JP2002174400A - 集積化ユニット - Google Patents
集積化ユニットInfo
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- JP2002174400A JP2002174400A JP2000372055A JP2000372055A JP2002174400A JP 2002174400 A JP2002174400 A JP 2002174400A JP 2000372055 A JP2000372055 A JP 2000372055A JP 2000372055 A JP2000372055 A JP 2000372055A JP 2002174400 A JP2002174400 A JP 2002174400A
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- integrated unit
- holding member
- flow path
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F17—STORING OR DISTRIBUTING GASES OR LIQUIDS
- F17D—PIPE-LINE SYSTEMS; PIPE-LINES
- F17D1/00—Pipe-line systems
- F17D1/02—Pipe-line systems for gases or vapours
- F17D1/04—Pipe-line systems for gases or vapours for distribution of gas
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
- Y10T137/87885—Sectional block structure
Abstract
(57)【要約】
【課題】 締付不良が相互に関与することが無く、信頼
性は個々のシール部の独立したものとなり、従来より信
頼性の高い集積ユニットを提供すること。 【解決手段】 複数の制御機器１０ａ，１０ｂを一体化
し、一つの制御機器１０ａの流路と他の制御機器１０ｂ
の流路とを接続してなる集積化ユニットにおいて、制御
機器１０ａの一つの流路に対応して一つの保持部材１１
ａを配置し、保持部材１１ａは、対応する制御機器１０
ａにのみ固定され他の制御機器１０ｂには固定されてい
ないことを特徴とする。梁及びボス部とからなり内部が
空洞であることを特徴とする集積化ユニット用の制御機
器の保持部材。
性は個々のシール部の独立したものとなり、従来より信
頼性の高い集積ユニットを提供すること。 【解決手段】 複数の制御機器１０ａ，１０ｂを一体化
し、一つの制御機器１０ａの流路と他の制御機器１０ｂ
の流路とを接続してなる集積化ユニットにおいて、制御
機器１０ａの一つの流路に対応して一つの保持部材１１
ａを配置し、保持部材１１ａは、対応する制御機器１０
ａにのみ固定され他の制御機器１０ｂには固定されてい
ないことを特徴とする。梁及びボス部とからなり内部が
空洞であることを特徴とする集積化ユニット用の制御機
器の保持部材。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体、液晶製造装
置、および、その上流側のバルブボックス等のガス供給
系の高純度流体を供給する集積化ユニットにおいて、各
流体制御機器を連結し高純度流体を流すための機器連結
流路に関する。
置、および、その上流側のバルブボックス等のガス供給
系の高純度流体を供給する集積化ユニットにおいて、各
流体制御機器を連結し高純度流体を流すための機器連結
流路に関する。
【０００２】
【従来の技術】現在、コンパクト化を目的として、バル
ブ、マスフローコントローラー、流量測定器その他の制
御機器を一体化した集積ユニットが一般的となってきて
いる。
ブ、マスフローコントローラー、流量測定器その他の制
御機器を一体化した集積ユニットが一般的となってきて
いる。
【０００３】従来の集積ユニットの代表的な構造図とし
て、図９に示すものがあげられる（特開平１０−３１１
４５０号公報）。
て、図９に示すものがあげられる（特開平１０−３１１
４５０号公報）。
【０００４】この集積ユニットを概念的に図１（ａ）に
