DE60115268T2 - Positionierer für elektronische testköpfe - Google Patents

Positionierer für elektronische testköpfe Download PDF

Info

Publication number
DE60115268T2
DE60115268T2 DE60115268T DE60115268T DE60115268T2 DE 60115268 T2 DE60115268 T2 DE 60115268T2 DE 60115268 T DE60115268 T DE 60115268T DE 60115268 T DE60115268 T DE 60115268T DE 60115268 T2 DE60115268 T2 DE 60115268T2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
test head
base
slider
mounting unit
coupling
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
DE60115268T
Other languages
English (en)
Other versions
DE60115268D1 (de
Inventor
Naum Gudin
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
InTest Corp
Original Assignee
InTest IP Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by InTest IP Corp filed Critical InTest IP Corp
Publication of DE60115268D1 publication Critical patent/DE60115268D1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE60115268T2 publication Critical patent/DE60115268T2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/04Housings; Supporting members; Arrangements of terminals
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/06705Apparatus for holding or moving single probes
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
  • Pivots And Pivotal Connections (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)
  • Golf Clubs (AREA)
  • Chair Legs, Seat Parts, And Backrests (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)

Description

  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Beim automatischen Testen von integrierten Schaltungen (IC) und anderen elektronischen Bauelementen ist es erwünscht, das Bauelement auf die zweckmäßige Temperatur zu bringen und das zu testende Bauelement in Position zu bringen. Um diese Schritte durchzuführen, kann eine Vorrichtung, die als Bauelementhandhabevorrichtung bezeichnet wird, verwendet werden. Eine Bauelementhandhabevorrichtung kann eine Waferprüfsonde oder irgendeine andere Vorrichtung umfassen, die das getestete Bauelement halten könnte. Das elektronische Testen selbst wird durch ein großes und teures automatisches Testsystem bereitgestellt, das einen Testkopf umfasst, der mit der Bauelementhandhabevorrichtung verbinden und koppeln musste. In solchen Testsystemen war der Testkopf gewöhnlich sehr schwer – in der Größenordnung von 40 bis 1000 (oder mehr) Kilogramm. Der Grund für diese Schwere liegt daran, dass ein Testkopf mit elektronischen Schaltungen dicht gepackt ist, um ein genaues Hochgeschwindigkeitstesten zu erreichen.
  • Testkopf-Positionierungssysteme können verwendet werden, um den Testkopf mit Bezug auf die Bauelementhandhabevorrichtung zu positionieren. Wenn der Testkopf in Bezug auf die Bauelementhandhabevorrichtung genau in Position liegt, wird behauptet, dass der Testkopf und die Bauelementhandhabevorrichtung ausgerichtet sind. Wenn der Testkopf und die Bauelementhandhabevorrichtung ausgerichtet sind, können die zerbrechlichen elektrischen Verbindungsstecker des Testkopfs und der Bauelementhandhabevorrichtung zusammengebracht (d. h. gekoppelt) werden, was die Übertragung von Testsignalen zwischen dem Testkopf und der Bauelementhandhabevorrichtung ermöglicht. Bevor sie zusammengebracht werden, müssen folglich die zerbrechlichen elektrischen Verbindungsstecker des Testkopfs und der Bauelementhandhabevorrichtung genau ausgerichtet werden, um eine Beschädigung der zerbrechlichen elektrischen Verbindungsstecker zu vermeiden.
  • Testkopf-Positionierungseinrichtungen werden in verschiedenen Konfigurationen gestaltet, wobei jede Konfiguration für einen speziellen Zweck erwünscht ist. Viele Positionierungseinrichtungen umfassen eine Testkopf-"Montageeinheit". Die Montageeinheit stützt den Testkopf ab und kann eine oder mehrere Bewegungsachsen für den Testkopf vorsehen. Die Testkopf-Montageeinheit kann ein "Schwenkge stell", ein "Translationsgestell", ein "Joch" oder eine andere Vorrichtung umfassen. Im Allgemeinen umfassen ein Schwenkgestell, ein Translationsgestell und ein Joch alle zwei parallele Strukturen, die neben den zwei entgegengesetzten Seiten des Testkopfs angeordnet sind und an denen der Testkopf befestigt ist. Mit einem Schwenkgestell wird der Testkopf derart montiert, dass er um eine Achse schwenken kann, die zu den zwei parallelen Strukturen im Allgemeinen senkrecht ist. Mit einem Translationsgestell wird der Testkopf derart montiert, dass er hinein und heraus gleiten und möglicherweise auch schwenken kann. Mit einem Joch wird der Testkopf starr an den zwei parallelen Strukturen befestigt. Beispiele von anderen Strukturen werden später erwähnt. Nachstehend wird der Begriff "Gestell" als Bedeutung eines Schwenkgestells, eines Translationsgestells oder ein Jochs verwendet.
  • In einer Taumelmodus-Positionierungseinrichtung ist die Montageeinheit beispielsweise ein Schwenkgestell; der Testkopf schwenkt (oder taumelt) um zwei entgegengesetzt angeordnete Schwenkpunkte innerhalb des Schwenkgestells. Dies ermöglicht, dass der Benutzer den Testkopf im Schwenkgestell von einer Position, in der die Bauelementhandhabevorrichtungs-Schnittstellenplatine aufwärts liegt (zum Koppeln mit horizontalen ebenen Handhabevorrichtungen von der Unterseite) um 180 Grad oder mehr in eine Position, in der die Bauelementhandhabevorrichtungs-Schnittstellenplatine abwärts liegt (zum Koppeln mit horizontalen ebenen Handhabevorrichtungen von der Oberseite), taumeln zu lassen. Ein Beispiel einer Taumelmodus-Positionierungseinrichtung ist in einem vorherigen Patent von Smith (US-Patent Nr. 4 705 447) offenbart.
  • In einer Kabelschwenkmodus-Positionierungseinrichtung schwenkt der Testkopf auf der Achse der Testkopfkabel. Im Vergleich zur Taumelmodus-Positionierungseinrichtung ermöglicht eine Kabelschwenkmodus-Positionierungseinrichtung die Verwendung von verringerten Kabellängen. In vielen Kabelschwenk-Positionierungseinrichtungen ist der Testkopf starr an einem Joch befestigt. Die Kombination aus Joch und Testkopf ist an der Positionierungseinrichtung in einer Weise befestigt, die ermöglicht, dass sie um 180 Grad oder mehr um die Achse der Testkopfkabel für die vorher erwähnten Zwecke gedreht wird. Es gibt verschiedene Weisen zum Implementieren von Kabelschwenk-Positionierungseinrichtungen, wie beispielsweise in den US-Patenten 5 900 737, 5 608 334, 5 450 766, 5 241 870, 5 030 869 und 4 893 074 beschrieben.
  • Sowohl in der Taumelmodus- als auch der Kabelschwenk-Positionierungseinrichtung ist es auch typisch, ein Mittel vorzusehen, um zu ermöglichen, dass der Testkopf zumindest um einige Grad um eine Achse geschwenkt wird, die zu der Achse senkrecht ist, die die 180 Grad Drehung bereitstellt und die zur Bauelementhandhabevorrichtungs-Schnittstelle parallel ist. Somit kann die Testkopf-Montageeinheit sowohl Taumel- als auch Rollbewegungen für den Testkopf bereitstellen.
