TW293075B - - Google Patents

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TW293075B
TW293075B TW085107833A TW85107833A TW293075B TW 293075 B TW293075 B TW 293075B TW 085107833 A TW085107833 A TW 085107833A TW 85107833 A TW85107833 A TW 85107833A TW 293075 B TW293075 B TW 293075B
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opening
control device
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TW085107833A
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Inventor
Nobukazu Ikeda
Original Assignee
Omi Tadahiro
Fujikin Kk
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Description

經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(,) [發明之背最] 本發明係有闞半専體之製造装置等所使用之流«控制 装置。 習知之流體控制裝置,係至少在調整流量或臛力之調 整器入口側及出口側之一方,由許多數之閥所成並切換 許多數之流路而設有連通於網整器流路之閥裝置。 H5及圔6表示習知之流體控制装置,圈7表示習知 之流《控制装置以2列作左右方向並排互相加Μ連接之 吠態。在下面之說明,前後左右係對流體所流之方向來 講,將圖5之右側為前、左側為後,該鼷紙面之背面側 為左、表面側為右。又圔5之上下躭稱謂上下。 圏5及匾6所示,習知之流體控制裝置(101),係由 主流控制器(eassflow controller)(網整器)(102)、與 分別設於此調整器之入口 fl!(後側)及出口側(前側)之開 Μ 閥(103)(104)(105)(106)(107)所形成。開閫閥(103) ( 104)( 105)( 1 06 )( 107)計有5個,在入口側,股有對 主流控制器(102)M直接連接之主(nain)流髓用開闞閥 (103)K及Μ直接連接於咳右方之淸除(purge)流《用開 闞閥(104) 2届,於出口側,有Μ直接連接於主流控制 器(102)之主通路用開Μ閥(105)、Μ直接連接於該右方 之排氣用開闞閥(106)及Μ直接連接於該更右方之輿空 吸引用開闞《(107)3個。 主流β用開闞閥(103),為關閉罎程氣Μ (P「ocess gas) 流入路之用,有後方開口之流入路(131)、具有開口於 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS )八4規格(210X 297公釐) ΊI IJ 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 293075 B7 五、發明説明(> ) 前方之流出路(132)及連通流出路(132)且往右方開口之 旁通(bypass)流路(133)之直方體狀本體(108),輿開閉 流入路(131)之引動器(actUator)(109)所成,並在流入 路(131)之開口緣部,設有套筒(sleeve)速接用母《紋 部(110)。 濟除流體用開鼷閥(104),為開閉淸除用氣體之流人 路用,由在後方開口之流人路(134),具有達通於主流 «用開醞閥(103)旁通流路(133)流出路之直方鱷吠本Η (111),與開閉流入路(134)用之引動器(112)所成,並 於流入路(134)之開口緣部設有連接套简用母嫘纹部(11 3) ° 主通路用開闞Μ(1〇5)為開閉通到過程室之流路用,由 在後方開設流入路(136),具有壤通於前方所開設之流出 路(137)及流人路(136)在右方開設旁通流路(138)之直 方體狀本體(114),與開閉流人路(136)之引動器(115) 所成,並於流出路(137)之關口緣部設有連接套茼用母 鏍玟部(116)。 排氣用開閉閥(106)為開閉淸除用氣體流出路之用,由 前方開設流出路(140),連通於主通路用開閉閥(105)之 旁通流路(138)在左方開設流入路(139)及具有連通於該 流入路(139)在右方開設旁通滾路(141)之直方Β狀本體 (117),和開閉流入路(139)之引動器(118)所成,並於 流出路(140)之開口緣部設有連接套筒用母《玟部(119)。 真空吸引用開閉閥(107)為開閉通至真空吸引泵流路 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) : I 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、 經濟部中夹揉準局員工消費合作社印繁 2930^5 發明説明( 之用,由前方閭設流出路(143)及具有*通於排氣用開 鷗W (106)之旁通流路\ 141)在左方開投流入路(142)之 直方體吠本《 (120),和開閉流人路(142)之引動器(121) 所成,並於流出路(143)之開口緣部設有《接套苘用母 蠔紋部(122)。 主流體用開U閥(1 0 3 )和清除流體用開闞閥(1 0 4 ),乃 由從右方鏍合之螺玟(128)所連结,主通路用開鼷閥(10 5)和排氣用開鼷閥(106)以及真空吸引用開闞閥(107), 同為由從右方螺合之嫘玟(128)所連结。並在左右相鄹 之開鼷閥(103)(104)(105)(106)(107)間設有密鲟郤(12 7) 〇 依如此.在調整器(102)之入口側,由2個開闞閥<10 3)(104)所構成且加Μ切換許多數之流入路U31) (134) 設有連通於調整器(102)流入路之入口側閥装置•並在 該出口供,由3個開》閥(105)(106)(107)所構成而切 捵許多數之滾出路(137) (140) (143)設有建通於調整器 (102)流出路之出口側Ν裝置,流人流體控制装置(1〇1) 入口側任何一方流入路(131)(134)之流讎通ϋ調整器(1 02>内形成可從該出口供之住何一方流出路(137)(140)( 143>流出。 