KR960039249A - 프로브장치 - Google Patents

프로브장치 Download PDF

Info

Publication number
KR960039249A
KR960039249A KR1019960010613A KR19960010613A KR960039249A KR 960039249 A KR960039249 A KR 960039249A KR 1019960010613 A KR1019960010613 A KR 1019960010613A KR 19960010613 A KR19960010613 A KR 19960010613A KR 960039249 A KR960039249 A KR 960039249A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
test head
probing card
probe
main body
rotating
Prior art date
Application number
KR1019960010613A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100263841B1 (ko
Inventor
유타카 아카이케
지아키 모치즈키
이사오 고노
하루히코 요시오카
Original Assignee
이노우에 아키라
도쿄에레쿠토론 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP10904195A external-priority patent/JP3326751B2/ja
Priority claimed from JP32380595A external-priority patent/JP3237740B2/ja
Application filed by 이노우에 아키라, 도쿄에레쿠토론 가부시키가이샤 filed Critical 이노우에 아키라
Publication of KR960039249A publication Critical patent/KR960039249A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100263841B1 publication Critical patent/KR100263841B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
    • G01R31/2886—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks
    • G01R31/2887—Features relating to contacting the IC under test, e.g. probe heads; chucks involving moving the probe head or the IC under test; docking stations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Abstract

본 발명은 장치본체에 대해 회전하는 테스트헤드측의 접속단자와 이것에 전기적으로 도통하는 장치본체측의 접속단자를 균일한 힘으로 압접시키거나 이간시킬 수 있고, 이것에 의해 장치본체측의 접속단자의 손상을 방지할 수 있는 프로브장치를 제공하는 것을 목적으로 하는 것이고, 본 프로브장치는 피검사체의 전극과 전기적으로 접속하는 프로브를 갖는 프로빙카드가 세트되는 장치본체와, 장치본체에 동작 가능하게 설치되고, 프로빙카드의 프로브와 전기적으로 도통되는 테스트헤드와, 테스트헤드를 회전시키는 회전기구와, 테스트헤드를 수직으로 승강시키는 수직이동기구를 구비하고 있다.

Description

프로브장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 관한 프로브장치의 사시도, 제2A도는 제1도의 프로브장치의 테스트헤드 이동장치를 좌측면에서 본 도면.

Claims (23)

