TW271002B - - Google Patents

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271002 A7 B7 五、發明説明（1 ) 本發明係有關一種防塵護膜，其製法與防塵溝件，此 防塵護膜可用於防止如灰塵之外來物霣附蓋於製造半導 鼸元件（如1C或LSI )之照相步驟所用光軍、線網或其類 似者（之後稱為防護罩或其類似者）上。 影印石版術（Photolithographic)步驟中傜選用於形 成於玻璃板表面，且包含以鉻真空沈積膜構成之電路圖 的防護罩或其類似者，而進行使該電路圖傳送至塗覆有 光阻劑之矽晶Η上之操作。若在此步驟，於有外來物質 附著在防護罩或其顯著上的電路圖之狀態進行光照射時 ,該外來物質亦會傳送至該液晶Η上，則會形成不良製 品。尤其是，當利用步進電動機進行光照射時，則會導 致在晶片上形成所有集成電路Η之失牧率增加的危險性 。因此，外來物質附著在防護罩或其類者之電路圖是一 件極簌重的問題。為解決此問題之方法，近年來已有人 提出一種防塵薄膜（護膜），其包括在光罩或其類似者之 防護基質的單面或兩表面間，以適當間隔配置之透明透 光性的防塵膜（護膜）。 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 (請先 閱讀背方之注意事項再填寫本頁) 通常此種防塵構件包括鋁製的支撐架及塗佈在支撐架 某一面之有機物質（例如硝基纖維素）的透明透光防塵 膜，以及在支撐架另一面粘上雙面膠帶，因此該防鑒構 件可粘在防護罩及其類似者的防護基質上。ϋ該防塵模 件卽可避免外來物質之介入，而印使外來物質附箸在該 膜上，&不致外來物質傳送至該晶Μ上，且可提高半導 體元件的産率。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨ΟΧ297公釐） 271002 at B7 經濟部中央標隼局員工消費合作杜印^

五、發明説明 ( 2 ) 1 1 由 於 新 近 的 半 導 體 元 件 之 積 層 度 增 加 故 光 照 射 所 採 1 1 用 的 射 線 已 移 至 短 波 長 由 8 射 線 ( 436 X 1 0' 9 米 ) 移 1 I 至 射 線 ( 3 6 5 X 10- 9 米 ) ，且 再 度 移 至 激 元 雷 射 射 線 請 1 | ( 248 X 10- .$ ;米 3傳統的 透 光 性 防 塵 膜 % 僅 由 有 機 先 閲 1 I ik 1 I 物 質 (例如硝基纖維素） 所 構 成 其 分 子 結 A σ 狀 態 弱 9 故 背 \^j 1 I 之 1 導 致 於 膜 上 産 生 光 分 解 > 結 果 該 膜 本 身 變 得 不 透 明 並 破 意 1 I m 膜 的 機 械 強 度 〇 所 以 傳 统 的 防 塵 膜 之 實 用 性 仍 無 法 令 事 項 1 I 再 1 | 人 滿 意 〇 填 寫 本 装 為 克 服 上 述 困 難 曾 提 出 以 無 機 物 質 ( 例 如 合 成 的 二 頁 1 I .氣 化 矽 玻 璃 及 熔 融 的 二 氧 化 矽 玻 璃 氟 化 物 ) 製 成 的 透 光 1 1 性 防 塵 膜 > 其 中 分 子 鍵 結 強 且 不 易 引 起 光 分 解 ( 參 閲 曰 1 I 本 未 審 査 專 利 公 報 號 碼 6 2 -2 8 8 8 4 2及日本未審査專利公 1 1 訂 1 報 號 碼 6 3 -6 5 5 3 ) 〇 在 由 上 述 無 m 物 質 裂 成 防 塵 膜 之 情 形 > 由 於 該 壁 不 具 可 撓 性 故 其 較 由 有 機 物 質 製 成 之 膜 9 更 1 I 難 於 製 成 αο 単 層 膜 〇 1 1 本 發 明 的 主 要 巨 的 即 在 於 解 決 上 述 問 題 9 且 提 出 - 種 1 I 具 良 好 可 撓 性 及 高 透 光 性 且 經 長 期 光 照 射 ( g 射 線 1 1 | i 射 線 甚 至 雷 射 及 其 他 短 波 長 射 線 ) 亦 不 産 生 光 分 解 1 1 的 高 透 光 性 防 塵 m 0 1 1 本 發 明 另 一 的 俱 提 出 一 種 在 短 時 間 内 即 可 挪 易 製 備 1 1 具 有 上 逑 極 佳 特 性 之 高 透 光 性 防 塵 膜 的 方 法 〇 1 1 本 發 明 進 一 步 巨 的 則 提 出 一 種 由 ： 具 上 述 極 佳 持 性 之 I I 高 透 光 性 防 塵 膜 所 構 成 的 防 塵 構 件 〇 1 1 ί农 本 發 明 t 提 供 種 高 透 -4 光 性 防 塵 膜 1 η 由 少 1 1 1 1 I 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印掣 271002 A7 B7 五、發明説明（3 ) 種選自多價金驅之氣化物、氫氣化物、含有機基的氣化 物及含有機基的氳氧化物，並經溶膠-凝膠方法所製成 者。 較佳而言，多價金颶為至少一種選自矽，鋁，鈦及錯 的金屬。 本發明中，U )多價金颶氣化物為具Y - 〇 - Y键（Y表多 價金屬）的化合物。 (2) 多價金屬氫氣化物為具Υ-0Η鍵（Y表多價金靨）的 化合物。 (3) 含有機基的多價金颶氣化物為分子中具有有機基 及Υ-0-Υ鍵的化合物。 (4) 含有機基的多價金屬氫氧化物為至少一部份分子 上含有機基及Υ-0Η鍵（Y為多價金屬）的化合物。 化合物（3)及（4)中的有機基可為烷氧基，羧酸酯基， 且R基舉例在下文中》 溶膠-凝膠製程所用的起始化合物可為該多價金屬的 可水解有機化合物（例如烷氣化物及羧酸鹽或由其之水 解作用所得的寡聚合物和聚合物）及可水解無機化合物 ，例如該多價金屬的硝酸鹽、氣化物、氣化物及氫氣化 物。作為起始化合物的多價金腸氣化物及/或氫氣化物 為細顆粒狀。 本發明所採最佳起始化合物可為： (i )具下列化學式的化合物 Y- R 1 k ( 1 ) 本紙張尺度適用中國阐家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公着） ---------士—衣------ΪΤ (請先閱讀背而：之注意事項再填寫本頁) A7 271002 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 五、發明説明 ( 6 ) 1 1 η 中Y 為 1 白 的 > 鋁 t 鈦 及 la 的 金 屬 原子， R 1為 可 1 I 水 解 單價 基 k 則 為 金 屬 原 子 的 價 數 0 1 1 (i i )具 下 列 化 學 式 的 化 合 物 請 1 先 1 R η — Y- R 1 k- η (2 ) 鬩 讀 1 1 其 中R 為 aa 単 價 烴 基 或 取 代 的 烴 基 9 η 為1 至k -1的 數 背 面 1 1 之 1 巨 » Y , R 1 及 k 定 義 如 上 〇 意 1 I (i i i ) 化 合 物 (i ) 及 /或化合物（i i )經水 解 鍵 結所 得 事 項 1 I 再 1 I 的 寡 聚合 物 或 聚 合 物 〇 填 % 本 装 (i V)具 下 列 化 學 式 的 化 合 物 (硝酸鹽） : 頁 1 I Y (N 0 ) (3 ) 1 1 其 中Y 及 k 定 義 如 上 1 1 I (V )具 下 列 化 學 式 的 化 合 物 (氯化物） : 1 1 訂 Y (c 1 ) K (4 ) 1 其 中Y 及 k 定 義 如 上 1 I (V i )具 下 列 化 學 式 的 細 顆 粒 化 合 物 (氣化 物 )： 1 1 Y (〇 )k/2 1 1 其 中Y 及 k 定 義 如 上 1 I (V i i ) 具 下 列 化 學 式 的 細 顆 粒 化 合 物 (氳 氣 化 物）： 1 1 Y (〇 Η ) k/2 - 1 1 其 中Y 及 k 定 義 如 上 ♦ 及 1 (V i i i) 結 合 兩 種 或 多 種 上 逑 (i )至（ ν i )之 化 合 物的 組 1 1 合 物 〇 1 I 此 膜可 act 爭 獼 使 用 做 為 防 塵 膜 1 但 該 膜 亦可與己知的防 1 1 反 射 膜（ 尤 指 由 氟 非 晶 形 -6 氟 樹 脂 構 成 之防反射膜） 形 1 1 ! I 1 1 本紙張尺度通用中國國家標率（CNS ) Λ4規格（210 X2y7公鏟） 271002 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印¾.

