TW381281B - Field emission element - Google Patents

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經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 __B7_ 五、發明説明（1 ) 發明所诚的持術領域 本發明為關於電埸放射元件者。 晋用的抟術 當對於金屬或半導體表面的施加電場提高到109[v/m] 程度時，由於隧道效果（tunnel effect)的產生電子將通 過陣壁而在常溫狀態下亦能在真空中放出電子。上述現象 稱為電埸放射（Filld Emission)·而應用該原理放射電子 之陰極稱為電場放射陰極（Filld Emission Cathode*以 下簡稱其為FEC)。 近年來由促進半導體的加工技術，已可能製造微米尺 寸（micron sige)之真空微细構造形成之面放射型的FEC， 而將該FEC形成多數個於基板上的元件則以其各射極放射 出的電子照射於螢光面而多使用為電場放射型顯示裝置（ Field Emission Display，Μ 下單 MFED 表示），平板印刷 (lituosraphy)用霄子光束装置等之子放射源。 第7圈表示史賓特（SpUdt)型FED之基本構成的横式斜 視圖。圖中，1為陰極基板，2為陰極，4為閘極，8為絕緣 W ，31為開口部，32為暘極基板，33為陽極。A為陽極引 出配線，C1〜Cn為陰極引出配線，G1〜Gni為閘極引出配線 0 於陰極基板1上陰極2為形成條狀，在其上則形成一面 的絕緣層8。閘《4為在絕緣曆8上與陰極2成直交的方向形 成條狀，上述FEC使用稱為史賓特型的霣場放射陰極。在 各陰極2與各閛櫳4之交叉部份設有貫通閘極4及其下面的 I--^-------批衣------，1τ----^---0 (讀先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） 1 3 9 7 7 1 A7

B 明之 兑8.p B明層發緣 、絕五 部 D 開 的 數 複 述 後 如 而 圖 9 第 照 參 中 其 在 極 射 成 構 5 極 電 形 錐 該 ο 5 極 電 形 維 有 成 形 上 2 陰 於 板 3 基極 極陽 陽於 的對 等 。 璃19極 玻髓陰 在光各 面螢於 方之對 一 示 ， 另圖 Μ 略電 省正 極 陰 由 Π- 貝 極 閘 由 則 與 3 3 極 陽 成 形 面 下 的 極 陽 由 線 配 出 給 像 供 Aii耋 線姶 配 出 供 Π 維顯 的行 内實 I AU 弓为 部發 極品的 明規檀 WMM— 各在光 於置螢 對設之 3 3 , 由 3 號，極訊號陽 I*形一不 線 配 訊 動 驅 給 供 在 示 設表 由面 並圖 , 略 子省 電然 射雖 放 。 極作 電動 陽 將 色 光 發 的 體 光 螢 於 應 對 為 則 時 色 原 3 示 顯 於 然 出 甲 極 陽 的 同 不 接 埋 各 並 狀 條 的 行 平 2 極 陰 與 成 形 3 3 極 線 配 圖 面 平 式 模 之 成 構 本 基 之 D E P- 型 特 寶 史 明 說 為 圖 8 第 明 說 其 略 省 而 號 符 同 相 Μ 註 為 份 部 的 樣 同 圖 7 第 Αίν 中 圖 a e s 部 封 密 為 6 柱 支 緣 絕 為 柱 支 錄 絕 的 支 數 複 有 設 立 上 8 II 緣 0 的 示 所 圖 7 第 於 壓 氣 大 抗 對 為 間 板 基 兩 的 2 3 板 基 極 隈 與 11 板 基 極 陰 將 玻 结 熔 /IV 璃 坡 封 密 的 點 融 低 置 設 時 同 隔 間 定 預 於 持 保 的 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝 線 經濟部中央慄準局賣工消费合作社印裴 璃

將 封 密 以 加 著 融 热 加 由 而 6 部 封 密 的 等 S S 空 輿 高 於 持 保 部 内 其 內 干 若 的 部 師 輪 之 份 部 合 ia 於 為 示 表 上 圖 於 8 部 封 密 基 極 陰 於 ο 域 領 的 傍 近 其 或 部 郝 輪 至 著 融 為 上 際 實 然 側 極 陰 各 出 引 域 領 的 端 下 示 _ 之 板 基 陰 於 域 領 的 端 左 示 圖 在 的 板锑 同 ο C 子 端 極 陰 成 形 而 層 緣 絕 示 所 圖 7 第 之 上 形 域 領 的 端 上 示 圖 之 2 3 板 基 極 陽 於 又 ο 子 端 極W 成 形 上 8 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公摩） 2 3 9 7 7 1

7 7 A B 子 端 極 陽 之 長 3 延 /^ 3 3 明% 兑極 明隈 發由 、 成 五 圖 9 第 之 4 極 閘 F 面 之斷 用份 習部 示 向 表方 線 個 相 以 沿註 示 份 表部 圖的 該同 , 相 圖 造 構 面 斷 的 圖 7 第 與 中 圖 密 為 6 極 電 形 錐 為 5 層 阻 電 為 3 ο 明 說 其 略 省 而 號 符 同 部 封 層 護 保 部 封 密 為

上 IX 成 形 屬 金 的 等 鋁 由 置 設 矽 晶 结 無 成 形 態 狀 板 基 極 陰 的 成 形 管 璃 · 玻 2 於極 陰 的 的 2 極 陰 該 Μ 覆Μ 無 的 層 诅 18 及 2 上 30 矽 化 氧 極二 陰由 在成 ο 形 阻 電 於 份 部 的 3 層 阻 電 狀 條 無 括 包 13 緣 絕 的 成 構 等 膜 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝- 極層 陰緣 與絕 上及 8 4 層極 緣閘 絕在 在設 於 4 極 閘 的 狀 條 成 形 向 方 的 交 直 成 2 2 極 陰 在 3 層 阻 霄 以 介 中 部 □ 的 8 極 電 形 维 該 極 陽 向 臨 ο 5 部 極口 電開 形由 錐份 設部 上端 極 電 形 錐 的 個 示 表 只 向 方 度 寬 的 線 之 2 極 先陰有 其於設 , , 上 成中際 構圖實 屬面但 金斷 ， -T.- 的述 等上 鉬在 由又 為 。 -3 _ 側 訂 極 霣 形 雎 個 數 多 微 次 成 作 離 距 的 端 先 之 5 極 霣 形 維 與 N 4 極 閘 將 可 於 由 線 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 出 4'而 極射 閘放 於場 壓 電 的 特 伏 十 數 加 腌 需 只 此 則 因丨極 陰 度 5M 程極述 米霣上 霣 5 部 射 放 子 電 成 極 霣 形 維 由 子極 子電 霣形 使雒 可 - 2 則 間 之 5 構 4 極 閘 及 設 而 流 霣 過 之 2 極 陰 通 流 制 限 為 則 30 形 錐 與 如 而 阻 電 先 之 5 極 電 形 維 I _ 與 、 4 極 閘 在 時 3 fi 15a 電 述 上 設 未 如 之 a 4 線 極接 閘兩 在成 則構 . 能 時可 路有 短而 戎流 s S 放大 處過 1通 有流 要3 R間 因線 原接 之 某 2 因極 如陰 間及 之線 端接 推 的 數 多 於 又 〇 流 電 過 止 防 Κ 3 層 0 霄 置 設 此 因 ο 損 破 的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 公釐） 3 9 7 7 1 A7 B7 經濟部中央樣準局Μ工消f合作社印背 五、發明説明 ( 4 ) 1 I 形 電 極 5之中， 如存在有特別容易放射電 子 的 維 形 電極5 1 1 I 時 9 則 由 於 該 維 形 電 極 5集中放射的罨子 有 時 在 畫 面上發 1 1 生 異 常 亮 的 點 0 於 此 由 於 設 有 電阻層3 · 該 維 形 電 極5之1 1 I 請 1 | 開 始 流 通 異 常 大 的 電 流 時 > 由 於電阻層3的 電 壓 降 使欲流 先 閱 1 | 讀 I I 通 異 常 大 之 電 流 的 維 形 電 極 5的胞加電壓 降 低 0 其 结果將 背 ιέ 1 1 之 1 電 子 放 射 抑 制 而 使 得 各 維 形 電 極5實行安 定 的 電 子 放射。 意 1 事 1 部 份 閘 極 4為連接於引出端子有必要 跨 過 密 封 内外， 項 4 1 填 密 封 部 保 獲 層 41 為 覆 蓋 密 封 部 份之閘極4 而 使 用 二 氧化矽 寫 本 裝 | (S i 0 2 ) 0 在 該 密 封 部 保 獲 層 4 1 上將密封部6封 著 0 頁 1 1 閘 極 4之電極材料為使用鈮（Nb ，以下Μ 厂Ν b j 表示）。如 1 1 示 設 有 保 護 層 41 時 使 用 Na 的 閘極4將接 觸 為 密 封 部6之材 I 1 料 的 熔 结 玻 璃 然 於 實 行 封 著 之加熱時 ，由熔结玻瑀使電 訂 | 極 引 出 部 之 閘 極 4發生氧化 使閘極4由絕緣阍8剌 開，而 1 I 密 封 部 6潛入該部份構成間隙 以致發生 經 長 時 間 其管內 1 1 I 的 真 空 度 降 低 之 慢 速 洩 漏 琨 象 。另外亦可能被氧化成為高 I 1 窜 阻 9 Μ 致 斷 線 而 構 成 閘 極 4的専通不良 0 密 封 部 保護層 1 4 1 為 Μ 上 述 理 由 為 防 止 閘 極 4接觸於密封 部 6而設 0 1 1 習 用 之 FEC由於閘極端子為形成於絕 緣 層 8上 ，而陰極 1 1 2的端子為形成於陰極基板1 上 •因此閘極端子與陰極端子 1 I 為 形 成 於 不 同 的 屬 0 亦 即 需 要 個別的實行端子現出的加工 1 I 程 序 〇 又 如 上 述 為 使 密 封 部 6不直接接觸 於 閘 極 端 子需要 1 1 | 形 成 密 封 部 保 m 層 4 1 及 形 成 圖的加工程序 。因 ίίί存在招 1 1 致 加 工 程 序 數 之 增 加 t Μ 及 製 造程序複雜化的問題。 1 1 所 欲 解 決 的 課 辋 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2⑴x 297公釐） 4 3 9 77 1 A7 B7 纯消部中央標本局只工消资合作杜印沢 五、發明説明 ( 5 ) 1 I 本 發 明 為 解 決 上 述 的 問 題 y 乃 Μ 提 供 將 陰 極 及 閘 極 之 1 1 I 端 子 的 現 出 為 在 同 一 平 面 上 構 成 而 防 止 加 工 程 序 數 之 增 加 1 1 1 及 製 造 程 序 之 複 雜 化 的 電 埸 放 射 型 元 件 為 S 的 0 本 發 明 也 1 I 請 1 I 提 供 一 種 霣 場 放 射 元 件 9 能 不 使 用 保 護 膜 » 且 抑 制 閘 極 與 先 閱 1 I 1 I 陰 極 間 的 専 通 所 引 起 之 過 電 流 防 止 電 子 放 射 部 之 破 壊 0 背 ιέ 1 I 之 1 Μ_ 決 課 m 的 平 段 意 1 事 1 申 請 專 利 範 圃 第 1項的發明為以陰極基板側與陽極基 項 再 ! 填 板 側 為 隔 離 密 封 的 霣 場 放 射 元 件 而 為 具 有 形 成 於 前 述 陰 % 本 裝 I 極 基 板 上 的 陰 極 及 閘 極 端 子 覆 蓋 前 述 陰 極 及 前 述 閘 極 端 頁 1 1 子 而 為 構 成 前 述 陰 極 Μ 及 前 述 閘 極 端 子 之 端 子 現 出 的 絕 緣 1 1 層 形 成 於 該 絕 緣 If 上 的 閘 極 設 在 與 刖 述 陰 極 交 叉 之 位 1 1 置 之 前 述 閘 極 及 在 * Λ. 