JP6990739B2 - ワイヤ放電加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワイヤ電極を用いて放電加工を行うワイヤ放電加工装置に関し、特に、上下に延びるコラムから横に延びてワイヤ電極を上側で案内する上側ガイドユニットを支持する上側支持体と、コラムから横に延びてワイヤ電極を下側で案内する下側ガイドユニットを支持する下側支持体とを備えた放電加工装置に関する。

従来、ワイヤ電極を用いて被加工物を放電加工するワイヤ放電加工装置が用いられている。ワイヤ放電加工装置は、被加工物とワイヤ電極の間の放電現象を利用して加工を行うため、切削加工では不可能な硬い金属やセラミックス等の高硬度材を精密加工することができる。
近年、耐久性向上の観点から高硬度材が金型等の様々な部品に使用されるようになり、ワイヤ放電加工装置には高いレベルでの加工精度の実現が要求されるようになってきた。

また高精度の加工を行う場合、ワイヤ放電加工装置の設置環境は恒温室を推奨しているが、特に海外のユーザーにおいて準恒温室または簡易空調環境でも高精度の加工を実現したいという要望が多くなっており、多少の環境温度変化があっても加工精度が大きく悪化しない機械の開発が望まれていた。

被加工物を加工する場合、コラムから水平方向に延伸した上側支持体および下側支持体の先端にそれぞれ取り付けられた上側ガイドユニットと下側ガイドユニットの間にワイヤ電極を配置し、上側ガイドユニットと下側ガイドユニットの相対的な位置制御を行うことで、ワイヤ電極を所望の角度に配置して精密な形状に被加工物を加工する。

従来から外部環境の温度変化等によりワイヤ放電加工装置の上側ガイドユニットおよび下側ガイドユニットを支持する支持体等の温度が上昇または下降すると、支持体が膨張または収縮して熱変形が生じ、上側ガイドユニットと下側ガイドユニットの相対的な位置ずれが発生して、加工精度の低下を引き起こすという問題が生じていた。
このことから、熱による変形が少なく剛性の高い素材であるセラミックスを各部品に適用した放電加工装置（特許文献１、特許文献２）が知られている。

特開昭６２－２６４８１８号公報 特開昭６２－１７６７３５号公報 特許第５９２２９９５号公報

しかしながら、各支持体はその形状や構造などを実現するための製造上の制限から一部の部品を鋳鉄製とせざるを得ない場合が多い。上側支持体の一部を鋳鉄製とし、その他の部品をセラミックス等の材料から形成すると、２つの問題が発生する。

１点目は、放電加工中に環境温度が変化した場合に、材料の線膨張係数が異なるため、上側支持体の熱変化による水平方向の長さの変化量が、下側支持体の熱変化による水平方向の長さの変化量よりも大きくなり、上側ガイドユニットを支持する位置と下側ガイドユニットを支持する位置とが意図していた位置からずれてしまうという問題である。
この問題を解決するために、材質の違いを考慮して上側支持体の温度変化による変化量と下側支持体の温度変化による変化量が等しくなるように各部品の水平方向の長さの選定を行うワイヤ放電加工装置に関する発明（特許文献３）等が開示されている。

２点目は、材質の異なる部品を使用して支持体を構成する場合、部品同士を結合する締結面に熱膨張率の差により熱応力が生じ、接合強度が著しく低下するといった問題である。具体的には、温度が変化した際に内部応力により締結面周辺の部品がひずみ、外部からの衝撃によって締結面において部品同士がずれてしまうというものである。

上記２つの問題に関して、本願発明者らが鋭意検討を行った結果、支持体同士の水平方向の長さを調整するだけでなく上側支持体の構造に創意工夫を凝らすことで、さらに外部の熱の変化や外力を受けた際の傾きおよび変位が最小限となる上側支持体を発明するに至った。
また、熱膨張率の異なる部品同士を結合する締結面に創意工夫を凝らすことで、内部応力を分散させることが可能な上側支持体を発明するに至った。

このように、上側支持体の形状および構造にさらに改良を加えることで、上側ガイドユニットと下側ガイドユニットの温度変化によって生じる相対位置のずれおよび締結面の部品同士のずれを最小限に抑えた放電加工装置を提供することを目的とする。

本発明は、コラムに取り付けられワイヤ電極を下側で案内する下側ガイドユニットを支持する下側支持体と、前記ワイヤ電極を上側で案内する上側ガイドユニットを支持する上側支持体と、前記上側支持体を少なくとも１つの軸方向に移動させる軸駆動部を備えたワイヤ放電加工装置であって、前記上側支持体が、前記軸駆動部に移動可能に固定されたアーム支持部と、前記アーム支持部から伸延し水平面に対して傾斜して配置された傾斜アームと、上端が前記傾斜アームに固定され、下端に前記上側ガイドユニットが設けられて、水平面に対して垂直となるように配置された垂直アームを備えたことを特徴とする。
また本発明のワイヤ放電加工装置は、前記傾斜アーム、前記垂直アームおよび前記下側支持体は、セラミックスで形成されていることを特徴とする。
さらに本発明のワイヤ放電加工装置は、前記傾斜アームの水平面に対する傾斜角度は、３０°以上６０°以下であることを特徴とする。

ここで「軸駆動部」とは、上側支持体を移動させるための駆動機構の総称であり、本実施形態においては、コラム、Ｕ軸サドル、Ｖ軸スライダーおよびＺ軸ベースを指すものとする。
また「水平面」とは、Ｘ軸およびＹ軸によって形成されるＸＹ平面のことを指すものとする。
さらに「軸方向」とは、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｕ軸、Ｖ軸のいずれかの方向を指すものとする。
本発明によれば、上側支持体が傾斜アームおよび垂直アームから形成されておりさらに材質がセラミックスで形成されているため、熱による変形が少なく剛性の高いワイヤ放電加工装置を提供することが可能となる。
さらに、傾斜アームの水平面に対する傾斜角度を３０°以上６０°以下とすることで、上側支持体をより剛性の高い構造とすることができる。

本発明は、前記アーム支持部は鋳鉄で形成されており、前記傾斜アームとの締結面に複数の溝が設けられていることを特徴とする。

アーム支持部と傾斜アームの材質が異なる場合、熱膨張率の差により締結面に熱応力が発生し、接合強度が著しく低下することがある。具体的には、温度が変化した際に内部応力により締結面周辺の部品がひずみ、外部からの衝撃によって締結面において部品同士がずれてしまう。
しかしながら本発明によれば、アーム支持部の傾斜アームとの締結面に複数の溝が設けられているため、線膨張係数の違いによる伸びの差をアーム支持部側の曲げとして逃がし、締結面に応力が集中するのを防ぐことが可能となる。

本発明のワイヤ放電加工装置は、前記下側支持体の前記コラムへの固定位置を基準位置として、前記下側支持体の温度変化による水平１軸方向の前記基準位置から前記下側ガイドユニットの水平１軸方向の端部までの長さの変化量と、前記上側支持体の温度変化による水平１軸方向の前記基準位置から前記上側ガイドユニットの水平１軸方向の端部までの長さの変化量が等しくなるように、前記軸駆動部、前記アーム支持部、前記傾斜アームおよび前記垂直アームの長さが構成されることを特徴とする。

ここで「水平１軸方向」とは、ワイヤ放電加工機で規定されたＸＹ平面のうち１軸を指し、本実施形態ではＹ軸方向を指している。
本発明によれば、下側支持体と上側支持体との温度変化による変位量の差が小さくなり、下側支持体に支持された下側ガイドユニットに対する上側支持体に支持された上側ガイドユニットの温度変化による位置のずれをさらに抑制できる。
ここで「等しくなる」とは、変化量が必ずしも厳密に一致する必要はなく、放電加工における所望の加工精度を実現可能な範囲の近い値であればよい。例えば、下側支持体のコラムへの固定位置を基準位置として、下側支持体の温度変化による水平１軸方向の前記基準位置から下側ガイドユニットの水平１軸方向の端部までの長さの変化量と、上側支持体の温度変化による水平１軸方向の前記基準位置から上側ガイドユニットの水平１軸方向の端部までの長さの変化量の差が３０％以下になるようにすることが好ましく、２０％以下になるようにすることがより好ましく、１０％以下になるようにすることがさらに好ましい。

本発明のワイヤ放電加工装置は、上側支持体および下側支持体をセラミックスで形成して、各部材の長さの選定を行い、さらに傾斜アームを導入することで、上側ガイドユニットと下側ガイドユニットの温度変化によって生じる相対位置のずれおよび上側支持体の反りや変形を抑制し、剛性の高い放電加工装置を提供することが可能となる。

本発明の実施形態に係るワイヤ放電加工装置１００の概略を示す側面図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６の第１の実施形態を示す斜視図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６の第１の実施形態を示す側面図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６のアーム支持部６１周辺が熱変形した状態を示す模式図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６のアーム支持部６１周辺を示す断面拡大図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６のアーム支持部６１の傾斜アーム取付面６１１を示す模式図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６および下側支持体７の水平方向の長さの計算方法を示す説明図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体２６の第２の実施形態を示す斜視図である。 ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体２６の第２の実施形態を示す側面図である。 比較例１の上側支持体５００を示す斜視図である。 比較例２の上側支持体６００を示す斜視図である。

＜１． 第１の実施形態＞
（１．１ ワイヤ放電加工装置１００の全体構成）
以下、図を用いて本発明の第１の実施形態について詳細に説明する。図１は、本発明の実施形態に係るワイヤ放電加工装置１００の概略を示す側面図である。図２は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６の第１の実施形態を示す斜視図であり、図３は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６の第１の実施形態を示す側面図である。

ワイヤ放電加工装置１００は、設置面に載置されたベッド１と、水平方向であるＹ軸方向に往復移動可能にベッド１上に設置されたコラム２と、このコラム２の上にＸ軸方向と平行な水平１軸方向（Ｕ軸方向）に往復移動可能に水平に設置されたＵ軸サドル５１と、Ｕ軸サドル５１の上にＹ軸方向と平行な水平１軸方向（Ｖ軸方向）に往復移動可能に水平に設置されたＶ軸スライダー５２とを備え、さらにＶ軸スライダー５２の一端にはＺ軸方向に往復移動可能なＺ軸ベース９が取り付けられている。ここで、コラム２、Ｕ軸サドル５１、Ｖ軸スライダー５２およびＺ軸ベース９を総称して軸駆動部１０と記す。
またＹ軸方向と垂直な方向（Ｘ軸方向）に移動可能に設置されたテーブル３を備え、テーブル３には加工槽４が取り付けられ、被加工物を加工槽４内のワークスタンド上に載置することができる。
また、Ｚ軸ベース９には水平方向に伸延した上側支持体６が固定され、上側支持体６の他端には上側ガイドユニット８２が固定されている。また、コラム２の下方の側壁には、コラム２から延びた下側支持体７が固定されており、他端には下側ガイドユニット８１が固定されている。

ベッド１の上部にはＹ軸方向に延びる複数のレール１１と、Ｘ軸方向に延びる複数のレール１３が固定され、レール１１はコラム２の底部に固定された複数のリニアガイド２１と係合し、レール１３はテーブル３の底部に固定された複数のリニアガイド３１と係合している。それによりコラム２はＹ軸方向に直線移動可能となっており、テーブル３はＸ軸方向に直線移動可能となっている。同様に、コラム２の上部にはＵ軸方向に延びる複数のレール２２が固定され、これらのレール２２は、Ｕ軸サドル５１の底部に固定された複数のリニアガイド５１ａと係合している。それによりＵ軸サドル５１は、Ｕ軸方向に直線移動可能となっている。またＵ軸サドル５１の上部にはＶ軸方向に延びる複数のレール５１ｂが固定され、これらのレール５１ｂは、Ｖ軸スライダー５２の底部に固定された複数のリニアガイド５２ａと係合している。それによりＶ軸スライダー５２は、Ｖ軸方向に直線移動可能となっている。
なおリニアガイド２１，３１，５１ａ，５２ａは公知のものが適宜利用可能であり、コラム２、Ｕ軸サドル５１、Ｖ軸スライダー５２、Ｚ軸ベース９、テーブル３は、モータ等の駆動部材により各方向に往復移動する。

Ｚ軸ベース９は、Ｕ軸サドル５１に固定された支持体９１と、支持体９１の前端に設けられたＺ軸方向に延びる複数のレール９２から構成される。これらのレール９２は、上側支持体６に設けられたアーム支持部６１の支持体９１に対向する面に固定された複数のリニアガイド６１ａと係合している。これにより上側支持体６は、支持体９１に対して上下方向つまりＺ軸方向に相対直線移動可能となっている。

ワイヤ放電加工装置１００は、図示しない放電加工用の電源装置から被加工物とワイヤ電極Ｗとに加工電圧を供給しつつ、図示しない制御装置により、ワークスタンドに載置された被加工物を上側ガイドユニット８２と下側ガイドユニット８１の間に掛け渡されたワイヤ電極Ｗに対して所望の経路に沿って相対的に移動させ、放電加工を行うことができる。

上側支持体６は、Ｚ軸ベース９にリニアガイド６１ａを介してＺ軸方向に往復移動可能に取り付けられたアーム支持部６１と、アーム支持部６１のＺ軸ベース９に対向する面に固定された傾斜アーム６２と、傾斜アーム６２のアーム支持部６１に対向する面に固定された垂直アーム６３から構成される。

アーム支持部６１は、Ｚ軸ベース９と上側支持体６を接続するための部材であり、断面矩形状の本体６１４と、本体６１４の側周に設けられた複数の補強板６１３から構成される。補強板６１３を設けることでアーム支持部６１の剛性を強くでき、さらに軽量化を図ることができる。アーム支持部６１は、製造上の制約から鋳鉄で形成されている。アーム支持部６１の支持体９１に対向する面には、複数のリニアガイド６１ａが固定されている。

傾斜アーム６２は図２、図３に示すように、その一端がアーム支持部６１に固定されており、他端は垂直アーム６３の上端に固定されている。傾斜アーム６２は、角柱形状もしくは円柱形状である上側水平部６２１、傾斜部６２２、下側水平部６２３から構成され、上側水平部６２１、傾斜部６２２および下側水平部６２３は一体的に形成されている。傾斜アーム６２の両側面の中央部には、傾斜アーム６２を軽量化するための溝６２４が設けられているとともに、同様に下側水平部６２３の上面にも軽量化のための溝６２６が設けられている。
上側水平部６２１および下側水平部６２３は、ＸＹ平面に対して平行に設けられ、傾斜部６２２はＸＹ平面に対して傾斜角度θで傾斜した状態で設けられる。傾斜角度θは好ましくは３０°以上６０°以下がよい。
傾斜アーム６２は熱による変形が少なく剛性の高い素材であるセラミックスで形成されている。

図４は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６のアーム支持部６１周辺が熱変形した状態を示す模式図である。図５は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６のアーム支持部６１周辺を示す断面拡大図であり、図６は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６のアーム支持部６１の傾斜アーム取付面６１１を示す模式図である。
外部環境の変化により上側支持体６の温度が上昇すると、アーム支持部６１と傾斜アーム６２の材質の違いによる熱膨張率の差により、締結面に内部応力が発生する（図４）。傾斜アーム６２の材質であるセラミックスは、アーム支持部６１の材質である鋳鉄と比べると線膨張係数が約半分であるため、温度変化が大きい場合には締結面に平行に働く圧縮と引っ張り応力が大きくなり、比較的小さな衝撃が加えられた場合であっても締結部分がずれてしまう可能性がある。
よって、傾斜アーム取付面６１１に複数の溝６１２を設け、線膨張係数の違いによる伸びの差をアーム支持部６１側の曲げとして逃がし、締結面に応力が集中しないように分散させる。溝６１２は、アーム支持部６１と傾斜アーム６２を接合するための複数の取付ボルト６２５の間に設ける（図５，図６）。

垂直アーム６３は、長尺の角柱形状もしくは円柱形状の部材であって、上端が傾斜アーム６２に固定され、下端には上側ガイドユニット８２が設けられている。垂直アーム６３は、ＸＹ平面に垂直に設けられている。
垂直アーム６３も傾斜アーム６２と同様にセラミックスで形成されている。

下側支持体７は、コラム２の下方の側壁に固定されてコラム２から延びる角柱形状もしくは円柱形状の部材であって、先端に下側ガイドユニット８１が固定されている。下側支持体７はセラミックスで形成され、下側ガイドユニット８１は、鋳鉄の線膨張係数よりも大きい線膨張係数を有する材料であるステンレスから形成される。

（１． ２ 上側支持体６および下側支持体７の水平方向の長さの計算）
図７は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体６および下側支持体７の水平方向の長さの計算方法を示す説明図である。
本実施形態では、下側支持体７のコラム２への固定位置を基準位置Ｈとして、下側支持体７の温度変化による水平１軸方向の基準位置Ｈから下側ガイドユニット８１の水平１軸方向の端部ＨＬまでの長さの変化量と、上側支持体６の温度変化による水平１軸方向の基準位置Ｈから上側ガイドユニット８２の水平１軸方向の端部ＨＵまでの長さの変化量が等しくなるように、軸駆動部１０、アーム支持部６１、傾斜アーム６２および垂直アーム６３の長さを決定している。
基準位置Ｈから下側支持体７の端部までの温度変化による水平１軸方向の長さＬ２１の変化量ΔＬ２１と、下側ガイドユニット８１の温度変化による水平１軸方向の長さＬ２２の変化量ΔＬ２２の和が、基準位置Ｈからアーム支持部６１の端部までの温度変化による水平１軸方向の長さＬ１１の変化量ΔＬ１１と、傾斜アーム６２および垂直アーム６３の温度変化による水平１軸方向の長さＬ１２の変化量ΔＬ１２と、上側ガイドユニット８２の温度変化による水平１軸方向の長さＬ１３の変化量ΔＬ１３の和と同じになるように、つまり下記式（１）が成立するように、軸駆動部１０、アーム支持部６１、傾斜アーム６２および垂直アーム６３の長さを決定する。
下記式（１ａ）では、軸駆動部１０およびアーム支持部６１を形成する材料である鋳鉄の線膨張係数をＡ１１、傾斜アーム６２、垂直アーム６３および下側支持体７を形成する材料であるセラミックスの線膨張係数をＡ１２、下側ガイドユニット８１および上側ガイドユニット８２を形成するステンレスの線膨張係数をＡ１３、温度変化をΔｔとすると、ΔＬ１１＝Ａ１１×Ｌ１１×Δｔ、ΔＬ１２＝Ａ１２×Ｌ１２×Δｔ、ΔＬ１３＝Ａ１３×Ｌ１３×Δｔ、ΔＬ２１＝Ａ１２×Ｌ２１×Δｔ、ΔＬ２２＝Ａ１３×Ｌ２２×Δｔと表すことができるため、これらを下記式（１）に代入して整理すると、結局、式（１）は、以下の式（１ａ）のように変形できる。

ΔＬ１１＋ΔＬ１２＋ΔＬ１３＝ΔＬ２１＋ΔＬ２２・・・（１）
Ａ１１×Ｌ１１＋Ａ１２×Ｌ１２＋Ａ１３×Ｌ１３＝Ａ１２×Ｌ２１＋Ａ１３×Ｌ２２
・・・・（１ａ）

本実施形態では、上記式（１ａ）を満たすように、長さＬ１１、Ｌ１２、Ｌ１３、Ｌ２１およびＬ２２を演算し、軸駆動部１０、アーム支持部６１、傾斜アーム６２および垂直アーム６３の長さを決定する。軸駆動部１０の長さとしては具体的にはＺ軸ベース９の長さを決定するものであり、アーム支持部６１の長さおよびその他の要素を加味し決定する。
このように構成することで下側支持体７と上側支持体６との温度変化による変位量の差が非常に小さくすることが可能で、下側支持体７に支持された下側ガイドユニット８１に対する上側支持体６に支持された上側ガイドユニット８２の温度変化による相対的な位置のずれを好適に抑制できる。
なお、上側支持体６の温度変化による水平１軸方向の変化量が、下側支持体７の温度変化による水平１軸方向の変化量の和と略等しいとは、必ずしも厳密に一致する必要はなく、放電加工における所望の加工精度を実現可能な範囲の近い値であればよい。

＜２．第２の実施形態＞
以下、図を用いて本発明の第２の実施形態について説明する。図８は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体２６の第２の実施形態を示す斜視図であり、図９は、ワイヤ放電加工装置１００の上側支持体２６の第２の実施形態を示す側面図である。
本発明の第２の実施形態のワイヤ放電加工装置の上側支持体２６は、第１の実施形態の上側支持体６を製品化するうえで検討用として作成した構造である。
上側支持体２６は、アーム支持部２６１と、傾斜アーム６２と、垂直アーム６３から構成される。
アーム支持部２６１は、断面矩形状の本体２６１４と、本体２６１４の対抗する２側面に設けられた複数の補強板２６１３から構成されている。
第２の実施形態である上側支持体２６を使用してシミュレーションを行い、第１の実施形態である上側支持体６の構造をさらに具体化し、製品化を行った。

＜３．シミュレーション例＞
第２の実施形態に係る上側支持体２６と、傾斜していない水平アームを有する上側支持体５００（比較例１、図１０）および上側支持体６００（比較例２、図１１）について比較を行うために数値シミュレーションを行った。ここで、図１０は、比較例１の上側支持体５００を示す斜視図であり、図１１は、比較例２の上側支持体６００を示す斜視図である。
具体的には（１）周囲の温度を２３℃から２６℃に上昇させた場合、（２）周囲の温度を２３℃から２０℃に下降させた場合、（３）上側ガイドユニットに対してＺ軸正方向（上方向）へ５０Ｎの力を加えた場合、の３つの場合について、上側ガイドユニットのＹ方向変位（μｍ）、上側支持体の上端および下端のＹ方向変位（μｍ）、上側支持体のＹ方向からの傾き（長さ５００μｍあたりの傾き量（μｍ））をシミュレーションにて計算を行った。

＜３．１ 周囲の温度を２３℃から２６℃に上昇させた場合のシミュレーション例＞
（表１）は、周囲の温度を２３℃から２６℃に上昇させた場合の上側支持体５００（比較例１、図１０）、上側支持体６００（比較例２、図１１）および第２の実施形態である上側支持体２６の上側ガイドユニットのＹ方向変位、上側支持体の上端および下端のＹ方向変位、上側支持体のＹ方向からの傾きを示したものである。

（表１）によれば、比較例１および比較例２の上側支持体５００，６００と比較して、傾斜アームを有する上側支持体２６は、温度が上昇した場合であってもＹ方向の変位を抑えかつＹ方向の傾きを最小限に抑えることができる構造であることがわかる。

＜３．２ 周囲の温度を２３℃から２０℃に下降させた場合のシミュレーション例＞
（表２）は、周囲の温度を２３℃から２０℃に下降させた場合の上側支持体５００（比較例１、図１０）、上側支持体６００（比較例２、図１１）および第２の実施形態である上側支持体２６の上側ガイドユニットのＹ方向変位、上側支持体の上端および下端のＹ方向変位、上側支持体のＹ方向からの傾きを示したものである。

（表２）によれば、比較例１および比較例２の上側支持体５００，６００と比較して、傾斜アームを有する上側支持体２６は、温度が下降した場合であってもＹ方向の変位が抑えられかつＹ方向の傾きを最小限に抑えることができる構造であることがわかる。

＜３．３ 上側ガイドユニットに対してＺ軸正方向（上方向）へ５０Ｎの力を加えた場合のシミュレーション例＞
（表３）は、上側ガイドユニットの下端からＺ軸正方向（上方向）へ５０Ｎの力を加えた場合の上側支持体５００（比較例１、図１０）、上側支持体６００（比較例２、図１１）および第２の実施形態である上側支持体２６の上側ガイドユニットのＹ方向変位、上側支持体の上端および下端のＹ方向変位、上側支持体のＹ方向からの傾きを示したものである。

（表３）によれば、比較例１および比較例２の上側支持体５００，６００と比較して、傾斜アームを有する上側支持体２６は、外力を受けた場合にＹ方向の変位およびＹ方向の傾きを最小限に抑えることができる構造であることがわかる。

本実施形態では、上側支持体６，２６をＵ軸、Ｖ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動させ、テーブル３をＸ軸方向に移動する構成であったが、テーブル３をＹ軸およびＸ軸方向に移動させる構成としてもよい。
また本実施形態においては、コラム２の上に設けられたＵ軸サドル５１がＵ軸方向に移動する構成であったが、Ｚ軸ベース９と上側支持体６，２６の間にＵ軸スライダーを設けて、Ｕ軸スライダーにより上側支持体６，２６をＵ軸方向に往復移動させる構成とすることもできる。

以上説明した本発明は、この発明の精神および必須の特徴的事項から逸脱することなく他のいろいろな形態で実施することができる。したがって、本明細書に記載した実施例は例示的なものであり、これに限定して解釈されるべきものではない。

１ ベッド
２ コラム
３ テーブル
４ 加工槽
５１ Ｕ軸サドル
５２ Ｖ軸スライダー
６ 上側支持体
７ 下側支持体
８１ 下側ガイドユニット
８２ 上側ガイドユニット
９ Ｚ軸ベース
Ｗ ワイヤ電極
１００ ワイヤ放電加工装置

Claims (4)

1. コラムに取り付けられワイヤ電極を下側で案内する下側ガイドユニットを支持する下側支持体と、前記ワイヤ電極を上側で案内する上側ガイドユニットを支持する上側支持体と、前記上側支持体を少なくとも１つの軸方向に移動させる軸駆動部を備えたワイヤ放電加工装置であって、
   前記上側支持体が、前記軸駆動部に移動可能に固定されたアーム支持部と、前記アーム支持部から伸延し水平面に対して傾斜して配置された傾斜アームと、上端が前記傾斜アームに固定され、下端に前記上側ガイドユニットが設けられて、水平面に対して垂直となるように配置された垂直アームを備え、
   前記下側支持体の温度変化による水平１軸方向の変化量と、前記上側支持体の温度変化による水平１軸方向の変化量が等しくなるように、前記軸駆動部、前記アーム支持部、前記傾斜アームおよび前記垂直アームの長さが構成されることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
2. 前記傾斜アーム、前記垂直アームおよび前記下側支持体は、セラミックスで形成されていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ放電加工装置。
3. 前記アーム支持部は鋳鉄で形成されており、前記傾斜アームとの締結面に複数の溝が設けられていることを特徴とする請求項１記載のワイヤ放電加工装置。
4. 前記傾斜アームの水平面に対する傾斜角度は、３０°以上６０°以下であることを特徴とする請求項１記載のワイヤ放電加工装置。

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