A7 298616 B7 五、發明説明（l ) 〔發明之背景〕 (請先閲讀背面之注意事*項再填寫本頁) 本發明係有關要進行例如被封裝之邏輯電路元件等之 被檢査體之m性之特性檢査之探針裝置。 如圖1 5所示，一般探針裝置a係具備有：與安裝於 裝置本體B之探測卡（Probing card) C可成爲電性導通 (接通）之測試頭D;支承該測試頭D成可轉動之支承體 E:及藉該支承體E來使測試頭D側之連接端子和探測卡 C側之連接端子朝接觸之方向或離間（分開）方向使之轉 動測試頭D用之轉動驅動機構F，而以使用轉動驅動機構 F來使測試頭D與探測卡成電性導通，以進行被檢査體例 如半導體晶圓W之電性檢査。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 具體地說明時，在探針裝置本體B，藉例如鉸鏈安裝 形成其頂面之頭板（head plate)(未圖示），而該頭板 乃形成可朝本體背面側開放（敞開）.。在頭板之略中央形 成有開口部，且在該開口部安裝有插入環（未圖示），並 對於該插入環使探測卡C安裝成可藉卡片保持器裝卸自如 。在探測卡C上方配設有與其成電性導通之測試頭D。而 該測試頭D係藉例如轉軸G被安裝於裝置本體B之一方側 面一側，並在例如更換探測卡C之時或檢査裝置本體B內 之時，以如二點虛線所示被朝一方側面轉動，並躱避至與 朝裝置本體背面側所敞開之頭板不會產生干涉之位e。 測試頭D和探測卡C之電性導通乃藉操作台（Perf-ormance board) Η或連接環I來進行。在測試頭D內部 ，內裝有施加電壓於被檢査體之例如設於半導體晶圔上之 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS > Α4规格（210 X 2们公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 _____ B7_ 五、發明説明（2 ) I C晶片用之樣品用電源，或取進來自I C晶片之輸出於 測量部用之輸入部之探針電路（Pin electronics，檢驗 側電路之總稱）° (未圖示）。探針電路乃對於裝載於操 作台Η之複數之電子零件電路形成電性連接。而該等電子 零件電路之連接端子係成同心圓狀排列於操作台Η之下面 ，並以壓接於成同心圓狀排列於連接環I上面之接觸針（ POGO Pin)(未圖示），而使之與探測卡C形成 電性導通。
因此，以如此結構之探針裝置A，乃測試頭D朝探測 卡C側轉動，而使測試頭D側之連接端子形成與探測卡C 側之接觸針相壓接，以令測試頭D和探測卡C形成電連接 〇 然而，在測試頭D被轉動，並使測試頭D側之各連接 端子壓接於探測卡C側之接觸針之過程之時，並非所有測 試頭D側之連接端子可同時與接觸針產生壓接，而是首先 旋轉半徑爲短一側之連接端子會與所對應之接觸針壓接， 然後旋轉半徑爲長一側之連接端子方與所對應之接觸針壓 接。亦即，測試頭D側之連接端子，乃由旋轉半徑爲短之 一側依序與接觸針成壓接。因此，以如此之壓接過程之時 ’愈與旋轉半徑短一側之連接端子壓接之接觸針，愈會接 收傾斜方向；t力，亦即彎曲力而容易產生損傷。其結果， 操作員必需經常要進行監視接觸針之損傷程度，且伴隨著 所需而有必要進行更換接觸針等之維護。 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐）_ R _ ---------{ i------IT------{ k (請先閲讀背面之注意事•項再填寫本頁) 五、發明説明（3 〔發明之概要 本發明之 之測試頭側之 之連接端子， 而可防止裝置 本發明之 此探針裝置係 性連接之探針 成可動作，並 試頭，和轉動 降測試頭用之 A7 B7 目的，係擬提供一種能使對於裝 連接端子和對其形成電性導通之 以> 均勻之力量予以壓接或離間（ 本體側之連接端子產生損傷之探 目的，乃由以下之探針裝置來達 具備有，用以裝配具備與被檢査 的探測卡用之裝置本體，和在裝 能與探測卡之探針成電性導通（ 測試頭用之轉動機構，及用以朝 垂直移動手段。 置本體轉動 裝e本體側 分開），由 針裝置。 成。亦即， 體電極成電 置本體安裝 接通）之測 垂直方向升 請 先 閱 讀 背 面 之 注 ϊ x 填 I裝 頁 訂 經濟部中央標準局負工消費合作社印装 〔發明之所適合之實施形態〕 以下，將參照圖式之下對於本發明之實施例加以說明 圖1〜圖4係顯示本發明之第1實施例。如圖1所示 ，本實施例之探針裝置1乃具備有：裝置於形成裝置本體 2頂面之頭板2A中央開口部之探測卡3;具備與該探針 卡3之接觸端子3A成電性導通之連接端子（未圖示）之 測試頭（以2點虛線來顯示）4 :支承該測試頭4可朝左 側轉動用之可動支承體5 ;及藉該可動支承體5來使測試 頭4朝接觸方向或離間方向使之轉動之轉動驅動機構，如 圖2及圇3所示，探針裝置1更配設有可令測試頭4與可 動支承體5及轉動驅動機構6 —齊形成一體予以升降之升 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _ __B7 五、發明説明（4 ) 降軀動機構7。可動支承體5，轉動驅動機構6及升降驅 動機構7，乃構成爲令測試頭4對於探測卡3移動用之測 試頭移動裝置8。再者，裝置本體2設有收容所定數量之 半導體晶圓等之被檢査體之晶圓托架1 8 ，並從該晶圓托 架18會被搬運被檢體至探測卡3下側之檢査位置。 如圖1所示，測試頭移動裝置8係在裝置本體2正面 之左側面以鄰接配設成可分開。可動支承體5下方配設有 用以支承可動支承體5用之固定框體9。可動支承體5和 固定框體9以整體言，被形成爲矩形狀之框體。