KR20110060841A - 유체 장치 - Google Patents

Abstract

종횡의 유체 라인으로 이루어지는 유체장치(100)에 있어서, 컴팩트성을 향상시키는 동시에, 조립 용이성을 담보한다.
복수의 세로 유체 라인(L1)을 서로 평행하게 복수 배치하는 동시에, 인접하는 세로 유체 라인 사이에, 이것들을 접속하는 복수의 가로 유체 라인(L2,L3)을 병렬시킨 유체장치(100)에 있어서, 상기 가로 유체 라인(L2,L3) 중 하나는, 배관(4')끼리를, 결합링(24)에 의한 체결식의 플랜지 이음매(2')를 이용하여 접속하는 동시에, 다른 하나는, 배관(4")끼리를 연결 파이프(61,62)에 의해서 접속하도록 하였다.

Description

유체 장치{FLUID DEVICE}

본 발명은, 반도체 제조장치의 재료 가스 공급 라인 등을 구성하는 것으로서, 복수의 유체기기 및 배관을 종횡으로 접속해서 이루어지는 가스 패널 등의 유체장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은, 반도체 제조장치에 이용되는 유체장치 등을 구성하는 것으로서, 보다 자세하게는, 배관 접속되는 복수의 유체기기를 고정하기 위한 유체기기 고정장치에 관한 것이다.

이른바 플랜지 이음매란, 관의 단부에 설치한 플랜지부끼리를 결합하는 것에 의해서 관끼리를 접속하는 것이고, 그 일종으로서, 특허문헌 1에 도시하는 바와 같이, 대향하는 플랜지부에 바깥에서 끼워 각 플랜지부에 설치한 경사면을 지름방향으로 누르고, 그때에 발생하는 축방향의 분력에 의해서 플랜지부끼리를 압착 결합하고, 관을 직렬 접속하는 결합링을 구비한 것이 알려져 있다.

이 결합링에 의한 플랜지 이음매의 특징은, 축방향의 길이를 가급적으로 짧게 할 수 있는 것에 있다.

일본 공개특허공보 2008-286325호 일본 공개특허공보 2001-245900호

그러나, 본 발명자들은, 이 발명을 완성시키는데 있어서, 반도체 제조장치의 재료 가스 공급에 이용되는, 종횡의 유체 라인을 갖는 유체장치에 이런 종류의 플랜지 이음매를 이용한 것을 검토하였다. 이것이, 도 1에 도시하는 구성의 것이다. 이것을 나사식 관이음매를 이용한 도 2에 도시하는 것과 비교하면, 플랜지 이음매를 이용함으로써, 매우 컴팩트하게 구성할 수 있는 것을 알 수 있다.

특히, 도 1과 같이, 세로의 유체 라인(L1)에 유체기기가 설치되어 있는 구성의 경우, 세로방향 치수는 유체기기의 크기에 따라서 컴팩트화가 제한되는 것이기 때문에, 가로방향의 치수를 어떻게 작게 할 것인지가 큰 포인트가 되는 바, 도 1의 유체장치는, 도 2의 유체장치에 비해 가로방향 치수가 작고, 이 점에서 큰 메리트가 있다.

한편, 도 1, 도 2중, 부호 L1은 가스 공급 라인, 부호 L2는 클리닝 가스 공급라인, 부호 L3은 출구 공통화 라인, 부호 11은 매스 플로우 컨트롤러, 부호 12, 13은 밸브나 압력 센서, 부호 2, 2', 2"는 플랜지 이음매, 부호 20, 20', 20"는 나사식 관이음매, 부호 4, 4', 4"는 배관을 나타내고 있다.

그러나, 상기 플랜지 이음매는, 짧고 또한 강고하게 관끼리를 결합할 수 있기 때문에, 배관의 변형 등이 극히 작고, 조금의 오차의 허용 범위가 좁다고 하는 불량이 있다. 이것은, 도 1과 같이 종횡으로 유체 라인을 접속한 경우에 현저하게 된다.

즉, 이 도 1의 구성에 있어서, 임시로 매스 플로우 컨트롤러나 그것으로부터 연신하는 배관에 치수 오차가 있고, 1개의 가스 공급 라인에 길이의 차이가 약간 있었다고 한다. 그 상태에서 클리닝 가스 공급 라인을 각 가스 공급 라인에 접속하면, 출구 공통화 라인이 접속되는 밸브 사이에 세로방향의 위치 어긋남이 생긴다. 그런데, 이 위치 어긋남을 배관의 변형 등으로 흡수할 수 없기 때문에, 출구 공통화 라인을 형성할 수 없다고 하는 사태가 생길 수 있다. 이것은, 출구 공통화 라인을 먼저 접속해도 같다.

따라서, 본 발명은, 종횡으로 유체 라인이 배치되어 이것들이 서로 접속된 유체장치에 있어서, 결합링을 이용한 상술의 플랜지 이음매의 특징을 가급적으로 살리면서도, 상기 플랜지 이음매의 단점인 약간의 오차의 허용 범위가 좁게 조립에 저어(齟齬)가 생기기 쉽다고 하는 불량을 해결할 수 있도록 도모한 것이다.

즉, 본 발명에 관한 유체장치는, 직렬 접속한 1 또는 복수의 유체기기 및 배관을 구비하는 세로 유체 라인과, 1 또는 직렬 접속한 복수의 배관을 구비하는 가로 유체 라인을 구비하고, 상기 세로 유체 라인을 서로 평행하게 복수 배치하는 동시에, 인접하는 세로 유체 라인 사이에, 이것들을 접속하는 복수의 가로 유체 라인을 병렬시킨 유체장치에 있어서,

상기 가로 유체 라인 중 1개를, 인접하는 단부에 플랜지부를 설치한 직렬하는 복수의 배관과, 상기 인접하는 플랜지부에 바깥에서 끼우고 그들 플랜지부에 형성한 경사면을 지름방향으로 누르고, 그때에 발생하는 축방향의 분력에 의해서 플랜지부끼리를 압착 결합하는 결합링을 구비하는 것으로 하고,

병렬하는 상기 가로 유체 라인 중 다른 1개를, 인접하는 세로 유체 라인의 배관 사이에 배치되어, 연결 파이프에 의해서 이들 세로 유체 라인의 배관에 접속된 배관을 구비하는 것으로 한 것을 특징으로 한다.

이러한 연결 파이프에 의한 배관 접속은, 용접 등에 의한 고착이기 때문에, 일단 접속한 후에는 떼어 벗김을 할 수 없다고 하는 부자유스러움은 있지만, 배관길이를 크게 취할 수 있으므로, 구조적으로 어느 정도 휘어지거나, 조립시에 조정하거나 하는 것에 의해서 배관이나 유체기기의 약간의 오차를 허용할 수 있어, 컴팩트성도 담보할 수 있는 것이다.

따라서, 본 발명에 의하면, 이 연결 파이프와 플랜지 이음매를 교묘하게 혼재시키고 있으므로, 플랜지 이음매에 의한 조립이나 떼어 벗김의 용이성을 유지하면서, 플랜지 이음매의 리지드성에 의한 불량을, 연결 파이프에 의한 유연성으로 해결하고, 또한 적어도 가로방향으로 컴팩트하게 구성할 수 있다.

연결 파이프에서의 용접 등에 의한 고착 작업을 용이화하기 위해서는, 상기 가로 유체라인 중 다른 1개를, 가장 끝단측의 것으로 설정하는 것이 바람직하다.

한편, 이하에 서술하는 과제도 있다. 종래, 반도체 제조장치에 이용되는 유체장치는, 복수의 유체기기 등을 직렬 접속하여 형성한 유체기기군을, 병렬 형상으로 복수 배치하여, 인접하는 유체기기군 사이를 접속수단 등에 의해서 접속하는 것에 의해서 구성되어 있다. 이때, 각 유체기기를, 하단 부재를 사이에 두고 기판 등에 고정하는 방법이 있다.

이 방법을 이용한 장치로서, 특허문헌 2에 도시하는 바와 같이, 가늘고 긴 부(副)기판상에, 복수의 하단 부재가 직렬 형상으로 나사로 부착되어, 이들 하단 부재상에, 복수의 유체기기가 직렬 형상으로 나사로 부착되어, 유체기기군이 부기판에 형성되고, 유체기기군이 각각 형성된 복수의 부기판이 1개의 주(主)기판에 부착되어 구성된 장치가 알려져 있다.

[특허문헌 2] 일본 공개특허공보 2001-245900호

그러나, 상술의 구성에서는, 각 유체기기를 고정하기 위해서, 각 유체기기 등을 나사로 1개 1개 부착할 필요가 있으므로, 부품수 및 공정수가 많아져, 수고가 든다. 한편, 각 유체기기를 떼어 벗길 때도 마찬가지로, 각 유체기기 등의 나사 고정을 1개 1개 떼어 벗길 필요가 있어, 역시 수고가 든다. 게다가, 각 유체기기 등의 고정 및 떼어 벗김이 번잡하기 때문에, 유체기기군의 추가나 변경도 또한 번잡하게 되어 버린다.

또한, 각 유체기기 기판 등에 고정할 뿐만 아니라, 또한, 유체기기간의 배관을 접속할 필요가 있다. 그러나, 하단 부재를 사이에 두고 고정된 유체기기는 이동시킬 수 없어, 유체기기의 배관 접속을 위해서, 유체기기의 위치를 조정하는 것이 곤란해져 버린다.

따라서, 본 발명은, 상기의 문제를 해결할 수 있도록, 유체기기를 간단하게 탈착할 수 있어, 유체기기군을 간단하게 변경 및 추가할 수 있는 동시에, 배관 접속을 위해서 유체기기의 위치를 조정할 수 있는 유체기기 고정장치를 제공하는 것을 그 주된 소기 과제로 하는 것이다.

즉, 본 발명에 관한 유체기기 고정장치는, 배관 접속되는 복수의 유체기기를 베이스상에 고정하기 위한 유체기기 고정장치로서, 목(首)부재 및 그 하방에 설치한 대좌 본체로 이루어지고, 상기 유체기기의 바닥면의 하방에 부착된 대좌(臺座) 부재와, 상기 베이스상에 배치되는 동시에, 상하로 관통하는 관통홈이 형성된 레일부재와, 상기 레일 부재 또는 상기 대좌 부재를 상하방향으로 힘을 가하는 부세기구를 구비하고, 상기 목부재를 상기 관통홈에 삽입통과시키는 동시에 상기 대좌 본체를 상기 레일 부재와 상기 베이스와의 사이에 삽입한 상태에서, 상기 부세기구를 동작시키면 상기 레일 부재와 상기 대좌 본체가 내리 눌러져 상기 대좌 부재가 고정되는 한편, 상기 부세기구의 동작을 해제하면 상기 대좌 부재가 상기 관통홈을 따라서 이동할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 한다. 한편, 여기서 상하방향과는 편의적으로 베이스와 수직인 방향을 말하고, 유체기기로부터 베이스를 향하는 방향을 하방으로 하는 것이고, 사용상태에서는 상하방향을 반대로 하거나 좌우방향으로 하거나, 비스듬하게 하거나 하여 이용해도 좋다.

이러한 것이면, 부세기구의 동작을 해제하면, 대좌 부재가 관통홈을 따라서 이동할 수 있으므로, 개개의 유체기기 또는 배관 접속된 복수의 유체기기 전체의 어느 것이더라도, 관통홈을 따라서 이동시킬 수 있어, 배관 접속을 위해서 유체기기의 위치를 조정할 수 있다.

또한, 부세기구를 동작시키면 대좌 부재를 고정할 수 있으므로, 각 유체기기 등을 1개 1개 나사로 부착하는 일 없이, 유체기기를 간단하게 부착할 수 있다. 한편, 부세기구의 동작을 해제하면 대좌 부재를 이동할 수 있으므로, 각 유체기기 등의 나사 고정을 1개 1개 떼어 벗기거나 하는 일 없이, 유체기기를 이동시켜 간단하게 떼어 벗길 수 있다. 따라서, 유체기기를 간단하게 변경하거나, 추가하거나 할 수 있다.

상기 레일 부재가 상하이동 가능하게 설치되어 있고, 상기 부세기구가 상기 레일 부재를 베이스를 향하여 힘을 가하면, 상기 대좌 본체가 상기 레일 부재와 상기 베이스와의 사이에 협압(挾壓)되는 것이더라도 좋다.

상기 레일 부재의 복수 개소에, 상기 대좌 본체를 상하로 삽입통과시킬 수 있는 크기의 삽입통과 구멍을 형성하고, 상기 삽입통과 구멍을 상기 관통홈에 연속시키고 있는 것이더라도 좋다. 이러한 것이면, 삽입통과 구멍으로부터 대좌 본체를 삽입통과 시킬 수 있으므로, 변경하지 않는 유체기기를 부착한 채의 상태에서, 변경하는 유체기기를 탈착할 수 있다.

보다 이동시키기 쉽게 하기 위해서는, 상기 대좌 본체가 베이스상에서 구름운동하는 전동체를 구비한 것이 바람직하다.

고정시에 어긋나기 어렵게 하기 위해서는, 상기 베이스의 표면이 탄성변형 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 의하면, 연결 파이프에 의한 배관 접속이 배관 등의 치수 오차를 허용하므로, 플랜지 이음매에 의한 조립이나 떼어 벗김의 용이성을 유지하면서, 플랜지 이음매의 리지드성에 의한 불량을, 연결 파이프에 의한 유연성으로 해결하고, 또한 적어도 가로방향으로 컴팩트하게 구성할 수 있다.

또한, 본 발명에 의하면, 유체기기를 간단하게 탈착할 수 있고, 유체기기군을 간단하게 변경 및 추가할 수 있는 동시에, 개개의 유체기기 또는 배관 접속된 복수의 유체기기 전체의 어느 것이더라도, 배관 접속을 위해서 유체기기의 위치를 조정할 수 있다.

도 1은 플랜지 이음매를 이용하여 구성한 유체장치의 예상 구성도.
도 2는 나사식 관이음매를 이용하여 구성한 유체장치의 예상 구성도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에서의 유체장치의 구성도.
도 4는 상기 실시형태에서의 플랜지 이음매를 평면방향으로부터 보았을 때의 구성도.
도 5는 상기 실시형태에서의 위치결정링 등을 도시하는 분해 사시도.
도 6은 상기 실시형태에서의 결합링을 축방향으로부터 보았을 때의 구성도.
도 7은 상기 실시형태에서의 결합링의 오픈 상태를 도시하는 부분 단면도.
도 8은 상기 실시형태에서의 플랜지 이음매의 종단면도.
도 9는 본 발명의 다른 실시형태에서의 유체장치의 구성도.
도 10은 본 발명의 제 2 실시형태에서의 유체기기 고정장치를 도시하는 측면도.
도 11은 상기 실시형태에서의 유체기기 고정장치를 이용하여 유체기기를 고정하는 순서를 도시하는 도면.
도 12는 상기 실시형태에서의 유체기기 고정장치를 이용하여 유체기기를 교환 및 추가하는 순서를 도시하는 도면.
도 13은 다른 실시형태에서의 유체기기 고정장치를 이용하여 유체기기를 고정하는 순서를 도시하는 도면.
도 14는 다른 실시형태에서의 유체기기 고정장치를 이용하여 유체기기를 고정하는 순서를 도시하는 도면.
도 15는 또 다른 실시형태에서의 유체기기 고정장치를 도시하는 도면.
도 16은 또 다른 실시형태에서의 유체기기 고정장치를 도시하는 도면.
도 17은 실시형태에서 이용되는 배관 이음매를 평면방향으로부터 보았을 때의 구성도.
도 18은 상기 실시형태에서의 위치결정링 등을 도시하는 분해 사시도.
도 19는 상기 실시형태에서의 결합링을 축방향으로부터 보았을 때의 구성도.
도 20은 상기 실시형태에서의 배관 이음매의 종단면도.

이하, 본 발명의 제 1 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시형태에 관한 유체장치(100)는, 반도체 제조장치의 일부인 가스 패널 형식의 유체 공급 장치를 구성하는 것이다.

가스 패널 형식의 유체 공급 장치(이하, 단순히 가스 패널이라고 칭하기도 한다.)란, 복수의 유체기기를 평면적으로 배치하여 그 사이를 배관 등으로 접속한 것이다. 여기서의 가스 패널은, 그 배관 접속의 적어도 일부에, 후술하는 플랜지 이음매가 사용된 것이다.

그런데, 원래로 돌아가서, 본 실시형태에 관한 유체장치(100)는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 평행하게 설치한 3개의 세로 유체 라인인 가스 공급 라인(L1)과, 이들 가스 공급 라인(L1) 사이에 설치된 2개의 가로 유체 라인, 여기에서는 각 가스 공급 라인(L1)에 클리닝 가스를 공급하는 클리닝 가스 공급 라인(L2) 및 각 가스 공급 라인(L1)의 출구를 1개로 하는 출구 공통화 라인(L3)을 구비한 것이다.

다음에 각 라인(L1∼L3)에 대해서 설명한다.

가스 공급 라인(L1)은, 복수의 유체기기(11∼13)와, 각 유체기기(11∼13)로부터 일체로 연신하는 배관(4)과, 상기 배관(4)끼리를 접속하는 것에 의해서 상기 각 유체기기(11∼13)를 직렬 접속하는 플랜지 이음매(2)를 구비한 것이다.

유체기기란, 예를 들면 여기에서는 매스 플로우 컨트롤러(11)나 개폐 밸브(12), 압력 센서(13)를 도시하지만, 그 외의 유체 제어기기나 유체 측정기기 등이더라도 상관없다.

배관(4)은, 특히 도 4에 도시하는 바와 같이, 각 유체기기(11∼13)의 인레트 포트나 아웃레트 포트에 미리 기초단이 접속되어 있는 것으로, 조립전의 상태에서는 그 선단부에는 후술하는 플랜지부(21)가 설치되어 있다. 또한, 여기에서는 각 배관(4)에 전부 동일지름의 것을 이용하고 있다.

플랜지 이음매(2)는, 도 4 내지 도 8에 도시하는 바와 같이, 상기 배관(4)의 선단부 외주에 용접 등에 의해서 일체로 형성한 플랜지부(21)와, 배관(4)끼리를 접속할 수 있도록 대향시킨 상기 플랜지부(21) 사이에 끼우는 개스킷(22)과, 상기 플랜지부(21)끼리의 축맞댐을 하는 위치결정링(23)과, 이들 플랜지부(21)를 압접 결합하는 결합 부재인 결합링(24)을 구비한 것이다.

플랜지부(21)는, 도 4, 도 8에 도시하는 바와 같이, 원고리판 형상을 이루는 것으로, 그 선단면(이하 대향면이라고도 한다)에는 닫은 원고리 형상의 돌출조 (21a)가 설치되어 있다. 또한, 그 이면에는 선단일수록 지름이 넓어지는 방향의 경사면(21b)이 형성되어 있고, 그 외주면에서의 선단부분(21c)에는, 단을 형성하여 이 선단부분(21c)의 바깥지름이 다른 부분보다 작아지도록 구성하고 있다.

개스킷(22)은, 도 4, 도 8에 도시하는 바와 같이, 그 안지름이 배관(4)의 안지름과 일치하고, 바깥지름이 상기 플랜지부 선단부분(21c)의 바깥지름과 일치하는 얇은 동일 두께 원고리판 형상을 이루는 것이다.

위치결정링(23)은, 도 5에 도시하는 바와 같이, 원통형상을 이루는 것이고, 탄성변형 가능한 금속을 이용하여 구성하고 있다. 그리고, 상기 플랜지부 선단부분 (21c)에 덜컹거림 없이 바깥에서 끼우도록, 이 위치결정링(23)의 안지름을 상기 선단부분(21c)의 바깥지름과 일치시키고 있다.

결합링(24)은, 도 4, 도 6 내지 도 8에 도시하는 바와 같이, 서로 이웃하는 것끼리가 서로 회전 가능하게 연결된 일련의 링 파트(241)와, 양단의 링 파트(241)끼리를 결합하여 고리 형상으로 하기 위한 체결구(242)를 구비한 것이다. 각 링 파트(241)(여기에서는 3개)의 내주면에는, 둘레방향으로 늘어나는 바닥이 있는 끼워맞춤홈(24a)이 형성되어 있다. 그리고, 이 끼워맞춤홈(24a)의 측면에는 상기 플랜지부(21)의 이면에 형성한 경사면(21b)에 대응하는 경사면(24a1)이 형성되어 있다.

이러한 플랜지 이음매(2)에 의해서 상기 배관(4)끼리를 접속할 때에는, 우선 접속해야 할 한쪽의 배관(4)에 설치한 플랜지부 선단부분(21c)에 상기 위치결정링 (23)의 일단부를 바깥에서 끼운다. 다음에 위치결정링(23)의 타단부에 개스킷(22)과 다른쪽의 배관(4)에 설치한 플랜지부 선단부분(21c)을 이 순서로 축방향으로부터 끼워 넣는다. 그 결과, 각 플랜지부(21) 및 개스킷(22), 나아가서는 각 배관(4)이 중심축을 일치시켜 유지된다.

그 후, 대향 근접한 한 쌍의 플랜지부(21)에, 단부 링 파트(241)끼리가 연결되어 있지 않은 오픈 상태로 한 결합링(24)을 돌려 넣고, 그 끼워맞춤홈(24a)을 플랜지부(21)의 외주 가장자리부에 끼워 넣는다. 그리고, 이 결합링(24)의 단부 링 파트(241)끼리를, 상기 체결구(242)에 의해서 결합하여 단단히 조인다. 이것에 의해서, 결합링(24)의 안지름이 축소하고, 끼워맞춤홈(24a)의 측면 경사면(24a1)이 각 플랜지부(21)의 이면 경사면(21b)을 지름방향으로 누른다. 그때, 상기 경사면 (21b)에 의해서 각 플랜지부(21)를 축방향으로 서로 기대는 방향으로 이동시키는 분력이 발생하여, 이 분력에 의해서, 플랜지부(21)끼리가, 그 원고리 돌출조(21a)를 개스킷(22)에 먹혀들게 하면서 압착되어, 배관(4)끼리가 기밀하게 접속된다.

클리닝 가스 공급 라인(L2)은, 도 3에 도시하는 바와 같이, 상기 각 가스 공급 라인(L1)에서의 유체기기(11∼13) 중, 여기에서는 매스 플로우 컨트롤러(11)의 입구측에 설치한 밸브(12) 사이를 접속하는 것이고, 상기 각 밸브(12)로부터 가로방향으로 일체로 연신하는 배관(4')과, 상기 배관(4')끼리를 접속하는 것에 의해서 상기 밸브(12)끼리를 접속하는 플랜지 이음매(2')를 구비한 것이다. 배관(4') 및 플랜지 이음매(2')의 구조는 상기 가스 공급 라인(L1)의 것과 같기 때문에, 여기서의 설명은 생략한다.

출구 공통화 라인(L3)은, 도 3에 도시하는 바와 같이, 상기 각 가스 공급 라인(L1)의 가장 출구로부터 설치한 배관(4)끼리를 접속하는 것이고, 각 배관(4) 사이에 설치한 배관(4")과, 배관(4) 및 배관(4")을 접속하기 위한 용접형 관이음매 (6)를 구비한 것이다. 용접형 관이음매(6)란, 엘보형이나 T자형 등의 연결 파이프 (61,62)에 배관(4,4")을 끼워 넣고, 그것들을 용접하여 관끼리를 기밀하게 접속하는 것이다. 여기에서는, 일단의 가스 공급 라인(L1)에, 엘보형의 연결 파이프(61)를 이용하고, 그 외의 가스 공급 라인(L1)에는 T자형의 연결 파이프(62)를 이용하고 있다.

그러나 이와 같은 것이면, 치수 오차를 연결 파이프(61,62)가 흡수하므로, 치수 오차가 있는 경우이더라도, 플랜지 이음매(2,2')를 이용하여, 종횡으로 각각 복수의 유체 라인(L1∼L3)을 갖는 유체장치(100)를, 보다 컴팩트하고 또한 용이하게 탈착할 수 있도록 구성할 수 있고, 특히 가로방향 치수를 보다 작게 할 수 있다. 또한, 플랜지 이음매(2,2')는 협소한 작업 공간이더라도 지름방향으로부터 용이하게 탈착할 수 있어, 축방향의 길이를 가급적으로 짧게 할 수 있다.

한편, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 9에 도시하는 바와 같이, 세로 라인(L1)이 2개의 것이라도 상관없고, 이 도 9에 도시하는 유체장치(100)를 1유닛으로 하여, 복수의 유체장치(100)를 종횡으로 나열하여 접속한 구성이라도 상관없다.

또한, 2개의 세로 유체 라인을 접속하는 복수의 병렬한 가로 유체 라인에 있어서, 연결 파이프를 이용한 것과 플랜지 이음매를 이용한 것이 혼재하고만 있으면 좋다. 즉, 예를 들면 도 3과 같이 3 이상의 세로 유체 라인이 있는 경우, 동 도면에서는, 직렬하는 2개의 가로 유체 라인(L2)(또는 L3)이 동종의 것이었지만, 직렬하는 2개의 가로 유체 라인의 한쪽이, 연결 파이프를 이용한 것으로 다른쪽이 플랜지 이음매를 이용한 것이라도 상관없다.

게다가, 플랜지 이음매는, 상기 실시형태와 같은 경사면에 의한 쐐기 작용을 이용한 것에 한정되지 않고, 나사 고정에 의하는 것 등, 다른 형식의 것이라도 상관없다.

유체는 가스뿐만 아니라 액체라도 상관없고, 세로 유체 라인이나 가로 유체 라인의 개수에 제한이 있는 것도 아니다. 또한, 가로 유체 라인이 배관이나 이음매 외에, 유체기기를 가진 것에도 적용 가능하다. 그 외, 본 발명은 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형이 가능하다.

이하, 본 발명의 제 2 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시형태에 관한 유체기기 고정장치(X100)는, 예를 들면 반도체 제조장치에 재료 가스등을 공급할 수 있도록, 복수의 유체기기(X5)를 평면적으로 접속하여 형성한 소위 가스 패널 장치에 이용되는 것으로, 도 10(a) 등에 도시하는 바와 같이, 각 유체기기(X5)의 바닥면에 부착한 대좌 부재(X1)와 이 대좌 부재(X1)를 평판 형상의 베이스(X22)와의 사이에서 사이에 끼워 넣기 위한 레일 부재(X2)와, 이 레일 부재(X2)를 하방으로 힘을 가하여 상기 대좌 부재(X1)를 베이스(X22)를 향하여 내리누르는 힘을 부여하는 부세기구(X3)를 구비하고 있다. 한편, 여기서의 유체기기(X5)란, 예를 들면, 압력 센서, 매스 플로우 컨트롤러, 밸브 등이다.

각 부를 설명하면, 대좌 부재(X1)는, 도 10(a) 등에 도시하는 바와 같이, 유체기기(X5)의 바닥면에 부착하기 위한 브래킷 부재(X10)와, 이 브래킷 부재(X10)의 하면으로부터 아래로 늘어지게 한 목부재(X11)와, 이 목부재(X11)의 하방에 연속하여 설치한 보디(X13)와, 이 보디(X13)의 하면에 자유롭게 수평 선회되도록 부착한 전동체인 캐스터(X14)를 구비한 것이다. 한편, 보디(X13) 및 캐스터(X14)가 청구항에서의 대좌 본체(X12)를 구성한다.

목부재(X11)는, 기둥형상을 이루는 것이고, 보디(X13)는 그것보다 큰 지름의 원기둥형상을 이루는 것이다. 즉, 위에서 보아 보디(X13)는 그 윤곽부가 목부재 (X11)보다 바깥쪽으로 돌출하고, 그 돌출한 상면 부분이, 후술하는 피압압면(X13a)으로서 레일 부재(X2)의 하면(X2a)으로 눌러지도록 구성하고 있다.

레일 부재(X2)는, 도 10 및 도 11(a) 등에 도시하는 바와 같이, 베이스(X22)상에 상하이동 가능하게 배치된 동일 두께평판 형상을 이루는 것이고, 이 실시형태에서는, 길이방향을 따라서 늘어나는, 등폭 직선 형상의 관통홈(X20)이 평행하게 복수(여기에서는 3개) 형성하고 있다. 이 레일 부재(X2)에는 또한, 원형상의 삽입통과 구멍(X21)이 관통홈(X20)에 연속하여 복수개소(여기에서는 각 관통홈(X20)에 5개소씩, 합계 15개소) 형성되어 있다. 관통홈(X20)의 폭은 보디(X13)의 직경보다 작고, 목부재(X11)의 굵기보다 크게 설정되는 한편, 삽입통과 구멍(X21)의 직경은 보디(X13) 및 캐스터(X14)를 상하로 삽입통과시킬 수 있는 크기이다.

부세기구(X3)는, 도 10(a)(b) 등에 도시하는 바와 같이, 예를 들면, 레일 부재(X2)의 단부를 관통시킨 볼트(X30)를, 베이스(X22)에 형성한 나사구멍(도시하지 않음)에 나사식 결합시킨 것이고, 볼트(X30)를 조이는 것에 의해서, 상술한 바와 같이, 레일 부재(X2)를 하방으로 힘을 가하는 것이다. 또한, 스프링(X23)이, 볼트 (X30)에 감아 부착되도록 바깥에서 끼우고 있다. 한편, 부세기구(X3)는 볼트(X30) 및 나사구멍과 같은 체결 부재에 한정되는 것이 아니라, 스프링 등의 탄성체 등을 이용하여 레일 부재(X2)를 하방으로 힘을 가하도록 해도 좋다.

한편, 이 실시형태에서는, 베이스(X22)의 표면(X22a)을 탄성판으로 형성하고 있다.

다음에, 본 실시형태의 유체기기 고정장치(X100)를 이용하여, 유체기기(X5)를 고정하는 순서를 설명한다. 우선, 부세기구(X3)의 동작이 해제된 상태, 즉 볼트 (X30)를 느슨하게 하여, 스프링(X23)의 힘에 의해서 레일 부재(X2)가 상방으로 들어 올려진 상태로 해 둔다.(도 11(a))

그리고, 유체기기(X5)의 바닥부에 부착된 대좌 부재(X1)를, 상기 유체기기 (X5)에 대응하는 삽입통과 구멍(X21)에 위로부터 삽입한다. 캐스터(X14)가 베이스 (X22)에 접한 상태에서는, 대좌 본체(X12)가 레일 부재(X2)와 베이스(X22)와의 사이에 위치하고, 목부재(X11)가 삽입통과 구멍(X21)에 삽입통과하고 있는 상태가 된다. 그리고, 도 11(b)에 도시하는 바와 같이, 그들 유체기기(X5)를 배관 이음매 (X4)를 이용하여 배관으로 접속한다.

배관 및 배관 이음매(X4)의 일례에 대해 설명해 둔다. 배관은, 특히 도 17에 도시하는 바와 같이, 각 유체기기(X5)의 인레트 포트나 아웃레트 포트에 미리 기초단이 접속하고 있는 것으로, 조립전의 상태에서는 그 선단부에는 후술하는 플랜지부(X61)가 설치되어 있다. 또한, 여기에서는 각 배관에 전부 동일지름의 것을 이용하고 있다.

배관 이음매(X4)는, 도 17 내지 도 20에 도시하는 바와 같이, 상기 배관(X4)의 선단부 외주에 용접 등에 의해서 일체로 형성한 플랜지부(X61)와, 배관끼리를 접속할 수 있도록 대향시킨 상기 플랜지부(X61) 사이에 끼워진 개스킷(X62)과, 상기 플랜지부(X61)끼리의 축맞댐을 하는 위치결정링(X63)과, 이들 플랜지부(X61)를 압접 결합하는 결합 부재인 결합링(X24)을 구비한 것이다.

플랜지부(X61)는, 도 18 등에 도시하는 바와 같이, 원고리판 형상을 이루는 것으로, 그 선단면(이하 대향면이라고도 한다)에는 닫은 원고리 형상의 돌출조 (X61a)가 설치되어 있다. 또한, 그 이면에는 선단일수록 지름이 넓어지는 방향의 경사면(X61b)이 형성되어 있고, 그 외주면에 있어서의 선단부분(X61c)에는, 단을 형성하고 이 선단부분(X61c)의 바깥지름이 다른 부분보다 작아지도록 구성하고 있다.

개스킷(X62)은, 도 18 등에 도시하는 바와 같이, 그 안지름이 배관의 안지름과 일치하고, 바깥지름이 상기 플랜지부 선단부분(X61c)의 바깥지름과 일치하는 얇은 동일 두께 원고리판 형상을 이루는 것이다.

위치결정링(X63)은, 도 18 등에 도시하는 바와 같이, 원통형상을 이루는 것으로, 탄성변형 가능한 금속을 이용하여 구성하고 있다. 그리고, 상기 플랜지부 선단부분(X61c)에 덜컹거림 없이 바깥에서 끼우도록, 이 위치결정링(X63)의 안지름을 상기 선단부분(X61c)의 바깥지름과 일치시키고 있다.

결합링(X24)은, 도 19 등에 도시하는 바와 같이, 서로 이웃하는 것끼리가 서로 회전 가능하게 연결된 일련의 링 파트(X241)와, 양단의 링 파트(X241)끼리를 결합하여 고리 형상으로 하기 위한 체결구(X242)를 구비한 것이다. 각 링 파트 (X241)(여기에서는 3개)의 내주면에는, 둘레방향으로 늘어나는 바닥이 있는 끼워맞춤홈(X24a)이 형성되어 있다. 그리고, 이 끼워맞춤홈(X24a)의 측면에는 상기 플랜지부(X61)의 이면에 형성한 경사면(X61b)에 대응하는 경사면(X24a1)이 형성되어 있다.

이러한 배관 이음매(X4)에 의해서 상기 배관끼리를 접속할 때에는, 우선 접속해야 할 한쪽의 배관에 설치한 플랜지부 선단부분(X61c)에 상기 위치결정링(X63)의 일단부를 바깥에서 끼운다. 다음에 위치결정링(X63)의 타단부에 개스킷(X62)과 다른쪽의 배관에 설치한 플랜지부 선단부분(X61c)를 이 순서로 축방향으로부터 끼워 넣는다. 그 결과, 각 플랜지부(X61) 및 개스킷(X62), 나아가서는 각 배관이 중심축을 일치시켜 유지된다.

그 후, 대향 근접한 한 쌍의 플랜지부(X61)에, 단부 링 파트(X241)끼리가 연결되어 있지 않은 오픈 상태로 한 결합링(X24)을 돌려 넣고, 그 끼워맞춤홈(X24a)을 플랜지부(X61)의 외주 가장자리부에 끼워 넣는다. 그리고, 이 결합링(X24)의 단부 링 파트(X241)끼리를, 상기 체결구(X242)에 의해서 결합하여 단단히 조인다. 이것에 의해서, 결합링(X24)의 안지름이 축소되고, 끼워맞춤홈(X24a)의 측면 경사면 (X24a1)이 각 플랜지부(X61)의 이면 경사면(X61b)을 지름방향으로 누른다. 그 때, 상기 경사면(X61b)에 의해서 각 플랜지부(X61)를 축방향으로 서로 기대는 방향으로 이동시키는 분력이 발생하여, 이 분력에 의해서, 플랜지부(X61)끼리가, 그 원고리 돌출조(X61a)를 개스킷(X62)에 먹혀들게 하면서 압착되어, 배관끼리가 기밀하게 접속된다.

한편, 이 실시형태에서는, 유체기기(X5)의 간격에 맞추어 삽입통과 구멍 (X21)의 간격이 설정되어 있으므로, 먼저 유체기기(X5)를 배관 접속하여 라인을 형성해 두고, 서로 접속된 그들 유체기기(X5)의 대좌 부재(X1)를, 한꺼번에 삽입통과 구멍(X21)에 삽입해도 상관없다.

그러나 이 상태에서는, 대좌 본체(X12)가 삽입통과 구멍(X21)의 바로 아래에 있으므로, 이대로는 상방으로 빠져 버린다. 따라서, 도 11(c) 및 도 10(a)에 도시하는 바와 같이, 대좌 본체(X12)가 관통홈(X20)의 하방에 위치하도록, 캐스터(X14)를 구르게 하면서, 유체기기(X5)를 관통홈(X20)을 따라서 이동시킨다. 이 때, 모든 대좌 본체(X12)가 관통홈(X20)의 하방에 위치할 필요는 없고, 적어도 1개의 대좌 부재(X1)가 관통홈(X20)의 하방에 위치하는 것이면 좋다.

이 상태에서 볼트(X30)를 단단히 조여 넣고, 부세기구(X3)를 동작시킨다. 그렇게 하면, 스프링(X23)의 힘에 저항하여 레일 부재(X2)가 하방으로 이동하고, 관통홈(X20) 근방의 하면(X2a)이 대좌 본체(X12)의 상면인 피압압면(X13a)을 하방으로 내리누른다. 이것에 의해서, 대좌 본체(X12)는, 레일 부재(X2)와 베이스(X22)의 사이에 끼워져 고정된다.(도 10(b))

이때, 베이스(X22)의 표면(X22a)은 탄성판으로 형성되어 있으므로, 대좌 본체(X12)의 하부가 탄성판에 먹혀 들어가, 대좌 부재(X1)가 어긋나지 않도록 고정된다.

유체기기(X5)를 떼어 벗길 때는, 반대의 순서로 행한다.

이러한 구성의 유체기기 고정장치(X100)에 의하면, 유체기기(X5)를 간단하게 탈착할 수 있고, 유체기기(X5)군을 간단하게 변경 및 추가할 수 있는 동시에, 개개의 유체기기(X5) 또는 배관 접속된 복수의 유체기기(X5) 전체 중 어느 것이라도, 배관 접속을 위해서 유체기기(X5)의 위치를 조정할 수 있다.

또한, 유체기기(X5)의 간격에 맞추어 삽입통과 구멍(X21)의 간격이 설정되어 있으므로, 배관 접속된 복수의 유체기기(X5)의 대좌 부재(X1)를, 한꺼번에 삽입통과 구멍(X21)에 삽입하고, 유체기기(X5)를 부착하는 것도 가능하다.

또한, 1개의 유체기기(X5)를 교환할 때도 용이하게 할 수 있다. 볼트(X30)를 느슨하게 하여 레일부재(X2)를 들어 올려, 유체기기(X5)가 관통홈(X20)의 연신 방향으로 이동 가능한 상태로 해 두고, 교환하고 싶은 유체기기(X5)의 배관 이음매 (X4)를 떼어 벗긴다. 그 후, 도 12(a)에 도시하는 바와 같이, 그 양 이웃한 유체기기(X5)를 약간 외측으로 이동시켜, 교환하고 싶은 유체기기(X5)를 삽입통과 구멍 (X21)으로부터 당겨 뽑는다.

다음에 다른 유체기기(X5)를 상기 삽입통과 구멍(X21)으로부터 삽입하여, 양 이웃한 유체기기(X5)를 끌어 들여 배관 접속한다. 그 후, 도 12(b)에 도시하는 바와 같이, 대좌 본체(X12)가 관통홈(X20)의 하방에 위치하도록, 유체기기(X5)를 관통홈(X20)을 따라서 이동시키고, 볼트(X30)를 단단히 조여, 대좌 본체(X12)를 고정한다.

또한, 도 12(c)에 도시하는 바와 같이, 유체기기(X5)를 추가하는 것도 마찬가지로 용이하게 할 수 있다.

한편, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않는다. 예를 들면, 도 13(a) 에 도시하는 바와 같이, 삽입통과 구멍(X21)은 반드시 유체기기(X5)의 수만큼 필요한 것이 아니라, 또한, 유체기기(X5)의 접속 간격에 맞출 필요도 없다. 삽입통과 구멍 (X21)이 유체기기(X5)보다 적은 경우의 부착, 떼어 벗김 방법에 대해서는, 다음과 같다. 즉, 우선, 볼트(X30)를 느슨하게 하여, 레일 부재(X2)가 상방으로 들어 올려진 상태로, 도 13(b)에 도시하는 바와 같이, 유체기기(X5)의 바닥부에 부착된 대좌 부재(X1)를, 삽입통과 구멍(X21)에 위로부터 삽입하여, 관통홈(X20)을 따라서 이동시킨다. 다음에, 도 14(a)에 도시하는 바와 같이, 다른 유체기기(X5)를 차례차례 삽입통과 구멍(X21)에 삽입하여, 서로 이웃하는 유체기기(X5)를 끌어 들여, 각각 배관 접속한다. 그 후, 도 14(b)에 도시하는 바와 같이, 대좌 본체(X12)가 관통홈 (X20)의 하방에 위치하도록 유체기기(X5)를 이동시켜, 볼트(X30)를 조여 넣으면, 대좌 부재(X1)가 고정된다.

또한, 삽입통과 구멍(X21)은 형성하지 않아도 좋다. 그 경우, 도 15에 일례를 나타내는 바와 같이, 관통홈(X20)을 레일 부재(X2)의 단면에까지 연신시킬 필요가 있다.

덧붙여 말하면, 관통홈(X20)은 서로 평행한 복수의 직방체 형상일 필요는 없고, 복수의 관통홈(X20)이 연속하도록 직교 또는 교차해서 형성되거나, 관통홈 (X20)이 ⊃자형 형상, L자형 형상, 십자형 형상으로 형성되어도 좋다.

레일 부재는 상하방향으로 이동하는 것으로 했지만, 기울기 하방 방향, 기울기 상방 방향 등으로 이동하는 것으로 해도 좋다. 요컨대, 적어도 상하방향으로 이동하는 것이면 좋다.

게다가, 캐스터는 반드시 필요 없고, 대좌 본체는 직방체 형상의 부재 등이더라도 좋다.

모든 유체기기의 바닥면에 대좌 부재를 부착할 필요는 없고, 복수의 유체기기의 적어도 1개에 대좌 부재가 부착되어 있는 것이면 좋다. 또한, 대좌 부재를 유체기기에 1개 또는 복수 설치하는 것으로 해도 좋다.

덧붙여 말하면, 유체기기의 접속 간격이 각각 다른 경우, 1개의 접속간격을 기준 접속간격으로 하여, 각 유체기기에 대해서, 기준 접속간격마다 1개 또는 복수의 대좌 부재를 설치하도록 해도 좋다. 또한, 삽입통과 구멍을 기준 접속간격마다 등간격으로 형성하는 것으로 해도 좋다. 이러한 것이면, 각 유체기기와 대응하는 삽입통과 구멍으로부터가 아니라도, 서로 접속된 복수의 유체기기의 대좌 부재를 한꺼번에 삽입통과 구멍에 삽입하거나 앞지르거나 할 수 있다.

본 실시형태에서는 대좌 부재는 유체기기의 각 면중, 베이스와 대향하는 면인 바닥면에 부착된 것으로 했지만, 유체기기의 측면이나 천정면 등의 각 면에 부착한 브래킷 부재 등을 사이에 두고 부착하는 것으로 해도 좋다.

레일 부재를 상하로 움직이지 않는 것으로 하고, 대좌 본체가 신축되어 베이스와 레일 부재와의 사이에 끼워져 고정되도록 한 것이라도 상관없다. 또한, 도 16에 도시하는 바와 같이, 레일 부재(X2')를 상하방향으로 움직이지 않는 것으로 하고, 부세 부재(X31) 및 스프링(X32)을 구비하는 부세기구(X3)'가 대좌 부재(X1)의 브래킷 부재(X10)를 상방으로 힘을 가함으로써, 대좌 본체(X12)와 레일 부재(X2')가 내리 눌러져 대좌 부재(X1)가 고정되도록 한 것이라도 상관없다.

그 외, 본 발명은 각 구성을 조합해도 좋고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형이 가능하다.

100 : 유체장치
11, 12, 13 : 유체기기
4, 4', 4" : 배관
L1 : 세로 유체 라인(가스 공급 라인)
L2 : 가로 유체 라인(클리닝 가스 공급 라인)
L3 : 가로 유체 라인(출구 공통화 라인)
2 : 플랜지 이음매
21 : 플랜지부
21b : 경사면
24 : 결합링
61, 62 : 연결 파이프
X100 : 유체기기 고정장치
X1 : 대좌 부재
X10 : 브래킷 부재
X11 : 목부재
X12 : 대좌 본체
X13 : 보디
X13a : 피압압면
X14 : 캐스터
X2 : 레일 부재
X2a : 레일 부재의 하면
X20 : 관통홈
X21 : 삽입통과 구멍
X22 : 베이스
X22a : 베이스의 표면
X23 : 스프링
X3 : 부세기구
X30 : 볼트
X4 : 배관 이음매
X5 : 유체기기

Claims (9)

1. 직렬 접속한 1 또는 복수의 유체기기 및 배관을 구비하는 세로 유체 라인과, 1 또는 직렬 접속한 복수의 배관을 구비하는 가로 유체 라인을 구비하고, 상기 세로 유체 라인을 서로 평행하게 복수 배치하는 동시에, 인접하는 세로 유체 라인 사이에, 이것들을 접속하는 복수의 가로 유체 라인을 병렬시켜서 이루어지고,
   상기 가로 유체 라인 중 하나는, 인접하는 단부에 플랜지부를 설치한 직렬하는 복수의 배관과, 상기 인접하는 플랜지부를 결합하는 결합부재를 구비하는 것이고,
   병렬하는 상기 가로 유체 라인 중 다른 하나는, 인접하는 세로 유체 라인의 배관 사이에 배치되어, 연결 파이프에 의해서 이들 세로 유체 라인의 배관에 접속된 배관을 구비하는 것인 것을 특징으로 하는 유체장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 가로 유체 라인 중 다른 1개가, 가장 끝단측에 위치하는 것인 유체장치.
3. 배관 접속되는 복수의 유체기기를 베이스상에 고정하기 위한 유체기기 고정장치로서,
   목부재(首部材) 및 그 하방에 설치한 대좌(臺座) 본체로 이루어지고, 상기 유체기기의 바닥면의 하방에 부착된 대좌 부재와,
   상기 베이스상에 배치되는 동시에, 상하로 관통하는 관통홈이 형성된 레일부재와,
   상기 레일 부재 또는 상기 대좌 부재를 상하방향으로 힘을 가하는 부세(付勢)기구를 구비하고,
   상기 목부재를 상기 관통홈에 삽입통과시키는 동시에 상기 대좌 본체를 상기 레일 부재와 상기 베이스와의 사이에 삽입한 상태에서, 상기 부세기구를 동작시키면 상기 레일 부재와 상기 대좌 본체가 내리 눌러져 상기 대좌 부재가 고정되는 한편, 상기 부세기구의 동작을 해제하면 상기 대좌 부재가 상기 관통홈을 따라서 이동할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 유체기기 고정장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 레일 부재가 상하이동 가능하게 설치되어 있고,
   상기 부세기구가 상기 레일 부재를 베이스로 향하여 힘을 가하면, 상기 대좌 본체가 상기 레일 부재와 상기 베이스와의 사이에서 협압(挾壓)되는 것을 특징으로 하는 유체기기 고정장치.
5. 제 3 항에 있어서, 상기 레일 부재의 복수 개소에, 상기 대좌 본체를 상하로 삽입통과시킬 수 있는 크기의 삽입통과 구멍을 형성하고, 상기 삽입통과 구멍을 상기 관통홈에 연속시키고 있는 것을 특징으로 하는 유체기기 고정장치.
6. 제 3 항에 있어서, 상기 대좌 본체가 베이스상에서 구르는 전동체(轉動體) 를 구비한 것인 것을 특징으로 하는 유체기기 고정장치.
7. 제 3 항에 있어서, 상기 베이스의 표면이 탄성변형 가능하게 구성되어 있는 유체기기 고정장치.
8. 배관 접속되는 복수의 유체기기를 베이스상에 고정할 수 있도록, 목부재 및 그 하방에 설치한 대좌 본체로 이루어지고, 상기 유체기기의 바닥면의 하방에 부착된 대좌 부재와 함께 이용되는 것으로서,
   상기 베이스상에 상하이동 가능하게 배치되는 동시에, 상하로 관통하는 관통홈이 형성되어 있고, 상기 목부재를 상기 관통홈에 삽입통과시키는 동시에, 상기 대좌 본체를 상기 베이스와의 사이에 삽입한 상태에서, 상기 상하방향의 미는 힘을 부여하는 것에 의해서 상기 대좌 본체가 내리 눌러져 고정되는 한편, 상기 미는 힘을 해제하는 것에 의해서 상기 대좌 부재가 관통홈을 따라서 베이스상을 이동할 수 있도록 구성한 것인 것을 특징으로 하는 레일 부재.
9. 배관 접속되는 복수의 유체기기를 베이스상에 고정할 수 있도록, 상기 베이스상에 상하이동 가능하게 배치되는 동시에 상하로 관통하는 관통홈이 형성된 레일 부재와, 상하방향의 미는 힘을 부여하는 부세기구와 함께 이용되는 것으로서,
   목부재 및 그 하방에 설치한 대좌 본체를 구비하는 동시에, 상기 유체기기의 바닥면의 하방에 부착되어 있고,
   상기 목부재를 상기 관통홈에 삽입통과시키는 동시에 상기 대좌 본체를 상기 레일 부재와 상기 베이스와의 사이에 삽입한 상태에서, 상기 부세기구를 동작시키면 상기 대좌 본체와 상기 레일 부재가 내리눌러져 고정되는 한편, 상기 부세기구의 동작을 해제하면 상기 대좌 본체가 관통홈을 따라서 베이스상을 이동할 수 있도록 구성한 것을 특징으로 하는 대좌 부재.

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