TW396377B - Joint for fluid controller - Google Patents

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TW396377B
TW396377B TW087106972A TW87106972A TW396377B TW 396377 B TW396377 B TW 396377B TW 087106972 A TW087106972 A TW 087106972A TW 87106972 A TW87106972 A TW 87106972A TW 396377 B TW396377 B TW 396377B
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TW
Taiwan
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passage
coupling
holding member
valve
fluid
Prior art date
Application number
TW087106972A
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English (en)
Inventor
Tadahiro Ohmi
Michio Yamaji
Tsutomu Shinohara
Shigeru Itoi
Keiji Hirao
Original Assignee
Tadahiro Ohmi
Fujikin Kk
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    • F15BSYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B21/00Common features of fluid actuator systems; Fluid-pressure actuator systems or details thereof, not covered by any other group of this subclass
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F16LPIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16L25/00Constructive types of pipe joints not provided for in groups F16L13/00 - F16L23/00 ; Details of pipe joints not otherwise provided for, e.g. electrically conducting or insulating means
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Description

A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明( 1 ) 1 發 明 i 景 * 1 本 發 明 俗 有 閼 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 • 尤 其 是 有 關 在 半 1 導 體 製 造 裝 置 用 之 流 體 控 制 裝 置 中 例 如 有 關 欲 使 設 於 /·-V 請 1 先 質 量 流 量 控 制 器 之 多 數 開 關 閥 的 通 路 彼 此 連 通 時 所 使 用 閱 1 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 〇 背 1 I 之 1 在 本 説 明 書 上 y 上 下 雖 傜 指 圓 之 上 下 9 但 此 上 下 係 方 注 意 1 I 便 性 的 稱 謂 遮 斷 開 放 器 除 了 $ 例 如 以 表 示 於 第 1 圖 之 事 項 1 I 再 I 狀 態 設 置 於 水 平 面 以 外 * 有 時 上 下 顛 倒 而 設 置 於 水 平 面 寫 1 本 -# 9 或 設 置 於 垂 直 面 〇 頁 W 1 | 在 半 導 體 製 造 裝 置 之 流 體 控 制 裝 置 中 通 常 有 多 數 閥 1 1 被 配 置 在 質 量 流 量 控 制 器 之 入 Π 側 及 出 P 倒 9 此 時 9 不 1 I 以 軟 管 連 接 該 等 閥 間 * 而 將 多 數 閥 從 上 方 裝 卸 白 如 地 排 1 訂 成 一 方 向 配 置 在 塊 狀 聯 軸 器 9 以 形 成 遮 斷 開 放 器 而 作 為 1 __- DO 早 元 使 用 (參照日本專利公報第6 一 2 4 1 4 0 〇號)。 各 閥 之 \ 入 P 及 出 口 傜 設 置 於 下 面 , 因 應 該 等 入 口 及 出 P 位 置 1 I 塊 狀 聯 軸 器 便 配 設 了 流 入 通 路 及 流 出 通 路 〇 將 閥 從 上 方 1 1 裝 卸 白 如 地 設 置 在 塊 狀 聯 軸 器 9 為 的 是 對 裝 配 在 基 板 後 | 之 遮 斷 開 放 器 之 各 閥 9 可 按 每 一 閥 加 以 檢 査 » 或 可 汰 舊 1 1 換 新 使 然 〇 1 1 在 一 流 體 控 制 装 置 上 i 設 有 多 數 遮 斷 開 放 器 9 在 這 些 1 I 遮 斷 開 放 器 中 9 有 閥 數 2 或 4 者 > 有 依 照 閥 間 之 間 隔 其 1 入 Π 及 出 P 位 置 相 異 者 9 市 至 少 在 一 個 閥 之 入 口 舆 出 η 1 之 間 追 加 作 為 其 他 流 體 用 之 入 P 或 出 口 之 副 出 入 P 者 等 1 I > 各 種 各 樣 的 形 態 〇 在 習 知 之 遮 斷 開 放 器 9 即 使 只 一 出 1 1 P 之 位 置 相 異 而 已 的 場 -3 合 9 也 須 要 重 新 製 作 塊 狀 聯 軸 器 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) A7 經消部中次標绛局兵-T消贽合作·社印Ϊ4 題兩器開且狀 置易 控之構貫設 字 中持如構形 問之軸該而塊 装容 體狀所之壁 T 明保 C成路 之器聯閉。種 制求 流宇件壁上 倒 發在部形通 化軸在封題這 控謀 於 U 構之件 或 1,緣路使 準睇只要問但 體可 接為成件構 狀 第部凸通地 標在口 需之, 流並 連面形構持 字 在緣内接單 件若開後煩化 之時 ,截路持保 L ,凸向承簡 構口但随麻量 用同。為横通保在 , 為之之部可 求開,,其輕 置,器器由狀於,。狀 器外部緣業 謀,易 口極著 裝化軸軸,管設路者字 軸向緣凸作 易中容開 Η 求。 造準聯聯器之入通孔I 聯有凸内餘 不器較置加要利 製標用用軸持插下紋偽 用設該向多 有軸比設之也不 體之器器聯保部向螺狀 器乃接之等 ,聯也也路雖很 導件制制之件端之用形 制部承件接 多狀雖部通置也 半構控控部構上器配之 控端置構焊 很塊工端有裝化 於求體體 口持之制裝件 體上設持費 加之加他也制置 在謀流流開保件控之構 流之孔保不 ) 增述之在而控輕 的可之之的該構體器成 之件通以就 > 類前路,因體進 -目種化明路被成流制形 明構貫只 , ( 種在通時,流推 i 之一量發通及形通控路 發成壁,部 明 之,:,部業述對 i 明供輕一向件路連體通 2 形上者緣 説 件者時端作前器 1 發提及第下構通而流狀。第路之成凸 ^ 構ί再部 一 之在軸aa..本、,造按器持,孔對管狀按通件構之 4, 端之口 ,聯 d 中製_ 制保成通有 ,構此件 ' 五 ^ f 訂.