TW293075B - - Google Patents

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經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（，） [發明之背最] 本發明係有闞半専體之製造装置等所使用之流«控制 装置。 習知之流體控制裝置，係至少在調整流量或臛力之調 整器入口側及出口側之一方，由許多數之閥所成並切換 許多數之流路而設有連通於網整器流路之閥裝置。 H5及圔6表示習知之流體控制装置，圈7表示習知 之流《控制装置以2列作左右方向並排互相加Μ連接之 吠態。在下面之說明，前後左右係對流體所流之方向來 講，將圖5之右側為前、左側為後，該鼷紙面之背面側 為左、表面側為右。又圔5之上下躭稱謂上下。 圏5及匾6所示，習知之流體控制裝置（101),係由 主流控制器（eassflow controller)(網整器）（102)、與 分別設於此調整器之入口 fl!(後側）及出口側（前側）之開 Μ 閥（103)(104)(105)(106)(107)所形成。開閫閥（103) ( 104)( 105)( 1 06 )( 107)計有5個，在入口側，股有對 主流控制器（102)M直接連接之主（nain)流髓用開闞閥 (103)K及Μ直接連接於咳右方之淸除（purge)流《用開 闞閥（104) 2届，於出口側，有Μ直接連接於主流控制 器（102)之主通路用開Μ閥（105)、Μ直接連接於該右方 之排氣用開闞閥（106)及Μ直接連接於該更右方之輿空 吸引用開闞《(107)3個。 主流β用開闞閥（103),為關閉罎程氣Μ (P「ocess gas) 流入路之用，有後方開口之流入路（131)、具有開口於 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS )八4規格（210X 297公釐） ΊI IJ 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 293075 B7 五、發明説明（> ) 前方之流出路（132)及連通流出路（132)且往右方開口之 旁通（bypass)流路（133)之直方體狀本體（108),輿開閉 流入路（131)之引動器（actUator)(109)所成，並在流入 路（131)之開口緣部，設有套筒（sleeve)速接用母《紋 部（110)。 濟除流體用開鼷閥（104),為開閉淸除用氣體之流人 路用，由在後方開口之流人路（134),具有達通於主流 «用開醞閥（103)旁通流路（133)流出路之直方鱷吠本Η (111),與開閉流入路（134)用之引動器（112)所成，並 於流入路（134)之開口緣部設有連接套简用母嫘纹部（11 3) ° 主通路用開闞Μ(1〇5)為開閉通到過程室之流路用，由 在後方開設流入路（136),具有壤通於前方所開設之流出 路（137)及流人路（136)在右方開設旁通流路（138)之直 方體狀本體（114),與開閉流人路（136)之引動器（115) 所成，並於流出路（137)之關口緣部設有連接套茼用母 鏍玟部（116)。 排氣用開閉閥（106)為開閉淸除用氣體流出路之用，由 前方開設流出路（140),連通於主通路用開閉閥（105)之 旁通流路（138)在左方開設流入路（139)及具有連通於該 流入路（139)在右方開設旁通滾路（141)之直方Β狀本體 (117),和開閉流入路（139)之引動器（118)所成，並於 流出路（140)之開口緣部設有連接套筒用母《玟部（119)。 真空吸引用開閉閥（107)為開閉通至真空吸引泵流路 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） ： I 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、 經濟部中夹揉準局員工消費合作社印繁 2930^5 發明説明（ 之用，由前方閭設流出路（143)及具有*通於排氣用開 鷗W (106)之旁通流路\ 141)在左方開投流入路（142)之 直方體吠本《 (120),和開閉流人路（142)之引動器（121) 所成，並於流出路（143)之開口緣部設有《接套苘用母 蠔紋部（122)。 主流體用開U閥（1 0 3 )和清除流體用開闞閥（1 0 4 ),乃 由從右方鏍合之螺玟（128)所連结，主通路用開鼷閥（10 5)和排氣用開鼷閥（106)以及真空吸引用開闞閥（107), 同為由從右方螺合之嫘玟（128)所連结。並在左右相鄹 之開鼷閥（103)(104)(105)(106)(107)間設有密鲟郤（12 7) 〇 依如此.在調整器（102)之入口側，由2個開闞閥<10 3)(104)所構成且加Μ切換許多數之流入路U31) (134) 設有連通於調整器（102)流入路之入口側閥装置•並在 該出口供，由3個開》閥（105)(106)(107)所構成而切 捵許多數之滾出路（137) (140) (143)設有建通於調整器 (102)流出路之出口側Ν裝置，流人流體控制装置（1〇1) 入口側任何一方流入路（131)(134)之流讎通ϋ調整器（1 02>内形成可從該出口供之住何一方流出路（137)(140)( 143>流出。 上述之流B控制装置（101)之設2列時，如·7所示， 你成左右2列•其相W之控制装置U01)所》應之彼此 «,亦即，彼此之淸除潦鼉用開鬮《(104)、彼此之主通 路用開闞闕（1〇5)、彼此之排氣用開UIH(l〇6)及彼此之 -5 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨0X297公釐） I —Ί I 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 〜〜__；_ 五、發明説明（4 ) 輿空吸引用開鼷WU07) ·乃藉由接頭及管所連接。再 者，主汲鱺用開闞w(l 03),係對各控制装置（101)(101) 主流艚用開鼷閟（103)(103)之母鏍纹都（110)(110)分別 加Μ達接套苘（圆简吠之接頭）（151)(153),又對此等套 筒（151)(153)分別K簞獨連接«程氣體供應用管（179)( 180),彼此之主流艚用開闞閥（1〇3)則不作壤接。 對於彼此之淸除流飜用開WWU04),將配置於左方 之控制裝置（101)開闞W(l〇4)之母鏍紋部U13)連接套 筒（152),並在此套简（152)連接第1L型接頭（165>,對第 1L型接頭（165)再於埋接第2L型接頭（166),其配置在右 方之控制装置（101)開顒閥（104)之母嫘玟部（113)則連 接套筒（154),再對此套筒（154)連接其一蟠*接於濟除 氣«供應用管（181>之T型接頭（161),將第3L型接頭（1 67)連接於該T型接頭（161),第2L型接頭（166)與第3L 型接頭（167)即由管（182)所連接。又第2L型接顗（166) 及第3L型接顗（167)係為使連接用管U82)不干涉於右方 之«程氣體供應用管（180)者。 對於彼此之主通路用開《閥（1 〇 5),將套筒（1 5 5 )建接 於配置在左方的控制装置（101)之開Μ閥（1〇5)母鏍玟（ 116),並在此管（155)連接以前後延伸之第1管（183), 再於此第1管（183)埋接L型接頭（168),在配置於右方 控制裝置（101)之開醞《(105)之母鏍蚊都（lie)連接套 筒（158),並在此套茼（158)¾接Μ前後延伸之第2管（ 186),再於此第2管（186)連接Τ型接頭（162)之後皤· -6- 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） I —^ I I I I 裝— 訂 I i I 务 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榉準局貝工消費合作社印製 393075 A7 __ _B7 _ i、發明説明（r ) 再於ttT型接頭（162)之左孅和L型接頭（168)連接往左 右延伸之第3管（184),在T型接頭（162)之右嬙，拜由 延伸左右之第4管（185>投有*接套苘用母螺紋構件（19 2)。