刖 述 位 置 之 前 述 絕 緣 層 的 開 Ρ 部 至 少 訂 1 為 形 成 於 月[J 述 陰 極 上 之 — 部 份 的 電 阻 層 介 由 形 成 在 前 述 1 | 開 □ 部 内 之 前 述 霣 阻 層 與 陰 極 為 電 領 的 連 接 之 射 極 及 1 I 形 成 於 前 述 絕 緣 層 通 孔 並 以 刖 述 W 極 及 刖 述 閘 極 端 子 為 1 1 由 前 述 通 孔 做 電 氣 的 連 接 管 Ο 1 於是能在同- -平面上實行端子的現出 3並由霄咀層 1 1 能 抑 制 陰 極 與 射 極 間 流 通 過 大 電 流 而 防 止 電 極 被 破 壞 又 1 1 能 實 行 安 定 的 子 放 射 另 一 方 面 » 閘 極 端 子 為 由 絕 緣 層 覆 1 1 Μ » 能 使 密 封 用 的 密 封 部 不 致 接 觸 閘 極 端 子 > 因 此 可 不 需 1 | 使 用 保 膜 0 1 I 申 請 專 利 範 圃 第 2項的發明為以陰極基板側與陽極基 1 1 板 測 為 隔 離 密 封 的 電 場 放 射 元 件 » 而 為 具 有 形 成 於 前 述 陰 1 1 極 基 板 上 的 陰 極 及 閘 極 端 子 f m Μ 前 述 陰 極 及 前 述 閘 極 端 1 1 本紙張尺度適川中國阎家標準（C'NS ) A4規格（210Χ297公楚） 3 9 7 7 1 A7 B7 Η' :Α 部 屮 -火 Ιΐ‘ ;V- j ；/ί fr

As ii fl 卬 V. 五、發明説明（6 ) 1 I 子 而 為 構 成 前 述 陰 極 以 及 前 述 閘 極 端 子 之 端 子 現 出 的 絕 緣 1 1 I 曆 > 形 成 於 該 絕 緣 曆 上 的 閘 極 設 在 與 前 述 陰 極 交 叉 之 位 1 1 I 置 之 前 述 閘 極 及 在 前 述 位 置 之 前 述 絕 緣 層 的 開 □ 部 形 成 請 先 間 1ί 1 1 1 於 該 開 □ 部 内 與 * Λ. 刖 述 陰 極 做 罨 氣 接 觸 的 射 極 至 少 形 成 在 1 1 I > · 刖 述 閘 極 端 子 上 之 —* 部 份 的 嗯 阻 層 以 及 形 成 於 前 述 絕 緣 背 面 之 1 1 I 層 的 通 孔 並 Μ 前 述 閘 極 及 前 述 閘 極 端 子 為 由 > Λ. 刖 述 通 孔 介 /主 意 事 1 1 由 fc U. 刖 述 電 阻 層 做 霣 氣 的 連 接 者 0 項 再 1 因 而 能 在 同 一 平 面 上 實 行 端 子 的 現 出 0 並 由 電 阻 層 能 本 裝 I 抑 制 射 極 與 閘 極 間 流 通 過 大 霄 流 而 防 止 霄 極 被 破 壊 0 又 能 1 1 I 抑 制 陽 極 與 閘 極 間 的 過 大 電 流 0 由 於 通 常 於 閘 極 不 流 通 電 1 1 I 流 因 此 可 忽 略 因 通 孔 之 電 阻 層 構 成 的 電 壓 降 及 消 費 電 力 1 1 訂 1 的 增 加 0 並 因 此 該 霣 诅 值 可 設 定 於 比 較 大 的 值 0 另 一 方 面 9 閘 極 端 子 為 由 絕 緣 層 覆 蓋 因 此 可 不 需 使 用 保 護 膜 0 1 1 申 請 專 利 範 圍 第 3項的發明為Μ陰極基板側與陽極基 1 | 板 側 為 隔 離 密 封 的 埸 放 射 元 件 為 具 有 形 成 於 ,> t. 刖 述 陰 極 1 基 板 上 的 陰 極 ， 形 成 於 前 述 陰 極 基 板 上 而 含 有 由 空 m 分 離 1 I 之 連 接 部 的 閘 極 端 子 覆 Μ 前 述 陰 極 及 前 述 閘 極 端 子 而 為 1 1 構 成 前 述 陰 極 以 及 前 述 閘 極 端 子 之 端 子 現 出 的 m 緣 層 形 1 1 成 於 該 絕 緣 圈 上 的 閘 極 設 在 與 前 述 除 極 交 叉 之 位 置 之 前 1 1 述 閘 極 及 在 -Λ^*φ 刖 述 位 置 之 前 述 m 錄 層 的 開 P 部 形 成 於 該 開 1 1 □ 部 内 與 前 述 陰 極 做 電 氣 連 接 的 射 極 至 少 形 成 在 前 述 空 1 | 隙 的 電 阻 層 1 以 及 形 成 於 前 述 緣 阍 之 通 孔 並 以 前 述 閘 1 I 極 及 前 述 連 接 部 為 由 前 述 通 孔 做 霣 氣 的 埋 接 者 0 1 1 I 於 是 能 在 同 一 的 平 面 上 實 行 端 子 的 現 出 〇 並 由 空 隙 的 1 1 本紙乐乂丨；mfi'n1- i ，：\川」各；2丨(）〇厂 6 3 9 7 7 1 A7 B7 部屮吹"冬杓·“ T-消资A”qd卬欠 五、發明説明（ 7 ) 1 I 電 阻 層 能 抑 制 射 極 與 閘 極 間 流 通 過 大 的 電 流 而 防 止 電 極 被 1 1 I 破 壞 0 該 霉 阻 層 亦 可 防 止 陽 極 與 閘 極 之 間 的 過 大 電 流 0 由 1 1 I 於 可 忽 略 因 空 隙 之 電 阻 層 構 成 的 電 壓 降 及 消 費 電 力 的 增 加 1 I 請 1 I » 該 電 阻 值 可 設 於 比 較 大 的 值 0 使 空 隙 的 寬 度 變 化 可 控 制 先 閱 1 | 讀 1 | 霄 阻 值 於 廣 大 範 画 0 因 此 能 設 定 於 適 當 做 閘 極 保 護 電 阻 之 背 ιδ 1 1 值 0 — 方 面 閘 極 端 子 為 由 絕 緣 層 覆 蓋 因 此 可 不 需 使 用 保 ί 1 | 護 瞑 0 Ψ 項 再 1 填 申 謫 專 利 範 匾 第 4項的發明為Μ陰極基板側與隈極基 r? 本 裝 I 板 側 為 隔 離 密 封 的 S 場 放 射 元 件 而 為 具 有 形 成 -1-*- 刖 述 陰 極 /1 1 1 基 板 上 的 陰 極 形 成 於 前 述 陰 極 基 板 上 而 含 有 由 空 隙 分 離 1 1 之 連 接 部 的 閘 極 端 子 覆 蓋 前 述 陰 極 及 前 述 閘 極 端 子 而 為 1 1 構 成 > · 刖 述 陰 極 W 及 前 述 閘 極 端 子 之 端 子 現 出 的 絕 緣 層 形 訂 1 成 於 該 絕 緣 層 上 的 W 極 設 在 與 前 述 陰 極 交 叉 之 位 置 之 前 1 I 述 閘 極 及 在 前 述 位 置 之 前 述 絕 緣 層 的 開 □ 部 形 成 於 該 開 1 I □ 部 内 興 前 述 陰 極 做 電 氣 連 接 的 射 極 至 少 形 成 於 前 述 閘 1 1 極 端 子 上 的 一 部 份 及 刖 述 空 隙 之 電 阻 層 Μ 及 形 成 於 前 述 1 絕 緣 層 之 通 孔 > 並 Η 前 述 閘 極 及 前 述 連 接 部 為 於 前 述 通 孔 1 1 介 由 前 述 霣 阻 層 做 電 氣 連 接 者 〇 1 1 因 而 能 在 同 一 平 面 上 實 行 端 子 的 現 出 0 並 由 通 孔 與 空 1 1 隙 的 霣 阻 層 能 抑 制 射 極 與 閘 極 間 流 通 過 大 電 流 而 防 止 電 極 1 I 被 破 壊 〇 該 霣 姐 層 亦 可 防 止 陽 極 與 閘 極 間 的 過 大 電 流 〇 由 1 1 1 於 可 忽 略 通 孔 及 空 隙 之 電 姐 圈 構 成 之 電 m 降 及 消 費 霄 力 的 1 1 I 增 加 » 該 電 m 值 可 設 定 於 比 較 大 的 值 〇 使 空 的 寬 度 變 化 1 1 可 控 制 電 姐 值 於 廣 大 m 圍 〇 因 此 眭 設 定 於 適 當 做 為 閘 極 保 1 1 木纸 ( (as ) ,.\4#济.d ; B7 五、發明説明（ 8 ) 1 I 護 電 阻 之 值 0 另 一方面，閘極 端 子 為由絕緣 層 覆 蓋 0 因 此 1 1 I 可 不 需 使 用 保 護 膜。 1 1 Φ 請 專 利 範 圃第5項的發明 為以申請專利範圍第4項 1 I 請 1 I 的 霄 場 放 射 元 件 ，而K前述通 孔 及 前述空隙 為 形 成 於 共 通 先 間 1 I 讀 1 | 位 置 t 前 述 閘 極 及前述閘極端 子 為 於前述通 孔 介 由 前 述 電 背 1¾ 1 I 之 1 阻 層 做 電 氣 連 接 者0 1 兔 1 事 1 由 而 比 較 通 孔的電阻層與 空 隙 的電阻層 為 個 別 的 狀 態 項 再 1 填 其 電 阻 值 可 K 向 較低方向擴大 其 可 變範圍。 —- 方 面 可 提 高 本 裝 I 空 間 利 用 效 率 0 頁 '--- 1 1 發 明 的 實 晰 形 m 1 1 第 1圖表示本發明之電埸放射元件之第1 實 腌 形 態 的 斷 1 1 面 構 造 0 圖 中 與 第7圖、第9圖 同 樣 的部份注 VX 相 同 符 號 而 訂 1 省 略 其 說 明 7為閘極端子，9為 通 孔。 1 I 本 實 m 形 態 之電場放射元 件 形 成以下各 實 施 形 態 的 基 1 1 I 本 構 造 與 第 9圈所示習用的霣埸放射元件之斷面構造比 1 1 較 » 其 不 同 處 在 閘極端子7的接出構造。又於此未設有第 J、 1 9圖所示之密封部保護圃41。 1 1 於 陰 極 基 板 1的上面，與對於未做圖示之陰極端子實 1 1 胞 端 子 琨 出 的 陰 極2·同時形成用以實施閘極4 之 端 子 現 出 1 | 的 閘 極 端 子 7 ，於絕緣層8設通 孔 9 >於上述多層配線構造 1 1 之 於 絕 緣 層 8上的閘極4的接線 於 通 孔9連接於陰極基板1 上 1 1 I 的 閘 極 端 子 7 。其结果於陰極基板1 上能形成 未 圖 示 的 陰 極 1 I I 端 子 及 閘 m 端 子 於同一平面上 ， 由 此可減少 造 加 I 程 序 1 1 數 的 增 加 及 防 止 製造程序的複 雑 化 〇 1 1 本纸乐尺哎遇；丨]屮内i ('NS 1 ..WHj 2IG ） 8 3 9 7 7 1 五、發明説明（9 ) (請先閱讀背而之注意事項再填·"本I ) 於密封部6直下為絕緣層8，密封部6與閘極4及閘極端 子7不會接觸，因此不致發生閘極4，閘極端子7的霉極剝 離等問題。由而可削減形成如第9圖所示密封部保護層41 之成膜及形成模圖等的加工程序。密封部保護層41已成非 為特別所需，然如為補強闼緣層8的厚度則設置亦可。 又於錐形電極5與閘極4之間發生短路時，則由陰極2 與維形電極5之間所挟的電阻層3可防止過大電流，由以防 止電子放射部被破壊。本實施形態只由陰極2與錐形電極 5之間所挾的霄阻IS3防止過大霣流的流通，因此適用於為 提高閘極之轉換的應答性而欲減小閘極4接線電阻的狀態 。霣阻曆3可使用無结晶矽（a - S ί )。 以下簡單說明上述斷面構造的製造加工程序。首先於 陰極基板1上形成陰極2的接線及與其直交的方向以嗔鍍法 等之金屬薄膜形成及對其製作模圖而形成閘極端子7的接 線。其次用嗔鍍法等形成做為霣阻層3之無结晶矽（a-Si) 薄膜。其次用照相製版法以使電阻層3為覆蓋陰極2之接線 的狀態由RIE (反應性雛子蝕刻）製作模圖而形成電阻層3。 其次形成絕緣層8而由製作模圖而於絕緣層8形成通孔9° 通孔9可按每個閘極端子7個別形成’亦可為對全部閘極端 子7埋讀設置成為共通者。 如t述形成絕緣層8及通孔9之後，例如用鈮的唄拥製 作閘極暝，然後實行閘極4之製作堠圖。又由於對通孔9的 内部亦蒸著Μ閘極瞑而達成閘極4與閘極端子7的連接，將 通孔9之側面部的傾斜角度作成鑀和可使埋接良好。如傾 木紙讯尺度適;丨丨中 β W j C t ( ( as ) Λ4u%，21(, ' 2'/，堵） g 3 9 7 7 1 A7 A7 部 <：? ;'V- l) ί! x ；/] )ί： 10 Β7 五、發明説明（10 ) 斜角度為急峻時則有恐接觸不良，然可由閘極瞑的上方κ 鈮實行回轉斜蒸著成為2層構造即可得良好連接狀態。 