  • Noch weitere Positionierungseinrichtungen beinhalten Translationsgestell-Montageeinheiten, die eine Einwärts-Auswärts-Translationsbewegung zusätzlich zu einer oder mehreren Achsen einer Schwenkbewegung bereitstellen. Die vorstehend erwähnten US-Patente 5 241 870 und 5 450 766 sehen Beispiele solcher Einheiten vor. In diesen Beispielen ist der Testkopf an Gleiteinheiten befestigt, die entlang zwei paralleler Strukturen einwärts und auswärts gleiten, die neben den zwei entgegengesetzten Seiten des Testkopfs angeordnet sind. Typischerweise ist der Testkopf an den Gleiteinheiten so befestigt, dass er um die Achse schwenken kann, die durch die zwei Befestigungspunkte definiert ist.
  • Noch weitere Positionierungseinrichtungen verwenden keine Gestelle. In einem Beispiel umfasst die Testkopf-Montageeinheit einen kardanartigen Mechanismus innerhalb des Testkopfs, der Rotationsfreiheitsgrade für den Testkopf vorsieht. Eine erste Kabelschwenkachse stützt die Kardaneinheit ab. Die Kardaneinheit stützt eine zweite Achse ab, die zur ersten Kabelschwenkachse senkrecht und zur Testschnittstellenplatine parallel ist und die den Testkopf direkt abstützt. Der Testkopf kann um die zweite Achse schwenken.
  • Nachdem ein Testkopf mit der Bauelementhandhabevorrichtung gekoppelt ist, kann der Testkopf in einem entriegelten Zustand relativ zu den Achsen, um die er schwenkt, gehalten werden. Dies kann durchgeführt werden, um die Übertragung einer Schwingung von der Bauelementhandhabevorrichtung auf das Positioniereinrichtungssystem zu ermöglichen, so dass die ganze Schwingung nicht durch die zerbrechlichen elektrischen Verbindungssteckern absorbiert wird, was zerstörend sein könnte. Mit anderen Worten, durch Entriegeln der Drehachsen, so dass sich der Testkopf in einem "schwebenden" Zustand befindet, werden Schwingungskräfte an das Positionierungssystem abgeleitet.
  • Wenn sich ein Testkopf in einer Positionierungseinrichtung befindet, ist es er wünscht, dass der Testkopf innerhalb der Montageeinheit um den Schwerpunkt des Testkopfs schwenkt. "Schwerpunkt des Testkopfs" bezüglich einer Schwenkachse, die von der Montageeinheit bereitgestellt wird, bedeutet den Schwerpunkt des Testkopfs in Kombination mit den Abschnitten der Montageeinheiten, die mit diesem schwenken, und den Kabeln oder einer anderen Ausrüstung, die sich auf das Gleichgewicht des Testkopfs innerhalb seiner Montageeinheit auswirkt. Obwohl der Testkopf während der normalen Installation an der Montageeinheit am Schwerpunkt des Testkopfs befestigt ist, kann sich der Schwerpunkt des Testkopfs ändern. Dies kann beispielsweise vorkommen, wenn Leiterplatten zum Testkopf hinzugefügt (oder von diesem entfernt) werden. Der Schwerpunkt des Testkopfs kann auch durch die Kabel beeinflusst werden, die sich in den Testkopf erstrecken. Es ist üblich, dass die Kabel bis zu 30 % des Gesamtgewichts der Kombination der Kabel und des Testkopfs vorsehen.
  • Komponenten der Montageeinheit können mit dem Testkopf in einer oder mehreren Achsen schwenken. In einem Taumelmodussystem, wie z. B. im US-Patent Nr. 4 705 447 beschrieben, schwenkt der Testkopf beispielsweise bezüglich des Schwenkgestells in einer ersten Achse und die Kombination des Testkopfs und des Schwenkgestells schwenkt um eine senkrechte Achse. Als weiteres Beispiel bei der in 7 des US-Patents Nr. 5 450 766 gezeigten Kabelschwenk-Positionierungseinrichtung schwenken der Testkopf und das Joch als kombinierte Einheit um eine erste Achse und das Testkopfjoch und die andere Vorrichtung schwenken als Einheit um eine zweite, senkrechte Achse. Es ist sehr erwünscht, dass jede Schwenkachse durch seinen jeweiligen Schwerpunkt verläuft. In diesen Beispielen wird der Abschnitt der Montageeinheit, der mit dem Testkopf schwenkt, in dem Ausmaß, in dem er mit dem Testkopf schwenkt, effektiv zu einem "Teil" des Testkopfs.
  • Wenn jedoch der Testkopf nicht so positioniert wurde, dass er um einen Schwerpunkt schwenkt, und daher im Ungleichgewicht ist, dann versuchen Gravitationskräfte, den Testkopf in Richtung des Gleichgewichtszustandes zu drücken. Dies kann ein signifikantes Ausmaß an Beanspruchung an den Testkopfstiften erzeugen, durch die Signale von der Bauelementhandhabevorrichtung empfangen und zu dieser übertragen werden. Da ein Testkopf 1000 Kilogramm (oder mehr) wiegen kann, können, wenn der Schwerpunkt um 1/8 Inch (beispielsweise) versetzt ist, die seitlichen Kräfte, die auf die Testkopfstifte infolge dieses Ungleichgewichts aufgebracht werden können, beträchtlich sein. Durch Aufbringen solcher Kräfte auf die äußerst kleinen und zerbrechlichen Stifte können die Stifte verschlissen oder beschädigt werden. Wenn das Testkopfgewicht und -ungleichgewicht durch andere Strukturen (d. h. Nocken und Führungsstifte) abgestützt werden können, können diese anderen Strukturen alternativ auch durch das Ungleichgewicht verschlissen oder beschädigt werden. Folglich ist es sehr unerwünscht, dass die Achse, um die der Testkopf schwenkt, von seinem Schwerpunkt versetzt ist.
  • In der Vergangenheit wurde die Position des Testkopfs in der Montageeinheit durch solche Verfahren wie Wechseln von Trägern verschiedener Längen (bis der Testkopf um seinen Schwerpunkt schwenkt) oder Verwenden eines Schwenkgestells mit mehreren Schwenkpunkten und Ändern des Schwenkpunkts, der zum Koppeln mit dem Testkopf verwendet wird, eingestellt. Noch ein weiteres Verfahren zum Einstellen des Orts des Schwerpunkts besteht darin, Gewichte oder Ballast zum Testkopf hinzuzufügen oder von diesem zu entfernen. Alle solchen Verfahren sind mühselig und können die Demontage der Anlage erfordern, um die Einstellung bereitzustellen.
  • EP 0 468 906 A2 offenbart ein Bauelementtestsystem, in dem ein elektronischer Testkopf für eine Schwenkbewegung um drei senkrechte Achsen montiert ist. Das Bauelementtestsystem ist mit einer Stützstruktur und einer Positionierungseinrichtung versehen, die sich entlang dieser Stützstruktur bewegen kann.
  • US 5 912 555 offenbart eine Prüfvorrichtung mit einem Vorrichtungskörper, der mit einer Nadelkarte ausgestattet ist, die eine Sonde aufweist, die elektrisch mit einer Elektrode eines Untersuchungsobjekts verbunden wird, einem Testkopf, der wirksam am Vorrichtungskörper montiert ist und mit der Sonde der Nadelkarte elektrisch kontinuierlich ist, einem Drehmechanismus zum Drehen des Testkopfs und einem vertikalen Bewegungsmechanismus zum vertikalen Anheben oder Absenken des Testkopfs. Ein Drehantriebsmechanismus stützt den Testkopf ab und umfasst einen an einem ersten Träger befestigten Motor, ein kleines Zahnrad, das an einer Welle des Motors befestigt ist, und ein großes Zahnrad, das mit dem kleinen Zahnrad in Eingriff steht und an einer Drehwelle befestigt ist, die durch ein Lager drehbar gelagert ist. Das große Zahnrad ist mittels eines Kopplungselements mit einem Trägerrahmen gekoppelt, der den Testkopf trägt. Wenn sich der Trägerrahmen dreht, was die Drehung des großen Zahnrades begleitet, dreht sich daher der Testkopf in der Vorwärts- oder Rückwärtsrichtung. Um das Drehmoment des Testkopfs zu verringern, um das Drehmoment des Kopfs zu minimieren, wird in diesem Fall eine Verlängerung der Drehwelle des großen Zahnrades so beschaffen, dass sie nahe dem Schwerpunkt des Kopfs verläuft, so dass der Abstand zwischen dem Drehzentrum und dem Schwerpunkt des Kopfs auf Null eingestellt oder minimiert wird.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Eine Vorrichtung wird zum Koppeln eines Testkopfs mit einer Montageeinheit verwendet, in der der Testkopf schwenkt. Eine Basis kann an einem Testkopf befestigt werden. Ein Verlängerungselement erstreckt sich vom Testkopf weg. Ein Gleiter gleitet von einem Schwerpunkt des Testkopfs weg und zu diesem hin. Der Gleiter kann an der Montageeinheit befestigt werden. Ein Einstellelement erstreckt sich vom Verlängerungselement zum Fixieren der Position des Gleiters relativ zur Basis.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • 1 ist eine perspektivische Ansicht einer Vorrichtung zum Befestigen eines Testkopfs an einem Gestell gemäß einer ersten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 2 ist eine weitere perspektivische Ansicht der obigen Vorrichtung gemäß einer ersten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die sich auf einen bestimmten Schwerpunkt des Testkopfs einstellt.
  • 3 zeigt die Befestigungseinheit von 2 in einer Position zum Einstellen auf einen anderen Schwerpunkt des Testkopfs als den, auf den in 2 eingestellt wird.
  • 4 ist eine perspektivische Ansicht der in 13 gezeigten Vorrichtung in auseinandergezogener Anordnung.
  • 5A ist eine perspektivische Ansicht, die zum Zeigen, wie die erste Ausführungsform mit einem Testkopf und einem Schwenkgestell (das zumindest ein Teil einer Montageeinheit ist) verwendet wird, nützlich ist.
  • 5B ist eine perspektivische Ansicht, die zum Zeigen einer anderen Weise, um die erste Ausführungsform mit einem Testkopf und einem Schwenkgestell zu verwenden, nützlich ist.
  • 6 ist eine perspektivische Ansicht einer zweiten beispielhaften Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 7 ist eine Ansicht der in 6 gezeigten Vorrichtung in auseinandergezogener Anordnung.
  • 8A ist eine perspektivische Ansicht, die zum Zeigen, wie die zweite Ausführungsform mit einem Testkopf und einem Schwenkgestell verwendet wird, nützlich ist.
  • 8B ist eine perspektivische Ansicht, die zum Zeigen einer weiteren Weise, um die zweite Ausführungsform mit einem Testkopf und einem Schwenkgestell zu verwenden, nützlicht ist.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Es ist erwünscht, den Ort eines Testkopfs innerhalb seiner Montageeinheit ändern zu können, so dass der Testkopf um seinen Schwerpunkt schwenkt. Um den Ort des Testkopfs innerhalb der Montageeinheit zu ändern, wird eine Befestigungseinheit 100 verwendet. 1, 2 und 3 sind perspektivische Zeichnungen einer Befestigungseinheit 100. Die Befestigungseinheit 100 besteht aus einem Körper 110, einem Gleiter 120 und einem Einstellelement 142. Jedes separate Stück wird der Reihe nach beschrieben.
  • Der Körper 110 umfasst eine Vielzahl von Öffnungen 140a, 140b, 140c, die zum Befestigen der Befestigungseinheit 100 am Testkopf nützlich sind. Somit können beispielsweise Schrauben durch die Öffnungen 140a, 140b, 140c gesetzt und am Testkopf befestigt werden, um den Körper 110 am Testkopf zu befestigen. Wie gezeigt ist, können erhabene Abschnitte 141a, b, c um die Öffnungen 140a, 140b, 140c auf der Seite des Körpers 110, die dem Testkopf zugewandt ist, vorhanden sein. Die erhabenen Abschnitte 141a, b, c können zur strukturellen Integrität des Körpers 110 sowie zum Ermöglichen einer sichereren Befestigung des Körpers 110 am Testkopf beitragen.
  • Wie in 13 gezeigt, umfasst der Körper 110 ein Verlängerungselement 112. Das Verlängerungselement 112 erstreckt sich vom Körper 110. Der Zweck des Verlängerungselements 112 besteht darin, das Einstellelement 142 aufzunehmen. Somit umfasst das Verlängerungselement 112 wünschenswerterweise eine Öffnung, durch die das Einstellelement 142 eingesetzt ist. In der in 1 gezeigten Ausführungsform erstreckt sich das Verlängerungselement 112 vom Testkopf weg. In einer alternativen Ausführungsform kann sich jedoch das Verlängerungselement 112 vom Körper 110 weg und zum Testkopf hin erstrecken.
  • Der Körper 110 umfasst auch einen Kanal 114. Der Kanal 114 ist ein Abschnitt des Körpers 110 und er nimmt den Gleiter 120 auf. Der Gleiter 120 ist folglich in den Kanal 114 eingesetzt. Der Gleiter 120 gleitet innerhalb des Kanals 114 zum Verlängerungselement 112 hin und von diesem weg.
  • Bei Zuwenden nun zum Gleiter 120 umfasst der Gleiter 120 eine Vielzahl von Öffnungen 130a, 130b. Diese Öffnungen können beispielsweise verwendet werden, um jeweilige Schrauben aufzunehmen, die sich zur Montageeinheit hin oder von dieser weg erstrecken, um den Gleiter 120 an der Montageeinheit zu befestigen. Wenn die Montageeinheit beispielsweise ein Schwenkgestell umfasst, kann eine Öffnung (beispielsweise 130a) als Schwenkpunkt des Gleiters 120 relativ zum Schwenkgestell (das zumindest ein Teil einer Montageeinheit ist) verwendet werden. Die andere Öffnung (beispielsweise 130b) kann verwendet werden, um das Schwenken des Gleiters 120 relativ zum Schwenkgestell zu steuern. Durch Lockern beispielsweise einer Schraube, die sich durch die Öffnung 130b erstreckt, wird dann dem Gleiter 120 folglich ermöglicht, relativ zum Schwenkgestell, an dem er befestigt ist, zu schwenken. Wenn die Montageeinheit als zweites Beispiel ein Joch umfasst, können die Öffnungen 130a und 130b verwendet werden, um den Gleiter 120 unter Verwendung von Schrauben starr am Joch zu befestigen. Wie gezeigt, kann zusätzliches Material um die Öffnungen 130a, 130b angeordnet werden, um die strukturelle Integrität des Gleiters 120 zu verbessern sowie die Festigkeit der Befestigung zwischen dem Gleiter 120 und dem Gestell, an dem er befestigt ist, zu erhöhen. Ein üblicher Fachmann wird erkennen, dass zusätzliche Öffnungen im Gleiter 120 vorgesehen sein können, sollte die Anwendung dies verlangen. Ein Fachmann wird auch erkennen, dass die Öffnungen dazu ausgelegt sein können, eine geeignete Befestigung an theoretisch jedem Stil von Montageeinheit zu ermöglichen.
  • Wie in den Fig. gezeigt, erstreckt sich das Einstellelement 142 durch das Verlängerungselement 112 und ist am Gleiter 120 befestigt. Das Einstellelement 142 kann beispielsweise einen Gewindeschaft aufweisen, der mit einer Gewindeöffnung im Gleiter 120 in Eingriff steht. Durch Drehen des Einstellelements 142 bewegt sich folglich der Gleiter 120 zum Verlängerungselement 112 hin und von diesem weg. Wenn beispielsweise auf 2 geblickt wird, bewegt sich der Gleiter 120 durch Drehen des Einstellelements 142 in einer Richtung zum Verlängerungselement 112 hin. Durch Drehen des Einstellelements 142 in einer anderen Richtung bewegt sich der Gleiter 120 dagegen vom Verlängerungselement 112 weg.