示す。図１（ａ）では、制御機器として、バルブ１０ａ
とマスフローコントローラ１０ｂを例としてあげてい
る。１１ａ，１１ｂ，１１ｃは制御機器１０ａ，１０ｂ
を保持するための保持部材である。制御機器１０ａ，１
０ｂは、フランジ１２ａ，１２ｂ，１２ｃを介して保持
部材に保持される。また、保持部材は剛体からなり、そ
の内部には流路が形成されている。すなわち、保持部材
１１ａには、流路１３ａ−１，１３ａ−２が形成され、
保持部材１１ｂには、流路１３ｂ−１，１３ｂ−２が形
成され、保持部材１１ｃには、流路１３ｃ−１，１３ｃ
−２がそれぞれ形成されている。
示す。図１（ａ）では、制御機器として、バルブ１０ａ
とマスフローコントローラ１０ｂを例としてあげてい
る。１１ａ，１１ｂ，１１ｃは制御機器１０ａ，１０ｂ
を保持するための保持部材である。制御機器１０ａ，１
０ｂは、フランジ１２ａ，１２ｂ，１２ｃを介して保持
部材に保持される。また、保持部材は剛体からなり、そ
の内部には流路が形成されている。すなわち、保持部材
１１ａには、流路１３ａ−１，１３ａ−２が形成され、
保持部材１１ｂには、流路１３ｂ−１，１３ｂ−２が形
成され、保持部材１１ｃには、流路１３ｃ−１，１３ｃ
−２がそれぞれ形成されている。
【０００５】制御機器を集積化するに際しては、制御機
器１０ａの一つの流路と、フランジ１２ａの孔と、保持
部材１１ａの流路１３ａ−１とが連通状態となり、ま
た、制御機器１０ａのもう一つの流路と、フランジ１２
ａの孔と、保持部材１１ｂの流路１３ｂ−１とが連通状
態となるように、ピンなどにより、制御機器１０ａ、フ
ランジ１２ａ、保持部材１１ａの位置合わせを行る。ま
た、制御器１０ｂについても同様に位置合わせを行う。
そして、制御機器１０ａは、フランジ１２ａを介して、
保持部材１１ａと１１ｂとにボルトなどにより固定取り
付けされる。一方、制御部材１０ｂは、フランジ１２ｂ
を介して保持部材１１ｂ及び１１ｃとにボルトなどによ
り固定取り付けされる。
器１０ａの一つの流路と、フランジ１２ａの孔と、保持
部材１１ａの流路１３ａ−１とが連通状態となり、ま
た、制御機器１０ａのもう一つの流路と、フランジ１２
ａの孔と、保持部材１１ｂの流路１３ｂ−１とが連通状
態となるように、ピンなどにより、制御機器１０ａ、フ
ランジ１２ａ、保持部材１１ａの位置合わせを行る。ま
た、制御器１０ｂについても同様に位置合わせを行う。
そして、制御機器１０ａは、フランジ１２ａを介して、
保持部材１１ａと１１ｂとにボルトなどにより固定取り
付けされる。一方、制御部材１０ｂは、フランジ１２ｂ
を介して保持部材１１ｂ及び１１ｃとにボルトなどによ
り固定取り付けされる。
【０００６】保持部材１１ａ，１１ｂ，１１ｃはその底
面において、一枚のボードなど（図示せず）に固定され
制御機器は一体化され集積ユニットとされる。
面において、一枚のボードなど（図示せず）に固定され
制御機器は一体化され集積ユニットとされる。
【０００７】しかるに、かかる構造により各制御機器を
連結する流路（サブストレート）には以下に示すような
欠点がある。
連結する流路（サブストレート）には以下に示すような
欠点がある。
【０００８】通常、２つの制御機器を連結する場合、
２穴の（シール部を２ヶ有する）サブストレート（ブロ
ック継ぎ手）を用いて制御機器を接続する。集積ユニッ
トは基本的にこの繰り返しで、制御機器、フランジ、サ
ブストレートが交互にレンガ状に積み上げられている。
制御機器、フランジ、サブストレートはボルトで締結す
るため、その機器、サブストレートの寸法誤差に起因す
る締付力のバラツキが発生する。従来のサブストレート
は剛性が高いため締付力のバラツキが相互に影響しあう
ものとなる。これらは、現実問題として検査で発見でき
ない（紙一重でシールされている）シール箇所を作り易
いことを意味する。それが、振動、衝撃などによって外
部リークにつながってしまう。この点が従来の集積ユニ
ットの致命的な欠陥である。
２穴の（シール部を２ヶ有する）サブストレート（ブロ
ック継ぎ手）を用いて制御機器を接続する。集積ユニッ
トは基本的にこの繰り返しで、制御機器、フランジ、サ
ブストレートが交互にレンガ状に積み上げられている。
制御機器、フランジ、サブストレートはボルトで締結す
るため、その機器、サブストレートの寸法誤差に起因す
る締付力のバラツキが発生する。従来のサブストレート
は剛性が高いため締付力のバラツキが相互に影響しあう
