TW202200295A - 線放電加工裝置 - Google Patents

線放電加工裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW202200295A
TW202200295A TW110120523A TW110120523A TW202200295A TW 202200295 A TW202200295 A TW 202200295A TW 110120523 A TW110120523 A TW 110120523A TW 110120523 A TW110120523 A TW 110120523A TW 202200295 A TW202200295 A TW 202200295A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
arm
support body
adjustment block
guide unit
discharge machining
Prior art date
Application number
TW110120523A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI788870B (zh
Inventor
坂口昌志
保坂昭夫
Original Assignee
日商沙迪克股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商沙迪克股份有限公司 filed Critical 日商沙迪克股份有限公司
Publication of TW202200295A publication Critical patent/TW202200295A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI788870B publication Critical patent/TWI788870B/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
    • B23H7/30—Moving electrode in the feed direction
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H1/00—Electrical discharge machining, i.e. removing metal with a series of rapidly recurring electrical discharges between an electrode and a workpiece in the presence of a fluid dielectric
    • B23H1/04—Electrodes specially adapted therefor or their manufacture
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H11/00—Auxiliary apparatus or details, not otherwise provided for
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/06—Control of the travel curve of the relative movement between electrode and workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/08—Wire electrodes
    • B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/02—Wire-cutting
    • B23H7/08—Wire electrodes
    • B23H7/10—Supporting, winding or electrical connection of wire-electrode
    • B23H7/105—Wire guides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
    • B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
    • B23H7/26—Apparatus for moving or positioning electrode relatively to workpiece; Mounting of electrode
    • B23H7/32—Maintaining desired spacing between electrode and workpiece, e.g. by means of particulate material

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)

Abstract

本發明提供一種精度高的線放電加工裝置，通過簡單且最低限度的改良，抑制由溫度變化產生的上側導引單元的相對位置的偏移。線放電加工裝置(100)包括：支撐在上側引導線電極(W)的上側導引單元(82)的上側支撐體(6)，其中，上側支撐體(6)包括：臂(61)，下端設置有上側導引單元(82)；軸驅動部(51)，使臂(61)沿著至少一個軸方向移動，並且由線膨脹係數大於陶瓷的材料形成；及調整塊(62)，將臂(61)與軸驅動部(51)連結，並且由陶瓷形成；調整塊(62)被固定於以下位置，所述位置通過軸驅動部(51)與調整塊(62)的固結面產生的雙金屬效應而能夠抑制上側支撐體(6)的伸縮引起的上側導引單元(82)的位移。

