JP2007088143A - エッジ研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体ウエハ40のエッジ部を研磨するエッジ研磨装置100には、バフユニット11bを隔てて半導体ウエハ40と対向する位置に、バフ18をドレッシングするドレッサ12を配置する。半導体ウエハ40を搭載するウエハ保持部15及びドレッサ12は、それぞれバフユニット11bと接近する方向及び離反する方向に移動可能である。半導体ウエハ40とバフとの接触圧、及び、バフとドレッサ12との接触圧はそれぞれ所定値に制御され、バフによる半導体ウエハ40のエッジ部の研磨中に、ドレッサ12によるバフのIn−Situドレッシングを可能にする。
【選択図】 図2
Description
11a、11b:バフユニット
12:ドレッサ
13a、13b:スラリー供給ノズル
14a、14b:純水供給ノズル
15:ウエハ保持部
16:バフユニット固定部
17:ドレッサ固定部
18:バフ
18a:バフ側面の上側カーブ
18b:バフ側面の下側カーブ
19:支柱
20:すべり回転止め
21:嵌め込み部
22:スロット
23:挿入孔
24:固定用ネジ
31、32:バフ
31a、32a:バフ回転軸
32b:研磨溝
33:ウエハ回転軸
34:スラリー供給ノズル
40:ウエハ
Claims (6)
- 半導体ウエハを搭載するウエハ搭載部と、
前記ウエハ搭載部と相対的に接近する方向及び離反する方向に移動可能に配設され、該ウエハ搭載部に搭載された半導体ウエハのエッジ部を研磨するバフを有する研磨部と、
前記研磨部と相対的に接近する方向及び離反する方向に移動可能に配設され、該研磨部のバフをドレッシングするドレッサとを備えることを特徴とするエッジ研磨装置。 - 前記バフによる半導体ウエハの研磨と、前記ドレッサによる前記バフのドレッシングとを同時に進行させる、請求項1に記載のエッジ研磨装置。
- 前記バフによる半導体ウエハの研磨と、前記ドレッサによる前記バフのドレッシングとを交互に進行させる、請求項1に記載のエッジ研磨装置。
- 前記バフは、前記半導体ウエハ及び前記ドレッサと接触する円筒面を有し、前記ウエハ搭載部と前記ドレッサとがそれぞれ、少なくとも前記円筒面に接触する範囲で前記研磨部の軸と平行方向に移動可能であり、前記ウエハ搭載部と前記ドレッサの前記移動における周期が相互に同じで且つ位相が相互に異なる、請求項1〜3の何れか一に記載のエッジ研磨装置。
- 前記ウエハ搭載部、バフ及びドレッサがそれぞれ、独立に回転可能である、請求項1〜4の何れか一に記載のエッジ研磨装置。
- 前記半導体ウエハ及びドレッサと、前記バフとの接触圧をそれぞれ制御する接触圧制御装置を更に備える、請求項1〜5の何れか一に記載のエッジ研磨装置。
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