另一個、該移動平行於該薄片之 主要表面及平行於該另一個之方向、該方向正交於該薄片 之主要表面即可施行該移動步驟。 根據該薄片周邊部份之處理方法，即使該薄片周邊部 份係由一線性形式所構成，仍可處理該薄片之周邊__部份。 該溝槽之深度大於該薄片削角部份之一寬度。 可適當地處理該削角部份及該薄片主要表面間之邊界 部件之一逐漸傾斜部件。 按照本發明之另一論點，處理一薄片周邊部份之裝置 包含：具有一設有圓形自由端及突出至該薄.片之處理部件 之工具、一用以接觸該薄片與該工具之處理部件以便處理 該薄片之接觸周邊部份之接觸裝置、及一移動裝置，該移 動裝置在該工具及薄片之一之·方向中移動至少選自該工具 及薄片之另一個，該移動平行於該薄片之主要表面及位於 該另一個之方向中，該移動正交於該薄片之主要表面’以 便將該薄片周邊部份及該工具ί理部件間之—接觸點改變 (請先間讀背面之注意事項再填寫本頁) Ό ill·— — — I 订1!!11

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 10- 410404 A7 B7 五、發明說明έ ) 至另一接觸點，及處理該薄片周邊部份之已改變接觸點。 根據處理該薄片周邊部份之裝置，可藉著使用該工具 處理部件之每一點處理該薄片之周邊部份。其結果是藉著 * _ —工具即可適當地製成具有各種形狀之削角部份。當用以 製成該削角部份之工具更換成用以拋光該削角部份之工具 時，可拋光具有各種形狀之削角部份。因爲負載係分散進 入整個處理部件而未將其施加至該工具之一特定位置，可 延長該工具之使用壽命。 該移動裝置可在正交於該工具及薄片之另一個之方向 < 中至少進一步移動選自該工具及薄片之一者，該移動平行 於該薄片之主要表面及位於該另一個之方向中，該移動正 交於該薄片之主要表面 根據處理該薄片周邊部份之裝置，即使該薄片=周邊部 份係由一線性形式所構成，仍可處理該薄片之周邊部份。 該工具之處理部件可包含一上下表面彼此平行之平坦 部份。 可適當地處理該削角部份及該薄片主要表面間之邊界 部件之一逐漸傾斜部件。 該處理部件之厚度可爲該薄片厚度之二倍或更多倍。 該處理部件之圓形自由端之曲率半徑可大於該處理部件之 平坦部份之一半厚度。該工具可爲圓柱形及附著至該工具 周圍部份之處理部件爲環形。 按照本之另一論點發明，處理一薄片周邊部份之裝置 包含：設有圓形底部之溝槽之邊理部件之工具：一用以接 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁> Ό 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ,,4ί〇4〇4_^_ 五、發明說明6 ) " 觸該薄片與該工具之處理部件之接觸裝置，俾能以該處理 部件由彼此不同之三個方向圍繞著該薄片之周邊部份，以 便處理該薄片之接觸周邊部份；及一移動裝置，該移動裝 |置在該工具及薄片之一之方向中至少移動選自該工具及薄 片之另一個，該移動平行於該薄片之主要表面及位於該另 一個之方向中，該移動正交於該薄片之主要表面，以便將 該薄片周邊部份及該工具處理部件間之一接觸點改變至另 一接觸點，及處理該薄片周邊部份之已改變接觸點。 根據處理該薄片周邊部份之裝置，可藉著使用該工具 處理部件之每一點處理該薄片之周邊部份。其結果是藉著 —工具即可適當地製成厚度比該開口寬度小之薄片削角部 份- 該移動裝置可在正交於該工具及薄片之一之方询中進 —步移動至少選自該工具及薄片之另一個，該移動平行於 該薄片之主要表面及位於該另一個之方向中，該移動正交 於該薄片之主要表面， 根據處理該薄片周邊部份之裝置，即使該薄片周邊部 份係由一線性形式所構成，仍可處理該薄片之周邊部份。 該溝槽之深度大於該薄片削角部份之一寬度。 可適當地處理該削角部份及該薄片主要表面間之邊界 部件之一逐漸傾斜部件。 根據本發明，因爲施行以具有一設有圓形自由端及突 出至該薄片之處理部件之工具接觸該薄片，以便處理該薄 片之接觸周邊部份之步驟；及^該工具及薄片之一之方向 請 先 閱 讀 背 面 之 注 事