  1. 피검사체의 전극과 전기적으로 접속하는 프로브를 갖는 프로빙카드가 세트되는 장치본체와, 장치본체에 동작가능하게 설치되고, 프로빙카드의 프로브와 전기적으로 도통되는 테스트헤드와, 테스트헤드를 회전시키는 회전수단과, 테스트헤드를 수직으로 승강시키는 수직이동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 수직이동수단은 프로빙카드의 상측에서 테스트헤드를 장치본체에 대해서 수직으로 승강시키는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 회전수단은 테스트헤드를 프로빙카드에 접근시키는 방향 또는 테스트헤드를 프로빙카드에서 이간시키는 방향으로 테스트헤드를 요동시키는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 호전수단은 상기 수직이동수단에 따른 테스트헤드의 승강방향에 대해 수직인 회전축의 테스트헤드를 회전시키는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 수직이동수단에 따른 테스트헤드의 승강방향에 대해 수직인 수평방향으로 테스트헤드를 이동시키는 수평이동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 회전수단에 의한 테스트헤드의 회전을 로크하는 회전로크수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  7. 피검사체의 전극과 전기적으로 접속하는 프로브를 갖는 프로빙카드가 세트되는 장치본체와, 프로빙카드의 프로브와 전기적으로 도통되는 테스트헤드와, 장치본체에 설치되어 테스트헤드를 동작가능하게 지지하는 지지체와, 지지체에 설치되어 테스트헤드를 회전시키는 회전수단과, 지지체에 설치되어 테스트헤드를 수직으로 승강시키는 수직이동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 수직이동수단은 프로빙카드의 상측에서 테스트헤드를 장치본체에 대해 수직으로 승강시키는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 회전수단은 테스트헤드를 프로빙카드에 접근시키는 방향 또는 테스트헤드를 프로빙카드에서 이간시키는 방향으로 테스트헤드를 요동시키는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 회전수단은 상기 수직이동수단에 따른 테스트헤드의 승강방향에 대해 수직인 회전축의 테스트헤드를 회전시키는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 수직이동수단에 따른 테스트헤드의 승강방향에 대해 수직인 수평방향으로 테스트헤드를 이동시키는 수평이동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 회전수단에 의한 테스트헤드의 회전을 로크하는 회전로크수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  13. 제7항에 있어서, 상기 회전수단은 테스트헤드를 회전가능하게 지지하는 제1지지부와, 제1지지부에 대해 테스트헤드를 회전시키는 회전기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 회전기구는 제1지지부와 고정된 모터와, 모터의 구동력을 회전력으로서 테스트헤드에 전달하는 회전전달수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 수직이동수단은 상기 제1지지부를 수직으로 승강시키는 것에 의해 테스트헤드를 수직으로 승강시키는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  16. 제15항에 있어서, 상기 수직이동수단은 제1지지부를 승강가능하게 지지하는 제2지지부와, 제2지지부에 대해서 제1지지부를 수직으로 승강시키는 승강기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 승강기구는 제2지지부에 고정된 모터와, 모터의 구동력에 의해 회전하는 회전부와, 회전부의 회전을 제1지지부의 상하운동으로 변환하는 변환기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  18. 제11항에 있어서, 상기 회전수단은 테스트헤드를 회전가능하게 지지하는 제1지지부를 갖고, 상기 수직이동수단은 제1지지부를 승강가능하게 지지하는 제2지지부를 갖고, 상기 수평이동수단은 제2지지부를 이동시키는 이동기구를 갖고 있는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  19. 제7항에 있어서, 상기 지지체가 상기 장치본체에 대해 이동가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 프로브장치.
  20. 장치본체에 동작가능하게 설치된 테스트헤드를 장치본체에 대해 세트된 프로빙카드의 상측에서 회전시키는 것에 의해 테스트헤드를 프로빙카드와 평행하게 대향시키고, 프로빙카드와 평행하게 대향된 테스트헤드를 프로빙카드를 향해 수직으로 이동시키는 것에 의해 피검사체와 전극과 전기적으로 접속하는 프로빙카드의 프로브에 테스트헤드를 전기적으로 도통시키는 것을 특징으로 하는 테스트헤드 이동방법.
  21. 장치본체에 동작가능하게 설치된 테스트헤드를 장치본체에 세트된 프로빙카드에 대해서 수직으로 이동시키는 것에 의해, 피검사체의 전극과 전기적으로 접속하는 프로빙카드의 프로브와 테스트헤드의 전기적인 도통을 해제하고, 테스트헤드를 프로빙카드의 상방에서, 프로빙카드에서 멀어지는 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 테스트헤드 이동방법.
  22. 장치본체에 동작가능하게 설치된 테스트헤드를 수평하게 이동시키는 것에 의해 테스트헤드를 장치본체에 세트된 프로빙카드의 상측에 위치시키고, 테스트헤드를 프로빙카드의 상측에서 회전시키는 것에 의해 테스트헤드를 프로빙카드와 평행하게 대향시키고, 프로빙카드와 평행하게 대향된 테스트헤드를 프로빙카드를 향해 수직으로 이동시키는 것에 의해 피검사체의 전극과 전기적으로 접속하는 프로빙카드의 프로브에 테스트헤드를 전기적으로 도통시키는 것을 특징으로 하는 테스트헤드 이동방법.
  23. 장치본체에 동작가능하게 설치된 테스트헤드를 장치본체에 세트된 프로빙카드에 대해 수직으로 이동시키는 것에 의해, 피검사체의 전극과 전기적으로 접속하는 프로빙카드의 프로브와 테스트헤드와의 전기적인 도통을 해제하고, 테스트헤드를 프로빙카드에서 멀어지는 방향으로 수평하게 이동시켜 회전시키는 것을 특징으로 하는 테스트헤드 이동방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960010613A 1995-04-10 1996-04-09 프로브장치 KR100263841B1 (ko)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP95-109041 1995-04-10
JP10904195A JP3326751B2 (ja) 1995-04-10 1995-04-10 テストヘッドの移動方法及び装置並びにプローブ装置
JP32380595A JP3237740B2 (ja) 1995-11-16 1995-11-16 プローブ装置
JP95-323805 1995-11-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR960039249A true KR960039249A (ko) 1996-11-21
KR100263841B1 KR100263841B1 (ko) 2000-09-01

Family

ID=26448832

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019960010613A KR100263841B1 (ko) 1995-04-10 1996-04-09 프로브장치

Country Status (3)

