JP2001153289A - 集積型ガス供給ユニット用モジュールブロック固定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 モジュールブロックの追加や型式変更が容易
な集積型ガス供給ユニット用モジュールブロックの固定
方法を提供する。 【解決手段】 集積型ガス供給ユニットのガス流入口2
2、32、52とガス流出口23、33、43、53を有する各モジ
ュールブロック21、31、41、51を、開閉弁等の各機能部
品61〜68の入力ポートを上流側モジュールブロック上面
のガス流出口に、出力ポートを下流側モジュールブロッ
ク上面のガス流入口に位置させ、ベースプレート1を貫
通する貫通長溝の裏面の長座ぐりに挿入したフローティ
ング板11a〜11hの雌ねじに、各機能部品61〜68の取付け
ボルトをねじ込んで各機能部品と61〜68ベースプレート
1間に挟んで固定する。これによって、貫通長溝の範囲
内であれば、フローティング板11a〜11hとモジュールブ
ロック21、31、41、51の追加や型式を変更でき、フロー
を自由に変更できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【0001】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体業界で使
用される集積型ガス供給ユニットの開閉弁等の機能部品
のモジュールブロックの固定方法に関する。

【0002】

【従来の技術】半導体製造工程においては、ホトレジス
ト加工のエッチングガス等のプロセスガスが使用されて
いる。ホトレジスト加工(ホトレジスト塗布、露光、現
像、エッチング)は、プロセスガスの種類を変えて複数
回繰り返される。このため、実際の半導体製造工程で
は、複数種類のプロセスガスを必要に応じて供給するガ
ス供給装置が使用されている。

【0003】これらのプロセスガスを供給するガス供給装置
は、流量を正確に計測するためのマスフローコントロー
ラと、マスフローコントローラ内にプロセスガス等を残
留させないためにマスフローコントローラの前後に設け
る入口開閉弁、出口開閉弁、パージ弁、プロセスガスの
供給または遮断を手動で行うための手動弁と、プロセス
ガスのガス圧を調整するレギュレータと、プロセスガス
の圧力を監視するための圧力計と、プロセスガスの混入
不純物を除去するためのフィルターとが構成要素として
必要である。

【0004】従来のプロセスガスの供給は、架台部分に固定
した入口手動弁、レギュレータ、フィルター、入口開閉
弁、プロセスガスの流量を計測するマスフローコントロ
ーラ、出口開閉弁、出口手動弁等の各機能部品を上部に
取り付けた各モジュールブロック間を各々配管により接
続し、プロセスガスを充填した高圧シリンダーから半導
体製造工程に供給していた。しかし、この方式は、各機
能部品を上部に取り付けた各モジュールブロック間を各
々配管により接続するため、配管接続部の溶接等からパ
ーチクルが発生する問題や接続部の腐食によるガス漏れ
等の危険がある。

【0005】このため、最近のプロセスガス供給装置として
は、各機能部品を上部に取り付けた各モジュールブロッ
ク間をガス配管を用いることなく、各々をフローシート
通りに接続できるようにした集積型ガス供給ユニットが
用いられている。

【0006】集積型ガス供給ユニットは、例えば、特開平8-
227836号公報、特開平10-214117号公報に記載のよう
に、前記各機能部品の各モジュールブロックへの入力ポ
ートおよび出力ポートを、方向変換ブロック、入力変換
ブロック、出力変換ブロック、流路ブロック等を用いて
フローシート通りに接続したものである。これらの各ブ
ロックは、集積型ガス供給ユニットの各機能部品を各々
接続する流路の役割(従来の配管部分に相当)とそれらを
固定接続する役割(従来の各機能部品の架台部分に相当)
を合わせ持つブロックである。

【0007】また、特開平11-51226号公報には、各機能部品
の少なくとも1つを取り付けるモジュールブロックと各
モジュールブロック間を接続するベースプレートを取付
けパネルに取付け、フローシート通りに接続したものが
開示されている。

【0008】従来の集積型ガス供給ユニットにおけるモジュ
ールブロックの固定は、座ぐり付き空孔からボルトをベ
ースプレート等に穿孔した固定用雌ねじにねじ込んで固
定したのち、モジュールブロック上に開閉弁等の機能部
品をボルト結合している。

【0009】

【発明が解決しようとする課題】従来のモジュールブロ
ックを固定するベースプレートは、そのフローによって
モジュールブロックの固定用雌ねじ位置が決定される。
このため、従来のモジュールブロックの固定は、フロー
を変更するたびに、そのフローに対応したベースプレー
トを製作しなければならず、モジュールブロックの追加
や型式変更によるフローの変更が容易ではない。

【0010】本発明の目的は、上記従来技術の欠点を解消
し、モジュールブロックの追加や型式変更によって容易
にフローの変更が可能な集積型ガス供給ユニット用モジ
ュールブロックの固定方法を提供することにある。

【0011】

【課題を解決するための手段】本発明の集積型ガス供給
ユニット用モジュールブロックの固定方法は、直列配置
の集積型ガス供給ユニットの開閉弁等の機能部品と接続
するモジュールブロックの固定方法であって、上面のガ
ス流入口とガス流出口をV字状貫通孔で連通した各モジ
ュールブロックを、前記機能部品の入力ポートを上流側
モジュールブロックのガス流出口に、出力ポートを下流
側モジュールブロックのガス流入口に位置させ、各機能
部品とベースプレート間に挟んで固定する。このため、
前記機能部品のそれぞれは、モジュールブロック上面の
ガス流出口とガス流入口を介して接続され、モジュール
ブロック間にシール面を有しておらず、安定したシール
性能を得ることができる。

【0012】また、本発明の集積型ガス供給ユニット用モジ
ュールブロックの固定方法は、ベースプレート上面に各
モジュールブロックの裏面に設けたプロセスガスの搬送
方向と平行な位置決め用凸条がはまる座ぐり長溝と、各
モジュールブロックの両側に設けた位置決め用座ぐり付
き空孔と機能部品取付け用空孔位置に貫通長溝を設け
る。また、ベースプレート裏面の前記貫通長溝に長座ぐ
りを設け、該長座ぐりに各モジュールブロックの前記位
置決め用座ぐり付き空孔と機能部品取付け用空孔位置に
対応する雌ねじを有する各機能部品と同じ長さのフロー
ティング板を移動可能に配置する。そして、ベースプレ
ート上面の座ぐり長溝に各モジュールブロック裏面の位
置決め用凸条を嵌め合わせ、モジュールブロックの位置
決め用座ぐり付き空孔に対応するフローティング板の雌
ねじに、貫通長溝を介して位置決めボルトを通してフロ
ーティング板の雌ねじにねじ込んでモジュールブロック
を位置決め固定する。しかるのち、前記機能部品の入力
ポートを上流側モジュールブロックのガス流出口に、出
力ポートを下流側モジュールブロックのガス流入口に位
置させ、機能部品のボルト孔から機能部品取付け用空孔
を介してモジュールブロックの機能部品取付け用空孔位
置に対応するフローティング板の雌ねじに貫通長溝を介
してボルトを通し、モジュールブロックを各機能部品と
ベースプレート間に挟んで固定する。

【0013】本発明の集積型ガス供給ユニット用モジュール
ブロックの固定方法は、各モジュールブロックの裏面に
設けたプロセスガスの搬送方向と平行な位置決め用凸条
がはまる座ぐり長溝を設けたことによって、座ぐり長溝
位置であればどのような位置にでも、各モジュールブロ
ックを容易に位置決めでき、ピン方式に比較してモジュ
ールブロックの追加や型式変更も容易に行うことができ
る。

【0014】しかも、モジュールブロックを固定するベース
プレートは、ベースプレート上の貫通長溝のあるライン
上であれば、どのような位置でもモジュールブロックを
取付けすることができる。また、貫通長溝のあるライン
上であれば、モジュールブロックの追加や型式変更も、
ベースプレートの孔を再加工することなく、フローティ
ング板の追加や変更で対処でき、容易にフローの変更が
可能である。

【0015】

【発明の実施の形態】本発明で用いる集積型ガス供給ユ
ニット用モジュールブロックは、基本的にプロセスガス
のガス流入口とガス流出口を上面に設けてV字状貫通孔
で連通させた直方体状である。このため、1個のモジュ
ールブロックに機能部品を取付けると、ガス流路を形成
できないので、上流側モジュールブロックのガス流出口
に機能部品の入力ポートを、下流側モジュールブロック
のガス流入口に機能部品の出力ポートを接続する構造で
ある。したがって、各機能部品は、2個のモジュールブ
ロックに跨って取付けることとなる。

【0016】なお、最上流の入口分モジュールブロックは、
プロセスガスのガス流入口を正面に、ガス流出口を上面
に設けてL字状貫通孔で連通させた直方体状で、ガス流
入口にプロセスガス供給配管を連結する。また、パージ
用のパージ弁分モジュールブロックは、パージガス流入
口を側面に、パージガス流出口を上面に設けてL字状貫
通孔で連通させた長方体状で、パージガス流入口にパー
ジガス導入配管を連結する。最下流の出口分モジュール
ブロックは、プロセスガスのガス流出口を背面に、ガス
流入口を上面に設けてL字状貫通孔で連通させた直方体
状で、ガス流出口にプロセスガス導出配管を連結する。

【0017】本発明で用いる集積型ガス供給ユニット用モジ
ュールブロックは、プロセスガスの搬送方向と平行な両
端部にモジュールブロック位置決め用座ぐり付き空孔と
機能部品の取付けボルト用空孔を設けている。また、モ
ジュールブロック裏面中央には、プロセスガスの搬送方
向と平行な位置決め用凸条を設けている。さらに、加熱
が必要なプロセスガス用のモジュールブロックは、プロ
セスガスの搬送方向と平行なカートリッジヒーターを取
付ける貫通孔をガス流入口およびガス流出口の斜め下方
両側に設けている。

【0018】本発明で用いるモジュールブロックを固定する
ベースプレートは、上面にプロセスガスの搬送方向と平
行に各機能部品取付け長さ分の座ぐり長溝を設け、該座
ぐり長溝の両側にモジュールブロックおよび機能部品取
付け用ボルト孔用の座ぐり長溝と同じ長さで、裏面に長
座ぐりを設けた貫通長溝を設けている。したがって、モ
ジュールブロックの位置合わせは、ベースプレート上面
の座ぐり長溝にモジュールブロック裏面の位置決め用凸
条を嵌め合わせることにより簡単に行うことができる。
座ぐり長溝の幅は、3.5mm程度、深さは3mm程度で十分で
ある。また、モジュールブロック裏面の位置決め用凸条
の幅は、3mm程度、高さは2mm程度で十分である。

【0019】また、貫通長溝の裏面の長座ぐりには、各機能
部品毎に、取付け用のボルト孔に対応する雌ねじとモジ
ュールブロックの位置決め用の座ぐり付き空孔に対応す
る雌ねじを穿孔したフローティング板を2枚挿入する。
フローティング板は、貫通長溝の裏面の長座ぐり内を自
由に移動できることが肝要である。これによって、集積
型ガス供給ユニットのフローの追加、変更に対してベー
スプレートの改造をしなくても対応できる。

【0020】モジュールブロックの固定は、先ず各機能部品
毎に用意した2枚のフローティング板、すなわち、機能
部品取付け用のボルト孔に対応する雌ねじとモジュール
ブロック位置決め用のボルト孔に対応する雌ねじを穿孔
したフローティング板を、フローの順にベースプレート
裏面の各長座ぐりに機能部品の数だけ移動可能に挿入配
置する。そして、ベースプレート裏面には、フローティ
ング板が貫通長溝裏面の長座ぐりから外れないよう密閉
プレートを取付ける。

【0021】しかるのち、ベースプレート上面の座ぐり長溝
に各モジュールブロックの裏面の位置決め用凸条を嵌め
合わせてフローシートの順に配置する。そして、各モジ
ュールブロックは、位置決め用の座ぐり付き空孔にボル
トを通し、貫通長溝を介して該当するフローティング板
の雌ねじにねじ込んで位置決めするため、取付けボルト
の頭が座ぐりに入り、機能部品の取付けの邪魔にはなら
ない。

【0022】そのあと、各モジュールブロックの固定は、各
機能部品の入力ポートを上流側モジュールブロックのガ
ス流出口に、出力ポートを下流側モジュールブロックの
ガス流入口に位置させる。そして、各機能部品の取付け
用のボルト孔にボルトを通し、モジュールブロックの空
孔、貫通長溝を介して該当するフローティング板の雌ね
じにねじ込み、各機能部品とベースプレート間に各ジュ
ールブロックを挟んで固定する。これによって、各モジ
ュールブロックと各機能部品間のシール性能を維持する
ことができる。

【0023】

【実施例】本発明の集積型ガス供給ユニット用モジュー
ルブロック固定方法について、実施の一例を示す2系列
の場合の図面を参照して説明する。図1(a)はベースプレ
ートの平面図、図1(b)は図1(a)の側面図、図2(a)は図1
(a)の裏面図、図2(b)は図1(a)のA-A矢視図、図3は本発
明で用いるフローティング板の一例を示すもので、(a)
図は平面図、(b)図は正面図、(c)図は側面図、図4は本
発明で用いる最上流機能部品の入口分モジュールブロッ
クの一例を示すもので、(a)図は平面図、(b)図は正面
図、(c)図は左側面図、図5は機能部品の出口入口分モジ
ュールブロックの一例を示すもので、(a)図は平面図、
(b)図は正面図、(c)図は左側面図、図6はパージ弁モジ
ュールブロックの一例をを示すもので、(a)図は平面
図、(b)図は正面図、(c)図は左側面図、図7は最下流機
能部品の出口分モジュールブロックの一例をを示すもの
で、(a)図は平面図、(b)図は正面図、(c)図は左側面
図、図8は本発明のモジュールブロック固定方法で固定
した集積型ガス供給ユニットの一例を示す平面図、図9
は図8の側面図である。

【0024】図1(a)、(b)に示すように、本発明で用いるベ
ースプレート1は、プロセスガス搬送方向と平行に系列
数と同じモジュールブロック位置決め用の座ぐり長溝
2、2を、上面に各機能部品の長さ分配設する。また、ベ
ースプレート1には、図2(a)、(b)に示すように、座ぐり
長溝2、2を挟んで裏面に長座ぐり付き貫通長溝3を、各
機能部品の取付けボルト孔位置に対応して設置する。ベ
ースプレート1の裏面には、適宜位置にフローティング
板の落下を防止する密閉プレート固定用のタップ孔4を
設ける。さらに、ベースプレート1と密閉プレートの4隅
には、集積型ガス供給ユニット固定のためのボルト孔5
を有する。

【0025】本発明で用いるフローティング板11は、図3に
示すように、ベースプレート1の長座ぐり付き貫通長溝3
の裏面の長座ぐり幅より若干狭幅で、各機能部品とほぼ
同じ長さのステンレス製で、機能部品取付け用のボルト
孔に対応する雌ねじ12とモジュールブロック位置決め用
のボルト孔に対応する雌ねじ13を有している。

【0026】図4に示すように、本例で用いた入口分モジュ
ールブロック21は、正面に設けたガス流入口22と上面の
ガス流出口23をL字状貫通孔24で連通したもので、ベー
スプレート1に位置決めするための座ぐり付き空孔25と
機能部品をベースプレート1に取付けるための空孔26を
有する。入口分モジュールブロック21のL字状貫通孔24
の両側には、L字状貫通孔24の水平部と平行にカートリ
ッジヒータ配設のための貫通孔27を設ける。入口分モジ
ュールブロック21の裏面中央には、L字状貫通孔24の水
平部と平行なブロック位置決めのための凸条28を全長に
亘って設ける。

【0027】図5に示すように、本例で用いた機能部品の出
口入口分モジュールブロック31は、上面に設けたガス流
入口32とガス流出口33をV字状貫通孔34で連通したもの
で、ベースプレート1に位置決めするための座ぐり付き
空孔35と機能部品をベースプレート1に取付けるための
空孔36を有する。出口入口分モジュールブロック31のV
字状貫通孔34の両側には、プロセスガス搬送方向と平行
にカートリッジヒータ配設のための貫通孔37を設ける。
出口入口分モジュールブロック31の裏面中央には、プロ
セスガス搬送方向と平行にブロック位置決めのための凸
条38を全長に亘って設ける。

【0028】図6に示すように、本例で用いた集積型ガス供
給ユニット用のパージ弁分モジュールブロック41は、側
面に設けたパージガス導入配管を接続するパージガス導
入口42と上面に設けたパージ弁へのパージガス流出口43
をL字状貫通孔44で連通する。パージ弁分モジュールブ
ロック41のパージガス導入口42の反対側には、パージ弁
分モジュールブロック41をベースプレート1に位置決め
するための座ぐり付き空孔45を設ける。また、パージ弁
分モジュールブロック41のパージガス流出口43の斜め下
部には、カートリッジヒータ配設のための貫通孔47をプ
ロセスガス搬送方向と平行に設ける。パージ弁分モジュ
ールブロック41の裏面中央には、パージ弁分モジュール
ブロック41をベースプレートに位置決めするための凸条
48をプロセスガス搬送方向と平行に設ける。

【0029】図7に示すように、本例で用いた出口分モジュ
ールブロック51は、上面にガス流入口52と背面に設けた
プロセスガス抜き出し配管を接続するガス流出口53をL
字状貫通孔54で連通する。出口分モジュールブロック51
の両端には、出口分モジュールブロック51をベースプレ
ート1に位置決めするための座ぐり付き空孔55と最下流
機能部品をベースプレート1に取付けるための空孔56を
設ける。出口分モジュールブロック51のL字状貫通孔54
の両側斜め下方には、プロセスガス搬送方向と平行にカ
ートリッジヒータ配設のための貫通孔57を設ける。出口
分モジュールブロック51の裏面中央には、プロセスガス
搬送方向と平行にブロック位置決めのための凸条58を全
長に亘って設ける。

【0030】本例の集積型ガス供給ユニットは、図8、図9に
示すように、手動弁61、レギュレータ62、圧力計63、フ
ィルター64、入力弁65、パージ弁66、マスフローコント
ローラ67および出力弁68の順に、入口分モジュールブロ
ック21、出口入口分モジュールブロック31、パージ弁分
モジュールブロック41および出口分モジュールブロック
51をベース挟んでプレート1に固定する。

【0031】先ず、ベースプレート1の長座ぐり付き貫通長
溝3の各長座ぐりに、前記各機能部品毎に用意した2枚の
フローティング板11、すなわち、図3に示すように、各
機能部品取付け用のボルト孔に対応する雌ねじ12とモジ
ュールブロック位置決め用のボルト孔に対応する雌ねじ
13を穿孔した各フローティング板11a〜11hを、フローの
順に機能部品の数だけ移動可能に挿入配置する。そし
て、ベースプレート1裏面には、各フローティング板11a
〜11hが貫通長溝裏面の座ぐり長溝から外れないよう密
閉プレート14を、各タップ孔4にボルトをねじ込んで取
付ける。

【0032】しかるのち、ベースプレート1の上面の座ぐり
長溝2に、入口分モジュールブロック21、出口入口分モ
ジュールブロック31a〜31e、パージ弁分モジュールブロ
ック41、出口入口分モジュールブロック31f、出口分モ
ジュールブロック51に設けた各位置決め用凸条28、38、
48、58を嵌め合わせる。そして、入口分モジュールブロ
ック21、出口入口分モジュールブロック31a〜31e、パー
ジ弁分モジュールブロック41、出口入口分モジュールブ
ロック31f、31g、出口分モジュールブロック51の座ぐり
付き空孔25、35、45、55にボルトを通し、各フローティ
ング板11a〜11hの雌ねじ13にねじ込んで入口分モジュー
ルブロック21、出口入口分モジュールブロック31a〜31
e、パージ弁分モジュールブロック41、出口入口分モジ
ュールブロック31f、31g、出口分モジュールブロック51
をベースプレート1に直列に位置決め固定する。

【0033】手動弁61は、入口分モジュールブロック21の上
面のガス流出口23に入力ポートを、出口入口分ブロック
31aの上面のガス流入口32に出力ポートを位置させ、手
動弁61を空孔26、36を介して取付ボルトをフローティン
グ板11aの雌ねじ12にねじ込んでベースプレート1との間
に入口分モジュールブロック21、出口入口分ブロック31
aを挟んで固定する。

【0034】レギュレータ62は、出口入口分モジュールブロ
ック31aの上面のガス流出口33に入力ポートを、出口入
口分モジュールブロック31bの上面のガス流入口32に出
力ポートを位置させ、レギュレータ62を空孔36、36を介
して取付ボルトをフローティング板11bの雌ねじ12にね
じ込んでベースプレート1との間に出口入口分モジュー
ルブロック31a、31bを挟んで固定する。圧力計63は、出
口入口分モジュールブロック31bの上面のガス流出口33
に入力ポートを、出口入口分モジュールブロック31cの
上面のガス流入口32に出力ポートを位置させ、空孔36、
36を介して取付ボルトをフローティング板11cの雌ねじ1
2にねじ込んでベースプレート1との間に出口入口分モジ
ュールブロック31b、31cを挟んで固定する。

【0035】フィルター64は、出口入口分モジュールブロッ
ク31cの上面のガス流出口33に入力ポートを、出口入口
分モジュールブロック31dの上面のガス流入口32に出力
ポートを位置させ、空孔36、36を介して取付ボルトをフ
ローティング板11dの雌ねじ12にねじ込んでベースプレ
ート1との間に出口入口分モジュールブロック31c、31d
を挟んでベースプレート1に固定する。入力弁65は、出
口入口分モジュールブロック31d上面のガス流出口33に
入力ポートを、出口入口分モジュールブロック31eの上
面のガス流入口32に出力ポートを位置させ、空孔36、36
を介して取付ボルトをフローティング板11eの雌ねじ12
にねじ込んでベースプレート1との間に出口入口分モジ
ュールブロック31d、31eを挟んで固定する。

【0036】パージ弁66は、出口入口分モジュールブロック
31eの上面のガス流出口33に入力ポートを、出口入口分
モジュールブロック31fの上面のガス流入口32に出力ポ
ートを、パージ弁分モジュールブロック41の上面のパー
ジガス流出口43にパージ弁のパージガス入力ポートを位
置させ、空孔36、36を介して取付ボルトをフローティン
グ板11fの雌ねじ12にねじ込んでベースプレート1との間
に出口入口分モジュールブロック31e、31fおよびパージ
弁分モジュールブロック41を挟んで固定する。

【0037】マスフローコントローラ67は、入力ポートに入
力変換ブロック69が固定され、出力ポートに出力変換ブ
ロック70が固定されている。マスフローコントローラ67
は、出口入口分モジュールブロック31fの上面のガス流
出口33に入力変換ブロック69の入力ポートを、出口入口
分モジュールブロック31gの上面のガス流入口32に出力
変換ブロック70の出力ポートを位置させ、空孔36、36を
介して取付ボルトをフローティング板11gの雌ねじ12に
ねじ込んでベースプレート1との間に出口入口分モジュ
ールブロック31f、出口入口分モジュールブロック31gを
挟んで固定する。

【0038】出力弁68は、出口入口分モジュールブロック31
gの上面のガス流出口33に入力ポートを、出口分モジュ
ールブロック51の上面のガス流入口52に出力ポートを位
置させ、空孔36、56を介して取付ボルトをフローティン
グ板11hの雌ねじ12にねじ込んでベースプレート1との間
に出口入口分モジュールブロック31g、出口分モジュー
ルブロック51を挟んで固定する。

【0039】したがって、手動弁61、レギュレータ62、圧力
計63、フィルター64、入力弁65、パージ弁66、マスフロ
ーコントローラ67および出力弁68は、ベースプレート1
との間に入口分モジュールブロック21、出口入口分モジ
ュールブロック31a〜31g、パージ弁分モジュールブロッ
ク41および出口分モジュールブロック51を挟んで固定さ
れる。さらに、入口分モジュールブロック21のガス流入
口22にプロセスガス供給配管71を接続する。パージ弁分
モジュールブロック41のパージガス供給口42にパージガ
ス導入配管を接続する。出口分モジュールブロック51の
ガス流出口53にプロセスガス導出配管72を接続する。

【0040】このため、手動弁61、レギュレータ62、圧力計
63、フィルター64、入力弁65、パージ弁66、マスフロー
コントローラ67および出力弁68は、それぞれ2個のモジ
ュールブロックに跨ってベースプレート1との間に各モ
ジュールブロックを挟んで固定するから、各機能部品と
各モジュールブロック間のシール性能を維持することが
できる。

【0041】なお、プロセスガスが加熱を必要とする場合
は、入口分モジュールブロック21、出口入口分モジュー
ルブロック31a〜31g、パージ弁分モジュールブロック41
および出口分モジュールブロック51に設けた貫通孔27、
37、47、57にカートリッジヒーターを取付けすれば、よ
り均一に加熱できると共に、隣接するガスラインとの間
に、加熱を行わないガスラインと同様の間隔で対応する
ことができる。

【0042】また、ベースプレート1は、裏面に長座ぐり付
きの貫通長溝3を設け、裏面の長座ぐりに各機能部品に
対応するフローティング板11を挿入したことによって、
貫通長溝3のある範囲であれば、モジュールブロックの
種類の変更や追加も、取付け孔など再加工することなく
実施でき、フローの変更も容易である。

【0043】

【発明の効果】本発明の集積型ガス供給ユニット用モジ
ュールブロックの固定方法は、各モジュールブロックを
開閉弁等の機能部品とベースプレートとの間に挟んで固
定するから、高いシール性能が得られる。また、ベース
プレートには、裏面に座ぐり付きの貫通長溝を設け、裏
面の座ぐりに各機能部品固定のフローティング板を移動
自在に挿入するから、貫通長溝の範囲であればどの位置
にでもモジュールブロックを取付けでき、モジュールブ
ロックの種類の変更や追加、削除が可能で、容易にフロ
ーを変更できる。

【図面の簡単な説明】

【図1】図1(a)はベースプレートの平面図、図1(b)は図1
(a)の側面図である。

【図2】図2(a)は図1(a)の裏面図、図2(b)は図1(a)のA-A
矢視図である。

【図3】本発明で用いるフローティング板の一例を示す
もので、(a)図は平面図、(b)図は側面図、(c)図は正面
図である。

【図4】本発明で用いる最上流機能部品の入口分モジュ
ールブロックの一例を示すもので、(a)図は平面図、(b)
図は正面図、(c)図は左側面図である。

【図5】機能部品の出口入口分モジュールブロックの一
例を示すもので、(a)図は平面図、(b)図は正面図、(c)
図は左側面図である。

【図6】パージ弁モジュールブロックの一例をを示すも
ので、(a)図は平面図、(b)図は正面図、(c)図は左側面
図である。

【図7】最下流機能部品のモジュール出口分ブロックの
一例をを示すもので、(a)図は平面図、(b)図は正面図、
(c)図は左側面図である。

【図8】本発明のモジュールブロック固定方法で固定し
た集積型ガス供給ユニットの一例を示す平面図である。

【図9】図8の側面図である。

【符号の説明】

1 ベースプレート 2 座ぐり長溝 3 貫通長溝 4 タップ孔 5 ボルト孔 11 フローティング板 12、13 雌ねじ 21 入口分モジュールブロック 22、32、52 ガス流入口 23、33、53 ガス流出口 24、44、54 L字状貫通孔 25、35、45、55 座ぐり付き空孔 26、36、56 空孔 27、37、47、57 貫通孔 28、38、48、58 凸条 31 出口入口分モジュールブロック 34 V字状貫通孔 41 パージ弁分モジュールブロック 42 パージガス導入口 43 パージガス流出口 51 出口分モジュールブロック 61 手動弁 62 レギュレータ 63 圧力計 64 フィルター 65 入力弁 66 パージ弁 67 マスフローコントローラ 68 出力弁 69 入力変換ブロック 70 出力変換ブロック 71 プロセスガス供給配管 72 プロセスガス導出配管

フロントページの続き (72)発明者 柴崎 将人 和歌山県和歌山市湊1850番地 共同酸素株 式会社内 (72)発明者 森 文彦 和歌山県和歌山市湊1850番地 共同酸素株 式会社内 Ｆターム(参考） 3H019 BA33 BD05 3H051 BB02 BB03 CC01 DD02 FF01 FF15 3J106 AB01 BA02 BB02 BC09 BD01 BE33 BE40 CA11 5F004 BC03

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項1】 直列配置の集積型ガス供給ユニットの開
   閉弁等の機能部品と接続するモジュールブロックの固定
   方法であって、上面のガス流入口とガス流出口をV字状
   貫通孔で連通した各モジュールブロックを、前記各機能
   部品の入力ポートを上流側モジュールブロックのガス流
   出口に、出力ポートを下流側モジュールブロックのガス
   流入口に位置させ、各機能部品とベースプレート間に挟
   んで固定することを特徴とする集積型ガス供給ユニット
   用モジュールブロック固定方法。
2. 【請求項2】 ベースプレート上面に各モジュールブロ
   ックの裏面に設けたプロセスガスの搬送方向と平行な位
   置決め用凸条がはまる座ぐり長溝と、各モジュールブロ
   ックの両側に設けた位置決め用座ぐり付き空孔と機能部
   品取付け用空孔位置に貫通長溝を設け、ベースプレート
   裏面の前記貫通長溝に長座ぐりを設け、該長座ぐりに各
   モジュールブロックの前記位置決め用座ぐり付き空孔と
   機能部品取付け用空孔位置に対応する雌ねじを有する各
   フローティング板を移動可能に配置し、ベースプレート
   上面の座ぐり長溝に各モジュールブロック裏面の位置決
   め用凸条を嵌め合わせ、モジュールブロックの位置決め
   用座ぐり付き空孔に対応するフローティング板の雌ねじ
   にボルトを通してモジュールブロックをベースプレート
   に位置決めしたのち、前記各機能部品の入力ポートを上
   流側モジュールブロックのガス流出口に、出力ポートを
   下流側モジュールブロックのガス流入口に位置させ、各
   機能部品のボルト孔から機能部品取付け用空孔を介して
   モジュールブロックの機能部品取付け用空孔位置に対応
   するフローティング板の雌ねじにボルトを通し、モジュ
   ールブロックを各機能部品とベースプレート間に挟んで
   固定することを特徴とする集積型ガス供給ユニット用モ
   ジュールブロック固定方法。