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經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -12- 五、發明說明（0 ) A74i〇4〇 B7 中至少移動選自該工具及薄片之另=個，該移動 薄片之主要表面及位於該另一個之方向中，該移 該薄片之主要表面，以便將該薄片周邊部份及該 平行於該 動正交於 工具處理 部件間之一接觸點改變至另一接觸點，及處理該薄片周邊 部份之已改變接觸點之步驟，可藉著使用該工具處理部件 之每一點處理該薄片之周邊部份。其結果是藉著一工具即 可適當地製成具有各種形狀之削角部份。當用以製成該削 角部份之工具更換成用以拋光該削角部份之工具時，可拋 光具有各種形狀之削角部份。 請 先 閱 讀 背 Φ 之 注 意 事 項 s( 寫 本 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 圖面簡述 由下文所給予之詳細敘述及附圖將變得更充分了解本 發明，各附圖係僅供說明，且因此不欲限定本發明範圍 ，及其中： 第1圖係根據本發明槪要地顯示該削角裝置（一處理 裝置）實施例之一視圖； 第2圖顯示第1圖所示削角裝置之一方塊圖： 第3圖係根據第一範例顯示置於該削角裝置中之晶圓 接觸該磨輪之一種狀態之視圖； 第4圖係根據第二範例顯示該晶圓接觸該磨輪之一種 狀態之視圖： 第5圖係根據第三範例顯示該晶圓接觸該磨輪之一種 狀態之視圖； 第6圖係根據第四範例顯示該晶圓接觸該磨輪之一種 本纸張尺度適用中画國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -13- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 410404 A7 ._B7_ 五、發明說明糾) " 狀態之視圖： ’ 第7圖係根據早先之發展槪要地顯示一削角裝置之視 圖；及 第8圖係根據早先之發展槪要地顯示另一削角裝置之 視圖。 主要元件對照表 1 削角裝置 2 夾持平台 3 往復運動平台 4 夾持平台移動構件 5 往復運動平台移動構件 6 第一軸 7 晶圓旋轉構件 8 磨輪 8 a 處理部件 9 舉昇平台 10 舉昇平台移動構件 11 第二軸 12 磨輪旋轉構件 13 偵測構件 14 數値控制裝置 8 0 磨輪 80a 處理部件 ~ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) I — 丨丨 — 丨訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 χ 297公釐） -14- A7 410404 ------B7 五、發明說明¢2 ) 8 1 磨輪 8 1 a 處理部件 8 2 磨輪 8 2 a 處理 部件 1 0 0 削角 裝置 1 0 1 磨輪 1 0 2 夾持平台 2 0 0 削角 裝置 2 0 1 磨輪 2 0 1 ε i溝槽 2 0 2 夾持 — 2 0 3 夾持 主體 2 0 4 仿..形 模板 2 0 5 仿形 滾筒 ^裝--- <請先閱讀背面之注意事項*:填寫本頁) 訂· 經濟部智慧財產局員Η消費合作社印製 本發明之較佳實施例 第1圖根據本發明之實施例顯示一削角裝置（一處理 裝置）。第2圖顯示其方塊圖。該削角裝置1包含一用以 藉著真空夾頭夾持晶圓W之夾持平台2;—支撐該夾持平 台2之往復運動平台3，俾能於第1圖所示裝置之情況中 在正交於該薄片表面之方向（Y軸方向）移動平台2 ; — 在該往復運動平台3上於Y軸方向移動該夾持平台2之夾 持平台移動構件4 ;—於箭頭X方向（X軸方向）中往復 移動該往復運動平台3之往復i動平台移動構件5 在 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐〉 -15- 410404 A7 B7 五、發明說明（3 ) " 請 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 填、 本 頁 該第一軸6上旋轉該夾持平台2及該晶圓W之晶圓旋轉構 件7 ; —支撐磨輪8之舉昇平台9 ; 一於箭頭Z方向（Z 軸方向）中移動該舉昇平台9之舉昇平台移動構件1◦; _及一在該第二軸1.1上旋轉該磨輪8之磨輪旋轉構件12 。