上述之流B控制装置(101)之設2列時,如·7所示, 你成左右2列•其相W之控制装置U01)所》應之彼此 «,亦即,彼此之淸除潦鼉用開鬮《(104)、彼此之主通 路用開闞闕(1〇5)、彼此之排氣用開UIH(l〇6)及彼此之 -5 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(2丨0X297公釐) I —Ί I 裝 訂 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印製 A7 〜〜__;_ 五、發明説明(4 ) 輿空吸引用開鼷WU07) ·乃藉由接頭及管所連接。再 者,主汲鱺用開闞w(l 03),係對各控制装置(101)(101) 主流艚用開鼷閟(103)(103)之母鏍纹都(110)(110)分別 加Μ達接套苘(圆简吠之接頭)(151)(153),又對此等套 筒(151)(153)分別K簞獨連接«程氣體供應用管(179)( 180),彼此之主流艚用開闞閥(1〇3)則不作壤接。 對於彼此之淸除流飜用開WWU04),將配置於左方 之控制裝置(101)開闞W(l〇4)之母鏍紋部U13)連接套 筒(152),並在此套简(152)連接第1L型接頭(165>,對第 1L型接頭(165)再於埋接第2L型接頭(166),其配置在右 方之控制装置(101)開顒閥(104)之母嫘玟部(113)則連 接套筒(154),再對此套筒(154)連接其一蟠*接於濟除 氣«供應用管(181>之T型接頭(161),將第3L型接頭(1 67)連接於該T型接頭(161),第2L型接頭(166)與第3L 型接頭(167)即由管(182)所連接。又第2L型接顗(166) 及第3L型接顗(167)係為使連接用管U82)不干涉於右方 之«程氣體供應用管(180)者。 對於彼此之主通路用開《閥(1 〇 5),將套筒(1 5 5 )建接 於配置在左方的控制装置(101)之開Μ閥(1〇5)母鏍玟( 116),並在此管(155)連接以前後延伸之第1管(183), 再於此第1管(183)埋接L型接頭(168),在配置於右方 控制裝置(101)之開醞《(105)之母鏍蚊都(lie)連接套 筒(158),並在此套茼(158)¾接Μ前後延伸之第2管( 186),再於此第2管(186)連接Τ型接頭(162)之後皤· -6- 本紙張尺度適用中國國家樣準(CNS ) Α4規格(210Χ 297公釐) I —^ I I I I 裝— 訂 I i I 务 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央榉準局貝工消費合作社印製 393075 A7 __ _B7 _ i、發明説明(r ) 再於ttT型接頭(162)之左孅和L型接頭(168)連接往左 右延伸之第3管(184),在T型接頭(162)之右嬙,拜由 延伸左右之第4管(185>投有*接套苘用母螺紋構件(19 2)。第1管(183)及第2管U86)乃為防止與其他配管之 干涉,第4管(185)則為對其他之配管R合其左右長度之 用° 對於彼此之排氣用開W«(l〇6),將套筒(156)連接於 配置在左方的控制裝置(101)之開鼷閥母鏍紋部(119), 並在此套苘(156)連接第1L型接頭(169),此第1L型接頭 (169)又連接第2L型接頭(170),此第2L型接頭(170)再 *接第3L型接頭(171),在配置於右方的控制裝實(101) 之開WW (106)之母鏢紋部(119)連接套简(159),此套筒 (159)又連接第4L型接頭(175),此第4L型接頭(175)又 速接第5L型接頭(176),此第5L型接頭(176)再連接T型 接頭(163),在第3L型接頭(171)和T型接頭(163)之左 皤連接注右左延伸之第1管(187)。在T型接頭(163)之 右靖,_由延伸左右之第2管(188)設有連接套筒用母 媒玟構件(193) °第1L型接頭(169)、第2L型接頭(170)、 第4L型接頭(175)及第5L型接頭(176),乃為防止與其他 配管之干涉,第2管(188)則為對其他之K管R合其左 右長度之用者。 對於彼此之真空吸引用開MW (107),將*简(157)建 接於配置在左方之控制装置(101)之開闞Μ (107)之母蠼 抆部(122),在此套简(157)達接第1L型接頭(172>,並對 本紙張尺度適用中國國家樣準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) — ΙΊ I _Μ I I I I 裝 I I I n 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(b ) 此第1L型接頭(172)鞴往上下猱伸之第1管(189)建接第 ’2L型接頭(173),此第2L型接頭(173)再«接第3L型接頭 (174),將配置在右方之控制装置(101)開闢閥(107)之 母鏍纹部(122)達接套筒(160>,此套简(160>又連接第4 L型接頭(177),並於此第4L型接頭(177)驩由往上下延 伸之第2管(190)缠接第5L型接頭(178),此第5L型接頭 (178)達接T型接頭(164),第3L型接顗U74)和T型接頭 (164)之左嬙由往左右延伸之管(191)所連接。又在T型 接頭(164)之右端Μ直接連接有套筒建接用之母嫘纹姆 造(194)。第1L型接頭(172)、第2L型接頭(173)、第4L 型接頭(177)、第5L型接頭(178)、第1管(189)及第2管 (190),係為防止與其他配管之干涉者。 依如此,排列2個流«控制装置(101)時,左右之寬度 成為6個闊份之寬度,前後方向之長度,係成為從達接彼 流體用開Η閥(104)之管(182)到連接彼此主通路用開鬮 閥(105)之第3及第4管(184)(185)止之距_。 在於上述習知之流«控制装置,為了防止與其他配管 之干涉或對其他配管為了配合於其左右長度•使用有頗 多之接頭成管。如此地增加了零件數時焊接地方亦蝤加 •不用說當然會增加成本,整個装置變大,其降低半導 «製造用過程氣《肫度之流體無用容積(dead v〇U»e> 部份亦增加,焊接地方之多乃繫於附«蝕之惡化。 