TW396377B - Joint for fluid controller - Google Patents

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A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 ) 1 發 明 i 景 * 1 本 發 明 俗 有 閼 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 • 尤 其 是 有 關 在 半 1 導 體 製 造 裝 置 用 之 流 體 控 制 裝 置 中 例 如 有 關 欲 使 設 於 /·-V 請 1 先 質 量 流 量 控 制 器 之 多 數 開 關 閥 的 通 路 彼 此 連 通 時 所 使 用 閱 1 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 〇 背 1 I 之 1 在 本 説 明 書 上 y 上 下 雖 傜 指 圓 之 上 下 9 但 此 上 下 係 方 注 意 1 I 便 性 的 稱 謂 遮 斷 開 放 器 除 了 $ 例 如 以 表 示 於 第 1 圖 之 事 項 1 I 再 I 狀 態 設 置 於 水 平 面 以 外 * 有 時 上 下 顛 倒 而 設 置 於 水 平 面 寫 1 本 -# 9 或 設 置 於 垂 直 面 〇 頁 W 1 | 在 半 導 體 製 造 裝 置 之 流 體 控 制 裝 置 中 通 常 有 多 數 閥 1 1 被 配 置 在 質 量 流 量 控 制 器 之 入 Π 側 及 出 P 倒 9 此 時 9 不 1 I 以 軟 管 連 接 該 等 閥 間 * 而 將 多 數 閥 從 上 方 裝 卸 白 如 地 排 1 訂 成 一 方 向 配 置 在 塊 狀 聯 軸 器 9 以 形 成 遮 斷 開 放 器 而 作 為 1 __- DO 早 元 使 用 (參照日本專利公報第6 一 2 4 1 4 0 〇號）。 各 閥 之 \ 入 P 及 出 口 傜 設 置 於 下 面 ， 因 應 該 等 入 口 及 出 P 位 置 1 I 塊 狀 聯 軸 器 便 配 設 了 流 入 通 路 及 流 出 通 路 〇 將 閥 從 上 方 1 1 裝 卸 白 如 地 設 置 在 塊 狀 聯 軸 器 9 為 的 是 對 裝 配 在 基 板 後 | 之 遮 斷 開 放 器 之 各 閥 9 可 按 每 一 閥 加 以 檢 査 » 或 可 汰 舊 1 1 換 新 使 然 〇 1 1 在 一 流 體 控 制 装 置 上 i 設 有 多 數 遮 斷 開 放 器 9 在 這 些 1 I 遮 斷 開 放 器 中 9 有 閥 數 2 或 4 者 > 有 依 照 閥 間 之 間 隔 其 1 入 Π 及 出 P 位 置 相 異 者 9 市 至 少 在 一 個 閥 之 入 口 舆 出 η 1 之 間 追 加 作 為 其 他 流 體 用 之 入 P 或 出 口 之 副 出 入 P 者 等 1 I > 各 種 各 樣 的 形 態 〇 在 習 知 之 遮 斷 開 放 器 9 即 使 只 一 出 1 1 P 之 位 置 相 異 而 已 的 場 -3 合 9 也 須 要 重 新 製 作 塊 狀 聯 軸 器 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 經消部中次標绛局兵-T消贽合作·社印Ϊ4 題兩器開且狀 置易 控之構貫設 字 中持如構形 問之軸該而塊 装容 體狀所之壁 T 明保 C成路 之器聯閉。種 制求 流宇件壁上 倒 發在部形通 化軸在封題這 控謀 於 U 構之件 或 1,緣路使 準睇只要問但 體可 接為成件構 狀 第部凸通地 標在口 需之， 流並 連面形構持 字 在緣内接單 件若開後煩化 之時 ，截路持保 L ，凸向承簡 構口但随麻量 用同。為横通保在 ， 為之之部可 求開，，其輕 置，器器由狀於，。狀 器外部緣業 謀，易 口極著 裝化軸軸，管設路者字 軸向緣凸作 易中容開 Η 求。 造準聯聯器之入通孔I 聯有凸内餘 不器較置加要利 製標用用軸持插下紋偽 用設該向多 有軸比設之也不 體之器器聯保部向螺狀 器乃接之等 ，聯也也路雖很 導件制制之件端之用形 制部承件接 多狀雖部通置也 半構控控部構上器配之 控端置構焊 很塊工端有裝化 於求體體 口持之制裝件 體上設持費 加之加他也制置 在謀流流開保件控之構 流之孔保不 ) 增述之在而控輕 的可之之的該構體器成 之件通以就 > 類前路，因體進 -目種化明路被成流制形 明構貫只 ， ( 種在通時，流推 i 之一量發通及形通控路 發成壁，部 明 之，：，部業述對 i 明供輕一向件路連體通 2 形上者緣 説 件者時端作前器 1 發提及第下構通而流狀。第路之成凸 ^ 構ί再部 一 之在軸aa..本、，造按器持，孔對管狀按通件構之 4， 端之口 ，聯 d 中製_ 制保成通有 ，構此件 ' 五 ^ f 訂.^I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙乐尺度垮川屮家標卑（（'NS ) Λ4規将（210X 297公釐） A7 B7 經斌部中次標準局货工消费合竹·社印來 五、發明説明（ ) 1 I 成 構 件 以 保 持 構 件 保 持 〇 1 1 按 第 3 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 為 9 在 第 1 發 明 中 1 > 通 路 形 成 構 件 % 包 括 有 ： 内 部 有 通 路 且 被 嵌 入 在 保 持 請 先 1 1 構 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 9 連 通 到 本 體 内 通 路 且 其 上 端 部 閲 1 背 1 插 人 設 於 保 持 構 件 上 壁 之 SB- 貝 通 孔 而 連 通 到 流 體 控 制 器 之 面 之 1 I 向 下 通 路 的 管 狀 上 方 突 出 部 ，· 與 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 意 事 1 側 方 延 伸 之 至 少 一 管 狀 側 方 突 出 部 〇 按 如 此 構 成 者 9 只 項 再 1 填 1 要 把 通 路 形 成 構 件 嵌 入 保 持 構 件 之 上 下 壁 間 > 就 不 需 焊 寫 本 ( 接 等 麻 煩 9 可 使 通 路 形 成 構 件 簡 αο 単 以 保 持 構 件 保 持 Ο 通 頁 1 1 路 形 成 構 件 之 管 狀 倒 方 突 出 部 通 常 是 一 個 或 兩 m 〇 倒 方 1 I 突 出 部 只 一 個 時 > 形 成 於 通 路 形 成 構 件 内 之 通 路 為 L 型 I 1 〇 此 時 之 側 方 突 出 部 可 向 保 持 構 件 之 長 邊 方 向 延 伸 ， 也 1 訂 可 向 保 持 構 件 之 寬 度 方 向 延 伸 〇 有 兩 個 側 方 突 出 部 時 1 1 I 所 追 加 之 第 2 侧 方 突 出 部 可 對 第 1 側 方 突 出 部 成 直 角 1 1 也 可 介 於 本 體 部 舆 第 1 側 方 突 出 部 排 成 直 線 狀 〇 I 1 刖 述 第 1 至 第 3 發 明 的 聯 軸 器 除 α〇 早 獨 使 用 之 外 9 亦 得 1 歧 以 各 種 組 合 使 用 〇 按 這 些 流 體 控 制 器 用 m 軸 器 者 9 由 於 1 各 保 持 構 件 横 截 面 為 匚 字 狀 1 使 用 這 聯 軸 器 總 比 使 用 1 I 塊 狀 聯 軸 器 » 較 可 謀 求 輕 量 化 〇 f 1 | 第 4 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 為 9 連 通 兩 個 流 體 控 1 1 制 器 之 朝 下 通 路 彼 此 間 之 聯 軸 器 9 由 以 横 截 面 匚 字 狀 開 I Ρ 彼 此 相 對 a 隔 箸 間 隔 被 配 置 之 第 1 和 第 2 保 持 構 件 9 1 與 U 字 狀 之 管 狀 通 路 形 成 構 件 所 構 成 ) 通 路 形 成 構 件 之 1 1 端 部 插 入 設 於 第 1 保 -5 持 構 件 上 壁 之 -ΕΒ- 貝 通 孔 而 連 通 第 1 1 1 1 1 1 本紙张尺度诚州屮阀( (’NS ) Λ4規枱（2丨Ο'〆297公f ) A7 B7 經滴部中决標卑局只二消贽合作社印9·'1^ 五、發明説明 ( 4- ) 1 1 流 體 控 制 器 之 向 下 通 路 1 通 路 形 成 構 件 之 他 端 部 即 插 入 1 1 設 於 第 2 保 持 構 件 上 堃 之 貫 通 孔 而 連 通 第 2 流 體 控 制 器 | 之 下 通 路 並 於 各 保 持 構 件 之 上 壁 分 別 設 有 流 體 控 制 請 1 器 之 装 配 用 螺 紋 孔 Ο Pt) 讀 1 背 1 按 第 4 發 明 之 聯 軸 器 者 Ϊ 乃 可 獲 得 整 體 上 有 U 字 型 之 面 之 1 注 | 通 路 且 連 通 2 値 流 體 控 制 器 之 聯 軸 器 〇 按 這 種 ΧΗΛ 聯 iifa 器 實 意 事 1 與 第 1 發 明 之 聯 軸 器 相 同 » 由 於 各 保 持 構 件 % 横 截 面 匚 項 再 1 填 1 字 狀 » 使 用 該 聯 軸 器 比 使 用 塊 狀 聯 軸 器 時 9 較 可 謀 求 释 % 本 量 化 〇 頁 •—^ 1 1 第 5 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 傜 在 第 4 發 明 中 * 通 1 1 路 形 成 構 件 偽 由 ： 内 部 具 有 通 路 且 被 嵌 入 在 第 1 保 持 構 1 1 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 * 連 通 到 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 1 訂 設 於 第 1 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 第 1 流 體 控 制 器 1 1 之 向 下 通 路 之 管 狀 突 出 部 及 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 第 2 1 1 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 所 構 成 之 第 1 L字 狀 通 路 1 1 形 成 構 件 内 部 具 有 通 路 且 被 嵌 入 在 第 2 保 持 構 件 上 下 1 壁 間 之 本 體 部 ， 連 通 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 設 於 第 2 1 保 持 構 件 上 壁 之 通 孔 而 連 通 第 2 流 體 控 制 器 之 向 下 通 1 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 及 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 第 1 保 持 1 I 構 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 而 成 之 第 2 L 字 狀 通 路 形 成 構 I 1 件 所 構 成 ， 兩 L 字 狀 通 路 形 成 構 件 之 管 狀 側 方 突 出 部 之 | 前 端 部 彼 此 被 接 合 著 〇 I 按 第 6 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 為 連 通 多 數 流 體 1 I 控 制 器 之 向 下 通 路 彼 此 -6 間 _ 的 聯 軸 器 由 以 横 截 面 匸 字 狀 1 1 1 1 1 本紙张尺度诚川屮阈内象枕印（（’NS ) Λ4规梠（210X297公漦） A7 B7 經滴部中央標卑局妇-T.消费合作社印緊 五、發明説明（ 女 ) 1 而 使 開 P 彼 此 向 同 一 方 向 直 線 狀 配 置 之 多 數 保 持 構 件 及 1 I 被 各 保 持 構 件 保 持 之 多 數 通 路 形 成 構 件 所 構 成 各 通 路 1 形 成 構 件 乃 具 有 ； 内 部 有 通 路 且 被 嵌 入 在 保 持 構 件 上 下 請 先 1 壁 間 之 本 體 部 * 連 通 到 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 設 於 保 閱 讀 1 背 1 持 構 件 上 壁 之 通 孔 而 連 通 到 流 體 控 制 器 之 向 下 通 路 之 ιέ 之 1 管 狀 上 方 突 出 部 與 連 通 到 本 體 内 通 路 且 向 鄰 接 保 持 構 注 意 事 1 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 相 接 的 通 路 形 成 構 件 之 倒 方 項 再 1 突 出 部 W· 刖 端 彼 此 被 接 合 在 各 保 持 構 件 之 上 壁 設 有 對 流 填 % 本 1 衣 體 控 制 器 之 裝 配 用 螺 紋 孔 〇 頁 '·_^ 1 1 按 第 6 發 明 之 聯 軸 器 者 可 獲 得 具 有 向 保 持 構 件 之 長 I I 邊 方 向 延 伸 之 1 條 直 線 狀 主 通 路 » 和 與 其 直 交 且 建 通 到 1 1 各 流 體 控 制 器 之 較 短 的 副 通 路 之 聯 軸 器 〇 當 接 合 通 路 形 1 訂 成 構 件 之 側 方 突 出 部 前 端 部 彼 此 時 除 使 刖 till 部 彼 此 凸 1 I 合 而 加 以 接 合 之 外 也 可 隔 著 所 需 長 度 之 連 通 管 將 側 方 1 1 突 出 部 的 彼 此 加 以 連 接 〇 這 麼 做 的 話 9 Μ 適 予 諝 整 連 通 1 | 管 之 長 度 就 可 使 側 方 突 出 部 之 長 度 為 一 定 9 而 可 減 少 通 1 路 形 成 構 件 之 種 類 0 再 者 ， 在 各 通 路 形 成 構 件 也 可 設 置 f 連 通 到 本 體 内 通 路 a 對 第 1 管 狀 側 方 突 出 部 成 直 交 或 以 1 反 向 延 伸 之 第 2 管 狀 突 出 部 〇 如 此 種 構 成 ) 就 可 使 此 聯 1 軸 器 連 通 到 其 他 流 體 控 制 器 之 通 路 或 配 管 1 聯 軸 器 之 使 1 1 用 用 途 勢 必 更 加 廣 泛 〇 1 第 5 及 第 6 發 明 之 聯 軸 器 m 以 第 3 發 明 之 聯 軸 器 為 基 1 本 可 將 該 等 聯 軸 器 組 合 而 獲 得 〇 此 時 i 隨 著 變 更 設 計 而 1 1 必 須 變 更 者 ， 只 是 保 持 構 件 數 J 通 路 形 成 構 件 數 保 持 1 I -7 1 1 1 1 •木紙张尺度诚州中阎行:冷（（’NS ) M現格（21()><2()7公筇) A7 B7 經滴部中次標卑局^-τ·消贽合作社印緊 五、發明説明 ( b ) 1 I 構 件 之 開 Ρ 方 向 及 通 路 形 成 構 件 之 管 狀 側 方 突 出 部 數 與 1 J I 其 戶 向 及 長 度 就 可 以 易 於 對 應 流 體 控 制 装 置 之 規 格 變 1 1 更 ' 零 件 種 類 也 不 必 增 加 太 多 〇 亦 PJ 可 謀 求 構 件 之 標 r—> 請 1 1 準 化 0 而 > 製 造 該 等 聯 軸 器 所 需 之 作 業 1 οα 早 就 不 需 以 閱 1 背 1 接 合 通 路 形 成 構 件 之 彼 此 側 方 突 出 部 為 主 1 麻 煩 的 鑽 孔 1¾ 之 1 作 業 部 分 1 就 顯 得 製 造 容 易 0 意 1 I 事 1 圖 面 之 簡 σο 単 説 明 : 項 再 1 填 / 第 1 圖 係 顯 示 使 用 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 流 寫 本 V- I 髏 控 制 裝 置 之 正 視 圖 〇 頁 _____ 1 1 第 2 圖 傺 將 第 1 画 之 流 體 控 制 裝 置之 要 部 放一 大 顯 示 之 1 1 部 分 切 Ρ 分 解 透 視 画 〇 1 1 第 3 圖 偽 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 1 實 1 訂 施 形 態 之 透 視 圖 〇 i 1 第 4 圖 偽 該 縱 截 而 蘭 〇 1 1 第 5 圖 傷 該 横 截 面 圖 〇 1 | 第 6 圖 偽 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 2 實 1 施 形 態 之 透 視 圖 〇 1 第 7 圖 傷 該 縱 截 面 圖 〇 1 I 第 8 圖 % 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 3 形 1 1 態 之 透 視 圖 〇 1 1 第 9 圖 % 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 4 實 1 I 施 形 態 之 透 視 圖 〇 1 1 第 1 Γ 圖 係 該 横 截 面 圖 〇 1 1 第 1 1 阃 係 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 之 第 5 實 1 I -f — 1 1 1 本紙侬尺度诚州屮( (’NS ) Μ現格（210X 297公漦) A7 B7 經滴部中夾標準局M.T.消费合竹社印緊 五、發明説明 ( 7 ) 1 1 施 形 態 之 透 視 圖 〇 1 I 第 12 圖 偽 該 横 截 而 圖 〇 1 1 第 13 圖 俱 顯 示 本 發 明 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸器之第 6實 ^—-請 先 1 1 施 形 態 之 透 視 圖 〇 閱 1 背 1 第 14 圖 係 顯 示 聯 軸 器 裝 配 裝 置 之 截 面 圖 〇 ιέ 之 1 I 第 15 圖 偽 顯 不 螺 栓 之 防 止 脱 落 裝 置 之 截 面圖β 意 1 事 1 較 伴 具 1 例 詳 皇 說 明 ϊ 項 再 1 填 1 以 下 參 照 圖 面 説 明 本 發 明 之 實 施 形 態 〇 寫 本 第 1 圖 及 第 2 圖 傜 顯 示 使 用 本 發 明 流 體 控制器用 聯軸 頁 1 1 器 之 流 體 控 制 裝 置 的 一 例 〇 流 體 控 制 裝 置 (4)係使用於半 1 | 導 體 製 造 裝 置 等 9 由 質 量 流 量 控 制 器 (3 )與設於質量流置 1 1 控 制 器 (3)左方及右方之遮斷開放器（ 1) (2 )構成》 1 訂 左 方 之 遮 斷 開 放 器 (1 )乃具有； 配置於左方之第1 開關 1 I 閥 (6)及配置於右方之第2 開關閥（7 ) > 與 裝配有第 1開 1 1 關 閥 (6 )及第2 開關閥（7 ) 之 第 1 閥 裝 配 基 部（28)。 第1 1 | 閥 裝 配 基 部 (2 8)俗 由 後 述 之 多 數 聯 軸 器 (8 0)(30)(3 1)(32) 1 (3 3)所 形 成 〇 在 左 方 遮 m 開 放 器 (1)之左方設有第1 止回 1 闊 (5 )。 1 1 再 者 > 右 方 之 遮 斷 開 放 器 (2)即具有； 配置於左方之第 1 1 3 開 關 閥 (8 )、 配置於中間之第4 開關閥（9 )及配置 於右 1 1 方 之 第 5 開 關 閥 (1 〇 ), 與 裝 配 有 第 3 開 關 閥（8 )、第4開 1 I 關 閥 (9 )及第5 開關閥（ 1 0 )之第2 閥裝配基部（29)。 第2 1 1 閥 装 配 部 (2 9 ) 偽 由 後 述 之 多 數 聯 軸 器 (3 4 ) (35)(36) (37) 1 1 (3 8 ) (.1 9 ) (7 9 ) 所 形 成 〇 在 右 方 遮 斷 開 放 器 (2)之右方配設 1 I -ί3 - 1 1 I 1 本紙張尺度诚川屮標肀（（’NS ) Λ4现栳（21 OX 297公漦） Α7 Β7 五、發明説明（β) 有第2止回闕（1 1 )。 各開商闕（6)Π)(8)(9)(1(〇分別由閥本體（12)(14}(16> (18)(2 0)及從上方裝配而將該閥本體（12)(14)(16)(18) (20) 内之通路適予遮斷/開放之致動器（13>(15)(17)(19) (21) 所構成。在各開關閥（6)(7)(8)(9)(10)之關本勝（12> U4M16)<18)(20)下端部設有從上方看為方形之凸緣部 (12a) (14a) ( 16a) (18a) (20a)〇 各止回閥（5>(1丨）乃各自具有，·下面設入口之左側閥本 體（22)(25),與以螺检和左御閥本體（22)(25)相連接之 中央闕本體（23M26)，及以螺检中央閥本體（23)(26)相 連且下面設置出口之右側闕本體（24)(27)。 在質量流體控制器（3)之下端部左面，設置下面設有入 口之直方體狀左方突出部（49)，在同一右面上設置下面 設有出口之直方體狀右方突出部（50)。 在質量流體控制器（3)左方之各閥本體（22)(23)(24)(12) (14>之下面及質量流體控制器（3)之左方突出部（49)的下 面，都為同一面，質量流體控制器（3)之右方突出部（50> 及在質量流體控制器（3)右方的各閥本體（16)(18)(20) (25)(26)(27)之下面也都為同一面。 在第1 lh回閥（5)之左側閥本體（22)入口，配設了由保 持構件（40)及被該保持構件保持之L型通路形成構件 (41)所構成，而連接到清洗氣體引入管之清洗氣體引入 用聯軸器（80 )。 第1止回閥（5)之右側閥本體（24)之出口舆第1開關闕 -1 0 - ί紙张尺度川中國1'@標卑(('NS ) Μ現梠（210X 297公楚) {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,ιτ #ί淆部中"榡率局兵^消於合忭幻印繁 A7 B7 五、發明説明（9 ) (6>之閥本體（12)之入口僳由，2値保持構件（ 4 2 )( 4 4 )及 被該等構件保持之U宇狀連通路形成構件（46)所構成， 藉以引入流體之第1流入通路形成用聯軸器（30)連通到 左方之遮斷開放器（1)。連通路形成構件（46)俗由2锢 L型通路形成構件（43)(45)彼此接合形成。 跨越第1開關閥（6)之閥本體（12)偏右部分下面與第2 開關閥（7)之閥本體（14)之偏左部分下面，設置具有建通 第1開關閥（6)的出口與第2開開閥（7}的入口之V字狀 通路（31a>的長方體狀之第一連通路形成用塊狀聯軸器 (3 1 ) 0 在第2開關閥（7)閥本體（14)之副出入口設置了由保持 構件（47)及被該構件保持之I型通路形成構成（48)所構 成之第〗副通路形成用聯軸器（32)。在笫1副通路形成 用聯軸器（32)之下端部乃接合有連接到生産氣體引入管 之習知L型聯軸器（78)。 跨及第2開關閥（7)閥本體（14)之偏右部分下面與質量 流量控制器（3)之左方突出部（49)下面，設置了具有從第 2開關閥（7)之出口排出流體而送入質量流量控制器（3) 之V字狀通路（33a)的長方體狀第1流出通路形成用塊狀 聯軸器（33)。 跨及質量流量控制器（3)之右方突出部（50)下面與第3 開關閥（8)閥本體（16)之偏左部分下面，設置了具有從質 量流量控制器（3)排出之流體引入右方遮斷開放器（2)之 V宇狀通路（34a)之長方體狀第2流入通路形成用塊狀聯 -1 1 - 本紙张尺度適州中('NS ) Μ規招（210X297公i ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

