JP5377513B2 - ショートエッチングレシピのためのガス輸送遅延の解消のための装置、方法、及びプログラム格納デバイス - Google Patents
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Description
[適用例1]
複数のガスのガス混合物を提供する装置であって、
複数の質量流量コントローラ(MFC)と、
前記複数のMFCのそれぞれと流体連通する混合マニホールドと、
前記混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口と、
前記複数の混合マニホールド出口のそれぞれと流体連通する隔離デバイスと、を備える装置。
[適用例2]
適用例1記載の装置であって、更に、
それぞれが前記複数の混合マニホールド出口のそれぞれと結合された、複数の混合マニホールド出口弁を備える、装置。
[適用例3]
適用例2記載の装置であって、更に
前記混合マニホールド出口のそれぞれを開放及び/又は閉鎖するために各混合マニホールド出口弁と通信するように構成されたコンピュータを備える、装置。
[適用例4]
適用例3記載の装置であって、
前記複数のMFCのそれぞれは、開放又は閉鎖されており、各開放MFCは、一定の流量を有し、
前記コンピュータは、
前記複数のMFCのうち最小の流量を有するものを決定するためのコンピュータ読み取り可能なコードと、
前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するためのコンピュータ読み取り可能なコードと、
を有するコンピュータ読み取り可能な媒体を含み、
前記開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、装置。
[適用例5]
適用例4記載の装置であって、
前記コンピュータ読み取り可能な媒体は、更に、
前記MFC流量のそれぞれに変化があった時点を決定するためのコンピュータ読み取り可能なコードと、
前記最小の流量を有する前記MFCを決定するためのコンピュータ読み取りコードと、を有する装置。
[適用例6]
適用例1〜4の何れかに記載の装置であって、
前記複数のMFCの一つと前記混合マニホールドとの間のガスの体積は、1立方センチメートル(cc)未満である、装置。
[適用例7]
適用例6記載の装置であって、
前記体積は、0.01cc〜1ccである、装置。
[適用例8]
適用例1〜7の何れかに記載の装置であって、更に、
前記複数のMFCのそれぞれ及び前記混合マニホールドと流体連通する取り付けフランジを備える、装置。
[適用例9]
適用例8記載の装置であって、
前記取り付けフランジは、更に、
前記MFCと流体連通するガス入口ポートと、
前記混合マニホールドと直接流体連通するガス出口ポートと、
を含む、装置。
[適用例10]
適用例8又は9記載の装置であって、
前記フランジは、ガス送給要素と流体連通し、
前記ガス送給要素は、水平位置に位置決めされる、装置。
[適用例11]
複数の混合マニホールド出口弁を制御する方法であって、各混合マニホールド出口弁は、混合マニホールド出口を制御し、各混合マニホールド出口は、混合マニホールドと隔離デバイスとの間に接続され、複数の質量流量コントローラ(MFC)は、開放又は閉鎖されており、各開放MFCは、一定の流量を有し、コンピュータは、コンピュータ読み取り可能な媒体を備え、
前記方法は、
前記複数のMFCのうち最小の流量を有するものを決定するステップと、
前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するステップと、
を備え、
前記一つの開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、方法。
[適用例12]
適用例11記載の方法であって、
前記開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCに最も近い混合マニホールド出口を制御する、方法。
[適用例13]
適用例11又は12に記載の方法であって、更に、
前記MFC流量のそれぞれに変化があった時点を決定するステップと、
前記最小の流量を有する前記MFCを決定するステップと、
前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するステップと、
を備え、
前記開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、方法。
[適用例14]
適用例11〜13のいずれかに記載の方法であって、
前記複数のMFCの一つと前記混合マニホールドとの間のガスの体積は、1立方センチメートル(cc)未満である、方法。
[適用例15]
適用例14記載の方法であって、
前記体積は、0.01cc〜1ccである、方法。
[適用例16]
適用例11〜14の何れかに記載の方法であって、更に、
少なくとも一つの流量を動的に変更するステップを備える、方法。
[適用例17]
ガス混合物を提供する装置であって、
低流動ガス要素を提供する第一のMFCと、
高流動ガスラインを形成する高流動ガス要素を提供する第二のMFCと、を備え、
前記第一のMFCと前記高流動ガスラインとの間の体積は、1立方センチメートル(cc)未満である装置。
[適用例18]
適用例17記載の装置であって、
前記体積は、0.01cc〜1ccである、装置。
[適用例19]
適用例17又は18記載の装置であって、
前記高流動ガスラインは、混合マニホールドへ流入する、装置。
[適用例20]
機械により読み取り可能であると共に、複数の混合マニホールド出口弁を制御する方法を実行するために前記機械により実行可能な命令のプログラムを有形的に具現するプログラム格納デバイスであって、各混合マニホールド出口弁は、混合マニホールド出口を制御し、各混合マニホールド出口は、混合マニホールドと隔離デバイスとの間に接続され、複数の質量流量コントローラ(MFC)は、開放又は閉鎖されており、各開放MFCは、一定の流量を有しており、
前記方法は、
前記複数のMFCのうち最小の流量を有するものを決定するステップと、
前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するステップと、
を備え、
前記一つの開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、プログラム格納デバイス。
本発明は、本発明の方法を実行するように構成された他のハードウェアと、こうした方法を実行するデバイスを制御するために機械読み取り可能な媒体(例えば、有形の記憶媒体)に格納されたソフトウェアとを提供する。上記及び他の特徴は、本発明の以下の詳細な説明及び関連する各図において更に詳細に提示する。
Total Delay TimeLow Flow Gas=Tmm+Tdiffusion (1)
低流動ガスが混合マニホールド126に達するまでに要する時間、又は低流動ガスの慣性遅延(V1により表される)は、次のように計算し得る。
Tmm=(V/φm)*(Pmm/Pambient) (2)
ここで、V=ガスの体積
φm=低流動ガスの質量流量
Pmm=混合マニホールドの圧力
Pambient=周囲圧力
高流動搬送ガスによりガスが拡散するまでに要する時間(Tdiffusion)は、次のように計算し得る。
Tdiffusion∝L2Deffective (3)
ここで、L2=低流動ガスの拡散係数
Deffective=実効拡散率
本明細書に記載した例は、例示のみを目的としており、限定的なものではない。MFCから混合マニホールドへの低流動ガスの流れの体積は約4〜5立方センチメートル(cc)、混合マニホールド内の圧力は約100Torr、Pambientは760Torrとなり得る。したがって、低流動ガスが混合マニホールドに到達するまでの遅延時間は、次のように計算し得る。
φm=1sccm
Pmm=100Torr
Pambient=760Torr
V=5cc/sec
Tmm=(5cc/sec/1sccm)×(100Torr/760Torr)=40sec (4)
以下の例は、例示のみを目的としており、限定的なものではなく、ガス、流動、処理等の任意の組み合わせを使用し得る。第一の処理では、以下の要件が望ましいものとなり得る。
MFC118a:高流動ガスA
MFC118b:高流動ガスB
MFC118c:低流動ガスC
したがって、混合マニホールド出口(MME)148a、148b、148nを閉鎖し、NME148cを開放し得る。
MFC118a:低流動ガスA
MFC118b:高流動ガスB
MFC118c:高流動ガスC
したがって、混合マニホールド出口(MME)148b、148c、148nを閉鎖し、NME148aを開放し得る。MFC及びNMEは、リモートコンピュータ又はコントローラにより自動的に変更し得る。
Claims (17)
- 複数のガスのガス混合物を提供する装置であって、
複数の質量流量コントローラ(MFC)と、
前記複数のMFCのそれぞれと流体連通する混合マニホールドと、
前記混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口と、
前記複数の混合マニホールド出口のそれぞれと流体連通する隔離デバイスと、を備える装置。 - 請求項1記載の装置であって、更に、
それぞれが前記複数の混合マニホールド出口のそれぞれと結合された、複数の混合マニホールド出口弁を備える、装置。 - 請求項2記載の装置であって、更に
前記混合マニホールド出口のそれぞれを開放及び/又は閉鎖するために各混合マニホールド出口弁と通信するように構成されたコンピュータを備える、装置。 - 請求項3記載の装置であって、
前記複数のMFCのそれぞれは、開放又は閉鎖されており、各開放MFCは、一定の流量を有し、
前記コンピュータは、
前記複数のMFCのうち最小の流量を有するものを決定するためのコンピュータ読み取り可能なコードと、
前記最小の流量を有するMFCに最も近い前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するためのコンピュータ読み取り可能なコードと、
を有するコンピュータ読み取り可能な媒体を含み、
前記開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、装置。 - 請求項4記載の装置であって、
前記コンピュータ読み取り可能な媒体は、更に、
前記MFC流量のそれぞれに変化があった時点を決定するためのコンピュータ読み取り可能なコードと、
前記最小の流量を有する前記MFCを決定するためのコンピュータ読み取りコードと、を有する装置。 - 請求項1〜5の何れかに記載の装置であって、
前記複数のMFCの一つと前記混合マニホールドとの間のガスの体積は、1立方センチメートル(cc)未満である、装置。 - 請求項6記載の装置であって、
前記体積は、0.01cc〜1ccである、装置。 - 請求項1〜7の何れかに記載の装置であって、更に、
前記複数のMFCのそれぞれ及び前記混合マニホールドと流体連通する取り付けフランジを備える、装置。 - 請求項8記載の装置であって、
前記取り付けフランジは、更に、
前記MFCと流体連通するガス入口ポートと、
前記混合マニホールドと直接流体連通するガス出口ポートと、
を含む、装置。 - 請求項8又は9記載の装置であって、
前記フランジは、ガス送給要素と流体連通し、
前記ガス送給要素は、水平位置に位置決めされる、装置。 - 複数の混合マニホールド出口弁を制御する方法であって、各混合マニホールド出口弁は、混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口のうちの一つを制御し、各混合マニホールド出口は、混合マニホールドと隔離デバイスとの間に接続され、前記混合マニホールドは、複数の質量流量コントローラ(MFC)と流体連通しており、前記複数のMFCは開放又は閉鎖されており、各開放MFCは、一定の流量を有し、コンピュータは、コンピュータ読み取り可能な媒体を備え、
前記方法は、
前記複数のMFCのうち最小の流量を有するものを決定するステップと、
前記最小の流量を有するMFCに最も近い前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するステップと、
を備え、
前記一つの開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、方法。 - 請求項11記載の方法であって、
前記開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCに最も近い混合マニホールド出口を制御する、方法。 - 請求項11又は12に記載の方法であって、更に、
前記MFC流量のそれぞれに変化があった時点を決定するステップと、
前記最小の流量を有する前記MFCを決定するステップと、
前記最小の流量を有するMFCに最も近い前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するステップと、
を備え、
前記開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、方法。 - 請求項11〜13のいずれかに記載の方法であって、
前記複数のMFCの一つと前記混合マニホールドとの間のガスの体積は、1立方センチメートル(cc)未満である、方法。 - 請求項14記載の方法であって、
前記体積は、0.01cc〜1ccである、方法。 - 請求項11〜14の何れかに記載の方法であって、更に、
少なくとも一つの流量を動的に変更するステップを備える、方法。 - 機械により読み取り可能であると共に、複数の混合マニホールド出口弁を制御する方法を実行するために前記機械により実行可能な命令のプログラムを有形的に具現するプログラム格納デバイスであって、各混合マニホールド出口弁は、混合マニホールド上に位置決めされた複数の混合マニホールド出口のうちの一つを制御し、各混合マニホールド出口は、前記混合マニホールドと隔離デバイスとの間に接続され、前記混合マニホールドは、複数の質量流量コントローラ(MFC)と流体連通しており、前記複数のMFCは開放又は閉鎖されており、各開放MFCは、一定の流量を有しており、
前記方法は、
前記複数のMFCのうち最小の流量を有するものを決定するステップと、
前記最小の流量を有するMFCに最も近い前記複数の混合マニホールド出口弁の一つを開放するステップと、
を備え、
前記一つの開放混合マニホールド出口弁は、前記最小の流量を有する前記MFCの遅延流動時間を最小化する、プログラム格納デバイス。
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