Description

線放電加工裝置
本發明是有關於一種使用線電極進行放電加工的線放電加工裝置，特別是有關於一種如下的放電加工裝置，包括：上側支撐體，從上下延伸的機柱起橫向延伸，支撐在上側引導線電極的上側導引單元；以及下側支撐體，從機柱起橫向延伸，支撐在下側引導線電極的下側導引單元。
以往，已知一種使用線電極對被加工物進行放電加工的線放電加工裝置。線放電加工裝置利用被加工物與線電極之間的放電現象進行加工，因此，可對通過切削加工難以切斷的硬金屬或陶瓷等高硬度材料進行精密加工。 近年來，從提高耐久性的觀點出發，而將高硬度材料用於模具等各種組件，要求線放電加工裝置實現高水平的加工精度。
在通用的線放電加工裝置中，在以從機柱側起沿著水平方向配置的方式支撐的上側支撐體以及下側支撐體的前端，分別安裝了上側導引單元與下側導引單元。但上側支撐體在線放電加工裝置整體的結構上，通常包括：臂、以及包含軸驅動部在內的一個以上構成組件而形成。在線放電加工裝置中，在對被加工物進行加工時，在收容於上側導引單元中的上側線導件與收容於下側導引單元中的下側線導件之間以特定的張力拉設線電極，在形成於移行的線電極與被加工物之間的加工間隙產生放電，同時使上側導引單元以及下側導引單元相對於被加工物相對移動，由此將被加工物切斷加工為任意形狀。而且，通過控制上側導引單元與下側導引單元的相對位置，可進行所謂錐切，即，將線電極以所需的角度配置並放電，將被加工物加工成精密的形狀。
在這種線放電加工裝置中，上側支撐體與下側支撐體分別因各種原因發生變形，導致安裝於前端的上側導引單元乃至下側導引單元的定位精度產生誤差。例如，針對外力，通過使用高剛性的原材料來減少誤差。此外，針對熱位移，通過使用熱膨脹係數更小的原材料來減少誤差。但是，如果放熱或外部環境溫度的變化導致裝置的溫度上升或下降，那麼存在：在材質不同的構成組件的固結面產生熱位移引起的熱膨脹差，而對機械精度或加工精度造成不良影響的情況。具體而言，在支撐上側導引單元以及下側導引單元的支撐體的溫度發生變化的情形時，產生以下問題：支撐體膨脹或收縮而發生熱變形，產生上側導引單元與下側導引單元相對的位置偏移，引起定位精度或加工精度的降低。
為了防止構成組件的熱位移，已知：在上下支撐體中流通加工液者（專利文獻1）。具體而言，在支撐線電極的上側支撐體以及下側支撐體的內部流通加工液以將其等控制為同一溫度，通過將上下支撐體始終保持為同一溫度，兩者的膨脹或收縮變得相同，因此，可防止加工精度變差。 此外，也存在將檢測溫度的溫度檢測傳感器配置於多個裝置本體，在進行線放電加工時，通過溫度檢測傳感器檢測到的溫度算出裝置的熱變形量，對移動量進行修正（專利文獻2）。 進而，揭示了關於如下的線放電加工裝置的發明等：考慮材質不同，而以使上側支撐體的溫度變化引起的變化量與下側支撐體的溫度變化引起的變化量變得相等的方式，選定各組件的水平方向的長度（專利文獻3）。
[現有技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1] 日本專利實公昭63-42981號公報 [專利文獻2] 日本專利特開昭62-176735號公報 [專利文獻3] 日本專利第5922995號公報
[發明所要解決的問題] 但是，如專利文獻1那樣在裝置內部流通加工液的方法會導致裝置大型化，並且花費加工液的循環設備費或維持費。此外，如專利文獻2那樣使用溫度檢測傳感器的方法要花費溫度檢測傳感器等追加組件的購買費用，進而在無法實時測定裝置本體的準確溫度的情形時，有修正值產生時滯(time lag)而修正產生誤差的可能性。
因此，本申請發明人等基於專利文獻3所揭示的發明進行了銳意研究，結果通過在構造上潛心創造，從而發明出簡單且低成本地使熱位移成為最低限度的上側支撐體。
因此，本發明的目的在於提供一種能夠以簡單的結構且低成本提高定位精度以及加工精度的放電加工裝置。
[解決問題的技術手段] 本發明是一種線放電加工裝置，包括：支撐在上側引導線電極的上側導引單元的上側支撐體，在所述線放電加工裝置中，所述上側支撐體包括：臂，下端設置有所述上側導引單元；軸驅動部，設置於所述臂的背面，使所述臂沿著至少一個軸方向移動，並且由線膨脹係數大於陶瓷的材料所形成；及調整塊，將所述臂與所述軸驅動部連結，並且由陶瓷所形成，所述調整塊被固定於以下位置，所述位置通過所述軸驅動部與所述調整塊的固結面產生的雙金屬效應而能夠抑制所述上側支撐體的伸縮引起的所述上側導引單元的位移。
此處，所謂“軸驅動部”是指用來使臂沿著軸方向移動的驅動機構，經由調整塊而至少將臂固定。具體而言，在本實施方式中，至少包括U軸滑塊。 上側支撐體的溫度發生變化的話，上側支撐體整體伸縮，上側導引單元與下側導引單元發生相對位置偏移。因此，通過不將臂與軸驅動部直接固定，而是經由調整塊加以固定，從而利用材質不同的臂與軸驅動部產生的雙金屬效應產生與上側支撐體的伸縮方向相反方向的位移，結果可抑制上側導引單元與下側導引單元的相對位置偏移。
在本發明的線放電加工裝置中，所述調整塊的上表面被固定於所述軸驅動部的底面。
作為本發明的構造，將由陶瓷形成的調整塊的上表面固定於由線膨脹係數大於陶瓷的材料形成的軸驅動部的底面，臂未直接固定於軸驅動部。通過設為這種構造，可利用調整塊與軸驅動部的固結面產生的雙金屬效應使上側導引單元產生與上側支撐體的溫度變化引起的伸縮方向相反的位移，從而消除上側導引單元的位置偏移。
在本發明的線放電加工裝置中，所述調整塊從所述臂的背面突出設置。 而且，在本發明的線放電加工裝置中，所述臂與所述調整塊為一體成形。 進而，在本發明的線放電加工裝置中，所述臂與所述調整塊作為整體在側面視下以倒L字形狀形成。
根據本發明，能夠以將調整塊從臂的背面突出設置的結構、或臂與調整塊作為整體在側面視下以倒L字形狀形成的結構等簡單的結構且低成本地抑制上側導引單元與下側導引單元的相對位置偏移。 進而，通過將調整塊與臂一體成形，能夠簡化製造工序。
[發明的效果] 本發明的線放電加工裝置通過將由陶瓷形成的調整塊配置於由線膨脹係數大於陶瓷的材料形成的軸驅動部，即可使上側支撐體因熱引起的膨脹或收縮導致的上側導引單元的位移成為最低限度，而提供一種可簡單且低成本地抑制由溫度變化產生的相對位置的錯開的、精度高的線放電加工裝置。
＜1.第一實施方式＞ （1.1線放電加工裝置100的整體結構） 以下，使用圖對本發明的第一實施方式進行詳細說明。圖1是表示本發明實施方式的線放電加工裝置100的概略的側視圖，圖2是表示所述實施方式的上側支撐體6的實施方式的立體圖。圖3是表示所述實施方式的上側支撐體6的實施方式的側視圖。在以下說明中，在線放電加工裝置100的機械本機中，將在U軸滑塊51設置了垂直臂61一側的面（圖1的紙面上從左側觀察機械本機的情形時的面）設為正面。而且，面向正面而將後側設為背面，面向正面而將右手側以及左手側設為側面。而且，面向正面而將從上側觀察機械本機的情形時的面設為上表面，將從下側觀察的情形時的面設為底面。
線放電加工裝置100包括：機座1，載置於設置面；機柱2，以可沿著水平方向即Y軸方向往返移動的方式設置於機座1上；V軸滑塊52，以可沿著與Y軸方向平行的水平單軸方向（V軸方向）往返移動的方式水平設置於所述機柱2上；Z軸座91，設置於V軸滑塊52的一端；Z軸滑塊93，以可經由線性引導件93a而沿著Z軸方向往返移動的方式安裝於Z軸座91；U軸滑塊51，以可經由線性引導件51a而沿著與X軸方向平行的水平單軸方向（U軸方向）往返移動的方式水平設置於Z軸滑塊93的與Z軸座91相向的面；垂直臂61；及調整塊62，固定於U軸滑塊51的底面。 此處，將垂直臂61、調整塊62、U軸滑塊51以及Z軸滑塊93總稱記作上側支撐體6。 在垂直臂61的下端固定有上側導引單元82，在機柱2的下方的側壁固定從機柱2延伸的下側支撐體7，在一端固定有下側導引單元81。
另外，還包括：以可沿著與Y軸方向垂直的方向（X軸方向）移動的方式設置的台3，在台3上安裝未圖示的加工槽4，可將被加工物載置於加工槽4內的工件架上。
在機座1的上部固定有沿著Y軸方向延伸的多條軌11、及沿著X軸方向延伸的多條軌13，軌11與固定於機柱2的底部的多個線性引導件21卡合，軌13與固定於台3的底部的多個線性引導件31卡合。由此，機柱2可沿著Y軸方向直線移動，台3可沿著X軸方向直線移動。
在機柱2的上部固定有沿著V軸方向延伸的多條軌22，這些軌22與固定於V軸滑塊52的底部的多個線性引導件52a卡合。由此，V軸滑塊52可沿著V軸方向直線移動。 在V軸滑塊52的一端一體地固定有Z軸座91。
在Z軸座91的正面固定有沿著Z軸方向延伸的多條軌92，這些軌92與設置於Z軸滑塊93的多個線性引導件93a卡合。由此，Z軸滑塊93可相對於Z軸座91而沿著上下方向即Z軸方向直線移動。
在Z軸滑塊93的正面固定有沿著U軸方向延伸的多條軌94，這些軌94與設置於U軸滑塊51的多個線性引導件51a卡合。由此，U軸滑塊51可相對於Z軸滑塊93而沿著U軸方向直線移動。
另外，線性引導件21、線性引導件31、線性引導件51a、線性引導件52a、線性引導件93a可適當利用公知的線性引導件，機柱2、U軸滑塊51、V軸滑塊52、Z軸滑塊93、台3利用馬達等驅動構件而沿著各方向往返移動。
U軸滑塊51是側面視下呈大致矩形狀的構件。V軸滑塊52、Z軸座91、Z軸滑塊93以及U軸滑塊51因製造上的限制，而由作為線膨脹係數大於陶瓷的材料的鑄鐵所形成。
垂直臂61是長條的角柱形狀的構件，背面固定有調整塊62，下端設置有由不銹鋼形成的上側導引單元82。垂直臂61垂直地設置於XY平面，由作為熱引起的變形少且剛性高的原材料的陶瓷形成。
下側支撐體7是固定於機柱2的前表面下部而從機柱2延伸的角柱形狀或圓柱形狀的構件，前端固定有下側導引單元81。下側支撐體7由陶瓷形成，下側導引單元81由作為具有大於鑄鐵的線膨脹係數的線膨脹係數的材料的不銹鋼形成。
線放電加工裝置100可從未圖示的放電加工用電源裝置對被加工物與線電極W供給加工電壓，並且通過未圖示的控制裝置，使載置於工件架的被加工物相對於架在上側導引單元82與下側導引單元81之間的線電極W沿著所需的路徑相對移動，而進行放電加工。
（1.2調整塊62的結構） 圖4是表示所述實施方式的上側支撐體6的實施方式的底視圖，圖5是表示所述實施方式的調整塊62的示意圖。圖6是表示外部氣體溫度上升時的以往的上側支撐體500的位移的說明圖，圖7是表示外部氣體溫度上升時的本發明的上側支撐體6的位移的說明圖。圖8是表示所述實施方式的上側支撐體6的其他例的側視圖，圖10是表示以往的上側支撐體500的立體圖。此處，在圖6以及圖7中，為了容易區分垂直臂61、垂直臂561以及調整塊62，而以斜線表示。 在以往的線放電加工裝置中，垂直臂561通過平行於XZ面的固結面M1固定於U軸滑塊551（圖6、圖10）。若外部環境的變化導致上側支撐體500的溫度變化，則上側支撐體500整體會向正面方向伸長（Y軸方向負方向）或向背面方向收縮（Y軸方向正方向）（F3），因此設置於垂直臂561的下端的上側導引單元582也會隨著上側支撐體500的伸縮而向正面方向或背面方向偏移，上側導引單元582與下側導引單元81發生相對位置偏移。其原因在於：構成上側支撐體500的Z軸滑塊593以及U軸滑塊551在製造上是由作為線膨脹係數大於陶瓷的材料的鑄鐵所形成，因此與由陶瓷形成的下側支撐體7相比會進一步伸縮。 另外，U軸滑塊551與垂直臂561的材質的不同產生的熱膨脹率的差導致固結面M1產生內部應力（雙金屬效應）。具體而言，作為垂直臂561的材質的陶瓷與作為U軸滑塊551的材質的鑄鐵相比，線膨脹係數為約1/2～約1/3，因此在溫度上升時，與固結面M1平行地發揮作用的壓縮及拉伸應力變大，在垂直臂561產生從垂直方向傾斜的力F1，上側導引單元582向正面方向偏移。而且，在溫度下降時，在垂直臂561產生與從垂直方向傾斜的力F1相反的力，上側導引單元582向背面方向偏移。 如此，上側支撐體500的熱引起的伸縮以及U軸滑塊551與垂直臂561的雙金屬效應這兩個原因，導致在溫度上升時上側導引單元582向正面方向偏移，在溫度下降時向背面方向偏移。
因此，在本實施方式中，將由熱膨脹率小於鑄鐵的陶瓷形成的調整塊62（圖4、圖5）的上表面621固定於U軸滑塊51的固結面M2即底面，將垂直臂61固定於調整塊62的正面623。U軸滑塊51與垂直臂61是隔著調整塊62間接連接，未直接連接。 通過設為這種構造，在溫度上升時，上側支撐體6整體因熱而向正面方向伸長（Y軸方向負方向）（F3），但U軸滑塊51與調整塊62的雙金屬效應使得相對於垂直臂61而向背面方向（Y軸方向正方向）傾斜的力F2發揮作用，而可抵消上側導引單元82的偏移（圖7）。而且，在溫度下降時，上側支撐體6整體向背面方向收縮（Y軸方向正方向），但U軸滑塊51與調整塊62的雙金屬效應使得相對於垂直臂61而向正面方向（Y軸方向負方向）傾斜的力發揮作用，因此可抵消上側導引單元82的偏移。 即使在上側支撐體6的溫度上升或下降的情形時，也可通過追加調整塊62這種簡單的構造的改良來消除上側導引單元82的偏移。
