DE102010043865A1

DE102010043865A1 - Fluid device

Info

Publication number: DE102010043865A1
Application number: DE102010043865A
Authority: DE
Inventors: Tatsuya Hayashi; Kazuhiro Oya; Yuji Yamaguchi
Original assignee: Horiba Stec Co Ltd
Current assignee: Horiba Stec Co Ltd
Priority date: 2009-11-30
Filing date: 2010-11-12
Publication date: 2011-07-14
Also published as: CN102080747A; US20110126930A1; KR20110060841A; US20150300545A1; US9091380B2; TW201118290A

Abstract

In einer Fluidvorrichtung 100, welche aus vertikalen und horizontalen Fluidleitungen besteht, ist zum Zweck des Verbesserns einer kompakten Größe und zum Gewährleisten der Leichtigkeit der Montage eine Vielzahl an vertikalen Fluidleitungen L1 parallel zueinander angeordnet und in der Fluidvorrichtung 100, in welcher zwischen den angrenzenden vertikalen Fluidleitungen eine Vielzahl an horizontalen Fluidleitungen L2 und L3 zum Verbinden derselben parallel angeordnet ist, verbindet eine Leitung der horizontalen Fluidleitungen L2 und L3 Rohre 4' unter Verwendung einer Flanschverbindung 2', welche mit einem Verbindungsring 24 zu verbinden ist, und die andere Leitung Rohre 4'' unter Verwendung von Verbindungsrohren 61 und 62.

Description

Technisches Gebiet
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Fluidvorrichtung, wie beispielsweise ein Plasmabildschirm, welche eine Materialgasversorgungsleitung einer Halbleiterherstellungsvorrichtung und Ähnliches bildet, wobei die Fluidvorrichtung durch Verbinden einer Vielzahl an Fluidgeräten und Rohren in Horizontal- und Vertikalrichtung gebildet ist. Zudem betrifft die vorliegende Erfindung eine Fluidgerätbefestigungsvorrichtung, welche eine Fluidvorrichtung bildet, welche für die Halbleiterherstellungsvorrichtung und Ähnliches verwendet wird, genauer die Fluidgerätbefestigungsvorrichtung, welche zum Befestigen der Vielzahl an Fluidgeräten verwendet wird, welche durch Rohre miteinander verbunden sind.
Hintergrund der Erfindung
Eine sogenannte Flanschverbindung wird zum Verbinden von Rohren durch Verbinden von Flanschteilen eingesetzt, welche auf Endabschnitten der Rohre vorgesehen sind, und, wie in der Patentliteratur 1 gezeigt, ist eine Flanschverbindungsart bekannt, welche einen äußerlich an ein gegenüberliegendes Flanschteil angepassten Verbindungsring zum Drücken einer auf jedem Flanschteil vorgesehenen schrägen Oberfläche in Radialrichtung, Zusammendrücken der Flanschteile mit einer hierbei erzeugten Teilkraft in Achsenrichtung, um dieselben zu verbinden, und Anordnen der Rohre in Reihe enthält. Ein Merkmal der den Verbindungsring verwendenden Flanschverbindung ist die Fähigkeit eine Länge in Achsenrichtung so weit wie möglich zu verkürzen.
Liste der Entgegenhaltungen
Patentliteratur

Patentliteratur 1: JP2008-286325A

Zusammenfassung der Erfindung
Technisches Problem
Folglich befassten sich die Erfinder mit einer Vorrichtung, welche diese Flanschverbindungsart in einer Fluidvorrichtung mit Fluidleitungen in Horizontal- und Vertikalrichtung verwendet, wobei die Vorrichtung beispielsweise bei einer Materialgasversorgung einer Halbleiterherstellungsvorrichtung verwendet wird. D. h., die Vorrichtung mit der in 1 gezeigten Konfiguration. Beim Vergleich der Vorrichtung mit der in 2 gezeigten Vorrichtung, welche eine Schraubrohrverbindung verwendet, kann festgestellt werden, dass die Konfiguration durch Verwenden der Flanschverbindung eine sehr kompakte Größe aufweisen kann.
Wie in 1 gezeigt, wird es insbesondere bei einer Konfiguration, in welcher ein Fluidgerät mit einer vertikalen Fluidleitung L1 versorgt wird, ein sehr wichtiger Punkt, wie ein Horizontalmaß zu verringern ist, da die Verringerung eines Vertikalmaßes aufgrund einer Größe des Fluidgerätes begrenzt ist. Die Fluidvorrichtung in 1 weist jedoch im Vergleich zu der in 2 ein geringeres Horizontalmaß und in diesem Punkt folglich einen großen Vorteil auf.
Indessen zeigen in den 1 und 2 das Bezugszeichen L1 eine Gasversorgungsleitung, das Bezugszeichen L2 eine Reinigungsgasversorgungsleitung, das Bezugszeichen L3 eine kollektive Auslassleitung, das Bezugszeichen 11 eine Massendurchsatzsteuerung, die Bezugszeichen 12 und 13 einen Kolben und Drucksensor, die Bezugszeichen 2, 2' und 2'' eine Flanschverbindung, das Bezugszeichen 2A eine Schraubrohrverbindung und die Bezugszeichen 4, 4' und 4'' ein Rohr.
Da die Flanschverbindung fähig ist, die Rohre in kurzer Zeit und fest zu verbinden, bestehen jedoch dadurch Probleme, dass die Verformung des Rohrs sehr gering und ein zulässiger Bereich eines Maßfehlers sehr begrenzt ist. Dies wird in dem Fall deutlich, in welchem die Fluidleitungen horizontal und vertikal verbunden sind, wie in 1 gezeigt.
D. h., in der Konfiguration der 1 wird angenommen, dass in der Massendurchsatzsteuerung und in den sich von der Steuerung erstreckenden Rohren Maßfehler bestehen und ein kleiner Längenunterschied in einer Gasversorgungsleitung besteht. In diesem Zustand tritt beim Verbinden der Reinigungsgasversorgungsleitung mit allen Gasversorgungsleitungen ein vertikaler Positionsspalt bzw. Spalt in vertikaler Position zwischen den Kolben auf, mit welchen die kollektive Auslassleitung verbunden ist. Dieser Spalt kann jedoch nicht in der Verformung der Rohre absorbiert bzw. ausgeglichen werden und folglich kann die Situation bestehen, in welcher die kollektive Auslassleitung nicht gebildet werden kann. Auf gleiche Weise kann dies in einem Fall verursacht werden, in welchem die kollektive Auslassleitung zuerst angeschlossen wird.
Folglich soll die vorliegende Erfindung bei der Fluidvorrichtung, in welcher die Fluidleitungen horizontal und vertikal angeordnet und miteinander verbunden sind, das Problem, ein Nachteil der Flanschverbindung, dass ein zulässiger Bereich des Maßfehlers begrenzt ist, um einen Versatz in der Anordnung leicht zu verursachen, unter Verwendung des oben erwähnten Merkmals der den Verbindungsring verwendenden Flanschverbindung so weit wie möglich lösen.