本發明之目的係提供一種企匾滅少接顗數、焊接«所 及管數及降低成本,並減少》低流《肫度之無用容镇及 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X29*7公釐) „ ^ — ———— II ^—訂 I I I I 么 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁} A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明( 7 ) 1 1 起 因 於 焊 接 之 射 腐 蝕 性 劣 化 成 減 少 滾 鱧 污 染 問 題 之 流 H 1 1 控 制 装 置 〇 1 | [發明之概要] /·—V 請 1 依 本 發 明 之 流 體 控 制 裝 置 • 係 種 流 體 控 制 裝 置 至 先 閱 I 讀 1 1 少 於 綢 蹩 流 量 或 m 力 之 網 整 器 入 0 側 及 出 Ρ 两 之 一 方 t 背 | 之 1 由 許 多 數 之 閥 所 成 而 切 換 許 多 數 之 流 路 設 有 連 通 於 調 整 注 意 1 器 流 路 之 閥 裝 置 » 其 特 微 為 該 閥 裝 置 之 許 多 數 閥 9 係 Μ 事 項 1 I 再 1 I 上 下 叠 合 者 0 4 1 本 對 調 整 器 « 乃 設 有 連 通 調 整 器 而 具 有 向 下 開 α 通 路 之 頁 '—^ 1 I 上 側 m 接 部 » 對 連 接 構 件 設 有 達 通 連 接 構 件 而 具 有 向 上 1 1 m 口 通 路 之 下 側 連 接 部 並 使 向 下 開 P 通 路 和 向 上 開 0 1 I 通 路 連 通 並 於 下 側 連 接 部 之 上 叠 合 上 側 連 接 部 » 最 好 是 1 訂 以 裝 卸 g 如 連 接 上 側 埋 接 部 和 下 側 缠 结 部 〇 由 於 如 此 之 1 構 成 $ 由 卸 開 上 侧 速 接 部 和 下 俩 連 接 之 接 合 t 可 將 諝 整 1 I 器 單 獨 的 卸 開 參 當 綢 整 器 故 陣 之 際 > 可 迅 速 且 簡 單 的 更 - 1 1 I 換 提 高 裝 置 之 維 護 性 〇 1 1 該 流 控 制 裝 置 欲 設 許 多 數 列 時 同 一 高 度 之 各 流 Η 線 I 控 制 裝 置 之 彼 此 閥 藉 由 接 頭 及 管 所 連 接 0 依 如 此 • 各 連 1 1 接 用 之 管 躭 依 閥 之 高 度 分 別 成 為 不 同 之 高 度 9 故 互 相 不. 1 1 干 涉 » 又 不 需 要 為 了 港 免 建 接 用 彼 此 管 間 干 涉 用 之 接 頭 1 及管 • 滅 少 接 頭 及 管 之 數 〇 随 著 此 焊 接 處 所 亦 減 少 » 因 1 1 此 • 不 但 能 _ 降 低 成 本 t 並 伴 釀 接 頭 及 管 之 減 少 使 流 1 體 盹 度 降 低 之 無 用 容 積 減 少 9 又 伴 鼸 焊 接 處 所 之 滅 少 » 1 I 即 滅 少 起 因 於 焊 接 之 射 m 触 性 9 - 劣 化 成 流 Η 污 染 之 問 圃 〇 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 293075 A7 B7 經濟部中央橾準局貝工消资合作社印製 五、發明説明( 8 ) 1 1 [圖面之簡單說明] 1 1 Β1 1 表 示 依 本 發 明 之 流 級 控 制 裝 置 剖 切 一 部 份 之 側 面 1 | 〇 請 1 I 先 函 2 同 上 剖 切 部 份 之 平 面 Η 〇 閱 I 讀 I I Hi 3 表 示 依 本 發 明 之 流 Η 控 制 装 置 設 並 列 時, 之 連 接 吠 背 I 之 1 戆 斜 視 Η 〇 注 意 1 I Η 4 表 示 液 « 流 之 5 個 型 圈 〇 事 項 1 I 再 1 I Β 5 表 示 習 知 流 體 控 制 裝 置 之 剖 切 部 份 之 側 面 圔 〇 填 寫 本 1 A 圈 6 同 上 剖 切 部 份 之 平 面 圏 〇 頁 1 I 圖 7 表 示 習 知 之 流 «8 控 制 裝 置 設 並 列 時 之 連 接 吠 態 斜 1 1 視 圖 〇 1 I [最佳具«例之詳细說明] 1 1 Κ 下 參 照 匾 面 說 明 本 發 明 之 實 施 形 態 〇 在 Μ 下 之 說 明 吞J 1 其 前 後 左 右 係 對 流 Η 之 流 動 方 向 而 言 • 圖 1 之 右 側 為 1 I 前 左 侧 為 後 9 該 圓 紙 面 之 背 側 為 左 » 表 面 側 為 右 0 又 1 1 1 之 上 下 為 上 下 之 稱 〇 1 1 圈 1 及 Η 2 , 表 示 本 發 明 之 流 Η 控 制 装 置 (1), 圈3 線 I 表 示 此 流 體 控 制 裝 置 (1) W 2 列排於左右方向之狀態 > 1 1 如 1 1 及 圆 2 所 示 本 發 明 之 控 制 装 置 (1) * 係 由 調 1 1 整 器 (assf 1 c W C 0 n t Γ 0 11 e r )(2) Ρ 與 設 於 調 整 器 (2) 之 1 入 □ 供 (後側)及出 箱 (前供)之開闞閥 (3) (4) (5) (6) (7 1 1 >所成 => 開鬭 W (3) (4) (5) (6> (7)計有 5 個 » 在 入 Ρ 侧 股 I 有 濟 除 流 級 用 開 RI 閥 (3) 及 疊 合 於 此 上 面 之 主 流 H 用 開 1 1 Η 閥 (4) 2 個 Ρ 在 出 □ 供 設 有 真 空 吸 引 用 開 鼸 閥 (5) · 叠 合 1 1 10 - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) A4規格(210X297公釐) 經濟部中央橾準局負工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(9 ) 於其上面之排氣用開鼷M(6>及再叠合於其上之主*路 用開鼷閥(7)3個。 淸除流Μ用開醑N (3),係為開閉清除用氣《之流入路 用,由後方開口之流入路(31),在前方所開口之流出路 (32)及連通於潦出路(32)且具有在上方闋設旁通流路( 41) 之直方tt吠本鱷(8),及Μ閉流出路(32)之引動器 (9>所成,並於流入路(3U之開口緣部設有連接套简用 之母鏍纹部(10)。 主流《用開Η闕(4 >,為開閉過程氣潦入路之用,由 後方閭口之流入路(39>、具有連通於濟除流體用開Μ閥 (3)之旁通流路(41)下方所開設流出路(40>之直方黼狀 本《(11),及開閉流出路(40)之引動器(12)所成,並於 流入路(39)之開口緣部設有連接套筒用之母«抆部(13>。 