ものとなる。これらは、現実問題として検査で発見でき
ない（紙一重でシールされている）シール箇所を作り易
いことを意味する。それが、振動、衝撃などによって外
部リークにつながってしまう。この点が従来の集積ユニ
ットの致命的な欠陥である。
【０００９】金属ブロック内に流路が形成されている
ために、必要以上に重い。
ために、必要以上に重い。
【００１０】金属ブロック内に流路を形成するために
機械加工（斜め穴加工）を行なうので製造コストが高
い。このブロックは、上述の問題のために寸法精度を
要求せざるを得ず、従って、コストアップになってしま
う。また、内表面に電解研磨処理を施工するためさらに
コストアップとなる。
機械加工（斜め穴加工）を行なうので製造コストが高
い。このブロックは、上述の問題のために寸法精度を
要求せざるを得ず、従って、コストアップになってしま
う。また、内表面に電解研磨処理を施工するためさらに
コストアップとなる。
【００１１】バルブ、ＭＦＣ（マスフローコントロー
ラー）、圧力センサー等の制御機器に合わせてサブスト
レートが必要になる。（図２：サブストレートの種類）
ラー）、圧力センサー等の制御機器に合わせてサブスト
レートが必要になる。（図２：サブストレートの種類）
【００１２】現在の集積ユニットでは数種類の集積ユ
ニットの方式が存在し、相互に互換性が無いため、（集
積ユニットの種類）×（ の接続（コンポーネント）
の種類）となる。（図３：シール方式） これが、現在の集積ユニットの標準化の妨げとなり、ト
ータルコスト削減の障害となっている。
ニットの方式が存在し、相互に互換性が無いため、（集
積ユニットの種類）×（ の接続（コンポーネント）
の種類）となる。（図３：シール方式） これが、現在の集積ユニットの標準化の妨げとなり、ト
ータルコスト削減の障害となっている。
【００１３】ガスユニットは制御の確実性という観点
から反応チャンバーに近い方が望ましい。通常の、継手
で接続するガスユニットでは、大きすぎてチャンバーに
近づけられなかったが、集積化ユニットにすることによ
ってその大きさが、集積化しない場合の１／４程度にま
でコンパクト化し、チャンバー近傍に設置できるように
なった。その中で、チャンバー側面に設置されるケース
が増えてきているが、この場合、ガスパネルとしては垂
直取り付けとなってしまう。垂直に取り付けられること
によりコンポーネント（バルブ、マスフローコントロー
ラーなどの制御機器）の自重によりコンポーネントとサ
ブストレートとの間のシール部分に、水平設置の場合に
は働かないモーメントが働く。従って、垂直設置の場合
は、水平設置の場合よりもシール性が悪い。
から反応チャンバーに近い方が望ましい。通常の、継手
で接続するガスユニットでは、大きすぎてチャンバーに
近づけられなかったが、集積化ユニットにすることによ
ってその大きさが、集積化しない場合の１／４程度にま
でコンパクト化し、チャンバー近傍に設置できるように
なった。その中で、チャンバー側面に設置されるケース
が増えてきているが、この場合、ガスパネルとしては垂
直取り付けとなってしまう。垂直に取り付けられること
によりコンポーネント（バルブ、マスフローコントロー
ラーなどの制御機器）の自重によりコンポーネントとサ
ブストレートとの間のシール部分に、水平設置の場合に
は働かないモーメントが働く。従って、垂直設置の場合
は、水平設置の場合よりもシール性が悪い。
【００１４】隣接した制御機器同士の流通路しか接続
できない。
できない。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】保持部材１１ａには、
流路１３ａ−１，１３ａ−２が形成され従来のサブスト
レートの欠点である下記〜の解決が必要である。 剛体同志での接続のため外部リーク発生の危険性を回
避できない。 重い。 機器毎に異なるサブストレートが必要となる。 シール方式毎に異なるサブストレートが必要となる。 高価（集積化せずに継手接続したガスユニットより製
造原価が高い）。
流路１３ａ−１，１３ａ−２が形成され従来のサブスト
レートの欠点である下記〜の解決が必要である。 剛体同志での接続のため外部リーク発生の危険性を回
避できない。 重い。 機器毎に異なるサブストレートが必要となる。 シール方式毎に異なるサブストレートが必要となる。 高価（集積化せずに継手接続したガスユニットより製