Country Link
US (2) US5912555A (ko)
KR (1) KR100263841B1 (ko)
TW (1) TW298616B (ko)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3364401B2 (ja) * 1996-12-27 2003-01-08 東京エレクトロン株式会社 プローブカードクランプ機構及びプローブ装置
US6111421A (en) * 1997-10-20 2000-08-29 Tokyo Electron Limited Probe method and apparatus for inspecting an object
JPH11163066A (ja) * 1997-11-29 1999-06-18 Tokyo Electron Ltd ウエハ試験装置
US6888343B1 (en) * 1999-01-13 2005-05-03 Intest Ip Corporation Test head manipulator
JP2001091544A (ja) * 1999-09-27 2001-04-06 Hitachi Ltd 半導体検査装置の製造方法
JP3527450B2 (ja) * 1999-12-22 2004-05-17 東京エレクトロン株式会社 処理装置
ATE310960T1 (de) * 2000-09-20 2005-12-15 Intest Ip Corp Positionierer für elektronische testköpfe
WO2004012259A1 (ja) * 2002-07-25 2004-02-05 Tokyo Electron Limited 基板処理容器
JP2004309441A (ja) * 2003-02-18 2004-11-04 Yamaha Corp プローブヘッド及びその組立方法並びにプローブカード
US7312604B2 (en) * 2005-07-29 2007-12-25 Nextest Systems Corporation Portable manipulator for stackable semiconductor test system
CN102944791A (zh) * 2012-11-15 2013-02-27 昆山迈致治具科技有限公司 具有自动标记功能的测试治具
KR101748239B1 (ko) 2014-03-25 2017-06-16 가부시키가이샤 어드밴티스트 액추에이터, 핸들러 장치 및 시험 장치
JP6447553B2 (ja) 2016-03-18 2019-01-09 株式会社東京精密 プローバ
CN108692682B (zh) * 2018-05-21 2023-10-24 蔡怀峰 基于电机的旋转浮动装置
CN111243976A (zh) * 2020-03-17 2020-06-05 南京中电熊猫平板显示科技有限公司 一种检测修补设备和方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3437929A (en) * 1965-08-05 1969-04-08 Electroglas Inc Automatically indexed probe assembly for testing semiconductor wafers and the like
US5149029A (en) * 1982-08-25 1992-09-22 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US4527942A (en) * 1982-08-25 1985-07-09 Intest Corporation Electronic test head positioner for test systems
US5241870A (en) * 1991-07-22 1993-09-07 Intest Corporation Test head manipulator
US5440943A (en) * 1993-09-15 1995-08-15 Intest Corporation Electronic test head manipulator
JPH07147305A (ja) 1993-11-25 1995-06-06 Tokyo Electron Ltd 被検査体のテスト装置
JP3095318B2 (ja) 1993-11-25 2000-10-03 東京エレクトロン株式会社 被検査体のテスト装置
KR960019641A (ko) * 1994-11-24 1996-06-17 오우라 히로시 테스트·헤드 접속 장치를 장비한 반도체 시험 장치

Also Published As

Publication number Publication date
TW298616B (en) 1997-02-21
US6262570B1 (en) 2001-07-17
US5912555A (en) 1999-06-15
KR100263841B1 (ko) 2000-09-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960039249A (ko) 프로브장치
KR960030360A (ko) 반도체 시험장치
CN111077417B (zh) 一种电缆绝缘检测装置
US5327080A (en) Method and device for nondestructive testing of a penetration of a reactor pressure vessel lid
CN116859201A (zh) 一种高压输变电绝缘子表面电荷量测量检测装置及其方法
US5222292A (en) Hand tool for applying electrical connectors
CN211856767U (zh) 一种电气自动化设备的检测平台
KR880013272A (ko) 전기콘넥터 어플리케이터
CN101285761B (zh) 一种翻转机构
JPS62254036A (ja) 材料試験装置
CN219053410U (zh) 一种线束点焊固定模具
SU835701A1 (ru) Зажимное устройство
CN216925422U (zh) 一种用于机电设备安装调试的角度测量装置
CN219758339U (zh) 一种机电检测装置
CN217379023U (zh) 一种交通工程桩基检测静载试验装置
CN220932880U (zh) 一种液相色谱检测用辅助固定机构
CN218974233U (zh) 一种灼热丝试验设备
CN111024989B (zh) 一种改进型hdi线路板高效测试针床
CN220171044U (zh) 一种稳定度测试仪
CN215178630U (zh) 一种航空叶片振动实验工装
CN218099432U (zh) 一种远程测量高压电的防静电绝缘设备
CN214136218U (zh) 一种用于ac/dc电源模块外壳的切割装置
SU458500A1 (ru) Токопривод дл подъемно-транспортного средства
SU1615903A1 (ru) Подключающее устройство
JPH0716505U (ja) 無人搬送車の自動充電装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
J201 Request for trial against refusal decision
AMND Amendment
B601 Maintenance of original decision after re-examination before a trial
J301 Trial decision

Free format text: TRIAL DECISION FOR APPEAL AGAINST DECISION TO DECLINE REFUSAL REQUESTED 19990428

Effective date: 20000331

S901 Examination by remand of revocation
GRNO Decision to grant (after opposition)
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120507

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130503

Year of fee payment: 14

LAPS Lapse due to unpaid annual fee