而在固定 框體9下端周邊緣安裝有複數之車輪1 0 ，並由該等車輪 1〇來使測試頭移動裝置8可從裝置本體2被分開而移動 0 例如圖1及圖2 A所示，可動支承體具備有：聯結於 測試頭4之收容體4 A之一對臂5 A :安裝有該等臂5 A 且順沿裝置本體2側面之全長所配設之中空狀之轉軸5 B :在兩端部支承該轉軸5 B成轉動自如用之一對軸襯（ Pillow)型軸承5C ;及固定該等軸承5 C於上面之框體 5 D。框體5 D和固定框體9乃整體言被形成爲矩形狀之 框體，並如圖1所示，被構成爲可收容於裝置本體2側面 之大小。可動支承體5乃由升降驅動機構7而在固定9之 上側被使之升降。.爲了當測試頭移動裝置8對於裝置本體 2被定位之時刻，方予以固定測試頭移動裝置8 ，而在固 定框體9下面，安裝有固定用之腳11。 轉動驅動機構6係被配設於可動支承體5後端部（在 本紙張尺度適用中國國家梯率（CNS ) A4規格（210X297公釐）~~ (請先閲讀背面之注意事•項再填寫本頁) 丨裝· 訂 A7 B7 298616 五、發明説明（5 ) 請 先 閱 讀 背 & 之· 注 意 I- 再 填 寫 本 頁 圖2A係左端部）。轉動驅動機構6乃與可動支承體5— 齊，以如將後述般被實施升降，並具備例如圖2 A所示， 面向正面所配設之附設有制動器之齒輪變速馬達6 A，和 被固定於該馬達6 A之轉軸之齒輪6 B，及與該齒輪6 B 相噛合且被固定於轉軸5 B後端部之齒輪6 C。轉動驅動 機構6乃由馬達6 A之驅動且藉齒輪6 B，6C來轉動轉 動軸5 B，以轉動移動例如最大重量爲2 6 Okg (公斤） 之測試頭4。由該動作，可令臂5 A從圖3以實線所示之 位置轉動朝時鐘方向9 0°或1 8 0°之旋轉，直至以二 點虛線所示之位置，並伴隨著該轉動可令測試頭4從對於 裝置本體2成平行相對向之位置轉動9 〇°或1 8 0° ° 該狀況時，測試頭4係以例如1 1秒鐘來轉動9 Q ° ，以 2 2秒鐘來轉動1 8 0° 。當然，由如此之轉動驅動機構 6所作之轉動範圍及轉動速度，並非僅限定於如前述之範 圍或數値者。 如圖2所示，在框體5 D上面之後端部（在圖2爲左 端部），配設有要進行測試頭4之定位的氣缸（空氣筒） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 1 2。該氣缸1 2乃由安裝於框體5 D後端部之支承構件 來被支承成水平，而在圖2中係位於轉軸5 B之左端上側 。在被固定於轉軸5 B之齒輪6 C，形成有可嵌入氣缸 1 2之氣缸桿1 2 A之複數（例如3個）之孔6 D。而該 等孔6 D乃順沿例如齒輪6 C之周方向以9 0 °之角度間 隔來配設著。因此，當氣缸桿12A由氣缸12之驅動而 朝向齒輪6 C前進並嵌入於齒輪6 C之孔6 D之時，就可 本紙張尺度適用中國國家榡準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 ____B7 _五、發明説明（6 ) 令測試頭4定位於所定位置，並在氣缸桿12A從齒輪 6C後退而從孔6D溜出（脫離）之時，齒輪6C就被釋 放而使測試頭4之轉動成爲可能。例如測試頭4對於裝置 本體2成平行之位置時，若嵌入氣缸桿1 2 A於齒輪6 C 之孔6 D，測試頭4就被定位於其水平狀態，而在從該狀 態予以後退氣缸桿1 2 A來使齒輪6 C從孔6 D脫離之時 ，就可使測試頭4轉動，使之可從裝置本體2產離間（分 開）。 如圖2所示，升降驅動機構7乃配設於固定框9。升 降驅動機構7係具備例如：朝下所配設之附設有制動器之 齒輪變速（傳動）馬達7 A :被固定於該馬達7 A之轉軸 之齒輪7 B ;與該齒輪7 B嚙合之齒輪7 C :具備該齒輪 7 C於下端之滾珠螺桿7 0 :支承該滾珠螺桿7 D成轉動 自如之軸承7 E :及在該軸承7 E上側能與滾珠螺桿7 D 螺合之螺母7 F。螺母7 F乃藉被形成爲圓筒狀之框體 7 G，使之形成螺絲聯結於可動支承體5之框體5 D之中 間之框下面，而由滾珠螺桿7 D之轉動而予以進行升降， 以令可動支承體5產生升降。亦即，滾珠螺桿7 D，螺母 7 F及框體7 G乃構成爲予以變換齒輪系（組）7 B， 7 C之轉動運動成爲上下運動之變換（轉換）機構。該狀 態下，升降驅動機構7例如可在測試頭4和探測卡3成電 性導通之狀態下，以8 0 Okg之上升推力且以5 mm /秒 之速度來令測試頭4予以上升或下降1 2 Omm之高度。 當然，由升降機構7所進行之升降範圍及升降速度並非僅 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~~ " (請先閲讀背面之注意事f再填寫本頁)
A7 B7 翅濟部中央棣準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（7 ) 限定於如此之數値者。 如圖2 B及圖3所示，在馬達7 前後（在圖2之（A)爲左右），朝 被固定於可動支承體5之框體5 D之 —對導軌7 Η。導軌7 Η係被固定於 9 A，並順沿著垂直柱9 Α成垂直延 7A之驅動而藉齒輪係7B，7C傳 桿7 D時，螺母7 F就順沿滾珠螺桿 固定於螺母7 F之可動支承體5 ，可 同時，以維持水平之狀態來與轉動驅 地在固定框體9之上側被實施升降。 再者，馬達6A，7A及氣缸1 器之操作盤10來實施動作。具體地 自操作盤19之操作信號來令被設置 裝置1 4予以控制馬達6 A，7 A之 予氣缸1 2之空氣之流動。 接著，對於上述結構之探針裝置 在探測卡3和測試頭4形成電性 ，氣缸12之氣缸桿12A乃形成嵌 之齒輪6 C之孔6 D而使測試頭4之 當爲了解除探測卡3和測試頭4 操作操作盤1 9上之所定之操作手段 之馬達7 A就會起動。由而，藉齒輪 滚珠螺桿7 D，並藉螺合於滾珠螺桿 A及滾珠螺桿7 D之 上下方向配設有要與 卡合構件7 I卡合之 固定框體9之垂直柱 長。