如第2圖所示，該削角裝置1包含一用以偵測該夾持平 台.2及該晶圓W之位置與該夾持平台2及該晶圓W之旋轉 狀態之偵測構件1 3，及一基於該偵測構件1 3所輸出之 信號控制該夾持平台移動構件4、該往復運動平台移動構 件5、該晶圓旋轉構件7、及該舉昇平台移動構件1 0之 數値控制裝置1 4。一使該晶圓W與該磨輪8精確接觸及 改變該晶圓W及該磨輪8間之接觸點之接觸裝置係由該夾 持平台移動構件4、該往復運動平台移動構件5、及該舉 昇平台移動構件1 0所構成。一使該晶圓W及該磨<輪8彼 此相對搰動之滑動構件係由該晶圓旋轉構件7及該磨輪旋 轉構件1 2所構成》 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 雖然本發明未受限於該磨輪8之厚度，該磨輪8係比 第3圖所示晶圓W更厚。考慮實用性，諸如該磨輪8之耐 磨性，該磨輪8之處理部件8 a最好至少比該晶圓W厚二 倍或更多倍。該磨輪8之形狀爲盤形，其周邊部份以一拱 形樣式突出。具體上該磨輪8之周邊部份以半圓形樣式突 出，這是考慮容易製成該磨輪_ 8及容易構成該往復運動平 台3及該舉昇平台9之操作程序之實用性。該磨輪8之突 出部件係具有一圓形自由端之處理部件8 a。 其次，將在下面說明上述&製成削角裝置1之操作。 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準<CNS)A4規格（210 X 297公釐） 410404 A7 B7 五、發明說明“） 先 閱 讀 背 之 注 意 事 項 寫 本 頁 該晶圓W係夾持在該夾持平台2上。當旋轉該晶圓W 時，移動該往復運動裝置3以便使該晶圓W之周邊部份接 觸該磨輪8。同時旋轉該磨輪8。當開始削去該晶圓W周 '邊部份之稜角時，移動該往復運動平台3及該舉昇平台9 以便分別於該X軸方向及Z軸方向相對該晶圓W移動該磨 輪8。藉此，削去該晶圓W周圍部份之稜角。 當削去該晶圓W周圍部份之一線性部份（方位平坦部 份）之稜角時，只旋轉該磨輪8。分別於該X軸方向、Y 軸方向及Z軸方向中相對該晶圓W移動該磨輪8。 根據上述所製成之削角裝置1，使用具有呈拱形樣式 突出之處理部件8 a之磨輪8。因爲分別於該X軸方向、 Y軸方向及Z軸方向中藉著相對該晶圓W移動該磨輪8以 處理該晶圓W之周邊部份，藉著使用該磨輪8處理部件 η 8 a之每一點即可處理該晶圓W之周邊部份。其結果是藉 著一磨輪8即可適當地製成具有各種形狀之削角部份。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 爲能確認此效果，藉著硏磨由切開一鑄塊所獲得之矽 晶圓之周邊部份製成該削角形狀，根據本發明該矽晶圓具 有2 0 1 . 0毫米之直徑及7 5 0微米之厚度。如一削角 部份之範例，該削角部份之形狀係由一具有4 0 0微米曲 率半徑之圓弧形樣式、一相對該晶圓之主要表面具有2 2 度斜度之直線、及一具有3 0 0微米曲率半徑之圓弧所構 成。再者，它們平滑地連接。如一工具，使用一具有8 0 毫米外徑之金屬粘結式金剛石磨輪，該磨輪在其周邊部份 上具有一突出部件，該突出部ί之剖面具有3毫米曲率半 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格<210 X 297公釐） •17- A7 410404 _ B7___ 五、發明說明牦） “ 徑之半圓形樣式。爲獲得預定之削角形狀，基於當作一切 線之晶圓直徑、該磨輪之削角形狀及尺寸用幾何學計算該 晶圓及該磨輪之相對位置。決定該往復運動平台、舉昇平 '台、及夾持平台之移動量，以便組成一程序。該程序係輸 入該數値控制裝置。於該硏磨狀態中，該磨輪之旋轉速度 設定爲每分鐘4 0 0 0轉，該晶圓之旋轉速度設定爲每分 鐘3 0轉，及該磨輪之滑動速度設定爲每分鐘1毫米。水 係用作一硏磨液體。 在這些條件下處理該晶圓之周邊部份。在完成該處理 之後，藉著放大投影法測量該削角形狀。此測量確認該晶 圓之周邊部份係處理成所想要之形狀。 第4圖顯示一磨輪之第二範例。該磨輪8 0之形狀爲 周邊部份突出之盤形。該磨輪8 0之突出部件，亦即，該 —j 經濟部智慧財產局員工消費合作社印？衣 處理部件8 0 a具有一上下表面彼此平行之平坦部份、及 一具有大於該平坦部份一半厚度之曲率半徑之圚形自由端 。第5圖顯示一磨輪之第三範例。該磨輪81之形狀爲環 繞周邊具有一溝槽之周邊部份之盤形。該溝槽具有一凹入 呈拱形樣式之底部及一彎曲之肩部。該磨輪8 1之溝槽爲 一處理部件8 1 a 〇藉著使用該磨輪8 1以由彼此不同之 三個方向用該處理部件8 1 a圍繞著該晶圓W周邊部份之 狀態削去該晶圓W周邊部份之稜角。該溝槽之深度大於該 晶圓W之削角部份之寬度。 第6圖顯示一磨輪之第四範例。該磨輪8 2之主體部 件爲圓柱形。該磨輪8 2在其i圍部份上具有一用作處理 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） "18** A7 410404 _B7__ 五、發明說明彳6 ) 部件8 2 a之突出部件。如第6圖所示，該突出部份之自 由端具有一拱形樣式。該突出部份爲一環形。於該情況中 ，如第6圖所示，該處理部件8 2 a之長度最好大於該晶 '圓W削角部份之寬度，因爲可適當地處理該削角部份及該 主要表面間之邊界部件之逐漸傾斜部件。 雖然已根據該實施例說明本發明，亦應了解的是本發 明未受限於該實施例，且可對本發明作各種變化及修改卻 未偏離其要旨。 例如，雖然已說明該晶圓W之周邊部份係使用該磨輪 處理，本發明可應用於該削角部份之鏡面拋光，而藉著使 用由發泡之胺基甲酸酯等所製成之磨光輪取代該磨輪及藉 著使用當作硏磨泥漿之膠狀矽石施行該鏡面拋光》於該情 況中，該晶圓不只可與一拋光墊之特定位置接觸，亦可與 其一大面積接觸。因爲已平均分配由該拋光墊轉移至該晶 圓之不勻度，可使一鏡面拋光之削角部份更平滑。 藉著使用具有小直徑之磨輪削去該V型槽口部份之稜 角*以便製成一類似上面實施例之削角形。 雖然已說明藉著該工具削去該矽晶圓之稜角，本發明 可應用於任何薄片。 吾人認爲當使用一簡單之圓柱形磨輪時，可藉著傾斜 該磨輪之旋轉軸達成本發明之目的。然而，根據本發明可 適當地處理一薄片而不須控制該工具之旋轉角度。 在1 9 9 8年5月2 9日提出之日本專利申請案第 Tokugan-Hei 1 0 — 1 49 9 3 4號之全部揭露內容，包含 私紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 閱 讀 背 面 之 注 意 項 再 填 頁 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 19- 410404 A7 _B7_ 五、發明說明彳7 ) 規格、申請圖面及摘要係在此全部倂入參考。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ，裝--------訂·'-------- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -20- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）

Claims (1)

1. 0^88 迟 ABCS 410404 六、申請專利範圍 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 1 . 一種處理薄片周邊部份之方法，包含下列步驟： 以具有圓形自由端及突出至該薄片以便處理該薄片之 接觸周邊部份之工具處理部件接觸該薄片；及 在該工具及薄片之一之方向中移動至少選自該工具及 薄片之另一個，該移動平行於該薄片之主要表面及位於該 另一個之方向中，該移動方向正交於該薄片之主要表面， 以便將該薄片周邊部份及該工具處理部件間之一接觸點改 變至另一接觸點，及處理該薄片周邊部份之已改變接觸點 0 .2 .根據申請專利範圍第1項之處理薄片周邊部份之 方法，其中藉著在正交於該工具及薄片之一之方向中進一 步移動至少選自該工具及薄片之另一個以施行該移動步驟 ，該移動平行於該薄片之主要表面及平行於該另=個之方 向，該方向正交於該薄片之主要表面。 3 .根據申請專利範圍第1或2項之處理薄片周邊部 份之方法，其中該工具之處理部件包含一上下表面彼此平 行之平坦部份。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 4 · 一種處理薄片周邊部份之方法，包含下列步驟： 以一工具之處理部件接觸該薄片’該處理部件具有一 設有圓形底部之溝槽，俾能以該處理部件由彼此不同之三 個方向圍繞著該薄片之周邊部份’以便處理該薄片之接觸 周邊部份；及 在該工具及薄片之一之方向中移動至少選自該工具及 薄片之另一個，該移動平行於該薄片之主要表面及位於該 -21 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） ABaD 410404 六、申請專利範圍 一 (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) 另一個之方向中’該移動正交於該薄片之主要表面，以便 將該薄片周邊部份及該工具處理部件間之—接觸點改變至 另一接觸點’及處理該薄片周邊部份之已改變接觸點。 5 .根據申請專利範圍第4項之處理薄片周邊部份之 方法’其中藉著在正交於該工具及薄片之一之方向中進一 步移動至少選自該工具及薄片之另一個以施行該移動步驟 ’該移動平行於該薄片之主要表面及平行於該另一個之方 向’該方向正交於該薄片之主要表面。 6 種處理薄片周邊部份之裝置，包含： .具有一設有圓形自由端及突出至該薄片之處理部件之 X 曰 ♦ 具， 一用以接觸該薄片與該工具之處理部件以便處理該薄 片之接觸周邊部J分之接觸_裝置；及 < 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 一移動裝置，該移動裝置在該工具及薄片之一之方向 中移動至少選自該工具及薄片之另一個，該移動平行於該 薄片之主要表面及位於該另一個之方向中.，該移動正交於 該薄片之主要表面，以便將該薄片周邊部份及該工具處理 部件間之一接觸點改變至另一接觸點，及處理該薄片周邊 部份之已改變接觸點》 7 .根據申請專利範圍第6項之處理薄片周邊部份之 裝置，其中該移動裝置在正交於該工具及薄片之一之方向 中進一步移動至少選自該工具及薄片之另一個’該移動平 行於該薄片之主要表面及平行於該另一個之方向’該方向 正交於該薄片之主要表面。 -22- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS>A4規格（210 X 297公釐） oq 00 00 8 ^BaD 410404 六、申請專利範圍 8 .根據申請專利範圍第6或7項之處理薄片周邊部 份之裝置，其中該工具之處理部件包含一上下表面彼此平 (請先閱讀背面之注§項再填寫本頁) 行之平坦部份。 9 . 一種處理薄片周邊部份之裝置，包含： 具有一設有圓形底部之溝槽之處理部件之工具； 一用以接觸該薄片與該工具之處理部件之接觸裝置， 俾能以該處理部件由彼此不同之三個方向圍繞著該薄片之 周邊部份|以便處理該薄片之接觸周邊部份；及 一移動裝置，該移動裝置在該工具及薄片之一之方向 中移動至少選自該工具及薄片之另一個，該移動平行於該 薄片之主要表面及位於該另一個之方向中，該移動正交於 該薄片之主要表面，以便將該薄片周邊部份及該工具處理 部件間之一接觸點改變至另一接觸點，及處理該％片周邊 部份之已改變接觸點。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 1 0 .根據申請專利範圍第9項之處理薄片周邊部份 之裝置，其中該移動裝置在正交於該工具及薄片之一之方 向中進一步移動至少選自該工具及薄片之另一個，該移動 平行於該薄片之主要表面及平行於該另一個之方向’該方 向正交於該薄片之主要表面。 -23 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐）