JP5657715B2 - ワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機 - Google Patents

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Description

本発明は、ワイヤ放電加工機に関し、特に、加工液の液圧によるワイヤ電極の変位を補正する機能を有するワイヤ放電加工機に関する。
図3は従来のワイヤ放電加工機における、ワイヤ電極3と工作物4の関係を示す図である。ワイヤ放電加工機はワイヤ電極3と、工作物4との間に放電を発生させることで工作物4の加工を行う機械である。加工液10を貯留する加工槽12内に放電加工により加工する工作物4を載置する工作物取付け台11が配設される。上部ノズル1は工作物4の上部から加工液を噴出させる。下部ノズル2は工作物4の下部から加工液を噴出させる。上部ワイヤガイド5は工作物4の上部でワイヤ電極3を保持し、下部ワイヤガイド6は工作物4の下部でワイヤ電極3を保持する。上部ノズル1および上部ワイヤガイド5は上ガイドブロック13に備わっており、下部ノズル2および下部ワイヤガイド6は下アーム14に備わっている。
ワイヤ放電加工機はワイヤ電極3と工作物4の間で加工液を介して放電加工を行う。ワイヤ電極3と工作物4間の加工部に加工液が供給されない状態で放電を行うと加工が不安定化し、最悪の場合、ワイヤ電極3の断線が起こってしまう。また、加工を行うと加工部で加工屑が発生するが、加工部に加工屑が存在した状態のまま放電加工を行うと、加工が安定化しない。そのため、安定した加工を行うため、上部ノズル1及び下部ノズル2から加工液を加工部に高圧で噴出させることで、加工屑を吹き飛ばしながら加工を行っている。
しかし、図3で示すように、上部ノズル1及び下部ノズル2から加工液を高圧で噴出させた場合、噴出させた加工液の反発力をうけて機械(上ガイドブロック13や下アーム14)が変形することで、上部ワイヤガイド5及び下部ワイヤガイド6の位置とワイヤ電極3の位置が正常な位置から変位してしまう。図3において、実線は加工液の液圧によって変位したワイヤ電極3と機械状態(上ガイドブロック13や下アーム14の状態)を、破線は加工液の液圧によって引き起こされる変位がないワイヤ電極3と機械状態(上ガイドブロック13や下アーム14の状態)を示している。
上部ノズル1及び下部ノズル2から噴出された加工液の液圧の反発力によって、機械(上ガイドブロック13や下アーム14)が変形し、ワイヤ電極3を保持している上部ワイヤガイド5および下部ワイヤガイド6のガイド位置が変位してしまうと、ワイヤ電極3と工作物4との相対位置がずれてしまい、加工プログラムに基づく加工指令からずれた位置を加工することになってしまう。従って、上部ノズル1及び下部ノズル2から高圧で加工液を噴出させることは、安定した加工を行うためには必要不可欠な半面、加工精度を悪化させる要因にもなっているという問題があった。
この問題に対し、上部,下部ノズル1,2からの加工液噴出時の反発力により発生するガイド位置の変位を補正する従来方法として、特許文献1には、加工を開始する前に予め、行う加工条件での加工液圧を噴出し、その際のガイド位置の変位量をインジケータなどで測定し、その変位量をワイヤ放電加工機の制御装置に入力しておくことで、加工時には変位量分だけ補正して加工を行う点が開示されている。
特開平2−160424号公報
しかし、噴出される加工液の液圧は工作物4の形状、加工の形状、加工条件により変化するため一定ではなく加工中に変化する。そのため、予め加工液の液圧を測定したとしても、測定の際に噴出させた加工液圧と実際の加工中に噴出される加工液圧とでは異なる場合があり、さらに、加工中の加工液圧の変化にも対応できないため、適正な液圧による変位に対する補正を与え続けることができない。また、加工条件を変えたり、工作物4を取り替えたりするたびに、上部ノズル1と下部ノズル2の変位量を測定し、ワイヤ放電加工機の制御装置に入力していてはその分、時間と工数が必要となる。さらに、上部ノズル1と下部ノズル2変位量を測定する際、計測ミスにより補正量を誤ってしまう可能性もある。
従って、加工前に加工液圧による上部ワイヤガイド5及び下部ワイヤガイド6の変位量を測定し、補正量を決定する補正方法では、実際の加工で適正な補正を与え続けることができず、工数の多さからも現実的ではないという問題があった。
そこで本発明の目的は、上記従来技術の問題点を鑑み、上部ノズル及び下部ノズルから噴出される加工液の液圧を検出し、予め記憶された関係式に基づいて、前記検出した加工液の液圧に応じてワイヤ電極の変位を補正するワイヤ放電加工機を提供することである。
本願の請求項1に係る発明は、加工プログラムに従って、上部ノズルおよび下部ノズル内にそれぞれ設けられたワイヤガイドによって支持されたワイヤ電極と被加工物とを相対移動させると共に、前記上部,下部ノズルから加工液の供給を行いながら放電加工を行うワイヤ放電加工機において、放電加工中に前記上部,下部ノズルから供給される加工液の液圧を検出する液圧検出手段と、前記加工液の液圧と前記ワイヤ電極と前記被加工物との相対位置の変位量の関係を表す関係式を記憶する記憶装置と、前記液圧検出手段で検出した加工液の液圧に対応する補正値を前記記憶装置の関係式に基づいて求め、該補正値を用いて前記加工プログラムの指令値を補正して前記ワイヤ電極の位置を補正する制御装置と、を備えたことを特徴とするワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機である。
請求項2に係る発明は、前記液圧検出手段は、上部ノズル用液圧検出手段と下部ノズル用液圧検出手段であることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機である。
請求項3に係る発明は、前記加工プログラムの指令値を前記補正値により補正するにあたり、前記加工プログラムの指令値を補正する補正時間間隔、および該補正時間間隔1回あたりに補正する出力補正値を設定する設定手段と、前記補正値を前記設定手段により設定された補正時間間隔および前記出力補正値に基づいて出力する補正値出力手段を有することを特徴とする請求項1または2の何れか1つに記載のワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機である。
本発明により、上部ノズル及び下部ノズルから噴出される加工液の液圧を検出し、予め記憶された関係式に基づいて、前記検出した加工液の液圧に応じてワイヤ電極の変位を補正するワイヤ放電加工機を提供できる。
本発明に係るワイヤ放電加工機の実施形態を説明する概略構成図である。 図1の破線部分を拡大して説明する図である。 従来技術を説明する図である。
以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。なお、従来技術と同一または類似する構成は同じ符号を用いて説明する。
図1は本発明に係るワイヤ放電加工機の実施形態の構成図である。ワイヤ放電加工機60はワイヤ電極3と、被加工物である工作物4との間に放電を発生させることで工作物4の加工を行う機械である。ワイヤ放電加工機60は、ベット20上に、X軸モータ26が駆動するボールネジ31によってX軸方向に移動するサドル(X軸)19を備え、サドル(X軸)19の上に、Y軸モータ25が駆動するボールネジ30によってY軸方向に移動するテーブル(Y軸)18を備える。テーブル(Y軸)18上には内部に工作物4を載置する工作物取付け台11を備えた加工槽12が固定されている。
コラム21はベット20に垂直に立てられる。コラム21の側面部には下アーム14が水平に取り付けられる。下アーム14の先端には下部ノズル2と下部ワイヤガイド6が取り付けられている。下部ノズル2と下部ワイヤガイド6は工作物取付け台11に載置される工作物4の下方に位置する。コラム21はその上部にVサドル(V軸)15を備える。Vサドル(V軸)15はV軸モータ29が駆動するボールネジ34によってV軸方向に移動する。V軸方向はY軸方向と同じである。Vサドル(V軸)15にはサドル(U軸)16が取り付けられている。サドル(U軸)16はU軸モータ28が駆動するボールネジ33によってU軸方向に移動する。U軸方向はX軸方向と同じである。
サドル(U軸)16にはヘッド17が取り付けられている。ヘッド17はZ軸モータ27が駆動するボールネジ32によってZ軸方向に移動する。ヘッド17には上ガイドブロック13が固定されている。上ガイドブロック13の端部に上部ノズル1および上部ワイヤガイド5が取り付けられている。Y軸モータ25,X軸モータ26,Z軸モータ27,U軸モータ28,V軸モータ29はそれぞれ、制御装置50と動力・信号線35,36,37,38,39によって接続されており、各モータは図示しないアンプを備えた制御装置50から動力(電力)が供給されると共に、制御装置50との間で各種信号の授受を行う。なお、図1では、X軸およびU軸は紙面に垂直な方向、Y軸およびV軸は紙面の左右方向、Z軸は紙面の上下方向である。
加工槽12がテーブル(Y軸)18上に取り付けられている。加工槽12の槽内に工作物取付け台11が配設される。工作物取付け台11には、放電加工により加工する工作物4が載置される。放電加工は加工槽12内に加工液10を貯留した状態で実行される。上部ノズル1は工作物4の上部から加工液を噴出させる。下部ノズル2は工作物4の下部から加工液を噴出させる。上部ワイヤガイド5は工作物4の上部でワイヤ電極3を保持し、下部ワイヤガイド6は工作物4の下部でワイヤ電極3を保持する。
ワイヤ放電加工機60はワイヤ電極3と工作物4の間で加工液10を介して放電加工を行う。ワイヤ電極3と工作物4間の加工部に加工液が供給されない状態で放電を行うと加工が不安定化し、最悪の場合、ワイヤ電極3の断線が起こってしまう。また、加工を行うと加工部で加工屑が発生するが、加工部に加工屑が存在した状態のまま放電加工を行うと、加工が安定化しない。そのため、安定した加工を行うため、加工液ポンプ9は図示省略した加工液を貯留する貯留槽(例えば清水槽)から加工液を汲み上げ、管路22,管路23,管路24を経由して上部ノズル1及び下部ノズル2から加工液を加工部に高圧で噴出させる。噴出された加工液で加工屑を吹き飛ばしながらワイヤ放電加工を行う。
加工液ポンプ9は図示しないアンプを備えた制御装置50と動力・信号線40で接続され、制御装置50によって駆動制御される。制御装置50から加工液ポンプ9に動力(電力)が供給され、制御装置50と加工液ポンプ9との間で信号の授受を行う。加工液ポンプ9は、分岐管路22、管路23を介して上部ノズル1に加工液を供給すると共に、分岐管路22、管路24を介して下部ノズル2に加工液の供給を行う。上部ノズル1から放電加工中の加工部に加工液が噴射される。下部ノズル2から放電加工中の加工部に加工液が噴射される。
管路23に配設される上部加工液圧検出器7は上部ノズル1から噴出される加工液の液圧を検出する。管路24に配設される下部加工液圧検出器8は下部ノズル2から噴出される加工液の液圧を検出する。上部加工液圧検出器7と下部加工液圧検出器8で検出されたそれぞれの検出液圧値は、信号線41,42を介して制御装置50に送られる。なお、上部ノズル1と下部ノズル2から噴出される加工液の液圧は、工作物4と各ノズル1,2間の間隔が相違する場合、それぞれのノズル1,2から噴出される加工液の液圧は異なる。そのため、上部ノズル1と下部ノズル2のそれぞれから噴出される加工液の液圧をそれぞれの管路に設けられた液圧検出器を用いて検出する。
制御装置50はワイヤ放電加工機を全体的に制御する装置であり、図示しない演算装置、表示装置、各種信号の入出力用インタフェース、アンプを備えており、さらに、各種データを記憶する記憶装置51を備えている。なお、記憶装置51を制御装置50に接続される外部記憶装置を用いてもよい。図1では図示しない演算装置、表示装置、各種信号の入出力用インタフェース、アンプを総称して演算処理装置52と称する。制御装置50が加工液の検出液圧値に応じた値を算出できるように、加工液の液圧と上部ワイヤガイド5と下部ワイヤガイド6の変位量の関係は数式の形で予め記憶装置51内に記憶されている。関係式は上部加工液圧検出器7用と下部加工液圧検出器8用とそれぞれ用意する。制御装置50の演算処理装置52は、上部加工液圧検出器7及び下部加工液圧検出器8により検出したそれぞれの検出液圧値に応じた上,下ガイド5,6の変位量を、記憶装置51に記憶した関係式を基に求め、変位量を基に上,下ガイド5,6の上部ワイヤガイド位置補正値A,下部ワイヤガイド位置補正値Bを算出し、加工プログラムによる加工指令を前記補正値により補正した加工指令に基づいてワイヤ放電加工機60の各軸の制御を行う(表1,表2参照)。
上部加工液圧検出器7及び下部加工液圧検出器8は加工液ポンプ9と上部ノズル1及び下部ノズル2を結ぶ管路23,24の途中に設置され、上部ノズル1及び下部ノズル2各々から噴出される加工液の液圧は加工中、常に上部加工液圧検出器7及び、下部加工液圧検出器8によって検出される。これにより工作物4の形状、加工形状及び加工条件の変化による、加工液圧の変化にも、正確かつ即時対応することが可能になり、ワイヤ電極3の位置変位に対して適正な補正を与え続けることが可能になる。
制御装置50は、上部加工液圧検出器7及び下部加工液圧検出器8で検出した液圧値をもとに記憶装置51内に記憶された関係式を基に、上部ワイヤガイド5及び下部ワイヤガイド6それぞれについての位置変位量を求める。そして、加工プログラムに基づく移動指令を、上部ワイヤガイド5と下部ワイヤガイド6の求めた位置変位量に基づいて補正する補正値を求める。表1は加工液の液圧と上部ワイヤガイド5、表2は加工液の液圧と下部ワイヤガイド6の補正値の一例を示した表である。なお、表1で加工液の水圧が1.5[Mpa]の時、上部ワイヤガイド位置補正値Aの10−Bで、数値の10が上部ワイヤガイド5の位置変位量である。下部ワイヤガイド位置補正量Bの数値の4が下部ワイヤガイド6の位置変位量である。
Figure 0005657715
Figure 0005657715
上部ワイヤガイド位置補正値をA、下部ワイヤガイド位置補正値をBとすると、上部ワイヤガイド位置補正値Aは上ガイドブロック13のV軸移動の移動指令値に加えられ、下部ワイヤガイド位置補正値BはY軸移動の移動指令値に加えられる。ワイヤ電極3と工作物4との相対的な位置関係を補正するため、下部ワイヤガイド位置補正値Bは記憶装置51の数式により求めた位置変位量が補正値となるが、上部ワイヤガイド位置補正値Aは記憶装置51の数式により求めた位置変位量から下部ワイヤガイド位置補正値Bを引いた値である。これにより、ワイヤ放電加工機60の使用者が、補正値を計測する必要はなく、液圧検出器7,8により検出した液圧の変化に応じて制御装置50が自動的に記憶装置51に記憶された関係式を基にして補正値を算出する。これによって、使用者が、ガイド位置の変位や液圧、工作物の高さを入力する必要もない。また、使用者による人為的なミスが減り、補正を行うための計測や入力などの工数を削減しつつ適正な補正を加え続けることができる。
制御装置50が加工指令に加える補正値は、上部加工液圧検出器7及び下部加工液圧検出器8で検出された液圧が変化するたびに、制御装置50が記憶装置51に記憶された上部ワイヤガイド5及び下部ワイヤガイド6それぞれの関係式を基に補正値を算出し、上部ワイヤガイド5及び下部ワイヤガイド6それぞれの加工指令位置に補正値を加え直し続ける。これにより、加工中に上部ノズル1及び下部ノズル2から噴出される加工液の液圧が変化してもワイヤ電極3と工作物4との相対的な位置関係は常に元々の加工指令の位置関係になるように補正を与えることが可能となる。
上述した本発明の実施形態では、上部加工液圧検出器7と下部加工液圧検出器8とを用いた。上部ノズル1と下部ノズル2から噴出される加工液の液圧値が等しい場合、あるいは、2つの液圧値の関係が既知の場合には、上部加工液圧検出器7あるいは下部加工液圧検出器8のいずれか1つの加工液検出器のみを用いてもよい。
ところで、加工中に加工プログラムの移動指令の補正を行う場合、たとえば液圧が急激に変化し大きな補正値が求められ、短時間で補正位置に移動を行うと適正な位置に即座に補正することができるが、その補正移動が加工形状や面荒さに影響を与える可能性がある。
この可能性に対して、加工中に加工指令(加工プログラムの移動指令)へ加算される補正値は、補正値の加算を行う時間間隔を補正間隔として任意に設定することができ、補正時間間隔毎に加算する補正値の最大値についても、最大補正移動値として任意に設定することができるようにすることで解決する。制御装置50には時間間隔や補正時間間隔毎に加算する補正値の最大値を図示しない入力手段を用いて入力し、記憶装置51に入力した時間間隔や補正値の最大値を記憶することができる。たとえば、補正時間間隔を1秒ごと、補正時間間隔1回あたりに補正する出力補正値である最大補正移動値を1μmと設定すると、加工液の液圧を検出し、算出された補正値が2.5μmだった場合、1秒ごとに1μmずつで2回、0.5μmで1回に補正値を分けて加工指令に加算することで一度に加工指令へ補正値を加算するよりも滑らかな補正を与えることができるようになる。この補正時間間隔と最大補正移動値を設定することで、放電加工を行っている工作物4の加工形状や面荒さに、より適した補正の条件を与えることができるようになる。
上述したように、本発明を用いることで、上部ノズル1及び下部ノズル2から噴出する加工液の液圧によって起こるワイヤ電極3と工作物4との相対位置の変位は常に減らすことができる。
1 上部ノズル
2 下部ノズル
3 ワイヤ電極
4 工作物
5 上部ワイヤガイド
6 下部ワイヤガイド
7 上部加工液圧検出器
8 下部加工液圧検出器
9 加工液ポンプ
10 加工液
11 工作物取付け台
12 加工槽
13 上ガイドブロック
14 下アーム
15 Vサドル(V軸)
16 サドル(U軸)
17 ヘッド
18 テーブル(Y軸)
19 サドル(X軸)
20 ベット
21 コラム
22 管路
23 管路
24 管路
25 Y軸モータ
26 X軸モータ
27 Z軸モータ
28 U軸モータ
29 V軸モータ
30 ボールネジ
31 ボールネジ
32 ボールネジ
33 ボールネジ
34 ボールネジ
35 動力・信号線
36 動力・信号線
37 動力・信号線
38 動力・信号線
39 動力・信号線
40 動力・信号線
41 信号線
42 信号線

50 制御装置
51 記憶装置
52 演算処理装置
60 ワイヤ放電加工機

Claims (3)

  1. 加工プログラムに従って、上部ノズルおよび下部ノズル内にそれぞれ設けられたワイヤガイドによって支持されたワイヤ電極と被加工物とを相対移動させると共に、前記上部,下部ノズルから加工液の供給を行いながら放電加工を行うワイヤ放電加工機において、
    放電加工中に前記上部,下部ノズルから供給される加工液の液圧を検出する液圧検出手段と、
    前記加工液の液圧と前記ワイヤ電極と前記被加工物との相対位置の変位量の関係を表す関係式を記憶する記憶装置と、
    前記液圧検出手段で検出した加工液の液圧に対応する補正値を前記記憶装置の関係式に基づいて求め、該補正値を用いて前記加工プログラムの指令値を補正して前記ワイヤ電極の位置を補正する制御装置と、
    を備えたことを特徴とするワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機。
  2. 前記液圧検出手段は、上部ノズル用液圧検出手段と下部ノズル用液圧検出手段であることを特徴とする請求項1に記載のワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機。
  3. 前記加工プログラムの指令値を前記補正値により補正するにあたり、前記加工プログラムの指令値を補正する補正時間間隔、および該補正時間間隔1回あたりに補正する出力補正値を設定する設定手段と、
    前記補正値を前記設定手段により設定された補正時間間隔および前記出力補正値に基づいて出力する補正値出力手段を有することを特徴とする請求項1または2の何れか1つに記載のワイヤ電極位置補正機能を有するワイヤ放電加工機。
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US14/151,598 US20140197138A1 (en) 2013-01-11 2014-01-09 Wire electric discharge machine having function of compensating position of wire electrode
CN201410013410.XA CN103920946B (zh) 2013-01-11 2014-01-13 具有线电极位置修正功能的线放电加工机

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Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5870143B2 (ja) * 2014-04-03 2016-02-24 ファナック株式会社 上下ガイドの熱変位補正機能を有するワイヤ放電加工機
JP6219785B2 (ja) * 2014-06-23 2017-10-25 ファナック株式会社 断線修復手段を備えたワイヤ放電加工機
JP5981012B2 (ja) * 2014-11-19 2016-08-31 ファナック株式会社 上下面独立コーナ形状補正機能を有するワイヤ放電加工機
EP3023186A1 (en) 2014-11-19 2016-05-25 Fanuc Corporation Wire electric discharge machine having corner shape correcting function
US11067072B2 (en) * 2014-12-01 2021-07-20 Ecolab Usa Inc. Diaphragm pump for dosing a fluid and an according method
JP6321703B2 (ja) * 2016-03-04 2018-05-09 ファナック株式会社 ワイヤ放電加工機の検査システム
JP6444959B2 (ja) * 2016-11-01 2018-12-26 ファナック株式会社 ワイヤ放電加工機
JP6360212B1 (ja) * 2017-01-31 2018-07-18 ファナック株式会社 ワイヤ放電加工機
JP6707303B2 (ja) * 2017-12-15 2020-06-10 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工装置
CN110977067A (zh) * 2019-12-17 2020-04-10 牧野机床(中国)有限公司 一种线切割机床中可根据工件的形状自适应的控制系统
JP2021104564A (ja) * 2019-12-26 2021-07-26 ファナック株式会社 熱変位補正装置
JP6854953B1 (ja) * 2020-06-16 2021-04-07 株式会社ソディック ワイヤ放電加工装置
CN115365829A (zh) * 2022-08-15 2022-11-22 北京航天时代激光导航技术有限责任公司 激光陀螺槽片浅槽自动加工生产线、精度保证方法及系统

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2531892B1 (fr) * 1982-08-18 1990-09-14 Inoue Japax Res Procede et dispositif d'usinage electrique a fil mobile
JPS6156824A (ja) * 1984-08-27 1986-03-22 Amada Co Ltd 放電加工装置の電極送り制御方法
JPS61297019A (ja) * 1985-06-25 1986-12-27 Fanuc Ltd ワイヤカツト放電加工機
JPH0716825B2 (ja) * 1986-08-18 1995-03-01 フアナツク株式会社 ワイヤ放電加工装置
JPH0253526A (ja) * 1988-08-18 1990-02-22 Hoden Seimitsu Kako Kenkyusho Ltd ワイヤカット放電加工機
JPH02160424A (ja) 1988-12-15 1990-06-20 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置のワイヤ電極の位置補正方法
JPH0355127A (ja) * 1989-07-19 1991-03-08 Mitsubishi Electric Corp ワイヤ放電加工装置およびワイヤ電極位置補正装置
US5036712A (en) * 1990-02-09 1991-08-06 Lew Hyok S Inertia force flowmeter
JP2682310B2 (ja) * 1991-12-02 1997-11-26 三菱電機株式会社 ワイヤ放電加工方法及びその装置
JPH0631537A (ja) * 1992-07-21 1994-02-08 Fanuc Ltd ワイヤ放電加工機のワイヤ変位検出装置
JPH08155741A (ja) * 1994-12-06 1996-06-18 Fanuc Ltd ワイヤ放電加工機
DE19614134C2 (de) * 1996-04-10 2002-06-13 Agie Sa Drahterosionsmaschine und Verfahren zu deren Betrieb
JPH11165220A (ja) * 1997-12-03 1999-06-22 Fanuc Ltd オフセット補正機能付ワイヤ放電加工用制御装置
US6184485B1 (en) * 1999-03-16 2001-02-06 Industrial Technology Research Institute Method of measuring flexure value of wire electrode
JP2004351571A (ja) * 2003-05-29 2004-12-16 Fanuc Ltd ノズル隙間調整方法
JP4472558B2 (ja) * 2005-03-03 2010-06-02 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工方法
JP4153534B2 (ja) * 2006-05-30 2008-09-24 ファナック株式会社 ワイヤ放電加工機
TWI395627B (zh) * 2007-12-04 2013-05-11 Ind Tech Res Inst 具有變形補償裝置之線切割放電加工機及伸臂變形補償方法
JP4925481B2 (ja) * 2009-07-01 2012-04-25 株式会社ソディック ワイヤカット放電加工装置
JP5088975B2 (ja) * 2010-10-19 2012-12-05 株式会社ソディック ワイヤ放電加工装置
CN104023891B (zh) * 2012-10-30 2016-04-13 三菱电机株式会社 线电极放电加工装置及控制装置

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