、1T 铸！ A7 B7 五、發明説明（、。） 軸器（3〇。 第3開關閥（8)閥本醱（16)之副出入口乃配設有由保持 構件（51)及被該構件保持之L型通路形成構件（52)所構 成，而連接真空抽出管之第2副通路形成用聯軸器（35)。 跨及第3開關閥（8)閥本體（16)之偏右部分下面與第4 開關閥（9)閥本體（18)之偏左部分下面，設置具有連通第 3開關閥（8)之出口與第4開關閥（9)之入口之V字狀通 路（36a)的長方體連通路形成用塊狀聯軸器（36)。 第4開關閥（9)閥本體（18)之副出入口配設了由保持構 件（5 3)及被該構件保持之L型通路形成構件（54>所構成 ，而連接到生産氣體送入管之第3副通路形成用聯軸器 (37 ) 0 第4開關閥（9)閥本體（18)之出口與第5開關閥（10)閥 本體（2Q)之入口乃以由2個保持構件（55)(57)及被該等 構件保持之達通路形成構件（59)所構成之第3連通路形 成用聯軸器（38)連通。連通路形成構件（59)傺藉接合2 個L型通路形成構件（56)(58)而形成。 跨及第5開關閥（10)閥本體（20)之偏右部分下面與第 2止回閥（11)之左側閥本體（25)下面，設置具有連通第 5開關閥（10)之出口與第2止回閥（11)之入口的V字狀 通路（39a)的長方體狀第2流出通路形成用塊狀聯軸器 (39) 0 在第2 it回閥右倒閥本體（27)之出口配設有由保 持構件（60)及被該構件保持之L型通路形成構件（61)構 -1 2 - 本紙张尺度適州中囤网家標淬（CNS ) Λ4規格（210 '〆297公i ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

'1T Λ7 Β7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印掣 五、發明説明（ t 1 ) 1 I 成 9 而 連 接 到 清 洗 氣 體 排 出 管 之清 洗氣體排出用聯軸器 1 (7 9 ) Ο 1 藉 由 質 量 流 量 控 制 器 (3}左方的第1流入通路形成用聯 1 1 軸 器 (3 0 ) 第 1 連 通 路 形 成 用 聯 軸器 (3 1 )舆第1副連通路 /·—' 請 1 形 成 用 聯 軸 器 (3 2) 及 第 1 流 出 通路 形成用聯軸器（33)， 閱 1 1 形 成 了 左 方 之 遮 斷 開 放 器 (1 )之第1 閥裝配基部（28)。從 讀 背 1 而 在 左 方 之 遮 斷 開 放 器 (1 )形成了，經由止回閥（5)被引 1 | 入 之 清 洗 氣 體 經 由 第 1 流 入 通 路形 成用勝軸器（30)第1開 意 事 1 關 閥 (6 )之閥本體（ 1 2 )， 第1 連通路形成用聪軸器（31)與 項 再 1 1 填 1 第 2 開 關 閥 (7 )之閥本體（ 1 4 )及第1 流出通路形成用聯軸 寫 本 器 (3 3 ) 排 出 之 清 洗 氣 用 通 路 9 與從 第1副通路形成用聯軸 頁 1 I 器 (3 2)之 下 面 被 引 入 之 生 産 氣 體經 由第1副通路形成用聯 1 1 軸 器 (3 2 ) 9 第 2 開 關 閥 (7)之閥本體（14)及第1流出通路 1 I 形 成 用 聯 軸 器 (3 3) 排 出 之 生 産 氣體 用通路^ 1 1 由 位 於 質 量 流 量 控 制 器 (3>右方的第2流入通路形成用 訂 I 聯 軸 器 (3 4) 第 2 副 連 通 路 形 成 用聯 軸器（3 5 )第2連通路 1 1 形 成 用 聯 軸 器 (3 6) 第 3 副 連 通 路形 成用聯軸器（37)與第 1 1 3 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (38) 及 第2 流出通路形成用聯軸 1 1 器 (3 9 )形 成 了 右 方 遮 斷 開 放 器 (2)之閥裝配基部（29)。從 1 ；A 而 9 在 右 方 之 遮 斷 開 放 器 (2)形成了，經由質量流量控制 1 器 (3 )被引入之清洗氣體再經由第2 流入通路形成用聯軸 1 I 器 (3 4 ) 第 2 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器（3 6〉及第3連通路形成 1 I 用 聯 軸 器 (3 8 ) 及 第 2 流 出 通 路 形成 用聯軸器（39)排出之 1 清 洗 氣 體 用 通 路 與 經 由 質 量 流量 控制器（3 )被引入之 1 生 産 氣 體 再 經 由 第 2 流 入 通 路 形成 用聯軸器（34)，第2 1 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (3 6 ) 及 第 3副 連通路形成用聯軸器 I (3 7 ) 送 入 處 理 室 之 生 産 氣 體 通 路以 及該等通路内的氣體 1 1 從 第 2 副 連 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (35 ) 被抽出之 1 I -1 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2ΙΟΧ297公釐） A7 B7____ 五、發明説明（^ ) 真空柚出用通路。 如第2圖的放大所示，第1止回閥（5)具有都向下開口 之流入通路（77a)及流出通路（7710。再者，第1開期賊 (6)俗2 口閥，在該等閥本體（12)設置有位於闕本體（12) 下面之大略中央處之入口（62)舆位於該偏右之出口（63) ，在閥本體（】2>内形成了，從入口（62)通到賊室（66)之 流入通路（64)與從出口（63)通到閥室（66)之流出通路（65) 。第1開關閥（6)之閥致勤器（13)傜使隔膜片（(1131)111>{18111) 之闕體<67)作動者，藉以閥致動器（13)之操作’流入通 路（6〇卽由閥體（67>遮斷/開放之構成。而且，第2開 關閥（7>為3 口閥，在閥本賸U4)設有位於閥本體（14)下 面之偏左方的入口（68)與位於偏右方之出口（69)及位於 大略中央處而作為其化流體之入口或出口之副出入口（70) ，在閥本髏（〗4>内形成從入口（68)通至閥室（74)之流入 通路（71>與從副出入口通至閥室（74)之副連通路（73)及 從出口（69)通至閥室（74)之流出通路（72)。第2開關閥 Π)之閥致動器（15)俗使隔膜片之閥體（75)作動者，構成 為藉以閥玫動器（15)之操作其副連通路（73) 01由閥體（75) 遮斷/開放。通至第2開關閥（？）入口（68)之流入通路 (71)與通至出口（69)之流出通路（72)被構成為隔著閥室 (7 4 )經常建通箸β 在各閥本體（22)(23)(24)(12)(14)(16)(18)(20)(25) (26)(27)各與其凸合各構件（41)(30) (31)(32)(33)(34) (3 5 } ( 3 6 Η 3 7 > ( 3 8 > ( 3 9 ) ( 6 1 }間，分別設置了如第2圖所 -1 4 - 木紙张尺度遶州中國Κ家掠泠（rNS )八4現格（2丨公犛） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ,Ym I· ! 經：¾.部中决榡卑扃兵二消於合竹社印*'|本 A7 B7 五、發明説明（ο ) 示之密封部（76}β再者，止回闕（5)(11)及開關閥（6)(7} (8)(9)(10)和與其對應之聯軸器（8〇)(3〇)(31)(32)(33> (34)( 3 5)(36)(37)( 38)(39)(79)都藉從闋本體（22)(23) (24)(12)(14)(16)( 18)(20)(25)(26)(27)之上方栓進螺 栓（Π3)(參照第2圓）來連接，藉由卸除該等螺栓（113) ，就可將止回閥（5)(11)及開關閥（6)(7)(8)(9)(10)從上 方卸下。而目，第2止回閥（丨1)傺與第1止回閥為相同 _造，第5開關闕（1〇)偽與第1開闋閥（6)為相同構造， 第3開關閥（8)及第4開開閥（9)即與第2開鼸閥（7)為相 同構造。 