其後由閘極4的上方用回轉斜蒸著法於其表面上形成 剝離曆*再由其上堆積维形層而於開口部的内部形成維形 霣極5。然後連同剝離層將其上的錐形層剝離之後，對絕 緣層8製作模圖由絕緣層8實行對陰極端子與閘極端子7的 端子現出•由此形成第1圖所示的電場故射元件。陰極2的 端子則成為陰極端子。 由上述本實沲例具有因削減密封部保護層41之形成加 、 工程序，陰極2及閘極4之端子引出接線之程序等的加工程 序而減低成本的效果。舉其具體例1以50/^ιηΦ程度的通 孔9即可得充份低之未達2kQ的接觸電阻，其所構成對於 轉換特性的劣化可予忽略。 第2圈表示本發明之電場放射元件的第2實施形態的斷 面構造。圖中與第7圖、第9圖、及第1圖同樣的部份則註 以相同符號而省略其說明。 本實施形態的®埸放射元件與第1鼴所示在閘極4的連 接線於通孔9連接於閘極端子7之處為一致，但於閘極端子 7的接線為以覆Μ電阻層3的狀態形成絕緣層8。上述構成 於形成通孔9時，由絕緣阍8開孔至電胆層3而達成。於閘 極端子7之端末部實行端子琨出時，連同絕緣曆8同時除去 霄咀層3。 又於本寅拖肜態在製作俱圖之際留為電阻屬3的領域不 心限定於陰極的接觸部份。因此電砠層3的肜成程序容易 3 9 7 7 1 --------种衣------’1τ------·ν (請先閱讀背面之注意事項再填巧本頁) A7一, 乂部屮小、c^::^ B7 五、發明説明（ 11 ) 1 I 0 又 閘 極 端 子 7可得到絕緣 層8及 電阻 層 的2層 構造之保護 1 1 而 不 受 密 封 部 6的作用。 1 1 第 3圖表示本發明之電 場放射元件之第 3實施形態的斷 1 1 讀 1 I 面 構 造 0 圖 中 與第7圖、第 9圖、 第1圖同樣 的 部份註以相 先 閱 1 I 讀 1 1 同 符 號 而 省 略 其說明。 背 1 I 之 1 本 η 施 形 態之霣場放射元件 與第 2圖所 示 實施形態比 黄 1 事 1 較 其 不 同 處 在通孔9之閘 極端子7閘 極 4之 間 介有電阻層 項 再 1 3的構造< ) 4 % 本 裝 I 上 述 的 構 造在閘極端子7與閘極4的 接線間形成霣極〜 页 1 1 端 子 間 的 電 阻 ，與陰極2及 錐形電極5 間 的電阻層3共同作 1 1 用 為 閘 極 接 媒 的保諝霣阻 由於 閘極 4與陰 極 2間的絕緣不 1 1 良產 生 的 過 大 電流在閘極與陰極 間發 生 電壓降，由而保護 訂 | 因 過 大 霣 流 >λ 致破壊霣子放射部 °又 由 於閘極4與閘極端 1 I 子 7之間介有電阻，因此不 但對於閘極〜陰 極 間 > 對於陽 1 1 I 極 閘 極 間 亦 構成過大電流保護 霣姐 0 1 1 線 介 於 陰 極 2與維形電極 5之電 阻層 3的電 極 間電阻則因 1 平 時 即 有 大 電 流流通，因此由考 1電 壓 降及消費霣力則不 1 1 能 太 大 〇 相 對 的閘極4的接 線通常不流通電 流 ，因此可勿 1 1 視 因 通 孔 9之霣姐13構成的1«壓 降及 消 費m力。由此可將 1 1 該 電 阻 值 設 定 於比較大的值。閘 極的 轉 換特性由於通孔9 1 I 之 霣 胆 靨 3的介在有若干的 劣化 •但可由減 小 閘極4與陰極 1 1 2間的靜電容量而充份抑制 上述特性的劣化 0 1 1 依 本 實 m 形態，為將設在推 形電 m 5之 下 而形成的電 1 1 阻 層 3於製作m圖之際留在 閘極端子7 上 應用 3又肜成通孔 1 1 本坻张尺度過）丨；屮;u、s ) Λ4Η 丨\ 21(卜：N-’公 $ : 1 | 3 9 7 7 1 A7 B7 經消部中夾標;f局只工消资合作社印災 五、發明説明 ( 1 2 ) 1 1 9時為只對絕緣層買施蝕刻而留下· 姐層 3 0 由 此 得 到 通 孔 1 1 1 9的接合部為IT >閘極4與 閘極端 子 7的 層間 挾以電阻層3的 構 1 1 造 0 其 结 果 除 能 削 減密 封部保 m 層 的 形 成 加 工 程 序 1 閘 極 1 1 請 1 1 端 子 的 現 出 加 工 程 序等 的加工 程 序 之 外 並 不 特 別 需 要 對 先 閱 1 1 1 1 電 阻 曆 3實行蝕刻的加工程序。 閘桎 i端子 7與 閘 極 4之接線 背 & 1 1 之 1 間 的 電 極 端 子 間 的電 阻值為 數 k Ω 〜ϋι 1 Ok 0 意 1 事 1 第 4圖表示本發明之電場放射元件之 •第4 實 施 形 態 的 斷 項 再 1 填 面 構 造 0 圖 中 與 第 7圖 第9圖 第 1圖同 丨樣的部份註Μ相 本 裝 I 同 符 號 而 省 略 其 說 明。 1 1為空 隙 9 1 2為 閘 極 端 子 分 離 部 0 頁 1 1 本 實 施 形 態 的 電場 放射元 件 與 第 3 ΒΙ 圖 所 示 第 3 實 施 形 1 1 態 相 比 其 不 同 處 在第 3圖所示閘極端子7 的 接 線 途 中 新 設 1 1 用 以 分 離 端 子 現 出 側與 通孔9側的空隙1 1 並將該空隙1 1 訂 1 為 併 用 電 阻 層 3填埋的構造者 ) 1 I 第 4 圖 中 位 於 通孔 9下面的部抒 >為閘極端子分離部1 2 1 I 0 由 而 Μ 陰 極 2與维形電極（射 極 )5間 的 姐 層 3 通孔9 處 1 1 之 電 阻 層 3 的 電 極 〜端 子間的 霜 砠 之 外 t 並 由 填 埋 閘 極 端 1 子 7之空‘隙1 1構成的電姐阍3之 端 子 部 電 阻 亦 可 實 現 過 大 1 1 流 的 保 m 0 該 空 隙 1 1可 於陰極 基 板 1 上 實 行 鈮 的 m _ 製 作 1 1 時 形 成 於 閘 極 端 子 7的接線即可 1 1 由 而 依 本 實 施 形態 的電場 放 射 元 件 亦 只 需 將 為 設 於 1 I 維 形 電 極 5之下而形成之電阻阍2 於 η 作 m 圖 之 際 留 於 閘 極 1 1 I 端 子 7 與 空 隙 1 1 即 可， 而不增 加 製 造 加 工 程 序 除 能 削 減 1 1 | 密 封 部 保 護 層 的 形 成加 工程序 > 閘 極 端 子 之 m 出 加 工 程 序 1 1 等 的 程 序 之 外 ♦ 並 不特 別需要 於 形 成 通 孔 9 時 對 於 電 m 層 1 1 本紙張尺度適用中阁1¾家桴卑（CNS ) Λ4規格（210a；^7公趫） ι 2 3 9 7 7 1 A7 B7

經濟部中央標苹局M工消费合作杜印V 五、發明説明（ 13 ) 1 I 3實行蝕刻的加工程序。 1 1 比 較 由 控 制 於 通 孔 9之電阻層3 之 厚 度 Μ 變 化 空 隙 11 1 1 的 寬 度 9 亦 即 由 變 化 閘 極 端 子 7 之 接 線 方 向 的 間 隔 更 能 控 1 I 請 1 I 制 電 姐 值 於 較 寬 廣 幅 度 0 又 不 受 錐 形 電 極 5 之 下 的 電 阻 之 先 閱 1 I 讀 1 | 霣 阻 曆 3 之 電 阻 率 的 限 制 可 設 定 於 適 當 閘 極 保 m 電 阻 之 值 背 1¾ 1 I 之 1 Ο 閘 極 端 子 7 與 閛 極 4 之 間 的 電 阻 可 控 制 於 數 k Ω〜數1 00 意 1 1 Μ Ω 範 圔 〇 由 提 高 笛 阻 值 可 增 大 做 為 過 大 電 流 保 m 電 阻 的 項 再 1 填 效 果 0 通 常 時 由 於 閘 極 4 無 電 流 流 通 因 此 其 消 費 電 力 的 % 本 裝 1 增 加 在 可 忽 略 的 加 工 程 序 〇 又 閘 極 4 的 轉 換 特 性 可 由 充 份 頁 1 1 減 小 閘 極 4與陰極2間 的 靜 電 容 量 而 抑 制 其 劣 化 0 1 1 第 5 實 施 形 態 為 上 述 實 施 形 態 的 變 形 例 亦 即 為 將 第 1 1 4 圖 所 示 於 通 孔 9的電姐層3如 第 1 ml 画 第 2 圖 同 樣 的 予 Μ 订 | 削 除 而 具 有 同 樣 的 效 果 0 於 此 之 過 大 電 流 保 m 為 由 陰 極 2 1 | 與 維 形 電 極 (射極）5 間 的 電 阻 層 3 之 電 極 間 電 及 於 空 隙 1 1 I 11 之 1S 阻 Μ 3 構 成 的 端 子 部 霣 阻 達 成 0 其 霄 阻 值 的 可 變 範 1 1 圍 為 於 參 照 第 1画 第2圖 說 明 之 第 1 -第2 實 胞 形 態 的 單 獨 1 之 電 極 間 霣 阻 的 狀 態 與 參 照 第 3圖說明之第3 實 施 形 態 之 1 1 極 間 電 姐 與 電 極 端 子 間 電 诅 的 狀 態 的 中 間 程 度 0 1 1 第 5 圖 表 示 本 發 明 之 霣 埸 放 射 元 件 之 第 6 實 腌 形 態 的 1 | 斷 面 構 造 0 圖 中 與 第 7圖 ，第9 圖 第 1圖及第4 圖 同 樣 的 部 1 I 份 註 Μ 相 同 符 號 而 省 略 其 說 明 〇 1 1 本 實 施 形 態 為 將 空 隙 1 1 的 位 置 設 在 通 孔 9 的 下 郎 m 1 1 極 斓 子 間 電 阻 與 端 子 部 電 砠 為 一 體 化 者 〇 1 1 電 砠 值 可 由 通 孔 9的面積 ，霄姐層3 的 膜 厚 及 m m m % 1 1 l 3 本紙張尺度適用中國國家標辛 ( CNS ) Λ4^格（210χ Μ7公趁） 3 9 7 7 1 A7 B7

經满部中央標ίν-局K工消资合作社印V 五、發明説明（1 4 ) 1 I 容 易 的 控 制 t 然 其 電 阻 值 的 可 變 範 圍 比 較 參 昭 第 4 圖 說 明 1 1 I 之 第 4 實 施 形 態 之 霣 極 端 子 間 電 阻 参 端 子 部 電 阻 為 涸 別 1 1 的 吠 態 可 將 電 阻 值 向 減 低 的 方 向 擴 大 其 變 化 範 圍 1 而 比 較 1 I 請 1 I 參 照 第 3 圖 所 說 明 之 第 3 實 施 形 態 之 含 有 電 極 間 電 m t 電 先 閱 1 I 讀 1 | 極 端 子 間 電 阻 的 狀 態 具 有 更 大 的 電 阻 值 0 又 於 閘 極 端 子 背 1 I 之 1 7的長度較短的狀態 亦可與只有通孔9 的 狀 態 以 同 樣 的 長 注 意 1 事 1 度 可 設 空 隙 11 » 具 有 良 好 空 間 利 用 率 0 項 再 1 填 > 本 實 腌 形 態 之 霣 場 放 射 元 件 同 樣 除 能 削 減 密 封 部 保 護 % 本 裝 曆 的 形 成 加 工 程 序 閘 極 端 子 的 現 出 加 工 程 序 之 外 並 不 頁 '—^ 1 1 特 別 補 要 於 形 成 通 孔 9時對電阻層3 實 施 蝕 刻 的 加 工 程 序 〇 1 1 第 6 圖 表 示 本 發 明 之 電 場 放 射 元 件 之 第 7 實 施 形 態 的 1 1 斷 面 構 造 及 閘 極 端 子 的 平 面 圖 0 第 6 圖（a ) 為 斷 面 構 造 Π31 圓 > 訂 1 第 6 圖（b) 為 W 極 端 子 的 平 面 圃 0 圖 中 與 第 7圖 ，第9 圖 第 1 | 1圈及第4 圖 同 樣 的 部 份 註 Μ 相 同 符 號 而 省 略 其 說 明 0 2 1 為 1 I 空 隙 9 22為 閘 極 端 子 的 鳥 部 0 1 ! 知 本 實 胞 形 態 為 第 5 圖 所 說 明 的 第 6 實 施 形 態 而 在 通 1 孔 9 的 下 部 代 替 空 隙 1 1 形 成 閘 極 端 子 之 島 狀 部 22 於 閘 極 端 1 1 子 7者 0 1 1 如 第 6 圖 (1： >)所示 ，閘極端子的島狀部22 在 閘 極 端 子 1 I 7的平面上由周圍Μ空隙2 Π區劃 。由閘極端子7 流 入 的 霄 流 1 I 主 要 為 介 由 空 隙 2 的 霣 阻 m 3 流 入 閘 極 端 子 的 島 狀 部 22 - 1 1 I 然 後 介 由 m Μ 其 上 之 通 孔 9的電姐層3流 至 閘 極 4 3如第t 圖 1 1 | (a ) 所 示 空 隙 2 ί為 形 成 於 閘 極 端 子 之 鳥 狀 部 22的 周 圍 t 因 1 1 此 於 空 隙 2 [的 π 度 相 等 於 第 4 m 所 示 空 隙 1 的 状 態 t 亦 比 1 1 14 本紙張尺度適用中國國家標苹（CNS ) Λ4規格（210 .<2()7公雄） 3 9 7 7 1 A7 B7 五、發明説明（ 15 ) 較 >λ 單 純 的 空 隙 11 可 將 其 空 隙 電 阻 設 定 於 較 低 之 值 0 上 述 閘 極 端 子 的 島 狀 部 22可 於 陰 極 基 板 1 上 實 施 Nb 的 横 nai 圆 製 作 之 際 形 成 於 閘 極 端 子 7的接線上 ) 上 述 的 說 明 為 於 平 板 上 之 陰 極 2上介以電阻層3設 置 複 數 之 维 形 電 極 5 c 但亦可於實施陰極2 之 接 線 的 蝕 刻 時 將 其 形 成 為 複 數 之 周 圃 由 空 隙 圍 繞 之 島 狀 部 份 的 陰 極 在 上 述 陰 極 上 形 成 電 阻 層 然 後 於 島 吠 部 份 的 位 置 形 成 複 數 的 維 形 霣 極 5 ) 依 上 述 說 明 為 只 設 置 電 阻 層 3將陰極2與 維 形 電 極 5 之 間 做 電 氣 連 接 但 於 電 阻 層 3與錐形霣極5 之 間 設 金 屬 薄 膜 亦 可 0 依 上 述 說 明 在 任 — 實 施 形 態 為 了 設 置 電 阻 層 於 陰 極 與 錐 形 電 極 之 間 在 閘 極 上 亦 形 成 電 阻 膜 0 因 此 於 通 孔 亦 存 在 有 阻 層 而 可 將 其 直 接 利 用 不 需 要 Μ 蝕 刻 由 通 孔 部 分 除 去 該 電 阻 膜 的 加 工 程 序 0 但 可 不 設 霣 姐 層 於 陰 極 及 錐 形 電 極 間 而 設 姐 Μ 於 通 孔 及 空 隙 亦 可 將 其 做 成 過 大 霣 流 防 止 用 的 電 極 間 堪 阻 0 發 明 的 效 果 本 發 明 的 霣 場 放 射 元 件 由 以 上 的 說 明 可 以 明 瞭 能 將 陰 極 與 閘 極 的 端 子 現 出 於 同 一 的 平 面 上 因 而 具 有 防 止 加 X 程 序 數 的 增 加 及 加 工 程 序 複 雜 化 的 效 果 0 同 時 能 防 止 閘 極 與 陰 極 間 的 導 通 所 構 成 的 過 大 電 流 之 發 生 而 具 有 防 止 電 子 放 射 部 被 破 m 的 效 果 0 又 依 本 發 明 可 不 需 用 保 護 膜 0 對 於 通 孔 及 空 隙 的 電 姐 值 則 可 以 設 於 比 較 大 的 值 ， 訂 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（2丨0.<297公韙） 15 3 9 7 7 1 讀 先 閱 讀 背 面 之 注 意 事 項 再 填 i J裝 頁 A7 B7五、發明説明（16) 由變化空隙的寬度即可大幅控制其電姐值，因而可設定閘 極保護電姐於逋當的電阻值。 形直工 亦可加 上於的 極由刻 閘而蝕 在，施 而層實 間阻瞑 之電阻 極有電 電在該 形存對 維亦要 與隙需 極空別 陰及特 於孔不 層通此 阻於因 電 ， ， 置時用 設膜利 為阻其 電將 成接 序 程

明 說 里 簡 的 面 1L 的 態 形 施 實 11 第 之 件 元 射 放 場 霉 之 明 發 本 示 表 圖 1L 第 _ 造 構 面 斷 的 態 形 施 實 2 第 之 件 元 射 放 埸 電 之 明 發 本 示 表 圖 2 第 圖 造 構 面 斷 的 態 形 施 實 3 第 之 件 元 射 放 埸 霣 之 明 發 本 示 表 圖 3 第 的 態 形 施 實 4 第 之 件 元 射 放 場 霣 之 明 發 本 示 〇 表 圖圖 造 4 構第 面 斷 的 態 形 施 實 6 第 之 件 元 射 放 埸 霣 之 明 發 本 示 。 表 _ 圈 造 5 構第 面 斷 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 丨裝

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圔 圖 的 態 形 施 實 7 第 之 件 元 放 塌 電 之 明 發 型 特 賓 史 明 說 示 表 圖 7 視 斜 式 保 的 成 構 本 基 之 型 特 賓 史 明 說 示 表 圖 8 第 面 平 式 横 的 成 構 本 基 之 之 用 習 示 表 圖 9 第 圖 造 構 面 斷 的 本紙張尺度適用中阈國家標苹（CNS ) Λ4規格（210/2^7公趦） 6 11 3 9 7 7 1 A7 B7 五、發明説明（17 ) 符賊的銳明 板 基 極 陰 極 陰 2 層 阻 電 3 極 閘 4 極 電 形 錐 部 封 密 8 子 端層 極緣 閘絕 孔 通 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 12 1 1 1 2 隙 空 部 離 分 子 端 極 閘 隙 空 部 島 的 子 端 極 閘 訂 12 3 3 3 3 部□ 開 板 基 極 陽 極 陽 線 4ί满部中央標卞局只工消资合忭杜印靛 柱 支 緣 0 0 護 保 部 封 密 11 4 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）

7 1L 3 9 7 7 1

Claims (1)