  • 4 ist eine Ansicht der Befestigungseinheit 100 in auseinandergezogener Anordnung, die zum Erläutern, wie die verschiedenen Teile, die die Befestigungseinheit 100 bilden, zusammenpassen, nützlich ist. Wie in 4 deutlicher gezeigt ist, kann der Gleiter 120 infolge der Ausbildung einer Schwalbenschwanzstruktur innerhalb des Kanals 114 gehalten werden. Das Abwinkeln der Seitenwände 119a, 119b des Kanals 114 und das Abwinkeln der Kanten 124a, b des Gleiters 120, so dass sie mit dem Winkel der Seitenwände 119a, 119b übereinstimmen, erzeugt folglich einen Schwalbenschwanz, der hilft, den Gleiter 120 innerhalb des Kanals 114 zu halten. Dieser Schwalbenschwanz ermöglicht auch, dass der Gleiter 120 leicht innerhalb des Kanals 114 gleitet, wie durch 2 und 3 dargestellt.
  • 4 umfasst eine Platte 160. Die Platte 160 ist am Körper 110 unter Verwendung von Schrauben 162a, 162b befestigt, die durch Öffnungen 161a, 161b eingesetzt sind. Die Schrauben 162a, 162b können dann mit Gewindeöffnungen 171a, 171b, die in 2 und 3 gezeigt sind, in Eingriff stehen. Der Zweck der Platte 160 besteht darin, sicherzustellen, dass dem Gleiter 120 nicht ermöglicht wird, ausreichend vom Verlängerungselement 112 weg zu gleiten, so dass er aus dem Kanal 114 "herausfällt". Ein solches "Herausfallen" würde verursachen, dass sich der Testkopf vom Gestell löst. Dies ist ein äußerst unerwünschtes Vorkommnis.
  • Auch wie in 4 gezeigt, umfasst der Gleiter 120 einen oberen Abschnitt 127. Der obere Abschnitt 127 umfasst eine Vielzahl von Öffnungen 128a, 128b. Der Körper 110 umfasst auch Öffnungen 117a, 117b, 117c. Die Öffnungen 117a, 117b, 117c sind in 4 in einer Dreieckkonfiguration gezeigt. Die Dreieckkonfiguration stellt sicher, dass eine ausreichende Menge an Material zwischen den Öffnungen vorhanden ist, so dass sich kein Riss bildet. Es wird jedoch in Erwä gung gezogen, dass die Öffnungen 117a, 117b, 117c auch in einer linearen Orientierung konfiguriert sein können.
  • Ein Schraubenelement 122 kann entweder in die Öffnung 128a oder die Öffnung 128b eingesetzt werden. Die Öffnungen 117a, 117b, 117c sind wünschenswerterweise Gewindeöffnungen, die mit dem Schraubenelement 122 in Eingriff stehen können. Wenn der Gleiter 120 innerhalb des Kanals 114 gleitet, wird folglich eine der Öffnungen 117a, 117b, 117c entweder durch die Öffnung 128a oder die Öffnung 128b sichtbar. Durch Anordnen des Schraubenelements 122 durch die geeignete Öffnung (d. h. entweder die Öffnung 128a oder die Öffnung 128b) und in Eingriff bringen mit der sichtbaren Öffnung (d. h. der Öffnung 117a, 117b, 117c) vom Körper 110, wird die Position des Gleiters 120 sicherer relativ zum Körper 110 fixiert.
  • 5A stellt dar, wie die Befestigungseinheit 100 verwendet werden kann, um einen Testkopf an einem Schwenkgestell (das zumindest ein Teil einer Montageeinheit ist) zu befestigen. Wie in 5A gezeigt, ist der Testkopf 200 mit Befestigungsstellen 202a, 202b, 202c gezeigt. Die Befestigungsstellen 202a, 202b, 202c können beispielsweise Gewindeöffnungen sein. Das Schwenkgestell 300 ist auch gezeigt. Das Schwenkgestell 300 umfasst eine Befestigungsstelle 302, an der das Gestell an der Befestigungseinheit 100 befestigt wird. Eine Schwenkgestellstelle 304 (die beispielsweise ein gekrümmter Schlitz sein kann) ist auch vorgesehen, um die Schwenkposition des Testkopfs 200 relativ zum Schwenkgestell 300 zu fixieren. Ein geeignetes Gewindeelement kann sich folglich beispielsweise durch die Befestigungsstelle 302 erstrecken, um mit der Öffnung 130a in Eingriff zu stehen, so dass der Testkopf 200 um die Befestigungsstelle 302 schwenkt. Ein weiteres Befestigungselement (d. h. Schraube) kann sich durch die Schwenkgestellstelle 304 erstrecken, um mit der Öffnung 130b in Eingriff zu stehen. Wenn der Testkopf 200 um die Befestigungsstelle 302 schwenkt, kann sich die Schraube in einem Bogen entlang der Schwenkgestellstelle 304 bewegen. Durch Festziehen der Schraube innerhalb der Schwenkgestellstelle 304 wird das Schwenken des Testkopfs 200 relativ zum Schwenkgestell 300 gestoppt.
  • Es ist zu erkennen, dass in 5A die Befestigungseinheit 100 ein Teil des Mechanismus ist, der ermöglicht, dass der Testkopf 200 im Schwenkgestell 300 schwenkt. Ein üblicher Fachmann wird erkennen, dass die Befestigungseinheit 100 leicht durch Öffnungen 130a, 130b an einer breiten Vielfalt von alternativen Strukturen oder Mechanismen befestigt werden kann, die als Montageeinheiten betrachtet werden. Folglich kann sie starr an einem Joch befestigt werden. Als weiteres Beispiel kann sie starr an einem Lagermechanismus befestigt werden, der auch an der Montageeinheit befestigt ist, um ein Schwenken mit geringer Reibung zu erleichtern. Dies würde die Verwendung der Befestigungseinheit 100 zum Befestigen eines Testkopfs 200 an einem Translationsgestell oder einem Kardanmechanismus erleichtern.
  • In der Praxis können zusätzliche Leiterplatten zum Testkopf 200 hinzugefügt werden. Alternativ können Leiterplatten vom Testkopf 200 weggenommen werden. Diese Hinzufügungen oder Wegnahmen ändern den Schwerpunkt des Testkopfs 200. Die vorliegende Erfindung ermöglicht, dass die Position des Testkopfs 200 in einer Montageeinheit wie z. B. des Schwenkgestells 300 geändert wird, um sich an einen geänderten Schwerpunkt anzupassen. Wenn sich der Schwerpunkt des Testkopfs 200 ändert, dann kann folglich das Schraubenelement 122 aus dem Loch 128a oder 128b entfernt werden und das Einstellelement 142 kann gedreht werden, um die Position des Körpers 110 relativ zum Gleiter 120 zu ändern. In der dargestellten beispielhaften Ausführungsform ist das Einstellelement 142 ein Gewindeelement, das mit der Gewindeöffnung 126 im Gleiter 120 in Eingriff steht. Durch Drehen des Einstellelements 142 gleitet der Gleiter 120 zum Verlängerungselement 112 hin oder von diesem weg. Durch Einsetzen und Festziehen des Schraubenelements 122 in das geeignete Loch wird die Stelle des Gleiters 120 relativ zum Körper 110 weiter fixiert. Wenn der Schwerpunkt des Testkopfs 200 zur Vorderseite des Testkopfs 200 (d. h. in Richtung der Fläche 200a) bewegt wird, kann der Testkopf 200 durch Drehen des Einstelleelements 142 so, dass sich der Gleiter 120 in der in 2 gezeigten Position befindet, zurück bewegt werden. Wenn der Schwerpunkt des Testkopfs 200 alternativ in Richtung der Rückseite des Testkopfs (d. h. von der Vorderfläche 200a weg) bewegt wird, kann das Einstellelement 142 so gedreht werden, dass der Gleiter 120 näher zu (aber nicht notwendigerweise in) der in 3 gezeigten Position liegt. Das Schraubenelement 122 wird nach Bedarf gelockert und festgezogen, so dass der Gleiter 120 gleiten und dann in der Position fixiert werden kann.
  • Es für einen üblichen Fachmann selbstverständlich, dass es bevorzugt ist, zwei Befestigungseinheiten 100, eine auf jeder Seite des Testkopfs 200, zu verwenden.
