JPH0227860U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0227860U JPH0227860U JP10673488U JP10673488U JPH0227860U JP H0227860 U JPH0227860 U JP H0227860U JP 10673488 U JP10673488 U JP 10673488U JP 10673488 U JP10673488 U JP 10673488U JP H0227860 U JPH0227860 U JP H0227860U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafer
- center
- grit
- chamfering wheel
- wafer chamfering
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Description
第1図は本考案に係る半導体ウエハ面取ホイー
ルの実施例を示す断面図、第2図は第1図の要部
拡大図である。 1……中央研削面、2……側部研削面、A……
半導体ウエハ。
ルの実施例を示す断面図、第2図は第1図の要部
拡大図である。 1……中央研削面、2……側部研削面、A……
半導体ウエハ。
Claims (1)
- 周面中央の中央研削面の両側周面にテーパ形に
径が大きくなる側部研削面を設けてなる半導体ウ
エハ面取ホイールにおいて、中央研削面を荒削用
番手に形成し側部研削面を仕上用番手に形成した
ことを特徴とする半導体ウエハ面取ホイール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10673488U JPH0227860U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10673488U JPH0227860U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0227860U true JPH0227860U (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=31340513
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10673488U Pending JPH0227860U (ja) | 1988-08-12 | 1988-08-12 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0227860U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009142913A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-02 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ウェハーのベベル加工法とホイール型回転砥石 |
-
1988
- 1988-08-12 JP JP10673488U patent/JPH0227860U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009142913A (ja) * | 2007-12-12 | 2009-07-02 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | ウェハーのベベル加工法とホイール型回転砥石 |