第1管（183)及第2管U86)乃為防止與其他配管之 干涉，第4管（185)則為對其他之配管R合其左右長度之 用° 對於彼此之排氣用開W«(l〇6),將套筒（156)連接於 配置在左方的控制裝置（101)之開鼷閥母鏍紋部（119), 並在此套苘（156)連接第1L型接頭（169),此第1L型接頭 (169)又連接第2L型接頭（170),此第2L型接頭（170)再 *接第3L型接頭（171),在配置於右方的控制裝實（101) 之開WW (106)之母鏢紋部（119)連接套简（159),此套筒 (159)又連接第4L型接頭（175),此第4L型接頭（175)又 速接第5L型接頭（176),此第5L型接頭（176)再連接T型 接頭（163),在第3L型接頭（171)和T型接頭（163)之左 皤連接注右左延伸之第1管（187)。在T型接頭（163)之 右靖，_由延伸左右之第2管（188)設有連接套筒用母 媒玟構件（193) °第1L型接頭（169)、第2L型接頭（170)、 第4L型接頭（175)及第5L型接頭（176),乃為防止與其他 配管之干涉，第2管（188)則為對其他之K管R合其左 右長度之用者。 對於彼此之真空吸引用開MW (107),將*简（157)建 接於配置在左方之控制装置（101)之開闞Μ (107)之母蠼 抆部（122),在此套简（157)達接第1L型接頭（172>,並對 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） — ΙΊ I _Μ I I I I 裝 I I I n 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（b ) 此第1L型接頭（172)鞴往上下猱伸之第1管（189)建接第 ’2L型接頭（173)，此第2L型接頭（173)再«接第3L型接頭 (174),將配置在右方之控制装置（101)開闢閥（107)之 母鏍纹部（122)達接套筒（160>,此套简（160>又連接第4 L型接頭（177)，並於此第4L型接頭（177)驩由往上下延 伸之第2管（190)缠接第5L型接頭（178),此第5L型接頭 (178)達接T型接頭（164),第3L型接顗U74)和T型接頭 (164)之左嬙由往左右延伸之管（191)所連接。又在T型 接頭（164)之右端Μ直接連接有套筒建接用之母嫘纹姆 造（194)。第1L型接頭（172)、第2L型接頭（173)、第4L 型接頭（177)、第5L型接頭（178)、第1管（189)及第2管 (190),係為防止與其他配管之干涉者。 依如此，排列2個流«控制装置（101)時，左右之寬度 成為6個闊份之寬度，前後方向之長度，係成為從達接彼 流體用開Η閥（104)之管（182)到連接彼此主通路用開鬮 閥（105)之第3及第4管（184)(185)止之距_。 在於上述習知之流«控制装置，為了防止與其他配管 之干涉或對其他配管為了配合於其左右長度•使用有頗 多之接頭成管。如此地增加了零件數時焊接地方亦蝤加 •不用說當然會增加成本，整個装置變大，其降低半導 «製造用過程氣《肫度之流體無用容積（dead v〇U»e> 部份亦增加，焊接地方之多乃繫於附«蝕之惡化。 本發明之目的係提供一種企匾滅少接顗數、焊接«所 及管數及降低成本，並減少》低流《肫度之無用容镇及 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X29*7公釐） „ ^ — ———— II ^—訂 I I I I 么 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明（ 7 ) 1 1 起 因 於 焊 接 之 射 腐 蝕 性 劣 化 成 減 少 滾 鱧 污 染 問 題 之 流 H 1 1 控 制 装 置 〇 1 | [發明之概要] /·—V 請 1 依 本 發 明 之 流 體 控 制 裝 置 • 係 種 流 體 控 制 裝 置 至 先 閱 I 讀 1 1 少 於 綢 蹩 流 量 或 m 力 之 網 整 器 入 0 側 及 出 Ρ 两 之 一 方 t 背 | 之 1 由 許 多 數 之 閥 所 成 而 切 換 許 多 數 之 流 路 設 有 連 通 於 調 整 注 意 1 器 流 路 之 閥 裝 置 » 其 特 微 為 該 閥 裝 置 之 許 多 數 閥 9 係 Μ 事 項 1 I 再 1 I 上 下 叠 合 者 0 4 1 本 對 調 整 器 « 乃 設 有 連 通 調 整 器 而 具 有 向 下 開 α 通 路 之 頁 '—^ 1 I 上 側 m 接 部 » 對 連 接 構 件 設 有 達 通 連 接 構 件 而 具 有 向 上 1 1 m 口 通 路 之 下 側 連 接 部 並 使 向 下 開 P 通 路 和 向 上 開 0 1 I 通 路 連 通 並 於 下 側 連 接 部 之 上 叠 合 上 側 連 接 部 » 最 好 是 1 訂 以 裝 卸 g 如 連 接 上 側 埋 接 部 和 下 側 缠 结 部 〇 由 於 如 此 之 1 構 成 $ 由 卸 開 上 侧 速 接 部 和 下 俩 連 接 之 接 合 t 可 將 諝 整 1 I 器 單 獨 的 卸 開 參 當 綢 整 器 故 陣 之 際 > 可 迅 速 且 簡 單 的 更 - 1 1 I 換 提 高 裝 置 之 維 護 性 〇 1 1 該 流 控 制 裝 置 欲 設 許 多 數 列 時 同 一 高 度 之 各 流 Η 線 I 控 制 裝 置 之 彼 此 閥 藉 由 接 頭 及 管 所 連 接 0 依 如 此 • 各 連 1 1 接 用 之 管 躭 依 閥 之 高 度 分 別 成 為 不 同 之 高 度 9 故 互 相 不. 1 1 干 涉 » 又 不 需 要 為 了 港 免 建 接 用 彼 此 管 間 干 涉 用 之 接 頭 1 及管 • 滅 少 接 頭 及 管 之 數 〇 随 著 此 焊 接 處 所 亦 減 少 » 因 1 1 此 • 不 但 能 _ 降 低 成 本 t 並 伴 釀 接 頭 及 管 之 減 少 使 流 1 體 盹 度 降 低 之 無 用 容 積 減 少 9 又 伴 鼸 焊 接 處 所 之 滅 少 » 1 I 即 滅 少 起 因 於 焊 接 之 射 m 触 性 9 - 劣 化 成 流 Η 污 染 之 問 圃 〇 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 293075 A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消资合作社印製 五、發明説明（ 8 ) 1 1 [圖面之簡單說明] 1 1 Β1 1 表 示 依 本 發 明 之 流 級 控 制 裝 置 剖 切 一 部 份 之 側 面 1 | 〇 請 1 I 先 函 2 同 上 剖 切 部 份 之 平 面 Η 〇 閱 I 讀 I I Hi 3 表 示 依 本 發 明 之 流 Η 控 制 装 置 設 並 列 時, 之 連 接 吠 背 I 之 1 戆 斜 視 Η 〇 注 意 1 I Η 4 表 示 液 « 流 之 5 個 型 圈 〇 事 項 1 I 再 1 I Β 5 表 示 習 知 流 體 控 制 裝 置 之 剖 切 部 份 之 側 面 圔 〇 填 寫 本 1 A 圈 6 同 上 剖 切 部 份 之 平 面 圏 〇 頁 1 I 圖 7 表 示 習 知 之 流 «8 控 制 裝 置 設 並 列 時 之 連 接 吠 態 斜 1 1 視 圖 〇 1 I [最佳具«例之詳细說明] 1 1 Κ 下 參 照 匾 面 說 明 本 發 明 之 實 施 形 態 〇 在 Μ 下 之 說 明 吞J 1 其 前 後 左 右 係 對 流 Η 之 流 動 方 向 而 言 • 圖 1 之 右 側 為 1 I 前 左 侧 為 後 9 該 圓 紙 面 之 背 側 為 左 » 表 面 側 為 右 0 又 1 1 1 之 上 下 為 上 下 之 稱 〇 1 1 圈 1 及 Η 2 ， 表 示 本 發 明 之 流 Η 控 制 装 置 (1), 圈3 線 I 表 示 此 流 體 控 制 裝 置 (1) W 2 列排於左右方向之狀態 > 1 1 如 1 1 及 圆 2 所 示 本 發 明 之 控 制 装 置 (1) * 係 由 調 1 1 整 器 (assf 1 c W C 0 n t Γ 0 11 e r )(2) Ρ 與 設 於 調 整 器 (2) 之 1 入 □ 供 (後側）及出 箱 (前供）之開闞閥 (3) (4) (5) (6) (7 1 1 >所成 => 開鬭 W (3) (4) (5) (6> (7)計有 5 個 » 在 入 Ρ 侧 股 I 有 濟 除 流 級 用 開 RI 閥 (3) 及 疊 合 於 此 上 面 之 主 流 H 用 開 1 1 Η 閥 (4) 2 個 Ρ 在 出 □ 供 設 有 真 空 吸 引 用 開 鼸 閥 (5) · 叠 合 1 1 10 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央橾準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（9 ) 於其上面之排氣用開鼷M(6>及再叠合於其上之主*路 用開鼷閥（7)3個。 淸除流Μ用開醑N (3),係為開閉清除用氣《之流入路 用，由後方開口之流入路（31),在前方所開口之流出路 (32)及連通於潦出路（32)且具有在上方闋設旁通流路（ 41) 之直方tt吠本鱷（8),及Μ閉流出路（32)之引動器 (9>所成，並於流入路（3U之開口緣部設有連接套简用 之母鏍纹部（10)。 主流《用開Η闕（4 >,為開閉過程氣潦入路之用，由 後方閭口之流入路（39>、具有連通於濟除流體用開Μ閥 (3)之旁通流路（41)下方所開設流出路（40>之直方黼狀 本《(11),及開閉流出路（40)之引動器（12)所成，並於 流入路（39)之開口緣部設有連接套筒用之母«抆部（13>。 禀空吸引用開鼷閥（5),為開閉通到真空吸引泵流路 之用，由後方Μ 口之潦入路（37),在前方所闋口之流出 路（38)及建通於流入路（37)具有在上方開設旁«流路（ 42) 之直方《狀本Η (14),及開閉流入路（37>之引動器 (15>所成，並於流出路（38)之開口缘部股有建接套苘用 之母鏢紋部（16)。 排氣用開闞閥（6),為開閉淸除用氣钃流出路之用，由 前方開口之流出路（44),具有1$通於輿空吸引用開Μ閨 (5>之旁通流路（42)下方所開設流入路（43)及建«此流 入路（43)在上方開股旁通流路（45)之直方β狀本β (17) ,及開閉流入路（43)之引動器（18)所成，並於庚出路（ -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4現格（210X297公釐） . I I I 裝 I I I —-訂 __ I I I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（^ ) 44)之開口緣部設有雄接《苘用之母鏍紋部（19)。 主通路用開鼷《(7)，為開閉通到通程室流路之用，由 具有在前方開口之流出路（47)及理通排氣用開闞閾（6> 之旁通流路（45)下方開設流入路（46)之直方鱷吠本« ( 20>,及開閉流入路（46>之引動器（21)所成，並於流出路 (47)之開口緣部設有建接套筒用之母《紋部（22)。 又讕整器（2)之前後供面下蝙部，Μ往前後伸出設有 前後上俩通路塊（24)(23>。在後上撕通路塊（23),設有 建通於在後方開口之調整器（2)流入路且在下方開股流 入路（34)。前上俩通路塊（24),則設有連通於調整器（ 2)之前方開口流出路且下方開口之流出路（35)。其前後 上側通路塊（24)(23)之下方分別設有前後下供竈路嫌（ 26 )(25 )。並使後下側通路塊（25)之後面與流K用開闞 W (3)本鱷（8>之前面接觸，以及前下侧通路塊（26)之前面 與興空吸引用開鬮W(5)本鱷（14)之後面接_。又於後 下側通路旒< 2 5 )設有連通清除流β用開釅閥（3 >之流出 路（32)和後上側通路塊（23)流入路（34)之流入路（33), 對前下側通路塊（26),則連通前上侧通路塊（24)之流出 路（35)且連通於真空吸引用拥矚閥（5>之流入路（37>形 成流出路（36)。 濟除流《用開鼷閥（3)之本鼉（8)和後下供通路瓛（25) •係從濟除流《用開鼷閥（3)本體（8)之後方所蠼合之蠖 栓（28)加Μ連接。真空吸引用開鼷閥（5>之本鼉（14)和 前下供通路塊（26),係從真空吸引用闋闞W(5>本髑（14 -12- 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) M規格（21〇χ297公釐） I J- I I*— I I n ^ m I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 293075 A7 _B7 五、發明説明（n ) )之前方所螺合之蠼栓（28)加以缠接。再者，前後上侧 通路塊（24)(23)和前後下側通路塊（26U25)乃從前後上 侧通路塊（24)(23)之上方所«合之嫘栓（28)加以ft接。 並於彼此各構件之達接部份設有密封部（27)。拥整器（2 )和前後上側通路塊（24)(23),省略鼸示但係由從例方 所螺合之蠼栓加以固定。彼此之入口側閭鼷閥（3)(4)及 彼此之出口側開鼷閥（5)(6)(7),係分別將引動器（9)( 12) (15) (18) (21>朗向左方而叠合彼此之各本《 (8) (11) (14) (17)(20),從上方鏢合之螺栓（28)加以建接。 依如此，於網整器（2)之入口側及由2個開鼷閥（3>( 4)所構成且切換許多數之流入路（31)(39)連通於調鳌器 (2)之流入路設置入口側《装置，再於該出口侧由3個 開鼷閭（5U6)(7)所構成並切換許多數之流出路（38M44 )(47 >連通於調整器（2)之流出路而设置出口供閥裝置， 使其形成為流入流體控制裝置（1)入口 «之任何一方 流入路（3 1) ( 3 9 )之流臞通通調整器（2 )内，再從同出口 «之任何一方流出路（38)(44)(47)所流出。 並於上述流體控制裝置（1>,當網整器（2)或主流體用 開鼷W(4)故陣時，將此往上方卸下即各各可Μ單獮分 刖作更換，當主通路用開鼷閥（7)或排氣用開闞閥（6)故 障時，則可將此等往上方一齊卸下加Κ更換。 如上述，該前後上側通路塊（24Μ23)亦可與調整器（ 2) — «形成•前後下俩通路塊（26)(25)亦可分別與開闞 W(3>(5)之本髑（8) (14) — «形成。亦可省略其上側及 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） I J I — II I 裝 I I I I I 訂— — I 線 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本萸) A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 下 侧 通 路 塊 (24) (2 3) (26) (25)將 調 整 器 (2 )和開關睇（3) 1 1 (5) 加 以 直 接 〇 又 於 上 述 之 説 明 j 係 將 位 於 入 口 m 下 方 1 之 開 開 閥 (3) 作 為 清 除 流 體 用 9 位 於 上 方 之 開 關 閥 (4 ) '—V 1 I 請 作 為 主 流 體 用 9 當 然 將 開 關 閥 (3)(4) 之 用 途 反 過 來 時 亦 先 閱 1 讀 1 無 間 題 〇 同 樣 地 » 在 出 P 側 之 開 關 閥 (5 )( 6 ) (7 ) 可 任 意 背 Λ * 1 I 使 用 於 真 空 吸 引 用 N 排 氣 用 及 主 通 路 用 之 方 〇 依 上 述 1 | * I 之 實 施 例 者 9 當 過 程 氣 體 流 於 流 體 控 制 裝 置 (1 )時， 就 消 事 項 1 I 除 使 過 程 氣 體 純 度 惡 化 之 氣 體 集 留 部 份 (無用容積）， 對 再 填 1 雒 持 過 程 氣 體 純 度 於 高 純 度 之 點 有 利 〇 寫 本 頁 ▲ 1 圖 4 表 示 主 流 控 制 器 (M FC)前後之流體流動之圖型， 圖 1 4(a) 之 圖 型 係 在 主 流 控 制 器 之 入 □ 側 設 流 體 用 開 關 閥 9 • 1 1 在 該 出 □ 側 設 置 主 通 路 (P / C ) 用 開 關 閥 > 及 為 最 簡 單 1 1 的 圖 型 〇 圖 4(b) 之 圖 型 9 傜 在 主 流 控 制 器 之 入 □ 側 設 訂 | 主 流 體 用 開 關 閥 及 清 除 流 體 用 開 關 閥 9 在 該 出 口 側 設 1 | 置 主 通 路 用 開 蘭 閥 及 排 氣 (V E N T)用 開 關 閥 者 〇 圖 4(c) 之 1 1 圖 型 9 僳 在 主 流 控 制 器 之 入 P 倒 設 主 流 體 用 開 關 閥 及 消 1 | 除 流 體 用 開 關 閥 9 在 該 出 P 側 設 置 主 通 路 用 開 關 閥 9 排 線 氣 用 開 鼷 閥 及 真 空 吸 引 (V a c ) 用 開 關 閥 者 0 圖 4(d) 之 圖 1 1 型 * 像 在 主 流 控 制 器 之 入 P 侧 設 主 流 體 用 開 關 閥 及 清 除 1 I 流 體 用 開 關 閥 9 在 該 出 α 側 設 置 主 通 路 用 開 關 閥 及 排 氣 1 1 用 開 關 閥 9 再 於 入 P 側 開 鼷 閥 和 出 Π 側 開 两 閥 之 間 設 1 1 有 流 路 切 換 用 開 關 閥 〇 rat 國 4(e) 之 圖 型 9 係 在 主 流 控 制 器 • 1 I 之 入 P fig 設 主 流 體 用 開 關 閥 及 清 除 流 體 用 開 關 閥 1 在 該 1 1 出 P 側 設 置 主 通 路 用 開 閬 閥 » 排 氣 用 開 m 閥 及 真空 吸 引 1 1 1 i - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（ο ) 用開u閥，再於入口側開醑》和出口侧開闞閥之間，設 有流路切換用醑翮Η。 上述之流«控制装置（1>乃為園4(<:)之園型，欲得Η4 (b)之圈型者，只將上述流«控制裝置（1)之出口側嫌成 ，作成與該入口俩同揉之構成即可。又圚4(d)及圖4(e) 之圖型者，分別對鼷4(b)及H4(c)之圈型者附加切換用 開闞IH躭可獲得。圈4所示之5涸圈型係表示在流體控 制系统中嫌乎為所有之流«流之圔型，此等之匾型中， 確《行使流《之置換及供應，於製造半専體之通程上能 缠當選揮，組合最優越之匾型並構成控制系統，在5涸 園型之中，對於除了 U)以外之4個園型可使用上述之 流體控制装置（1)。再者，於上述實施例其作為調整器（ 2)之例，係舉主流控制器，但是作為調整器來講，除此 K外可使用壓力調整器等，將此等缠當的加Μ姐合而構 成流《I控制装置。 上述之流腰控制裝置（1)設2列時，如圈3所示係Μ 左右2列，其相鄰之控制裝置（1)所對應之彼此間，亦 即，彼此之清除流《用開關閥（4)、彼此之真空吸引用 開鼷I» (5)、彼此之排氣用開鼷閥（6)及彼此之主通路用 開闞閥（7),係藉由接頭及管所連接。又主流《用開闞 閥（4)對各控制裝置（1)之主流體用開翮閥（4)(4>之母嫘 紋部（13)(13)分別連接套苘（52)(54),再對此等之套筒 (52)(54)分別以單玀連接有IA程氣《供應用管（69)(71) ,彼此之主流體用開鬭1»(4)並不被作連接。 -15" 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） ΜIJ 裝 , 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ， 293075 經濟部中央樣準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明（) 對於彼此之清除流β用開鼷閥（3)，在配置於左方之 控制裝萱（1>之開闞閥（3)母嫌紋部（10)埋接套简（51), 此套筒（51)又連接置水平吠之L型接頭（65).對配置於 右方之控制裝置（1)之開閥閥（3)母螺玟（1〇)連接套筒（5 3),此套筒（53)再*接其一端埋接於淸除氣腰供給用管 (70)之置水平狀T型接頭（61)，T型接頭（61)和L型接 頭（65)間躭由注左右延伸之管（72)建接。 對於彼此之出口俩閥（5)(6)(7),對任何一傾真空吸 引用開鼷閥（5)、排氣用開闞閥（6)及主通路用開闞閥（ 7),在配置於左方控制装置（1)之開闞M(5)(6)(7)各母 嫘紋部（16)(19)(22),分別《接接套荷（55)(56)(57)， 並對此等之套简（55)(56)(57)分別連接置水平狀之L型 接頭（66)(67)(68),對配置於右方控制装置（1)之開闞 閥（5)(6)(7)各母螺紋部（16)(19)(22)分別連接套简（58 )(59)(60),再對此等之套爾（58)(59)(60)分別連接置水 平狀之T型接頭（62)(63)(64),各L型接頭（66)(67)(68) 和各T型接頭（62)(63)(64)之左端分別由延伸左右之套 简（73)(74)(75)所連接。又在各T型接頭（62)(63)(64) 之右孅分別以直接速接套筒用之母螺紋構件（76)(77)(78)。 在此画3所示之本發明與表示於圈7之習知者相比較 结果表示於表1及表2 。表1係入口側即閥數為2镅時 之比較，表2係出口側即W數為3個時之比較。 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐} I —I —^ I I I I I I 訂— I I 备 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 __B7 五、發明説明（K ) [表1] 習 知 本發明 接 頭 L型 3 個 1 m T型 1 個 1 個 套苘 4 個 4 個 焊接處所 9處 7 處 所要管數 4支 4 支 所要寬度 基準 同 -17- ^ ^ 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 __B7 五、發明説明（4 ) 表2 習 知 本發明 接 頭 L型 11 個 3 個 Τ型 3 個 3 偭 套茼 6 個 6 個 焊接處所 29處 15 處 所要管數 9支 3 支 所要宽度 基準 100β·減 ^ ,0 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 如表1所示，在閥數為2個時L型接頭減少2個，並 伴随於此焊接處所亦滅少有2處，再者又減少了 2 β份 之L型接頭容稹。對於左右之寬度，在習知者為閥本體 2俚份與本發明者將閬本«和引動器相加之份，此等係 大致相等寬度不變。 如表2所示，在閥數為3個時L型接頭滅少8僩，獬經 加工之管數滅少6支，並伴«於此焊接處所亦減少有14 -1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐） A7 293075 B7 五、發明説明（V ) 處，其L型接顗及管數所減少之份容積亦滅少。再者左 右之寬度，對習知之流«控制裝置（10)之3個份閥本體 ,在本發明之流«控制装置（1)係為相加閥本體和引動 x 器之份，故對1個流體控制装置50··,共變窄lOOne,又 未示於表，對前後方向之長度，亦減短了於習知之控制 裝置（101)欲連接主通路用開闞閥（105)時所使用第1及 第2管（ 183) ( 186 )之長度份。 由此等表及圏3和圖7之比較，可知在本發明之流體 控制裝置（1)比習知者配管成極為簡易。因而，不用設 必然可降低成本，佔有空間及配管容積減少，並伴醣® 管容積之減少亦減少了降低流體純度之流體集留部份（ 無用容積），又伴随焊接處所之減少，亦減少了起因於 焊接之酎腐蝕性劣化及流體污染之問題。再者，由表1 及表2得知，在調整器（2)之入口側及出口側之任何一 方，只要是以上下叠合2個Μ上之開顒閥，即獲得表1 或表2之效果。 ^ ^ 裝 ^ 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) ‘ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）

Claims (1)

1. 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 調成， 整連開口自 其各 之所置 C調側上開卸 ，之 用閥裝者該上向上裝 置度 力之閥合中' 之有向， 裝高 。 壓數之«其路具和部 制同接 或多路下，通件路接 控，連 量許流上置口 構通連 體時所 流由器以裝開接口側。流同管 整有整僳制下連開上部之，及 諏設調閥控向於下合接項列頭 於，於數體有通向β連 2 數接 少方通多流具連使上側第多由 至一連許之器有並之下 '或許藉 傜之而之項整置，部和項成閥 ，側路置 1 調設部接部 1 設此 置 口流裝第於件接連接第係彼 裝出之閥圍通構連側建圍置之 制及數該範連接側下側範裝置 控側多，利有連下將上利制裝 體 口許為專置其之通接專控制 流入換擞請設，路連連請體控 種器切待申，部通路地申流體 一 整及其如器接 口通如如中流 I I I 裝 ^ 訂 線 '* · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐）