JP5981012B2 - 上下面独立コーナ形状補正機能を有するワイヤ放電加工機 - Google Patents

Description

本発明はワイヤ放電加工機に関し、特に、加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークとの相対移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、上ガイド部と下ガイド部とで独立して補正することにより、ワークの上下面において、ワイヤ電極の撓みによる形状誤差を低減し、ワークの形状精度の向上を図ることが可能なワイヤ放電加工機に関する。

ワイヤ放電加工においては、ワイヤ電極と被加工物との間に生じる放電反発力や加工液の乱流などによって、ワイヤ電極が加工進行方向と異なる方向（反対方向あるいは一定の角度をなす方向）に撓むことが知られている。ワイヤ電極によって直線状にワークを加工するときは、ワイヤ電極が加工進行方向と逆の方向に撓みを生じるが、そのワイヤ電極の撓みは加工形状には影響しない。しかし、加工プログラムに設定された所定の角度で加工するコーナ部の加工においてはワイヤ電極の撓みの影響が大きく現れて、コーナ部の形状精度を大きく低下させてしまい、いわゆる「コーナだれ」が発生し、意図したような加工形状が得られない。

図１８はコーナ部の加工を説明する図である。ワイヤ放電加工において、ワーク３を所望される寸法通りに加工するためには、実際の製品形状の寸法に対してワイヤ電極４の半径と放電ギャップとを加算したオフセット経路を作成し、その作成したオフセット経路に沿ってワイヤ電極４を移動させるのが一般的である。なお、オフセット経路を加工経路５という。なお、ワイヤ電極４の半径と放電ギャップを加算した値をオフセット値という。

図１８に示すように、ワーク３のコーナ部ではワイヤ電極４が撓むことによって加工経路５に沿って移動せず、加工経路の内側（破線で示されるワイヤ電極の軌跡６ａを参照）を移動し、その結果、ワーク３を過剰に加工してしまう。そのため、所謂「コーナだれ」（ワイヤ電極の撓みに起因するコーナだれ７を参照）が形成され、所望の加工仕上がり形状が得られない。このような問題に対応するために様々な対応策が提案されている。

特許文献１、２、３では、コーナ部をワイヤ電極が通過する際に、加工エネルギーを下げて、ワイヤ電極のたわみを最小にしたうえで、コーナ部を通過する事で、コーナダレによる形状不良の改善を行うことが開示されている。この加工方法では、ワイヤ電極の撓みが少なくなるまで、加工エネルギーを低減させ、すなわち加工速度を低下させ、時間をかけてゆっくりとコーナ部を加工する為、加工時間が長くなるデメリットがある。

特許文献２、３、４および５には、コーナ部をワイヤ電極が通過する際に、ワイヤ電極の撓み分を加工経路から修正して、いわゆる行き過ぎて戻る経路を与えることにより、ワイヤ電極の撓みによる形状誤差を修正することが開示されている。この方法では前述のような減速が行われないため、加工時間が極端に長くなる事は無い。

図１９に示すように、ワイヤ電極４の加工経路５を補正経路８によって補正してワイヤ放電加工を行うと、ワイヤ電極４はワイヤ電極軌跡６ｂに沿って移動する。これにより、ワーク３が過剰に加工されることを回避することができる。

図２０は従来技術に係る、上下ワイヤガイド間の距離に基づいて補正経路を算出し、出力する処理のフローチャートである。この処理では、上下ワイヤガイドで独立して補正は行われない。以下、各ステップに従って説明する。
ワーク厚さと、ワークに上，下ノズルが密着状態での上ワイヤガイド位置及び下ワイヤガイド位置の情報を取得し（ＳＡ０１）、ステップＳＡ０１の状態（ワークに上，下ノズルが密着した状態）におけるワイヤ電極の撓み量Ｅにより、補正量Ｃを算出し（ＳＡ０２）、ステップＳＡ０２で算出した補正量Ｃと、コーナ部の角度情報と、により、真の補正量Ｃを算出し（ＳＡ０３）、コーナ角度による真の補正量Ｃをもとに補正経路を算出し（ＳＡ０４）、その算出した補正経路を出力し（ＳＡ０５）、処理を終了する。

特開昭５８−１２０４２８号公報 特開平８−３９３５６号公報 特開平７−２４６４５号公報 特開平１１−２２１７１９号公報 特開２０１３−１９０８５４号公報 特開昭６１−２１９５２９号公報

特許文献３，４のいずれの対応策も、ワイヤ電極を支える上ワイヤガイド位置とワークの上面、及び、下ワイヤガイド位置とワークの下面の相対的な位置関係（つまり、上ガイド位置とワークの上面との隙間、及び、下ガイド位置とワークの下面との隙間）がほぼ同じ距離で、加工液を吐出する上下ノズルがワーク上下面に密着した状態で、ワークの上面と下面でのワイヤ撓み量がほぼ同じと仮定しており、形状修正の補正量もワークの上面と下面で同じと想定し、すなわち、形状補正は２次元平面のＸＹ軸により行っている。

しかしながら、ワイヤ放電加工機による加工には、必ずしも、ワークの上下面にガイド部やノズルが密着した加工だけではなく、例えば、ワーク面の下面は固定テーブル上に固定され（固定テーブルに密着し）、一方、ワークの上面は、固定ジグや、その他の理由で上ガイド部がワーク上面から大きく離れた場合がある。

ワイヤ電極を支持する上ガイド部がワーク上面より大きく離れており、ワイヤ電極を支持する下ガイド部はワーク下面に密着状態である場合に、前記コーナ部での形状補正量は、ワーク下面はそのままの補正量、すなわち形状修正ブロックで良いが、ワークの上面では、ワイヤ電極の振動による撓みがさらに大きくなるため、ワークの下面の形状は補正されてもワーク上面の補正が正しく行われず、そのためワークの加工形状の形状精度の改善が不十分であるという問題がある。

そこで、本発明の目的は、ワークの上下面において、ワイヤ電極の撓みによって生じるワークの加工形状誤差を、ワイヤ電極をガイドする上下ワイヤガイドの位置をプログラム経路から上下面で独立して経路補正することによって解消し、ワーク上下面のコーナ部での形状精度の向上を図ることが可能なワイヤ放電加工機を提供することである。

本願の請求項１に係る発明は、上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、前記上下ワイヤガイドが加工ワーク上下面に近接した状態での該上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さを基準位置として記憶する基準位置記憶手段と、前記基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、前記記憶された基準位置と前記補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における前記上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段で算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、を有することを特徴とするワイヤ放電加工機である。

請求項２に係る発明は、上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、前記上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶した基準位置記憶手段と、前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、前記基準位置記憶手段により記憶された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組から、前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さに近い複数の組を選択する選択手段と、前記選択された複数の組の複数の基準位置と前記補正量記憶手段により記憶された補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における前記上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段で算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して、補正するワイヤガイド位置補正手段と、を有することを特徴とするワイヤ放電加工機である。

請求項３に係る発明は、上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶する基準位置記憶手段と、前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、前記基準位置記憶手段に記憶された複数の基準位置と前記補正量記憶手段により記憶された補正量から、前記設定手段により設定された、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を呼び出す補正量呼び出し手段と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量呼び出し手段により呼び出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、を有することを特徴とするワイヤ放電加工機である。

請求項４に係る発明は、上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、前記上下ワイヤガイドが加工ワーク上下面に近接した状態での該上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さを基準位置として記憶する基準位置記憶手段と、前記基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出するずれ補正量算出手段と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、前記記憶された基準位置と前記ずれ補正量算出手段により算出された補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークとの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段により算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、を有することを特徴とするワイヤ放電加工機である。

請求項５に係る発明は、上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、前記上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶する基準位置記憶手段と、前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出するずれ補正量算出手段と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、前記基準位置記憶手段により記憶された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組から、前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さに近い複数の組を選択する選択手段と、前記選択された複数の組の複数の基準位置と前記ずれ補正量算出手段により算出された補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段により算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、を有することを特徴とするワイヤ放電加工機である。

請求項６に係る発明は、上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶する基準位置記憶手段と、前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出するずれ補正量算出手段と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、前記記憶された複数の基準位置と前記ずれ補正量算出手段により算出された補正量から前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を呼び出す補正量呼び出し手段と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量呼び出し手段により呼び出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、を有することを特徴とするワイヤ放電加工機である。

請求項７に係る発明は、前記基準位置記憶手段は、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を複数記憶する手段に替えて、上下ワイヤガイドの位置と、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置の組を複数記憶する手段であることを特徴とする請求項１〜６の何れか一つに記載のワイヤ放電加工機である。

本発明により、ワークの上下面において、ワイヤ電極の撓みによって生じるワークの加工形状誤差を、ワイヤ電極をガイドする上下ガイドの位置をプログラム経路からワークの上下面で独立して経路補正することによって、ワークの上下面のコーナ部でのワークの形状精度の向上を図ることが可能なワイヤ放電加工機を供給できる。

ワイヤ放電加工機の概略構成図である。 上ノズル部をワーク上面に密着し、下ノズル部をワーク下面に密着した場合であって、ワイヤ電極の撓みによる誤差を補正しない例を説明する図である。 ワーク厚さを変えて、ワーク厚さと、ワークの上面に対するワーク厚さ方向の相対位置と、ワークの下面に対するワーク厚さ方向の相対位置と、を基準位置の組として記憶装置に記憶するテーブルを示す図である。 上ノズル部をワーク上面に密着し、下ノズル部をワーク下面に密着した場合であって、ワイヤ電極の撓みによる誤差を補正する例を説明する図である。 上ノズル部をワーク上面から離し、下ノズル部をワーク下面に密着した場合であって、ワイヤ電極の撓みによる誤差を補正しない例を説明する図である。 上ノズル部をワーク上面から離し、下ノズル部をワーク下面に密着した場合であって、ワイヤ電極の撓みによる誤差を補正する例を説明する図である。 ワーク位置によるワイヤ電極の変位量を説明する図である。 上ノズル部をワーク上面から離し、下ノズル部をワーク下面から離した場合であって、ワイヤ電極の撓みによる誤差を補正しない例を説明する図である。 上ノズル部をワーク上面から離し、下ノズル部をワーク下面から離した場合であって、ワイヤ電極の撓みによる誤差を補正する例を説明する図である。 上ノズル部をワーク上面から離した上部開放時の補正量を示す図である。 図１０をグラフとして示す図である。 ワイヤ放電加工機の要部のブロック図である。 上下ガイド間の距離による上下ガイドで独立して補正を行う場合の処理を示すフローチャートである。 ワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さの組み相対位置の組を基準位置として複数記憶すること、および、前記基準位置における補正量を記憶することを説明する図である。 実施形態１における制御装置を説明するブロック図である。 実施形態２における制御装置を説明するブロック図である。 実施形態３における制御装置を説明するブロック図である。 コーナ部の加工を説明する図である。 ワイヤ電極の撓みによってワークが過剰に加工されることを回避するために、加工経路を補正する方法を説明する図である。 上下ガイド間の距離による上下ガイドで独立して補正を行わない場合の処理を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。
図１はワイヤ放電加工機の概略構成図である。
ワイヤ放電加工機７０は、ワイヤ電極４と、テーブル２に載置された被加工物であるワーク３との間に放電を発生させることでワーク３の加工を行う機械である。ワイヤ放電加工機７０は、基台２０上に、Ｘ軸モータ２６が駆動するボールネジ３１によってＸ軸方向に移動するＸ軸サドル１９を備え、そのＸ軸サドル１９の上に、Ｙ軸モータ２５が駆動するボールネジ３０によってＹ軸方向に移動するＹ軸サドル１８を備える。そのＹ軸サドル１８上には、内部にワーク３を載置するテーブル２を備えた加工槽１４が固定されている。

コラム２１は基台２０に垂直に設けられている。コラム２１の側面部には下アーム４２が水平に取り付けられる。その下アーム４２の先端には下ノズル１０と下ワイヤガイド１３ｂが取り付けられている。下ノズル１０と下ワイヤガイド１３ｂとはテーブル２の下方に位置する。コラム２１は基台２０に垂直に設けられている。そのコラム２１の側面部には下アーム４２が水平に取り付けられている。その下アーム４２の先端には下ノズル１０と下ワイヤガイド１３ｂとが取り付けられている。下ノズル１０と下ワイヤガイド１３ｂとはテーブル２の下方に位置する。コラム２１はその上部にＶ軸サドル１５を備える。そのＶ軸サドル１５は、Ｖ軸モータ２９が駆動するボールネジ３４によってＶ軸方向に移動する。Ｖ軸方向はＹ軸方向と同じである。Ｖ軸サドル１５にはＵ軸テーブル１６が取り付けられている。Ｕ軸テーブル１６はＵ軸モータ２８が駆動するボールネジ３３によってＵ軸方向に移動する。Ｕ軸方向はＸ軸方向と同じである。

Ｕ軸テーブル１６には上アーム支持部材１７が取り付けられている。上アーム支持部材１７はＺ軸モータ２７が駆動するボールネジ３２によってＺ軸方向に移動する。上アーム支持部材１７には上アーム４１が固定されている。上アーム４１の端部に上ノズル９および上ワイヤガイド１３ａが取り付けられている。Ｙ軸モータ２５，Ｘ軸モータ２６，Ｚ軸モータ２７，Ｕ軸モータ２８，Ｖ軸モータ２９はそれぞれ、制御装置５０と動力・信号線３５，３６，３７，３８，３９によって接続されており、各モータは図示しないアンプを備えた制御装置５０から動力（電力）が供給されると共に、制御装置５０との間で各種信号の授受を行う。なお、図１では、Ｘ軸およびＵ軸は紙面に垂直な方向、Ｙ軸およびＶ軸は紙面の左右方向、Ｚ軸は紙面の上下方向である。

加工槽１４がＹ軸サドル１８上に取り付けられている。加工槽１４の槽内にテーブル２が配設される。テーブル２には、ワーク３が固定される。放電加工は加工槽１４内に加工液１１を貯留した状態で実行される。上ノズル９はワーク３の上部に加工液１１を噴出させる。下ノズル１０はワーク３の下部に加工液を噴出させる。上ノズル９内の上ワイヤガイド１３ａはワーク３の上部でワイヤ電極４を支持し、下ノズル１０内の下ワイヤガイド１３ｂはワーク３の下部でワイヤ電極４を支持する。

ワイヤ放電加工機７０は、ワイヤ電極４とワーク３の間で加工液１１を介して放電加工を行う。安定した放電加工を行うため、加工液ポンプ４３は加工液１１を貯留する貯留槽（図示省略）から加工液１１を汲み上げ、管路２２，管路２３，管路２４を経由して上ノズル９及び下ノズル１０から加工液１１を加工部に高圧で噴出させる。噴出された加工液１１で加工溝１２内の加工屑を吹き飛ばしながらワイヤ放電加工を行う。

加工液ポンプ４３は図示しないアンプを備えた制御装置５０と動力・信号線４０で接続され、制御装置５０によって駆動制御される。制御装置５０から加工液ポンプ４３に動力（電力）が供給され、制御装置５０と加工液ポンプ４３との間で信号の授受が行われる。加工液ポンプ４３は、分岐管路２２、管路２３を介して上ノズル９に加工液１１を供給し、また、分岐管路２２、管路２４を介して下ノズル１０に加工液１１の供給を行う。上ノズル９から放電加工中の加工部に加工液１１が噴射される。下ノズル１０から放電加工中の加工部に加工液１１が噴射される。

制御装置５０はワイヤ放電加工機を全体的に制御する装置であり、図示しない演算装置、表示装置、各種信号の入出力用インタフェース、アンプを備えており、さらに、各種データを記憶する記憶装置５１を備えている。図１では図示しない演算装置、表示装置、各種信号の入出力用インタフェース、アンプを総称して演算処理装置５２と称する。
ワイヤ電極４は、放電加工中、加工液圧力および放電反発力によってワイヤ電極４のワーク３に対する相対移動方向と反対方向に撓む（図２参照）。ワイヤ電極４の撓みによる変形は、加工実験により、弦の振動と同じような形状で、その形状は両端支持の等分布加重を受けた梁の変位に等しいことがわかっている。図７はワイヤ電極４の位置によるワイヤ電極４の変位量を説明する図である。任意高さｚにおけるワイヤ電極４の撓み量ｘは数１式により算出できる。

（数１式）
ｘ＝Ｆ／２／Ｔ＊ｚ＊（Ｌ-ｚ）
ここで、Ｆは分布荷重であり、Ｔはワイヤ電極４の張力であり、Ｌは下ワイヤガイド位置を基準とした上ワイヤガイドのｚ方向の位置である。
なお、数１式は図７に示されるように、ｘ＝（Ｆ／２Ｔ）＊ｚ＊（Ｌ-ｚ）と同じである。

数１式により算出された撓み量ｘから必要な経路補正量を求める。つまり、それぞれの変数に値を代入することで、ワーク上面、ワーク下面それぞれの変位量（撓み量ｘ）が求まる。求められた変位量に基づき、上ガイド及び下ガイドの位置決め指令を補正する。分布加重には、放電によって発生する放電反発力と、水圧、水流による力が作用する。

本発明の実施形態であるワイヤ放電加工機７０は、ワーク３の上面３ａ，下面３ｂにおいて、独立してコーナ形状の補正を行う機能をそなえている。ワイヤ放電加工機７０は、ワーク３の上下面３ａ，３ｂにおいて、上ワイヤガイド１３ａと下ワイヤガイド１３ｂのワイヤガイド位置と、ワーク３の厚さ、ワークの位置に基づいて、上，下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂのノズル（上ノズル９，下ノズル１０）がワーク３のワーク上下面に密着している時の補正量から、上ノズル９，下ノズル１０とワーク３の上面３ａ，下面３ｂとの間が空いているいわゆる開放状態での形状修正量を算出し形状補正を行う。

＜１＞ノズルの先端とワークの表面とが密着した状態での加工
図２は上ノズル部（上ノズル９）をワーク３の上面に密着し、下ノズル部（下ノズル１０）をワーク３の下面に密着した場合であって、ワイヤ電極４の撓みによる誤差を補正しない例を説明する図である。図２に示される状態は、上下ノズル９，１０がワーク３の上下面３ａ，３ｂにそれぞれ近接した状態である。ここで、「密着」とは、ノズルの先端とワークの表面とが接触した状態ではなく、ワイヤ放電加工を実行できる程度の隙間をもって近接していることを意味している。

このときの、ワーク３の上面３ａに対する上ワイヤガイドのワーク厚さ方向の相対位置Ｕ０と、ワーク３の下面３ｂに対する下ワイヤガイドのワーク厚さ方向の相対位置Ｌ０と、ワーク厚さＴの値が基準位置の一つの組として、制御装置５０の記憶装置５１に記憶される。ワーク厚さＴを変えて複数の基準位置の組を制御装置５０の記憶装置５１に記憶させる。

図３は、ワーク厚さＴを変えて、ワーク厚さＴと、ワーク３の上面３ａに対する上ワイヤガイドのワーク厚さ方向の相対位置Ｕ０と、ワーク３の下面３ｂに対する下ワイヤガイドのワーク厚さ方向の相対位置Ｌ０と、を基準位置の組として記憶装置５１に記憶するテーブルを示す図である。ここで、ワークの板厚に替えて、上下ワイヤガイドの位置と、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置を基準位置として記憶してもよい。各基準位置には、上面基準補正量ＣＵ０，下面基準補正量ＣＬ０が実測することによりそれぞれ記憶されている。

ワイヤ電極４は、（下ワイヤガイド位置Ｌ０，ワーク厚さＴ，上ワイヤガイド位置Ｕ０）の基準位置で、図２に示す位置１００，位置１０１，位置１０２，位置１０３を通る形状をなす。
ワイヤ電極４の、ワーク３の上面３ａと下面３ｂでは、撓み量ＥＵ０とＥＬ０の分、加工経路がずれる。

そこで、撓み量ＥＵ０とＥＬ０の加工誤差（図２参照）を解消するために、ワイヤ電極４の加工経路上の移動経路を、図４に示すように、ワーク３の上面３ａで上面基準補正量ＣＵ０、下面３ｂで下面基準補正量ＣＬ０だけ変える。図４は上ノズル部（上ノズル９）をワーク３の上面に密着し、下ノズル部（下ノズル１０）をワーク３の下面に密着した場合であって、ワイヤ電極４の撓みによる誤差を補正する例を説明する図である。

加工する板厚（Ｔ）のワーク３の上下面３ａ，３ｂに上下の加工液吐出ノズル（上ノズル９，下ノズル１０）が密着した状態でワーク３を加工した場合に、ワイヤ電極４を上下で支持している上下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂとワーク３の上下面３ａ，３ｂとの距離をそれぞれ（Ｕ０，Ｌ０）とする。上下ノズル９，１０がワーク３の上面３ａ，下面３ｂに密着した状態における上下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂとワーク３との位置関係を「基準位置」という。基準位置は（Ｕ０，Ｌ０）と表される。そして、その位置関係でワーク３を加工した後にワイヤ電極４の撓みに起因する形状誤差量（ＥＵ０，ＥＬ０）を測定する。ＥＵ０を上形状誤差量、ＥＬ０を下形状誤差量という。なお、形状誤差量（ＥＵ０，ＥＬ０）は、図２に示すように、前記基準位置でのワイヤ電極４の撓み量とみることができる。

形状誤差量（ＥＵ０，ＥＬ０）を補正するために加工経路を修正する修正量を、図４に示すように、上下の基準補正量（ＣＵ０，ＣＬ０）とする。ＣＵ０を上面基準補正量、ＣＬ０を下面基準補正量という。図４に示されるとおり、ワーク３の上下面と密着状態にある上下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂとワイヤ電極４の位置との関係による撓み量から、上下の基準補正量（ＣＵ０，ＣＬ０）を求める。この場合、上面基準補正量ＣＵ０と下面基準補正量ＣＬ０はほぼ等しい値となり、形状誤差を補正する場合、ワーク３を固定しているテーブル２とワイヤ電極４を上下に張っている上下ガイド部（上ワイヤガイド１３ａ，下ワイヤガイド１３ｂ）の相対な平面方向の移動により補正するだけでよい。図１に示されるワイヤ放電加工機７０の構成では、上下ガイド部に対し、相対的にワークを移動させるテーブルのＸ軸及びＹ軸の位置を補正するだけでよい。

＜２＞上ノズルの先端とワークの上面とが離れた状態での加工
図５は上ノズル部をワーク３の上面３ａから離し、下ノズル部をワーク３の下面３ｂに密着した場合であって、ワイヤ電極４の撓みによる誤差を補正しない例を説明する図である。図６は、上ノズル部をワーク３の上面３ａから離し、下ノズル部をワーク３の下面に密着した場合であって、ワイヤ電極４の撓みによる誤差を補正する例を説明する図である。

加工するワーク３の上下面３ａ，３ｂに上下ノズル部（上ノズル９，下ノズル１０）を密着できない場合においては、ワーク３の上下面３ａ，３ｂの位置情報と、ワイヤ電極４を支持している上下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂの位置情報から、上ワイヤガイド１３ａとワーク３の上面距離Ｕ１、下ワイヤガイド１３ｂとワーク３の下面距離Ｌ１を算出する。
そして、算出して得られた距離に応じたワイヤ電極４の撓み量を、前記基準位置での撓み量に起因する形状誤差量（ＥＵ０，ＥＬ０）もしくは前記基準位置での補正量である基準補正量（ＣＵ０，ＣＬ０）を元に計算し、それぞれ、撓み量（ＥＵ１，ＥＬ１）、もしくは補正量（ＣＵ１，ＣＬ１）として、ワーク３の上下面３ａ，３ｂでそれぞれの撓み量（ＥＵ１，ＥＬ１）もしくは補正量（ＣＵ１，ＣＬ１）にて補正する。ＥＵ１は上撓み量、ＥＬ１は下撓み量、ＣＵ１は上面補正量、ＣＬ１は下面補正量という。

図６の場合、上下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂとワーク３の板厚Ｔの関係と基準補正量（ＥＵ０，ＥＬ０）の関係から、ワーク３の上下面３ａ，３ｂでの補正量を算出する。ワイヤ電極４の撓みによる変形が、図６において、位置１３０、位置１３１、位置１３２を通るように、数１式による計算式を変形する。変形した第１式において上ワイヤガイド位置Ｕ１における上補正量ＣＵ１を算出する。そして、下面でのＸＹ軸による補正移動量と上面でのＸＹ軸補正移動量に加減されたＵＶ軸補正移動量を制御することで、ワーク３の上下面での形状誤差を最小に抑える。