1. Λ Λ Bil Γχ 經濟部中央標準局員工消f合作社印製 六、申請專利範圍 1 I 1 .- 種 電 場 放 射 元 件 » 係 以 陰 極 基 板 側 與 陽 極 基 板 側 為 1 1 I 隔 雔 密 封 的 電 埸 敢 射 元 件 % 其 特 激 在 具 備 形 成 於 前 1 1 I 述 陰 極 基 板 上 的 陰 極 及 閘 極 端 子 * 覆 蓋 刖 述 陰 極 及 前 ^—S 請 先 閱 讀 背 ιέ 之 1 1 I 述 閘 極 yu « 子 而 為 構 成 >·Α· 刖 述 陰 極 Μ 及 前 述 閘 極 端 子 之 端 I 1 1 子 現 出 的 絕 緣 層 t 形 成 於 該 絕 緣 層 上 的 閘 極 設 在 與 1 1 I 前 述 陰 極 交 叉 之 位 置 之 A.*. 刖 述 閘 極 及 在 前 述 位 置 之 前 述 注 意 事 1 1 絕 緣 層 的 開 □ 部 9 至 少 為 形 成 於 前 述 陰 極 上 之 —* 部 份 項 再 4 1 1 裝 I 的 電 阻 層 介 由 形 成 在 前 述 開 Ρ 部 内 之 前 述 電 阻 層 與 寫 本 頁 陰 極 為 電 氣 的 連 接 之 射 極 以 及 形 成 於 前 述 絕 緣 層 的 1 1 I 通 孔 並 Μ 前 述 閘 極 及 前 述 閘 極 端 子 為 由 前 述 通 孔 做 1 1 1 電 氣 的 連 接 者 0 1 1 訂 1 2 . — 種 電 埸 放 射 元 件 係 K 陰 極 基 板 側 與 陽 極 基 板 側 為 隔 離 密 封 的 電 場 放 射 元 件 其 特 徴 在 具 備 形 成 於 前 1 1 述 陰 極 基 板 上 的 陰 極 及 閘 極 端 子 覆 蓋 前 述 陰 極 及 前 ! 述 閘 極 端 子 而 為 構 成 前 述 陰 極 Μ 及 刖 述 閘 極 端 子 之 端 1 線 子 現 .出 的 絕 緣 m 形 成 於 該 絕 緣 層 上 的 閘 極 設 在 與 1 I Λ~Α. 刖 述 陰 極 交 叉 之 位 置 之 刖 述 閘 極 及 在 前 述 位 置 之 前 述 1 1 絕 緣 囿 的 開 □ 部 贅 形 成 於 該 開 □ 部 内 與 前 述 陰 極 做 電 1 1 氣 接 觸 的 射 極 1 至 少 形 成 在 前 述 閘 極 端 子 上 之 一 郜 份 1 1 的 電 阻 阍 1 VX 及 形 成 於 前 述 絕 緣 阍 的 通 孔 » 並 以 前 述 1 1 閘 極 及 前 述 閘 極 端 子 為 由 前 述 通 孔 介 由 前 述 電 m 層 做 1 I 電 氣 的 連 接 者 0 1 1 3 . 一 種 電 % 放 射 元 件 t \\ Μ 陰 極 基 板 側 與 陽 m 基 板 ID1 為 1 1 I 隔 離 密 封 的 電 埸 放 射 元 件 » 其 特 激 庄 具 阑 肜 成 於 m 1 1 本紙張尺度適用中國國娜（叫Μ規格（210χ酬） ,9771 DS 經濟部中央標隼局員工消费合作社印製 六、申請專利範圍 1 I 述 陰 極 基 板 上 的 陰 極 形 成 於 前 述 陰 極 基 板 上 而 含 有 1 1 由 空 隙 分 離 之 連 接 部 的 閘 極 端 子 覆 蓋 前 述 陰 極 及 前 1 1 述 閘 極 端 子 而 為 構 成 前 述 陰 極 VX 及 前 述 閘 極 端 子 之 端 /—S 1 I 子 現 出 的 絕 緣 層 形 成 於 該 絕 緣 .層 上 的 閘 極 設 在 與 請 閱 1 1 I 前 述 陰 極 交 叉 之 位 置 之 月U 述 閘 極 及 在 前 述 位 置 之 前 述 讀 背 1 1 1 絕 緣 層 的 開 P 部 形 成 於 該 開 □ 部 内 與 前 述 陰 極 做 電 之 注 意 事 項 填 % 本 頁 1 1 氣 連 接 的 射 極 至 少 形 成 在 前 述 空 隙 的 電 阻 層 Μ 及 1 形 成 於 前 述 絕 緣 層 之 通 孔 並 >λ 刖 述 閘 極 及 前 述 連 接 1 裝 部 為 由 前 述 通 孔 做 電 氣 的 連 接 者 0 1 1 4 . 一 種 電 場 放 射 元 件 係 Η 陰 極 基 板 側 與 陽 極 基 板 側 為 1 1 隔 離 密 封 的 電 場 放 射 元 件 其 特 激 在 具 備 ： 形 成 於 前 I 1 述 陰 極 基 板 上 的 陰 極 形 成 於 前 述 陰 極 基 板 上 而 含 有 訂 I 由 空 隙 分 雔 之 連 接 部 的 閘 極 端 子 覆 蓋 ,1 JL. 月U 述 陰 極 及 月ϋ 1 I 述 閘 極 端 子 而 為 構 成 前 述 陰 極 以 及 刖 述 閘 極 端 子 之 端 1 1 | 子 琨 出 的 m 緣 層 形 成 於 該 絕 緣 圈 上 的 閘 極 設 在 與 1 I 前 述 陰 極 .交 叉 之 位 置 之 刖 述 閘 極 及 在 前 述 位 置 之 前 述 線 1 絕 緣 層 的 開 □ 部 形 成 於 該 開 □ 部 内 與 前 述 陰 極 做 電 1 1 氣 連 接 的 射 極 至 少 形 成 於 Χ.Λ. 刖 述 閘 極 端 子 上 的 — 部 份 1 | 及 前 述 空 隙 之 咀 層 Μ 及 形 成 於 前 述 m 緣 層 之 通 孔 1 1 » 並 Μ 前 述 閘 極 及 前 述 埋 接 部 為 於 刖 述 通 孔 介 由 前 述 1 1 I 電 姐 19 做 電 氣 連 接 者 〇 1 1 5 .如 串 請 專 利 範 圍 第 4 項 的 電 場 放 射 元 件 其 中 前 述 通 1 1 孔 及 前 述 空 隙 為 形 成 於 共 通 位 置 前 述 閘 極 及 前 述 閘 1 1 極 端 子 為 於 前 述 通 孔 介 由 前 述 霄 m 層 做 電 氣 連 接 者 〇 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） i 9 3 9 7 7 1