在本實施方式中，調整塊62的形狀為方形（圖5），但只要為可利用U軸滑塊51與調整塊62的固結面M2產生的雙金屬效應抵消上側支撐體6的伸縮引起的上側導引單元82的偏移的形狀，那麼就沒有限定，例如也可以為圓柱狀。通過變更調整塊62的形狀或尺寸，可調整固結面M2產生的雙金屬效應，而決定垂直臂61的傾斜量。 調整塊62的材質的熱膨脹率小於U軸滑塊51所使用的材質即可，優選陶瓷。 此外，調整塊62在U軸滑塊51上的安裝位置，只要可利用U軸滑塊51與調整塊62的固結面M2產生的雙金屬效應抵消上側支撐體6的伸縮引起的上側導引單元82的偏移，那麼就沒有特別限定。 調整塊62例如可從垂直臂61的背面突出設置（圖3），垂直臂61與調整塊62也可以作為整體在側面視下以倒L字形狀形成（圖8）。 此外，垂直臂61與調整塊62可一體成形。
＜2.模擬例＞ 圖9是表示所述實施方式的上側支撐體6的外部環境的溫度變化［℃］引起的垂直位移［μm］的說明圖。 為了將本實施方式的上側支撐體6與不包括調整塊62的以往的上側支撐體500（比較例1、圖6、圖10）的效果加以對比，而進行數值模擬。 具體而言，重複使上側支撐體6、上側支撐體500的外部氣體溫度（室溫）上升3℃的狀態與上升6℃的狀態（圖9中下方的曲線圖），分別計測安裝於垂直臂61、561的上側導引單元82、582的垂直方向（Z軸方向）的位移［μm］（圖9中上方的曲線圖）。此處，圖9中上方的曲線圖中，實線是表示本發明實施方式的上側支撐體6的垂直位移［μm］的曲線圖，虛線是表示比較例1的以往的上側支撐體500的垂直位移［μm］的曲線圖。
根據圖9中上方的曲線圖可知，與比較例1的上側支撐體500相比，包括調整塊62的上側支撐體6即使在外部氣體的溫度變化的情形時，上側導引單元82的垂直方向的偏移也少。 如上所述，上側支撐體6通過安裝調整塊62這種簡單的構造，即可抑制垂直臂61的翹曲或變形。
在本實施方式中，使上側支撐體6沿著U軸、V軸、Y軸、Z軸方向移動，使台3沿著X軸方向移動，但也可以使台3沿著Y軸以及X軸方向移動。 在本實施方式的結構中，在V軸滑塊52的正面側設置Z軸滑塊93，在Z軸滑塊93的正面側設置U軸滑塊51，在U軸滑塊51的正面設置垂直臂61，但無論V軸滑塊52、U軸滑塊51、Z軸滑塊93以何種位置安裝，只要相對於安裝於第一正面側的軸驅動部而將垂直臂61配置於正面側，那麼使用調整塊62也可獲得同樣的效果。
以上所說明的本發明可在不脫離所述發明的精神以及必需的特徵事項的情況下以其他各種形態實施。因此，本說明書所記載的實施例為例示的例子，不應解釋為限定於此。
1:機座 2:機柱 3:台 6:上側支撐體 7:下側支撐體 11、13、22、92、94:軌 21、31、51a、52a、93a:線性引導件 51、551:U軸滑塊 52:V軸滑塊 61、561:垂直臂 62:調整塊 81:下側導引單元 82、582:上側導引單元 91:Z軸座 93:Z軸滑塊 100:線放電加工裝置 500:以往的上側支撐體 621:上表面 623:正面 M1、M2:固結面 W:線電極
圖1是表示本發明實施方式的線放電加工裝置100的概略的側視圖。 圖2是表示所述實施方式的上側支撐體6的實施方式的立體圖。 圖3是表示所述實施方式的上側支撐體6的實施方式的側視圖。 圖4是表示所述實施方式的上側支撐體6的實施方式的底視圖。 圖5是表示所述實施方式的調整塊62的示意圖。 圖6是表示外部氣體溫度上升時的以往的上側支撐體500的位移的說明圖。 圖7是表示外部氣體溫度上升時的本發明的上側支撐體6的位移的說明圖。 圖8是表示所述實施方式的上側支撐體6的其他例的側視圖。 圖9是表示所述實施方式的上側支撐體6的外部環境的溫度變化［℃］引起的垂直位移［μm］的說明圖。 圖10是表示以往的上側支撐體500的立體圖。
6:上側支撐體
51:U軸滑塊
61:垂直臂
62:調整塊
82:上側導引單元
93:Z軸滑塊

Claims (5)

  1. 一種線放電加工裝置，其特徵在於，包括： 上側支撐體，支撐上側導引單元，所述上側導引單元在上側引導線電極， 其中，所述上側支撐體包括： 臂，所述臂的下端設置有所述上側導引單元； 軸驅動部，設置於所述臂的背面，使所述臂沿著至少一個軸方向移動，並且由線膨脹係數大於陶瓷的材料所形成；及 調整塊，將所述臂與所述軸驅動部連結，並且由陶瓷所形成， 所述調整塊被固定於以下位置，所述位置通過所述軸驅動部與所述調整塊的固結面產生的雙金屬效應而能夠抑制所述上側支撐體的伸縮引起的所述上側導引單元的位移。
  2. 根據請求項1所述的線放電加工裝置，其中， 所述調整塊的上表面被固定於所述軸驅動部的底面。
  3. 根據請求項1所述的線放電加工裝置，其中， 所述調整塊從所述臂的背面突出設置。
  4. 根據請求項1所述的線放電加工裝置，其中， 所述臂與所述調整塊為一體成形。
  5. 根據請求項1所述的線放電加工裝置，其中， 所述臂與所述調整塊作為整體在側面視下以倒L字形狀形成。
TW110120523A 2020-06-16 2021-06-07 線放電加工裝置 TWI788870B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2020103651A JP6854953B1 (ja) 2020-06-16 2020-06-16 ワイヤ放電加工装置
JP2020-103651 2020-06-16

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202200295A true TW202200295A (zh) 2022-01-01
TWI788870B TWI788870B (zh) 2023-01-01

Family

ID=75267889

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW110120523A TWI788870B (zh) 2020-06-16 2021-06-07 線放電加工裝置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US11684987B2 (zh)
EP (1) EP3925723A1 (zh)
JP (1) JP6854953B1 (zh)
KR (1) KR102555532B1 (zh)
CN (1) CN113798612A (zh)
TW (1) TWI788870B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6940663B1 (ja) * 2020-07-06 2021-09-29 株式会社ソディック 放電加工装置およびセンサユニット
CN117655438A (zh) * 2023-12-29 2024-03-08 嘉兴荣硕机械有限公司 一种静叶环分断方法和静叶环分断机

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5922995U (ja) 1982-08-04 1984-02-13 綾部　勉 灯油ポンプの残留液もれ防止装置
PL144822B1 (en) 1984-05-12 1988-07-30 Boehringer Mannheim Gmbh Method of obtaining novel pyrolobenzimidazoles
US5159167A (en) 1985-03-29 1992-10-27 Raycon Corporation Structure for and method of electrical discharge machining
JPS62176735A (ja) 1986-01-29 1987-08-03 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置
JPS6339728A (ja) * 1986-07-31 1988-02-20 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置
JPH0742652B2 (ja) 1986-08-11 1995-05-10 鐘紡株式会社 柔軟な皮革様シ−ト状物の製造方法
JPS6342981U (zh) 1986-09-05 1988-03-22
JPS63196324A (ja) * 1987-02-06 1988-08-15 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のテ−パ加工装置
JP2743790B2 (ja) * 1993-10-27 1998-04-22 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工装置
JPH10315057A (ja) * 1997-05-21 1998-12-02 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置
JP2005101136A (ja) * 2003-09-24 2005-04-14 Nikon Corp ステージ装置及び露光装置
JP4760091B2 (ja) * 2005-03-30 2011-08-31 ブラザー工業株式会社 工作機械及び工作機械の変位補正方法
TWI395627B (zh) * 2007-12-04 2013-05-11 Ind Tech Res Inst 具有變形補償裝置之線切割放電加工機及伸臂變形補償方法
JP5674033B2 (ja) * 2011-03-28 2015-02-18 西部電機株式会社 ワイヤ放電加工機、ヘッド制御方法、及びそのプログラム
JP5128015B1 (ja) * 2011-10-14 2013-01-23 三菱電機株式会社 放電加工機のワーク取付台
EP2794172B1 (en) * 2011-12-20 2017-07-26 Esab AB Contact tip for use in gas metal-arc welding
TW201325786A (zh) * 2011-12-20 2013-07-01 Metal Ind Res & Dev Ct 線切割放電加工機
JP5922995B2 (ja) 2012-06-14 2016-05-24 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工装置
JP5657715B2 (ja) * 2013-01-11 2015-01-21 ファナック株式会社 ワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機
WO2014173437A1 (de) * 2013-04-24 2014-10-30 Robert Bosch Gmbh Mikromechanisches bauteil und herstellungsverfahren für ein mikromechanisches bauteil
JP5783643B2 (ja) * 2013-06-12 2015-09-24 株式会社ソディック 放電加工装置
CN113359397B (zh) * 2013-06-28 2024-02-27 株式会社尼康 移动体装置和曝光装置以及器件制造方法
JP5870143B2 (ja) * 2014-04-03 2016-02-24 ファナック株式会社 上下ガイドの熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機
DE102015104405A1 (de) 2015-03-24 2016-09-29 Fritz Studer Ag Drahtführung zur Führung einer Drahtelektrode beim Drahterodieren
JP6707303B2 (ja) * 2017-12-15 2020-06-10 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20210387275A1 (en) 2021-12-16
KR102555532B1 (ko) 2023-07-13
JP6854953B1 (ja) 2021-04-07
KR20210155755A (ko) 2021-12-23
JP2021194743A (ja) 2021-12-27
TWI788870B (zh) 2023-01-01
CN113798612A (zh) 2021-12-17
EP3925723A1 (en) 2021-12-22
US11684987B2 (en) 2023-06-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW202200295A (zh) 線放電加工裝置
JP4840144B2 (ja) 位置決め装置及び位置決め方法
JP4875184B2 (ja) 工具回転半径可変の工具ホルダおよび該工具を備えた工作機械ならびに前記工作機械を用いた加工方法
KR102245707B1 (ko) 위치 결정 장치
JP2010058263A (ja) 超精密工作機械
JP2007044771A (ja) 形彫放電加工装置
JP2012045703A (ja) 工作機械
KR20090067172A (ko) 선반 및 선반에 의한 가공 방법
JP5674033B2 (ja) ワイヤ放電加工機、ヘッド制御方法、及びそのプログラム
JP2008087408A (ja) 型締め装置
US20220001474A1 (en) Electric discharge machine and sensor unit
JP4172614B2 (ja) ボールネジ送り駆動補正方法
CN107206562B (zh) 机床
JP2006192558A (ja) テーブル装置及びその制御方法
JP2011240457A (ja) 切削加工装置，切削加工方法
KR20100111320A (ko) 공작기계
JP2012011509A (ja) 工作機械の熱変位補正方法および熱変位補正装置
JP6990739B2 (ja) ワイヤ放電加工装置
JPH05104333A (ja) 型彫り放電加工装置
JP2023167730A (ja) ステージ装置、荷電粒子線装置及び真空装置
JPH01295743A (ja) 工作機械の主軸熱変位補正装置
JP4944863B2 (ja) 熱可塑性溶融樹脂の塗布による成形体の製造装置および方法
JP4267369B2 (ja) 工作機械
JP2003311589A (ja) 微細形状の加工方法とその装置
JPH0584628A (ja) 工作機械の熱変位補正装置