^I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙乐尺度垮川屮家標卑(('NS ) Λ4規将(210X 297公釐) A7 B7 經斌部中次標準局货工消费合竹·社印來 五、發明説明( ) 1 I 成 構 件 以 保 持 構 件 保 持 〇 1 1 按 第 3 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 為 9 在 第 1 發 明 中 1 > 通 路 形 成 構 件 % 包 括 有 : 内 部 有 通 路 且 被 嵌 入 在 保 持 請 先 1 1 構 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 9 連 通 到 本 體 内 通 路 且 其 上 端 部 閲 1 背 1 插 人 設 於 保 持 構 件 上 壁 之 SB- 貝 通 孔 而 連 通 到 流 體 控 制 器 之 面 之 1 I 向 下 通 路 的 管 狀 上 方 突 出 部 ,· 與 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 意 事 1 側 方 延 伸 之 至 少 一 管 狀 側 方 突 出 部 〇 按 如 此 構 成 者 9 只 項 再 1 填 1 要 把 通 路 形 成 構 件 嵌 入 保 持 構 件 之 上 下 壁 間 > 就 不 需 焊 寫 本 ( 接 等 麻 煩 9 可 使 通 路 形 成 構 件 簡 αο 単 以 保 持 構 件 保 持 Ο 通 頁 1 1 路 形 成 構 件 之 管 狀 倒 方 突 出 部 通 常 是 一 個 或 兩 m 〇 倒 方 1 I 突 出 部 只 一 個 時 > 形 成 於 通 路 形 成 構 件 内 之 通 路 為 L 型 I 1 〇 此 時 之 側 方 突 出 部 可 向 保 持 構 件 之 長 邊 方 向 延 伸 , 也 1 訂 可 向 保 持 構 件 之 寬 度 方 向 延 伸 〇 有 兩 個 側 方 突 出 部 時 1 1 I 所 追 加 之 第 2 侧 方 突 出 部 可 對 第 1 側 方 突 出 部 成 直 角 1 1 也 可 介 於 本 體 部 舆 第 1 側 方 突 出 部 排 成 直 線 狀 〇 I 1 刖 述 第 1 至 第 3 發 明 的 聯 軸 器 除 α〇 早 獨 使 用 之 外 9 亦 得 1 歧 以 各 種 組 合 使 用 〇 按 這 些 流 體 控 制 器 用 m 軸 器 者 9 由 於 1 各 保 持 構 件 横 截 面 為 匚 字 狀 1 使 用 這 聯 軸 器 總 比 使 用 1 I 塊 狀 聯 軸 器 » 較 可 謀 求 輕 量 化 〇 f 1 | 第 4 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 為 9 連 通 兩 個 流 體 控 1 1 制 器 之 朝 下 通 路 彼 此 間 之 聯 軸 器 9 由 以 横 截 面 匚 字 狀 開 I Ρ 彼 此 相 對 a 隔 箸 間 隔 被 配 置 之 第 1 和 第 2 保 持 構 件 9 1 與 U 字 狀 之 管 狀 通 路 形 成 構 件 所 構 成 ) 通 路 形 成 構 件 之 1 1 端 部 插 入 設 於 第 1 保 -5 持 構 件 上 壁 之 -ΕΒ- 貝 通 孔 而 連 通 第 1 1 1 1 1 1 本紙张尺度诚州屮阀( (’NS ) Λ4規枱(2丨Ο'〆297公f ) A7 B7 經滴部中决標卑局只二消贽合作社印9·'1^ 五、發明説明 ( 4- ) 1 1 流 體 控 制 器 之 向 下 通 路 1 通 路 形 成 構 件 之 他 端 部 即 插 入 1 1 設 於 第 2 保 持 構 件 上 堃 之 貫 通 孔 而 連 通 第 2 流 體 控 制 器 | 之 下 通 路 並 於 各 保 持 構 件 之 上 壁 分 別 設 有 流 體 控 制 請 1 器 之 装 配 用 螺 紋 孔 Ο Pt) 讀 1 背 1 按 第 4 發 明 之 聯 軸 器 者 Ϊ 乃 可 獲 得 整 體 上 有 U 字 型 之 面 之 1 注 | 通 路 且 連 通 2 値 流 體 控 制 器 之 聯 軸 器 〇 按 這 種 ΧΗΛ 聯 iifa 器 實 意 事 1 與 第 1 發 明 之 聯 軸 器 相 同 » 由 於 各 保 持 構 件 % 横 截 面 匚 項 再 1 填 1 字 狀 » 使 用 該 聯 軸 器 比 使 用 塊 狀 聯 軸 器 時 9 較 可 謀 求 释 % 本 量 化 〇 頁 •—^ 1 1 第 5 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 傜 在 第 4 發 明 中 * 通 1 1 路 形 成 構 件 偽 由 : 内 部 具 有 通 路 且 被 嵌 入 在 第 1 保 持 構 1 1 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 * 連 通 到 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 1 訂 設 於 第 1 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 第 1 流 體 控 制 器 1 1 之 向 下 通 路 之 管 狀 突 出 部 及 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 第 2 1 1 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 所 構 成 之 第 1 L字 狀 通 路 1 1 形 成 構 件 内 部 具 有 通 路 且 被 嵌 入 在 第 2 保 持 構 件 上 下 1 壁 間 之 本 體 部 , 連 通 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 設 於 第 2 1 保 持 構 件 上 壁 之 通 孔 而 連 通 第 2 流 體 控 制 器 之 向 下 通 1 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 及 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 第 1 保 持 1 I 構 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 而 成 之 第 2 L 字 狀 通 路 形 成 構 I 1 件 所 構 成 , 兩 L 字 狀 通 路 形 成 構 件 之 管 狀 側 方 突 出 部 之 | 前 端 部 彼 此 被 接 合 著 〇 I 按 第 6 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 為 連 通 多 數 流 體 1 I 控 制 器 之 向 下 通 路 彼 此 -6 間 _ 的 聯 軸 器 由 以 横 截 面 匸 字 狀 1 1 1 1 1 本紙张尺度诚川屮阈内象枕印((’NS ) Λ4规梠(210X297公漦) A7 B7 經滴部中央標卑局妇-T.消费合作社印緊 五、發明説明( 女 ) 1 而 使 開 P 彼 此 向 同 一 方 向 直 線 狀 配 置 之 多 數 保 持 構 件 及 1 I 被 各 保 持 構 件 保 持 之 多 數 通 路 形 成 構 件 所 構 成 各 通 路 1 形 成 構 件 乃 具 有 ; 内 部 有 通 路 且 被 嵌 入 在 保 持 構 件 上 下 請 先 1 壁 間 之 本 體 部 * 連 通 到 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 設 於 保 閱 讀 1 背 1 持 構 件 上 壁 之 通 孔 而 連 通 到 流 體 控 制 器 之 向 下 通 路 之 ιέ 之 1 管 狀 上 方 突 出 部 與 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 鄰 接 保 持 構 注 意 事 1 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 相 接 的 通 路 形 成 構 件 之 倒 方 項 再 1 突 出 部 W· 刖 端 彼 此 被 接 合 在 各 保 持 構 件 之 上 壁 設 有 對 流 填 % 本 1 衣 體 控 制 器 之 裝 配 用 螺 紋 孔 〇 頁 '·_^ 1 1 按 第 6 發 明 之 聯 軸 器 者 可 獲 得 具 有 向 保 持 構 件 之 長 I I 邊 方 向 延 伸 之 1 條 直 線 狀 主 通 路 » 和 與 其 直 交 且 建 通 到 1 1 各 流 體 控 制 器 之 較 短 的 副 通 路 之 聯 軸 器 〇 當 接 合 通 路 形 1 訂 成 構 件 之 側 方 突 出 部 前 端 部 彼 此 時 除 使 刖 till 部 彼 此 凸 1 I 合 而 加 以 接 合 之 外 也 可 隔 著 所 需 長 度 之 連 通 管 將 側 方 1 1 突 出 部 的 彼 此 加 以 連 接 〇 這 麼 做 的 話 9 Μ 適 予 諝 整 連 通 1 | 管 之 長 度 就 可 使 側 方 突 出 部 之 長 度 為 一 定 9 而 可 減 少 通 1 路 形 成 構 件 之 種 類 0 再 者 , 在 各 通 路 形 成 構 件 也 可 設 置 f 連 通 到 本 體 内 通 路 a 對 第 1 管 狀 側 方 突 出 部 成 直 交 或 以 1 反 向 延 伸 之 第 2 管 狀 突 出 部 〇 如 此 種 構 成 ) 就 可 使 此 聯 1 軸 器 連 通 到 其 他 流 體 控 制 器 之 通 路 或 配 管 1 聯 軸 器 之 使 1 1 用 用 途 勢 必 更 加 廣 泛 〇 1 第 5 及 第 6 發 明 之 聯 軸 器 m 以 第 3 發 明 之 聯 軸 器 為 基 1 本 可 將 該 等 聯 軸 器 組 合 而 獲 得 〇 此 時 i 隨 著 變 更 設 計 而 1 1 必 須 變 更 者 , 只 是 保 持 構 件 數 J 通 路 形 成 構 件 數 保 持 1 I -7 1 1 1 1 •木紙张尺度诚州中阎行:冷((’NS ) M現格(21()><2()7公筇) A7 B7 經滴部中次標卑局^-τ·消贽合作社印緊 五、發明説明 ( b ) 1 I 構 件 之 開 Ρ 方 向 及 通 路 形 成 構 件 之 管 狀 側 方 突 出 部 數 與 1 J I 其 戶 向 及 長 度 就 可 以 易 於 對 應 流 體 控 制 装 置 之 規 格 變 1 1 更 ' 零 件 種 類 也 不 必 增 加 太 多 〇 亦 PJ 可 謀 求 構 件 之 標 r—> 請 1 1 準 化 0 而 > 製 造 該 等 聯 軸 器 所 需 之 作 業 1 οα 早 就 不 需 以 閱 1 背 1 接 合 通 路 形 成 構 件 之 彼 此 側 方 突 出 部 為 主 1 麻 煩 的 鑽 孔 1¾ 之 1 作 業 部 分 1 就 顯 得 製 造 容 易 0 意 1 I 事 1 圖 面 之 簡 σο 単 説 明 : 項 再 1 填 / 第 1 圖 係 顯 示 使 用 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 流 寫 本 V- I 髏 控 制 裝 置 之 正 視 圖 〇 頁 _____ 1 1 第 2 圖 傺 將 第 1 画 之 流 體 控 制 裝 置之 要 部 放一 大 顯 示 之 1 1 部 分 切 Ρ 分 解 透 視 画 〇 1 1 第 3 圖 偽 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 1 實 1 訂 施 形 態 之 透 視 圖 〇 i 1 第 4 圖 偽 該 縱 截 而 蘭 〇 1 1 第 5 圖 傷 該 横 截 面 圖 〇 1 | 第 6 圖 偽 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 2 實 1 施 形 態 之 透 視 圖 〇 1 第 7 圖 傷 該 縱 截 面 圖 〇 1 I 第 8 圖 % 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 3 形 1 1 態 之 透 視 圖 〇 1 1 第 9 圖 % 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 4 實 1 I 施 形 態 之 透 視 圖 〇 1 1 第 1 Γ 圖 係 該 横 截 面 圖 〇 1 1 第 1 1 阃 係 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 5 實 1 I -f — 1 1 1 本紙侬尺度诚州屮( (’NS ) Μ現格(210X 297公漦) A7 B7 經滴部中夾標準局M.T.消费合竹社印緊 五、發明説明 ( 7 ) 1 1 施 形 態 之 透 視 圖 〇 1 I 第 12 圖 偽 該 横 截 而 圖 〇 1 1 第 13 圖 俱 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸器之第 6實 ^—-請 先 1 1 施 形 態 之 透 視 圖 〇 閱 1 背 1 第 14 圖 係 顯 示 聯 軸 器 裝 配 裝 置 之 截 面 圖 〇 ιέ 之 1 I 第 15 圖 偽 顯 不 螺 栓 之 防 止 脱 落 裝 置 之 截 面圖β 意 1 事 1 較 伴 具 1 例 詳 皇 說 明 ϊ 項 再 1 填 1 以 下 參 照 圖 面 説 明 本 發 明 之 實 施 形 態 〇 寫 本 第 1 圖 及 第 2 圖 傜 顯 示 使 用 本 發 明 流 體 控制器用 聯軸 頁 1 1 器 之 流 體 控 制 裝 置 的 一 例 〇 流 體 控 制 裝 置 (4)係使用於半 1 | 導 體 製 造 裝 置 等 9 由 質 量 流 量 控 制 器 (3 )與設於質量流置 1 1 控 制 器 (3)左方及右方之遮斷開放器( 1) (2 )構成》 1 訂 左 方 之 遮 斷 開 放 器 (1 )乃具有; 配置於左方之第1 開關 1 I 閥 (6)及配置於右方之第2 開關閥(7 ) > 與 裝配有第 1開 1 1 關 閥 (6 )及第2 開關閥(7 ) 之 第 1 閥 裝 配 基 部(28)。 第1 1 | 閥 裝 配 基 部 (2 8)俗 由 後 述 之 多 數 聯 軸 器 (8 0)(30)(3 1)(32) 1 (3 3)所 形 成 〇 在 左 方 遮 m 開 放 器 (1)之左方設有第1 止回 1 闊 (5 )。 1 1 再 者 > 右 方 之 遮 斷 開 放 器 (2)即具有; 配置於左方之第 1 1 3 開 關 閥 (8 )、 配置於中間之第4 開關閥(9 )及配置 於右 1 1 方 之 第 5 開 關 閥 (1 〇 ), 與 裝 配 有 第 3 開 關 閥(8 )、第4開 1 I 關 閥 (9 )及第5 開關閥( 1 0 )之第2 閥裝配基部(29)。 第2 1 1 閥 装 配 部 (2 9 ) 偽 由 後 述 之 多 數 聯 軸 器 (3 4 ) (35)(36) (37) 1 1 (3 8 ) (.1 9 ) (7 9 ) 所 形 成 〇 在 右 方 遮 斷 開 放 器 (2)之右方配設 1 I -ί3 - 1 1 I 1 本紙張尺度诚川屮標肀((’NS ) Λ4现栳(21 OX 297公漦) Α7 Β7 五、發明説明(β) 有第2止回闕(1 1 )。 各開商闕(6)Π)(8)(9)(1(〇分別由閥本體(12)(14}(16> (18)(2 0)及從上方裝配而將該閥本體(12)(14)(16)(18) (20) 内之通路適予遮斷/開放之致動器(13>(15)(17)(19) (21) 所構成。在各開關閥(6)(7)(8)(9)(10)之關本勝(12> U4M16)<18)(20)下端部設有從上方看為方形之凸緣部 (12a) (14a) ( 16a) (18a) (20a)〇 各止回閥(5>(1丨)乃各自具有,·下面設入口之左側閥本 體(22)(25),與以螺检和左御閥本體(22)(25)相連接之 中央闕本體(23M26),及以螺检中央閥本體(23)(26)相 連且下面設置出口之右側闕本體(24)(27)。 在質量流體控制器(3)之下端部左面,設置下面設有入 口之直方體狀左方突出部(49),在同一右面上設置下面 設有出口之直方體狀右方突出部(50)。 在質量流體控制器(3)左方之各閥本體(22)(23)(24)(12) (14>之下面及質量流體控制器(3)之左方突出部(49)的下 面,都為同一面,質量流體控制器(3)之右方突出部(50> 及在質量流體控制器(3)右方的各閥本體(16)(18)(20) (25)(26)(27)之下面也都為同一面。 在第1 lh回閥(5)之左側閥本體(22)入口,配設了由保 持構件(40)及被該保持構件保持之L型通路形成構件 (41)所構成,而連接到清洗氣體引入管之清洗氣體引入 用聯軸器(80 )。 第1止回閥(5)之右側閥本體(24)之出口舆第1開關闕 -1 0 - ί紙张尺度川中國1'@標卑(('NS ) Μ現梠(210X 297公楚) {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ #ί淆部中"榡率局兵^消於合忭幻印繁 A7 B7 五、發明説明(9 ) (6>之閥本體(12)之入口僳由,2値保持構件( 4 2 )( 4 4 )及 被該等構件保持之U宇狀連通路形成構件(46)所構成, 藉以引入流體之第1流入通路形成用聯軸器(30)連通到 左方之遮斷開放器(1)。連通路形成構件(46)俗由2锢 L型通路形成構件(43)(45)彼此接合形成。 跨越第1開關閥(6)之閥本體(12)偏右部分下面與第2 開關閥(7)之閥本體(14)之偏左部分下面,設置具有建通 第1開關閥(6)的出口與第2開開閥(7}的入口之V字狀 通路(31a>的長方體狀之第一連通路形成用塊狀聯軸器 (3 1 ) 0 在第2開關閥(7)閥本體(14)之副出入口設置了由保持 構件(47)及被該構件保持之I型通路形成構成(48)所構 成之第〗副通路形成用聯軸器(32)。在笫1副通路形成 用聯軸器(32)之下端部乃接合有連接到生産氣體引入管 之習知L型聯軸器(78)。 跨及第2開關閥(7)閥本體(14)之偏右部分下面與質量 流量控制器(3)之左方突出部(49)下面,設置了具有從第 2開關閥(7)之出口排出流體而送入質量流量控制器(3) 之V字狀通路(33a)的長方體狀第1流出通路形成用塊狀 聯軸器(33)。 跨及質量流量控制器(3)之右方突出部(50)下面與第3 開關閥(8)閥本體(16)之偏左部分下面,設置了具有從質 量流量控制器(3)排出之流體引入右方遮斷開放器(2)之 V宇狀通路(34a)之長方體狀第2流入通路形成用塊狀聯 -1 1 - 本紙张尺度適州中('NS ) Μ規招(210X297公i ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
、1T 铸! A7 B7 五、發明説明(、。) 軸器(3〇。 第3開關閥(8)閥本醱(16)之副出入口乃配設有由保持 構件(51)及被該構件保持之L型通路形成構件(52)所構 成,而連接真空抽出管之第2副通路形成用聯軸器(35)。 跨及第3開關閥(8)閥本體(16)之偏右部分下面與第4 開關閥(9)閥本體(18)之偏左部分下面,設置具有連通第 3開關閥(8)之出口與第4開關閥(9)之入口之V字狀通 路(36a)的長方體連通路形成用塊狀聯軸器(36)。 第4開關閥(9)閥本體(18)之副出入口配設了由保持構 件(5 3)及被該構件保持之L型通路形成構件(54>所構成 ,而連接到生産氣體送入管之第3副通路形成用聯軸器 (37 ) 0 第4開關閥(9)閥本體(18)之出口與第5開關閥(10)閥 本體(2Q)之入口乃以由2個保持構件(55)(57)及被該等 構件保持之達通路形成構件(59)所構成之第3連通路形 成用聯軸器(38)連通。連通路形成構件(59)傺藉接合2 個L型通路形成構件(56)(58)而形成。 跨及第5開關閥(10)閥本體(20)之偏右部分下面與第 2止回閥(11)之左側閥本體(25)下面,設置具有連通第 5開關閥(10)之出口與第2止回閥(11)之入口的V字狀 通路(39a)的長方體狀第2流出通路形成用塊狀聯軸器 (39) 0 在第2 it回閥右倒閥本體(27)之出口配設有由保 持構件(60)及被該構件保持之L型通路形成構件(61)構 -1 2 - 本紙张尺度適州中囤网家標淬(CNS ) Λ4規格(210 '〆297公i ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
'1T Λ7 Β7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印掣 五、發明説明( t 1 ) 1 I 成 9 而 連 接 到 清 洗 氣 體 排 出 管 之清 洗氣體排出用聯軸器 1 (7 9 ) Ο 1 藉 由 質 量 流 量 控 制 器 (3}左方的第1流入通路形成用聯 1 1 軸 器 (3 0 ) 第 1 連 通 路 形 成 用 聯 軸器 (3 1 )舆第1副連通路 /·—' 請 1 形 成 用 聯 軸 器 (3 2) 及 第 1 流 出 通路 形成用聯軸器(33), 閱 1 1 形 成 了 左 方 之 遮 斷 開 放 器 (1 )之第1 閥裝配基部(28)。從 讀 背 1 而 在 左 方 之 遮 斷 開 放 器 (1 )形成了,經由止回閥(5)被引 1 | 入 之 清 洗 氣 體 經 由 第 1 流 入 通 路形 成用勝軸器(30)第1開 意 事 1 關 閥 (6 )之閥本體( 1 2 ), 第1 連通路形成用聪軸器(31)與 項 再 1 1 填 1 第 2 開 關 閥 (7 )之閥本體( 1 4 )及第1 流出通路形成用聯軸 寫 本 器 (3 3 ) 排 出 之 清 洗 氣 用 通 路 9 與從 第1副通路形成用聯軸 頁 1 I 器 (3 2)之 下 面 被 引 入 之 生 産 氣 體經 由第1副通路形成用聯 1 1 軸 器 (3 2 ) 9 第 2 開 關 閥 (7)之閥本體(14)及第1流出通路 1 I 形 成 用 聯 軸 器 (3 3) 排 出 之 生 産 氣體 用通路^ 1 1 由 位 於 質 量 流 量 控 制 器 (3>右方的第2流入通路形成用 訂 I 聯 軸 器 (3 4) 第 2 副 連 通 路 形 成 用聯 軸器(3 5 )第2連通路 1 1 形 成 用 聯 軸 器 (3 6) 第 3 副 連 通 路形 成用聯軸器(37)與第 1 1 3 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (38) 及 第2 流出通路形成用聯軸 1 1 器 (3 9 )形 成 了 右 方 遮 斷 開 放 器 (2)之閥裝配基部(29)。從 1 ;A 而 9 在 右 方 之 遮 斷 開 放 器 (2)形成了,經由質量流量控制 1 器 (3 )被引入之清洗氣體再經由第2 流入通路形成用聯軸 1 I 器 (3 4 ) 第 2 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器(3 6〉及第3連通路形成 1 I 用 聯 軸 器 (3 8 ) 及 第 2 流 出 通 路 形成 用聯軸器(39)排出之 1 清 洗 氣 體 用 通 路 與 經 由 質 量 流量 控制器(3 )被引入之 1 生 産 氣 體 再 經 由 第 2 流 入 通 路 形成 用聯軸器(34),第2 1 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (3 6 ) 及 第 3副 連通路形成用聯軸器 I (3 7 ) 送 入 處 理 室 之 生 産 氣 體 通 路以 及該等通路内的氣體 1 1 從 第 2 副 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (35 ) 被抽出之 1 I -1 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(2ΙΟΧ297公釐) A7 B7____ 五、發明説明(^ ) 真空柚出用通路。 如第2圖的放大所示,第1止回閥(5)具有都向下開口 之流入通路(77a)及流出通路(7710。再者,第1開期賊 (6)俗2 口閥,在該等閥本體(12)設置有位於闕本體(12) 下面之大略中央處之入口(62)舆位於該偏右之出口(63) ,在閥本體(】2>内形成了,從入口(62)通到賊室(66)之 流入通路(64)與從出口(63)通到閥室(66)之流出通路(65) 。第1開關閥(6)之閥致勤器(13)傜使隔膜片((1131)111>{18111) 之闕體<67)作動者,藉以閥致動器(13)之操作’流入通 路(6〇卽由閥體(67>遮斷/開放之構成。而且,第2開 關閥(7>為3 口閥,在閥本賸U4)設有位於閥本體(14)下 面之偏左方的入口(68)與位於偏右方之出口(69)及位於 大略中央處而作為其化流體之入口或出口之副出入口(70) ,在閥本髏(〗4>内形成從入口(68)通至閥室(74)之流入 通路(71>與從副出入口通至閥室(74)之副連通路(73)及 從出口(69)通至閥室(74)之流出通路(72)。第2開關閥 Π)之閥致動器(15)俗使隔膜片之閥體(75)作動者,構成 為藉以閥玫動器(15)之操作其副連通路(73) 01由閥體(75) 遮斷/開放。通至第2開關閥(?)入口(68)之流入通路 (71)與通至出口(69)之流出通路(72)被構成為隔著閥室 (7 4 )經常建通箸β 在各閥本體(22)(23)(24)(12)(14)(16)(18)(20)(25) (26)(27)各與其凸合各構件(41)(30) (31)(32)(33)(34) (3 5 } ( 3 6 Η 3 7 > ( 3 8 > ( 3 9 ) ( 6 1 }間,分別設置了如第2圖所 -1 4 - 木紙张尺度遶州中國Κ家掠泠(rNS )八4現格(2丨公犛) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,Ym I· ! 經:¾.部中决榡卑扃兵二消於合竹社印*'|本 A7 B7 五、發明説明(ο ) 示之密封部(76}β再者,止回闕(5)(11)及開關閥(6)(7} (8)(9)(10)和與其對應之聯軸器(8〇)(3〇)(31)(32)(33> (34)( 3 5)(36)(37)( 38)(39)(79)都藉從闋本體(22)(23) (24)(12)(14)(16)( 18)(20)(25)(26)(27)之上方栓進螺 栓(Π3)(參照第2圓)來連接,藉由卸除該等螺栓(113) ,就可將止回閥(5)(11)及開關閥(6)(7)(8)(9)(10)從上 方卸下。而目,第2止回閥(丨1)傺與第1止回閥為相同 _造,第5開關闕(1〇)偽與第1開闋閥(6)為相同構造, 第3開關閥(8)及第4開開閥(9)即與第2開鼸閥(7)為相 同構造。 按本流體控制裝置者,關閉第1開關閥(6),啓開第2 開關閥(7),關閉第3開關閥(8),略開第4開阕閥(9), 關閉第5開關閥(10),將生産氣體引入到左方遮斷開放 器(1)之第1副連路形成用聯軸器(32)時,生瘅氣體就經 由第2開關閥(7>之閥本體(14)及第1流出通輅形成用聪 軸器(33)至質量流量控制器(3),在此其流置琺調整,而 被引入右方之遮斷開放器(2)。然而,經過第2流入通路 形成用除軸器(34),第3開關閥(8)之闕本體(16),第2 連通路形成用聯軸器.(36),第4開阕閥(9)之阀本體U8) 及第3副通路形成用聯軸器(37>被送進處理室。隨後, 啓開第】開關閥(6),關閉第2開關閥(7),阕閉第3開 鼷閥(8 ),關閉第4開關閥(9 ),闋閉第5開商閥< 1 〇 ), 從第1 ih回闕(5)引入清洗氣體者,清洗氣體執經由第1 流入通路形成用聯軸器(30)第1開朗闕<6)之鞠本體(12) -15- 本紙张尺度適州中國^家榡绛((’NS ) Λ4現梠(210X 297公釐) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 綉 經浪-部中*標"局只Η消抡合竹"印y A7 B7 五、發明説明(β ) 第1連通路形成用聯軸器(31)第2開關閥(7)之閥本體 UO及第]流出通路形成用聯軸器(3 3 )至質量流量控制 器(3),更流經第2流入通路形成用聯軸器(34),第3開 關閥(M之閥本體(16)第2連通路形成用聯軸器(36)第4 開關閥(9)之閥本體(18)第3連通路形成用聯軸器(38)第 5開關閥(10)之閥本體(20),第2流出通路形成用聯軸 器(39)及第2 Lh回閥(11)而被排出。此時,清洗氣體乃 以本身之壓力趕走留在第2開關閥(7)之閥本體(14)第1 流出通路形成用聯軸器(33),第2流入通路形成用聯軸 器(34)及第2連通路形成用聯軸器(36)之生産氣體,藉 此,會在短時間只有清洗氣體流動。 在前述左方及右方之遮斷開放器(1)(2>上,第1流入 通路形成用聯軸器(30)及第3連通路形成用聯軸器(38) 被構成為共通構件,而且,第1連通路形成用塊狀聯軸 器(31)第1流出通路形成用塊狀聯軸器(33)第2流入通 路形成用塊狀聯軸器(34)第2連通路形成用塊狀聯軸器 (36)及第2流出通路形成用塊狀聯軸器(39)也被構成為 共通構件,各副通路形成用聯軸器(32)(35)(37)也同為 共通構件。亦即,只在左方之遮斷開放器(1)附加一個3 口之開關閥的同時,並在其閥裝配基部(28)附加與第1 連通路形成用聯軸器(3 1)及第1副通路形成用聯軸器(32) 相同者而已n就可獲得右方之遮斷開放器(2 ) ^在此,若 附加之開關閥是2 口之開關閥時,將右方之遮斷開放器 (2)之第4開關閥(9)換以2 口之閥的同時,並從其裝配 -1 6 - i紙ί[尺度適用十家彳( ('NS ) Λ4现格(21〇 X 297公f ) (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
*1T A7 Β7 經Μ部中决標卑局1Λ-Τ·消合竹社印纪 五、發明説明 ( ) 1 I 基 部 (2 9) 去 除 第 3 副 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (3 7 >即可。 如此 1 •1 前 述 左 方 及 右 方 之 遮 斷 開 放 器 (1)( 2) 被 構 成 為易於 因應 1 1 各 種 規 格 變 更 〇 ,~、 請 先 1 1 接 著 , 就 清 洗 氣 體 引 入 用 聯 軸 器 (8 0 ) 第 1 流入通 路形 閱 it 1 背 1 成 用 聯 軸 器 (3 η) 及 第 1 副 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (32 > 之 構造 之 1 | 擬 詳 予 說 明 〇 * 事 1 如 第 3 圖 至 第 5 圖 所 示 ♦ 構 成 清 洗 氣 體 引 入用聯 軸器 項 再 1 填 1 (8 0 ) 之 保 持 構 件 (4 〇 ) 横 截 而 為 匚 宇 狀 * 由 上 壁(81) 下壁 寫 本 (8 2 ) 及 連 結 壁 (8 3 ) 構 成 〇 L 型 通 路 形 成 構 件 (41)# 由: 頁 1 1 具 有 一 端 向 上 開 □ 而 他 端 即 開 Π 於 保 持 構 件 (4 0 )長 邊方 1 I 向 之 通 路 (9 1 a )且被嵌入在保持構件( 40 )上下壁(8 1 )(82) 1 1 間 之 立 方 體 之 本 體 部 (9 1 ) 連 通 本 體 内 通 路 (9 1 a )且上端 1 訂 部 通 保 持 構 件 (4 0)之 上 壁 (8 1 )而 連 通 到 止 回閥(5 )向下 1 I 的 流 入 通 路 (7 η之 管 狀 上 方 突 出 部 (9 2 ); 與 -ir> 埋通本 體内 1 1 通 路 (9 1 a )目向保持構件( 4 0 )長邊方向延伸之管狀倒方突 1 | 出 部 (9 〇構 成 〇 1 在 保 持 構 件 (4 〇) 之 上 壁 (8 1) 兩 端 部 設 有 對 流體控 制器 1 (此畤是對第1 止回閥( 5 ))之裝配用螺紋孔( 84 )。藉從左 1 I m 閥 本 體 (2 2) 之 上 方 把 螺 栓 (1 】3)栓進該螺紋孔(84 ),連 1 接 了 第 1 止 回 閥 (5)與清洗氣體引入用聯軸器(80)。 在保 1 1 持 構 件 (4 0 )之 上 壁 (8 1 ) 中 央 部 設 有 位 於 第 1 止回閥 (5)之 1 I 流 入 通 路 (7 7 ) 向 下 開- Ρ 正 下 方 之 貫 通 孔 (8 5 ) 。貫通 孔(85) 1 1 乃 向 寬 度 方 向 延 伸 而 及 至 上 壁 (8 1) 之 開 Ρ 綠 。由保 持構 1 1 件 (4 0 ) 之 上 壁 下 面 * 下 壁 上 面 及 連 結 壁 内 面 形成了 横截 1 I -1 7 - 1 1 1 1 本紙张尺度竓州屮KIM標彳((’NS ) Λ4规梢(2丨〇〆297公釐) 經滅部中次標卑局兵工消费合作社印絮 A7 B7 五、發明説明(4 ) 面為U字狀而向保持構件(40)之長邊方向延伸之側方突 出部嵌入溝(86>。在保持構件(40>之長度中間部設置與 御I方突出部嵌入溝(86)育交之截面圓形之本體部嵌孔(87) 。本體部嵌入孔(87)之孔徑大於側方突出部嵌入溝(86> 之開口寬度,本體部嵌入孔(87)即削切保持構件(40)之 上壁下而及下壁上面的一部分同時,並貫通連結壁(83> 之中央部。通路形成構件(41)之本體部(91)截面正方形 之對角線之長度乃被構成為比本體部嵌入孔(87)徑小了 一點點。
在保持構件(40)之下壁(82)中央部設置了,在通路形 成構件(41),當配設管狀下方突出部時可使該部插通之 横截而1】字狀之下方突出部嵌入溝(88)。再者,在保持 構件(40)之下壁<82)兩端部設置了對保持構件(4G)基板 之裝配用螺紋孔(89K 在L型通路形成構件(41)之上方突出部(92)上端部設 置了構成密封部(76)之凸緣部(93)。在貫通孔(85>之下 緣部即設置有承受該凸緣部(93)之向内凸緣部(85a)e 將通路形成構件(41)之本體部(91)嵌入在保持構件(40) 上下壁<81)(82)間之本體部嵌入孔(87)的同時,並藉以 保持構件(40)之向内凸緣部(85a)承接通路形成構件(41) 之凸緣部(93),就不需焊接等麻煩作業就可簡單的使通 路形成構件(41)被保持在保持構件(40>。再者,只將通 路形成構件(41)之本體部(91)嵌入在保持構件(40)上下 壁(8 1 ) ( 8 2 >間之本體部嵌人孔(8 7 ),或只以保持構件(4 0 ) -18- 本紙張尺度进州中阈囚家標4Μ CNS ) Λ4規枱(210'Χ 297公漦) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
,1T Β7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明(j) 之向内凸緣部(85a)承接通路形成構件(41)之凸綠部(93) ,也可將通路形成構件保持在保持構件(40)。 如第6圖及第7圖所示,構成第1流路通路形成用聯 軸器(3 0)之各保持構件(42)(44)及各1*型通路形成構件 (43)(45)被構成為與清洗氣髏引入用聯軸器(8〇)之保持 構件(40)及L型通路形成構件(41)相同構造。從而,對 柑同構件卽附註相同符號而省略說明。第1流入通路形 成用聯軸器(30)之2個保持構件(42)(44)乃使開口能彼 此相對般且隔箸所定間隔被配置箸。各通路形成構件 (43)(45)之管狀側方突出部(94)邸都能向所對向之保持 構件( 4 2 ) ( 4 4 )般被配置,其彼此的前端卽被接合箸。藉 從止回閥(5)之右側閥本髏(24)上方,在一方之保持構件 (42)之流體控制器裝配用螺紋孔(84)’藉從第1開朗閥 (6)之閥本體(12>凸緣部(12a)上方’在他方之保持構件 (42)之流體控制器裝配用螺紋孔(84),各自检進媒检 (113),第1流入通路形成用^軸器(30)便與止回間(5> 和第1開關閥(6 )相連接。 如第8圖所示,第1副通路形成用聯軸器(32)之保持 構件(47)與前述保持構件(40)(42)(44)為相同形狀,通 路形成構件(47)乃構成為L字狀。就第1副通路形成用 聯軸器(32)中,也對相同構件附註相同符號而省略說明。 在前述之流體控制装置(4)中,顯示於第3圖至第5圖之 第1實施形態之聯軸器(80)與顯示於第6圖及第7圖之第 2實施形態之聯軸器(3〇)都是由保持構件(40)(42)(44)1¾ -1 9 - 本紙張尺度適用中國國家標隼(CNlS ) Λ4规格(210X297公炖)
In I. - -^1^1 nn In · ml - - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經系 ‘部中次標卑局兵二消费合作社印繁 五、發明説明 (^ ) 1 1 L 型 通 路 形 成 構 件 (4 1) (4 3) (4 5 ) 之 組 合 而 成 9 顯 示 於第 1 1 1 8 圖 之 第 3 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (3 2 ) 雖 由 保 持 構 件 (4 7 )輿 1 1 I 型 通 路 形 成 構 件 (4 7 ) 之 組 合 而 成 1 除 該 等 聯 軸 器 (80) 請 1 1 (3 〇) (3 2 ) 之 外 保 持 構 件 是 使 用 相 同 構 造 且 變 更 通 路形 閱 it 1 背 1 成 構 件 ί 就 可 形 成 具 有 各 種 通 路 之 聯 軸 器 〇 以 下 說 明其 之 1 注 | 例 子 〇 意 事 1 在 第 9 圖 及 第 1 0 圖 所 示 之 第 4 實 施 形 態 的 聯 軸 器 (100) 項 再 1 4 1 僳 由 與 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (8 〇 ) 相 同 構 造 之 保 持 構件 % 本 '' (4 0 ) , 與 使 用 於 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (80 ) 之 L 型 通路 頁 I 1 形 成 構 件 (4 1) 再 追 加 一 管 狀 側 方 突 出 部 (9 5) 之 通 路 形成 1 | 構 件 (1 0 1 )所構成。 迫加於通路形成構件( 1 0 1 ) 之 第 2管 1 1 狀 側 方 突 出 部 (9 5)傺 朝 向 與 第 1 管 狀 側 方 突 出 部 (9 4)反 1 訂 1 I 向 之 長 邊 方 向 延 伸 y 通 路 形 成 構 件 (1 0 1 )卽整體上具有倒 T 字 m 通 路 〇 1 1 再 者 > 第 11 12 圖 顯 示 之 第 5 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (102) 1 | % 由 * 與 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (80 ) 相 同 構 造 之 保 持構 1 么合 件 (4 η) 與 在 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (8 0)所 使 用 之 L型 1 通 路 形 成 構 件 (4 1 ) 再 追 加 一 管 狀 刨 方 突 出 部 (96) 之 通路 1 I 形 成 構 件 (1 0 3 )構成。 通路形成構件( ]0 3)所 追 加 之 第2 1 1 1 管 狀 側 方 突 出 部 (9 6) 乃 延 伸 到 保 持 構 件 (4 〇) 之 寬 度 方向 1 1 4 對 第 1 管 狀 側 方 突 出 部 (9 4 >及 管 狀 上 方 突 出 部 (9 2)都 1 I 構 成 直 交 形 狀 〇 1 1 第 1 3 圖 所 示 之 第 6 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (1 0 4 ), 乃將第1 1 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (8 〇)與 第 4 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (1 00)加 1 I -2 0- 1 1 1 1 本紙张尺度適州中剛\家优々((15)八4坭格(2丨〇'乂297公釐) A7 B7 ~~- — ' ~ -- 五、發明説明(β ) 以組合者,由以横截面C字狀使開口彼此向同一方向被 育線狀配置之3傾保持溝件(40),與被第1保持構件(40) 保持之L型通路形成構件(4U及被第2和第3保持構件 保持之倒Τ字犁通路形成構件(101)所構成β然而,接鄰 之通路形成構件(41)(101)(103)之側方突出部(94Μ95) 之前端彼此間介一所要長度之建通管(105)被接合著。被 第3保持構件(40)保持之倒T型通路形成構件(1〇1)之2 傾側方突出部可連通該部與其他流體控制器之通路或配 管《雖然省略圖示,但在第6實施形態之聯軸器U04)中 ,藉代替L型通路形成構件(4 1 )使用倒T宇型通路形成 構件U(U)或第5實施形態之聯軸器(102)之通路形成構 件(〗0 3 ),就可形成各種聯軸器。 前述第1至第6之實施形態之聯軸器(80)(30)(32) (1 〇 0 ) ( 1 0 2 ) ( 1 0 4 )中,各保持構件(4 0 ) ( 4 2 ) ( 4 4 ) ( 4 7 )由於 橘截面為C字狀,故較諸塊狀聯軸器(31)(33)(34)(36) 可謀求輕量化。而且,随著開關閥數或其出入口 之位置等設計變更,應變更聯軸器者,只不過為保持構 件數,通路形成構件數,保持構件之開口方向及通路形 成構件之管狀側方突出部數與方向和長度而已,容易因 應規格變更,零件種類之增加亦不用太多〃亦即,可謀 求構件之檫準化。再者,如第2、5、6之聯軸器(30)(102) (104)由多數保持構件(40)(42)(44)及多數通路形成構件 (41)(43)(45)(101)構成者,製造該等構件所需之作業, 大都以接合通路形成構件(41)(43)(45)(101)之管狀襴方 本紙张尺度適用中阂1¾家標卑(CNS ) Λ4規柏(21〇X297公f ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
*1T 經湞部屮央標卑局兵-Τ消价合作.社印54 A7 B7 _____-------- ' 五、發明说明(〆) 突出部(9 4 )( 9 5 )彼此間為主,單就不必麻煩的纘孔作業 來説,容易製造。 再者,在潁示於第丨圖之例子中,左方之遮斷開放器 (U具有2傾開關閥(6)(7),右方之遮斷開放器(2)卽具 有3個開關閥(8)(9)(1Q),但該等開關閥數可適予變更 。然而,具有適當數之開關閥之遮斷開放器設置於質量 流量控制器之左方及右方,同時,該遮斷開放器且以並 列狀配置,而構成了半導體製造裝置用之流體控制装置。 然而,該流醱控制裝置(4)即如在第14、15圏顯示其一 部分般,將聯軸器(80)(30M31)(32)(33)(34}(35)(36) (37)( 3 8)(39)以聯軸器固定螺栓(110)安裝於基板,將止 回閥(5)U1)開關閥(6)(7)(8)(3)(10)及質量流量控制器 (3)等流體控制器以本體固定螺栓(113)安装於該等聯軸 器(80)(30)(31){32)(33}(34}(35)(36)(37)(38)(39), 並將基板(108)固定於所定位置而設置。 流體控制装置之設置時及質量流量控制器或開開閥之 維修檢査時,有時會發生如下問題。 ① 跨及2個或3個聯軸器(31)以本體固定螺拴(113)欲 安裝開關閥(6)時,有時所有聯軸器(31)上面並不是為同 一平面,因而,不易安裝開關閥(6),而巨,並無具有確 保密封性之可能性。 ② 以垂直狀設置基板(108)的場合,當安裝/卸裝本體 固體螺栓(113)時螺栓(113)恐怕會掉落而遣失。以下, 參照第1 4圖及第1 5圖説明解決前述問題之流體控制装置 -12- )、紙张尺度適川屮闽1¾冢標彳(Γ N S ) Μ規格(2丨Ο X 29 7公漦) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7 五、發明説明(yf ) 之螺栓ih動裝置。 第14阃中,安裝有開關閥(6)(7)之塊狀聯軸器(31)被 安裝在2偏基板〇〇8)。在各塊狀聯軸器(31)之上面,對 開關閥本體之安裝用螺紋孔(106)被配設在4角隅的4處 ,同時,並在中央部附近之2處穿設將塊狀聯軸器(31) 安裝於基板(1Π8)時,插通聯軸器固定螺栓(11〇)之螺栓 插通孔(107)。在基板(108>穿設有欲將塊狀聯軸器(31) 安裝到基板(108)時所使用之螺纹孔(109)。 塊狀聯軸器(31>之螺栓插通孔(107)僳由具有大於聯軸 器固定螺栓(lit))之頭部(ll〇a)徑的大徑部(107a),輿介 一梯级部(107c)連通該大徑部且具有相當於螺栓頭部 (110a)徑與螺栓軸部(110b)徑中間徑之小徑部(l〇7b>所 構成。 經:欢部中央標卑局只-τ消费合竹社印掌 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在螺栓捅通孔(107)之小徑部(l〇7b)嵌入下端被基板 (1〇8)承接而上端在於大徑部(107a)内之圓筒狀襯套U11) 。襯套(1 11 )具有比螺栓軸部(ll〇b)徑較大内徑且比螺检 頭部(UOa)徑較小外徑β聯軸器固定螺栓(11〇)之軸部 Uinto被嵌入在該襯套(111),該頭部(110a)便被概套 (111)之上端面承接。襯套(1U)傺用於規定聯軸器固定 螺栓U10)之栓緊量,把聯軸器固定螺栓(110)插通螺检 插通孔(107)而栓進基板(108)之螺紋孔(109)者,襯® (111)就突張於聯軸器固定螺栓(11(0之頭頭UUa)與基 板(108)之間而不能再栓緊下去的構成。 幾與聯軸器固定螺栓(1〗0)之頭部(U〇a)徑相同外徑之 -2 3- 本紙张尺度诚川((’NS ) Λ4说柁(2丨0X297公f ) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 Λ7
\M 五、發明説明(γ) 圖環狀橡膠塾圈(112)被嵌蓋在襯套U11>之上端部。 橡_墊圈(112)被聯軸器固定螺栓(11Q)之頭部(ll〇a) 與螺栓插通孔(107)之梯级部(1Q7C)夾住。橡膠塾圈 (112)之上下方向之長度被設定為在顯示於第14圖之栓緊 終了狀態,對橡膠墊圈012)施加歷縮力。從而,兩聯軸 器(3 1)(33)即被橡膠墊圈(112)向基板(108)方向賦能推 壓。由於橡醪墊圈(112)具有彈性,可使該塾圈再歷縮變 形,又可使兩聯軸器(31)(33)朝向離自基板(1〇8)方向移 動。從而,卽使兩聯軸器(31M33)之上面並非在同一平 面的狀態,以聯軸器固定螺栓(11〇)将開開閥(7)安装於 該等聯軸器(31U33)時,由於聯軸器(31)(33)會接近開 關閥(7)的緣故,可簡單的栓緊聯軸器固定螺检(110)。 藉此,可對所有的密封部(76>施加適當的按壓力,而可 確保密封性。 第15圖僳顯示以本體固定螺栓(113)將開關闕(7)安裝 於2値塊狀聯軸器(31)(33)時之螺栓止動裝置。 該圖中,在開關閥U)之闕本體(14)凸緣部U4a>_開 設有螺栓軸部插通孔U14),在該螺栓插通孔(114)的大 約中央及下端部附近,乃配設有下端部會變成最大徑般 的梯级部(1 1 4 a ) ( 1 1 4 b )。然而,0型瓌(1 1 5 )乃從!^® 部插通孔(114)之下端被嵌入而由大約中央處梯级部(U4a 所承接,進而,從大徑側嵌入防止〇型環脱離用之椒套 (116)。然而,藉由大約中央處之梯级部(l14a)槪套(116) 之上端面及螺栓軸部插通孔(114)之周面,形成〇型環嵌 -2 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準(〇阳)八4規格(210乂297公桡) ————— —m n^i m^i II ν-^ϋ /is\ (請先閲讀背面之注意事項再填疼本頁) A7 __B7____ 五、發明説明(4 ) λ用環狀(HI瑤(118)。在襯套(U6)之下端部設置柢接下 端附近梯级部(1141))之凸緣部(116a)此外,櫬套(116)之 中間部設置了具有比嵌入該襯套之螺栓軸部插通孔(114〉 之徑稍大外徑之環狀突起U 1 7 )。將襯套(1 1 6 )硬從螺栓 軸部插通孔U14)之大徑側嵌入時,凸緣部Ul6a)就被下 端附近之级部(114b)承接,環狀突起(117)被壓扁而扮演 防出襯套(116)脱離。從而,〇型環(115)決不會脱落。 〇型環(115)之内徑被構成較諸本體固定螺栓(113>之軸 部外徑稍小。由於〇型環(115)具有彈性,欲將本體固定 螺拴(11 之軸部強制性的插通於0型環(115)乃搐其容 易。而且,栓退本體固定嫘栓(113)而當該螺栓從螺紋孔 (106)脱開時,藉以0型環(115>之揮性力,本體固定螺 栓(U3)也不會從〇塱環脱落,從而以垂直狀設置基板 (108)時(圖之上下右與左右變成相反時),也不會在本醱 固定螺栓(11 3)之安裝/卸裝時因螺栓(113)掉落而逋失。 n ml i^l^i I ant flu I*fnn n n^fn \eJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經洎部中夾標率局U-T"贽合作"印^Γ -2 5- 木紙张又度诚川屮囚丨^:標# ((、奶)Λ4规柏(210X 297公郯) A7 B7 姓濟部中央標卑局只-τ消贽合作社印9^1水 五、發明説明(/ ) 黎考符號説明表 4… 體 控 制 装 置 3… .質 量 流 量 控 制 器 1 . 2 -· .遮 斷 開 放 器 6… •第 1 開 關 閥 7… .第 2 開 關 閥 28 .. •第 1 閥 裝 配 基 部 5… .第 1 止 回 閥 8… .第 3 開 關 閥 9… .第 4 開 關 闕 10.. .第 5 開 關 閥 2 9.. .第 2 闕 裝 配 部 30. 3 1 .3 2、 3 3、 3 4、 3 5、 3 6 . * · •聯 軸 器 37、 38 ' 3 9、 7 9、 80、 1 0 0 S 10 2 . .聯 軸 器 11.. .第2 止回閥 12、 14 、1 6、 1 8、 2 0 . 閥 本 體 13, 15 、1 Ί、 1 9、 2 1 . 致 動 器 12 a. 1 4 a N 1 6a S 18 a. 2 0 a N 11 6a • · · 凸 緣 22. 2 5 左 侧 閥 本 體 2 3 . 2 6 中 央 閥 本 體 24. 2 7 右 側 閥 本 體 4 9.. .直 方 體 狀 左 方 突 出 部 50 .. •盲 方 體 狀 右 方 突 出 部 8 0.. .清 洗 氣 體 引 入 用 聯 軸 器 4 1.. .L 型 通 路 形 成 構 件 -26- - - - - m HI l^i^i - I n ml n tn nn -ill->. "-9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I ) 本紙张尺度地川屮彳(CNS ) Λ4觇梠(2丨0‘X297公漦) 經消部屮次標準局只Η消贽合作"印y A7 B7 五、發明説明(< ) 4 R.....U字狀連通路形成構件 4 2 , 4 4 .....