因此，由馬達 達轉動運動於滾珠螺 7 D進行升降，由被 由導軌7 Η所導引之 動機構6 —齊成一體 2乃以操作具備監測 說明時，例如依據來 於固定框體9之控制 動作，或予以控制供 1之動作加以說明。 導通之圖1之狀態時 入於轉動驅動機構6 轉勖被鎖住。 之電性導通狀態，而 時，升降驅動機構7 系7 Β，7 C而轉動 7 D之螺母7 F而使 請 先 閱 讀 背 之 注 意 I- 再 旁 裝 訂 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) Μ规格（210Χ297公釐 -10 - 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 A7 _____B7 五、發明説明（8 ) 可動支承體5與測試頭4 一齊上升。此時，測試頭4因以 水平狀態從探測卡3側朝垂直方向移動來脫離，以致測試 頭4之所有之連接端子可同時從探測卡3側之接觸針（未 圖示）產生離間。因而測試頭4不會施加過份（不當）之 力量於接觸時，而可順暢圓滑地從探測卡3側脫離。而後 ，測試頭4到達所定之高度之時，馬達7 A就會停止。 當馬達7 A停止時，定位用之氣缸1 2會被驅動。由 該驅動，氣缸桿1 2 A產生收縮而從轉動驅動機構6之齒 輪6 C之孔6 D溜出，致使齒輪6 C成爲可轉動之狀態。 而後，馬達6A開始轉動，並藉齒輪系6B， 6C來轉動 可動支承體5之轉軸5 B。由而，可使被聯結於臂5 A之 測試頭4從探測卡3朝遠離方向轉動移動。當測試頭4予 以轉動所定之角度（例如9 0 °或1 8 0 ° )時，馬達 6A就被停止，而再度予以驅動氣缸12 ，並由該氣缸 12之驅動而使氣缸桿12A嵌入於齒輪6C之孔6D內 ，致使測試頭4會被保持於該轉動位置。以如此地來使測 試頭4從裝置本體2上方形成躱開迴避之狀態時，就爲了 要更換探測卡3 ，或爲了進行裝置本體內部之檢査而可自 由地來打開頭板2。 而從上述之狀態，再度要使測試頭4和探測卡3形成 電性導通時，就予以操作操作盤19上之所定之操作手段 來驅動氣紅1 2。由於驅動氣缸1 2 ，氣缸桿1 2A產生 收縮而從轉動驅動機構6之齒輪6 C之孔6 D溜出，使齒 輪6 C成爲可轉動之狀態。而後，馬達6 A會朝與前述之 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4規格(2丨0X297公釐），, -11 - (請先閲讀背面之注意事•項再填寫本頁) 丨裝. 訂 A7 B7 經濟部中央樣準局貝工消費合作杜印製 五、 發明説明 (9 ) 場 合 朝 反 方 向 轉 動 並 藉 齒 輪 系 6 B 6 C 來 使 可 動 支 承 體 5 之 轉 軸 5 B 轉動 致使 被 保 持 於 所 定 之 轉 動 位 S 之 測 試 頭 4 會 朝 著 靠 近 於 探 測 卡 3 之 方 向 轉 動 移 動 〇 而 由 該 轉 動 令 測 試 頭 4 與 裝 置 本 體 2 成 平 行 之 時 刻 9 馬 達 6 A 就 被 停 止 9 並 再 度 予 以 驅 動 氣 缸 1 2 〇 由 該 氣 缸 1 2 之 驅 動 > 而 使 氣 缸 桿 1 2 嵌 入 於 庙 輪 1IUJ 6 C 之 孔 6 D 內 9 致 使 測 試 頭 4 會 被 保 持 成 水 平 狀 態 0 然 後 升 降 驅 動 饿 構 7 之 馬 達 7 A 以 與 前 述 之 場 合 成 反 方 向 予 以 驅 動 5 而 藉 CS9 輪 系 7 B 1 7 C 來 轉 動 滾 珠 螺 桿 7 D 並 藉 螺 合 於 滾 珠 螺 桿 7 D 之 螺 母 7 F 而 使 可 動 支 承 體 5 形 成 與 測 試 頭 4 — 齊 下 降 〇 此 時 5 測 試 頭 4 因 以 水 平 狀 態 朝 垂 直 下 方 移 動 來 接 近 於 探 針 卡 3 側 因 而 在 測 試 頭 4 之 所 有 之 連 接 端 子 可 同 時 壓 接 於 探 測 卡 3 側 之 接 觸 針 ( 未 圖 示 ) 〇 因 此 $ 在 測 試 頭 4 側 之 各 連 接 端 子 就 不 會 給 予 接 Am 觸 針 施 加 傾 斜 方 向 之 不 當 之 力 量 之 下 > 對 於 各 接 觸 針 形 成 可 順 暢 圓 滑 地 來 壓 接 0 當 測 試 頭 4 側 之 連 接 端 子 之 全 部 完 全 壓 接 於 探 測 卡 3 側 之 接 觸 針 而 使 測 試 頭 4 和 探 測 卡 3 成 電 性 導 通 時 馬 達 7 A 就 會 被 停 止 0 如 以 上 所 說 明 9 依 照 本 資 施 例 之 探 針 裝 置 1 9 當 測 試 頭 4 和 探 測 卡 3 要 使 之 成 爲 電 性 導 通 之 時 9 首 先 9 由 轉 動 驅 動 機 構 6 來 使 在 於 迴 避 位 B 之 測 試 頭 4 被 轉 動 移 動 直 至 從 裝 置 本 體 2 之 探 測 卡 3 成 平 行 分 開 ( 離 間 ) 之 位 置 而 後 9 由 升 降 驅 動 機 俄 構 7 來 使 測 試 頭 4 形 成 與 探 測 卡 3 保 持 平 行 之 狀 態 之 下 一 齊 予 以 下 降 0 因 此 將 使 測 試 頭 4 側 之 請 先 閲 讀 背 之 注 3、 填· I裝 頁 訂 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4规格（210X297公嫠)_ _ A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 五、 發明説明 (10 ) 所 有 之 接 觸 端 子 可 同 時 壓 接 於 探 測 卡 3 側 之 所 有 之 接 觸 針 ， 以 致 對 於 各 接 觸 針 會 作 用 均 衡 之 力 量 9 因 而 可 防 止 ψί f 對 於 各 接 觸 針 予 以 作 用 傾 斜 方 向 之 不 當 之 力 ( 彎 曲 應 力 ) 而 產 生 損 傷 接 ABB 觸 針 之 情 事 〇 因 此 9 不 必 要 進 行 所 謂 部 分 性 地 來 更 換 接 觸 針 之 維 護 5 而 減 輕 維 護 作 業 進 而 可 大 幅 度 地 增 進 檢 査 效 率 〇 上 述 之 情 事 > 亦 在 爲 了 更 換 探 測 卡 3 或檢 修 裝 置 本 體 2 內 部 而 要 解 除 測 試 頭 4 和 探 測 卡 3 之 電 性 之 導 通 之 時 > 可 同 樣 地 達 成 該 功 效 0 亦 即 依 照 本 實 施 例 之 裝 置 1 > 當 要 使 測 試 頭 4 從 裝 置 本 體 2 避 開 之 時 9 首 先 f 將 由 升 降 驅 動 機 構 7 來使 測 試 頭 4 一 旦 以 水 平 狀 態 從 裝 置 本 體 2 予 以 提 升 > 而 後 9 由 轉 動 驅 動 機 構 6 來 轉 動 測 試 頭 4 使 之 可 從 裝 置 本 體 2 離 開 0 因 此 測 試 頭 4 側 之 所 有 連 接 端 子 可 同 時 從 探 測 卡 3 側 之 接 觸 針 脫 離 由 而 能 在 對 於 接 觸 針 未 作 用 上 彎 曲 應 力 之 下 來 解 除 推 壓 力 ， 因 而 可 防 止 接 觸 針 產 生 損 傷 0 再 者 本 實 施 例 之 探 針 裝 置 1 之 轉 動 驅 動 俄 構 6 5 因 具 有 馬 達 6 A 9 和 傳 達 該 馬 達 6 A 之 轉 矩 用 之 齒 輪 系 6 B 6 C 因 而 能 以 等 速 來 轉 動 測 試 頭 4 直 至 任 意 之 角 度 位 置 0 又 升 降 驅 動 機 構 7 因 具 備 有 馬 達 7 A ： 傳 達 該 馬 達 7 A 之 轉 矩 用 之 輪 系 7 B f 7 C • t 及 變 換 BS9 輪 系 7 B ， 7 C 之 轉 動 成 上 下 動 用 之 滾 珠 螺 桿 7 D 及 螺 母 7 F > 因 而 可 正 確 地 來 控 制 測 試 頭 4 之 升 降 距 離 而 可 令 測 試 頭 4 上 升 直 至 任 意 之 位 置 爲 止 〇 因 此 ， 僅 要 以 升 降 驅 動 愤 構 7 . 來 上 升 測 試 頭 4 之 時 9 即 使 並 未 以 轉 動 驅 動 機 構 6 來 轉 動 I 裝 訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐)_ ^ 3 _ 請 先 閲 讀 背 >6 之. 注 意 事‘ 項 再 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（11 ) 測試頭4 ，亦可進行裝置本體2內部之檢修。 圖5〜圖14係顯示本發明之第2實施例。如圖5〜 圖7所示，本實施例之探針裝置乃具備有，安裝成裝卸自 如於裝置本體2 1之頭板2 2 (例如螺著）之探測卡2 3 ，及設於探測卡2 3上方之測試頭2 4。探測卡2 3乃在 其表面具備有，作爲被檢査體之例如半導體晶圓（未圖示 )之電極襯墊及成電性接觸之探針列。在探測卡2 3背面 形成有探針，例如被焊錫於印刷電路之探針列（未圖示） 。測試頭2 4具有會形成電性接觸於探測卡2 3之探針列 (系）之連接端子，並被連接於不予圖示之IC測試器 。以如此之構成時，由測試頭2 4之連接端子使之形成電 性導通於探測卡2 3之探針列，就可由I C測試器來自動 地進行探針列和形成電性接觸之半導體晶圓之電性檢査。 測試頭2 4內部係內裝有，對於形成於半導體晶圓上 之IC晶片施加來自IC測試器之所預定之測試信號用之 輸出電路，及將響應於該測試信號所產生之來自I C晶片 之输出取入於測量部，例如I C測試器之輸入部所形成之 探針電路（Pin electronics)(未圖示）。探針電路乃 對於與探測卡2 3成電性連接用之裝載於操作台2 5之複 數之電子零件電路，形成電性連接。前述電子零件電路之 連接端子，以形成同心圆狀排列於操作台2 5，而與配置 於探測卡2 3側之連接（用）環（未圖示）上面所排列設 置之接觸針形成壓接。由而，測試頭2 4就如第1實施例 所說明，可藉操作台2 5和前述連接（用）環來與探測卡 (請先閱讀背面之注意事f再填寫本頁) _裝· 訂 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） 14 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7__ 五、發明説明（12 ) 2 3成電性導通。 再者，測試頭2 4乃被設定其連接端子之數量，以在 檢査形成爲大直徑化•高積體化之半導體晶圓可對應於龐 大之檢査內容，而其重量形成超重量級之例如約5 0 0 kg左右。 如圖5〜圖7所示，本實施例之探針裝置其有使被連 接於I C測試器之測試頭2 4在裝置本體2 1之一側面， 可朝例如前後方向（Y方向），上下方向（Z方向）及0 方向移動之移動機構2 6。該移動機構2 6具備有，令測 試頭2 4作正反轉動之轉動移動機構2 7，和升降測試頭 2 4用之升降驅動機構2 9，及令測試頭2 4朝水平移動 之水平移動機構3 1。轉動驅動機構2 7係收容於朝上下 延伸之第1外殼C 1之上側外殼C 1 —內，而水平移動機 構3 1和升降驅動機構2 9乃被收容於沿著裝置本體2 1 之一側面且從裝置本體21之正面朝後方成水平延伸之第 2外殼C 2及第1外殼C 1之下側部內，由轉動驅動機構 2 7來支承測試頭2 4之支承框6 1 ，乃對於第1外殼 C 1被轉動，由升降驅動機構2 9來使第1外殼C 1上側 外殻C1>使之升降，而以水平移動機構31來使第1外 殼C 1對於第2外殻成水平移動。具體的說明時，轉動驅 動機構2 7係藉支承框6 1來懸垂測試頭2 4之同時，以 其支承部爲中心來使測試頭2 4在裝置本體2 1及探測卡 2 3上方，以如圖6及圖7所示朝0方向作正反轉動。升 降驅動機構2 9係予以升降支承轉動驅動機構2 7之第1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐），^ -_ --------ί I裝------訂------ (請先閲讀背面.V注意事•項再填寫本貢) 經濟部中央標隼局負工消費合作社印製 A7 ____B7_ 五、發明説明（13 ) 支承體28 (參照圖10)，亦即第1外殼C1之上側外 殻C 1 ，以朝上下方向移動測試頭2 4。水平移動機構 3 1係要使支承升降驅動機構之第2支承體3 0 (參照圖 1 〇 )對於第2外殻C 2成水平移動，以令測試頭2 4沿 著裝置本體21之一側且在裝置本體21之前面和其後面 之間，於水平面內作往回移動。再者，在圇10中以部分 性地來顯示之各支承體2 8，3 0 ，雖在圖面上未具體地 來顯示，例如以作爲略成格子狀體之框體來形成，並以利 用各格子來固定各設備。 如圖8所示，轉動驅動機構2 7乃具備有，被固定於 第1支承體2 8之馬達9 1 ，和被固定於此馬達9 1之轉 軸之較爲小型之小齒輪9 2 ，及與該小齒輪9 2嚙合且被 固定於以軸承9 3所支承之轉軸之大齒輪9 4。在大齒輪 9 4聯結有藉聯結構件9 5來支承測試頭2 4用之支承框 6 1。因此，測試頭2 4乃由伴隨著大齒輪9 4之轉動而 產生支承框61之轉動，而以正反方向來轉動。此時，爲 了要令測試頭2 4之轉動力矩變小，以令要轉動測試頭 2 4時之轉矩成爲最小限度，而形成大齒輪9 4之轉軸之 延長線乃通過測試頭2 4之重心附近，並設定測試頭2 4 之轉動中心和測試頭2 4之重心之間之距離成爲0或極爲 短。因此，測試頭2 4乃形成以其重心或重心附近作爲轉 動中心來轉動。再者，測試頭2 4係以例如1 8 0 ° / 3 0秒之轉動速度來轉動。 在第1支承體2 8，設有以在任意之轉動位置予以固 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨Ο X 297公釐)_】6 · (請先閲讀背面之注意事·項再填寫本頁) 丨裝· 訂 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) 定轉動驅動機構2 7之大齒輪9 4 ，亦即測試頭2 4用之 鎖定機構3 2。此鎖定機構3 2係如圖9所示，具備有氣 缸141，及在設於氣缸141之氣缸桿141A之銷 1 4 2 ，予以聯結其一端之一對扁平棒1 4 3，1 4 4。 右方之扁平棒1 4 3係使其左端與銷1 4 2卡合成轉 動自如。而在右方之扁平棒1 4 3之右端，配設有在鎖定 時會形成如一點虛線所示之嚙入於大齒輪9 4之輪齒之鎖 定爪1 4 5。右方之扁平棒1 4 3乃在鎖定爪1 4 5之近 旁，具備有導引扁平棒1 4 3之移動方向用之滾子1 4 6 。而該滾子1 4 6乃被嵌入於被固定於第1支承體2 8之 導件構件丨5 0之成水平方向爲長之導溝1 4 7，由而可 引導右方之扁平棒1 4 3之移動方向。 左方之扁平棒1 4 4右端部形成有朝長度方向展延之 長孔1 4 8，銷1 4 2則卡合於該長孔1 4 8。因此，銷 1 4 2可伴隨著氣缸1 4 1之氣缸桿1 4 1 A之伸縮而沿 著長孔1 4 8移動。左方之扁平棒1 4 4左端乃被樞著成 可轉動自如於被固定於第1支承體2 8之銷1 4 4 A。而 第1支承體2 8和各扁平棒1 4 3，1 4 4 ，互相由彈簧 1 4 9 ，1 4 9而個別加以聯結。彈簧1 4 9 ，1 4 9乃 經常賦壓（彈壓）扁平棒1 4 3，1 4 4朝向與氣缸桿 141A之伸長方向，亦即由氣缸141所推上之方向爲 反方向之狀態。 依據如此結構之鎖定機構3 2 ，當驅動氣缸而形成如 圖9之實線所示之氣缸桿1 4 A伸長之胃胃 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（ 210X 297公釐)_ Η - ^ -裝 訂 ^ ^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 A7 _B7___ 五、發明説明（15 ) 1 4 4 ，將會以其左端之銷1 4 4 A爲中心朝反時鐘方向 轉動之同時，右方之扁平棒1 4 3之滾子1 4 6會在導溝 1 4 7內朝左方移動而使右方之扁平棒1 4 3被提高，並 使右方之扁平棒1 4 3之銷定爪1 4 5從大齒輪9 4之齒 間脫開，而解除轉動驅動機構2 7之鎖定。相反地，當氣 缸1 4 1內之壓縮空氣消失時，可由彈簧1 4 9 ，1 4 9 而拉下各扁平棒1 4 3 ，1 4 4 ，並成爲如圖9之一點虛 線所示之水平狀態（直線狀態），而鎖定爪1 4 5會嚙入 於大齒輪9 4。由而可阻止由轉動驅動機構2 7所實施之 測試頭2 4之轉動，致使測試頭2 4保持於該時之現在轉 動位置。 如圖1 0所示，升降驅動機構2 9乃具備有：安裝於 第2支承體3 0之升降驅動用馬達1 1 1 ;被固定於馬達 1 1 1轉軸之驅動力傳達（傳動）用之第1齒輪1 1 2 ; 與第1齒輪112嚙合用之驅動力傳達用之第2齒輪 113 :被連接固定於第2齒輪113之轉軸並與該轉軸 成一體轉動之滾珠螺桿114 ;及螺合於該滾珠螺桿 毳 1 1 4，且被固定於第1支承體2 8之螺母構件1 1 5。 滾珠螺桿1 1 4乃由被固定於第2支承體3 0之軸承 1 1 8被t支承爲可轉動。在第2支承體3 0配設有一對導 軌1 1 6 ，1 1 6成縱方向，而在第1支承體2 8安裝有 要與各導軌1 1 6，1 1 6卡合之卡合構件1 1 7 ， 1 1 7。因此，當馬達1 1 1轉動時，該轉動運動會藉第 1及第2之齒輪1 1 2，1 1 3來傳達於滾珠螺桿1 1 4 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（21 ο X 297公釐)_ i 8 _ --------------{-裝 —------訂—-----IU ^ (請先閣讀背面.V/注意事T再填寫本I) 經濟部中央橾準局貝Η消費合作杜印製 A7 _B7 _ __ 五、發明说明（16 ) ，而使螺母構件115沿著滾珠螺桿114進行升降。再 者，由如此之升降軀動機構2 9而使測試頭2 4以例如 3 0 Omm/6 0秒之速度來實施升降。 水平移動機構31乃構成爲具備有，安裝於第2支承 體3 0之馬達1 3 1 ，和被聯結固定於馬達1 3 1轉軸之 小齒輪1 3 2，及要與小齒輪1 3 2嚙合之齒條1 3 3 ° 齒條1 3 3乃沿著第2外殼C 2內面成水平方向配設。而 在齒條1 3 3上方，配設有—對導軌1 3 4 ，1 3 4互隔 著所定距離分開且與齒條1 3 3成平行。各導軌1 3 4， 1 3 4設成遍及第2外殼C 2之約全長之長度，而齒條則 配設成可令第1外殻C1移動於遍及第2外殼C 2全長之 長度。各導軌1 3 4卡合著安裝於第2支承體3 0之卡合 構件（未圇示）。因而，當馬達131轉動時，第2支承 體3 0及第1支承體2 8可藉小齒輪1 3 2和齒條1 3 3 而沿著導軌1 3 4 ，1 3 4成水平方向作往復運動。此時 ，測試頭2 4雖可由其重量而有所不同，惟以例如 1 0 0 0〜1 5 0 0mm/4 0秒之速度，理想爲 1 2 9 5mm/4 0秒之速度來作水平運動。 如前述，移動機構2 6乃馬達作爲驅動源並藉支承框 6 1來移動測試頭2 4。因此，爲了不使驅動源之振動俥 達至精密機器（設備）之測試頭2 4，而在支承框6 1裝 配有浮動機構3 3。 如圖1 1及圖1 2所示，浮動機構3 3乃構成作爲予 以聯結測試頭2 4和支承框6 1之同時，令測試頭2 4從 本紙張尺度適用中國國家榇準（CNS ) A4規格（210X297公釐)_ _ ----------^ -裝-----；|訂------人.VN (請先閱讀背面之注意事項再填寫本I) 298616五、發明説明（17 ) A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 支承框61成浮動狀態之機構。如圇11所示，浮動機構 3 3具備有一對導塊1 5 1 ，1 5 2，及由各導塊1 5 1 ，1 5 2所挾持之筒狀之防振橡膠1 5 3。如圖1 2所示 ，防振橡膠1 5 3乃由筒狀之橡膠構件1 5 3A，及被覆 該橡膠構件1 5 3 A之內外周面之個個用之金靥製之筒狀 構件1 5 3B，1 5 3C所構成，而吸收來自支承框6 1 之振動，以防止傳達給予測試頭2 4之振動。 具體地說明時係如圖1 3所示，各導塊1 5 1 ， 1 5 2乃被形成爲具有能與筒狀之防振橡膠1 5 3相接觸 且從兩側挾持該防振橡膠之圓弧面1 5 1 A，1 5 2A之 分割爲一半之構造。測試頭2 4之側面予以固定互成相對 向之上下一對之L型鋼3 4，3 4，而在支承框6 1之內 面亦固定有互成相對向之上下一對之L型鋼3 5 ，3 5。 導塊1 5 1乃以被插入於L型鋼3 5，3 5間之狀態下， 穿通螺栓（未圖示）於形成於L型鋼3 5，3 5之螺栓孔 3 5A和形成於導塊1 5 1之螺栓孔1 5 1 C，並予以被 鎖緊而固定於L型鋼3 5，3 5間。導塊1 5 2乃以在與 導塊1 5 1之間挾持防振橡.膠1 5 3之狀態下，穿通螺栓 於在導塊1 5 2橫方向所形成之螺栓孔1 5 2 B及在導塊 1 5 1橫方向所形成之螺栓孔1 5 1 B，並以螺母（未圖 示）加以鎖緊而安裝於導塊1 5 1上。測試頭2 4乃以令 浮動機構3 3位於L型鋼3 4，3 4間之狀態下，穿通螺 栓3 6於被形成於L型鋼3 4，3 4之螺栓孔3 4A和防 振橡膠1 5 3之中心孔並以螺母加以鎖緊，致使藉L型鋼 (請先Μ讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 20 經濟部十央標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（18 ) 3 4，3 4及浮動機構3 3，對於支承框6 1成浮動狀態 來被支承。因此，依據此結構，即使由於移動機構2 6而 支承框6 1產生振動，該振動可由防振橡膠1 5 3之橡膠 構件1 5 3 A所吸收，而並不會傳達於測試頭2 4。 再者，在本實施例之結構，馬達9 1 ，1 1 1， 1 3 1及氣缸1 4 1乃以操作具有監測器之操作盤1 9 ( 雖在圇5至圖7未圖示，惟在圖14有所圖示）來動作。 具體性地說明時，例如依據來自操作盤1 9之操作信號， 控制裝置3 9 (參照圖5及圖6 )將控制馬達9 1， 111， 131之動作，或予以控制供予氣缸141之空 氣之流動。又在裝置本體2 1設置收容所定數量之半導髏 晶圓等之被檢査雔之晶圓托（運）架18 (雖在圖5至圖 7未圖示，惟圖示於圖14)，並從該晶園托架18自動 搬運被檢査體直至探測卡2 3下側之檢査位置。
I 接著，參照圖1 4A〜圖1 4D之下來說明有關進行： 本實施例之探針裝置之維護等時之狀況。再者，圇中，〇 符號係顯示測試頭2 4之重心位置，3 8係顯示導氣管。 在本實施例之探針裝置，若要更換探測卡2 3之時， 首先，有必要驅動圖示於圖1 0之升降驅動機構2 9，以 令測試頭2 4移動至裝置本體2 1之上方。具體地說明時 ，操作操作盤1 9上之所定之操作手段，以驅動升降驅動 機構2 9之馬達1 1 1。由而，可藉第1及第2之齒輪 1 1 2，1 1 3而轉動滾珠螺桿1 1 4 ，並藉螺合於滾珠 ^ ^ 1 1 4之螺母構件1 1 5而使第1支承體2 8沿著導！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）〇 η —/ 1 — I ^ ^ * 裝 訂 ί·ν (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（19 ) 軌1 1 6上升。由於該第1支承體2 8之上升，可藉聯結 於第1支承體2 8上之轉動驅動機構2 7之支承框6 1而 形成如圖5所示，測試頭2 4會上升所期盼之距離（例如 120mm)，以解除測試頭24和探測卡23之電性之 導通狀態。此時，測試頭2 4因從探測卡2 3側以形成水 平狀態朝垂直上方移動來分開，因而測試頭2 4之所有連 接端子可從探測卡2 3側之接觸針（未圖示）同時形成分 開。故測試頭2 4並不會施加不當過分之力量於接觸針之 下，可從探測卡2 3側成順暢園滑地分開。 以上述之狀態下，接著予以驅動圖1 0所示之水平移 動機構3 1之時，測試頭2 4就會迴避至裝置本體2 1之 後方。具體地說明時，予以操作操作盤19上之所定之操 作手段，以驅動水平移動機構31之馬達131。由該驅 動，會使與齒條1 3 3嚙合之小齒輪1 3 2轉動之同時， 第2支承體3 0會沿著導軌1 3 4成水平方向移動，而使 測試頭2 4成平移動所期盼之距離（例如1 2 9 5mm) 至裝置本體2 1之後方面迴避。當以此狀態，再度予以驅 動升降驅動機構2 9之時，測試頭2 4會從圖1 4 A以2 點虛線所示之狀態降低所定距離（例如3 0 0 m m )，而 降低了測試頭2 4之重心，致使測試頭2 4形成該同圖以 實線所示之穗定之狀態。由而，可令測試頭2 4放置成逮 離裝置本體2 1至後方成穩定狀態，因此，可提升頭板 2 2來打開裝置本體，以更換裝配於頭板2 2之略中央之I 探測卡2 3。當打開裝置本體2 1而終止探測卡2 3之更 本紙張尺度適用中國國家標準TCNS ) A4規格（210X297:釐1。0 -LL· · !--^------f -裝丨------訂----II--ί i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局員工消費合作社印裝 A7 ________B7_ 五、發明説明（20 ) 換時，降下頭板2 2並關閉裝置本體之上面，且藉移動機 構2 6來使測試頭回行至檢査位置。 又在本實施例之探針裝置，爲了進行測試頭2 4之維i j 護，而需要令測試頭2 4形成圖1 4 B所示之垂直狀態之丨 時，就例如動作成如下。亦即，首先，以驅動圖1 〇所示 之升降驅動機構2 9來使測試頭2 4從裝置本體2 1上升 1 2 0 m m之後，予以驅動水平移動機構3 1來使測試頭 2 4朝後方成水平移動9 7 5mm。以該狀態下，予以驅 動圖9所示之鎖定機構3 2之氣缸1 4 1 ，而由氣缸桿 1 4 1A來使扁平棒1 4 3，1 4 4之銷結合部推上直至 圖7之實線所示之狀態。由而，鎖定爪1 4 5可從轉動驅 動機構2 7之大齒輪9 4脫離，而解除轉動驅動機構2 7
I 之銷定。以該狀態下，此一次則驅動圚8所示之轉動驅動 機構2 7之馬達9 1 ，以藉小齒輪9 2來轉動大齒輪9 4 ，並藉聯結於大齒輪9 4之支承框6 1 ，以令測試頭2 4 以大齒輪94之轉軸爲中心來轉動90° 。而後，再一次 驅動圖9所示之鎖定機構3 2來鎖定測試頭2 4之轉動， 以保持測試頭2 4成垂直狀態。再來，予以驅動圖1 〇所 示之升降驅動機構2 9，以令測試頭2 4維持垂直狀態下 ，從圖1 4B之2點虛線所示之狀態下降3 0 0mm，而 予以形成同圖實線所示之狀態。以形成如此之狀態時，就 能以容易舒適之姿勢來進行例如操作台2 5之維護工作。1 再者，若有必要，則予以驅動圖1 0所示之水平移動機構 3 1 ，而使測試頭2 4後退例如3 2 0 m m直至同圖（圖 本紙張尺度逋用中國國家標準（〇阳〉八4規格（210'/ 297公釐)_23_ ~ 一 II-----裝--. (請先閲讀背面之注意事•項再填寫本頁) 訂 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 A7 B7五、發明説明（21 ) 1 4 B )之以2點虛線所示之位置。若以如此之狀態下來 卸下測試頭2 4之蓋子時，就可由兩側來檢條測試頭2 4 I I 0 又在本實施例之探針裝置，擬進行操作台2 5之更換 之時，就以例如下列之方式來進行。亦即，首先予以驅動 圖1 0所示之升降驅動機構2 9，以令測試頭2 4從本體 裝置21上升12Omm。接著，驅動水平移動機構31 ，以令測試頭2 4朝後方移動9 7 5mm。再予以解除圖 9所示之鎖定機構3 2之鎖定之後，驅動圖1 0所示之轉 動驅動機構27來使測試頭24轉動90° ，而再度以鎖 定機構3 2來鎖定轉動驅動機構2 7。並再度軀動水平移i I 動機構31來使測試頭24朝後方移動320mm之後，： 由轉動驅動機構27更朝向方向轉動30° ，以令測試頭 2 4形成從開始有轉動1 2 0 °之在圖1 4 C所示之狀態 。而後，再由升降驅動機構2 9來使測試頭2 4從2點虛 線所示之位置下降3 0 0mm，使之成爲以同圖實線所示 之狀態。由而可獲得極容易地來更換操作台2 5之姿勢。 又在圖1 4 C所進行之3 0。之轉動，若換成爲9 0°之 轉動時，亦可形成如圖1 4 D所示之從元先予以轉動測試 頭2 4有1 8 0。，而使測試頭2 4成爲適合於維護之姿 i 勢。 再者，該等之一連串之動作，可依據程式之設定而自 動地加以執行。亦即，對於控制裝置3 9之微電腦進行前 述各驅動機構之動作模齒之程式規劃，就可自動地執行前 本紙張尺度適用中國國家梂準（CNS >从规格（210X297公釐）％ I _裝 訂 ^ 知 (請先閲讀背面t注意事T再填寫本頁) 298636 經濟部中央樣準局貞工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（22 ) 述之一連串動作，。 如上所說明，本資施例之探針裝置可由升降驅動機構： 2 9 ，而使測試頭2 4維持且保持與探測卡2 3成平行狀 態下來被升降。因此，可令測試頭2 4側之所有連接端子 同時壓接於探測卡2 3側之所有之接觸針，因而對於各接 觸針會作用均衡之力置，以致可防止對於各接觸針作用傾 斜方向之不當過分之力量（彎曲應力）使之損傷接觸針之 情事。由而，成爲不必要進行所謂部分性地要更換接觸針 之維護，以致減輕了維護作業，而可大幅度地增進檢査效 率0 又本實施例之探針裝置可由移動機構2 6所形成之如 前述之動作，而試測試頭2 4形成可圓滑順暢地倒轉，朝 前後，上下地移動。因此，甚至伴隨者半導晶圓之大型化 。髙稹體化，致使測試頭2 4成爲超重量級，亦可不予以 增高測試頭2 4之重心，又不予以在大的範圍移動測試頭 2 4之下，可令測試頭2 4以形成穩定之狀態且圓滑順暢 地移動至所期盼之位置，例如優異於維護等之作業性之位 置。其結果，可確保維護等之作業之安全性，並可圖謀省 空間化。 又本實施例之探針裝置，因具備用以鎖定轉動驅動機 構2 7用之鎖定機構3 2 ，因而可由鎖定機構3 2來鎖定 測試頭2 4於所期盼之轉動位置，以致可保持測試頭2 4 於對應於維護所需之任意之傾斜狀態。 苒者，在前述之各實施例，雖對於操作者要更換探針 25 - 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（23 ) 卡之探針裝置加以說明，惟本發明甚至對於可自動更換探 針卡之探針裝置，亦可適用。又在前述各實施例，以用以 檢査半導體晶圓用之探針裝置爲例子來說明本發明之探針 裝置，惟甚至對於進行LCD(液晶顯示器）基板之檢査 的探針裝置，亦可適用本發明。 1 〔圖式之簡單說明〕 圇1係有關本發明第1實施例之探針裝置斜視圇。 圖2 A係從左側面看圖1之探針裝置之測試頭移動裝| 置之圖。 圖2 B係圖2 A沿著2 B — 2 B線之剖面圖。 圖3係從後方看圖1之探針裝置之測試頭移動裝置之 圖0 圖4係圖1之探針裝置之測試頭移動裝置之平面圖。 圖5係有關本發明第1實施例之探針裝置斜視圖。 圖6係以概略性地顯示圖5之探針裝置之斜視圓，用 以說明由移動機構所形成之測試頭之移動方向用之圖。 經濟部中央標準局員工消费合作社印策 (請先閲讀背面t注意事項再填寫本頁) 圖7係顯示以轉動驅動機構來轉動測試頭時之狀態的 概略圖。 圖8係以概略性地來顯示圖5之探針裝置之轉動驅動 機構之斜視圖。 圖9係顯示用以鎖定轉動驅動機構用之鎖定機構的結 構圖。 圖1〇係以概略性地來顯示圖5之探針裝置之升降驅 I紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐)_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（24 ) 1 動機構及水平移動機構之斜視圖。 圖1 1係顯示圖5之探針裝置之支承框和浮動機構之 斜視圖。 圖12係顯示圈11所示之浮動機構之詳細的斜視圖 0 i 圖13係顯示圖11所示之浮動機構及其裝配構件之 分解斜視圖。 圖14A係從右方向看圖6之圖，顯示由圖5之探針 裝置之移動機構來移動測試頭有旋轉角度0度時之狀態圖|
I 〇 圖1 4 B係從右方向看圖6之圖，顯示由圖5之探針 裝置之移動機構來移動測試頭有旋轉角度9 0度時之狀態 圖。 圖1 4 C係從右方向看圖6之圖，顯示由圖5之探針. 裝置之移動機構來移動測試頭有旋轉角度1 2 0度時之狀 態圖。 圖14D係從右方向看圖6之圖，顯示由圖5之探針 裝置之移動機構來移動測試頭有旋轉角度i 8 〇度時之狀 態圖。_ 丨 圖15係先前之探針裝置概略圖。 〔符號之簡單說明〕 A，1 :探針裝置 B，2 ，2 1 :裝置本雔 本紙張尺度適用中國Η家揉準（CNS ) A4規格（21GX297公幻。„ —~ -V / - (請先閱讀背面之注意事•項再填寫本頁) 丨裝· 訂 A7五、發明説明（25 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 C ， 3 ， 2 3 探 測 卡 D ， i » 2 4 ： 測 試 頭 W :半導 體 晶 圓 5 :可動 支 承 體 6 2 7 轉 動 驅 動 機 構 7 ， 2 9 升 降 驅 動 機 構 8 ， l 6 測 試 頭 移 動 裝置 9 :固定 框 6 A 7 A 9 1 1 1 1 > 1 2 1 4 1 氣 缸 1 3 支 承 構 件 1 9 操 作 盤 2 5 操 作 台 2 8 第 1 支 承 體 3 0 第 2 支 承 體 3 1 水 平 移 動 機 構 3 2 鎖 定 備 機 構 3 3 浮 動 機 構 3 8 導 氣 管 3 9 控 制 裝 置 1 5 3 ： 防 振 橡 膠 1 4 9 ： 彈 簧 0 (請先閱讀背面之注意事•項再填寫本頁) —裝. —訂 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐)_