Lösung des Problems
Eine Fluidvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung enthält insbesondere Folgendes: eine vertikale Fluidleitung mit einer oder mehreren Fluidgeräten und Rohren, welche in Reihe geschaltet sind; und eine horizontale Fluidleitung mit einem oder mehreren in Reihe geschalteten Rohren, wobei die Vielzahl an vertikalen Fluidleitungen angeordnet ist, um zueinander parallel zu sein, und zwischen den angrenzenden vertikalen Fluidleitungen die Vielzahl an horizontalen Fluidleitungen zum Verbinden derselben parallel angeordnet ist,
wobei eine der horizontalen Fluidleitungen Folgendes enthält: eine Vielzahl an Reihenrohren bzw. in Reihe geschalteten Rohren (series pipes) mit einem Flanschteil an einem angrenzenden Endabschnitt; und einen äußerlich an das angrenzende Flanschteil angepassten Verbindungsring zum Drücken einer auf jedem Flanschteil vorgesehenen schrägen Oberfläche in Radialrichtung und zum Zusammendrücken der Flanschteile unter Verwendung einer hierbei erzeugten Teilkraft in Achsenrichtung, um dieselbe zu verbinden, und wobei eine andere Leitung der parallelen, horizontalen Fluidleitungen zwischen den Rohren der angrenzenden vertikalen Fluidleitung angeordnet ist und ein Rohr enthält, welches mit den Rohren der vertikalen Fluidleitungen durch Verbindungsrohre verbunden ist.
Da der Rohranschluss infolge des Verbindungsrohres die Befestigung (nicht trennbar) ist, welche durch Schweißen und Ähnliches umgesetzt wird, besteht eine Unannehmlichkeit, dass das Rohr, nachdem es einmal angeschlossen wurde, nicht mehr getrennt werden kann. Das Rohr kann jedoch eine lange Länge aufweisen und folglich können Größenfehler des Rohres und des Fluidgerätes durch eine Strukturbiegung zu einem bestimmten Grad und durch Justierung in der Anordnung zugelassen und eine Verringerung der Größe gewährleistet werden.
Da das Verbindungsrohr und die Flanschverbindung adäquat gemischt bzw. kombiniert werden, kann folglich nach der vorliegenden Erfindung das von der Steifigkeit der Flanschverbindung abhängige Problem durch die Flexibilität des Verbindungsrohres unter Beibehaltung der Leichtigkeit der Montage und Demontage aufgrund der Flanschverbindung gelöst werden und die Konfiguration zumindest in horizontaler Richtung eine kompakte Größe aufweisen.
Zum Erleichtern einer Befestigungsoperation aufgrund des Schweißens und Ähnlichem unter Verwendung des Verbindungsrohres wird bevorzugt, dass eine andere Leitung der horizontalen Fluidleitungen vorgesehen ist, um an der äußersten Seite positioniert zu sein.
Andererseits besteht auch ein Problem, welches nachstehend beschrieben wird. Eine in einer Vorrichtung zum Herstellen eines Halbleiters verwendete Fluidvorrichtung ist durch Folgendes konfiguriert: paralleles Anordnen einer Vielzahl an Fluidgerätegruppen, welche aus einer Vielzahl an in Reihe geschalteten Fluidgeräten und Ähnlichem gebildet sind; und Verbinden angrenzender Fluidgerätegruppen unter Verwendung von Verbindungsvorrichtungen und Ähnlichem. Hierzu gibt es ein Verfahren zum Befestigen der jeweiligen Fluidgeräte über ein unteres Stufenelement an einem Substrat und Ähnlichem.
Wie in der Patentliteratur 2 gezeigt, ist eine Vorrichtung mit einer Konfiguration, bei welcher die Fluidgerätegruppen auf einem Untersubstrat durch Anbringen einer Vielzahl der unteren Anbringen einer Vielzahl an Fluidgeräten in Reihe auf diesen unteren Stufenelementen mittels Schrauben gebildet sind, und die Vielzahl an Untersubstraten, auf welchen jeweils die Fluidgerätegruppe gebildet ist, auf einem Hauptsubstrat angebracht ist, als Vorrichtung bekannt, welche dieses Verfahren verwendet.
Patentliteratur 2: JP2001-245900A
Bei der oben erwähnten Konfiguration wird jedoch erfordert, dass die jeweiligen Fluidgeräte und Ähnliches der Reihe nach mit Schrauben angebracht werden, um die jeweiligen Fluidgeräte zu befestigen, und folglich erfordert dies eine hohe Anzahl an Teilen und Verfahrensschritte sowie einen hohen Zeitaufwand. Bei der Demontage der jeweiligen Fluidgeräte wird indessen auch erfordert, die Schrauben der jeweiligen Fluidgeräte und Ähnlichem nacheinander zu entfernen, und folglich erfordert dies ebenso einen hohen Zeitaufwand. Da die Befestigung und Demontage der jeweiligen Fluidgeräte kompliziert sind, werden zudem eine Ergänzung und ein Auswechseln der Fluidgerätegruppen ebenso kompliziert sein.
Zudem wird nicht nur erfordert die jeweiligen Fluidgerätegruppen auf dem Substrat und Ähnlichem zu befestigen sondern auch das Rohr zwischen den Fluidgeräten anzuschließen. Das über das untere Stufenelement verbundene Fluidgerät kann jedoch nicht bewegt werden und eine Justierung der Position des Fluidgerätes wird aufgrund des Rohranschlusses der Fluidgeräte schwierig sein.
Zum Lösen des oben erwähnten Problems sieht die vorliegende Erfindung folglich in erster Linie vor, eine Fluidgerätbefestigungsvorrichtung zu liefern, welche zum leichten Anbringen und Entfernen des Fluidgerätes, zum leichten Auswechseln und Ergänzen der Fluidgerätegruppe und zum Justieren einer Position des Fluidgerätes aufgrund des Rohranschlusses fähig ist.
D. h., die Fluidgerätbefestigungsvorrichtung nach der vorliegenden Erfindung ist eine Fluidgerätbefestigungsvorrichtung zum Befestigen einer Vielzahl an durch Rohre verbundenen Fluidgeräten auf einer Basis, welche Folgendes aufweist: ein Sockelelement, welches aus einem Halselement und einem unterhalb des Halselementes vorgesehenen Sockelhauptkörper besteht und auf einer Bodenfläche des Fluidgerätes nach unten gerichtet angebracht ist; ein auf der Basis angeordnetes Schienenelement, in welchem ein Durchtrittsschlitz ausgebildet ist, welcher dasselbe in vertikaler Richtung durchdringt; und einen Vorspannmechanismus zum Vorspannen des Schienenelementes oder Sockelelementes in vertikaler Richtung, wobei sich das Sockelelement in einem Zustand, in welchem der Halsabschnitt in den Durchtrittsschlitz eingeführt ist und der Sockelhauptkörper zwischen dem Schienenelement und der Basis eingeführt ist, während das Schienenelement und der Sockelhauptkörper zum Befestigen des Sockelelementes bei Betätigung des Vorspannmechanismus gedrückt werden, entlang dem Durchtrittsschlitz bewegen kann, wenn die Betätigung des Vorspannmechanismus gelöst wird. Indessen wird zur Einfachheit eine zur Basis vertikale Richtung als Vertikalrichtung bezeichnet, eine Richtung von dem Fluidgerät zur Basis ist eine Abwärtsrichtung und die Vertikalrichtung kann abhängig von einem Verwendungszustand in eine Horizontalrichtung und eine Schrägrichtung umgewandelt und umgekehrt werden.
Da sich das Sockelelement entlang dem Durchtrittsschlitz bewegen kann, wenn die Betätigung des Vorspannmechanismus gelöst wird, können sich in dieser Konfiguration sowohl alle Fluidgeräte als auch die gesamte Vielzahl an Fluidgeräten, welche mit Rohren verbunden sind, entlang dem Durchtrittsschlitz bewegen und die Position des Fluidgerätes kann aufgrund des Rohranschlusses justiert werden.
Bei Betätigung des Vorspannmechanismus kann zudem das Sockelelement befestigt werden und folglich kann das Fluidgerät leicht angebracht werden, ohne die jeweiligen Fluidgeräte mittels Schrauben nacheinander anzubringen. Wenn die Betätigung des Vorspannmechanismus gelöst wird, kann andererseits das Sockelelement bewegt werden und folglich das Fluidgerät bewegt und leicht demontiert werden, ohne die Schrauben der jeweiligen Fluidgeräte und Ähnliches nacheinander zu entfernen. Folglich kann das Fluidgerät leicht ausgewechselt und ergänzt werden.
Das Schienenelement kann vorgesehen sein, um nach oben und unten beweglich zu sein, und der Sockelhauptkörper kann zwischen dem Schienenelement und der Basis angeordnet sein und zwischen dieselben gedrückt werden, wenn der Vorspannmechanismus das Schienenelement in Richtung der Basis vorspannt.
Eine Einführöffnung mit einer Größe, in welche der Sockelhauptkörper nach oben und unten eingeführt werden kann, kann an einer Vielzahl an Positionen des Schienenelementes vorgesehen sein und die Einführöffnung kann bis zum Durchtrittsschlitz fortgeführt sein. Da der Sockelhauptkörper von der bzw. durch die Einführöffnung eingeführt werden kann, kann bei dieser Konfiguration nur das auszuwechselnde Fluidgerät in einem Zustand angebracht und entfernt werden, in welchem das nicht auszuwechselnde Fluidgerät im angebrachten Zustand beibehalten wird.
Zum weiteren Erleichtern der Bewegung wird erwünscht, dass der Sockelhauptkörper einen Rollkörper zum Rollen auf der Basis enthält.
Zum Standhalten der Bewegung bei Befestigung wird erwünscht, dass eine Oberfläche der Basis vorgesehen ist, um elastisch verformbar zu sein.
Vorteilhafte Effekte der Erfindung
Da ein durch ein Verbindungsrohr umgesetzter Rohranschluss einen Größenfehler eines Rohres und Ähnliches zulässt, kann nach der vorliegenden Erfindung das Problem, welches von der Steifigkeit der Flanschverbindung abhängt, durch Flexibilität des Verbindungsrohres unter Beibehaltung der Leichtigkeit der Montage und Demontage infolge der Flanschverbindung gelöst werden und die Konfiguration zumindest in horizontaler Richtung eine kompakte Größe aufweisen.
Zudem kann nach der vorliegenden Erfindung ein Fluidgerät leicht angebracht und entfernt werden, eine Fluidgerätegruppe leicht ausgewechselt und ergänzt werden und zudem in sowohl den jeweiligen Fluidgeräten als auch einer gesamten Vielzahl an Fluidgeräten, welche durch die Rohre verbunden sind, eine Position des Fluidgerätes aufgrund des Rohranschlusses justiert werden.
Kurze Beschreibung der Zeichnungen
1 ist eine Ansicht einer voraussichtlichen Konfiguration einer Fluidvorrichtung, welche unter Verwendung einer Flanschverbindung zusammengesetzt ist;
2 ist eine Ansicht einer voraussichtlichen Konfiguration einer Fluidvorrichtung, welche unter Verwendung einer Schraubrohrverbindung zusammengesetzt ist;
3 ist eine Konfigurationsansicht einer Fluidvorrichtung in einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
4 ist eine Konfigurationsansicht, welche eine Flanschverbindung aus Richtung einer ebenen Oberfläche in der Ausführungsform zeigt;
5 ist eine auseinandergezogene Perspektivansicht, welche einen Positionierring und Ähnliches in der Ausführungsform zeigt;
6 ist eine Konfigurationsansicht, welche einen Verbindungsring aus Achsenrichtung in der Ausführungsform zeigt;
7 ist eine Teilquerschnittsansicht, welche einen offenen Zustand des Verbindungsringes in der Ausführungsform zeigt;
8 ist eine vertikale Querschnittsansicht der Flanschverbindung in der Ausführungsform;
9 ist eine Konfigurationsansicht einer Fluidvorrichtung in einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
10 ist eine Seitenansicht, welche eine Fluidgerätbefestigungsvorrichtung in einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt;
11 ist ein Diagramm, welches ein Verfahren zum Befestigen des Fluidgerätes unter Verwendung der Fluidgerätbefestigungsvorrichtung in der Ausführungsform zeigt;
12 ist ein Diagramm, welches ein Verfahren zum Auswechseln und Ergänzen des Fluidgerätes unter Verwendung der Fluidgerätbefestigungsvorrichtung in der Ausführungsform zeigt;
13 ist ein Diagramm, welches ein Verfahren zum Befestigen des Fluidgerätes unter Verwendung der Fluidgerätbefestigungsvorrichtung in einer anderen Ausführungsform zeigt;
14 ist ein Diagramm, welches ein Verfahren zum Befestigen des Fluidgerätes unter Verwendung der Fluidgerätbefestigungsvorrichtung in einer anderen Ausführungsform zeigt;
15 ist ein Diagramm, welches eine Fluidgerätbefestigungsvorrichtung in noch einer anderen Ausführungsform zeigt;
16 ist ein Diagramm, welches eine Fluidgerätbefestigungsvorrichtung in noch einer anderen Ausführungsform zeigt;
17 ist eine Konfigurationsansicht, welche eine in der Ausführungsform verwendete Rohrverbindung aus Richtung einer ebenen Oberfläche zeigt;
18 ist eine auseinandergezogene Perspektivansicht, welche einen Positionierring und Ähnliches in der Ausführungsform zeigt;
19 ist eine Konfigurationsansicht, welche einen Verbindungsring aus Achsenrichtung in der Ausführungsform zeigt; und
20 ist eine vertikale Querschnittsansicht der Rohrverbindung in der Ausführungsform.
Beschreibung der Ausführungsformen
Eine erste Ausführungsform wird nachstehend in Bezug auf die Zeichnungen erläutert werden.
Eine Fluidvorrichtung 100 nach der vorliegenden Erfindung bildet eine Plasmabildschirm-Fluidversorgungsvorrichtung, welche Teil einer Vorrichtung zum Herstellen eines Halbleiters ist.
Die Plasmabildschirm-Fluidversorgungsvorrichtung (nachstehend manchmal einfach als Plasmabildschirm bezeichnet) ist durch Anordnen einer Vielzahl an Fluidgeräten in einer Ebene und Verbinden derselben durch Rohre konfiguriert. Der Plasmabildschirm verwendet hier eine nachstehend beschriebene Flanschverbindung in zumindest einem Teil des Rohranschlusses.
Zur ersten Ausführungsform zurückkehrend, enthält indessen, wie in 3 gezeigt, die Fluidvorrichtung 100 nach der vorliegenden Ausführungsform Folgendes: drei parallel vorgesehene Gasversorgungsleitungen L1, welche vertikale Fluidleitungen sind, zwei horizontale Fluidleitungen, welche zwischen diesen Gasversorgungsleitungen L1 vorgesehen sind, hier eine Reinigungsgasversorgungsleitung L2 zum Zuführen eines Reinigungsgases zur jeweiligen Gasversorgungsleitung L1 und eine kollektive Auslassleitung L3 zum Vereinen der Auslässe der jeweiligen Gasversorgungsleitungen L1.
Als nächstes werden die jeweiligen Leitungen L1 bis L3 erläutert werden.
Die Gasversorgungsleitung L1 enthält Folgendes: eine Vielzahl an Fluidgeräten 11 bis 13; Rohre 4, welche sich von den jeweiligen Fluidgeräten 11 bis 13 einstückig erstrecken; und Flanschverbindungen 2 zum Verbinden der jeweiligen Fluidgeräte 11 bis 13 durch Verbinden der Rohre 4.