禀空吸引用開鼷閥(5),為開閉通到真空吸引泵流路 之用,由後方Μ 口之潦入路(37),在前方所闋口之流出 路(38)及建通於流入路(37)具有在上方開設旁«流路( 42) 之直方《狀本Η (14),及開閉流入路(37>之引動器 (15>所成,並於流出路(38)之開口缘部股有建接套苘用 之母鏢紋部(16)。 排氣用開闞閥(6),為開閉淸除用氣钃流出路之用,由 前方開口之流出路(44),具有1$通於輿空吸引用開Μ閨 (5>之旁通流路(42)下方所開設流入路(43)及建«此流 入路(43)在上方開股旁通流路(45)之直方β狀本β (17) ,及開閉流入路(43)之引動器(18)所成,並於庚出路( -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4現格(210X297公釐) . I I I 裝 I I I —-訂 __ I I I I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明(^ ) 44)之開口緣部設有雄接《苘用之母鏍紋部(19)。 主通路用開鼷《(7),為開閉通到通程室流路之用,由 具有在前方開口之流出路(47)及理通排氣用開闞閾(6> 之旁通流路(45)下方開設流入路(46)之直方鱷吠本« ( 20>,及開閉流入路(46>之引動器(21)所成,並於流出路 (47)之開口緣部設有建接套筒用之母《紋部(22)。 又讕整器(2)之前後供面下蝙部,Μ往前後伸出設有 前後上俩通路塊(24)(23>。在後上撕通路塊(23),設有 建通於在後方開口之調整器(2)流入路且在下方開股流 入路(34)。前上俩通路塊(24),則設有連通於調整器( 2)之前方開口流出路且下方開口之流出路(35)。其前後 上側通路塊(24)(23)之下方分別設有前後下供竈路嫌( 26 )(25 )。並使後下側通路塊(25)之後面與流K用開闞 W (3)本鱷(8>之前面接觸,以及前下侧通路塊(26)之前面 與興空吸引用開鬮W(5)本鱷(14)之後面接_。又於後 下側通路旒< 2 5 )設有連通清除流β用開釅閥(3 >之流出 路(32)和後上側通路塊(23)流入路(34)之流入路(33), 對前下側通路塊(26),則連通前上侧通路塊(24)之流出 路(35)且連通於真空吸引用拥矚閥(5>之流入路(37>形 成流出路(36)。 濟除流《用開鼷閥(3)之本鼉(8)和後下供通路瓛(25) •係從濟除流《用開鼷閥(3)本體(8)之後方所蠼合之蠖 栓(28)加Μ連接。真空吸引用開鼷閥(5>之本鼉(14)和 前下供通路塊(26),係從真空吸引用闋闞W(5>本髑(14 -12- 本紙張尺度適用中國國家橾準(CNS ) M規格(21〇χ297公釐) I J- I I*— I I n ^ m I 線 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印製 293075 A7 _B7 五、發明説明(n ) )之前方所螺合之蠼栓(28)加以缠接。再者,前後上侧 通路塊(24)(23)和前後下側通路塊(26U25)乃從前後上 侧通路塊(24)(23)之上方所«合之嫘栓(28)加以ft接。 並於彼此各構件之達接部份設有密封部(27)。拥整器(2 )和前後上側通路塊(24)(23),省略鼸示但係由從例方 所螺合之蠼栓加以固定。彼此之入口側閭鼷閥(3)(4)及 彼此之出口側開鼷閥(5)(6)(7),係分別將引動器(9)( 12) (15) (18) (21>朗向左方而叠合彼此之各本《 (8) (11) (14) (17)(20),從上方鏢合之螺栓(28)加以建接。 依如此,於網整器(2)之入口側及由2個開鼷閥(3>( 4)所構成且切換許多數之流入路(31)(39)連通於調鳌器 (2)之流入路設置入口側《装置,再於該出口侧由3個 開鼷閭(5U6)(7)所構成並切換許多數之流出路(38M44 )(47 >連通於調整器(2)之流出路而设置出口供閥裝置, 使其形成為流入流體控制裝置(1)入口 «之任何一方 流入路(3 1) ( 3 9 )之流臞通通調整器(2 )内,再從同出口 «之任何一方流出路(38)(44)(47)所流出。 並於上述流體控制裝置(1>,當網整器(2)或主流體用 開鼷W(4)故陣時,將此往上方卸下即各各可Μ單獮分 刖作更換,當主通路用開鼷閥(7)或排氣用開闞閥(6)故 障時,則可將此等往上方一齊卸下加Κ更換。 如上述,該前後上側通路塊(24Μ23)亦可與調整器( 2) — «形成•前後下俩通路塊(26)(25)亦可分別與開闞 W(3>(5)之本髑(8) (14) — «形成。亦可省略其上側及 -13- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) I J I — II I 裝 I I I I I 訂— — I 線 (請先閱讀背面之注意事項存填寫本萸) A7 B7 經濟部中央樣準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( ) 1 1 下 侧 通 路 塊 (24) (2 3) (26) (25)將 調 整 器 (2 )和開關睇(3) 1 1 (5) 加 以 直 接 〇 又 於 上 述 之 説 明 j 係 將 位 於 入 口 m 下 方 1 之 開 開 閥 (3) 作 為 清 除 流 體 用 9 位 於 上 方 之 開 關 閥 (4 ) '—V 1 I 請 作 為 主 流 體 用 9 當 然 將 開 關 閥 (3)(4) 之 用 途 反 過 來 時 亦 先 閱 1 讀 1 無 間 題 〇 同 樣 地 » 在 出 P 側 之 開 關 閥 (5 )( 6 ) (7 ) 可 任 意 背 Λ * 1 I 使 用 於 真 空 吸 引 用 N 排 氣 用 及 主 通 路 用 之 方 〇 依 上 述 1 | * I 之 實 施 例 者 9 當 過 程 氣 體 流 於 流 體 控 制 裝 置 (1 )時, 就 消 事 項 1 I 除 使 過 程 氣 體 純 度 惡 化 之 氣 體 集 留 部 份 (無用容積), 對 再 填 1 雒 持 過 程 氣 體 純 度 於 高 純 度 之 點 有 利 〇 寫 本 頁 ▲ 1 圖 4 表 示 主 流 控 制 器 (M FC)前後之流體流動之圖型, 圖 1 4(a) 之 圖 型 係 在 主 流 控 制 器 之 入 □ 側 設 流 體 用 開 關 閥 9 • 1 1 在 該 出 □ 側 設 置 主 通 路 (P / C ) 用 開 關 閥 > 及 為 最 簡 單 1 1 的 圖 型 〇 圖 4(b) 之 圖 型 9 傜 在 主 流 控 制 器 之 入 □ 側 設 訂 | 主 流 體 用 開 關 閥 及 清 除 流 體 用 開 關 閥 9 在 該 出 口 側 設 1 | 置 主 通 路 用 開 蘭 閥 及 排 氣 (V E N T)用 開 關 閥 者 〇 圖 4(c) 之 1 1 圖 型 9 僳 在 主 流 控 制 器 之 入 P 倒 設 主 流 體 用 開 關 閥 及 消 1 | 除 流 體 用 開 關 閥 9 在 該 出 P 側 設 置 主 通 路 用 開 關 閥 9 排 線 氣 用 開 鼷 閥 及 真 空 吸 引 (V a c ) 用 開 關 閥 者 0 圖 4(d) 之 圖 1 1 型 * 像 在 主 流 控 制 器 之 入 P 侧 設 主 流 體 用 開 關 閥 及 清 除 1 I 流 體 用 開 關 閥 9 在 該 出 α 側 設 置 主 通 路 用 開 關 閥 及 排 氣 1 1 用 開 關 閥 9 再 於 入 P 側 開 鼷 閥 和 出 Π 側 開 两 閥 之 間 設 1 1 有 流 路 切 換 用 開 關 閥 〇 rat 國 4(e) 之 圖 型 9 係 在 主 流 控 制 器 • 1 I 之 入 P fig 設 主 流 體 用 開 關 閥 及 清 除 流 體 用 開 關 閥 1 在 該 1 1 出 P 側 設 置 主 通 路 用 開 閬 閥 » 排 氣 用 開 m 閥 及 真空 吸 引 1 1 1 i - 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210 X 297公釐) 經濟部中央標隼局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明(ο ) 用開u閥,再於入口側開醑》和出口侧開闞閥之間,設 有流路切換用醑翮Η。 上述之流«控制装置(1>乃為園4(<:)之園型,欲得Η4 (b)之圈型者,只將上述流«控制裝置(1)之出口側嫌成 ,作成與該入口俩同揉之構成即可。又圚4(d)及圖4(e) 之圖型者,分別對鼷4(b)及H4(c)之圈型者附加切換用 開闞IH躭可獲得。圈4所示之5涸圈型係表示在流體控 制系统中嫌乎為所有之流«流之圔型,此等之匾型中, 確《行使流《之置換及供應,於製造半専體之通程上能 缠當選揮,組合最優越之匾型並構成控制系統,在5涸 園型之中,對於除了 U)以外之4個園型可使用上述之 流體控制装置(1)。再者,於上述實施例其作為調整器( 2)之例,係舉主流控制器,但是作為調整器來講,除此 K外可使用壓力調整器等,將此等缠當的加Μ姐合而構 成流《I控制装置。 上述之流腰控制裝置(1)設2列時,如圈3所示係Μ 左右2列,其相鄰之控制裝置(1)所對應之彼此間,亦 即,彼此之清除流《用開關閥(4)、彼此之真空吸引用 開鼷I» (5)、彼此之排氣用開鼷閥(6)及彼此之主通路用 開闞閥(7),係藉由接頭及管所連接。又主流《用開闞 閥(4)對各控制裝置(1)之主流體用開翮閥(4)(4>之母嫘 紋部(13)(13)分別連接套苘(52)(54),再對此等之套筒 (52)(54)分別以單玀連接有IA程氣《供應用管(69)(71) ,彼此之主流體用開鬭1»(4)並不被作連接。 -15" 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐) ΜIJ 裝 , 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) , 293075 經濟部中央樣準局貝工消費合作杜印製 A7 B7 五、發明説明() 對於彼此之清除流β用開鼷閥(3),在配置於左方之 控制裝萱(1>之開闞閥(3)母嫌紋部(10)埋接套简(51), 此套筒(51)又連接置水平吠之L型接頭(65).對配置於 右方之控制裝置(1)之開閥閥(3)母螺玟(1〇)連接套筒(5 3),此套筒(53)再*接其一端埋接於淸除氣腰供給用管 (70)之置水平狀T型接頭(61),T型接頭(61)和L型接 頭(65)間躭由注左右延伸之管(72)建接。 對於彼此之出口俩閥(5)(6)(7),對任何一傾真空吸 引用開鼷閥(5)、排氣用開闞閥(6)及主通路用開闞閥( 7),在配置於左方控制装置(1)之開闞M(5)(6)(7)各母 嫘紋部(16)(19)(22),分別《接接套荷(55)(56)(57), 並對此等之套简(55)(56)(57)分別連接置水平狀之L型 接頭(66)(67)(68),對配置於右方控制装置(1)之開闞 閥(5)(6)(7)各母螺紋部(16)(19)(22)分別連接套简(58 )(59)(60),再對此等之套爾(58)(59)(60)分別連接置水 平狀之T型接頭(62)(63)(64),各L型接頭(66)(67)(68) 和各T型接頭(62)(63)(64)之左端分別由延伸左右之套 简(73)(74)(75)所連接。又在各T型接頭(62)(63)(64) 之右孅分別以直接速接套筒用之母螺紋構件(76)(77)(78)。 在此画3所示之本發明與表示於圈7之習知者相比較 结果表示於表1及表2 。表1係入口側即閥數為2镅時 之比較,表2係出口側即W數為3個時之比較。 -16- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐} I —I —^ I I I I I I 訂— I I 备 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) · 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 A7 __B7 五、發明説明(K ) [表1] 習 知 本發明 接 頭 L型 3 個 1 m T型 1 個 1 個 套苘 4 個 4 個 焊接處所 9處 7 處 所要管數 4支 4 支 所要寬度 基準 同 -17- ^ ^ 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X 297公釐) A7 __B7 五、發明説明(4 ) 表2 習 知 本發明 接 頭 L型 11 個 3 個 Τ型 3 個 3 偭 套茼 6 個 6 個 焊接處所 29處 15 處 所要管數 9支 3 支 所要宽度 基準 100β·減 ^ ,0 裝 訂 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) . 