按本流體控制裝置者，關閉第1開關閥（6)，啓開第2 開關閥（7)，關閉第3開關閥（8),略開第4開阕閥（9)， 關閉第5開關閥（10),將生産氣體引入到左方遮斷開放 器（1)之第1副連路形成用聯軸器（32)時，生瘅氣體就經 由第2開關閥（7>之閥本體（14)及第1流出通輅形成用聪 軸器（33)至質量流量控制器（3)，在此其流置琺調整，而 被引入右方之遮斷開放器（2)。然而，經過第2流入通路 形成用除軸器（34)，第3開關閥（8)之闕本體（16),第2 連通路形成用聯軸器.（36)，第4開阕閥（9)之阀本體U8) 及第3副通路形成用聯軸器（37>被送進處理室。隨後， 啓開第】開關閥（6)，關閉第2開關閥（7)，阕閉第3開 鼷閥（8 )，關閉第4開關閥（9 )，闋閉第5開商閥< 1 〇 )， 從第1 ih回闕（5)引入清洗氣體者，清洗氣體執經由第1 流入通路形成用聯軸器（30)第1開朗闕<6)之鞠本體（12) -15- 本紙张尺度適州中國^家榡绛（（’NS ) Λ4現梠（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 綉 經浪-部中*標"局只Η消抡合竹"印y A7 B7 五、發明説明（β ) 第1連通路形成用聯軸器（31)第2開關閥（7)之閥本體 UO及第]流出通路形成用聯軸器（3 3 )至質量流量控制 器（3),更流經第2流入通路形成用聯軸器（34)，第3開 關閥（M之閥本體（16)第2連通路形成用聯軸器（36)第4 開關閥（9)之閥本體（18)第3連通路形成用聯軸器（38)第 5開關閥（10)之閥本體（20)，第2流出通路形成用聯軸 器（39)及第2 Lh回閥（11)而被排出。此時，清洗氣體乃 以本身之壓力趕走留在第2開關閥（7)之閥本體（14)第1 流出通路形成用聯軸器（33),第2流入通路形成用聯軸 器（34)及第2連通路形成用聯軸器（36)之生産氣體，藉 此，會在短時間只有清洗氣體流動。 在前述左方及右方之遮斷開放器（1)(2>上，第1流入 通路形成用聯軸器（30)及第3連通路形成用聯軸器（38) 被構成為共通構件，而且，第1連通路形成用塊狀聯軸 器（31)第1流出通路形成用塊狀聯軸器（33)第2流入通 路形成用塊狀聯軸器（34)第2連通路形成用塊狀聯軸器 (36)及第2流出通路形成用塊狀聯軸器（39)也被構成為 共通構件，各副通路形成用聯軸器（32)(35)(37)也同為 共通構件。亦即，只在左方之遮斷開放器（1)附加一個3 口之開關閥的同時，並在其閥裝配基部（28)附加與第1 連通路形成用聯軸器（3 1)及第1副通路形成用聯軸器（32) 相同者而已n就可獲得右方之遮斷開放器（2 ) ^在此，若 附加之開關閥是2 口之開關閥時，將右方之遮斷開放器 (2)之第4開關閥（9)換以2 口之閥的同時，並從其裝配 -1 6 - i紙ί[尺度適用十家彳( ('NS ) Λ4现格（21〇 X 297公f ) (请先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

*1T A7 Β7 經Μ部中决標卑局1Λ-Τ·消合竹社印纪 五、發明説明 ( ) 1 I 基 部 (2 9) 去 除 第 3 副 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (3 7 >即可。 如此 1 •1 前 述 左 方 及 右 方 之 遮 斷 開 放 器 (1)( 2) 被 構 成 為易於 因應 1 1 各 種 規 格 變 更 〇 ，~、 請 先 1 1 接 著 ， 就 清 洗 氣 體 引 入 用 聯 軸 器 (8 0 ) 第 1 流入通 路形 閱 it 1 背 1 成 用 聯 軸 器 (3 η) 及 第 1 副 通 路 形 成 用 聯 軸 器 (32 > 之 構造 之 1 | 擬 詳 予 說 明 〇 * 事 1 如 第 3 圖 至 第 5 圖 所 示 ♦ 構 成 清 洗 氣 體 引 入用聯 軸器 項 再 1 填 1 (8 0 ) 之 保 持 構 件 (4 〇 ) 横 截 而 為 匚 宇 狀 * 由 上 壁（81) 下壁 寫 本 (8 2 ) 及 連 結 壁 (8 3 ) 構 成 〇 L 型 通 路 形 成 構 件 (41)# 由： 頁 1 1 具 有 一 端 向 上 開 □ 而 他 端 即 開 Π 於 保 持 構 件 (4 0 )長 邊方 1 I 向 之 通 路 (9 1 a )且被嵌入在保持構件（ 40 )上下壁（8 1 )(82) 1 1 間 之 立 方 體 之 本 體 部 (9 1 ) 連 通 本 體 内 通 路 (9 1 a )且上端 1 訂 部 通 保 持 構 件 (4 0)之 上 壁 (8 1 )而 連 通 到 止 回閥（5 )向下 1 I 的 流 入 通 路 (7 η之 管 狀 上 方 突 出 部 (9 2 )； 與 -ir> 埋通本 體内 1 1 通 路 (9 1 a )目向保持構件（ 4 0 )長邊方向延伸之管狀倒方突 1 | 出 部 (9 〇構 成 〇 1 在 保 持 構 件 (4 〇) 之 上 壁 (8 1) 兩 端 部 設 有 對 流體控 制器 1 (此畤是對第1 止回閥（ 5 ))之裝配用螺紋孔（ 84 )。藉從左 1 I m 閥 本 體 (2 2) 之 上 方 把 螺 栓 (1 】3)栓進該螺紋孔（84 ),連 1 接 了 第 1 止 回 閥 (5)與清洗氣體引入用聯軸器（80)。 在保 1 1 持 構 件 (4 0 )之 上 壁 (8 1 ) 中 央 部 設 有 位 於 第 1 止回閥 (5)之 1 I 流 入 通 路 (7 7 ) 向 下 開- Ρ 正 下 方 之 貫 通 孔 (8 5 ) 。貫通 孔（85) 1 1 乃 向 寬 度 方 向 延 伸 而 及 至 上 壁 (8 1) 之 開 Ρ 綠 。由保 持構 1 1 件 (4 0 ) 之 上 壁 下 面 * 下 壁 上 面 及 連 結 壁 内 面 形成了 横截 1 I -1 7 - 1 1 1 1 本紙张尺度竓州屮KIM標彳（（’NS ) Λ4规梢（2丨〇〆297公釐） 經滅部中次標卑局兵工消费合作社印絮 A7 B7 五、發明説明（4 ) 面為U字狀而向保持構件（40)之長邊方向延伸之側方突 出部嵌入溝（86>。在保持構件（40>之長度中間部設置與 御I方突出部嵌入溝（86)育交之截面圓形之本體部嵌孔（87) 。本體部嵌入孔（87)之孔徑大於側方突出部嵌入溝（86> 之開口寬度，本體部嵌入孔（87)即削切保持構件（40)之 上壁下而及下壁上面的一部分同時，並貫通連結壁（83> 之中央部。通路形成構件（41)之本體部（91)截面正方形 之對角線之長度乃被構成為比本體部嵌入孔（87)徑小了 一點點。

在保持構件（40)之下壁（82)中央部設置了，在通路形 成構件（41)，當配設管狀下方突出部時可使該部插通之 横截而1】字狀之下方突出部嵌入溝（88)。再者，在保持 構件（40)之下壁<82)兩端部設置了對保持構件（4G)基板 之裝配用螺紋孔（89K 在L型通路形成構件（41)之上方突出部（92)上端部設 置了構成密封部（76)之凸緣部（93)。在貫通孔（85>之下 緣部即設置有承受該凸緣部（93)之向内凸緣部（85a)e 將通路形成構件（41)之本體部（91)嵌入在保持構件（40) 上下壁<81)(82)間之本體部嵌入孔（87)的同時，並藉以 保持構件（40)之向内凸緣部（85a)承接通路形成構件（41) 之凸緣部（93),就不需焊接等麻煩作業就可簡單的使通 路形成構件（41)被保持在保持構件（40>。再者，只將通 路形成構件（41)之本體部（91)嵌入在保持構件（40)上下 壁（8 1 ) ( 8 2 >間之本體部嵌人孔（8 7 ),或只以保持構件（4 0 ) -18- 本紙張尺度进州中阈囚家標4Μ CNS ) Λ4規枱（210'Χ 297公漦） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

,1T Β7 Β7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（j) 之向内凸緣部（85a)承接通路形成構件（41)之凸綠部（93) ，也可將通路形成構件保持在保持構件（40)。 如第6圖及第7圖所示，構成第1流路通路形成用聯 軸器（3 0)之各保持構件（42)(44)及各1*型通路形成構件 (43)(45)被構成為與清洗氣髏引入用聯軸器（8〇)之保持 構件（40)及L型通路形成構件（41)相同構造。從而，對 柑同構件卽附註相同符號而省略說明。第1流入通路形 成用聯軸器（30)之2個保持構件（42)(44)乃使開口能彼 此相對般且隔箸所定間隔被配置箸。各通路形成構件 (43)(45)之管狀側方突出部（94)邸都能向所對向之保持 構件（ 4 2 ) ( 4 4 )般被配置，其彼此的前端卽被接合箸。藉 從止回閥（5)之右側閥本髏（24)上方，在一方之保持構件 (42)之流體控制器裝配用螺紋孔（84)’藉從第1開朗閥 (6)之閥本體（12>凸緣部（12a)上方’在他方之保持構件 (42)之流體控制器裝配用螺紋孔（84)，各自检進媒检 (113)，第1流入通路形成用^軸器（30)便與止回間（5> 和第1開關閥（6 )相連接。 如第8圖所示，第1副通路形成用聯軸器（32)之保持 構件（47)與前述保持構件（40)(42)(44)為相同形狀，通 路形成構件（47)乃構成為L字狀。就第1副通路形成用 聯軸器（32)中，也對相同構件附註相同符號而省略說明。 在前述之流體控制装置（4)中，顯示於第3圖至第5圖之 第1實施形態之聯軸器（80)與顯示於第6圖及第7圖之第 2實施形態之聯軸器（3〇)都是由保持構件（40)(42)(44)1¾ -1 9 - 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNlS ) Λ4规格（210X297公炖）

In I. - -^1^1 nn In · ml - - (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 經系 ‘部中次標卑局兵二消费合作社印繁 五、發明説明 (^ ) 1 1 L 型 通 路 形 成 構 件 (4 1) (4 3) (4 5 ) 之 組 合 而 成 9 顯 示 於第 1 1 1 8 圖 之 第 3 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (3 2 ) 雖 由 保 持 構 件 (4 7 )輿 1 1 I 型 通 路 形 成 構 件 (4 7 ) 之 組 合 而 成 1 除 該 等 聯 軸 器 (80) 請 1 1 (3 〇) (3 2 ) 之 外 保 持 構 件 是 使 用 相 同 構 造 且 變 更 通 路形 閱 it 1 背 1 成 構 件 ί 就 可 形 成 具 有 各 種 通 路 之 聯 軸 器 〇 以 下 說 明其 之 1 注 | 例 子 〇 意 事 1 在 第 9 圖 及 第 1 0 圖 所 示 之 第 4 實 施 形 態 的 聯 軸 器 (100) 項 再 1 4 1 僳 由 與 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (8 〇 ) 相 同 構 造 之 保 持 構件 % 本 '' (4 0 ) ， 與 使 用 於 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (80 ) 之 L 型 通路 頁 I 1 形 成 構 件 (4 1) 再 追 加 一 管 狀 側 方 突 出 部 (9 5) 之 通 路 形成 1 | 構 件 (1 0 1 )所構成。 迫加於通路形成構件（ 1 0 1 ) 之 第 2管 1 1 狀 側 方 突 出 部 (9 5)傺 朝 向 與 第 1 管 狀 側 方 突 出 部 (9 4)反 1 訂 1 I 向 之 長 邊 方 向 延 伸 y 通 路 形 成 構 件 (1 0 1 )卽整體上具有倒 T 字 m 通 路 〇 1 1 再 者 > 第 11 12 圖 顯 示 之 第 5 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (102) 1 | % 由 * 與 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (80 ) 相 同 構 造 之 保 持構 1 么合 件 (4 η) 與 在 第 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (8 0)所 使 用 之 L型 1 通 路 形 成 構 件 (4 1 ) 再 追 加 一 管 狀 刨 方 突 出 部 (96) 之 通路 1 I 形 成 構 件 (1 0 3 )構成。 通路形成構件（ ]0 3)所 追 加 之 第2 1 1 1 管 狀 側 方 突 出 部 (9 6) 乃 延 伸 到 保 持 構 件 (4 〇) 之 寬 度 方向 1 1 4 對 第 1 管 狀 側 方 突 出 部 (9 4 >及 管 狀 上 方 突 出 部 (9 2)都 1 I 構 成 直 交 形 狀 〇 1 1 第 1 3 圖 所 示 之 第 6 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (1 0 4 )， 乃將第1 1 1 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (8 〇)與 第 4 實 施 形 態 之 聯 軸 器 (1 00)加 1 I -2 0- 1 1 1 1 本紙张尺度適州中剛\家优々（（15)八4坭格（2丨〇'乂297公釐） A7 B7 ~~- — ' ~ -- 五、發明説明（β ) 以組合者，由以横截面C字狀使開口彼此向同一方向被 育線狀配置之3傾保持溝件（40)，與被第1保持構件（40) 保持之L型通路形成構件（4U及被第2和第3保持構件 保持之倒Τ字犁通路形成構件（101)所構成β然而，接鄰 之通路形成構件（41)(101)(103)之側方突出部（94Μ95) 之前端彼此間介一所要長度之建通管（105)被接合著。被 第3保持構件（40)保持之倒T型通路形成構件（1〇1)之2 傾側方突出部可連通該部與其他流體控制器之通路或配 管《雖然省略圖示，但在第6實施形態之聯軸器U04)中 ，藉代替L型通路形成構件（4 1 )使用倒T宇型通路形成 構件U(U)或第5實施形態之聯軸器（102)之通路形成構 件（〗0 3 ),就可形成各種聯軸器。 前述第1至第6之實施形態之聯軸器（80)(30)(32) (1 〇 0 ) ( 1 0 2 ) ( 1 0 4 )中，各保持構件（4 0 ) ( 4 2 ) ( 4 4 ) ( 4 7 )由於 橘截面為C字狀，故較諸塊狀聯軸器（31)(33)(34)(36) 可謀求輕量化。而且，随著開關閥數或其出入口 之位置等設計變更，應變更聯軸器者，只不過為保持構 件數，通路形成構件數，保持構件之開口方向及通路形 成構件之管狀側方突出部數與方向和長度而已，容易因 應規格變更，零件種類之增加亦不用太多〃亦即，可謀 求構件之檫準化。再者，如第2、5、6之聯軸器（30)(102) (104)由多數保持構件（40)(42)(44)及多數通路形成構件 (41)(43)(45)(101)構成者，製造該等構件所需之作業， 大都以接合通路形成構件（41)(43)(45)(101)之管狀襴方 本紙张尺度適用中阂1¾家標卑（CNS ) Λ4規柏（21〇X297公f ) (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

*1T 經湞部屮央標卑局兵-Τ消价合作.社印54 A7 B7 _____-------- ' 五、發明说明（〆） 突出部（9 4 )( 9 5 )彼此間為主，單就不必麻煩的纘孔作業 來説，容易製造。 再者，在潁示於第丨圖之例子中，左方之遮斷開放器 (U具有2傾開關閥（6)(7)，右方之遮斷開放器（2)卽具 有3個開關閥（8)(9)(1Q)，但該等開關閥數可適予變更 。然而，具有適當數之開關閥之遮斷開放器設置於質量 流量控制器之左方及右方，同時，該遮斷開放器且以並 列狀配置，而構成了半導體製造裝置用之流體控制装置。 然而，該流醱控制裝置（4)即如在第14、15圏顯示其一 部分般，將聯軸器（80)(30M31)(32)(33)(34}(35)(36) (37)( 3 8)(39)以聯軸器固定螺栓（110)安裝於基板，將止 回閥（5)U1)開關閥（6)(7)(8)(3)(10)及質量流量控制器 (3)等流體控制器以本體固定螺栓（113)安装於該等聯軸 器（80)(30)(31){32)(33}(34}(35)(36)(37)(38)(39), 並將基板（108)固定於所定位置而設置。 流體控制装置之設置時及質量流量控制器或開開閥之 維修檢査時，有時會發生如下問題。 ① 跨及2個或3個聯軸器（31)以本體固定螺拴（113)欲 安裝開關閥（6)時，有時所有聯軸器（31)上面並不是為同 一平面，因而，不易安裝開關閥（6),而巨，並無具有確 保密封性之可能性。 ② 以垂直狀設置基板（108)的場合，當安裝/卸裝本體 固體螺栓（113)時螺栓（113)恐怕會掉落而遣失。以下， 參照第1 4圖及第1 5圖説明解決前述問題之流體控制装置 -12- )、紙张尺度適川屮闽1¾冢標彳（Γ N S ) Μ規格（2丨Ο X 29 7公漦） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 A7 B7 五、發明説明（yf ) 之螺栓ih動裝置。 第14阃中，安裝有開關閥（6)(7)之塊狀聯軸器（31)被 安裝在2偏基板〇〇8)。在各塊狀聯軸器（31)之上面，對 開關閥本體之安裝用螺紋孔（106)被配設在4角隅的4處 ，同時，並在中央部附近之2處穿設將塊狀聯軸器（31) 安裝於基板（1Π8)時，插通聯軸器固定螺栓（11〇)之螺栓 插通孔（107)。在基板（108>穿設有欲將塊狀聯軸器（31) 安裝到基板（108)時所使用之螺纹孔（109)。 塊狀聯軸器（31>之螺栓插通孔（107)僳由具有大於聯軸 器固定螺栓（lit))之頭部（ll〇a)徑的大徑部（107a),輿介 一梯级部（107c)連通該大徑部且具有相當於螺栓頭部 (110a)徑與螺栓軸部（110b)徑中間徑之小徑部（l〇7b>所 構成。 經：欢部中央標卑局只-τ消费合竹社印掌 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 在螺栓捅通孔（107)之小徑部（l〇7b)嵌入下端被基板 (1〇8)承接而上端在於大徑部（107a)内之圓筒狀襯套U11) 。襯套（1 11 )具有比螺栓軸部（ll〇b)徑較大内徑且比螺检 頭部（UOa)徑較小外徑β聯軸器固定螺栓（11〇)之軸部 Uinto被嵌入在該襯套（111)，該頭部（110a)便被概套 (111)之上端面承接。襯套（1U)傺用於規定聯軸器固定 螺栓U10)之栓緊量，把聯軸器固定螺栓（110)插通螺检 插通孔（107)而栓進基板（108)之螺紋孔（109)者，襯® (111)就突張於聯軸器固定螺栓（11(0之頭頭UUa)與基 板（108)之間而不能再栓緊下去的構成。 幾與聯軸器固定螺栓（1〗0)之頭部（U〇a)徑相同外徑之 -2 3- 本紙张尺度诚川（（’NS ) Λ4说柁（2丨0X297公f ) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 Λ7

\M 五、發明説明（γ) 圖環狀橡膠塾圈（112)被嵌蓋在襯套U11>之上端部。 橡_墊圈（112)被聯軸器固定螺栓（11Q)之頭部（ll〇a) 與螺栓插通孔（107)之梯级部（1Q7C)夾住。橡膠塾圈 (112)之上下方向之長度被設定為在顯示於第14圖之栓緊 終了狀態，對橡膠墊圈012)施加歷縮力。從而，兩聯軸 器（3 1)(33)即被橡膠墊圈（112)向基板（108)方向賦能推 壓。由於橡醪墊圈（112)具有彈性，可使該塾圈再歷縮變 形，又可使兩聯軸器（31)(33)朝向離自基板（1〇8)方向移 動。從而，卽使兩聯軸器（31M33)之上面並非在同一平 面的狀態，以聯軸器固定螺栓（11〇)将開開閥（7)安装於 該等聯軸器（31U33)時，由於聯軸器（31)(33)會接近開 關閥（7)的緣故，可簡單的栓緊聯軸器固定螺检（110)。 藉此，可對所有的密封部（76>施加適當的按壓力，而可 確保密封性。 第15圖僳顯示以本體固定螺栓（113)將開關闕（7)安裝 於2値塊狀聯軸器（31)(33)時之螺栓止動裝置。 該圖中，在開關閥U)之闕本體（14)凸緣部U4a>_開 設有螺栓軸部插通孔U14),在該螺栓插通孔（114)的大 約中央及下端部附近，乃配設有下端部會變成最大徑般 的梯级部（1 1 4 a ) ( 1 1 4 b )。然而，0型瓌（1 1 5 )乃從！^® 部插通孔（114)之下端被嵌入而由大約中央處梯级部（U4a 所承接，進而，從大徑側嵌入防止〇型環脱離用之椒套 (116)。然而，藉由大約中央處之梯级部（l14a)槪套（116) 之上端面及螺栓軸部插通孔（114)之周面，形成〇型環嵌 -2 4 - 本紙張尺度適用中國國家標準（〇阳）八4規格（210乂297公桡） ————— —m n^i m^i II ν-^ϋ /is\ (請先閲讀背面之注意事項再填疼本頁) A7 __B7____ 五、發明説明（4 ) λ用環狀（HI瑤（118)。在襯套（U6)之下端部設置柢接下 端附近梯级部（1141))之凸緣部（116a)此外，櫬套（116)之 中間部設置了具有比嵌入該襯套之螺栓軸部插通孔（114〉 之徑稍大外徑之環狀突起U 1 7 )。將襯套（1 1 6 )硬從螺栓 軸部插通孔U14)之大徑側嵌入時，凸緣部Ul6a)就被下 端附近之级部（114b)承接，環狀突起（117)被壓扁而扮演 防出襯套（116)脱離。從而，〇型環（115)決不會脱落。 〇型環（115)之内徑被構成較諸本體固定螺栓（113>之軸 部外徑稍小。由於〇型環（115)具有彈性，欲將本體固定 螺拴（11 之軸部強制性的插通於0型環（115)乃搐其容 易。而且，栓退本體固定嫘栓（113)而當該螺栓從螺紋孔 (106)脱開時，藉以0型環（115>之揮性力，本體固定螺 栓（U3)也不會從〇塱環脱落，從而以垂直狀設置基板 (108)時（圖之上下右與左右變成相反時），也不會在本醱 固定螺栓（11 3)之安裝/卸裝時因螺栓（113)掉落而逋失。 n ml i^l^i I ant flu I*fnn n n^fn \eJ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經洎部中夾標率局U-T"贽合作"印^Γ -2 5- 木紙张又度诚川屮囚丨^:標# ((、奶）Λ4规柏（210X 297公郯） A7 B7 姓濟部中央標卑局只-τ消贽合作社印9^1水 五、發明説明（/ ) 黎考符號説明表 4… 體 控 制 装 置 3… .質 量 流 量 控 制 器 1 . 2 -· .遮 斷 開 放 器 6… •第 1 開 關 閥 7… .第 2 開 關 閥 28 .. •第 1 閥 裝 配 基 部 5… .第 1 止 回 閥 8… .第 3 開 關 閥 9… .第 4 開 關 闕 10.. .第 5 開 關 閥 2 9.. .第 2 闕 裝 配 部 30. 3 1 .3 2、 3 3、 3 4、 3 5、 3 6 . * · •聯 軸 器 37、 38 ' 3 9、 7 9、 80、 1 0 0 S 10 2 . .聯 軸 器 11.. .第2 止回閥 12、 14 、1 6、 1 8、 2 0 . 閥 本 體 13, 15 、1 Ί、 1 9、 2 1 . 致 動 器 12 a. 1 4 a N 1 6a S 18 a. 2 0 a N 11 6a • · · 凸 緣 22. 2 5 左 侧 閥 本 體 2 3 . 2 6 中 央 閥 本 體 24. 2 7 右 側 閥 本 體 4 9.. .直 方 體 狀 左 方 突 出 部 50 .. •盲 方 體 狀 右 方 突 出 部 8 0.. .清 洗 氣 體 引 入 用 聯 軸 器 4 1.. .L 型 通 路 形 成 構 件 -26- - - - - m HI l^i^i - I n ml n tn nn -ill->. "-9 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I ) 本紙张尺度地川屮彳（CNS ) Λ4觇梠（2丨0‘X297公漦） 經消部屮次標準局只Η消贽合作"印y A7 B7 五、發明説明（< ) 4 R.....U字狀連通路形成構件 4 2 , 4 4 .....保持構件 4 3、4 5、5 6、5 8、fi 1.....L型通路形成構件 3 1a. 89a.......V字狀通路 48.....I型通路形成構件 7 8.....L型聯軸器 33a、36a.....V字狀通路 52.....L型通路形成構件 35.....第2副通路形成用聯軸器 40、55、57、60.....保持構件 59、101、103.......連通路形成構件 39——長方體狀第2流出通路—形成用塊狀聯軸器 28——第1閥裝配基部 7 1 . 77a、 7 7.. •流 入 通 路 6 5 N 72. 7 7b.. .流 出 通 路 6 2, 68.. …λ P 63. 6 9.. …m 口 66.....閥室 7 0.....副出入口 7 4.....閥室 73.....副通路 7 6.....密封部 U 3 ....螺栓 8 1.....上壁 8 2.....下壁 -21 - 木紙张尺度f川中囡四家標攻（（'NS ) Λ4规格（2丨0X 297公f ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經满部中央標導局0-τ·消贽合作社印y A7 B7 五、發明説明（A ) 8 3.....連結壁 9 1 a ....通路 9 4、9 5.....管狀側方突出部 92.....管狀上方突出部 9 1.....本體部 86、88.....嵌入溝 8 7.....嵌入孔 8 9、1 0 6、1 0 9 ....螺紋孔 9 3.....凸線部 85.....貫通孔 1 08 ....基板 113——本體固定螺栓 10 7——螺栓插通孔 1 07a ...大徑部 107c、114a、114b.·..梯级部 ll〇a.....螺栓頭部 ll〇b.....螺栓軸部 110 .....聯軸器固定螺栓 1 0 7 b ....小徑路 111 .....圓筒狀襯套 112 .....橡膠墊圈 114.....螺栓軸部捅通孔 U6.....襯套 118.....環狀凹處 1 1 7.....環狀突起 (請先閱讀背而之注意事項再填寫本頁) *1Τ 本紙ifUUiiA川屮阀R家d. ( ('NS ) Λ4規枯（210Χ2<Π公犛）

Claims (1)

1. Λ8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 1. —種流體控制器用聯軸器，傲接績於流體控制器向下 通路的開口部之聯軸器，其特激為；由横截面為c字 狀之保持構件及被該構件保持之管狀通路形成構件所 構作，通路形成構件之上端部插入設於保持構件上壁 的貫通孔而連通到流體控制器之向下通路，在保持構 件之上壁開設有對流體控制器之安装用螺紋孔。 2. 如申請專利範圍第1項之流體控制器用聯軸器，其中 在通路形成構件之上端部設置向外之凸緣部，在保持 構件上壁之貫通孔設置有承接該凸線部用之向内凸緣 部。 3. 如申請專利範圍第1項之流體控制器用聯軸器，其中 通路形成構件具備著：内部有通路且嵌入於保持構件 上下壁間之本體部；連通本體内通路且上端部插入設 於保持構件上壁之貫通孔而連通到流體控制器向下通 路之管狀上方突出部；與連通本體内通路且向側方延 伸之至少1管狀側方突出部。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 4. 一種流體控制器用聯軸器，係連通2個流體控制器向 下通路彼此間之聯軸器，其持徽為；由槿截面為C字 狀而使彼此相對且隔著間隔所配置之第1及第2保持 構件，與1丨字狀之管狀通路形成構件構成，通路形成 構件之一端部插入設於第1保持構件上壁之貫通孔而 連通第一流體控制器之向下通路，通路形成構件之他 端部即插入設於第2保持構件上壁之貫通孔而連通到 第2流體控制器之向下通路，在各保持構件之上壁分 -2 9 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） A8 Βδ C8 D8 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 六、申請專利範圍 1 別 開 設 了 對 流 體 控 制 器 之 安 裝 用 螺 紋 孔 〇 1 5 ·如 申 請 專 利 範 圍 第 4 項 之 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 ， 其 中 1 I 通 路 形 成 構 件 换 由 ： 内 部 有 通 路 且 嵌 入 在 第 1 保 持 構 請 1 1 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 連 通 本 體 内 通 路 且 上 端 部 插 入 先 閱 1 1 I I 設 於 第 1 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 到 第 1 流 體 控 背 面 1 I 制 器 向 下 通 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 及 連 通 本 體 内 通 路 之 注 意 1 1 且 向 第 2 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 m 方 突 出 部 構 成 之 第 1 L Ψ 項 1 I 再 I | 字 持 狀 構 通 件 路 上 形 下 成 壁 構 間 件 之 本 以 體 及 部 内 9 部 連 有 通 通 本 路 體 且 内 嵌 通 入 路 在 且 第 上 2 端 保 部 填 寫 本 頁 1 插 入 設 於 第 2 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 到 第 2 流 1 1 體 控 制 器 向 下 通 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 及 連 通 本 體 内 通 1 I 路 且 向 第 1 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 侧 方 突 出 部 構 成 之 第 1 1 訂 1 2L字狀通 路 形 成 構 件 所 構 成 9 兩 L 字 通 路 形 成 構 件 之 管 狀 側 方 突 出 部 之 前 端 部 彼 此 間 接 合 著 〇 I 6 · — 種 流 體 控 制 器 用 聯 軸 器 9 俗 連 通 多 數 流 體 控 制 器 之 1 1 向 下 通 路 彼 此 間 之 聯 軸 器 9 其 特 擻 為 ； 由 横 截 面 為 匚 1 I 字 狀 而 使 開 □ 彼 間 向 同 一 方 向 被 直 線 狀 配 置 之 多 數 保 | 持 構 件 及 被 各 保 持 構 件 保 持 之 多 數 通 路 形 成 構 件 所 構 1 1 成 各 通 路 形 成 構 件 係 具 備 著 ： 内 部 有 通 路 且 嵌 入 保 1 | 持 構 件 上 下 壁 間 之 本 體 部 連 通 本 體 内 通 路 且 上 端 部 1 ί 插 入 設 於 保 持 構 件 上 壁 之 貫 通 孔 而 連 通 到 流 體 控 制 器 1 1 向 下 通 路 之 管 狀 上 方 突 出 部 與 連 通 本 體 内 通 路 且 向 1 I 鄰 接 之 保 持 構 件 延 伸 之 管 狀 側 方 突 出 部 ， 鄰 接 之 通 路 1 形 成 構 件 之 锎 方 突 出 部 的 前 端 部 彼 此 間 被 接 合 % 在 各 1 1 保 持 構 件 上 壁 開 設 有 對 流 體 控 制 器 之 安 裝 用 螺 紋 孔 〇 1 I -3 0- 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨Ο X 297公釐）