例えば、ワーク３の厚さが５０ｍｍで、ワーク３の下側のワーク面（下面３ｂ）と下ガイド部（下ノズル１０）は密着、ワーク３の上側のワーク面（上面３ａ）と上ガイド部（上ノズル９）は５０ｍｍ離れている場合、ワイヤ電極４が変位した形状線とワーク３の上下面３ａ，３ｂが重なる点での位置ずれ量を算出することで、撓み量であるＥＵ１及びＥＬ１、もしくは、補正量であるＣＵ１及びＣＬ１を求めることができる。

＜３＞上ノズルの先端とワーク上面とが離れ、さらに、下ノズルの先端とワークの下面とが離れた状態での加工
図８は上ノズル部（上ノズル９）をワーク３の上面３ａから離し、下ノズル部（下ノズル１０）をワーク３の下面３ｂから離した場合であって、ワイヤ電極４の撓みによる誤差を補正しない例を説明する図である。図９は上ノズル部（上ノズル９）をワーク３の上面３ａから離し、下ノズル部（下ノズル１０）をワーク３の下面３ｂから離した場合であって、ワイヤ電極４の撓みによる誤差を補正する例を説明する図である。上記＜２＞と同様に、図９に示す位置１５０，位置１５１，位置１５２を通る、ワイヤ電極４の、変形した数１式を求める。そして、このときの上ワイヤガイド位置Ｕ１における上補正量ＣＵ１を算出する。

加工するワーク３の上下面３ａ，３ｂに上下ノズル部（上ノズル９，下ノズル１０）を密着できない場合においては、ワーク３の上下面３ａ，３ｂの位置情報とワイヤ電極４を支持している上下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂの位置情報から、上ワイヤガイド１３ａとワーク３の上面距離Ｕ１、下ワイヤガイド１３ｂとワーク３の下面距離Ｌ１を算出する。
そして、算出して得られた距離Ｕ１，Ｌ１に応じたワイヤ電極４の撓み量を、前記基準位置での撓み量（ＥＵ０，ＥＬ０）もしくは前記基準位置での補正量である基準補正量（ＣＵ０，ＣＬ０）を元に計算し、それぞれ、撓み量（ＥＵ１，ＥＬ１）、もしくは補正量（ＣＵ１，ＣＬ１）として、ワーク３の上下面３ａ，３ｂでそれぞれの撓み量（ＥＵ１，ＥＬ１）もしくは補正量（ＣＵ１，ＣＬ１）にて補正する。

図１２はワイヤ放電加工機の要部のブロック図である。
本発明に係るワイヤ放電加工機７０は、コーナ部を形成する移動ブロックの成す角に応じて加工経路を自動的に補正することができる。加工プログラム６０が記憶されている加工プログラム記憶部６１から加工プログラムのブロックを読み込んで解析し、コーナ角度検出部６２によってコーナがあるかどうかを判断する。コーナがある場合、その角度に応じて補正経路を加工経路補正部６３において作成し、加工経路制御部６４によってワイヤ電極４をワーク３に対して相対移動させる。コーナがない場合、補正経路を作成することなく、加工経路制御部６４によってワイヤ電極４をワーク３に対して相対移動させる。

加工経路補正部６３は、コーナ角度検出部６２で検出されたコーナ角度に基づいて補正距離（上述した補正量）と戻し距離とを演算し、補正距離にしたがって先に加工するブロックの終点を延長するように延長し、戻し距離にしたがって次に加工するブロックを始点からブロック途中まで削除し、延長されて作成された新たなブロック終点と、削除されて作成された新たなブロック開始点と、を繋ぐように加工経路を補正し、補正した加工経路を加工経路制御部６４に出力する。（具体的には、特開２０１４−１２１７５５号公報を参照。）

図１３は本発明に係る上下ガイド間の距離による上下ワイヤガイドで独立して補正を行う場合の処理を示すフローチャートである。以下、各ステップに従って説明する。

●［ステップＳＢ０１］上ノズルと下ノズルがそれぞれ、ワークの表面に密着した状態での、ワーク厚さＴと、ワークの上面に対する上ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置Ｕ０と、ワークの下面に対する下ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置Ｌ０の情報を記憶する。
●［ステップＳＢ０２］ステップＳＢ０１の情報と実際の上ワイヤガイド位置（上面距離）Ｕ１、下ワイヤガイド位置（下面距離）Ｌ１、ワーク厚さＴ、より、ワーク上面、ワーク下面でのワイヤ撓み量ＥＵ１、ＥＬ１を算出する。

●［ステップＳＢ０３］ステップＳＢ０２で算出されたワーク上面、ワーク下面でのワイヤ電極の撓み量ＥＵ１、ＥＬ１より、上ガイド位置の補正量（上補正量）ＣＵ１、下ガイド位置の補正量（下補正量）ＣＬ１を算出する。
●［ステップＳＢ０４］上補正量ＣＵ１、下補正量ＣＬ１により、上ワイヤガイド位置、下ワイヤガイド位置の補正経路を算出する。
●［ステップＳＢ０５］補正経路を出力し、処理を終了する。

上述した例では、上下ワイヤガイド１３ａ，１３ｂの上面補正量ＣＵ１と下面補正量ＣＬ１とを、数１式に基づいて算出している。計算式（数１式）の代わりに、加工実験により、多くのワーク板厚と上下ガイド位置の組み合わせでの加工経路誤差を測定し、それぞれの補正量として例えば図１０の表や、図１１のグラフのように記憶してもよい。

図１４はワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置（Ｕ１，Ｌ１）とワーク厚さの組み相対位置の組を基準位置として複数記憶すること、および、前記基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量（上面補正量ＣＵ１，下面補正量ＣＬ１）を記憶することを説明する図である。

制御装置５０の記憶装置５１には、図１４に示されるテーブルが記憶される。ワークの板厚Ｔが５，１０，２０，３０（ｍｍ）、上ワイヤガイド位置（上面距離）Ｕ１が５，１０，２０，３０（ｍｍ）、下ワイヤガイド位置（下面距離）Ｌ１が５，１０，２０，３０（ｍｍ）の各場合における上面補正量ＣＵ１，下面補正量ＣＬ１が記憶される。なお、図１４では、全ての欄において、ＣＵ１，ＣＬ１と記載されているが、上面距離Ｕ１，下面距離Ｌ１に応じた値が記憶されている。

図１０は図１４の一つの例として、上部開放時の補正量を示す図である。つまり、上ノズル部をワーク３の上面３ａから離し、下ノズル部をワーク３の下面３ｂに密着した場合での補正量を示す図である。図１１は図１０をグラフとして示す図である。上ノズル間隙は、上ノズルの先端部とワイヤガイドとの距離を上ワイヤガイド位置Ｕ１から引いた値に対応する。上面補正量は上補正量ＣＵ１に対応する。下面補正量は下補正量ＣＬ１に対応する。

以下、以下、各実施形態における制御装置を、ブロック図を用いて説明する。なお、類似する機能のブロックは同じ符号を用いて説明する。

図１５は実施形態１における制御装置を説明するブロック図である。
制御装置５０は、上下ワイヤガイドが加工ワーク上下面に近接した状態での該上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さを基準位置として記憶する基準位置記憶手段８１と、前記基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段８２と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向の相対位置と、ワーク厚さを設定する設定手段８０と、前記記憶された基準位置と前記補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段８３と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記算出した補正量に基づき上ガイド部と下ガイド部で独立して補正する補正手段８４と、を備えている。
なお、補正量記憶手段８２に替えて、基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出する補正量算出手段とにしてもよい。

図１６は実施形態２における制御装置を説明するブロック図である。
制御装置５０は、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を複数記憶した基準位置記憶手段８１と、前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段８２と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置と、ワーク厚さとを設定する設定手段８０と、前記基準位置記憶手段により記憶された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組から、前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さに近い複数の組を選択する選択手段８５と、前記選択された複数の組の複数の基準位置と前記補正量記憶手段により記憶された補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段８３と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記算出した補正量に基づき上下ワイヤガイドの位置を上ガイド部と下ガイド部で独立して補正する補正手段８４と、を備えている。
ここで、選択手段８５は、図１４に示されるテーブルで、対応する基準位置の組をひとつに特定できない場合、例えば、上面距離Ｕ１が１５ｍｍのとき、２つの基準位置の組が選択される。補正量算出手段８３は、２つの基準位置の組に対応してそれぞれ記憶されている、上補正量ＣＵ１と下補正量ＣＬ１の内挿することにより、補正量を算出する。
なお、補正量記憶手段８２に替えて、複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出する補正量算出手段としてもよい。

図１７は実施形態３における制御装置を説明するブロック図である。
制御装置５０は、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を複数記憶する基準位置記憶手段８１と、前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段８２と、任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さを設定する設定手段８０と、前記記憶された複数の基準位置と前記補正量記憶手段により記憶された補正量から前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を呼び出す補正量呼出し手段８６と、前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記呼び出した補正量に基づき上下ワイヤガイドの位置を上ガイド部と下ガイド部で独立して補正する手段８４と、を有する。補正量呼び出し手段８６は、設定手段８０から設定された上下面の相対位置とワークの厚さＴに対応する（上面距離Ｕ１と下面距離Ｌ１）が記憶されていない場合、設定された基準位置の組に近い組の、上補正量ＣＵ１と下補正量ＣＬ１とを呼び出す。
なお、補正量記憶手段８２に替えて、複数の基準位置における前記基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出する補正量算出手段とにしてもよい。

図１５，図１６，図１７において、基準位置記憶手段８１は、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を複数記憶する手段に替えて、上下ワイヤガイドの位置と、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置の組を複数記憶する手段としてもよい。

本発明により、ワークの上下面にノズルが密着しない、いわゆる片側開放状態や、両側開放状態においても、ワークの上下面での加工形状誤差を最小に抑える事が出来、従来のコーナ部での撓みを減少させるためのエネルギー低減で生じる加工速度低下による加工時間増加がなく、高効率で高精度の加工結果を得る事が出来る。

２ テーブル
３ ワーク
３ａ 上面
３ｂ 下面
４ ワイヤ電極
５ 加工経路
６ａ ワイヤ電極軌跡
６ｂ ワイヤ電極軌跡
７ ワイヤ電極の撓みに起因するコーナだれ
８ 補正経路
９ 上ノズル
１０ 下ノズル
１１ 加工液
１２ 加工溝
１３ａ 上ワイヤガイド
１３ｂ 下ワイヤガイド
１４ 加工槽
１５ Ｖ軸サドル
１６ Ｕ軸テーブル
１７ 上アーム支持部材
１８ Ｙ軸サドル
１９ Ｘ軸サドル
２０ 基台
２１ コラム
２２ 分岐管路
２３ 管路
２４ 管路
２５ Ｙ軸モータ
２６ Ｘ軸モータ
２７ Ｚ軸モータ
２８ Ｕ軸モータ
２９ Ｖ軸モータ

３０ ボールネジ
３１ ボールネジ
３２ ボールネジ
３３ ボールネジ
３４ ボールネジ
３５ 動力・信号線
３６ 動力・信号線
３７ 動力・信号線
３８ 動力・信号線
３９ 動力・信号線
４０ 動力・信号線
４１ 上アーム
４２ 下アーム
４３ 加工液ポンプ

５０ 制御装置
５１ 記憶装置
５２ 演算処理装置

６０ 加工プログラム
６１ 加工プログラム記憶部
６２ コーナ角度検出部
６３ 加工経路補正部
６４ 加工経路制御部

７０ ワイヤ放電加工機

Claims (7)

1. 上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、
   前記上下ワイヤガイドが加工ワーク上下面に近接した状態での該上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さを基準位置として記憶する基準位置記憶手段と、
   前記基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段と、
   任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、
   前記記憶された基準位置と前記補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、
   前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における前記上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段で算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、
   を有することを特徴とするワイヤ放電加工機。
2. 上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、
   前記上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶した基準位置記憶手段と、
   前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段と、
   任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、
   前記基準位置記憶手段により記憶された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組から、前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さに近い複数の組を選択する選択手段と、
   前記選択された複数の組の複数の基準位置と前記補正量記憶手段により記憶された補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、
   前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における前記上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段で算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して、補正するワイヤガイド位置補正手段と、
   を有することを特徴とするワイヤ放電加工機。
3. 上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、
   上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶する基準位置記憶手段と、
   前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を補正する補正量を記憶する補正量記憶手段と、
   任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、
   前記基準位置記憶手段に記憶された複数の基準位置と前記補正量記憶手段により記憶された補正量から、前記設定手段により設定された、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向での相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を呼び出す補正量呼び出し手段と、
   前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量呼び出し手段により呼び出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、
   を有することを特徴とするワイヤ放電加工機。
4. 上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、
   前記上下ワイヤガイドが加工ワーク上下面に近接した状態での該上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さを基準位置として記憶する基準位置記憶手段と、
   前記基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、
   該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出するずれ補正量算出手段と、
   任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対する前記上下ワイヤガイドのワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、
   前記記憶された基準位置と前記ずれ補正量算出手段により算出された補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、
   前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークとの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段により算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、
   を有することを特徴とするワイヤ放電加工機。
5. 上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、
   前記上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶する基準位置記憶手段と、
   前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、
   該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出するずれ補正量算出手段と、
   任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、
   前記基準位置記憶手段により記憶された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組から、前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さに近い複数の組を選択する選択手段と、
   前記選択された複数の組の複数の基準位置と前記ずれ補正量算出手段により算出された補正量に基づいて、前記設定された上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を算出する補正量算出手段と、
   前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量算出手段により算出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、
   を有することを特徴とするワイヤ放電加工機。
6. 上下ワイヤガイドにワイヤ電極を張架し、加工プログラムに基づいて前記ワイヤ電極と加工ワークを相対移動させて放電加工を行うワイヤ放電加工機において、
   上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を基準位置として複数記憶する基準位置記憶手段と、
   前記複数の基準位置における加工プログラム経路上のワイヤガイド座標位置と加工時のワイヤ撓みによるワーク上下面での実加工位置のずれ量を記憶するずれ量記憶手段と、
   該ずれ量記憶手段に記憶されたずれ量から補正量を算出するずれ補正量算出手段と、
   任意の上下ワイヤガイド位置でのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さを設定する設定手段と、
   前記記憶された複数の基準位置と前記ずれ補正量算出手段により算出された補正量から前記設定されたワーク上下面に対するワーク厚さ方向の上下ワイヤガイドの相対位置とワーク厚さにおけるそれぞれのずれ量を補正する補正量を呼び出す補正量呼び出し手段と、
   前記加工プログラムで指令されたワイヤガイドとワークの相対的移動指令における上下ワイヤガイドの位置を、前記補正量呼び出し手段により呼び出した補正量に基づいて、上ガイド部と下ガイド部で独立して補正するワイヤガイド位置補正手段と、
   を有することを特徴とするワイヤ放電加工機。
7. 前記基準位置記憶手段は、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置とワーク厚さの組を複数記憶する手段に替えて、上下ワイヤガイドの位置と、上下ワイヤガイドのワーク上下面に対するワーク厚さ方向の相対位置の組を複数記憶する手段であることを特徴とする請求項１〜６の何れか一つに記載のワイヤ放電加工機。

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