造原価が高い）。
【００１６】本発明は、上記欠点を解決し、信頼性の高
い集積化ユニットを提供することを目的とする。
い集積化ユニットを提供することを目的とする。
【００１７】
【実施例】（実施例１）図１（ｂ）に実施例に係る集積
化ユニットを示す。
化ユニットを示す。
【００１８】複数の制御機器１０ａ，１０ｂを一体化
し、一つの制御機器１０ａの流路と他の制御機器１０ｂ
の流路とを接続してなる集積化ユニットにおいて、制御
機器１０ａの一つの流路に対応して一つの保持部材１１
ａを配置したことを特徴としている。
し、一つの制御機器１０ａの流路と他の制御機器１０ｂ
の流路とを接続してなる集積化ユニットにおいて、制御
機器１０ａの一つの流路に対応して一つの保持部材１１
ａを配置したことを特徴としている。
【００１９】保持部材１１ａの詳細を図２に１１として
示す。
示す。
【００２０】この保持部材１１は、梁２５及びボス部２
６とからなり内部が空洞である。この保持部材１１には
穴２４，２８が形成されている。また、ボス部２６には
その側面にはめ込み溝２７が形成されている。
６とからなり内部が空洞である。この保持部材１１には
穴２４，２８が形成されている。また、ボス部２６には
その側面にはめ込み溝２７が形成されている。
【００２１】穴２４は、制御機器１０ａをフランジ１２
ａを介して保持部材１１ａにネジ止めして固定するため
の穴であり、穴２８は保持部材１１をパネルなどに取り
付け固定するための穴である。
ａを介して保持部材１１ａにネジ止めして固定するため
の穴であり、穴２８は保持部材１１をパネルなどに取り
付け固定するための穴である。
【００２２】一方、図２（ａ）には流路部材２０を示
す。流路部材２０、可撓性チューブ２３の両端にスリー
ブ２２が設けられている。路部材２０、スリーブ２２と
チューブ２３とにより構成されており、スリーブ２２
は、各種のシール方式に対応したシール部とパイプを
（レーザー）溶接するための開先部分から成っている。
す。流路部材２０、可撓性チューブ２３の両端にスリー
ブ２２が設けられている。路部材２０、スリーブ２２と
チューブ２３とにより構成されており、スリーブ２２
は、各種のシール方式に対応したシール部とパイプを
（レーザー）溶接するための開先部分から成っている。
【００２３】チューブ２３は可撓性を有していればよ
く、通常使用されている１／４“（外径φ６．３５ｍｍ
×内径φ４．３５ｍｍ）チューブよりも細径のものを用
いて配管のフレキシビリティを持たせればよい。
く、通常使用されている１／４“（外径φ６．３５ｍｍ
×内径φ４．３５ｍｍ）チューブよりも細径のものを用
いて配管のフレキシビリティを持たせればよい。
【００２４】図３に、流路部材２０と保持部材１１との
組み合わせ構造を示す。
組み合わせ構造を示す。
【００２５】ボス部２６のはめ込み溝２７から流路部材
２０のチューブを入れ、ボス部２６に流路部材２０のス
リーブ２２をはめ込む。本例では、スリーブ２２の上部
に浅いへこみを設けてあり、そのへこみにガスケット３
０を載置する。ガスケット３０にはガスケットリテーナ
ー３１が設けてある。ガスケットリテナー３１は、ボス
部内壁に設けられた切り欠き部３３における２重屈曲に
よりスリーブ２２と機器保持部１１のボス部２６に弾性
固定される。
２０のチューブを入れ、ボス部２６に流路部材２０のス
リーブ２２をはめ込む。本例では、スリーブ２２の上部
に浅いへこみを設けてあり、そのへこみにガスケット３
０を載置する。ガスケット３０にはガスケットリテーナ
ー３１が設けてある。ガスケットリテナー３１は、ボス
部内壁に設けられた切り欠き部３３における２重屈曲に
よりスリーブ２２と機器保持部１１のボス部２６に弾性
固定される。
【００２６】機器保持部１１の上にさらに制御機器１０
ａをネジ止めする。
ａをネジ止めする。
【００２７】なお、機器保持部１１は、例えばＭＩＭ
（Ｍｅｔａｌ ＩｎｊｅｃｔｉｏｎＭｏｌｄｉｎｇ／金
属粉体射出成形法）にて形成できる。図２では、成形し
た梁とリブのみの構造体にヘリサートを挿入してネジ接
続部を構成しているが、他の構造でもよい。また、下部
のネジ部２８は、上方の間隙部より工具挿入出来るよう
にオフセットしている。
（Ｍｅｔａｌ ＩｎｊｅｃｔｉｏｎＭｏｌｄｉｎｇ／金
属粉体射出成形法）にて形成できる。図２では、成形し
た梁とリブのみの構造体にヘリサートを挿入してネジ接
