JP2009142913A - ウェハーのベベル加工法とホイール型回転砥石 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】断面略コ字形状の環状研削溝10を有するホイール型回転砥石20を高速回転させ、ウェハー30外周面を環状研削溝に接触させながらウェハーを低速回転させてウェハー外周部31とエッジ部32を加工するウェハーのベベル加工法であって、上記ホイール型回転砥石の環状研削溝が環状の平坦底面部22とこの底面部から外方へ伸びる環状の上下斜面部21とで構成され、上記平坦底面部の幅寸法がウェハー厚さの2倍以上に設定されていると共に、平坦底面部における幅方向上側の領域と下側の領域をそれぞれ重複させることなく個別に用いてウェハー外周部を加工することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
断面略コ字形状の環状研削溝を外周面に複数有するホイール型回転砥石を高速回転させると共に、難加工性材料で構成されるウェハー外周面を上記環状研削溝に接触させながらウェハーを低速回転させてウェハー外周部とエッジ部を加工するウェハーのベベル加工法において、
上記ホイール型回転砥石の環状研削溝が環状の平坦底面部とこの底面部から外方へ伸びる環状の上下斜面部とで構成され、上記平坦底面部の幅寸法がウェハー厚さの2倍以上に設定されていると共に、平坦底面部における幅方向上側の領域と下側の領域をそれぞれ重複させることなく個別に用いてウェハー外周部を加工することを特徴とする。
請求項1に記載のベベル加工法に用いられるホイール型回転砥石において、
断面略コ字形状の環状研削溝が環状の平坦底面部とこの底面部から外方へ伸びる環状の上下斜面部とで構成され、かつ、平坦底面部の幅寸法がウェハー厚さの2倍以上2.1倍以下に設定されていることを特徴とする。
ホイール型回転砥石の環状研削溝が環状の平坦底面部とこの底面部から外方へ伸びる環状の上下斜面部とで構成され、上記平坦底面部の幅寸法がウェハー厚さの2倍以上に設定されていると共に、平坦底面部における幅方向上側の領域と下側の領域をそれぞれ重複させることなく個別に用いてウェハー外周部を加工することを特徴としている。
20 ホイール型回転砥石
21 上下斜面部
22 平坦底面部
30 ウェハー
31 ウェハーの外周部
32 ウェハーの上下エッジ部
Claims (2)
- 断面略コ字形状の環状研削溝を外周面に複数有するホイール型回転砥石を高速回転させると共に、難加工性材料で構成されるウェハー外周面を上記環状研削溝に接触させながらウェハーを低速回転させてウェハー外周部とエッジ部を加工するウェハーのベベル加工法において、
上記ホイール型回転砥石の環状研削溝が環状の平坦底面部とこの底面部から外方へ伸びる環状の上下斜面部とで構成され、上記平坦底面部の幅寸法がウェハー厚さの2倍以上に設定されていると共に、平坦底面部における幅方向上側の領域と下側の領域をそれぞれ重複させることなく個別に用いてウェハー外周部を加工することを特徴とするウェハーのベベル加工法。 - 請求項1に記載のベベル加工法に用いられるホイール型回転砥石において、
断面略コ字形状の環状研削溝が環状の平坦底面部とこの底面部から外方へ伸びる環状の上下斜面部とで構成され、かつ、平坦底面部の幅寸法がウェハー厚さの2倍以上2.1倍以下に設定されていることを特徴とするホイール型回転砥石。
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