KR19980086856A - 유체 제어기용 커플링 - Google Patents

Abstract

본 발명의 커플링은 횡단면이 コ자형인 유지 부재 및 이것에 유지된 통로 형성 부재로 이루어진다. 유지 부재의 상벽에는 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍이 형성되어 있다. 통로 형성 부재는 내부에 통로를 가짐과 동시에 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 측방으로 연장되는 관형 측방 돌출부를 구비하고 있다. 통로 형성 부재의 상단부에 외향 플랜지부가 형성되고, 유지 부재의 상벽의 관통 구멍에 상기 외향 플랜지부를 받치는 내향 플랜지부가 형성되어 있다.

Description

유체 제어기용 커플링

본 발명은 유체 제어기용 커플링(coupling)에 관한 것으로, 특히, 반도체 제조 장치용의 유체 제어 장치에 있어서, 예컨대 질량 유량 제어기에 설치되는 복수의 개폐 밸브의 통로끼리를 연통할 때에 이용되는 유체 제어기용 커플링에 관한 것이다.

본 명세서에 있어서, 상하는 도면의 상하를 말하는 것이지만, 이 상하는 편의적인 것이며, 차단 개방기는 예컨대 도 1에 도시한 상태로 수평면에 장착되는 것 외에, 상하가 역으로 되어 수평면에 장착되거나, 수직면에 장착되거나 하는 것이 있다.

반도체 제조 장치에 있어서의 유체 제어 장치에서는 질량 유량 제어기의 입구측 및 출구측에는 통상 복수의 밸브가 배치되지만, 이때, 이들 밸브끼리를 튜브에 의해 접속하지 않고, 복수의 밸브를 블록형 커플링에 위쪽으로부터 자유로이 착탈할 수 있게 일방향으로 배열하여 장착함으로써 형성된 차단 개방기를 1개의 유닛으로서 이용하는 것이 행하여지고 있다(일본 특공평6-241400호 참조). 각 밸브의 입구 및 출구는 하면에 마련되고, 블록형 커플링에는 이들 입구 및 출구 위치에 따라서, 유입 통로 및 유출 통로가 마련된다. 밸브를 블록형 커플링에 위쪽으로부터 자유로이 착탈할 수 있게 장착하는 것은 기판에 장착된 후의 차단 개방기의 각 밸브마다의 점검·교환을 가능하게 하기 위함이다.

1개의 유체 제어 장치에는 다수의 차단 개방기가 설치되어 있고, 이들 차단 개방기에는 밸브의 수가 2개인 것이나 4개인 것, 밸브끼리의 간격에 따라서 입구 및 출구의 위치가 다른 것, 적어도 1개의 밸브 입구와 출구사이에 다른 유체용의 입구 또는 출구가 되는 부출입구를 추가하는 것 등, 여러 방법이 있을 수 있다. 종래의 차단 개방기에서는 출구의 위치가 1개만 다른 경우일지라도 새로 블록형 커플링를 형성하지 않으면 안되므로, 부재의 종류가 대단히 많아져, 부재의 표준화를 도모하기 어렵다고 하는 문제가 있었다.

또한, 상기 블록형 커플링에서는 개구가 커플링의 양단부에 있을 때에는, 통로의 가공도 비교적 용이하지만, 개구가 커플링의 일단부에만 있을 때에는, 타단부에도 개구를 형성해 두고, 후에 이 개구를 막는 작업이 필요하게 되어 통로의 가공이 번거로와진다고 하는 문제도 있었다. 또한, 상기 유체 제어 장치에서는 경량화도 요구되고 있지만, 블록형 커플링은 경량화를 진척시키는 점에서도 불리하였다.

본 발명의 목적은 반도체 제조 장치용의 유체 제어 장치에 있어서, 부재의 표준화를 꾀함과 동시에, 제조의 용이화 향상 및 경량화도 꾀할 수 있는 유체 제어기용 커플링을 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명에 의한 유체 제어기용 커플링이 사용되는 유체 제어 장치를 도시하는 정면도.

도 2는 도 1의 유체 제어 장치의 주요부를 확대하여 도시하는 일부 파단 분해 사시도.

도 3은 본 발명에 의한 유체 제어기용 커플링의 제1 실시 형태를 도시하는 사시도.

도 4는 도3에 도시된 커플링의 종단면도.

도 5는 도3에 도시된 커플링의 횡단면도.

도 6은 본 발명에 의한 유체 제어기용 커플링의 제2 실시 형태를 도시하는 사시도.

도 7은 도6에 도시된 커플링의 종단면도.

도 8은 본 발명에 의한 유체 제어기용 커플링의 제3 실시 형태를 도시하는 사시도.

도 9는 본 발명에 의한 유체 제어기용 커플링의 제4 실시 형태를 도시하는 사시도.

도 10은 도9에 도시된 커플링의 횡단면도.

도 11은 본 발명에 의한 유체 제어기용 커플링의 제5 실시 형태를 도시하는 사시도.

도 12는 도11에 도시된 커플링의 횡단면도.

도 13은 본 발명에 의한 유체 제어기용 커플링의 제6 실시 형태를 도시하는 사시도.

도 14는 커플링 장착 장치를 도시하는 단면도.

도 15는 볼트의 이탈 방지 장치를 도시하는 단면도.

제1 발명에 의한 유체 제어기용 커플링은 유체 제어기의 하향 통로의 개구부에 접속되는 커플링으로서, 횡단면이 コ자형의 유지 부재 및 이것에 유지된 관형 통로 형성 부재로 이루어지고, 통로 형성 부재의 상단부가 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있으며, 유지 부재의 상벽에는 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍이 형성되어 있는 것이다.

관형 통로 형성 부재의 형상은 I자형, L자형 또는 역 T자형으로 된다.

제2 발명에 의한 유체 제어기용 커플링은 제1 발명에 있어서, 통로 형성 부재의 상단부에 외향 플랜지부가 형성되고, 유지 부재 상벽의 관통 구멍에 이 플랜지부를 받치는 내향 플랜지부가 형성되어 있는 것이다. 이와 같이 하면, 통로 형성 부재의 플랜지부를 유지 부재의 내향 플랜지부에 수납시키는 것만으로, 용접 등의 수고를 들이지 않고 간단히 통로 형성 부재를 유지 부재에 유지시킬 수 있다.

제3 발명에 의한 유체 제어기용 커플링은 제1 발명에 있어서, 통로 형성 부재가 내부에 통로를 가지고 또한 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 측방으로 연장되는 적어도 1개의 관형 측방 돌출부를 구비하고 있는 것이다. 이와 같이 하면, 통로 형성 부재의 본체를 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣는 것만으로, 용접 등의 수고를 들이지 않고 간단히 통로 형성 부재를 유지 부재에 유지시킬 수 있다. 통로 형성 부재의 관형 측방 돌출부는 통상 1개 또는 2개가 된다. 측방 돌출부가 1개일 때, 통로 형성 부재내에 형성되는 통로는 L형이 된다. 이 때의 측방 돌출부는 유지 부재의 길이 방향으로 연장되는 방향이어도 좋고, 유지 부재의 폭방향으로 연장되는 방향이어도 좋다. 측방 돌출부가 2개일 때, 추가되는 제2 측방 돌출부는 제1 측방 돌출부에 직각이어도 좋고, 본체를 통해 제1 측방 돌출부와 직선상으로 배열되도록 하여도 좋다.

상기 제1에서부터 제3까지의 발명에 의한 커플링은 단독으로 사용되는 것 외에, 여러가지로 조합하여 사용된다. 이들 유체 제어기용 커플링에 의하면, 각 유지 부재가 횡단면이 コ자형이기 때문에, 이것을 사용함으로써, 블록형 커플링을 사용한 경우와 비교해서 경량화를 꾀할 수 있다.

제4 발명에 의한 유체 제어기용 커플링은 2개의 유체 제어기의 하향의 통로끼리를 연통하는 커플링으로서, 횡단면이 コ자형으로 개구끼리를 마주하게 맞춤과 동시에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 유지 부재와, U자형의 관형 통로 형성 부재로 이루어지고, 통로 형성 부재의 일단부가 제1 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제1 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고, 통로 형성 부재의 타단부가 제2 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제2 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있으며, 각 유지 부재의 상벽에는 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍이 각각 형성되어 있는 것이다.

제4 발명의 커플링에 의하면, 전체적으로 U형의 통로를 가짐과 동시에 2개의 유체 제어기를 연통하는 커플링이 얻어진다. 이 커플링에 의하면, 제1 발명의 커플링과 마찬가지로, 각 유지 부재가 횡단면이 コ자형이기 때문에, 이것을 사용함으로써, 블록형 커플링을 사용한 경우와 비교해서, 경량화를 꾀할 수 있다.

제5 발명에 의한 유체 제어기용 커플링은 제4 발명에 있어서, 통로 형성 부재가 내부에 통로를 가짐과 동시에 제1 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 제1 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제1 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부 및 본체내 통로와 연통함과 동시에 제2 유지 부재를 향하여 연장되는 관형 측방 돌출부로 이루어지는 제1 L자형 통로 형성 부재와, 내부에 통로를 가짐과 동시에 제2 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 제2 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제2 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부 및 본체내 통로와 연통함과 동시에 제1 유지 부재를 향하여 연장되는 관형 측방 돌출부로 이루어지는 제2 L자형 통로 형성 부재로 이루어지고, 양 L자형 통로 형성 부재의 관형 측방 돌출부의 선단부끼리가 접합되어 있는 것이다.

제6 발명에 의한 유체 제어기용 커플링은 복수의 유체 제어기의 하향의 통로끼리를 연통하는 커플링으로서, 횡단면이 コ자형이고 개구끼리를 같은 방향을 향하여 직선상으로 배치된 복수의 유지 부재 및 각 유지 부재에 유지된 복수의 통로 형성 부재로 이루어지고, 각 통로 형성 부재는 내부에 통로를 가짐과 동시에 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 이웃하는 유지 부재를 향하여 연장되는 관형 측방 돌출부를 구비하고 있고, 이웃하는 통로 형성 부재의 측방 돌출부의 선단부끼리가 접합되고, 각 유지 부재의 상벽에는 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍이 형성되어 있는 것이다.

제6 발명의 커플링에 의하면, 유지 부재의 길이 방향으로 연장되는 1개의 직선형 주통로(主通路)와 이것과 직교함과 동시에 각 유체 제어기에 연통하는 부통로를 구비하는 커플링이 얻어진다. 통로 형성 부재의 측방 돌출부의 선단부끼리를 접합하는 데 있어서는, 선단부끼리를 서로 맞대어 접합하는 외에, 소요 길이의 연통관을 개재하여 측방 돌출부끼리를 접속하도록 하여도 좋다. 이와 같이 하면, 연통관의 길이를 적시 조정함으로써 측방 돌출부의 길이를 일정하게 할 수 있어, 통로 형성 부재의 종류를 감소시킬 수 있다. 또한, 각 통로 형성 부재에는 본체내 통로와 연통함과 동시에 제1 관형 측방 돌출부에 대하여 직교하거나 또는 역방향으로 연장되는 제2 관형 돌출부가 설치되어도 좋다. 이와 같이 하면, 이 커플링을 다른 유체 제어기의 통로 또는 배관과 연통하는 것이 가능하게 되어, 커플링의 사용 용도가 넓어진다.

제5 및 제6 발명의 커플링은 제3 발명에 의한 커플링을 기초로 하여 이들을 조합함으로써 얻을 수 있다. 이때, 설계 변경에 따라 변경해야할 점은 유지 부재의 수, 통로 형성 부재의 수, 유지 부재의 개구 방향 및 통로 형성 부재의 관형 측방 돌출부의 수와 방향과 길이만으로 충분하여, 유체 제어 장치의 사양 변경에 대응하기 쉽고, 부품 종류의 증가가 적게 된다. 즉, 부재의 표준화를 꾀할 수 있다. 이들 커플링을 제조하는 데 요하는 작업은 통로 형성 부재의 측방 돌출부끼리의 접합이 주(主)이고, 번거로운 구멍 뚫는 작업이 필요하지 않는 만큼 제조하기 쉽게 된다.

본 발명의 실시 형태를 이하 도면을 참조하여 설명한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 유체 제어기용 커플링이 사용되는 유체 제어 장치의 일예를 도시하고 있다. 유체 제어 장치(4)는 반도체 제조 장치 등에서 사용되는 것으로, 질량 유량 제어기(3)와, 질량 유량 제어기(3)의 왼쪽 및 오른쪽에 설치되는 차단 개방기(1, 2)로 이루어진다.

왼쪽의 차단 개방기(1)는 왼쪽에 배치된 제1 개폐 밸브(6) 및 오른쪽에 배치된 제2 개폐 밸브(7)와, 제1 개폐 밸브(6) 및 제2 개폐 밸브(7)가 장착되어 있는 제1 밸브 장착 기부(28)를 구비하고 있다. 제1 밸브 장착 기부(28)는 후술하는 복수의 커플링(80, 30, 31, 32, 33)에 의해 형성되어 있다. 왼쪽의 차단 개방기(1)의 왼쪽에는 제1 체크 밸브(5)가 설치되어 있다.

또한, 오른쪽의 차단 개방기(2)는 왼쪽에 배치된 제3 개폐 밸브(8), 중간에 배치된 제4 개폐 밸브(9) 및 오른쪽에 배치된 제5 개폐 밸브(10)와, 제3 개폐 밸브(8), 제4 개폐 밸브(9) 및 제5 개폐 밸브(10)가 장착되어 있는 제2 밸브 장착 기부(29)를 구비하고 있다. 제2 밸브 장착 기부(29)는 후술하는 복수의 커플링(34, 35, 36, 37, 38, 39, 79)로 형성되어 있다. 오른쪽 차단 개방기(2)의 오른쪽에는 제2 체크 밸브(11)가 설치되어 있다.

각 개폐 밸브(6, 7, 8, 9, 10)는 각각 밸브 본체(12, 14, 16, 18, 20) 및 이것에 위쪽으로부터 장착되어 밸브 본체(12, 14, 16, 18, 20)내의 통로를 적시 차단 개방하는 액츄에이터(13, 15, 17, 19, 21)로 이루어진다. 각 개폐 밸브(6, 7, 8, 9, 10)의 밸브 본체(12, 14, 16, 18, 20)의 하단부에는 위에서 보아 사각형의 플랜지부(12a, 14a, 16a, 18a, 20a)가 형성되어 있다.

각 체크 밸브(5, 11)는 각각 하면에 입구가 형성된 왼쪽 밸브 본체(22, 25)와, 왼쪽 밸브 본체(22, 25)와 볼트로 접속된 중앙 밸브 본체(23, 26)와, 중앙 밸브 본체(23, 26)와 볼트로 접속됨과 동시에 하면에 출구가 형성된 오른쪽 밸브 본체(24, 27)를 구비하고 있다.

질량 유량 제어기(3)의 하단부 왼쪽면에는 하면에 입구가 형성된 직방체형 왼쪽 돌출부(49)가 형성되고, 상기 하단부 오른쪽면에는 하면에 출구가 형성된 직방체형 오른쪽 돌출부(50)가 형성되어 있다.

질량 유량 제어기(3)의 왼쪽에 있는 각 밸브 본체(22, 23, 24, 12, 14)의 하면 및 질량 유량 제어기(3)의 왼쪽 돌출부(49)의 하면은 전부 같은 면으로 이루어져 있고, 질량 유량 제어기(3)의 오른쪽 돌출부(50) 및 질량 유량 제어기(3)의 오른쪽에 있는 각 밸브 본체(16, 18, 20, 25, 26, 27)의 하면도 모두 같은 면으로 이루어져 있다.

제1 체크 밸브(5)의 왼쪽 밸브 본체(22)의 입구에는 유지 부재(40) 및 이것에 유지된 L형 통로 형성 부재(41)로 이루어지고, 퍼지 가스 도입 라인에 접속되어 있는 퍼지 가스 도입용 커플링(80)이 설치되어 있다.

제1 체크 밸브(5)의 오른쪽 밸브 본체(24)의 입구와 제1 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(12)의 입구는 2개의 유지 부재(42, 44) 및 이들에 유지된 U자형 통로 연결 형성 부재(46)로 이루어지고, 왼쪽의 차단 개방기(1)에 유체를 도입하는 제1 유입 통로 형성용 커플링(30)에 의해 연통되고 있다. 연통로 형성 부재(46)는 2개의 L형 통로 형성 부재(43, 45)끼리가 접합됨으로써 형성되고 있다.

제1 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(12)의 오른쪽으로 치우친 부분 하면과 제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14)의 왼쪽으로 치우친 부분 하면에 걸쳐, 제1 개폐 밸브(6)의 출구와 제2 개폐 밸브(7)의 입구를 연통하는 V자형 통로(31a)를 구비하는 직방체형의 제1 연통로 형성용 블록 커플링(31)이 설치되어 있다.

제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14)의 부출입구에는 유지 부재(47) 및 이것에 유지된 I형 통로 형성 부재(48)로 이루어지는 제1 부통로 형성용 커플링(32)이 설치되어 있다. 제1 부통로 형성용 커플링(32)의 하단부에는 프로세스 가스 도입 라인에 접속되어 있는 공지의 L형 커플링(78)이 접합되어 있다.

제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14)의 오른쪽으로 치우친 부분 하면과 질량 유량 제어기(3)의 왼쪽 돌출부(49) 하면에 걸쳐, 제2 개폐 밸브(7)의 출구에서 유체를 배출하여 질량 유량 제어기(3)에 보내주는 V자형 통로(33a)를 구비하는 직방체형 제1 유출 통로 형성용 블록 커플링(33)이 설치되어 있다.

질량 유량 제어기(3)의 오른쪽 돌출부(50) 하면과 제3 개폐 밸브(8)의 밸브 본체(16)의 왼쪽으로 치우친 부분 하면에 걸쳐, 질량 유량 제어기(3)로부터 배출된 유체를 오른쪽의 차단 개방기(2)에 도입하는 V자형 통로(34a)를 구비하는 직방체형 제2 유입 통로 형성용 블록 커플링(34)이 설치되어 있다.

제3 개폐 밸브(8)의 밸브 본체(16)의 부출입구에는 유지 부재(51) 및 이것에 유지된 L형 통로 형성 부재(52)로 이루어지고, 진공 흡인 라인에 접속되어 있는 제2 부통로 형성용 커플링(35)이 설치되어 있다.

제3 개폐 밸브(8)의 밸브 본체(16)의 오른쪽으로 치우친 부분 하면과 제4 개폐 밸브(9)의 밸브 본체(18)의 왼쪽으로 치우친 부분 하면에 걸쳐, 제3 개폐 밸브(8)의 출구와 제4 개폐 밸브(9)의 입구를 연통하는 V자형 통로(36a)를 구비하는 직방체형 제2 연통로 형성용 블록 커플링(36)이 설치되어 있다.

제4 개폐 밸브(9)의 밸브 본체(18)의 부출입구에는 유지 부재(53) 및 이것에 유지된 L형 통로 형성 부재(54)로 이루어지고, 프로세스 가스 공급 라인에 접속되어 있는 제3 부통로 형성용 커플링(37)이 설치되어 있다.

제4 개폐 밸브(9)의 밸브 본체(18)의 출구와 제5 개폐 밸브(10)의 밸브 본체(20)의 입구는 2개의 유지 부재(55, 57) 및 이들에 유지된 연통로 형성 부재(59)로 이루어지는 제3 연통로 형성용 커플링(38)에 의해 연통되어 있다. 연통로 형성 부재(59)는 2개의 L형 통로 형성 부재(56, 58)끼리가 접합됨으로써 형성되어 있다.

제5 개폐 밸브(10)의 밸브 본체(20)의 오른쪽으로 치우친 부분 하면과 제2 체크 밸브(11)의 왼쪽 밸브 본체(25)의 하면에 걸쳐, 제5 개폐 밸브(10)의 출구와 제2 체크 밸브(11)의 입구를 연통하는 V자형 통로(39a)를 구비하는 직방체형 제2 유출 통로 형성용 블록 커플링(39)이 설치되어 있다.

제2 체크 밸브(11)의 오른쪽 밸브 본체(27)의 출구에는 유지 부재(60) 및 이것에 유지된 L형 통로 형성 부재(61)로 이루어지고, 퍼지 가스 배출 라인에 접속되어 있는 퍼지 가스 배출용 커플링(79)이 설치되어 있다.

질량 유량 제어기(3)의 왼쪽에 있는 제1 유입 통로 형성용 커플링(30), 제1 연통로 형성용 커플링(31), 제1 부통로 형성용 커플링(32) 및 제1 유출 통로 형성용 커플링(33)에 의해, 왼쪽의 차단 개방기(1)의 제1 밸브 장착 기부(28)가 형성되어 있다. 따라서, 왼쪽의 차단 개방기(1)에는 체크 밸브(5)를 거쳐 도입된 퍼지 가스가 제1 유입 통로 형성용 커플링(30), 제1 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(12), 제1 연통로 형성용 커플링(31), 제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14) 및 제1 유출 통로 형성용 커플링(33)을 통해 배출되는 퍼지용 통로와, 제1 부통로 형성용 커플링(32)의 하면으로부터 도입된 프로세스 가스가 제1 부통로 형성용 커플링(32), 제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14) 및 제1 유출 통로 형성용 커플링(33)을 통해 배출되는 프로세스 가스용 통로가 형성되어 있다.

질량 유량 제어기(3)의 오른쪽에 있는 제2 유입 통로 형성용 커플링(34), 제2 부통로 형성용 커플링(35), 제2 연통로 형성용 커플링(36), 제3 부통로 형성용 커플링(37), 제3 연통로 형성용 커플링(38) 및 제2 유출 통로 형성용 커플링(39)에 의해, 오른쪽의 차단 개방기(2)의 밸브 장착 기부(29)가 형성되어 있다. 따라서, 오른쪽의 차단 개방기(2)에는 질량 유량 제어기(3)를 거쳐 도입된 퍼지 가스가 제2 유입 통로 형성용 커플링(34), 제2 연통로 형성용 커플링(36), 제3 연통로 형성용 커플링(38) 및 제2 유출 통로 형성용 커플링(39)을 통해 배출되는 퍼지 가스용 통로와, 질량 유량 제어기(3)를 거쳐 도입된 프로세스 가스가 제2 유입 통로 형성용 커플링(34), 제2 연통로 형성용 커플링(36) 및 제3 부통로 형성용 커플링(37)을 통해 프로세스 챔버로 보내지는 프로세스 가스 통로와, 이들 통로내의 가스가 제2 부통로 형성용 커플링(36)으로부터 뽑아 내여지는 진공 흡인용 통로가 형성되어 있다.

도 2에 확대하여 도시하는 바와 같이, 제1 체크 밸브(5)는 어느것이나 하향으로 개구한 유입 통로(77a) 및 유출 통로(77b)를 구비하고 있다. 또한, 제1 개폐 밸브(6)는 2포트 밸브이고, 이들 밸브 본체(12)에는 밸브 본체(12)의 하면 거의 중앙에 위치하는 입구(62)와, 상기 하면의 오른쪽으로 치우쳐 위치하는 출구(63)가 형성되어 있고, 밸브 본체(12)내에 입구(62)로부터 밸브실(66)과 통하고 있는 유입 통로(64)와, 출구(63)로부터 밸브실(66)과 통하고 있는 유출 통로(65)가 형성되어 있다. 제1 개폐 밸브(6)의 밸브 액츄에이터(13)는 다이어프램의 밸브 본체(67)를 작동시키는 것으로, 밸브 액츄에이터(13)의 조작에 의해, 유입 통로(64)가 밸브 본체(67)에 의해 차단 개방되도록 되어 있다. 또한, 제2 개폐 밸브(7)는 3포트 밸브이고, 밸브 본체(14)에는 밸브 본체(14) 하면의 왼쪽으로 치우쳐 위치하는 입구(68)와, 상기 하면의 오른쪽으로 치우쳐 위치하는 출구(69)와, 상기 하면의 거의 중앙에 위치하고 있고 다른 유체의 입구 또는 출구가 되는 부출입구(70)가 형성되어 있으며, 밸브 본체(14)내에 입구(68)로부터 밸브실(74)과 통하고 있는 유입 통로(71)와, 부출입구(70)로부터 밸브실(74)과 통하고 있는 부통로(73)와, 출구(69)로부터 밸브실(74)과 통하고 있는 유출 통로(72)가 형성되어 있다. 제2 개폐 밸브(7)의 밸브 액츄에이터(15)는 다이어프램의 밸브 본체(75)를 작동시키는 것으로, 밸브 액츄에이터(15)의 조작에 의해 부통로(73)가 밸브 본체(75)에 의해 차단 개방되도록 이루어져 있다. 제2 개폐 밸브(7)의 입구(68)와 통하는 유입 통로(71)와 출구(69)와 통하는 유출 통로(72)는 밸브실(74)을 사이에 두고 항상 연통하도록 이루어져 있다.

각 밸브 본체(22, 23, 24, 12, 14, 16, 18, 20, 25, 26, 27)와 이들에 맞대어져 있는 각 부재(41, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 61)사이에는 도 2에 도시하는 바와 같은 밀봉부(76)가 각각 마련되어 있다. 또한, 체크 밸브(5, 11) 및 개폐 밸브(6, 7, 8, 9, 10)와 이것에 대응하는 커플링(80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39, 79)은 전부 밸브 본체(22, 23, 24, 12, 14, 16, 18, 20, 25, 26, 27)의 위쪽으로부터 체결된 볼트(113)(도 2 참조)에 의해 접속되어 있고, 이들 볼트(113)를 빼냄으로써, 체크 밸브(5, 11) 및 개폐 밸브(6, 7, 8, 9, 10)를 위쪽으로 떼어 낼 수 있다. 또, 제2 체크 밸브(11)는 제1 체크 밸브(5)와 동일한 구성이고, 제5 개폐 밸브(10)는 제1 개폐 밸브(6)와 동일한 구성이며, 제3 개폐 밸브(8) 및 제4 개폐 밸브(9)는 제2 개폐 밸브(7)와 동일한 구성으로 되어 있다.

이 유체 제어 장치(4)에 의하면, 제1 개폐 밸브(6)를 폐쇄하고, 제2 개폐 밸브(7)를 개방하고, 제3 개폐 밸브(8)를 폐쇄하며, 제4 개폐 밸브(9)를 개방하며, 제5 개폐 밸브(10)를 폐쇄하여, 왼쪽의 차단 개방기(1)의 제1 부통로 형성용 커플링(32)에 프로세스 가스를 도입하면, 프로세스 가스는 제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14) 및 제1 유출 통로 형성용 커플링(33)을 통해 질량 유량 제어기(3)에 이르고, 여기서 그 유량이 조정되어 오른쪽의 차단 개방기(2)에 도입된다. 그리고, 제2 유입 통로 형성용 커플링(34), 제3 개폐 밸브(8)의 밸브 본체(16), 제2 연통로 형성용 커플링(36), 제4 개폐 밸브(9)의 밸브 본체(18) 및 제3 부통로 형성용 커플링(37)을 통해 프로세스 챔버에 보내진다. 이후, 제1 개폐 밸브(6)를 개방하고, 제2 개폐 밸브(7)를 폐쇄하며, 제3 개폐 밸브(8)를 폐쇄하며, 제4 개폐 밸브(9)를 폐쇄하며, 제5 개폐 밸브(10)를 개방하여, 제1 체크 밸브(5)로부터 퍼지 가스를 도입하면, 퍼지 가스는 제1 유입 통로 형성용 커플링(30), 제1 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(12), 제1 연통로 형성용 커플링(31), 제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14) 및 제1 유출 통로 형성용 커플링(33)을 통해 질량 유량 제어기(3)에 도달하고, 더욱이, 제2 유입 통로 형성용 커플링(34), 제3 개폐 밸브(8)의 밸브 본체(16), 제2 연통로 형성용 커플링(36), 제4 개폐 밸브(9)의 밸브 본체(18), 제3 연통로 형성용 커플링(38), 제5 개폐 밸브(10)의 밸브 본체(20), 제2 유출 통로 형성용 커플링(39) 및 제2 체크 밸브(11)를 흘러서 배출된다. 이때, 퍼지 가스는 자신의 압력에 의해 제2 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14), 제1 유출 통로 형성용 커플링(33), 제2 유입 통로 형성용 커플링(34) 및 제2 연통로 형성용 커플링(36)에 남아있는 프로세스 가스를 밀어내고, 이것에 의해, 단시간에 퍼지 가스만이 흐르도록 된다.

상기한 왼쪽 및 오른쪽의 차단 개방기(1, 2)에 있어서, 제1 유입 통로 형성용 커플링(30) 및 제3 연통로 형성용 커플링(38)이 공통의 부재로 되고, 또한, 제1 연통로 형성용 블록 커플링(31), 제1 유출 통로 형성용 블록 커플링(33), 제2 유입 통로 형성용 블록 커플링(34), 제2 연통로 형성용 블록 커플링(36) 및 제2 유출 통로 형성용 블록 커플링(39)이 공통의 부재로 되고, 각 부통로 형성용 커플링(32, 35, 37)도 공통의 부재로 되어 있다. 즉, 왼쪽의 차단 개방기(1)에 3포트의 개폐 밸브를 1개 부가함과 동시에, 그 밸브 장착 기부(28)에 제1 연통로 형성용 커플링(31) 및 제1 부통로 형성용 커플링(32)과 동일한 것을 부가하는 것만으로 오른쪽의 차단 개방기(2)가 수득되고 있다. 여기서, 부가하는 개폐 밸브가 2포트인 것일 때는, 오른쪽 차단 개방기(2)의 제4 개폐 밸브(9)를 2포트의 밸브로 대체함과 동시에, 그 장착 기부(29)로부터 제3 부통로 형성용 커플링(37)을 제거하면 좋다. 이와 같이, 상기한 왼쪽 및 오른쪽의 차단 개방기(1, 2)는 여러가지 사양 변경에 대응하기 쉬운 것으로 되어 있다.

이어서, 퍼지 가스 도입용 커플링(80), 제1 유입 통로 형성용 커플링(30) 및 제1 부통로 형성용 커플링(32)의 구성에 대하여 상세히 설명한다.

도 3에서 도 5까지에 도시하는 바와 같이, 퍼지 가스 도입용 커플링(80)을 구성하는 유지 부재(40)는 횡단면이 コ자형이고, 상벽(81), 하벽(82) 및 연결벽(83)으로 이루어진다. L형 통로 형성 부재(41)는 일단이 상향으로 개구하고 타단이 유지 부재(40)의 길이 방향으로 개구하는 통로(91a)를 가짐과 동시에 유지 부재(40)의 상·하벽(81, 82)사이에 끼워넣어지는 입방체의 본체(91)와, 본체내 통로(91a)와 연통함과 동시에 상단부가 유지 부재(40)의 상벽(81)을 관통하여 체크 밸브(5)의 하향의 유입 통로(77)와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부(92)와, 본체내 통로(91a)와 연통함과 동시에 유지 부재(40)의 길이 방향으로 연장되는 관형 측방 돌출부(94)로 이루어진다.

유지 부재(40)의 상벽(81) 양단부에는 유체 제어기(이 경우는 제1 체크 밸브(5))에 장착하기 위한 나사 구멍(84)이 형성되어 있다. 이 나사 구멍(84)에 왼쪽 밸브 본체(22)의 위쪽으로부터 볼트(113)가 체결되므로써, 제1 체크 밸브(5)와 퍼지 가스 도입용 커플링(80)이 접속되어 있다. 유지 부재(40)의 상벽(81) 중앙부에는 제1 체크 밸브(5)의 유입 통로(77)의 하향 개구의 바로 아래에 위치되는 관통 구멍(85)이 형성되어 있다. 관통 구멍(85)은 폭방향으로 연장되어 상벽(81)의 개구 가장자리까지 이르고 있다. 유지 부재(40)의 상벽 하면, 하벽 상면 및 연결벽 내면에 의해 횡단면이 U자형으로 유지 부재(40)의 길이 방향으로 연장되는 측방 돌출부 끼어넣음 홈(86)이 형성되어 있다. 유지 부재(40)의 길이 중간부에는 측방 돌출부 끼워넣음 홈(86)과 직교하는 단면 원형의 본체 끼워넣음 구멍(87)이 형성되어 있다. 본체 끼워넣음 구멍(87)의 직경은 측방 돌출부 끼워넣음 홈(86)의 개구폭보다도 크고, 본체 끼워넣음 구멍(87)은 유지 부재(40)의 상벽 하면 및 하벽 상면을 일부 깍아냄과 동시에 연결벽(83)의 중앙부를 관통하고 있다. 통로 형성 부재(41)의 본체(91) 단면의 정방형의 대각선 길이는 본체 끼워넣음 구멍(87)의 직경보다 약간 작게 되어 있다.

유지 부재(40)의 하벽(82) 중앙부에는 통로 형성 부재(41)에 관형 하방향 돌출부가 형성될 때 이것을 삽입 관통시킬 수 있는 횡단면이 U자형의 하방향 돌출부 끼워넣음 홈(88)이 형성되어 있다. 또한, 유지 부재(40)의 하벽(82) 양단부에는 유지 부재(40)를 기판에 장착하는 장착용 나사 구멍(89)이 형성되어 있다.

L형 통로 형성 부재(41)의 상방 돌출부(92)의 상단부에는 밀봉부(76)를 구성하는 플랜지부(93)가 형성되어 있다. 관통 구멍(85)의 아래 가장자리부에는 이 플랜지부(93)를 받치는 내향 플랜지부(85a)가 형성되어 있다.

통로 형성 부재(41)의 본체(91)를 유지 부재(40)의 상·하벽(81, 82)사이의 본체 끼워넣음 구멍(87)에 끼워넣음과 동시에 통로 형성 부재(41)의 플랜지부(93)를 유지 부재(40)의 내향 플랜지부(85a)로 받침으로써, 용접 등의 수고를 들이지 않고 간단히 통로 형성 부재(41)를 유지 부재(40)에 유지시킬 수 있다. 또, 통로 형성 부재(41)의 본체(91)를 유지 부재(40)의 상·하벽(81, 82)사이의 본체 끼워넣음 구멍(87)에 끼워넣는 것만으로, 또는, 통로 형성 부재(41)의 플랜지부(93)를 유지 부재(40)의 내향 플랜지부(85a)로 받치는 것만으로도 통로 형성 부재(41)를 유지 부재(40)에 유지시킬 수 있다.

도 6 및 도 7에 도시하는 바와 같이, 제1 유입 통로 형성용 커플링(30)을 구성하는 각 유지 부재(42, 44) 및 각 L형 통로 형성 부재(43, 45)는 퍼지 가스 도입용 커플링(80)의 유지 부재(40) 및 L형 통로 형성 부재(41)와 동일한 구성으로 되어 있다. 따라서, 동일한 것에는 같은 부호를 붙이고 설명을 생략한다. 제1 유입 통로 형성용 커플링(30)의 2개의 유지 부재(42, 44)는 개구끼리가 마주 향하도록 또한 소정 간격을 두고 배치되어 있다. 각 통로 형성 부재(43, 45)의 관형 측방 돌출부(94)는 어느것이나 대향하는 유지 부재(42, 44)를 향하도록 배치되어 있고, 그 선단부끼리가 접합되어 있다. 한쪽 유지 부재(42)의 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍(84)에 체크 밸브(5)의 오른쪽 밸브 본체(24)의 위쪽으로부터, 다른쪽 유지 부재(42)의 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍(84)에 제1 개폐 밸브(6)의 밸브 본체(12)의 플랜지부(12a) 위쪽으로부터 각각 볼트(113)가 체결됨으로써, 제1 유입 통로 형성용 커플링(30)이 체크 밸브(5)와 제1 개폐 밸브(6)에 접속되어 있다.

도 8에 도시하는 바와 같이, 제1 부통로 형성용 커플링(32)의 유지 부재(47)는 상술한 유지 부재(40, 42, 44)와 동일한 형상이고, 통로 형성 부재(47)는 I자형인 것으로 되어 있다. 제1 부통로 형성용 커플링(32)에 대해서도, 동일한 것에는 같은 부호를 붙여 설명을 생략한다.

상기한 유체 제어 장치(4)에 있어서는, 도 3에서 도 5까지에 도시한 제1 실시 형태의 커플링(80)과 도 6 및 도 7에 도시한 제2 실시 형태의 커플링(30)은 모두 유지 부재(40, 42, 44)와 L형 통로 형성 부재(41, 43, 45)의 조합에 의한 것이며, 도 8에 도시한 제3 실시 형태의 커플링(32)은 유지 부재(47)와 I형 통로 형성 부재(47)의 조합에 의한 것이지만, 이들 커플링(80, 30, 32) 이외에, 유지 부재는 동일한 구성인 것을 사용함과 동시에 통로 형성 부재를 변경함으로써, 여러가지 통로를 구비하는 커플링이 형성된다. 그 예를 이하에 설명한다.

도 9 및 도 10에 도시하는 제4 실시 형태의 커플링(100)은 제1 실시 형태의 커플링(80)과 동일한 구성의 유지 부재(40)와, 제1 실시 형태의 커플링(80)으로 사용된 L형의 통로 형성 부재(41)에 더욱 관형 측방 돌출부(95)가 1개 추가된 통로 형성 부재(101)로 이루어지는 것이다. 통로 형성 부재(101)에 추가된 제2 관형 측방 돌출부(95)는 제1 관형 측방 돌출부(94)와 역방향인 길이 방향으로 연장되고 있어, 통로 형성 부재(101)는 전체적으로 역 T형의 통로를 구비하고 있다.

또한, 도 11 및 도 12에 도시하는 제5 실시 형태의 커플링(102)은 제1 실시 형태의 커플링(80)과 동일한 구성의 유지 부재(40)와, 제1 실시 형태의 커플링(80)으로 사용된 L형의 통로 형성 부재(41)에 더욱 관형 측방 돌출부(96)가 1개 추가된 통로 형성 부재(103)로 이루어지는 것이다. 통로 형성 부재(103)에 추가된 제2 관형 측방 돌출부(96)는 유지 부재(40)의 폭방향으로 연장되고 있고, 제1 관형 측방 돌출부(94) 및 관형 상방 돌출부(92)의 어느것에 대해서도 직교상으로 되어 있다.

도 13에 도시하는 제6 실시 형태의 커플링(104)은 제1 실시 형태의 커플링(80)과 제4 실시 형태의 커플링(100)을 조합한 것으로, 횡단면이 コ자형이고 개구끼리를 같은 방향을 향하게 직선상으로 배치된 3개의 유지 부재(40)와, 제1 유지 부재(40)에 유지된 L형 통로 형성 부재(41)와, 제2 및 제3 유지 부재(40)에 유지된 역 T형 통로 형성 부재(101)로 이루어진다. 그리고, 이웃하는 통로 형성 부재(41, 101, 103)의 측방 돌출부(94, 95)의 선단부끼리가 소요 길이의 연통관(105)을 개재하여 접합되어 있다. 제3 유지 부재(40)에 유지된 역 T형 통로 형성 부재(101)의 2개의 측방 돌출부(94, 95)중 1개는 자유로우므로, 이것과 다른 유체 제어기의 통로 또는 배관을 연통할 수 있다. 도시는 생략하였지만, 제6 실시 형태의 커플링(104)에 있어서, L형 통로 형성 부재(41)를 역 T형 통로 형성 부재(101)나 제5 실시 형태의 커플링(102)의 통로 형성 부재(103)로 바꾸거나 함으로써, 여러가지의 커플링이 형성된다.

상기 제1에서 제6까지의 실시 형태의 커플링(80, 30, 32, 100, 102, 104)에 있어서, 각 유지 부재(40, 42, 44, 47)는 횡단면이 コ자형이기 때문에, 블록형 커플링(31, 33, 34, 36, 39)와 비교해서 경량화를 꾀할 수 있다. 또한, 개폐 밸브의 수나 그 출입구의 위치 등의 설계 변경에 따라, 커플링을 변경해야 할 점은 유지 부재의 수, 통로 형성 부재의 수, 유지 부재의 개구 방향 및 통로 형성 부재의 관형 측방 돌출부의 수와 방향과 길이만으로 충분하여, 사양 변경에 대응하기 쉽고, 부품 종류의 증가가 적게 된다. 즉, 부재의 표준화를 꾀할 수 있다. 또한, 제2, 제5 및 제6 커플링(30, 102, 104)과 같이 복수의 유지 부재(40, 42, 44) 및 복수의 통로 형성 부재(41, 43, 45, 101)로 이루어지는 것에서는 이들을 제조하는 데 요하는 작업은 통로 형성 부재(41, 43, 45, 101)의 관형 측방 돌출부(94, 95)끼리의 접합이 주이고, 번거로운 구멍 형성 작업이 필요하지 않는 만큼 제조하기 쉽게 된다.

또, 1에서 도시한 예에서는, 왼쪽의 차단 개방기(1)는 2개의 개폐 밸브(6, 7)를 구비하고, 오른쪽의 차단 개방기(2)는 3개의 개폐 밸브(8, 9, 10)를 구비하고 있지만, 이들 개폐 밸브의 수는 적절히 변경할 수 있다. 그리고, 적당한 수의 개폐 밸브를 구비하는 차단 개방기가 질량 유량 제어기의 왼쪽 및 오른쪽에 설치됨과 동시에, 이것이 또 병렬상으로 배치되어, 반도체 제조 장치용의 유체 제어 장치가 구성된다.

그리고, 이 유체 제어 장치(4)는 도 14 및 도 15에 그 일부를 도시하는 바와 같이, 기판에 커플링(80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39)을 커플링 고정 볼트(110)로 장착하고, 이들 커플링(80, 30, 31, 32, 33, 34, 35, 36, 37, 38, 39)에 체크 밸브(5, 11), 개폐 밸브(6, 7, 8, 9, 10) 및 질량 유량 제어기(3) 등의 유체 제어기를 본체 고정 볼트(113)로 장착하고, 기판(108)을 소정 위치에 고정함으로써 설치된다.

유체 제어 장치의 설치시 및 질량 유량 제어기나 개폐 밸브의 보수 점검시에는 다음과 같은 문제가 발생할 수 있다.

① 2개 또는 3개의 커플링(31)에 걸쳐 개폐 밸브(6)를 본체 고정 볼트(113)로 장착할 때, 모든 커플링(31)의 상면이 같은 면으로 되지 않을 수 있어, 개폐 밸브(6)를 장착하기 어렵고, 더구나, 밀봉성이 확보되지 않을 가능성이 있다.

② 기판(108)이 수직상으로 설치되는 경우, 본체 고정 볼트(113)의 장착 분리시에 볼트(113)가 밑으로 떨어져 분실된다.

이하에, 도 14 및 도 15를 참조하여, 상기 문제를 해소한 유체 제어 장치에 있어서의 나서 고정 장치에 대하여 설명한다.

도 14에 있어서, 개폐 밸브(6, 7)가 장착되는 블록 커플링(31)이 2개 기판(108)에 장착되어 있다. 각 블록 커플링(31)의 상면에는 개폐 밸브 본체에 장착하기 위한 나사 구멍(106)이 4구석 4개소에 형성됨과 동시에, 블록 커플링(31)의 기판(108)에의 장착시에, 커플링 고정 볼트(110)가 삽입 관통되는 삽입 관통 구멍(107)이 중앙부 부근의 2개소에 형성되어 있다. 기판(108)에는 블록 커플링(31)을 기판(108)에 장착할 때에 사용되는 나사 구멍(109)이 뚤려져 있다.

블록 커플링(31)의 볼트 삽입 관통 구멍(107)은 커플링 고정 볼트(110)의 머리부(110a)의 직경보다 큰 직경을 가지는 대경부(107a)와, 이것에 단부(107c)를 사이에 두고 연속해 있음과 동시에 볼트 머리부(110a)의 직경과 볼트 축부(110b)의 직경의 중간 직경을 가지는 소경부(107b)로 이루어진다.

볼트 삽입 관통 구멍(107)의 소경부(107b)에 하단이 기판(108)에 받쳐지고 상단이 대경부(107a)내에 있는 원통형 스페이서(111)에 끼워넣어져 있다. 스페이서(111)는 볼트 축부(110b)의 직경보다 큰 내경을 가짐과 동시에 볼트 머리부(110a)의 직경보다도 작은 외경을 가지고 있다. 이 스페이서(111)에 커플링 고정 볼트(110)의 축부(110b)가 끼워넣어지고, 동 머리부(110a)가 스페이서(111)의 상단면으로 받쳐지고 있다. 스페이서(111)는 커플링 고정 볼트(110)의 체결량을 규정하는 것으로, 커플링 고정 볼트(110)를 볼트 삽입 관통 구멍(107)에 삽입 관통하여 기판(108)의 나사 구멍(109)에 조여 가면, 스페이서(111)가 커플링 고정 볼트(110)의 머리부(110a)와 기판(108)사이에 버티게 되어, 그 이상의 체결이 불가능하도록 되어 있다.

스페이서(111)의 상단부에는 커플링 고정 볼트(110)의 머리부(110a)의 직경과 거의 동일한 외경의 둥근 고리형의 고무 와셔(112)가 끼워져 있다. 고무 와셔(112)는 커플링 고정 볼트(110)의 머리부(110a)와 볼트 삽입 관통 구멍(107)의 단부(107c)에 의해 사이에 끼워져 있다. 고무 와셔(112)의 상하 방향의 길이는 도 14에 도시하는 체결 완료 상태에 있어서, 고무 와셔(112)에 압축력이 걸리도록 설정되어 있다. 따라서, 양 커플링(31, 33)은 고무 와셔(112)에 의해 기판(108) 방향으로 가압되고 있다. 고무 와셔(112)는 탄성을 가지고 있으므로, 이것을 더욱 압축 변형시키는 것이 가능하고, 양 커플링(31, 33)을 기판(108)으로부터 멀어지는 방향으로 움직일 수 있다. 따라서, 양 커플링(31, 33)의 상면이 같은 면으로 되어 있지 않는 상태이더라도, 이들 커플링(31, 33)에 개폐 밸브(7)를 커플링 고정 볼트(110)로 장착하여 가면, 커플링(31, 33)이 개폐 밸브(7)에 접근해가기 때문에, 커플링 고정 볼트(110)의 체결을 간단히 행할 수 있다. 이것에 의해, 모든 밀봉부(76)에 적정한 압압력을 걸 수 있어, 밀봉성이 확보된다.