続部を構成しているが、他の構造でもよい。また、下部
のネジ部２８は、上方の間隙部より工具挿入出来るよう
にオフセットしている。
【００２８】図に示す様に機械加工部分は全く存在せ
ず、そのための製造コストは発生しない。
ず、そのための製造コストは発生しない。
【００２９】（実施例２）図４に他の例を示す。
【００３０】本例では、機器保持部１１のボス部２６の
下端にフレキシブル部分３５を設けるとともに、スリー
ブ２２の外側のフレキシブル部分３５が来る部分に膨ら
み部３５を設けてある。フレキシブル部分３５と膨らみ
部３５との係合により流路部材のスリーブ２２は弾性固
定される。
下端にフレキシブル部分３５を設けるとともに、スリー
ブ２２の外側のフレキシブル部分３５が来る部分に膨ら
み部３５を設けてある。フレキシブル部分３５と膨らみ
部３５との係合により流路部材のスリーブ２２は弾性固
定される。
【００３１】（実施例３）図５に機器保持部の一例を示
す。
す。
【００３２】（実施例４）図６に他の例を示す。
【００３３】流路部材をスリーブとチューブの溶接で構
成する例を示したが、溶接を用いなくとも流路部材を構
成することができる。
成する例を示したが、溶接を用いなくとも流路部材を構
成することができる。
【００３４】すなわち、チューブ２３の外面に押さえピ
ース保持し、チューブ２３端面にてガスケットとシール
する構造である。本例は、Ｃ型リング４０を用いている
が、スリーブをチューブ外面で溶接保持してもよい。ま
た、チューブ両端をフレア加工してガスケットシール面
を構成することもできる。
ース保持し、チューブ２３端面にてガスケットとシール
する構造である。本例は、Ｃ型リング４０を用いている
が、スリーブをチューブ外面で溶接保持してもよい。ま
た、チューブ両端をフレア加工してガスケットシール面
を構成することもできる。
【００３５】（実施例５）図７に実施例５を示す。
【００３６】本例では、一つの制御機器１０ａに対応し
て一つの保持部材１１ａを配置してある。他の制御機器
１０ｂに対応して一つの保持部材１１ｂを配置してあ
る。
て一つの保持部材１１ａを配置してある。他の制御機器
１０ｂに対応して一つの保持部材１１ｂを配置してあ
る。
【００３７】制御機器に複数の流路が形成されているた
め、保持部材１１には、図７（ｂ）に示すように、複数
のボス部２６ａ，２６ｂが形成されている。
め、保持部材１１には、図７（ｂ）に示すように、複数
のボス部２６ａ，２６ｂが形成されている。
【００３８】本例においても、独立締結をすることによ
り相互お制御機器間の機械的強度的連結性を絶ってい
る。
り相互お制御機器間の機械的強度的連結性を絶ってい
る。
【００３９】（実施例６）図８に実施例６を示す。
【００４０】本例は、一つの制御機器１０ａと他の制御
機器１０ｂとを横方向接続した例である。従来の集積ユ
ニットにおいては、かかる横方向接続は可能ではなかっ
た。
機器１０ｂとを横方向接続した例である。従来の集積ユ
ニットにおいては、かかる横方向接続は可能ではなかっ
た。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば以下の諸々の効果を達成
することができる。
することができる。
【００４２】従来の剛体と多シールサブストレートの問
題であった締付不良が相互に関与することが無く、信頼
性は個々のシール部の独立したものとなり、従来より信
頼性が向上する。
題であった締付不良が相互に関与することが無く、信頼
性は個々のシール部の独立したものとなり、従来より信
頼性が向上する。
【００４３】従来のサブストレートは単体の場合よりも
複数個接続、複数ライン（系統）接続した場合の方が信
頼性が低下していたが、本案の場合は単体の信頼性がユ
ニット全体の信頼性と同レベルで考えることができるよ
うになった。
複数個接続、複数ライン（系統）接続した場合の方が信
頼性が低下していたが、本案の場合は単体の信頼性がユ
ニット全体の信頼性と同レベルで考えることができるよ
うになった。
【００４４】また、独立シールとなったためにサブスト
レート自身の寸法精度をシビアに要求しなくてもシール
可能となった。
レート自身の寸法精度をシビアに要求しなくてもシール
可能となった。
【００４５】本案では、機器保持部と流路構成部を機能
分担し、しかも機器保持部のフレームを強度上必要な部
分のみとしたために大幅な軽量化（従来のサブストレー
トの約１／１０）が達成された。
分担し、しかも機器保持部のフレームを強度上必要な部
分のみとしたために大幅な軽量化（従来のサブストレー
トの約１／１０）が達成された。
【００４６】機器保持部には機械加工部分は全く存在せ
ず、そのための製造コストは発生しない。
ず、そのための製造コストは発生しない。
【００４７】流路に対して標準的に要求されるＥＰ（電
解研磨）仕様に対しても下記の様なシンプルな処理で済
むために、金属ブロックを機械加工して複雑形状を電解
研磨する従来方式に比べ格段に低コスト化可能である。
解研磨）仕様に対しても下記の様なシンプルな処理で済
むために、金属ブロックを機械加工して複雑形状を電解
研磨する従来方式に比べ格段に低コスト化可能である。
【００４８】現在の集積ユニットは、（同一の機器であ
っても）シール方式毎にサブストレートが異なるために
各種のシール方式の集積化ユニットを製造する組立業者
は全く存在せず、組立業者はある特定のシール方式のみ
製造対応するという状況である。
っても）シール方式毎にサブストレートが異なるために
各種のシール方式の集積化ユニットを製造する組立業者
は全く存在せず、組立業者はある特定のシール方式のみ
製造対応するという状況である。
【００４９】本方式のサブストレートであれば、機器保
持部は共通に使用することができ、流路構成部のスリー
ブのシール部分のみをシール方式毎に準備することで足
り、各種シール方式の集積ユニットにフレキシブルに対
応可能となる。
持部は共通に使用することができ、流路構成部のスリー
ブのシール部分のみをシール方式毎に準備することで足
り、各種シール方式の集積ユニットにフレキシブルに対
応可能となる。
【００５０】独立締結（シール部１ケ所に対して１ケの
サブストレートが対応）しているため、シール部相互の
位置関係には精度が要求されない。よって、従来のサブ
ストレートに必要であったピンなどの位置決め要素が不
要となる。
サブストレートが対応）しているため、シール部相互の
位置関係には精度が要求されない。よって、従来のサブ
ストレートに必要であったピンなどの位置決め要素が不
要となる。
【図１】図１（ａ）は従来のユニットを例を示し、図１
（ｂ）は実施例の集積ユニットを示す図である。
（ｂ）は実施例の集積ユニットを示す図である。
【図２】実施例１に係り、流路部材と機器保持部を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】図１（ｂ）の部分拡大内部断面図である。
【図４】実施例２を示す断面図である。
【図５】実施例３に係り、機器保持部の六面図である。
【図６】実施例４に係り、流路部材の断面図である。
【図７】実施例５に係り、図７（ａ）は集積ユニットの
概念図であり、図７（ｂ）は機器保持部の斜視図であ
る。
概念図であり、図７（ｂ）は機器保持部の斜視図であ
る。
【図８】実施例６に係り、集積ユニットの概念図であ
る。
る。
【図９】従来例に係り、集積ユニットの正面図である。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年３月２３日（２００１．３．２
３）
３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００４】この集積ユニットを概念的に図１（ａ）に
示す。図１（ａ）では、制御機器として、バルブ１０ａ
とマスフローコントローラ１０ｂを例としてあげてい
る。１１ａ，１１ｂ，１１ｃは制御機器１０ａ，１０ｂ
を保持するための保持部材である。制御機器１０ａ，１
０ｂは、フランジ１２ａ，１２ｂを介して保持部材に保
持される。また、保持部材は剛体からなり、その内部に
は流路が形成されている。すなわち、保持部材１１ａに
は、流路１３ａ−１，１３ａ−２が形成され、保持部材
１１ｂには、流路１３ｂ−１，１３ｂ−２が形成され、
保持部材１１ｃには、流路１３ｃ−１，１３ｃ−２がそ
れぞれ形成されている。
示す。図１（ａ）では、制御機器として、バルブ１０ａ
とマスフローコントローラ１０ｂを例としてあげてい
る。１１ａ，１１ｂ，１１ｃは制御機器１０ａ，１０ｂ
を保持するための保持部材である。制御機器１０ａ，１
０ｂは、フランジ１２ａ，１２ｂを介して保持部材に保
持される。また、保持部材は剛体からなり、その内部に
は流路が形成されている。すなわち、保持部材１１ａに
は、流路１３ａ−１，１３ａ−２が形成され、保持部材
１１ｂには、流路１３ｂ−１，１３ｂ−２が形成され、
保持部材１１ｃには、流路１３ｃ−１，１３ｃ−２がそ
れぞれ形成されている。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正内容】
【０００５】制御機器を集積化するに際しては、制御機
器１０ａの一つの流路と、フランジ１２ａの孔と、保持
部材１１ａの流路１３ａ−２とが連通状態となり、ま
た、制御機器１０ａのもう一つの流路と、フランジ１２
ａの孔と、保持部材１１ｂの流路１３ｂ−１とが連通状
態となるように、ピンなどにより、制御機器１０ａ、フ
ランジ１２ａ、保持部材１１ａの位置合わせを行る。ま
た、制御器１０ｂについても同様に位置合わせを行う。
そして、制御機器１０ａは、フランジ１２ａを介して、
保持部材１１ａと１１ｂとにボルトなどにより固定取り
付けされる。一方、制御部材１０ｂは、フランジ１２ｂ
を介して保持部材１１ｂ及び１１ｃとにボルトなどによ
り固定取り付けされる。
器１０ａの一つの流路と、フランジ１２ａの孔と、保持
部材１１ａの流路１３ａ−２とが連通状態となり、ま
た、制御機器１０ａのもう一つの流路と、フランジ１２
ａの孔と、保持部材１１ｂの流路１３ｂ−１とが連通状
態となるように、ピンなどにより、制御機器１０ａ、フ
ランジ１２ａ、保持部材１１ａの位置合わせを行る。ま
た、制御器１０ｂについても同様に位置合わせを行う。
そして、制御機器１０ａは、フランジ１２ａを介して、
保持部材１１ａと１１ｂとにボルトなどにより固定取り
付けされる。一方、制御部材１０ｂは、フランジ１２ｂ
を介して保持部材１１ｂ及び１１ｃとにボルトなどによ
り固定取り付けされる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１１】バルブ、ＭＦＣ（マスフローコントロー
ラー）、圧力センサー等の制御機器に合わせてサブスト
レートが必要になる。
ラー）、圧力センサー等の制御機器に合わせてサブスト
レートが必要になる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１２】現在の集積ユニットでは数種類の集積ユ
ニットの方式が存在し、相互に互換性が無いため、（集
積ユニットの種類）×（ の接続（コンポーネント）
の種類）となる。これが、現在の集積ユニットの標準化
の妨げとなり、トータルコスト削減の障害となってい
る。
ニットの方式が存在し、相互に互換性が無いため、（集
積ユニットの種類）×（ の接続（コンポーネント）
の種類）となる。これが、現在の集積ユニットの標準化
の妨げとなり、トータルコスト削減の障害となってい
る。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４７】流路に対して標準的に要求されるＥＰ（電
解研磨）仕様に対してもシンプルな処理で済むために、
金属ブロックを機械加工して複雑形状を電解研磨する従
来方式に比べ格段に低コスト化可能である。
解研磨）仕様に対してもシンプルな処理で済むために、
金属ブロックを機械加工して複雑形状を電解研磨する従
来方式に比べ格段に低コスト化可能である。
Claims (10)
- 【請求項１】 複数の制御機器を一体化し、一つの制御
機器の流路と他の制御機器の流路とを接続してなる集積
化ユニットにおいて、 制御機器の一つの流路に対応して一つの保持部材を配置
し、該保持部材は、対応する制御機器にのみ固定され他
の制御機器には固定されていないことを特徴とする集積
化ユニット。 - 【請求項２】 複数の制御機器を一体化し、一つの制御
機器の流路と他の制御機器の流路とを接続してなる集積
化ユニットにおいて、 一つの制御機器に対応して一つの保持部材を配置し、該
保持部材は、対応する制御機器にのみ固定され他の制御
機器には固定されていないことを特徴とする集積化ユニ
ット。 - 【請求項３】 梁及びボス部とからなり内部が空洞であ
ることを特徴とする集積化ユニット用の制御機器の保持
部材。 - 【請求項４】 ボス部は一つであることを特徴とする請
求項３記載の集積化ユニット用の制御機器の保持部材。 - 【請求項５】 ボス部は複数であることを特徴とする請
求項３記載の集積化ユニット用の制御機器の保持部材。 - 【請求項６】 ボス部内壁側面に切欠き部が形成されて
いることを特徴とする請求項３ないし５のいずれか１項
記載の保持部材。 - 【請求項７】 可撓性チューブの両端にスリーブが接続
されていることを特徴とする集積化ユニット用の流路部
材。 - 【請求項８】 前記可撓性チューブの内径は、制御機器
の流路内径より小さいことを特徴とする請求項７記載の
集積化ユニット用の流路部材。 - 【請求項９】 梁及びボス部とからなり内部が空洞であ
る保持部材と、可撓性チューブの両端にスリーブが接続
されている流路部材との組み合わせであり、該スリーブ
の一つを該ボス部に載置したことを特徴とする組み合わ
せ構造。 - 【請求項１０】 梁及びボス部とからなり内部が空洞で
あり、該ボス部の内壁に切り欠き部が形成されている保
持部材の該ボス部に、可撓性チューブの両端にスリーブ
が接続されている流路部材の該スリーブの一つを載置
し、二重屈曲させた先端部を有するガスケットリテーナ
ーを有するリテーナを制御機器とスリーブとの間に介在
させるとともに、該二重屈曲させた部分を前記切り欠け
部に挿入したことを特徴とする接続構造。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000372055A JP2002174400A (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | 集積化ユニット |
| US10/005,634 US20020117221A1 (en) | 2000-12-06 | 2001-12-05 | Integration unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000372055A JP2002174400A (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | 集積化ユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002174400A true JP2002174400A (ja) | 2002-06-21 |
Family
ID=18841661
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000372055A Pending JP2002174400A (ja) | 2000-12-06 | 2000-12-06 | 集積化ユニット |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020117221A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002174400A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7575616B2 (en) * | 2006-02-10 | 2009-08-18 | Entegris, Inc. | Low-profile surface mount filter |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10311450A (ja) * | 1997-05-08 | 1998-11-24 | Tadahiro Omi | 流体制御器用継手 |
-
2000
- 2000-12-06 JP JP2000372055A patent/JP2002174400A/ja active Pending
-
2001
- 2001-12-05 US US10/005,634 patent/US20020117221A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10311450A (ja) * | 1997-05-08 | 1998-11-24 | Tadahiro Omi | 流体制御器用継手 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020117221A1 (en) | 2002-08-29 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050314 |
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