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 如表1所示,在閥數為2個時L型接頭減少2個,並 伴随於此焊接處所亦滅少有2處,再者又減少了 2 β份 之L型接頭容稹。對於左右之寬度,在習知者為閥本體 2俚份與本發明者將閬本«和引動器相加之份,此等係 大致相等寬度不變。 如表2所示,在閥數為3個時L型接頭滅少8僩,獬經 加工之管數滅少6支,並伴«於此焊接處所亦減少有14 -1 8 - 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐) A7 293075 B7 五、發明説明(V ) 處,其L型接顗及管數所減少之份容積亦滅少。再者左 右之寬度,對習知之流«控制裝置(10)之3個份閥本體 ,在本發明之流«控制装置(1)係為相加閥本體和引動 x 器之份,故對1個流體控制装置50··,共變窄lOOne,又 未示於表,對前後方向之長度,亦減短了於習知之控制 裝置(101)欲連接主通路用開闞閥(105)時所使用第1及 第2管( 183) ( 186 )之長度份。 由此等表及圏3和圖7之比較,可知在本發明之流體 控制裝置(1)比習知者配管成極為簡易。因而,不用設 必然可降低成本,佔有空間及配管容積減少,並伴醣® 管容積之減少亦減少了降低流體純度之流體集留部份( 無用容積),又伴随焊接處所之減少,亦減少了起因於 焊接之酎腐蝕性劣化及流體污染之問題。再者,由表1 及表2得知,在調整器(2)之入口側及出口側之任何一 方,只要是以上下叠合2個Μ上之開顒閥,即獲得表1 或表2之效果。 ^ ^ 裝 ^ 訂 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本買) ‘ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210X 297公釐)

Claims (1)

  1. 申請專利範圍 A8 B8 C8 D8 調成, 整連開口自 其各 之所置 C調側上開卸 ,之 用閥裝者該上向上裝 置度 力之閥合中' 之有向, 裝高 。 壓數之«其路具和部 制同接 或多路下,通件路接 控,連 量許流上置口 構通連 體時所 流由器以裝開接口側。流同管 整有整僳制下連開上部之,及 諏設調閥控向於下合接項列頭 於,於數體有通向β連 2 數接 少方通多流具連使上側第多由 至一連許之器有並之下 '或許藉 傜之而之項整置,部和項成閥 ,側路置 1 調設部接部 1 設此 置 口流裝第於件接連接第係彼 裝出之閥圍通構連側建圍置之 制及數該範連接側下側範裝置 控側多,利有連下將上利制裝 體 口許為專置其之通接專控制 流入換擞請設,路連連請體控 種器切待申,部通路地申流體 一 整及其如器接 口通如如中流 I I I 裝 ^ 訂 線 '* · (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS ) Α4規格(210Χ297公釐)
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Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5810031A (en) * 1996-02-21 1998-09-22 Aeroquip Corporation Ultra high purity gas distribution component with integral valved coupling and methods for its use
JP3726168B2 (ja) 1996-05-10 2005-12-14 忠弘 大見 流体制御装置
JP3650859B2 (ja) * 1996-06-25 2005-05-25 忠弘 大見 遮断開放器およびこれを備えた流体制御装置
US6394138B1 (en) 1996-10-30 2002-05-28 Unit Instruments, Inc. Manifold system of removable components for distribution of fluids
US5992463A (en) * 1996-10-30 1999-11-30 Unit Instruments, Inc. Gas panel
US6293310B1 (en) * 1996-10-30 2001-09-25 Unit Instruments, Inc. Gas panel
US6302141B1 (en) * 1996-12-03 2001-10-16 Insync Systems, Inc. Building blocks for integrated gas panel
JP3997338B2 (ja) * 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
DE29706400U1 (de) * 1997-04-11 1997-05-28 Rötelmann GmbH & Co., 58791 Werdohl Vorrichtung zum Verteilen oder Mischen von fluiden Medien
JP3737869B2 (ja) * 1997-05-13 2006-01-25 シーケーディ株式会社 プロセスガス供給ユニット
US5860676A (en) * 1997-06-13 1999-01-19 Swagelok Marketing Co. Modular block assembly using angled fasteners for interconnecting fluid components
JP4235759B2 (ja) 1997-08-05 2009-03-11 忠弘 大見 流体制御装置
US6026834A (en) * 1997-10-17 2000-02-22 Azima; Faramarz Fluid mass flow controller device and method
KR100538130B1 (ko) 1998-03-05 2005-12-22 더 스와겔로크 컴퍼니 모듈형 표면 실장 매니폴드
US7048007B2 (en) * 1998-03-05 2006-05-23 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
JP3780096B2 (ja) * 1998-04-27 2006-05-31 シーケーディ株式会社 プロセスガス供給ユニット
US7036528B2 (en) 1998-05-18 2006-05-02 Swagelok Company Modular surface mount manifold assemblies
US6085783A (en) * 1998-09-02 2000-07-11 Hollingshead; J. Gregory Unified modular multi-directional flow chemical distribution block
US6260581B1 (en) 1998-06-12 2001-07-17 J. Gregory Hollingshead Apparatus for assembling modular chemical distribution substrate blocks
EP1084359B1 (en) 1998-06-12 2003-03-19 J. Gregory Hollingshead Modular chemical delivery blocks
JP3921565B2 (ja) * 1998-07-10 2007-05-30 株式会社フジキン 流体制御装置
WO2000031462A1 (en) * 1998-11-20 2000-06-02 Mykrolis Corporation System and method for integrating gas components
WO2001011374A2 (en) 1999-08-06 2001-02-15 Thermo Biostar, Inc. An automated point of care detection system including complete sample processing capabilities
US6817381B2 (en) 1999-08-24 2004-11-16 Tokyo Electron Limited Gas processing apparatus, gas processing method and integrated valve unit for gas processing apparatus
JP4570748B2 (ja) * 1999-08-24 2010-10-27 東京エレクトロン株式会社 ガス処理装置およびそれに用いられる集合バルブ
US6824825B2 (en) * 1999-09-13 2004-11-30 Tokyo Electron Limited Method for depositing metallic nitride series thin film
US6125887A (en) * 1999-09-20 2000-10-03 Pinto; James V. Welded interconnection modules for high purity fluid flow control applications
EP1543544A2 (en) * 2002-08-27 2005-06-22 Celerity Group, Inc. Modular substrate gas panel having manifold connections in a common plane
WO2004036099A1 (ja) * 2002-10-21 2004-04-29 Ckd Corporation ガス集積弁
NZ543333A (en) * 2003-04-11 2007-06-29 Great Stuff Inc Fluid control system for air/liquid
US20060070674A1 (en) * 2004-10-01 2006-04-06 Eidsmore Paul G Substrate with offset flow passage
JP4555052B2 (ja) * 2004-11-04 2010-09-29 シーケーディ株式会社 ガス供給集積ユニット
JP2006234110A (ja) * 2005-02-25 2006-09-07 Ckd Corp ガス供給ユニット及びガス供給システム
US7575616B2 (en) * 2006-02-10 2009-08-18 Entegris, Inc. Low-profile surface mount filter
KR100990695B1 (ko) 2006-06-02 2010-10-29 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 가스공급유닛 및 가스공급시스템
US20080009977A1 (en) * 2006-07-10 2008-01-10 Ultra Clean Holdings Apparatus and Method for Monitoring a Chemical-Supply System
CN101506561B (zh) * 2006-08-23 2012-04-18 株式会社堀场Stec 组合式气体分配盘装置
US20100112814A1 (en) * 2006-09-06 2010-05-06 Sowmya Krishnan Pre-certified process chamber and method
US20080302426A1 (en) * 2007-06-06 2008-12-11 Greg Patrick Mulligan System and method of securing removable components for distribution of fluids
US20090078324A1 (en) * 2007-09-21 2009-03-26 Ultra Clean Technology, Inc. Gas-panel system
US20090114295A1 (en) * 2007-11-06 2009-05-07 Ultra Clean Holdings, Inc. Gas-panel assembly
JP5377513B2 (ja) * 2007-12-27 2013-12-25 ラム リサーチ コーポレーション ショートエッチングレシピのためのガス輸送遅延の解消のための装置、方法、及びプログラム格納デバイス
SG174218A1 (en) * 2009-03-04 2011-10-28 Horiba Stec Co Ltd Gas supply device
US8307854B1 (en) 2009-05-14 2012-11-13 Vistadeltek, Inc. Fluid delivery substrates for building removable standard fluid delivery sticks
TWI534922B (zh) * 2009-06-10 2016-05-21 威士塔戴爾泰克有限責任公司 極端流量和/或高溫流體輸送基板
US8950433B2 (en) 2011-05-02 2015-02-10 Advantage Group International Inc. Manifold system for gas and fluid delivery
US20120298238A1 (en) * 2011-05-25 2012-11-29 Parker-Hannifin Corporation Modular fluidic mixing system
US9188990B2 (en) 2011-10-05 2015-11-17 Horiba Stec, Co., Ltd. Fluid mechanism, support member constituting fluid mechanism and fluid control system
US9454158B2 (en) 2013-03-15 2016-09-27 Bhushan Somani Real time diagnostics for flow controller systems and methods
CN105714271B (zh) * 2014-12-22 2020-07-31 株式会社堀场Stec 汽化系统
US10983538B2 (en) 2017-02-27 2021-04-20 Flow Devices And Systems Inc. Systems and methods for flow sensor back pressure adjustment for mass flow controller
KR101963339B1 (ko) * 2017-04-20 2019-03-28 가부시키가이샤 브이텍스 진공 용기 내 압력 멀티 제어 장치 및 진공 용기 내 압력 멀티 제어 방법

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3817269A (en) * 1969-08-22 1974-06-18 Int Basic Economy Corp Integrated manifold circuits
US3605805A (en) * 1969-10-24 1971-09-20 Allis Chalmers Mfg Co Stackable rotary valves
DE2340304A1 (de) * 1973-08-09 1975-02-20 Itt Ind Gmbh Deutsche Kombinierbares wegeventil
DE2547847A1 (de) * 1975-10-25 1977-05-05 Beukenberg Maschf Vorrichtung zur verteilung von hydraulischen oder pneumatischen arbeitsmedien
GB2093822B (en) * 1981-02-27 1984-06-20 Emhart Uk Ltd Valve assemblies for glassware forming machines
JPS58211001A (ja) * 1982-06-02 1983-12-08 Hitachi Constr Mach Co Ltd 制御弁集合装置
US4714091A (en) * 1985-06-10 1987-12-22 Emcore, Inc. Modular gas handling apparatus
US5054369A (en) * 1989-07-28 1991-10-08 Woodward Governor Company Multiplexed hydraulic control system with plural selector valves
US5020570A (en) * 1990-08-17 1991-06-04 Power Components, Inc. Combined valve modular control panel
DE9106236U1 (de) * 1991-05-21 1992-09-17 IMAV-Hydraulik GmbH, 4005 Meerbusch Verkettetes Hydrauliksystem
US5339863A (en) * 1992-12-18 1994-08-23 Mid-America Power Drives Manufacturing & Distributing, Inc. Port mounted implement selector
DE4341266C1 (de) * 1993-12-03 1994-07-21 Becker Kg Gebr Seitenkanalverdichter
EP1222402A1 (en) * 1999-10-20 2002-07-17 Parker Hannifin Plc Fluid control system

Also Published As

Publication number Publication date
IL118762A0 (en) 1996-10-16
DE69626449D1 (de) 2003-04-10
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JPH0916267A (ja) 1997-01-17
US5769110A (en) 1998-06-23
EP0751301A2 (en) 1997-01-02
CA2180204A1 (en) 1996-12-31
JP3546275B2 (ja) 2004-07-21

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