도 15는 2개의 블록 커플링(31, 33)에 개폐 밸브(7)를 본체 고정 볼트(113)로 장착할 때의 볼트의 이탈 방지 장치를 나타내고 있다.

도 15에 있어서, 개폐 밸브(7)의 밸브 본체(14)의 플랜지부(14a)에는 볼트 축부 삽입 관통 구멍(114)이 뚫려져 있지만, 이 볼트 축부 삽입 관통 구멍(114)에는 중간 정도 및 하단부 가까이에 하단부가 가장 직경이 크게 되도록 단부(114a, 114b)가 형성되어 있다. 그리고, O링(115)이 볼트 축부 삽입 관통 구멍(114)의 하단으로부터 끼워넣어져 중간 정도의 단부(114a)에 받쳐져 있고, 더욱이, 직경이 큰 쪽으로 O링 탈출 저지용 부시(116)가 끼워넣어져 있다. 이렇게 하여, 중간 정도의 단부(114a), 부시(116)의 상단부 및 볼트 축부 삽입 관통 구멍(114)의 주면에 의해, O링 끼워넣음용 환형 오목부(118)가 형성되어 있다. 부시(116)의 하단부에는 하단 근처의 단부(114b)에 접촉하는 플랜지부(116a)가 형성되어 있다. 또한, 부시(116)의 중간부에는 이것이 끼워넣어져 있는 볼트 축부 삽입 관통 구멍(114)의 직경보다도 약간 큰 외경을 가지는 환형 돌기(117)가 형성되어 있다. 부시(116)를 강제적으로 볼트 축부 삽입 관통 구멍(114)의 직경이 큰 쪽에서 끼워넣어면, 플랜지부(116a)가 하단 부근의 단부(114b)에 받쳐지고, 환형 돌기(117)가 찌부러져 부시(116)의 이탈 방지가 달성된다. 따라서, O링(115)이 빠져서 떨어지지 않는다. O링(115)의 내경은 본체 고정 볼트(113)의 축부의 외경보다도 약간 작게 되어 있다. O링(115)은 탄성을 가지고 있기 때문에, 본체 고정 볼트(113)의 축부를 O링(115)에 강제적으로 삽입 관통하는 것은 극히 용이하다. 또한, 본체 고정 볼트(113)을 풀어 이것이 나사 구멍(106)으로부터 이탈되었을 때에는, O링(115)의 탄성력에 의해, 본체 고정 볼트(113)는 O링(115)으로부터 이탈되지 않는다. 따라서, 기판(108)이 수직상으로 배치된 경우(도면의 상하와 좌우가 역으로 된 경우)에도, 본체 고정 볼트(113)의 체결 및 분리시에 볼트(113)가 낙하하여 분실되지 않는다.

본 발명은 반도체 제조 장치용의 유체 제어 장치에 있어서, 부재의 표준화를 도모하고 제조를 더욱 용이하게 하며 중량을 줄일 수 있는 유체 제어기용 커플링을 제공한다.

Claims (6)

1. 유체 제어기의 하향의 통로 개구부에 접속되는 커플링에 있어서,

   횡단면이 コ자형의 유지 부재 및 이것에 유지된 관형 통로 형성 부재로 이루어지고, 통로 형성 부재의 상단부가 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있으며, 유지 부재의 상벽에 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 커플링.
2. 제1항에 있어서, 상기 통로 형성 부재의 상단부에 하향의 플랜지부가 형성되고, 유지 부재의 상벽의 관통 구멍에 이 플랜지부를 받치는 내향 플랜지부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 커플링.
3. 제1항에 있어서, 상기 통로 형성 부재는 내부에 통로를 가짐과 동시에 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 측방으로 연장되는 적어도 1개의 관형 측방 돌출부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 커플링.
4. 2개의 유체 제어기의 하향의 통로끼리를 연통하는 커플링에 있어서,

   횡단면이 コ자형이고 개구끼리를 마주보게 함과 동시에 간격을 두고 배치된 제1 및 제2 유지 부재와, U자형의 관형 통로 형성 부재로 이루어지고, 통로 형성 부재의 일단부가 제1 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제1 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고, 통로 형성 부재의 타단부가 제2 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제2 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있으며, 각 유지 부재의 상벽에는 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍이 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 커플링.
5. 제4항에 있어서, 상기 통로 형성 부재는 내부에 통로를 가짐과 동시에 제1 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 제1 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제1 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부 및 본체내 통로와 연통함과 동시에 제2 유지 부재를 향하여 연장되는 관형 측방 돌출부로 이루어지는 제1 L자형 통로 형성 부재와, 내부에 통로를 가짐과 동시에 제2 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 제2 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 삽입되어 제2 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부 및 본체내 통로와 연통함과 동시에 제1 유지 부재를 향하여 연장되는 관형 측방 돌출부로 이루어지는 제2 L자형 통로 형성 부재로 이루어지고, 양 L자형 통로 형성 부재의 관형 측방 돌출부의 선단부끼리가 접합되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 커플링.
6. 복수의 유체 제어기의 하향의 통로끼리를 연통하는 커플링에 있어서,

   횡단면이 コ자형이고 개구끼리를 같은 방향을 향하여 직선상으로 배치된 복수의 유지 부재 및 각 유지 부재에 유지된 복수의 통로 형성 부재로 이루어지고, 각 통로 형성 부재는 내부에 통로를 가짐과 동시에 유지 부재의 상·하벽 사이에 끼워넣어지는 본체와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 상단부가 유지 부재의 상벽에 형성된 관통 구멍에 끼워넣어져 유체 제어기의 하향의 통로와 연통하고 있는 관형 상방 돌출부와, 본체내 통로와 연통함과 동시에 이웃하는 유지 부재를 향하여 연장되는 관형 측방 돌출부를 구비하고 있고, 이웃하는 통로 형성 부재의 측방 돌출부의 선단부끼리가 접합되고, 각 유지 부재의 상벽에는 유체 제어기에 장착하기 위한 나사 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유체 제어기용 커플링.