  • In 5A ist ein Schwenkgestell 300 am Gleiter 120 befestigt und der Testkopf 200 ist an der Basis 110 befestigt. Es ist jedoch selbstverständlich, dass andere Weisen bestehen, in denen die Befestigungseinheit 100 verwendet werden kann, um eine Montageeinheit wie z. B. das Schwenkgestell 300 und den Testkopf 200 miteinander zu koppeln. Wie in 5B gezeigt, kann die Befestigungseinheit 100 beispielsweise in einer Orientierung verwendet werden, die zu der in 5A gezeigten Orientierung umgekehrt ist. In der in 5B gezeigten Orientierung erstreckt sich das Verlängerungselement 112 folglich in Richtung des Testkopfs 200. Wie in 5B gezeigt, kann der Gleiter 120 über Öffnungen 130a, 130x, 130b und Befestigungsstellen 202c, 202b bzw. 202a am Testkopf 200 befestigt werden. Ferner kann der Körper 110 am Schwenkgestell 300 über Öffnungen 140a, 140b und die Schwenkgestellstelle 304 bzw. die Befestigungsstelle 302 befestigt werden. Folglich bewegt sich der Gleiter 120 mit dem Testkopf 200, um die Stelle des Schwerpunkts des Testkopfs 200 relativ zur Achse, um die sich der Testkopf 200 dreht, zu ändern. Ein üblicher Fachmann wird erkennen, dass die Befestigungseinheit 100 leicht durch die Öffnungen 140a, 140b, 140c an einer breiten Vielfalt von alternativen Strukturen oder Mechanismen befestigt werden kann. Folglich kann sie starr an einem Joch befestigt werden. Als weiteres Beispiel kann sie starr an einem Lagermechanismus befestigt werden, der auch an der Montageeinheit befestigt ist, um ein Schwenken mit geringer Reibung zu erleichtern. Dies würde die Verwendung der Befestigungseinheit 100 zum Befestigen eines Testkopfs 200 an einem Translationsgestell oder einem Kardanmechanismus erleichtern. Es ist auch leicht verständlich, dass die Befestigungseinheit 100 beim Einstellen der Position des Schwerpunkts des Testkopfs in Kombination mit irgendeiner Vorrichtung, die zusammen mit diesem um die interessierende Achse schwenkt, nützlich ist. Die Befestigungseinheit 100 ist folglich beispielsweise beim Einstellen des Schwerpunkts in Kombination mit dem Joch bezüglich der Taumelachse in einem Kabelschwenksystem nützlich.
  • Eine weitere beispielhafte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung ist in 68B gezeigt. Die in 68B gezeigte Ausführungsform unterscheidet sich von der in 15B gezeigten Ausführungsform insofern, als in der in 15 gezeigten Ausführungsform die Einstellung mit einem Bewegungsgrad durchgeführt werden kann. In der in 6 und 7 gezeigten Ausführungsform kann die Einstellung in zwei Freiheitsgraden durchgeführt werden. Folglich ermöglicht die zweite Ausführungsform, dass die Position des Testkopfs innerhalb des Gestells in einer ersten Richtung und in einer zweiten Richtung, die zur ersten Richtung senkrecht ist, durch die Verwendung der Befestigungseinheit 201 modifiziert wird.
  • Wie in 6 und 7 gezeigt, hat die zweite Ausführungsform einige Ähnlichkeiten mit der ersten Ausführungsform gemeinsam. Der Körper 110 ist folglich beispielsweise enthalten. Das Verlängerungselement 112 erstreckt sich vom Körper 110. Das Einstellelement 142 ist vom Verlängerungselement 112 aufgenommen. Das Einstellelement 142 erstreckt sich durch das Verlängerungselement 112 und ist am Gleiter 120 befestigt. 8A stellt die Befestigungseinheit 201 dar, die mit einer Montageeinheit verwendet wird, die ein Schwenkgestell umfasst. Hier kann sich ein geeignetes Gewindeelement durch das Schwenkgestell so erstrecken, dass es mit der Öffnung 130a in Eingriff steht, so dass der Testkopf 200 um die Öffnung 302 schwenkt. Ein weiteres Befestigungselement kann sich durch die Befestigungsstelle 304 so erstrecken, dass es mit der Öffnung 130b in Eingriff steht. Wie es bei der vorher beschriebenen Befestigungseinheit 100 der Fall war, kann die Befestigungseinheit 201 leicht an einer beliebigen Art von Montageeinheit befestigt werden.
  • Die zweite beispielhafte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten beispielhaften Ausführungsform darin, dass in der zweiten beispielhaften Ausführungsform ein Zungenabschnitt 224, der sich von der Unterseite des Körpers 110 erstreckt, Seitenwände 224a und 224b umfasst, die abgeschrägt sind, um ein Schwalbenschwanzprofil zu bilden. Die Funktion der Seitenwände 224a und 224b wird nachstehend erläutert.
  • Wie in 6 und 7 gezeigt, ist ein sekundärer Körper 210 enthalten. Der sekundäre Körper 210 umfasst ein sekundäres Verlängerungselement 212. Das sekundäre Verlängerungselement 212 erstreckt sich vom sekundären Körper 210. Der Zweck des sekundären Verlängerungselements 212 besteht darin, das sekundäre Einstellelement 242 aufzunehmen. Somit umfasst das sekundäre Verlängerungselement 212 wünschenswerterweise eine Öffnung, durch die das sekundäre Einstellelement eingesetzt wird.
  • Der sekundäre Körper 210 umfasst auch einen sekundären Kanal 214 mit abgeschrägten Seiten, um ihn an den Querschnitt des Zungenabschnitts 224 anzupassen. Der sekundäre Kanal 214 ist ein Abschnitt des sekundären Körpers 210, der den Körper 110 aufnimmt. Folglich ist der Zungenabschnitt 224 in den sekundären Kanal 214 eingesetzt. Der Zungenabschnitt 224 des Körpers 110 gleitet innerhalb des sekundären Kanals 214 zum sekundären Verlängerungselement 212 hin und von diesem weg.
  • Wie in 68B gezeigt, erstreckt sich das Einstellelement 242 durch das sekundäre Verlängerungselement 212 und ist am Körper 110 beispielsweise durch eine Gewindeöffnung (nicht dargestellt) im Körper 110 befestigt. Das sekundäre Einstellelement 242 kann beispielsweise einen Gewindeschaft aufweisen, der mit einer Gewindeöffnung (nicht dargestellt) im Körper 110 in Eingriff steht. Durch Drehen des sekundären Einstellelements 242 bewegt sich der Körper 110 zum sekundären Verlängerungselement 212 hin und von diesem weg. Durch Drehen des sekundären Einstellelements 242 in einer Richtung bewegt sich folglich der Körper 110 zum sekundären Verlängerungselement 212 hin. Durch Drehen des sekundären Einstellelements 242 in einer anderen Richtung, bewegt sich der Körper 110 dagegen vom sekundären Verlängerungselement 212 weg.
  • 7 ist eine Ansicht der Befestigungseinheit 201 in auseinandergezogener Anordnung, die zum Erläutern, wie die verschiedenen Teile, die die Befestigungseinheit 201 bilden, zusammenpassen, nützlich ist. Wie in 7 deutlicher gezeigt ist, kann der Körper 110 infolge der Ausbildung einer wahlweisen "Schwalbenschwanz"-Struktur innerhalb des sekundären Kanals 214 gehalten werden. Die Abwinkelung der Seitenwände 219a, 219b des Kanals 214 und die Abwinkelung der Kanten 224a, 224b, die sich von der Unterseite des Körpers 110 erstrecken, so dass sie mit dem Winkel der Seitenwände 219a, 219b übereinstimmen, erzeugt folglich einen Schwalbenschwanz, der hilft, den Körper 110 innerhalb des Kanals 214 zu halten. Dieser Schwalbenschwanz ermöglicht auch, dass der Körper 110 leicht innerhalb des Kanals 214 gleitet. Eine Platte 260 ist enthalten. Die Platte 260 ist am sekundären Körper 210 unter Verwendung von Schrauben 262a, 262b befestigt, die durch Öffnungen 261a, 261b eingesetzt sind. Die Schrauben 262a, 262b können dann mit Gewindeöffnungen 217a, 217b, die in 7 gezeigt sind, in Eingriff stehen. Der Zweck der sekundären Platte 260 besteht darin, sicherzustellen, dass dem Körper 110 nicht ermöglicht wird, ausreichend vom Verlängerungselement 212 weg zu gleiten, so dass er aus dem sekundären Kanal 214 "herausfällt". Ein solches "Herausfallen" würde wieder verursachen, dass sich der Testkopf vom Gestell löst. Dies ist ein äußerst unerwünschtes Vorkommnis.
  • Die obige Beschreibung hat sich auf einen Schwalbenschwanz bezogen. Es ist selbstverständlich, dass andere Konfigurationen (beispielsweise ein "T"-Schlitz) verwendet werden können.
  • Der sekundäre Körper 210 umfasst Öffnungen 240a, 240b, 240c, die zum Befestigen der Befestigungseinheit 200 am Testkopf nützlich sind. Wie in 8A gezeigt, können somit beispielsweise Schrauben durch die Öffnungen 240a, 240b, 240c gesetzt und am Testkopf befestigt werden, um den sekundären Körper 210 am Testkopf zu befestigen. Erhabene Abschnitte (von denen nur der Abschnitt 241a gezeigt ist) können um die Öffnungen 240a, 240b, 240c auf der Seite des sekundären Körpers 210, die dem Testkopf zugewandt ist, vorhanden sein. Die erhabenen Abschnitte können zur strukturellen Integrität des sekundären Körpers 210 sowie zum Ermöglichen einer sichereren Befestigung des sekundären Körpers 210 am Testkopf beitragen.
  • In der Praxis ermöglicht die Befestigungseinheit 201, dass die Position des Testkopfs relativ zur Montageeinheit mit zwei Freiheitsgraden eingestellt wird. Somit kann die Position des Testkopfs bezüglich des Schwenkpunkts in der Montageeinheit geändert werden, um sich auf einen geänderten Schwerpunkt einzustellen. Wenn sich der Schwerpunkt des Testkopfs 200 entlang einer Achse ändert, kann das Einstellelement 142 gedreht werden, um die Position des Gleiters 120 relativ zum Körper 110 so zu ändern, dass der Testkopf um seinen Schwerpunkt schwenken kann. Wenn sich der Schwerpunkt des Testkopfs 20 entlang einer zur ersten Achse senkrechten zweiten Achse ändert, kann das sekundäre Einstellelement 242 ferner gedreht werden, um die Position des sekundären Körpers 210 relativ zum Körper 110 zu ändern. Wenn der Schwerpunkt des Testkopfs 200 beispielsweise in Richtung der Vorderseite des Testkopfs 200 (d. h. zur Fläche 200a hin) bewegt wird, kann der Testkopf 200 somit durch Drehen des Einstellelements 142 zurück bewegt werden. Wenn der Schwerpunkt des Testkopfs 200 in Richtung der Rückseite des Testkopfs (d. h. von der Vorderfläche 200a weg) bewegt wird, kann das Einstellelement 142 alternativ in der entgegengesetzten Richtung gedreht werden, so dass der Testkopf 200 nach vorn bewegt werden kann. Wenn der Schwerpunkt des Testkopfs 200 in Richtung der Oberseite des Testkopfs 200 (d. h. zur Oberseite 200b hin) bewegt wird, kann der Testkopf 200 durch Drehen des sekundären Einstellelements 242 so, dass der Testkopf 200 nach unten bewegt werden kann, nach unten bewegt werden. Wenn der Schwerpunkt des Testkopfs 200 in Richtung der Unterseite des Testkopfs (d. h. von der oberen Fläche 200b weg) bewegt wird, kann das sekundäre Einstellelement 242 alternativ gedreht werden, so dass der Testkopf 200 nach oben bewegt werden kann.
  • Wie vorher mit Bezug auf die in 5A und 5B gezeigte Ausführungsform erörtert, wird das Schraubenelement 122 nach Bedarf gelockert und festgezogen, so dass der Gleiter 120 gleiten und dann in der Position fixiert werden kann. Das Schraubenelement 222 wird nach Bedarf gelockert und festzogen, so dass der Körper 110 gleiten und dann in der Position fixiert werden kann. Das Schraubenelement 222 kann mit einer der Öffnungen 216a, 216b, 216c, die im sekundären Körper 210 ausgebildet sind, durch eine Öffnung im Körper 110 in Eingriff stehen. Wenn das Schraubenelement 222 mit einer der Öffnungen 216a, 216b, 216c im sekundären Körper 210 in Eingriff steht, wird der Körper 110 folglich relativ zum sekundären Körper 210 in der Position fixiert.
  • Wie in 8A gezeigt, wird der Gleiter 120 folglich mit dem Schwenkgestell 300 gekoppelt und der sekundäre Körper 210 wird mit dem Testkopf 200 gekoppelt. Es ist jedoch selbstverständlich, dass es andere Weisen gibt, in denen die Befestigungseinheit 201 verwendet werden kann, um den Testkopf 200 und das Schwenkgestell 300 miteinander zu koppeln. Wie beispielsweise in 8B gezeigt, kann die Orientierung der Befestigungseinheit 201 effektiv relativ zu der in 8A gezeigten Orientierung gedreht werden. Wie in 8B gezeigt, wird der Testkopf 200 folglich mit dem Gleiter 120 über Befestigungsstellen 202a, 202b, 202c und Öffnungen 130b, 130x bzw. 130a gekoppelt. Ferner kann der sekundäre Körper 210 mit dem Schwenkgestell 300 über Öffnungen 240a, 240c und eine Schwenkgestellstelle 304 bzw. Befestigungsstelle 302 gekoppelt werden. Wenn sich der Körper 110 oder Gleiter 120 bewegt, bewegt sich folglich der Testkopf 200 zusammen mit dem Körper 110 und/oder Gleiter 120. Es ist jedoch selbstverständlich, dass die Befestigungseinheit 201 leicht verwendet werden kann, um einen Testkopf an zahlreichen Arten und Stilen von Montageeinheiten in einer von zwei grundlegenden Weisen zu befestigen. In der ersten wird der sekundäre Körper 210 am Testkopf befestigt und der Gleiter 120 wird an der Montageeinheit befestigt. In der zweiten wird der Gleiter 120 am Testkopf befestigt und der sekundäre Körper 210 wird an der Montageeinheit befestigt. Wenn die Montageeinheit ein Joch umfasst, wird die Befestigung am Joch starr durchgeführt. Wenn die Montageeinheit ein Translationsgestell oder einen Kardanmechanismus umfasst, kann die Befestigung mit Lagereinheiten durchgeführt werden, um das Schwenken des Testkopfs zu erleichtern. Die Befestigung an einem Schwenkgestell kann auch mit Lagereinheiten durchgeführt werden, falls dies so erwünscht ist.
  • Ferner ist es leicht verständlich, dass die Befestigungseinheit 210 beim Einstellen der Position des Schwerpunkts des Testkopfs in Kombination mit irgendeiner Vorrichtung, die zusammen mit diesem um die interessierende Achse schwenkt, nützlich ist. Die Befestigungseinheit 100 ist somit beispielsweise beim Einstellen des Schwerpunkts in Kombination mit dem Joch bezüglich der Taumelachse in einem Kabelschwenksystem nützlich.
  • In 8B ist der Körper 110 in der Zeichnung als vertikal gleitend gezeigt, während der Gleiter 120 als sich horizontal bewegend gezeigt ist. Es ist jedoch für einen üblichen Fachmann selbstverständlich, dass der Körper 110 und der Gleiter 120 umkonstruiert werden können, so dass sich der Körper 110 horizontal relativ zum sekundären Körper 210 bewegt (wie gezeigt) und sich der Gleiter 120 vertikal relativ zum Körper 110 bewegt (wie gezeigt).
  • Obwohl bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung hierin gezeigt und beschrieben wurden, ist es selbstverständlich, dass solche Ausführungsformen nur als Beispiel vorgesehen sind.

Claims (16)

  1. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit, in der der Testkopf (200) schwenkt, wobei die Vorrichtung umfasst: eine Basis (110), die entweder an dem Testkopf (200) oder an der Montageeinheit zu befestigen ist; einen Gleiter (120), der von dem Schwerpunkt des Testkopfs (200) weg und zu ihm hin gleiten kann; und ein Einstellelement (142), um eine Position der Basis (110) relativ zu dem Gleiter (120) zu ändern.
  2. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach Anspruch 1, bei der: die Basis (110) mehrere Basisbefestigungsstellen besitzt, an denen die Basis (110) entweder an den Testkopf (200) oder an der Montageeinheit befestigt ist; und der Gleiter (120) wenigstens eine Gleiterbefestigungsstelle aufweist, an der der Gleiter (120) an dem anderen des Testkopfs (200) und der Montageeinheit befestigt ist.
  3. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach Anspruch 2, die ferner umfasst: eine Befestigungsvorrichtung, um zu verhindern, dass der Gleiter (120) relativ zu der Basis (110) gleitet.
  4. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach den Ansprüchen 1, 2 oder 3, bei der die Basis (110) ein Verlängerungselement (112) aufweist, das sich von dem Testkopf (200) weg erstreckt, und bei der sich das Einstellelement (142) von dem Verlängerungselement (112) erstreckt, um die Position des Gleiters (120) relativ zu der Basis (110) zu fixieren.
  5. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach den Ansprüchen 1, 2 oder 3, bei der die Basis (110) ein Verlängerungselement (112) aufweist, das sich zu dem Testkopf (200) hin erstreckt, und bei der sich das Einstellelement (142) von dem Verlängerungselement (112) erstreckt, um die Position des Gleiters (120) relativ zu der Basis (110) zu fixieren.
  6. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der der Gleiter (120) in einem in der Basis (110) ausgebildeten Kanal (114) gleitet.
  7. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach einem der vorhergehenden Ansprüche, die ferner einen sekundären Gleiter umfasst, der von dem Schwerpunkt des Testkopfs (200) weg und zu diesem hin in einer Richtung gleitet, die eine orthogonale Komponente in Bezug auf eine weitere Richtung, in der der Gleiter (120) gleitet, besitzt.
  8. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach Anspruch 7, bei der sich der sekundäre Gleiter zwischen dem Gleiter (120) und der Basis (110) befindet.
  9. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach Anspruch 7, die ferner ein weiteres Einstellelement (242) aufweist, um eine weitere Position des sekundären Gleiters relativ zu der Basis (110) zu ändern.
  10. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit, in der der Testkopf (200) schwenkt, wobei die Vorrichtung umfasst: eine Basis (110); eine sekundäre Basis (210), die eine erste Stelle besitzt, um die sekundäre Basis (210) entweder an dem Testkopf (200) oder an der Montageeinheit zu befestigen; ein Einstellelement (242), um eine Position der sekundären Basis (210) relativ zu der Basis (110) zu ändern, so dass die sekundäre Basis (210) von dem Schwerpunkt des Testkopfs (200) weg und zu diesem hin gleitet; einen Gleiter (120), der eine zweite Stelle besitzt, um den Gleiter (120) an dem anderen des Testkopfs (200) und der Montageeinheit zu befestigen; und ein weiteres Einstellelement (142), um eine weitere Position des Gleiters (120) relativ zu der sekundären Basis (210) in einer Richtung zu ändern, die eine orthogonale Komponente in Bezug auf eine weitere Richtung, in der die sekundäre Basis (210) gleitet, besitzt.
  11. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach Anspruch 10, bei der der Gleiter in einem in der sekundären Basis ausgebildeten Kanal gleitet.
  12. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach Anspruch 10, bei der die sekundäre Basis in einem weiteren in der Basis ausgebildeten Kanal gleitet.
  13. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs (200) mit einer Montageeinheit nach Anspruch 10, bei der die Basis ein Verlängerungselement aufweist, das sich von dem Testkopf weg erstreckt, und bei der sich das Einstellelement von dem Verlängerungselement erstreckt, um die Position des Gleiters relativ zu der Basis zu fixieren.
  14. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs mit einer Montageeinheit nach Anspruch 10, bei der die Basis ein Verlängerungselement aufweist, das sich von der Montageeinheit weg erstreckt, und bei der sich das Einstellelement von dem Verlängerungselement erstreckt, um die Position des Gleiters relativ zu der Basis zu fixieren.
  15. Vorrichtung zum Koppeln eines Testkopfs mit einer Montageeinheit nach Anspruch 10, die ferner eine Befestigungsvorrichtung umfasst, um: a) eine Bewegung des Gleiters relativ zu der sekundären Basis zu verhindern; und/oder b) eine Bewegung der sekundären Basis relativ zu der Basis zu verhindern.
  16. Verfahren zum Halten eines Testkopfs (200) im Gleichgewicht, wobei das Verfahren die folgenden Schritte umfasst: Festlegen, dass der Testkopf (200) um eine Achse schwenkt, die nicht durch einen Schwerpunkt des Testkopfs (200) verläuft; und Veranlassen des Testkopfs (200) zu einer Bewegung längs einer Linie, so dass sich die Achse zu dem Schwerpunkt bewegt, wobei der Testkopf (200) längs der Linie gleitet.
DE60115268T 2000-09-20 2001-09-17 Positionierer für elektronische testköpfe Expired - Lifetime DE60115268T2 (de)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US23403700P 2000-09-20 2000-09-20
US234037P 2000-09-20
PCT/US2001/028985 WO2002024400A2 (en) 2000-09-20 2001-09-17 Electronic test head positioner

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE60115268D1 DE60115268D1 (de) 2005-12-29
DE60115268T2 true DE60115268T2 (de) 2006-06-01

Family

ID=22879613

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE60115268T Expired - Lifetime DE60115268T2 (de) 2000-09-20 2001-09-17 Positionierer für elektronische testköpfe

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6975105B2 (de)
EP (1) EP1322964B1 (de)
JP (1) JP2004509344A (de)
KR (1) KR20030032030A (de)
CN (1) CN1234501C (de)
AT (1) ATE310960T1 (de)
AU (1) AU2001289116A1 (de)
DE (1) DE60115268T2 (de)
MY (1) MY131871A (de)
TW (1) TWI266880B (de)
WO (1) WO2002024400A2 (de)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102005019564B4 (de) 2005-04-27 2007-10-31 Hubertus Heigl Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, insbesondere an einer Prüfeinrichtung
JP3976276B2 (ja) * 2005-06-10 2007-09-12 日本航空電子工業株式会社 検査装置
JP5226072B2 (ja) * 2008-07-14 2013-07-03 株式会社アドバンテスト テストヘッド移動装置及び電子部品試験装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4973015A (en) * 1987-09-17 1990-11-27 Schlumberger Technologies, Inc. Manipulator apparatus for test head support and orientation
US5030869A (en) 1990-07-25 1991-07-09 Intest Corporation Device testing system with cable pivot
US5241870A (en) * 1991-07-22 1993-09-07 Intest Corporation Test head manipulator
US5600258A (en) 1993-09-15 1997-02-04 Intest Corporation Method and apparatus for automated docking of a test head to a device handler
US5912555A (en) * 1995-04-10 1999-06-15 Tokyo Electron Limited Probe apparatus
US5608334A (en) * 1995-04-20 1997-03-04 Intest Corporation Device testing system with cable pivot and method of installation

Also Published As

Publication number Publication date
EP1322964B1 (de) 2005-11-23
MY131871A (en) 2007-09-28
WO2002024400A2 (en) 2002-03-28
WO2002024400A3 (en) 2002-06-13
US6975105B2 (en) 2005-12-13
DE60115268D1 (de) 2005-12-29
TWI266880B (en) 2006-11-21
US20040032248A1 (en) 2004-02-19
EP1322964A2 (de) 2003-07-02
JP2004509344A (ja) 2004-03-25
KR20030032030A (ko) 2003-04-23
CN1234501C (zh) 2006-01-04
AU2001289116A1 (en) 2002-04-02
ATE310960T1 (de) 2005-12-15
CN1474945A (zh) 2004-02-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69233241T2 (de) Prüfkopfmanipulator
DE60302166T2 (de) Vorrichtung zur Positionierung und Aufspannung eines Werkstücks für das Laserbohren
DE60311111T2 (de) Techniken zum verbinden einer menge von verbindungselementen unter verwendung einer verbesserten riegelungsvorrichtung
EP1041295B1 (de) Trageinrichtung
EP1099430B1 (de) Knieprothesensystem
DE60300682T2 (de) Führungsmechanismus für Schublade und Einstellungsvorrichtung für einen solchen
DE112006003923B4 (de) Materialprüfmaschine
DE102013105213B4 (de) Umwerfer
DE60132604T2 (de) Manipulator zur bewegung eines gegenstandes im raum mit mindestens drei armen
DE10240856A1 (de) Verfahren und Vorrichtungen zum Befestigen von Plattenlaufwerken in einem Plattenarray
DE69634524T2 (de) Geräteprüfvorrichtung mit Kabelschwenkführung und Installationsverfahren
DE202005021435U1 (de) Doppelseitige Prüfaufbauten
DE3537400A1 (de) Gehaeuse fuer eine erweiterbare periphere interface-einheit
DE2438690A1 (de) Bohrerfuehrung
DE3600613A1 (de) Einrichtung zum positionieren von informationsgeraeten
DE102005048237B3 (de) Handhabungsvorrichtung zum Positionieren eines Testkopfs, insbesondere an einer Prüfeinrichtung
DE60115268T2 (de) Positionierer für elektronische testköpfe
EP1890817A1 (de) Thermocycler
DE2442788A1 (de) Abtastkopfhalterung
DE102008030640A1 (de) Befestigungseinrichtung für ein Gehäuse in einer Aufnahmeeinrichtung
EP2950980A1 (de) Geraeteaufhaengung
DE112008003746T5 (de) Montageanordnung für Rack-Ausrüstungsgegenstände
DE69817339T2 (de) Implantat für osteosynthesevorrichtung und werkzeug zum einsetzen eines solchen
DE102017104516B4 (de) Plattenförmiges Verbindungssystem zum Verbinden von zwei Testeinheiten sowie Verbindungseinheit und Testsystem mit jeweils einem solchen plattenförmigen Verbindungssystem
DE69837662T2 (de) Tragbare elektro-optische Vorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: INTEST CORP.(N. D. GES.D.STAATES DELAWARE), CHERRY

8364 No opposition during term of opposition