Als Fluidgerät werden beispielsweise eine Massendurchsatzsteuerung 11, ein Öffnungs- und Schließkolben 12 und ein Drucksensor 13 gezeigt; jedoch können andere Fluidsteuervorrichtungen, Fluidmessvorrichtungen und Ähnliches eingesetzt werden.
Wie insbesondere in 4 gezeigt, sind die Rohre 4 am Basisende vorbereitend mit Ein- und Auslassöffnungen der jeweiligen Fluidvorrichtungen 11 bis 13 verbunden und ein nachstehend beschriebenes Flanschteil 21 ist in einem Zustand vor der Montage am Kopfabschnitt vorgesehen. Zudem werden hier Rohre mit dem gleichen Durchmesser für alle entsprechenden Rohre 4 verwendet.
Wie in den 4 bis 8 gezeigt, enthält die Flanschverbindung 2 Folgendes: ein durch Schweißen und Ähnliches auf einem Umfang des Kopfabschnittes des Rohres 4 einstückig ausgebildetes Flanschteil 21; eine Dichtung 22, welche zwischen den zum Verbinden der Rohre 4 zueinander weisenden Flanschteilen 21 liegt; einen Positionierring 23 zum aneinander Anpassen der Achsen der Flanschteile 21; und einen Verbindungsring 24, welcher ein Verbindungselement zum Zusammendrücken dieser Flanschteile 21 ist, um dieselben zu verbinden.
Wie in den 4 und 8 gezeigt, ist das Flanschteil 21 in einer kreisförmigen Plattenform ausgebildet und ein konvexer Streifen 21a, welcher in einer geschlossenen, kreisförmigen Form ausgebildet ist, an der Endfläche (nachstehend als untere, gegenüberliegende Oberfläche bezeichnet) vorgesehen. Zudem sind eine schräge Oberfläche 21b, welche in eine Richtung geneigt ist, in welcher der Durchmesser zum Ende vergrößert ist, auf der Rückfläche ausgebildet und Stufen in einem Endabschnitt 21c in der Umfangsfläche ausgebildet und folglich ist der Außendurchmesser des Endabschnittes 21c konfiguriert kleiner als andere Abschnitte zu sein.
Wie in den 4 und 8 gezeigt, ist die Dichtung 22 in einer dünnen, kreisförmigen Plattenform mit einer konstanten Stärke ausgebildet, deren Innendruchmesser gleich einem Innendurchmesser des Rohres 4 und deren Außendurchmesser gleich einem Außendurchmesser des Endabschnittes 21c des Flanschteils ist.
Wie in 5 gezeigt, ist der Positionierring 23 zylinderförmig ausgebildet und unter Verwendung eines elastisch verformbaren Metalls konfiguriert. Ein Innendurchmesser des Positionierringes 23 stimmt mit dem Außendurchmesser des Endabschnittes 21c überein, um äußerlich an den Endabschnitt 21c des Flanschteils ohne zusätzliches Spiel angepasst zu sein.
Wie in 4 und den 6 bis 8 gezeigt, enthält der Verbindungsring 24 eine Folge an Ringteilen 241, welche drehbar mit dem angrenzenden Ringteil verbunden sind, und ein Befestigungsteil 242 zum Befestigen der Ringteile 241 an beiden Enden, um kreisförmig zu sein. Eine mit einem Boden versehene Passnut 24a, welche sich zu einer Umfangsrichtung erstreckt, ist an Innenumfangsflächen der entsprechenden Ringteile 241 (hier drei Teile) vorgesehen. Eine schräge Oberfläche 24a1, welche der auf der Rückfläche des Flanschteils 21 ausgebildeten schrägen Oberfläche 21b entspricht, ist auf einer Seitenfläche der Passnut 24a ausgebildet.
Beim Verbinden der Rohre 4 miteinander unter Verwendung der Flanschverbindung 2 ist ein Endabschnitt des Positionierringes 23 äußerlich an den Endabschnitt 21c des Flanschteils angepasst, mit welchem eines der Rohre 4 versehen ist, welches zuerst zu verbinden ist. Als nächstes werden die Dichtung 22 und der Endabschnitt 21c des Flanschteils, mit welchem das andere Rohr der Rohre 4 versehen ist, in dieser Reihenfolge an den anderen Endabschnitt des Positionierringes 23 in Achsenrichtung angepasst. Folglich werden die jeweiligen Flanschteile 21, die Dichtung 22 und die jeweiligen Rohre 4 gehalten, wobei die Mittelachse derselben übereinstimmt.
Danach werden ein Teil der gegenüberliegenden und nahen Flanschteile 21 durch den Verbindungsring 24 umwickelt bzw. umgriffen, welcher eingestellt ist, sich in einem offenen Zustand zu befinden, in welchem die Ringteile 241 an beiden Enden nicht verbunden sind, und die Passnut 24a an das Umfangsrandteil des Flanschteils 21 angepasst. Die Ringteile 241 an beiden Enden des Verbindungsringes 24 werden durch das Befestigungsteil 242 verbunden und befestigt. Auf diese Weise wird ein Innendurchmesser des Verbindungsringes 24 verringert und folglich drückt die schräge Oberfläche 24a1 der Seitenfläche der Passnut 24a die schrägen Oberflächen 21b der Rückfläche der jeweiligen Flanschteile 21 in Richtung des Durchmessers. Hierbei werden eine Teilkraft zum Bewegen der jeweiligen Flanschteile 21 in eine Richtung, welche sich jeweils der Achsenrichtung nähert, durch die schräge Oberfläche 21b erzeugt, die Flanschteile 21 zueinander zusammengedrückt während der kreisförmige, konvexe Streifen 21a durch die Teilkraft in die Dichtung 22 geschoben wird und folglich die Rohre 4 in einem hermetisch verschlossenen Zustand miteinander verbunden.
Wie in 3 gezeigt, verbindet die Reinigungsgasversorgungsleitung L2 die Kolben 12, welche auf der Einlassseite der Massendurchsatzsteuerung 11, hier zwischen den Fluidgeräten 11 bis 13 in der entsprechenden Gasversorgungsleitung L1, vorgesehen sind, und enthält Folgendes: ein Rohr 4', welches sich von den jeweiligen Kolben 12 in horizontaler Richtung einstückig erstreckt; und eine Flanschverbindung 2' zum Verbinden der Kolben 12 miteinander durch Verbinden der Rohre 4' miteinander. Die Strukturen der Rohre 4' und der Flanschverbindung 2' gleichen denen der Gasversorgungsleitung L1 und folglich wird die Erläuterung hier ausgelassen werden.
Wie in 3 gezeigt, verbindet eine kollektive Auslassleitung L3 die Rohre 4, welche an einer Position vorgesehen sind, welche den Auslässen der jeweiligen Gasversorgungsleitungen L1 am nächsten ist, und enthält Folgendes: ein Rohr 4'', welches zwischen den jeweiligen Rohren 4 vorgesehen ist; und eine Rohrschweißverbindung 6 zum Verbinden des Rohrs 4 und des Rohrs 4''. Die Rohrschweißverbindung 6 passt die Rohre 4 und 4'' an die Verbindungsrohre 61 und 62 einer winkelförmigen Art, einer T-förmigen Art und Ähnlichem an und verschweißt dieselben, um die Rohre in einem hermetisch verschlossenen Zustand miteinander zu verbinden. Hier wird das winkelförmige Verbindungsrohr 61 in der Gasversorgungsleitung L1 an einem Ende und das T-förmige Verbindungsrohr 62 in den anderen Gasversorgungsleitungen L1 verwendet.
Wie oben beschreiben wurde, absorbieren bei der oben beschriebenen Konfiguration die Verbindungsrohre 61 und 62 einen Größenfehler bzw. gleichen denselben aus und folglich kann die Fluidvorrichtung 100 mit der Vielzahl an Fluidleitungen L1 bis L3 in der entsprechenden horizontalen und vertikalen Richtung selbst bei Bestehen eines Größenfehlers konfiguriert sein eine kompaktere Größe aufzuweisen und zudem unter Verwendung der Flanschverbindungen 2 und 2' leicht angebracht und entfernt zu werden, und insbesondere kann die Größe in horizontaler Richtung verringert werden. Zudem können die Flanschverbindungen 2 und 2' selbst in einem engen Arbeitsraum leicht aus Radialrichtung angebracht und entfernt werden und die Länge in Achsenrichtung so weit wie möglich verringert werden.
Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die Ausführungsform beschränkt. Wie in 9 gezeigt, kann beispielsweise die Anzahl an vertikalen Leitungen L1 zwei betragen und, wenn die in 9 gezeigte Fluidvorrichtung 100 als eine Einheit gilt, eine Konfiguration eingesetzt werden, bei welcher eine Vielzahl an Fluidvorrichtungen 100 in horizontaler und vertikaler Richtung angeordnet und verbunden sind.
Bei der Vielzahl an parallel angeordneten, horizontalen Fluidleitungen zum Verbinden von zwei vertikalen Leitungen wird zudem lediglich erfordert, dass eine Konfiguration, welche das Verbindungsrohr verwendet, und eine Konfiguration, welche die Flanschverbindung verwendet, kombiniert werden. D. h., wenn es beispielsweise mehr als drei vertikale Fluidleitungen gibt, wie in 3 gezeigt, sind die zwei horizontalen Leitungen L2 (oder L3), welche in Reihe geschaltet sind, in der Zeichnung von der gleichen Art. Eine der zwei horizontalen Fluidleitungen, welche in Reihe geschaltet sind, kann jedoch das Verbindungsrohr und die Andere die Flanschverbindung verwenden.
Die Flanschverbindung ist zudem nicht auf eine Konfiguration beschränkt, welche die durch die schräge Oberfläche verursachte Keilwirkung verwendet, wie in der Ausführungsform gezeigt, und kann eine Konfiguration einsetzen, welche andere Verfahren, wie beispielsweise das Schrauben, verwendet.
Das Fluid kann nicht nur Gas, sondern auch eine Flüssigkeit sein und die Anzahl an vertikalen und horizontalen Fluidleitungen ist nicht beschränkt. Zudem kann die horizontale Fluidleitung auf eine Konfiguration angewendet werden, welche ein anderes Fluidgerät als das Rohr und die Verbindung aufweist. Zudem kann die vorliegende Erfindung innerhalb des Bereiches der Erfindung verschieden modifiziert werden.
Eine zweite Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird nachstehend in Bezug auf die Zeichnungen erläutert werden.
Zum Zuführen eines Materialgases und Ähnliches zu einer Halbleiterherstellungsvorrichtung wird beispielsweise eine Fluidgerätbefestigungsvorrichtung X100 nach der vorliegenden Ausführungsform für eine sogenannte Plasmabildschirmvorrichtung verwendet, welche durch Verbinden einer Vielzahl an Fluidgeräten X5 in einer Ebene gebildet ist und, wie in 10(a) gezeigt, Folgendes enthält: ein Sockelelement X1, welches an Bodenflächen der jeweiligen Fluidgeräte X5 angebracht ist; ein Schienenelement X2 zum Anordnen des Sockelelementes X1 zwischen demselben und einer ebenen Basis X22; und einen Vorspannmechanismus X3 zum Vorspannen des Schienenelementes X2 nach unten zum Verleihen einer Kraft, um das Sockelelement X1 zur Basis X22 zu drücken. Hier ist indessen das Fluidgerät X5 beispielsweise ein Drucksensor, eine Massendurchsatzsteuerung, ein Kolben und Ähnliches.
Die jeweiligen Teile erläuternd, enthält das Sockelelement X1, wie in 10(a) usw. gezeigt, Folgendes: ein Trägerelement X10 zur Anbringung an einer Bodenfläche des Fluidgerätes X5; ein Halselement X11, welches von einer Unterseite des Trägerelementes X10 herabhängt; einen Körper X13, welcher sequentiell auf der Unterseite des Halselementes X11 vorgesehen ist; und eine Rolle X14, welche ein Rollkörper ist, welcher an einer Unterseite des Körpers X13 auf horizontal frei drehbare Weise angebracht ist. Indessen bilden der Körper X13 und die Rolle X14 in den Ansprüchen einen Sockelhauptkörper X12.
Das Halselement X11 ist säulenförmig und der Körper X13 ist zylinderförmig und weist einen größeren Durchmesser als dasselbe auf. D. h., bei Betrachtung von oben ist der Körper X13 derart konfiguriert, dass das Außenprofil desselben weiter nach außen hervorsteht als das des Halselementes X11 und der hervorstehende Abschnitt der Oberseite durch eine Unterseite X2a des Schienenelementes X2 als gedrückte Oberfläche X13a, die nachstehend beschrieben wird, gedrückt wird.
Wie in den 10 und 11(a) gezeigt, ist das Schienenelement X2 in einer kreisförmigen Plattenform mit einer konstanten Stärke ausgebildet, welches auf der Basis X22 angeordnet ist, um nach oben und unten beweglich zu sein, und in der vorliegenden Ausführungsform ist eine Vielzahl an linearen Durchtrittsschlitzen X20 mit einer konstanten Breite (hier drei Schlitze) ausgebildet, welche sich entlang einer Längsrichtung erstrecken. Beim Schienenelement X2 sind zudem kreisförmige Einführöffnungen X21 sequentiell in mehreren Abschnitten am Durchtrittsschlitz X20 vorgesehen (insgesamt 15 Abschnitte, 5 Abschnitte in jedem Durchtrittsschlitz X20). Zwar ist die Breite des Durchtrittsschlitzes X20 eingestellt kleiner als ein Durchmesser des Körpers X13 und größer als die Stärke des Halselementes X11 zu sein, aber ein Durchmesser der Einführöffnung X21 weist eine Größe auf, welche zulässt, dass der Körper X13 und die Rolle X14 nach oben und unten eingeführt werden.
Wie in den 10(a), 10(b) und Ähnlichem gezeigt, ist der Vorspannmechanismus X3 beispielsweise durch das Schrauben eines Bolzens bzw. Schraubbolzens X30, welcher einen Endabschnitt des Schienenelementes X2 durchdringt, in eine Schraubenöffnung (nicht in der Zeichnungen gezeigt), welche an der Basis X22 vorgesehen ist, konfiguriert und spannt das Schienenelement durch Festziehen des Schraubbolzens X30, wie oben beschrieben wurde, nach unten vor. Zudem ist die Feder X23 äußerlich an den Schraubbolzen X30 angepasst, um den Schraubbolzen zu umwickeln. Der Vorspannmechanismus X3 ist zudem nicht auf das Befestigungselement, wie beispielsweise den Schraubbolzen X30 und die Schraubenöffnung, beschränkt und das Schienenelement X2 kann unter Verwendung eines elastischen Körpers, wie beispielsweise eine Feder, nach unten vorgespannt werden.
Indessen ist in der Ausführungsform die Oberfläche X22a der Basis X22 auf einer federnden Platte gebildet.
Als nächstes wird ein Verfahren zum Befestigen des Fluidgerätes X5 erläutert werden, welches die Fluidgerätbefestigungsvorrichtung X100 nach der vorliegenden Ausführungsform verwendet. Zuerst wird ein Zustand, in welchem eine Betätigung des Vorspannmechanismus X3 gelöst wird, d. h., ein Zustand, in welchem der Schraubbolzen X30 gelöst wird und das Schienenelement X2 durch eine Kraft der Feder X23 nach oben angehoben wird, vorbereitet (11(a)).
Dann wird das an einem Bodenabschnitt des Fluidgerätes X5 angebrachte Sockelelement von oben in die Einführöffnung X21 eingeführt, welche dem Fluidgerät X5 entspricht. In dem Zustand, in welchem die Rolle X14 mit der Basis X22 in Kontakt steht, wird der Sockelhauptkörper X12 zwischen dem Schienenelement X2 und der Basis X22 platziert und das Halselement X11 in die Einführöffnung X21 eingeführt. Wie in 11(b) gezeigt, sind die Fluidgeräte X5 mit den Rohren unter Verwendung der Rohrverbindungen X4 verbunden.
Ein Beispiel des Rohres und der Rohrverbindung X4 wird erläutert werden. Wie insbesondere in 17 gezeigt, ist das Rohr vorbereitend mit einer Ein- und einer Auslassöffnung jedes Fluidgerätes X5 am Basisende verbunden und das nachstehend beschriebene Flanschteil X61 in einem Zustand vor der Montage am Kopfabschnitt vorgesehen. Zudem werden hier Rohre mit dem gleichen Durchmesser für alle Rohre verwendet.
Wie in den 17 bis 20 gezeigt, enthält die Rohrverbindung X4 Folgendes: ein durch Schweißen und Ähnliches auf einem Umfang des Kopfabschnittes des Rohres X4 einstückig ausgebildetes Flanschteil X61; eine Dichtung X62, welche zwischen den zum Verbinden der Rohre zueinander weisenden Flanschteilen X61 liegt; einen Positionierring X63 zum aneinander Anpassen der Achsen der Flanschteile X61; und einen Verbindungsring X24, welcher ein Verbindungselement zum Zusammendrücken dieser Flanschteile X61 ist, um dieselben zu verbinden.
Wie in 18 und Ähnlichem gezeigt, ist das Flanschteil X61 in einer kreisförmigen Plattenform ausgebildet und ein konvexer Streifen X61a, welcher in einer geschlossenen, kreisförmigen Form ausgebildet ist, an der Endfläche (nachstehend als untere, gegenüberliegende Oberfläche bezeichnet) vorgesehen. Zudem sind eine schräge Oberfläche X61b, welche in eine Richtung geneigt ist, in welcher der Durchmesser zum Ende vergrößert ist, auf der Rückfläche ausgebildet und Stufen im Endabschnitt X61c in der Umfangsfläche ausgebildet und folglich der Außendurchmesser des Endabschnittes X61c konfiguriert, kleiner als andere Abschnitte zu sein.
Wie in 18 und Ähnlichem gezeigt, ist die Dichtung X62 in einer dünnen, kreisförmigen Plattenform mit einer konstanten Stärke ausgebildet, deren Innendruchmesser gleich dem Innendurchmesser des Rohres und deren Außendurchmesser gleich einem Außendurchmesser des Endabschnittes X61c des Flanschteils ist.
Wie in 18 und Ähnlichem gezeigt, ist der Positionierring X63 zylinderförmig ausgebildet und unter Verwendung eines elastisch verformbaren Metalls konfiguriert. Der Innendurchmesser des Positionierringes X63 stimmt mit dem Außendurchmesser des Endabschnittes X61c überein, um äußerlich an den Endabschnitt X61c des Flanschteils ohne zusätzliches Spiel angepasst zu sein.
Wie in 19 usw. gezeigt, enthält der Verbindungsring X24 Folgendes: eine Folge an Ringteilen X241, welche drehbar mit den angrenzenden Ringteilen verbunden sind; und ein Befestigungsteil X242 zum Befestigen der Ringteile X241 an beiden Enden, um kreisförmig zu sein. Eine mit einem Boden versehene Passnut X24a, welche sich zu einer Umfangsrichtung erstreckt, ist an Innenumfangsflächen der entsprechenden Ringteile X241 (hier drei Teile) vorgesehen. Eine schräge Oberfläche X24a1, welche der auf der Rückfläche des Flanschteils X61 ausgebildeten schrägen Oberfläche X61b entspricht, ist auf einer Seitenfläche der Passnut X24a ausgebildet.
Beim Verbinden der Rohre miteinander unter Verwendung der Rohrverbindung X4 ist ein Endabschnitt des Positionierringes X63 äußerlich an den Endabschnitt X61c des Flanschteils angepasst, mit welchem eines der Rohre versehen ist, welches zuerst zu verbinden ist. Als nächstes werden die Dichtung X62 und der Endabschnitt X61c des Flanschteils, mit welchem das andere Rohr der Rohre versehen ist, in dieser Reihenfolge an den anderen Endabschnitt des Positionierringes X63 in Achsenrichtung angepasst. Folglich werden die jeweiligen Flanschteile X61, die Dichtung X62 und die jeweiligen Rohre gehalten, wobei die Mittelachse derselben übereinstimmt.
Danach werden ein Teil der gegenüberliegenden und nahen Flanschteile X61 durch den Verbindungsring X24 umwickelt bzw. umgriffen, welcher eingestellt ist, sich in einem offenen Zustand zu befinden, in welchem die Ringteile X241 an beiden Enden nicht verbunden sind, und die Passnut X24a an das Umfangsrandteil des Flanschteils X61 angepasst. Die Ringteile X241 an beiden Enden des Verbindungsringes X24 werden durch das Befestigungsteil X242 verbunden und befestigt. Auf diese Weise wird der Innendurchmesser des Verbindungsringes X24 verringert und folglich drückt die schräge Oberfläche X24a1 der Seitenfläche der Passnut X24a die schrägen Oberflächen X61b der Rückfläche der entsprechenden Flanschteile X61 in Richtung des Durchmessers. Hierbei werden eine Teilkraft zum Bewegen der entsprechenden Flanschteile X61 in eine Richtung, welche sich jeweils der Achsenrichtung nähert, durch die schräge Oberfläche X61b erzeugt, die Flanschteile X61 zueinander zusammengedrückt während der kreisförmige, konvexe Streifen X61a durch die Teilkraft in die Dichtung X62 geschoben wird und folglich die Rohre in einem hermetisch verschlossenen Zustand miteinander verbunden.
Indessen können in der vorliegenden Ausführungsform, da ein Abstand zwischen den Einführöffnungen X21 gemäß einem Abstand zwischen den Fluidgeräten X5 vorgesehen ist, die Sockelelemente X1 der Fluidgeräte X5, welche miteinander verbunden sind, auf ein Mal in die Einführöffnung X21 eingeführt werden, nachdem die Leitung vorbereitend durch Verbinden der Fluidgeräte X5 mit den Rohren gebildet wurde.
Da sich der Sockelhauptkörper X12 in diesem Zustand direkt unter den Einführöffnungen X21 befindet, wird er folglich nach oben entweichen, wenn er in diesem Zustand gelassen wird. Dann wird das Fluidgerät X5, wie in den 11(c) und 10(a) gezeigt, entlang des Durchtrittsschlitzes X20 bewegt und rollt dabei die Rolle X14 derart, dass der Sockelhauptkörper X12 unter dem Durchtrittsschlitz X20 positioniert werden kann. Hierbei werden nicht alle Sockelhauptkörper X12 notwendigerweise unterhalb der Durchtrittsschlitze X20 positioniert und es wird erfordert, dass zumindest eines der Sockelelemente X1 unterhalb des Durchtrittsschlitzes X20 positioniert ist.
Der Schraubbolzen X30 ist in diesem Zustand festgezogen und betätigt dadurch den Vorspannmechanismus X3. Dann hält das Schienenelement X2 der Kraft der Feder X23 sich nach unten zu bewegen stand und folglich drückt die Unterseite X2a, welche an den Durchtrittsschlitz X20 angrenzt, die gedrückte Oberfläche X13a nach unten, welche die Oberseite des Sockelhauptkörpers X12 ist. Auf diese Weise wird der Sockelhauptkörper X12 zwischen dem Schienenelement X2 und der Basis X22 angeordnet und zwischen denselben befestigt (10(b)).
Da die Oberfläche X22a der Basis X22 aus der elastischen Platte gebildet ist, stößt hierbei der untere Abschnitt des Sockelhauptkörpers X12 in die elastische Platte und folglich wird das Sockelelement X1 befestigt, um sich nicht zu bewegen.
Wenn das Fluidgerät X5 entfernt wird, wird das Verfahren im umgekehrten Ablauf ausgeführt.
Nach der Fluidgerätbefestigungsvorrichtung X100 der oben erwähnten Konfiguration, kann das Fluidgerät leicht angebracht und entfernt werden, eine Gruppe der Fluidgeräte X5 leicht ausgewechselt und ergänzt werden und eine Position des Fluidgerätes X5 für den Rohranschluss in sowohl den entsprechenden Fluidgeräten X5 als auch in allen der Vielzahl an Fluidgeräten X5 justiert werden.
Da der Abstand der Einführöffnungen X21 gemäß dem Abstand zwischen den Fluidgeräten X5 vorgesehen ist, kann das Fluidgerät X5 zudem durch Einführen der Sockelelemente X1 der Vielzahl an durch die Rohre verbundenen Fluidgeräten X5 auf ein Mal in die Einführöffnungen X21 angebracht werden.
Das Auswechseln eines Fluidgerätes X5 kann zudem auch leicht ausgeführt wird. Das Schienenelement X2 wird angehoben, nachdem der Schraubbolzen 30 gelöst wurde, und ein Zustand, in welchem sich das Fluidgerät X5 in Richtung der Verlängerung des Durchtrittsschlitzes X20 bewegen kann, wird vorbereitet und dann wird die Rohrverbindung X4 des auszuwechselnden Fluidgerätes X5 entfernt. Danach werden, wie in 12(a) gezeigt, die beiden angrenzenden Fluidgeräte X5 leicht zur Außenseite bewegt und das auszuwechselnde Fluidgerät X5 aus der Einführöffnung X21 entnommen.
Dann wird ein anderes Fluidgerät X5 von der bzw. durch die Einführöffnung X21 eingeführt und durch Ziehen der angrenzenden Fluidgeräte X5 mit den Rohren verbunden. Wie in 12(b) gezeigt, wird danach das Fluidgerät X5 entlang des Durchtrittsschlitzes X20 derart bewegt, dass der Sockelhauptkörper X12 unterhalb des Durchtrittsschlitzes X20 positioniert werden kann, der Schraubbolzen X30 festgezogen wird und folglich der Sockelhauptkörper X12 befestigt wird.
Wie in 12(c) gezeigt, kann das Fluidgerät X5 zudem auf gleiche Weise auch leicht ergänzt werden.
Die vorliegende Erfindung ist jedoch nicht auf die Ausführungsform beschränkt. Wie in 13(a) gezeigt, ist es beispielsweise nicht unbedingt erforderlich, dass die Anzahl an Einführöffnungen X21 gleich der Anzahl an Fluidgeräten X5 ist, und zudem nicht erforderlich, dass dieselbe mit einem Verbindungsabstand der Fluidgeräte X5 assoziiert wird. Ein Montage- und Demontageverfahren eines Falls, in welchem die Anzahl an Einführöffnungen X21 geringer als die der Fluidgeräte X5 ist, wird nachstehend erläutert werden. D. h., zunächst wird der Schraubbolzen X30 und das am Bodenabschnitt des Fluidgerätes X5 angebrachte Sockelelement X1, wie in 13(b) gezeigt, von oben in die Einführöffnung X21 in einem Zustand eingeführt, in welchem das Schienenelement X2 nach oben angehoben wird, und entlang des Durchtrittsschlitzes X20 bewegt. Als nächstes werden, wie in 14(a) gezeigt, andere Fluidgeräte X5 der Reihe nach in die Einführöffnungen X21 eingeführt bzw. durch Ziehen der angrenzenden Fluidgeräte X5 mit den Rohren verbunden. Wie in 14(b) gezeigt, wird danach, wenn das Fluidgerät X5 derart bewegt wird, dass der Sockelhauptkörper X12 unterhalb des Durchtrittsschlitzes X20 positioniert werden kann und der Schraubbolzen X30 festgezogen wird, das Sockelelement X1 befestigt.
Die Einführöffnung X21 muss zudem nicht unbedingt vorgesehen sein. In diesem Fall muss der Durchtrittsschlitz X20, wie durch ein Beispiel in 15 gezeigt, zu einer Endfläche des Schienenelementes X2 verlängert werden.
Zudem ist es nicht erforderlich, dass die Durchtrittsschlitze X20 eine Vielzahl an rechteckigen Quadern sind, welche zueinander parallel sind, und die Vielzahl an Durchtrittsschlitzen X20 kann orthogonal oder überkreuzt vorgesehen sein, um fortgesetzt zu werden, und der Durchtrittsschlitz X20 kann C-förmig, L-förmig und kreuzförmig vorgesehen sein.
Das Schienenelement bewegt sich in Vertikalrichtung, aber kann sich in einer schräg nach unten gerichteten Richtung, einer schräg nach oben gerichteten Richtung und Ähnlichem bewegen. D. h., es wird erfordert, dass sich dasselbe zumindest in Vertikalrichtung bewegt.
Zudem ist die Rolle nicht unbedingt erforderlich und der Sockelhauptkörper kann ein rechteckiges Quaderelement und Ähnliches sein.
Es ist nicht erforderlich das Sockelelement auf den Bodenflächen aller Fluidgeräte anzubringen, aber es ist erforderlich das Sockelelement auf zumindest einem der Vielzahl an Fluidgeräten anzubringen. Zudem können ein oder mehrere Sockelelemente auf dem Fluidgerät vorgesehen sein.
Wenn die Verbindungsabstände zwischen den Fluidgeräten durch Einsetzen eines Verbindungsabstands als Bezugsverbindungsabstand jeweils variiert werden, können zudem ein oder mehrere Sockelelemente an den entsprechenden Fluidgeräten in jedem Bezugsverbindungsabstand vorgesehen sein. Zudem kann die Einführöffnung in einem gleichen Abstand in jedem Bezugsverbindungsabstand vorgesehen sein. In der oben erwähnten Konfiguration können die Sockelelemente der Vielzahl an miteinander verbundenen Fluidgeräten auf ein Mal in die Einführöffnungen eingeführt und aus denselben entnommen werden, wenn auch nicht von den Einführöffnungen, welche den jeweiligen Fluidgeräten entsprechen.
In der vorliegenden Ausführungsform wird das Sockelelement der jeweiligen Oberfläche des Fluidgerätes auf der Bodenfläche angebracht, welche eine zur Basis weisende Oberfläche ist, aber kann über ein Trägerelement und Ähnliches an den jeweiligen Oberflächen, wie beispielsweise eine Seitenfläche, eine Deckenfläche und Ähnliches, des Fluidgerätes angebracht werden.
Eine Konfiguration kann angewendet werden, in welcher sich das Schienenelement nicht in Vertikalrichtung bewegt und der Sockelhauptkörper umgeben ist, um zwischen der Basis und dem Schienenelement durch Verlängern und Kürzen befestigt zu sein. Wie in 16 gezeigt, kann zudem eine Konfiguration angewendet werden, in welcher sich das Schienenelement X2' nicht in Vertikalrichtung bewegt und der Sockelhauptkörper X12 und das Schienenelement X2' zum Befestigen des Sockelelementes X1 gedrückt werden, wenn der Vorspannmechanismus X3', welcher das Vorspannelement X31 und die Feder X32 aufweist, das Trägerelement X10 des Sockelelementes X1 nach oben vorspannt.
Zudem kann die vorliegende Erfindung durch Kombinieren der jeweiligen Konfigurationen konfiguriert sein und innerhalb des Bereiches der Erfindung verschieden modifiziert werden.
Bezugszeichenliste

100: Fluidvorrichtung
11, 12, 13: Fluidgerät
4, 4', 4'': Rohr
L1: Vertikale Fluidleitung (Gasversorgungsleitung)
L2: Horizontale Fluidleitung (Reinigungsgasversorgungsleitung)
L3: Horizontale Fluidleitung (kollektive Auslassleitung)
2: Flanschverbindung
21: Flanschteil
21b: Schräge Oberfläche
24: Verbindungsring
61, 61: Verbindungsrohr
X100: Fluidgerätbefestigungsvorrichtung
X1: Sockelelement
X10: Trägerelement
X11: Halselement
X12: Sockelhauptkörper
X13: Körper
X13a: Gedrückte Oberfläche
X14: Rolle
X2: Schienenelement
X2a: Unterseite des Schienenelementes
X20: Durchtrittsschlitz
X21: Einführöffnung
X22: Basis
X22a: Oberfläche der Basis
X23: Feder
X3: Vorspannmechanismus
X30: Schraubbolzen
X4: Rohrverbindung
X5: Fluidgerät

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 2008-286325 A [0003]
JP 2001-245900 A [0015]

Claims

Fluidvorrichtung mit: einer vertikalen Fluidleitung mit einem oder mehreren Fluidgeräten und Rohren, welche in Reihe geschaltet sind; und einer horizontalen Fluidleitung mit einem oder mehreren in Reihe geschalteten Rohren, wobei die Vielzahl an vertikalen Fluidleitungen angeordnet ist, um zueinander parallel zu sein, und zwischen den angrenzenden vertikalen Fluidleitungen die Vielzahl an horizontalen Fluidleitungen zum Verbinden derselben parallel angeordnet ist, wobei eine der horizontalen Fluidleitungen Folgendes enthält: eine Vielzahl an Reihenrohren bzw. in Reihe geschalteten Rohren mit einem Flanschteil an einem angrenzenden Endabschnitt; und ein Verbindungselement zum Verbinden des angrenzenden Flanschteils, und wobei eine andere Leitung der parallelen, horizontalen Fluidleitungen zwischen den Rohren der angrenzenden vertikalen Fluidleitung angeordnet ist und ein Rohr enthält, welches mit den Rohren der vertikalen Fluidleitungen durch Verbindungsrohre verbunden ist.
Fluidvorrichtung nach Anspruch 1, wobei eine andere Leitung der horizontalen Fluidleitungen an einer äußersten Seite positioniert ist.
Fluidgerätbefestigungsvorrichtung zum Befestigen einer Vielzahl an durch Rohre verbundenen Fluidgeräten auf einer Basis, welche Folgendes aufweist: ein Sockelelement, welches aus einem Halselement und einem unterhalb des Halselementes vorgesehenen Sockelhauptkörper besteht und auf einer Bodenfläche des Fluidgerätes nach unten gerichtet angebracht ist; ein auf der Basis angeordnetes Schienenelement, in welchem ein Durchtrittsschlitz ausgebildet ist, welcher dasselbe in vertikaler Richtung durchdringt; und einen Vorspannmechanismus zum Vorspannen des Schienenelementes oder Sockelelementes in vertikaler Richtung, wobei sich das Sockelelement in einem Zustand, in welchem der Halsabschnitt in den Durchtrittsschlitz eingeführt ist und der Sockelhauptkörper zwischen dem Schienenelement und der Basis eingeführt ist, während das Schienenelement und der Sockelhauptkörper zum Befestigen des Sockelelementes bei Betätigung des Vorspannmechanismus gedrückt werden, entlang dem Durchtrittsschlitz bewegen kann, wenn die Betätigung des Vorspannmechanismus gelöst wird.
Fluidgerätbefestigungsvorrichtung nach Anspruch 3, wobei das Schienenelement vorgesehen ist, um nach oben und unten beweglich zu sein, und der Sockelhauptkörper zwischen dem Schienenelement und der Basis angeordnet ist und zwischen dieselben gedrückt wird, wenn der Vorspannmechanismus das Schienenelement in Richtung der Basis vorspannt.
Fluidgerätbefestigungsvorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, wobei eine Einführöffnung mit einer Größe, in welche der Sockelhauptkörper nach oben und unten eingeführt werden kann, an einer Vielzahl an Positionen des Schienenelementes vorgesehen ist und die Einführöffnung bis zum Durchtrittsschlitz fortgeführt ist.
Fluidgerätbefestigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 5, wobei der Sockelhauptkörper einen Rollkörper zum Rollen auf der Basis enthält.
Fluidgerätbefestigungsvorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 6, wobei eine Oberfläche der Basis konfiguriert ist elastisch verformbar zu sein.
Schienenelement, welches aus einem Halselement und einem Sockelhauptkörper besteht, welcher unterhalb des Elementes vorgesehen ist, um eine Vielzahl an mit Rohren verbundenen Fluidgeräten auf einer Basis zu befestigen, und welches zusammen mit einem Sockelelement verwendet wird, welches auf einer Bodenfläche des Fluidgerätes nach unten gerichtet angebracht ist, wobei das Schienenelement nach oben und unten beweglich auf der Basis angeordnet ist und einen Durchtrittsschlitz bildet, welcher dasselbe in vertikaler Richtung durchdringt, und sich das Sockelelement in einem Zustand, in welchem der Halsabschnitt in den Durchtrittsschlitz eingeführt ist und der Sockelhauptkörper zwischen dem Schienenelement und der Basis eingeführt ist, während der Sockelhauptkörper durch Anlegen einer Vorspannkraft in Vertikalrichtung gedrückt wird, um befestigt zu werden, auf der Basis entlang dem Durchtrittsschlitz durch Lösen der Vorspannkraft bewegen kann.
Sockelelement, welches mit Folgendem verwendet wird: einem Schienenelement, welches nach oben und unten beweglich auf einer Basis angeordnet ist und einen Durchtrittsschlitz bildet, welcher dasselbe in Vertikalrichtung durchdringt, und einem Vorspannmechanismus zum Anlegen einer Vorspannkraft in vertikaler Richtung, um eine Vielzahl an Fluidgeräten, welche durch Rohre verbunden sind, auf der Basis zu befestigen, wobei das Sockelelement ein Halselement und einen Sockelhauptkörper aufweist, welcher unterhalb des Halselementes vorgesehen ist und auf einer Bodenfläche des Fluidgerätes nach unten gerichtet vorgesehen ist, und wobei sich der Sockelhauptkörper in einem Zustand, in welchem das Halselement in den Durchtrittsschlitz eingeführt ist und der Sockelhauptkörper zwischen dem Schienenelement und der Basis eingeführt ist, während der Sockelhauptkörper und das Schienenelement bei Betätigung des Vorspannmechanismus gedrückt werden, um befestigt zu werden, auf der Basis bewegen kann, wenn die Betätigung des Vorspannmechanismus gelöst wird.