五、發明説明 ( 5 ) I 成 層 合 防 塵 膜 之 形 式 使 用 〇 I I 上 述 之 膜 可 積 合 支 if 體 以 做 為 防 塵 構 件 0 I I 本 發 明 另 一 較 佳 具 體 例 傜 提 出 _- 種 製 備 高 透 光 性 防 塵 讀 I I 膜 的 方 法 其 中 包 括 將 化 合 物 (i )- (V i i )至少部份水解 先 閱 I I 讀 I | 成 溶 膠 液 體 ♦ 再 於 室 溫 至 5 0 o°c的溫度範圍内將該溶膠 背 I I 之 I 液 體 轉 換 成 凝 膠 膜 〇 意 I I 圖 1 為 本 發 明 之 防 塵 構 件 例 的 切 面 圖 〇 事 項 I I 再 I I 圖 2 為 本 發 明 之 高 透 光 性 防 塵 膜 所 舉 各 例 的 切 面 圖 填 寫 本 I 装 其 中 (A)為僅由凝膠膜構成的膜， ( B ) 為 包 含 凝 膠 膜 及 DO 単 頁 I I 一 防 反 射 層 之 膜 層 而 (C) 為 包 含 凝 膠 層 及 以 高 折 射 率 I I 層 和 低 折 射 率 層 構 成 之 複 合 防 反 射 層 的 膜 層 〇 I I 圖 3 為 例 1 之 凝 膠 膜 的 透 光 圖 0 I I 圖 4 為 例 1 之 凝 膠 膜 的 遠 紅 外 線 吸 收 圖 〇 玎 I 圖 5 為 例 3 之 凝 膠 膜 的 透 光 圖 0 I I 圖 1 及 圖 2 中 的 數 字 1 指 防 塵 膜 數 字 2 指 支 撐 體 I I 數 字 3 指 高 透 光 性 防 塵 膜 數 字 5 指 防 護 基 質 » 數 字 6 I I 指 凝 膠 膜 y 數 字 7 指 防 反 射 層 數 字 7 a 指 高 折 射 率 層 X I 而 數 字 7b指 低 折 射 率 層 0 I I 本 發 明 之 高 透 光 性 防 塵 膜 的 持 激 為 ： 該 膜 偽 由 至 少 - I I 種 選 自 多 價 元 素 的 氣 化 物 、 氫 氯 化 物 、 含 有 愧 基 之 氣 化 I I 物 及 含 有 機 基 的 氫 氣 化 物 * 並 經 溶 膠 — 凝 膠 製 程 所 製 得 I I 者 〇 該 溶 膠 — 凝 膠 製 程 為 一 種 用 於 形 成 陶 瓷 等 之 形 成 方 I I 法 1 其 % 利 用 下 列 現 象 t 即 當 製 備 可 水 解 有 機 金 屬 化 合 I I 物 ( 例 如 金 羼 氣 化 物 ) 之 -7 水 i容 液 時 $ 使 於 溶 液 中 之 有 I I I I I 本紙悵尺度適用中國國家標芈（CNS ) A4現格（210X 297公釐） 2710271002 五、發明説明（ί> ) 機金腸化合物進行水解，a铋該水解以形成溶膠，該溶 於之 散質 分介 細體 撤液 狀藉 粒再 頼膠 體溶 隱使 以而 物’ 化中 0 ) 氫質 或介 物體 化液 氣 ί 的劑 成溶 形的 所液 0 溶 水為 可物 用化 選氱 可屬 亦金 中及 程鹽 製酸 膠硝 凝颶 〇 - 金 膠膠 , 凝溶物 成 ，合 換外化 轉物屬 以化金 熱氧機 加烷有 經屬他 或金其 發除的 Μ 解 物解解 化水水 氣之焰 氫物火 屬合經 金化物 或颶化 物金氱 化機屬 氣有金 屬解或 金水物 之可合 膠由化 溶可靥 該僅金 成不機 構傜有 0 ，由 物粒可 合顆亦 化鼷 ， 始謬成 起之而 多 明 透 自 選 中 其 構 結 膠 凝 有 具 膜 蜃 防 之 明 發 本 0 於 成由 而 機故 有 ， 含之 及化 物固 化並 氣集 之凝 基會 機粒 有頼 含體 、膠 物種 化一 氣少 氫至 、之 物物 化化 氣氣 屬氫 金之 價基 定長 穩或 常留 非殘 亦熱 射 , 照射 複照 3 ^ 線因 射會 長不 波性 短待 經械 且機 ，及 性性 光待 透學 高光放 具其置 膜而間 該，時 级 降 而 (請先鬩讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標隼局員工消費合作社印製 有機 解有 水解 可水 在可 則不 ，的 膜例 膠比 凝意 成任 形含 以包 程可 製中 膠膜 凝膠 - 凝 膠物 溶合 用化 採靨 若金 機 全儲 完及 於性 優理 尤處 性其 靭因 及 ， 性膜 撓塵 可防 其為 -做 膜於 膠利 凝且 的 ， 基膜 機膠 有凝 含之 該機 。無 基為 極備 性製 一〇 存 過 超 不 度 溫 在 須 必 燥 乾 是 的 要 i ρΐη 最 膜 塵 防 之 明 。 發 佳本 金 機 有 解 水 可 用 採 全 完 使 ΕΠ 明 發 本 ο 之 一了 会° 道 f p 本紙張尺度過用中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X 297公釐） 271002 A7 B7五、發明説明（7 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 嘐種並機凝 體 ，的在於在 中 f 則 7 具層 可收因 尋 凝此 '有對 撐 ·12 粘 1 著 2UC)層 7 率 亦吸。 /IV 得。程的且 支 圖體者件附 圖 射層射 ，光解 所度製量， 在。考撐似構者 。^及反射折 性無分 ，軟膠少中 佈之參支類塵似 圖？fB)防反高 光上光 丨之凝，構 分述 C 在其防類 面 M2 的防之。透質起 鹽離 I 際結 瞑詳圖佈或此其 切 W 中 B 之上 7 高實引 酸剝膠之膠 塵示面塗 4 。或 份 122(上 6 層有且會 的止溶膜凝 防圖切 3 帶上塵 部膠圖圖 6 膜率具-不 基防以膠該 該附的膜膠I)灰 的溶而。膜膠射線nte 乙以藉凝於 由所例塵面 U 止 3 經 ，7 膠凝折射 U 射 <足在成含 及考件防雙^ 防 膜僅成層凝在低 照 院或斷形包 膜參構性用 U 可 塵為構射於合之及 Μ 光 矽度推而偽 塵將塵光利 ， 防 3 所反成層上線一7C間 氧曲可燥質 防，防透則 t 驟 性膜 6 防形層7a射(¾時 乙撓但乾介 性件舉高面 步 光塵膜層的一於 gtos 四及’内散。光構所將側 ^之 透防膠一C)含合對 j 經 如度怪圍分用透塵明括一 件 高性凝合2(包層僅(#<使 例密奇範或作高防發包另丨元。示光的層圖，層不線即 ，高很度劑化之之本 1 ,5 體上顯透成 6 但構一 6 射 ， 物有乎溫溶塑明成為件面質導質為高構膜 ，結另膜長此 合具似述之施發構 1 構例基半基 2 的膠膠層層而膠波因 fh亦法上質實本所圖塵一護造護圖A)凝凝單雙，凝短 。 屬糢說於物膠 上 防某防製防2(之於為有7a透性 (請先閱讀背而'之注意事項再填寫本頁) 本紙悵尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X297公釐） 271002 at B7 五、發明説明（8 ) 此不致破壊透光性及機械強度。此外，凝膠膜6亦具良 好的可撓性及高透光性。 _成高透光性防塵膜3之凝嘐膜6 ,其厚度較佳為0 . 2 至10徹米，而透過凝膠膜6的射線波長為24X1 (Γ9至500 X ( 1 (Γ9 米），其平均透光率至少8 5 5!。 此處所指的平均透光性傜指240X 1 Ο·9 米 及500X1 0-9 米間所發生透光干擾波的波底及波峰間的平均值。 凝膠膜6的厚度較佳少於前述的10徹米，但厚度若少 於0.2徹米時無法獲得足夠的強度。當然，若不考慮強 度問題亦可採用小於〇 . 2徹米的厚度β亦可選用大於1 0 徹米的厚度，但鑒於進行光照射時所産生之光行差，較 佳厚度不應超過1Q微米。換言之，當膜厚超過微米時 ，在使用短波長射線（例如激元雷射射線）光照射之際， 會因此種高透光性膜而産生光行差，則於半導體晶Η上 重製細圖案時，具有易生光阻擾之慮。 選擇凝膠膜6的厚度，因此於所採光照射波長下可得 高透光率。 如圖2(A)所示僅由凝膠膜所構成之高透光性防塵膜3 之情形，若滿足下列程式即可避免反射並犓得高透光率： 經濟部中央橾準局員工消費合作杜印^ ---------Λ—— (請先閱讀背面乏注意事項再填寫本頁) m λ 其中d t為凝謬膜6的厚度，n l為膜6的折射率，m為 整數，但至少為1 ,凡則為所採用的波畏。例如n L = 1 . 3 -1 0 - 本紙悵尺度適用中國阄家橾準（CNS ) A4規格（210/2们公缝） 271002 A7 B7 經濟部中央標隼局員工消費合作社印袈 五、發明説明（9 ) 時，為了增加g射線（4 3 6 X I (Γ9米）的透光率，膜厚 dL可調至1.006微米，而欲增加雷射（248X 1 (Γ3米）的 透光率時，膜厚di可調至0.954微米。 為避免凝膠膜6在所希望厚度下減少透光率，或為避 免因改變波長而産生透光起伏波動，可如圖2(B)或2(C) 所示於凝膠膜6的上面層合一層防反射層7 。此狀況下 透光率即不受凝膠膜6的厚度改變或波長起伏變動及膜 厚不均的影遒。 圖2(B)所示防反射層7為單層結構。而當所選擇折射 率及膜厚符合（1 ) J η 1 = Π2及（2)d2 =ιπ又/4η2之要求 ，即可避免反射且可逹最高透光率，其中niS凝膠膜6 的折射率，η 2為防反射層7所用波長的折射率，d 2則 為防反射層7的厚度。防反射層7可僅層合於凝膠膜6 的某一表面。在此情形，於單一表面的該膜厚度定為d2 〇 凝膠膜6的折射率111通常約1.3至約1.6。故若層合 一層折射率n 2 = /F7為約1.14至約1.26的基質時即足夠 0 如圖2(C)所示，該防反射層7包括一層高折射率層 7a及一層低折射率層7b的情況，當所選擇折射率及膜厚 符合（1 ) /ΪΓΤ = Π2 /n3 , (2)d2 =πιΛ /4n2 及（3)d3 =«1又 /4[13時，即可完全避免反射並增加透光率，其中〇1為 凝膠膜6的祈射率，η 2為高折射率層7 a所採波長的折 射率，d 2為層7 a的厚度，η 3為低祈射率層7 b所採収波 -1 I - 本紙悵尺度邋用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210Χ 297公釐） ---------1----^---ΐτ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 271002 B7 五、發明説明U〇 ) (請先閱讀背面乏注意事項再填寫本頁) 長的祈射率，d 3則為層7 b的厚度。高折射率層7 a及低 折射率層7 b可僅層合於凝膠膜（5的某一表面。此時層7 a 及層7b於單一表面上的厚度各定為d2及d3 。 本發明中的凝膠膜6偽由至少一種選自上述化合物 (i )至（v i )的凝膠所構成。 通式（1)中的可水解單價基R1可為高至C4的烷氣基 (例如甲氣基，乙氣基，丙氧基及丁氧基）及（：3至（：17的 醯氧基，例如氣乙醯基及辛氣基。 較佳的通式（1)化合物為烷氣化物（例如四甲氣矽烷 [Si(0CH3 )4 1，四乙氧矽烷[Si(0C2Hs )4 1，異丙醇 鋁{A1[0CH(CH3 )2 13 },異丙醇鈦{Ti[0CH(CH3 )2 ]4 } 及丙醇結[Zr(0C3 H7 )4 ])及有機酸的金屬鹽類，例如 辛酸矽[Si(C7 H15C00)4 j 及辛酸鋁[A1(C7 H1SC00)3 ] 。若為硝酸鹽則可如硝酸鋁[A1(N03 )3 1,硝酸锆 [Zr(N03 )4 ]及硝酸鈦[Ti(N03 )4 ]。若為氣化物可如 氛化鋁（A 1 C 1 3 ),四氱化鈦（T i C 1 4 ),氛化誥（Z r C 1 4 ) 及四氛化矽（SiCl4 )。 經濟部中央標準局員工消費合作杜印取 細顆粒狀金屬氧化物或金屬氫氧化物可如於氫氣焰下 水解四氯化矽（S i C 1 4 )之蒸氣而得的二氣化矽（S i 0 2 ), 及於水溶液中水解異丙醇鋁U 1 [ 〇 c H ( C Η 3 ) 2 1 3 }而得 的氫氣化鋁，金屬氣化物或金屬氫氣化物的細顆粒大小 較佳少於〇 . 2徹米，尤少於0 . 0 5徹米》但可趣用的化合 物不受限於所舉例的化合物。 通式（2)中的可水解基R1為如前述所舉例者，Κ基 -1 2 - 本紙悵尺度適用中國國家橾準（CNS ) Λ4規格（210XW7公釐） 271002 at B7五、發明説明（11 ) 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 會 例子。甲烷 機的例形凝 J高物沸 醇芳如 ， 但基基，原之二矽 有度。會之 d 為合的 乙，例醇 解甲丙基鹵代，氣 將軔的則R)U 點混劑 ，}丨二 水如烯芳以取烷乙 可及目出1-~τί沸之溶 醇胺類乙 可例及的可基矽三 則度之看 sFm之劑種 丙醯烴如/ilv , III 不 — 基10基烷氣基。&強明 4ίiir水溶一 異甲族例 基 C 物，R 其 烯 烴 «乙丙烷tt發圖基 Μ 較種有 ，基肪丨 ， 乙 e 類全三單矽tjg 本IR烷 Μ 用多少 醇甲脂類 基 g 如C6此或基，氣W 可到由矽 Η 使更至 丁二 ，酵 機 CW 及。基甲院乙卜 b 達，甲 Μ 為或時 三及 >11 有至1(1)基氣單矽三(2S 於院機is佳種物 第胺笨乙 11極 £ 的高tsal葉烷為氣基式員用矽有 Μ 尤二合 如醯甲 ， 上如 及氣物乙稀通— 適之及]?而或混 例甲二丨 的 SS 得 ^ 子可 etof基全合三乙用 I? 別式基 ，劑的 < 如及烷 原基“以苯.化基及使1D特學醇 f 質溶劑 類例苯辛 屬 R -(«乙基的乙烷合，膜化矽 Μ 介一溶。醇ί甲及 金 。2 基，氣 }單矽混上謬述 ，im散單種點如類，烷 在上e烷基烷(2,氧或膜凝前基 U 分用兩沸可胺苯庚 結膜),環苯，式烷乙用膠該具烷 Η 或使少的劑醯如 ， 鍵瞟基的甲Κ)通矽二採凝而用氣 W 劑可至水溶，例烷 接凝丁10，^«之氣基獨在 ，選矽-«I溶，用於之 己 c » _ 直在及-基 佳乙苯單含膜若有。謬的劑選高定醇類 ， 為留基6苯 U 較二二若包膠，具膜溶膠溶若應持甲烴烷 則遣乙C6如(¾]基， 基凝如成膠 溶的。點 及族戊 (請先閲讀背面乏注意事項再填寫本頁) 本紙伕尺度適用中國國家標芈（CNS ) 格（210X 297公釐） A7 271002 B7 五、發明説明（12 ) 二乙二醇及三乙二醇），胺類（例如二乙醇胺及三乙醇 胺I ,乙二醇單醴類（例如乙二醇單甲醚及乙二醇單乙 _),酮類（例如乙酮及甲乙酮）及点一二酮類，例如 乙醛乙酮及苯醯乙酮。 溶劑用量未持別限定，但通常每莫耳構成凝膠膜6之 金驅加0.1至20莫耳。 製備溶膠時可加水，觸媒，抗絮凝劑及其類似者。此 外亦可配合週期表1八，2丸，3&,4丸，28,38,48,58或68族之 元素的氧化物，氟化物，氱化物或硝化物。 在添加水以製備溶膠之情形，水之較佳添加量為每莫 耳構成凝膠膜6之金屬之0.1至20莫耳。 至於觸媒可如鹽酸，硝酸，醋酸，四氯化矽，氫氟酸 ,四氯化鈦，氫氣化鈉及氨水。該觸媒之較佳添加量為 每莫耳構成凝膠膜3金屬之1X1 Ο-5至1莫耳。 抗絮凝劑則可選用鹽酸，硝酸，醋酸，氫氟酸，氨水 及聚乙烯醇。較佳添加量以溶膠重為準可加至多20重量％ 〇 製備溶膠時，可採用將溶劑加至起始物質後，將該混 合物在室溫至溶劑的回流溫度下予以«拌之方法；另一 方法則將溶劑加至起始物質後，將該混合物在室溫至溶 劑的回流溫度下予以攪拌，之後再加溶劑。 若加有水，觸媒，抗絮凝劑或其類似之添加剤時，添 加方法不限定，但最好預先將該添加劑添加至該溶劑内 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4规格（210X 297公釐） .^n n^i n^i UK 1-- 1 In ^^^1 ^n. I I 士1^1 .^ϋ —J—· i ^^^1 I ir (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 2710Q2五、發明説明U3 ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 換膜， 平膜質種 例瓷’力質法在機 於中？或置 ) 容 轉膠度 且成基此 ί 陶纟克基方抹有 至水;!中装 璃 以 膜凝粘 淨轉的用 質.，^亞瓷類塗和 。在 水滌 該成的 乾旋面利 基1)^ 及陶其及丨 膜放.2於洗 將形膠 在用表則 晶 HfT;酯、或以泊 層浸質入波 再此溶 塗利滑， 單Ksu 酸質法.，鋁 單質基浸音 ,藉之 膠再平起 機 usi碳基敷質如 得基刻用超 膜，膜 溶質且抽 無Jiffls»聚颶塗基例 而將蝕利用 成劑膠 將基淨質 採(«"，金轉之ί 此如液。選 破 形溶凝1)該乾基 可質 烯 、旋得膜 因用溶質可 嘐發成·(轉具將 ，基石乙質 、所屬 -採刻基， 溶蒸形 種旋將再 質屬吧苯基法膜金 膜可蝕解形 的並欲 兩 ’ } ’ 基金員聚晶方機之。膠，以分情 得置整。有上(2中 的；以，單 D 有面}凝法 I 理之 。製靜調施法?)，膠 用片Μ烯機CV或上膜的方 1 處膜 之法膠等實方"膜溶。所晶 丙無用膜者素成的Μ 熱層 拌方溶器於的 Μ 層在膜中石聚之利瓷似維形膜"Μ 單 Is述使發易膜 單浸成法簀 t 如述，陶類纖所膠,«或得 分上如蒸作成J»成K)形方藍 I 例上上 '其基離凝中 ，製 充以例用操形(^形 f 以述及 αί 於質膜或硝剝離劑質以 璃 再，，利膜膠質以®s法上片 U 質.，基屬髏如質剝溶基劑 後後膠好成溶基 ，U 方於晶(^基丨機金支例基霣機解溶 隨之凝最使由的法 j放至矽質機脂有成屬 ί由基有溶機 , 成。以 滑方(^浸 如基有樹及形金膜 由或等有 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙悵尺度適用中國國家標芈（CNS ) Α4規格（210Χ 297公1 ) ^72002 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (14 ) I 1 使 之 振 動 以 脱 膜 » 或 μ 水 或 有 機 溶 劑 之 溫 度 維 持 在 室 溫 1 1 至 约 5 0 °c 而 使 其 更 容 % 剝 離 〇 1 1 根 據 另 一 種 由 溶 膠 形 成 膜 的 方 法 1 使 溶 膠 在 比 溶 膠 具 請 1 先 1 較 大 比 重 及 表 面 張 力 的 液 體 表 面 展 開 以 得 該 膜 〇 所 用 液 聞 it 1 體 可 如 四 溴 乙 烯 (C Η Β r : C Η Β Γ 2 ) 〇 形 成 的 膜 再 由 液 體 表 背 面 1 | 之 1 面 取 出 以 得 αα 军 層 膜 〇 意 1 I 基 質 上 的 凝 膠 膜 或 所 形 成 αα 単 層 膜 再 於 可 高 至 5 0 0 °c溫 事 項 1 I 再 | 度 下 乾 燥 之 9 較 佳 溫 度 為 10 °c 至 5 0 0°C , 最佳為室溫（2 5 填 寫 本 1 装 °c )至2 5 0 °c ♦ 且 需 低 於 製 備 溶 m 所 用 溶 劑 的 沸 點 1 如 此 頁 1 I 即 可 得 高 透 光 性 防 塵 膜 〇 該 塗 層 之 乾 燥 時 間 偽 依 乾 燥 溫 1 1 度 等 條 件 而 不 同 1 但 通 常 傜 1 至 12 0 分 鐘 範 圍 内 〇 於 上 I 述 溫 度 進 行 乾 燥 之 情 形 當 選 用 多 價 金 屬 之 有 機 化 合 物 1 訂 為 起 始 物 質 時 t 則 在 製 備 溶 謬 之 際 所 形 成 的 有 機 物 質 不 1 會 c±r» 兀 全 轉 換 成 無 機 物 質 〇 若 於 上 述 溫 度 進 行 乾 燥 時 1 則 1 1 在 製 備 溶 膠 之 際 所 形 成 的 溶 劑 及 / 或 有 慨 物 質 無 法 由 凝 1 1 膠 中 兀 全 去 除 而 遣 留 其 中 〇 1 1 依 需 要 可 在 所 得 凝 膠 膜 6 上 層 合 一 層 防 反 射 膜 7 而 1 1 高 透 光 性 防 塵 膜 3 偽 塗 佈 在 以 金 屬 陶 瓷 材 料 或 塑 膠 材 I 1 料 構 成 的 支 撐 架 2 上 面 以 兀 成 防 塵 構 件 1 〇 1 | 做 為 防 反 射 層 7 的 材 料 可 採 含 氟 聚 合 物 ， 較 佳 為 非 晶 1 1 形 含 氟 聚 合 物 最 佳 為 全 氟 非 晶 形 樹 脂 0 至 於 全 氟 非 晶 1 1 形 樹 脂 可 m 用 由 至 少 一 種 選 白 下 列 式 [ 1 至 [VI 結 構 式 1 1 之 重 複 αα 军 位 所 構 成 的 均 聚 合 物 及 共 聚 物 1 如 曰 本 未 審 査 1 1 1 專 利 公 報 號 碼 0 1 -1 3 1 2 1 4， 0 1 - 1 3 12 1 Γ〕 及 歐 洲 專 利 3 0 3 2 9 8 A 2 1 1 | -1 ()- 1 1 本紙张尺度適州中國國家標準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐) 271002 A7 B7五、發明説明（I5 ) o A 2 9 者 示 掲 所 中 F c 2

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• 2 F F 2 CICV 2 F\ /F c c \F \ CIO

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VI 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 碼 號 報 公 利 專 重本 3 ] 日 式 構 結 及 以 位 單 複 佳 較 為 式1;脂 掲 列(S樹 下物形 由聚晶 將共非 之氟 於 示 掲 so5 物 2 持 F 2今聚 c F 的 t、 0 C ί^Ν _ 2脂希 ， F 枝 FA子OC形 S C冑}aff氟 原 晶 Ϊ - 3 四 ? 氟 F 非 / F2表(C氟¾ e代CF全噁 A 3 為二 F 冊 中 C 做 3 ο , 其 - 1

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V 4 6 9 8 成全 構為 所做 1用 使 氟 全 如 可 例 定 位 後 9 由 本紙张尺度適用中國國家橾隼（CNS ) A4规格（210X 297公釐） 基 甲 的 成 搆 所 ^/i〇〇2 五、發明説明（it> ) 聚位 均單 的複 成重 溝由 所’ III物 t 合 位聚 單均 複的 重成 由構 '^ 物1 合 聚位 均單 合

IV 複的 重成 由構 ，所 物

V 物位 合單 聚複 .ΧΤΡ thm 一 女 3 的由 成’ 構物 所聚 丨共 的 位成 單構 複所 S 由[I , 及 物j Ti 合 丨 聚位 均單 ®[ΙΠ 重及 由1 物 聚重 共由 的 ， 成物 構聚 所共 j的 成 及構 丨所 I .—- i ^ /Λ- ΓΙ 單 及 複— ΤΛ ihnll I ΐρππ η 由 ， ί 物t 聚位 共單 的複 成重 構由 所 ，

IV 及 t — 位 η [ 單 位複 DQL S 0马 ιροη 複由 聚 物共 聚的 共成 的構 成 m 構II] • Γ Π 中 其 物

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IV

2 F

F (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 物 聚 共 的 成 構 所 自共 為生物 A 衍生 中與衍 其物之 /rv \—/ 聚 2 共或 和I 物 合 聚 均 述 VI前 為 η 中 其 物位 聚單 共複 SS 成含 而包 δ 達 擾 阻 不 他 其 與 可 物 聚 共 VI 至 非 2 氟 F 全=c 為CF 做 η 以 } 2 ， F 合{c 聚F0 C 共 -- 行 2 F 進 C 體 由 單 可 合 脂 聚 樹 共 形 可 晶 之 非 的。氣 目脂金 明樹類 發形此 本晶 經濟部中央標隼局員工消費合作社印裝 或 為 η 中 其 氣r 全如 ， 義 >定 ?1 6 A 如 1 中 品AF 其 産⑨ /V Π A 售 C F- II C 市 f J e 7 ο Β τ ,:?成 的 而 合 聚 基 由 3 ， 自 - 經 基者 甲似 二類 2-其 2,及 茂 噁 二 司氟 公^ 邦為 杜做 , 用 '©使 OP可 T Y ， C ο 的40 2 司 F 、'A s's' 本紙張尺度適/Π中國國家標隼（CNS ) Λ4規格（2丨0'Χ297公釐） 五、發明説明（17 A7 B7 防 的 成 構 物 合 聚 氟 含 形 晶 非 之 述 前 由 層 一 〇 合 脂層 樹為 形佳 晶較 非 為 常 通 度 厚 的 0 層米 射徹 反00 防2 。至 r 2 率 ο 光Q 膠 透為溶 進佳由 增較用 可-採 其米因 為微 ， 因 CD 明 ， 5 發 層至本 射 CT3 依 反 ο 防 為0 凝 的 成 形 程 M 膠 凝 光長 透波 高短 的經 性 ， 光線 透射 高 i 及及 性線 撓射 可 g 好用 良利 具膜 得該 可使 故01 ，而 料 -材膜 之塵 膜防 塵性 線 射 射 雷 元 激估 如卜’ { 夕 〇 線此膜 射 塵 發 本 可 防 〇 之 解性 分光 光透 生高 産得 會製 不單 亦簡 射内 照間 期時 長短 丨在 高 1 之件 質構 性膜 佳塵 極防 述此 上 ， 具是 含別 包待 得 〇 製件 可構 明膜 發塵 本防 依的 ，膜 之塵 ^s防 而性 甚光 透 膜 5 塵質 防基 性護 光防 透在 高附 的粘 上 4 2 帶 架膠 撐面 支雙 在以 佈再 塗 1 括件 包構 塵 防 該 且 罩 護 防 如 例 膠 ， 凝解 因分 。光 著生 附産 之會 塵。 Htfe^ 射效 ί 照射 質線照 物射光 來長加 外波增 時短可 射經故 照時 ， 光射高 免照率 避光光 以於透 i ,6因1 上膜且t (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •装· 、11 經濟部中央標準扃員工消費合作社印裝