保持構件 4 3、4 5、5 6、5 8、fi 1.....L型通路形成構件 3 1a. 89a.......V字狀通路 48.....I型通路形成構件 7 8.....L型聯軸器 33a、36a.....V字狀通路 52.....L型通路形成構件 35.....第2副通路形成用聯軸器 40、55、57、60.....保持構件 59、101、103.......連通路形成構件 39——長方體狀第2流出通路—形成用塊狀聯軸器 28——第1閥裝配基部 7 1 . 77a、 7 7.. •流 入 通 路 6 5 N 72. 7 7b.. .流 出 通 路 6 2, 68.. …λ P 63. 6 9.. …m 口 66.....閥室 7 0.....副出入口 7 4.....閥室 73.....副通路 7 6.....密封部 U 3 ....螺栓 8 1.....上壁 8 2.....下壁 -21 - 木紙张尺度f川中囡四家標攻(('NS ) Λ4规格(2丨0X 297公f ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經满部中央標導局0-τ·消贽合作社印y A7 B7 五、發明説明(A ) 8 3.....連結壁 9 1 a ....通路 9 4、9 5.....管狀側方突出部 92.....管狀上方突出部 9 1.....本體部 86、88.....嵌入溝 8 7.....嵌入孔 8 9、1 0 6、1 0 9 ....螺紋孔 9 3.....凸線部 85.....貫通孔 1 08 ....基板 113——本體固定螺栓 10 7——螺栓插通孔 1 07a ...大徑部 107c、114a、114b.·..梯级部 ll〇a.....螺栓頭部 ll〇b.....螺栓軸部 110 .....聯軸器固定螺栓 1 0 7 b ....小徑路 111 .....圓筒狀襯套 112 .....橡膠墊圈 114.....螺栓軸部捅通孔 U6.....襯套 118.....環狀凹處 1 1 7.....環狀突起 (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) *1Τ 本紙ifUUiiA川屮阀R家d. ( ('NS ) Λ4規枯(210Χ2<Π公犛)

Claims (1)

  1. Λ8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. —種流體控制器用聯軸器,傲接績於流體控制器向下 通路的開口部之聯軸器,其特激為;由横截面為c字 狀之保持構件及被該構件保持之管狀通路形成構件所 構作,通路形成構件之上端部插入設於保持構件上壁 的貫通孔而連通到流體控制器之向下通路,在保持構 件之上壁開設有對流體控制器之安装用螺紋孔。 2. 如申請專利範圍第1項之流體控制器用聯軸器,其中 在通路形成構件之上端部設置向外之凸緣部,在保持 構件上壁之貫通孔設置有承接該凸線部用之向内凸緣 部。 3. 如申請專利範圍第1項之流體控制器用聯軸器,其中 通路形成構件具備著:内部有通路且嵌入於保持構件 上下壁間之本體部;連通本體内通路且上端部插入設 於保持構件上壁之貫通孔而連通到流體控制器向下通 路之管狀上方突出部;與連通本體内通路且向側方延 伸之至少1管狀側方突出部。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4. 一種流體控制器用聯軸器,係連通2個流體控制器向 下通路彼此間之聯軸器,其持徽為;由槿截面為C字 狀而使彼此相對且隔著間隔所配置之第1及第2保持 構件,與1丨字狀之管狀通路形成構件構成,通路形成 構件之一端部插入設於第1保持構件上壁之貫通孔而 連通第一流體控制器之向下通路,通路形成構件之他 端部即插入設於第2保持構件上壁之貫通孔而連通到 第2流體控制器之向下通路,在各保持構件之上壁分 -2 9 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(210X 297公釐) A8 Βδ C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 六、申請專利範圍 1 別 開 設 了 對 流 體 控 制 器 之 安 裝 用 螺 紋 孔 〇 1 5 ·如 申 請 專 利 範 圍 第 4 項 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 , 其 中 1 I 通 路 形 成 構 件 换 由 : 内 部 有 通 路 且 嵌 入 在 第 1 保 持 構 請 1 1 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 連 通 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 先 閱 1 1 I I 設 於 第 1 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 到 第 1 流 體 控 背 面 1 I 制 器 向 下 通 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 及 連 通 本 體 内 通 路 之 注 意 1 1 且 向 第 2 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 m 方 突 出 部 構 成 之 第 1 L Ψ 項 1 I 再 I | 字 持 狀 構 通 件 路 上 形 下 成 壁 構 間 件 之 本 以 體 及 部 内 9 部 連 有 通 通 本 路 體 且 内 嵌 通 入 路 在 且 第 上 2 端 保 部 填 寫 本 頁 1 插 入 設 於 第 2 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 到 第 2 流 1 1 體 控 制 器 向 下 通 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 及 連 通 本 體 内 通 1 I 路 且 向 第 1 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 侧 方 突 出 部 構 成 之 第 1 1 訂 1 2L字狀通 路 形 成 構 件 所 構 成 9 兩 L 字 通 路 形 成 構 件 之 管 狀 側 方 突 出 部 之 前 端 部 彼 此 間 接 合 著 〇 I 6 · — 種 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 9 俗 連 通 多 數 流 體 控 制 器 之 1 1 向 下 通 路 彼 此 間 之 聯 軸 器 9 其 特 擻 為 ; 由 横 截 面 為 匚 1 I 字 狀 而 使 開 □ 彼 間 向 同 一 方 向 被 直 線 狀 配 置 之 多 數 保 | 持 構 件 及 被 各 保 持 構 件 保 持 之 多 數 通 路 形 成 構 件 所 構 1 1 成 各 通 路 形 成 構 件 係 具 備 著 : 内 部 有 通 路 且 嵌 入 保 1 | 持 構 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 連 通 本 體 内 通 路 且 上 端 部 1 ί 插 入 設 於 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 到 流 體 控 制 器 1 1 向 下 通 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 與 連 通 本 體 内 通 路 且 向 1 I 鄰 接 之 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 , 鄰 接 之 通 路 1 形 成 構 件 之 锎 方 突 出 部 的 前 端 部 彼 此 間 被 接 合 % 在 各 1 1 保 持 構 件 上 壁 開 設 有 對 流 體 控 制 器 之 安 裝 用 螺 紋 孔 〇 1 I -3 0- 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Λ4規格(2丨Ο X 297公釐)
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