不 例 各 舉 所 但 之 明 說 1^ 詳 例 施 實 各 〇 列圍 下範 以之 將明 明發 發本 本制 限M 下 溫 室 於 丨烷 2 {矽 烷氧 矽乙 基四 甲的 二耳ο· 氧Μ, 乙5水 二。的 的1,耳 耳 2Μ Μ ) 及 醇 丙 異 的 耳Μ 本紙張尺度適用十國國家梯準（CNS ) Α4规格（21»Χ 297公釐） 271002 A7 B7五、發明説明（is ) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 溫 室 在 物 合 混 得 所 時 小 2 合0 起1 酸 鹽 的 耳 莫 膠 溶 成 形 以 天 5 置 靜 下 Μ» 法 敷 塗 轉 旋 轉璃 00玻 5 該 以在 丨成 形 和 板 璃 玻 法由 膜在 成佈 式塗 轉 ， 旋秒 用60 採轉 係度 膠速 溶的 得鐘 所分 徹 而在 因持 ，維 上入 質放 基再 的質 成基 構的 所膜 膜膠 素凝 雒覆 纖 0 基膜 硝膠 之凝 厚成 米形 上 板 之璃 上玻 板於 膜 素 雒 纖 基 硝 將 而 〇 之 燥 乾 以 鐘 分 ο 3 烘 内 箱 烘 的 °c 由 膜 素 維 纖 基 硝 將 再 後 下 剝 上 板 璃 玻 由 起1 膜 膠 凝 及 凝 的 〇 米 膜毫 層80 單為 的徑 成直 構而 所米 膜徹 膠23 凝3 由厚 得# 可可 則 ， » 中 離法 剝方 上述 膜上 膠於 凝 之米在 痕-9括 餓 1 包 何X對 任00膜 無 2P 間¥凝 中米得 而 所 米0-9出 毫1看 ◦X 6 ο 一口 為 5 ， 徑於示 直得所 具測 3 在 。圖 佈上如 塗架率 係狀光 其盤透 . 的 的 膜位間 膠空之 乾 一了 /i 進 下 度 溫 的 度 溫 。解 性分 光基 透甲 高於 具低 均在 線藉 射 ， 的中 長法 波製 圍述 範上 廣 間良 空有 度具 三其 0)此 1-由 S/|\ , 氣鍵I之 砂 } 具 3 除CH 其.1· S 1 /V 膠 凝 種 一 矽 成含 形尚 可 -即外 ，鍵 燥之 基 甲 I 由 之係 膜要 該主 量膠 測凝 則該 , 實 構證 結可 之圖 膠由 凝 0 得圖 所佈 試分 測之 為 4 。圖 性得 撓 ， 可譜 的 射 好透 及 於凝 易該 膜 0 得膜 所層 , 單 此為 因做 。以45 之膜至 成膠-9 構凝10 所的 X 鍵積50 Η 3 ο 面 1-大 3當米 相徹 得86 製.1 3 可 且 理膜 處膠 厚 對

X 之 畏 波 米 (請先鬩讀背面·之注意事項再填寫本頁)

. 厚 93在 為可 率射 光反 透線 均射 平免 的避 線為 4J 得 製0 溶 述 上 由 而 米 微 本紙張Κ度適用中國阐家標準（CNS ) Λ4規格（210Χ 297公釐） A7 271002 B7 五、發明説明（19 ) 之凝膠糢的每一面旋轉塗覆〇 . Q 7 3撤米厚的非晶形樹脂 U s a h i (ί I a s s 公司的 C Y T 0 P ® )膜，則對 3 5 0 X 〖0·9 至 .1 5 0 X 1 (T3米波長之射線的透光率可由93. 6¾增至95. 5%。 對照例1 將由四乙氧矽烷，水，異丙醇及鹽酸製得的溶嘐旋轉 噴塗在不同的基質上，以形成邊長至少30毫米的正方形 膜，而後再以8 0 0 °C熱處理使該膜轉變成無機二氣化矽 玻璃膜。但形成的膜極難由基質上剝下，且該膜有破裂 及起皺的現象。亦即無法製得厚為1至1Q徹米，而邊長 至少30毫米的正方形平滑單層膜。 ®L2_ 於室溫下將1.0莫耳的四乙氣矽烷（l)[Si(0C2 H5, )4 ] ,1.0莫耳的水，4 .7莫耳的異丙醇及Q.05莫耳的硝酸混 合2小時，並於室溫下（2 5 °C )在約1 0 0小時以上的時間 内蒸發掉大部份的溶劑，且進行濃縮以成粘度為5厘泊 的溶膠。之後再將0.2莫耳的Ν,Ν -二甲基甲醯胺（之後 稱為D M F ”）加至該濃縮溶膠中，且於室溫下混合2小時 〇 所得濃縮的溶膠偽藉旋轉式成膜法以1 Q Q Q轉/分鐘的 速度轉6Q秒而塗敷在聚苯乙烯基質上，以形成凝膠膜， 所得凝膠膜再於溫度維持在1 Q 〇 °C的烘箱中乾燥3 0分鐘 ，乾燥溫度需低於D M F的沸點（1 5 3 °C )。將所得膜由基 質剝離以成單層膜。此單膜厚2 . 3撤米。而於2 4 8 X 1 (Γ9 米的透光率為803!。 本紙張尺度適用中國國家標孳（CNS ) Λ4规格（2IOX2W公釐） (請先閱讀背面乏注意事項再填寫本頁) •装 -* 經濟部中央標準局員工消費合作社印^ A7 271002 B7 五、發明説明（2〇 ) 例3 (請先閱讀背面•之注意事項再填寫本頁) 於室溫（2 5 °C )下將1 . 0莫耳的四乙氧矽烷 [3〖（()(：2115)4丨，1.〇莫耳的水，4.7莫耳的異丙醇及 0 . 0 5莫耳的硝酸混合2小時，並於室溫下在約1 Q 0小時 以上的時間内蒸發掉大部份的溶劑，且進行濃縮以成粘 度為5厘泊的溶膠。 所得濃縮的溶膠傜藉旋轉式成膜法以1 Q Q Q轉/分鐘的 速度轉60秒而塗敷在聚苯乙烯基質上，以形成凝膠膜， 所得凝膠膜再於溫度維持在1〇〇 °C的烘箱中乾燥3Q分鐘 。將所得膜由基質剝離並做為單層膜。該膜厚2.1微米 。並測定對5 G 0 X 1 Q·9至2 0 0 X 1 (Γ9米之射線的透光率， 結果如圖5所示，該膜對相當廣範圍之波長均具高透光 性。 例4 於室溫下，將0.6莫耳的二乙氣二甲基矽烷 [(CH3 )2 Si(0C2 H5 )2 ]， 0.4莫耳的四乙氣矽烷 [Si(0C2H5)4 , 2.0莫耳的水，0.9莫耳的異丙醇及 0 . I】0 7莫耳的鹽酸一起混合2小時，所得混合物在室溫 (2 5 °C )下靜置1 0天以形成溶膠。 經濟部中央標隼局員工消費合作社印^ 所得溶膠傜採用旋轉式成膜法（旋轉塗敷法）以3 0 Q 0鞞 /分鐘的速度轉30秒，塗佈在由直徑為8英时的玻璃板 及形成在其上之0.1徹米之CYTOP®薄膜所構成之基質 上，因而於玻璃板上形成凝膠膜。*凝_膜有的基質置 放入溫度維持在1 4 IKC的烘箱内歷1 ϋ分鐘以乾燥之。而 -11- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210 乂 297公釐） 271002 A7 B7 五、發明説明（21 ) 將C Y T 0 P⑧薄膜及凝膠膜一起由玻璃板上剝下，則得由 凝膠膜及CYTOP® (作為反射層膜）所構成之雙層膜。 (請先閱讀背面：之注意事項再填寫本頁) 於上述方法中，可得一雙層膜（即具厚2. 9徹米之凝 膠膜及具0.1徹米厚之CYTOP®膜、98X 120毫米），其 偽塗佈在具中間無任何皺痕之9 5 X 1 1 7毫米空位的圖6 所示之鋁框上。 測得於5 0 0 X 1 Q ·9米至2 0 0 X 1 0 米之間的透光率如圖 7所示，其顯示所得凝膠膜對包括相當廣範圍波長射線 之透光性。 上述製法中，藉在低於甲基分解溫度的溫度下進行乾 燥，即可製得一種凝膠，其除了具矽-氣（Si-Ο)三度空間 之鍵外，尚含矽-甲基（Si-CH3 )之鍵，所以具有良好的 可撓性。為測試所得凝膠之結構，可以固態^Si ΝΜϋ及 a C N M R光譜分析，則得表1所示之結果。 由此結果可證實凝膠主要傜由Si-0， Si-CH3及Si-OH 鍵所構成。因此，所得膜易於處理且可製得相當大面積 的凝膠膜以做為雙層膜。 經濟部中央標準局員工消費合作.社印製 本紙張尺度遴用中國國家標準（CNS ) Λ4规格（2丨0X297公釐） 2M0Q2

A 7 B7 五、發明説明（22 ) 表1 (在凝謬楔中s i - (〕， S卜C Η 3及，S i - Ο Η 基之含量：以Ν Μ ϋ光譜測得） 組成份（基團） 莫耳％ CHa

I _0_Si_0_

I CHa

OH

I -0 - S i ~ 0 ~

I 0 i 0

I -0 - S i ~ 0 ~ 1-4.7

I 0

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經濟部中央標準局員工消費合作杜印V -24- 本紙張尺度通用中國國家標準（CNS )八4規格（21〇X 297公釐） 年月 修正補尤 本· 申請曰期 案 號 Λ.γΆ 類 別 以上各攔由本局填註） A4 C4 271002 雲蜃專利説明書 中 文 發明 新型 名稱 英 文 名 姓 國 籍 由溶嘐凝嘐方法形成之透明凝賴所構成之高透光性 防塵護膜，其製法及防塵構件

Highly 1ight-trans*itting dust protective pellicle film composed of a transparent:明1 by sol-s?el process· process for preparation thereof and dust, protective member ίφ Φ /IV 美 也由夫 哲真隆 崎崎野 宮ΠΙ大 .—-2 3 1-3皆屬日本 裝 發明 創作 人 住、居所 1. 千葉縣袖少浦市長浦字拓2號580番32 三井石油化學工業株式會社内 2. 同上所 3. 同上所 訂 姓 名 (名稱） 三井石油化學工業株式會社 三并石油化學工業股份有限公司 線 纯濟部中央標隼局N工消费合作社印贤 國 籍 住、居所 (事務所） 代表人 姓 名 曰本 東京都千代田區霞狀關三丁目2番5號 竹林省吾 本紙张尺度適用中國國家標隼（CNS ) Α4規格（210X2W公釐）

Claims (1)

1. 271002 M. - 1「、申請專利範圍 A8 B8 C§~ D8 第80108634號「由溶膠凝膠方法形成之透明凝膠所構成 之高透光性防匾護膜，其製法及防塵構件」專利案 (84年12月1日修正） Λ、申請專 1 .-種 取代 氣化 其中 或鹵 至矽 護膜 具下 利範園： 高透光性防塵護膜，其僳實質上由含烷基或鹵素 烷基之矽《化物和含烷基或鹵素取代烷基之矽氫 物之基園所形成者，且藉溶騵-凝繆法所製得者； 該含烷基或鹵素取代烷基之矽氣化物、或含烷基 素取代烷基之矽氫氣化物具有一至三痼直接連接 原子之Ci - +烷基或被取代Ci - *烷基；且該 傜由下列方法所製得，該方法包括至少部份水解 列化學式U)之化合物以形成溶膠液醱， (i ) R S i-(R 1 ) 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 其中 η為 將所 溫度 膜自 存在 缌數 對波 之平 2 .-種 R SCi - 4烷基或被鹵素取代Ci - +烷基* 1至3的數目，烷氣基； 得溶膠液體塗佈於基質上，並於室溫至500 υ之 下乾燥該塗層歴1至120分鐘，再將所形成之薄 基質予以剝離；其中於作為護膜成分之凝謬中， 於凝膠中之矽-(被取代）烷基之數目對矽價鍵 之比例為2Θ至45%,該膜厚度為0.2至10wnt，且 長為240至500X10- 3米之光射線具有至少85% 均透光率。 高透光性防應護膜*其包含如申請專利範匾第1 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ABCD 271002 六、申請專利範圍 項防塵護膜所述之凝膠膜並層合防反射層膜而得。 —HI— nn fm ^^^^1 IV nn si^n ^^^^1 ^^^^1 ^^^^1 I y 牙 、vd (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 3. 如申請專利範圍第2項的防塵護膜，其中的防反射層 膜保由全戴非晶形樹脂所構成。 4. 一種製備高透光性防應護膜的方法，其傜實質上由含 烷基或鹵索取代烷基之矽氣化物及含烷基或鹵素取代 烷基之矽氫氣化物所形成者，該方法包括：藉將具下列 化學式（i)之化合物於一液體介質中、並在1X10— 5 至1莫耳（對毎莫耳該Si化合物而言）之觸媒予以至 少部份水解而形成溶膠液體， (i ) Rn -S i - (R 1 )4 - n 式中R為（：1 - 4烷基或被鹵素取代Ci - 4烷基， n為1至3的數目，R1為Ci - +烷氯基； 其中該液體介質僳由有機溶劑（其用量為每荑耳該Si 化合物的0.1至20莫耳）和水（其用量為每莫耳該Si 化合物之0. 1至20莫耳）所構成者， 經濟部中央標準局員工消費合作社印聚 將所得溶瞟液髓塗佈於基質上，並於室溫至500 C之 溫度、且低於溶膠液體中之液醴介質之沸點下乾燥該 塗層歴1至120分鐘，再將所形成之薄膜自基質予以 剝離，該膜厚度為0.2至10« η，且對波長為240至 5 00 X 1 0- 3米之光射線具有至少85%之平均透光率。 5. —種防塵構件，其包含如申讅專利範圃第1項所述之 高透光性防鑒護膜及支撐構件。 6. —種防塵構件，其包含如申誚專利範圍第2項所述之 高透光性防廛護膜及支撐構件。 本紙張尺度逋用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐）