JP5289643B1 - ワイヤ放電加工装置および制御装置 - Google Patents

Abstract

上部ワイヤガイド８ａの位置を移動させることによって、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を変化させる駆動部７ａと、下部ワイヤガイド８ｂの位置を移動させることによって、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を変化させる駆動部７ｂと、被加工物１４に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、駆動部７ａ，７ｂを駆動する駆動制御部６ａ，６ｂと、ワイヤ電極１２の張力を含む加工条件に対応する、ワイヤ電極１２への位置補正量を、予め記憶しておく補正量記憶部３と、加工条件に対応する位置補正量を補正量記憶部３から読み出す補正量読み出し部４と、読み出した位置補正量に基づいて、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対距離を、駆動制御部６ａ，６ｂに補正させるワイヤ位置補正部５と、を備える。

Description

本発明は、ワイヤ電極の位置変位を補正することによって加工輪郭誤差を低減するワイヤ放電加工装置および制御装置に関するものである。

従来のワイヤ放電加工装置は、ワイヤを用いて被加工物を加工する際に、ノズルを備えたワイヤガイドが、ワイヤに対して加工液を送出している。このワイヤ放電加工装置は、加工液の圧力に起因するワイヤの変位量を検出し、検出した変位量からワイヤの位置補正量を決定している。そして、ワイヤ放電加工装置は、位置補正量を用いて被加工物とワイヤとの間の相対位置を補正し、これにより加工輪郭誤差を補正している（例えば、特許文献１参照）。

特開平２-１６０４２４号公報

しかしながら、上記従来の技術では、ワイヤ張力に依存するワイヤガイドの弾性変形に起因するワイヤの位置変位が考慮されていないので、高精度な加工輪郭誤差を補正できないという問題があった。例えば、粗加工と仕上げ加工のようにワイヤ張力が異なる場合には、粗加工時の加工輪郭誤差のために、仕上げ加工時の加工除去量が加工方向に依存して変化してしまう。このため、加工除去量が大きくなる加工面では加工速度が低下するという問題と、加工面精度が劣化するという問題があった。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、ワイヤ電極の高精度な位置誤差補正が可能なワイヤ放電加工装置および制御装置を得ることを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、第１の位置でワイヤ電極を支持するとともに被加工物側に前記ワイヤ電極を送出する第１のワイヤガイドと、前記第１の位置に対向する第２の位置で前記ワイヤ電極を支持するとともに前記被加工物側から送られてくる前記ワイヤ電極を巻き取る第２のワイヤガイドと、前記第１のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第１の駆動部と、前記第２のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第２の駆動部と、前記被加工物に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、前記第１の駆動部を制御する第１の駆動制御部と、前記加工形状に基づいて、前記第２の駆動部を制御する第２の駆動制御部と、前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間に張架された前記ワイヤ電極の張力を含む加工条件を設定する加工条件設定部と、前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を予め記憶しておく補正量記憶部と、前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を前記補正量記憶部から読み出す補正量読み出し部と、前記位置補正量に基づいて、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対距離を、前記第１および第２の駆動制御部に補正させるワイヤ位置補正部と、を備えることを特徴とする。

本発明によれば、ワイヤ電極の高精度な位置誤差補正が可能になるという効果を奏する。

図１は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置の構成を示す図である。 図２は、加工条件に依存して変化するワイヤ電極の位置を説明するための図である。 図３は、粗加工時のワイヤ位置変位が仕上げ加工に及ぼす影響を説明するための模式図である。 図４は、ワイヤ張力および加工液圧力による、ワイヤガイドの弾性変形を説明するための図である。 図５は、ワイヤガイドのノズルと被加工物との間の距離が所定値よりも遠い場合の加工液反力の影響を説明するための図である。 図６は、ワイヤ電極の変形に起因する加工誤差を説明するための図である。 図７は、加工液反力に起因する被加工物の弾性変形を説明するための図である。 図８−１は、被加工物の加工形状計測結果例を示す図である。 図８−２は、加工条件毎のワイヤ位置補正量の一例を示す図である。 図９は、加工条件の実用上の最大値と最小値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。 図１０は、加工条件の実用上の中心値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。 図１１は、ワイヤガイドの変位量を計測する方法を説明するための図である。 図１２は、ワイヤガイドの変位量および被加工物の変位量を計測する方法を説明するための図である。 図１３は、実施の形態６に係るワイヤ放電加工装置の構成を示す図である。

以下に、本発明の実施の形態に係るワイヤ放電加工装置および制御装置を図面に基づいて詳細に説明する。なお、これらの実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。

実施の形態１．
図１は、実施の形態１に係るワイヤ放電加工装置の構成を示す図である。ワイヤ放電加工装置１ａは、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間に電圧を印加することによって被加工物１４を放電加工する装置である。本実施の形態のワイヤ放電加工装置１ａは、ワイヤ張力に依存するワイヤガイド（上部ワイヤガイド８ａ、下部ワイヤガイド８ｂ）の弾性変形に起因するワイヤ電極１２の位置変位を考慮して、被加工物１４とワイヤ電極１２との間の相対位置を補正する。

ワイヤ放電加工装置１ａは、制御装置１０と、加工部２０と、を備えている。制御装置１０は、加工条件設定部２と、補正量記憶部３と、補正量読み出し部４と、ワイヤ位置補正部５と、駆動制御部６ａ，６ｂと、指令生成部９と、電源制御部１５と、を有している。また、加工部２０は、駆動部７ａ，７ｂと、上部ワイヤガイド８ａと、下部ワイヤガイド８ｂと、電源１１と、ワイヤ電極１２と、を有している。

加工部２０では、被加工物（ワーク）１４への加工を行う位置の上部側に上部ワイヤガイド８ａが配置され、下部側に下部ワイヤガイド８ｂが配置されている。換言すると、被加工物（ワーク）１４を上下で挟むように、上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂとが配置されている。

上部ワイヤガイド８ａは、ワイヤ電極１２を上部側から支持するとともに、下部側にワイヤ電極１２を送出する。また、下部ワイヤガイド８ｂは、ワイヤ電極１２を下側から支持するとともに、ワイヤ電極１２を巻き取る。このように、ワイヤ電極１２は、上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂとの間に長架される。そして、上部ワイヤガイド８ａから下部ワイヤガイド８ｂに向かって、ワイヤ電極１２が一定方向に送給される。

電源１１は、ワイヤ電極１２および被加工物１４に接続されている。ワイヤ電極１２と被加工物１４との間には、電源１１によってパルス状電圧が印加され、この電圧の印加によって発生した放電によって被加工物１４が糸鋸状に加工される。

上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂに設置された各ノズル（後述するノズル３０ａ，３０ｂ）からは、ワイヤ電極１２に沿って、加工液１３が供給される。この加工液１３は、例えば、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の絶縁状態を維持し、かつ被加工物１４への加工によって発生した加工除去物を排出し、かつ被加工物１４およびワイヤ電極１２を冷却するために供給される。

駆動部７ａは、上部ワイヤガイド８ａを駆動させ、駆動部７ｂは、下部ワイヤガイド８ｂを駆動させる。駆動部７ａは、例えば、ワイヤ電極１２に垂直な平面内で上部ワイヤガイド８ａの位置を移動させる。また、駆動部７ｂは、例えば、ワイヤ電極１２に垂直な平面内で下部ワイヤガイド８ｂの位置を移動させる。駆動部７ａ，７ｂおよび電源１１は、制御装置１０によって制御される。

制御装置１０の指令生成部９には、外部装置（図示せず）などから加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。指令生成部９に入力される加工形状は、被加工物１４に対して加工を行なう部分の形状である。なお、加工形状は、被加工物１４に加工を行うことによって形成される被加工物１４の加工後形状であってもよい。

指令生成部９が駆動制御部６ａに対して生成する指令（上部駆動指令）は、駆動制御部６ａが駆動部７ａを制御するための指令であり、駆動部７ａが上部ワイヤガイド８ａを駆動するための指令である。

また、指令生成部９が駆動制御部６ｂに対して生成する指令（下部駆動指令）は、駆動制御部６ｂが駆動部７ｂを制御するための指令であり、駆動部７ｂが下部ワイヤガイド８ｂを駆動するための指令である。

また、指令生成部９が電源制御部１５に対して生成する指令（電源指令）は、電源制御部１５が電源１１を制御するための指令であり、電源１１がワイヤ電極１２と被加工物１４との間に与える電圧を制御するための指令である。

駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御する。駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。駆動制御部６ａ，６ｂが、駆動部７ａ，７ｂを制御することによって、駆動部７ａ，７ｂが上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂを駆動させる。これにより、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂの被加工物１４に対する相対位置が、加工形状に対応する上部駆動指令および下部駆動指令に沿って制御される。この結果、加工形状に応じた形状に被加工物１４が切断加工される。また、加工中は、電源制御部１５が、ワイヤ電極１２と被加工物１４の間の放電現象が電源指令に応じた適切な状態に保たれるように、電源１１を制御する。なお、以下の説明では、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、ワイヤガイド８という場合がある。

ここで、加工条件に依存して変化するワイヤ電極１２の位置について説明する。図２は、加工条件に依存して変化するワイヤ電極の位置を説明するための図である。図２では、ワイヤガイド８の断面図を示している。上下一対の上部ワイヤガイド８ａと下部ワイヤガイド８ｂとの間には、ワイヤ電極１２を直線状に保つために、ワイヤ張力を作用させている。

図２に示すように、ワイヤ張力が大きい場合には、ワイヤガイド８の弾性変形量が大きくなる。ここでは、弾性変形している場合（ワイヤ張力が大きい場合）の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ実線で図示している。

ワイヤ張力が小さい場合には、ワイヤガイド８の弾性変形量が小さくなる。ここでは、弾性変形していない場合の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ破線で図示している。また、ワイヤガイド８が弾性変形している場合のワイヤ電極１２を実線で図示し、ワイヤガイド８が弾性変形していない場合のワイヤ電極１２を破線で図示している。

ワイヤ電極１２は、ワイヤガイド８に支持されているので、ワイヤガイド８の弾性変形量が変化すると、弾性変形量の大きさに応じた位置に引っ張られる。このように、ワイヤ張力が変化すると、ワイヤ張力の大小に応じて、ワイヤ電極１２による被加工物１４の切断位置が変化し、加工位置に誤差が生じる。

図３は、粗加工時のワイヤ位置変位が仕上げ加工に及ぼす影響を説明するための模式図である。図３では、被加工物１４の上面図（ワイヤ電極１２の断面図）を示している。例えば、被加工物１４の内側（内部領域４１）を加工する際には、実線で示す粗加工ライン３１に沿って被加工物１４を粗加工した後、破線で示す仕上げ加工ライン３２に沿って被加工物１４を仕上げ加工する。これにより、被加工物１４から内部領域４１が除去されて概略環状の外部領域４２が残される。なお、図３では、被加工物１４の内部領域４１までのアプローチラインの図示を省略している。

例えば、粗加工時には、ワイヤ張力が低めに設定され、仕上げ加工時にはワイヤ張力が高めに設定される。そのため、粗加工と仕上げ加工とでは、ワイヤガイド８の弾性変形量に違いが生じ、その結果、被加工物１４上のワイヤ電極１２の位置に差が生じる。

図３に示すように、ワイヤ電極１２の位置補正が無い状態で、粗加工条件を用いた粗加工を行うと、粗加工ライン３１に沿った軌跡で被加工物１４が加工される。ところが、仕上げ加工条件を用いた仕上げ加工時には、粗加工時と比べてワイヤガイド８の弾性変形量に違いが生じる。このため、ワイヤ電極１２は、粗加工ライン３１から位置ずれした仕上げ加工ライン３２に沿った軌跡で被加工物１４を加工してしまう。このとき、紙面の左側に示した被加工物１４の位置で仕上げ加工を行う際には、被加工物１４の除去量２１が多くなり、紙面の右側に示した位置で仕上げ加工を行う際には、被加工物１４の除去量２２が少なくなる。このため、ワイヤ電極１２の位置補正が無い状態で粗加工を行うと、加工除去量が大きな位置（加工面）では、加工面の加工精度が劣化し、加工時間が長くなるという問題が生じる。

そこで、本実施の形態では、粗加工を実施する際に、ワイヤ電極１２の位置を補正することによって、粗加工ライン３１が仕上げ加工ライン３２と同じになるよう、被加工物１４を加工する。このように、本実施の形態では、同一の位置指令に対して粗加工時と仕上げ加工時とでワイヤ電極１２の位置を一致させる。これにより、仕上げ加工時の除去量が加工方向に寄らず均一化され、加工面の加工精度が向上するとともに、加工速度が向上する。

ここで、図１に戻って、加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４、ワイヤ位置補正部５について説明する。補正量記憶部３は、ワイヤ位置補正量を記憶するメモリなどである。補正量記憶部３には、予め加工条件毎のワイヤ位置補正量を記憶させておく。

加工条件設定部２は、外部入力される加工条件を制御装置１０に設定する。加工条件設定部２が設定する加工条件は、例えばワイヤ張力などを含んでいる。なお、加工条件は、粗加工または仕上げ加工などの加工の種類であってもよい。この場合、加工条件設定部２には、予め加工の種類と加工条件との対応関係を登録しておく。そして、加工条件設定部２は、登録しておいた対応関係に基づいて、加工の種類に対応する加工条件を抽出し、制御装置１０に設定する。

補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。補正量読み出し部４は、読み出したワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。

ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って、駆動制御部６ａ，６ｂが制御する制御位置を補正する。換言すると、ワイヤ位置補正部５は、駆動制御部６ａ，６ｂが駆動部７ａ，７ｂに出力する制御指示（制御位置）を、ワイヤ位置補正量で補正させる。これにより、駆動部７ａ，７ｂは、ワイヤ位置補正量で補正された制御位置にワイヤガイド８の位置を補正する。

つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態１に係る位置補正処理手順について説明する。補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。また、加工条件設定部２は、外部入力される加工条件を制御装置１０に設定しておく。また、指令生成部９には、加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。

電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。また、駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御し、駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。

このとき、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。そして、補正量読み出し部４は、読み出したワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。

ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って、駆動制御部６ａ，６ｂが制御する制御位置を補正する。これにより、駆動部７ａ，７ｂは、ワイヤ位置補正量で補正された制御位置にワイヤガイド８の位置を補正する。この結果、加工条件に応じた位置にワイヤ電極１２の位置が補正される。

なお、本実施の形態では、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを駆動する場合について説明したが、上部ワイヤガイド８ａ、下部ワイヤガイド８ｂ、被加工物１４のうちの少なくとも２つを駆動すればよい。例えば、被加工物１４とワイヤ電極１２の相対位置、およびワイヤ電極１２の傾きを制御することでも、上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂの位置を制御する場合と同様な効果を得ることができる。

また、仕上げ加工ライン３２および粗加工ライン３１の少なくとも一方を補正することにより、ワイヤ電極１２の位置を補正してもよい。例えば、仕上げ加工を実施する際に、仕上げ加工ライン３２が粗加工ライン３１と同じになるよう、ワイヤ電極１２の位置を補正してもよい。

また、本実施の形態では、１対のワイヤガイド８が上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂである場合について説明したが、１対のワイヤガイド８は、何れの方向に配置してもよい。例えば、１対のワイヤガイド８を水平方向に配置してもよい。この場合、一方のワイヤガイドが右側に配置され、他方のワイヤガイドが左側に配置される。このように、一方のワイヤガイドは、第１の位置に配置され、他方のワイヤガイドは、被加工物１４を挟んで対向する第２の位置に配置される。

このように、実施の形態１によれば、ワイヤ張力などの加工条件に応じたワイヤ位置補正を行っているので、加工条件に依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。これにより、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。例えば、粗加工と仕上げ加工とで加工条件が異なる場合には、仕上げ加工における加工除去量を一定にすることができる。したがって、ワイヤ張力に基づいたワイヤ電極１２への位置補正を行わない場合に比べて、加工面の加工精度が向上するとともに、加工時間を短縮させることが可能となる。

実施の形態２．
つぎに、図４を用いてこの発明の実施の形態２について説明する。実施の形態１では、加工条件としてワイヤ張力を考慮したが、実施の形態２では、加工液１３の反力（加工液圧力）をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。

図４は、ワイヤ張力および加工液圧力による、ワイヤガイドの弾性変形を説明するための図である。図４では、ワイヤ張力および加工液圧力（加工液の圧力）に依存して変化するワイヤガイド８およびワイヤ電極１２の位置を断面図で示している。

上部ワイヤガイド８ａには、ワイヤ電極１２による下向きのワイヤ張力と、加工液１３による上向きの加工反力（加工液圧力）が作用する。図４に示す上部ワイヤガイド８ａは、ワイヤ張力の影響の方が、加工液反力による影響よりも大きい場合であり、上部ワイヤガイド８ａが下向きに弾性変形する例を示している。

同様に、下部ワイヤガイド８ｂには、ワイヤ電極１２による上向きのワイヤ張力と、加工液１３による下向きの加工液反力が作用する。図４に示す下部ワイヤガイド８ｂは、加工液反力の影響の方が、ワイヤ張力による影響よりも大きい場合であり、下部ワイヤガイド８ｂが下向きに弾性変形する例を示している。

ワイヤ張力が大きい場合には、被加工物１４側への弾性変形量が大きくなり、加工液反力が大きい場合には、被加工物１４とは反対側への弾性変形量が大きくなる。ここでは、弾性変形している場合の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ実線で図示している。また、弾性変形していない場合の上部ワイヤガイド８ａおよび下部ワイヤガイド８ｂを、それぞれ破線で図示している。また、ワイヤガイド８が弾性変形している場合のワイヤ電極１２を実線で図示し、ワイヤガイド８が弾性変形していない場合のワイヤ電極１２を破線で図示している。

ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。本実施の形態の補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と加工液圧力との組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量（加工条件とワイヤ位置補正量の対応関係）を記憶しておく。このとき、補正量記憶部３は、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、を加工条件毎に記憶しておく。なお、上部ワイヤガイド８ａ用のワイヤ位置補正量と、下部ワイヤガイド８ｂ用のワイヤ位置補正量と、を同じ値としてもよい。

また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力および加工液圧力を制御装置１０に設定する。また、本実施の形態の補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件（ワイヤ張力および加工液圧力）を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。

つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態２に係る位置補正処理手順について説明する。なお、実施の形態１で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。補正量記憶部３には、加工条件（ワイヤ張力およびと加工液圧力との組）に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。加工液圧力が上部ワイヤガイド８ａ側と下部ワイヤガイド８ｂ側とで異なる場合があるので、加工条件としては、上部ワイヤガイド８ａ側用の加工条件と、下部ワイヤガイド８ｂ側用の加工条件と、を補正量記憶部３に記憶させておく。

また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力および加工液圧力を加工条件として制御装置１０に設定する。また、指令生成部９には、加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。

電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。また、駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御し、駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。このとき、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、の組み合わせ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量（例えば、ワイヤ位置補正量ΔＸ１，ΔＹ１）を、補正量記憶部３から読み出す。

同様に、補正量読み出し部４は、加工条件に対応した下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量（例えば、ワイヤ位置補正量ΔＸ２，ΔＹ２）を、補正量記憶部３から読み出す。

そして、補正量読み出し部４は、読み出した各ワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量ΔＸ１，ΔＹ１に従って駆動制御部６ａの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。

同様に、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量ΔＸ２，ΔＹ２に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ｂを介して、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との相対位置が補正される。

このように、ワイヤ放電加工装置１ａは、上部ワイヤガイド８ａ側用の加工条件を用いて上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置を補正する。また、ワイヤ放電加工装置１ａは、下部ワイヤガイド８ｂ側用の加工条件を用いて下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との相対位置を補正する。

このように、実施の形態２によれば、加工条件がワイヤ張力および加工液圧力を含んでいるので、ワイヤ張力および加工液圧力の双方に依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。

実施の形態３．
つぎに、図５を用いてこの発明の実施の形態３について説明する。実施の形態２では、加工条件としてワイヤ張力および加工液圧力を考慮したが、実施の形態３では、ワイヤガイド８のノズル（加工液ノズル）と被加工物１４との間の距離をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。

図５は、ワイヤガイドのノズルと被加工物との間の距離が所定値よりも遠い場合の加工液反力の影響を説明するための図である。上部ワイヤガイド８ａの先端部（被加工物１４側）には、加工液１３を送出するノズル（第１のノズル）３０ａが配置されている。また、下部ワイヤガイド８ｂの先端部（被加工物１４側）には、加工液１３を送出するノズル（第２のノズル）３０ｂが配置されている。

ここでは、図５のノズル３０ｂと被加工物１４との間の距離（以下、下部側距離Ｄｂという）が、図４の下部側距離Ｄｂよりも長い場合について説明する。この場合、図４の下部ワイヤガイド８ｂの場合に比べて、図５の下部ワイヤガイド８ｂの方が加工液反力の影響が小さくなる。

したがって、ワイヤ張力と加工液圧力が同じであっても、下部側距離Ｄｂに応じて、下部ワイヤガイド８ｂの弾性変形量に違いが生じる。同様に、ワイヤ張力と加工液圧力が同じであっても、上部ワイヤガイド８ａのノズル３０ａと被加工物１４との間の距離（以下、上部側距離Ｄａという）に応じて、上部ワイヤガイド８ａの弾性変形量に違いが生じる。そこで、本実施の形態では、加工条件に、下部側距離Ｄｂと、上部側距離Ｄａと、を加えてワイヤ電極１２の位置補正を実施する。

ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。補正量記憶部３は、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量と、を加工条件毎に記憶しておく。具体的には、補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と加工液圧力と下部側距離Ｄｂとの組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量（加工条件とワイヤ位置補正量の対応関係）を記憶しておく。また、補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と加工液圧力と上部側距離Ｄａとの組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量（加工条件とワイヤ位置補正量の対応関係）を記憶しておく。

また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを制御装置１０に設定する。また、補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。

つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態３に係る位置補正処理手順について説明する。なお、実施の形態１，２で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。補正量記憶部３が記憶しておくワイヤ位置補正量は、ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量とノズル３０ｂ用のワイヤ位置補正量である。ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａとの組に対応付けされている。また、ノズル３０ｂ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、下部側距離Ｄｂとの組に対応付けされている。

また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを加工条件として制御装置１０に設定する。また、指令生成部９には、加工形状が入力される。指令生成部９は、入力された加工形状に基づいて、駆動制御部６ａ，６ｂおよび電源制御部１５に対する指令を生成する。

電源制御部１５は、電源指令に基づいて、電源１１を制御する。また、駆動制御部６ａは、上部駆動指令に基づいて、駆動部７ａを制御し、駆動制御部６ｂは、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する。このとき、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、下部側距離Ｄｂとの組合せ）に対応した下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。

同様に、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａとの組合せ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。

そして、補正量読み出し部４は、読み出した各ワイヤ位置補正量をワイヤ位置補正部５に送る。ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ｂを介して、下部ワイヤガイド８ｂと被加工物１４との相対位置が補正される。

同様に、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ａの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。

このように、実施の形態３によれば、加工条件がワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを含んでいるので、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂに依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。

実施の形態４．
つぎに、図６を用いてこの発明の実施の形態４について説明する。実施の形態３では、加工条件としてワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを考慮したが、実施の形態４では、ワイヤ電極１２自身の変形をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。

図６は、ワイヤ電極の変形に起因する加工誤差を説明するための図である。ワイヤ張力および加工液反力によってワイヤガイド８が弾性変形することに加えて、加工条件に依存してワイヤ電極１２が変形する。このため、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置が変化する。

ワイヤ電極１２は、ワイヤ材質に依存して変化する剛性が低いほど変形しやすい。また、ワイヤ電極１２の直径が細いほど変形しやすい。更に、ワイヤガイド８ａとワイヤガイド８ｂとの間の距離が長いほど変形しやすい。

そこで、本実施の形態では、加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂの他に、ワイヤ電極１２の剛性と径、並びに、一対のワイヤガイド８ａとワイヤガイド８ｂの間の距離（以下、ガイド間距離Ｄｃという）を加える。そして、ワイヤ放電加工装置１ａは、ワイヤ電極１２の変形を考慮してワイヤ電極１２の位置補正を実施する。

ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。本実施の形態の補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と、加工液圧力と、上部ワイヤガイド８ａまたは下部側距離Ｄｂと、ワイヤ電極１２の剛性（ワイヤ剛性）と、ワイヤ電極１２の径（ワイヤ径）と、ガイド間距離Ｄｃと、の組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量を記憶しておく。

また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径およびガイド間距離Ｄｃを制御装置１０に設定する。また、補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。

つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態４に係る位置補正処理手順について説明する。なお、上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理と下部ワイヤガイド８ｂを用いた位置補正処理とは、同様であるので、ここでは上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理について説明する。また、実施の形態１〜３で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。

補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃとの組に対応付けされている。

また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃを加工条件として制御装置１０に設定する。駆動制御部６ｂが、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する際には、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離との組合せ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。

そして、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。

なお、加工条件設定部２では、ワイヤ電極１２の剛性の代わりにワイヤ電極１２の材質を設定してもよい。この場合、補正量記憶部３には、ワイヤ電極１２の材質に対応付けてワイヤ電極１２の剛性（弾性係数など）を記憶させておく。そして、補正量読み出し部４が、補正量記憶部３内の対応付けに基づいて、ワイヤ電極１２の剛性を抽出する。この場合であっても、加工条件設定部２においてワイヤ電極１２の剛性を設定した場合と同様な効果を得ることができる。

さらに、加工条件として、ワイヤガイド８の形状、剛性、材質、ノズル３０ａ，３０ｂの形状、剛性、材質などを加えてもよい。この場合、ワイヤガイド８の変形またはノズル３０ａ，３０ｂの変形を考慮したワイヤ電極１２の位置補正を行うことによって、さらに加工輪郭精度の向上を図ることができる。

このように、実施の形態４によれば、加工条件がワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃを含んでいるので、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃに依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。

実施の形態５．
つぎに、図７を用いてこの発明の実施の形態５について説明する。実施の形態４では、加工条件としてワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃを考慮したが、実施の形態５では、加工液圧力に起因する被加工物１４の弾性変形量をさらに考慮して、ワイヤ電極１２の位置補正を行う。

図７は、加工液反力に起因する被加工物の弾性変形を説明するための図である。ワイヤ張力および加工液反力によってワイヤガイド８が弾性変形することに加えて、加工液反力によって被加工物１４が弾性変形する。このため、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置が変化する。

そこで、本実施の形態では、加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および、ガイド間距離Ｄｃの他に、被加工物１４の形状（支持点から加工点までの長さおよび板厚など）および剛性を加える。そして、ワイヤ放電加工装置１ａは、被加工物１４の形状および剛性を考慮してワイヤ電極１２の位置補正を実施する。

ここで、本実施の形態の加工条件設定部２、補正量記憶部３、補正量読み出し部４について説明する。本実施の形態の補正量記憶部３は、予めワイヤ張力と、加工液圧力と、上部ワイヤガイド８ａまたは下部側距離Ｄｂと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃと、被加工物１４の形状／剛性情報（形状および剛性）と、の組み合わせ毎に設定されたワイヤ位置補正量を記憶しておく。

また、本実施の形態の加工条件設定部２は、外部入力される加工条件として、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、ガイド間距離Ｄｃおよび形状／剛性情報を制御装置１０に設定する。また、補正量読み出し部４は、被加工物１４への加工を行なう際に、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。

つぎに、ワイヤ電極１２の実施の形態４に係る位置補正処理手順について説明する。なお、上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理と下部ワイヤガイド８ｂを用いた位置補正処理とは、同様であるので、ここでは上部ワイヤガイド８ａを用いた位置補正処理について説明する。また、実施の形態１〜３で説明した処理と同様の処理については、その説明を省略する。

補正量記憶部３には、加工条件に対応付けされたワイヤ位置補正量を記憶させておく。ノズル３０ａ用のワイヤ位置補正量は、ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃと、形状／剛性情報との組に対応付けされている。

また、加工条件設定部２は、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、ガイド間距離Ｄｃおよび形状／剛性情報を加工条件として制御装置１０に設定する。駆動制御部６ｂが、下部駆動指令に基づいて、駆動部７ｂを制御する際には、補正量読み出し部４は、加工条件設定部２から加工条件を読み出すとともに、加工条件に対応するワイヤ位置補正量を補正量記憶部３から読み出す。具体的には、補正量読み出し部４は、加工条件（ワイヤ張力と、加工液圧力と、上部側距離Ｄａと、ワイヤ電極１２の剛性と、ワイヤ電極１２の径と、ガイド間距離Ｄｃと、形状／剛性情報との組合せ）に対応した上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との間の相対位置を補正するワイヤ位置補正量を、補正量記憶部３から読み出す。

そして、ワイヤ位置補正部５は、ワイヤ位置補正量に従って駆動制御部６ｂの制御量を補正する。これにより、駆動部７ａを介して、上部ワイヤガイド８ａと被加工物１４との相対位置が補正される。

なお、加工条件設定部２では、被加工物１４の剛性の代わりに被加工物１４の材質を設定してもよい。換言すると、形状／剛性情報に被加工物１４の形状および材質を設定してもよい。この場合、補正量記憶部３には、被加工物１４の材質に対応付けて被加工物１４の剛性（弾性係数など）を記憶させておく。そして、補正量読み出し部４が、補正量記憶部３内の対応付けと、形状／剛性情報内の材質と、に基づいて、被加工物１４の剛性を抽出する。この場合であっても、形状／剛性情報に被加工物１４の形状および剛性を設定した場合と同様な効果を得ることができる。

また、被加工物１４の形状は加工の進行とともに変化するので、ワイヤ放電加工装置１ａは、加工の進行に応じた形状／剛性情報を複数用いてもよい。また、形状／剛性情報に被加工物１４の大きさ、重さなどを加えてもよい。

このように、実施の形態５によれば、加工条件がワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、ガイド間距離Ｄｃ、形状／剛性情報を含んでいるので、ワイヤ張力、加工液圧力、上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ、ワイヤ電極１２の剛性、ワイヤ電極１２の径、および形状／剛性情報に依存して変化するワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を補正することができる。したがって、加工条件に影響されない高精度な輪郭加工形状を得ることができる。

実施の形態６．
つぎに、図８−１〜図１０を用いてこの発明の実施の形態６について説明する。実施の形態６では、種々の加工条件で加工した被加工物１４の加工形状計測結果（加工後の形状）から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定する。

まず、被加工物１４の加工形状計測に基づく、ワイヤ位置補正量の設定方法を説明する。図８−１は、被加工物の加工形状計測結果例を示す図である。図８−１では、加工後の被加工物１４の上面図を示している。図８−１では、Ｘ軸方向が基準面５０と同じ方向であり、Ｙ軸方向が基準面５０に垂直な方向である。図８−２は、加工条件毎のワイヤ位置補正量の一例を示す図である。

ワイヤ放電加工装置１ａは、種々の加工条件で被加工物１４を加工する。その際、最も高精度な加工が可能な加工条件で基準面５０を加工し、他の加工条件との比較対象基準とする。複数の加工条件での加工を連続して実施することで、被加工物１４の設置誤差など、他の要因による加工形状誤差の影響が混入することを防止できる。

加工完了後に被加工物１４の形状を計測して、加工条件に依存する加工輪郭誤差を把握しておく。図８−１の例では、基準面５０と加工条件（１）から（４）までを用いた加工を実施した場合の被加工物１４の形状を示している。被加工物１４の加工形状計測結果は、補正量記憶部３に記憶させる。

例えば、加工条件（１）による加工面（加工完了後の面）が基準面５０に対して−２μｍであれば、加工条件（１）におけるＹ軸方向のワイヤ位置補正量５１は、＋２μｍとなる。この場合、補正量記憶部３は、Ｙ軸方向のワイヤ位置補正量５１として、＋２μｍを記憶しておく。これにより、補正後の加工時には、ワイヤ位置をＹ軸方向に＋２μｍ補正して加工される。この結果、加工条件（１）の加工面を基準面５０に合わせることができる。

補正量記憶部３は、例えば、実際に使用する加工条件のワイヤ位置補正量を網羅的に記憶する。なお、加工条件の組合せ数が多くなりすぎる場合は、加工条件の間を補間してワイヤ位置補正量を導出してもよい。これにより、少ない計測点数、少ない加工条件設定点数で、適切なワイヤ位置補正を実現することができる。

例えば、補正量記憶部３が、図８−２に示すワイヤ位置補正量を記憶している場合、ワイヤ張力＝１０で、加工液圧力＝３の場合には、加工条件（１）と加工条件（２）を補間した（２＋０）／２＝１をワイヤ位置補正量とすればよい。

同様に、ワイヤ張力＝９、加工液圧力＝２の場合には、加工条件（２）と加工条件（４）を補間した（０＋１．５）／２＝０．７５をワイヤ位置補正量とすればよい。更に、ワイヤ張力＝９、加工液圧力＝３の場合には、加工条件（１）（２）（３）（４）を補間した（２＋０−３＋１．５）／４＝０．１２５をワイヤ位置補正量とする。

なお、補間によって導出したワイヤ位置補正量を用いて、さらに加工条件間を補間してもよい。例えば、ワイヤ張力＝１０で、加工液圧力＝３．５の場合には、加工条件（１）と加工条件（２）を補間したワイヤ位置補正量と、加工条件（１）のワイヤ位置補正量と、を用いて、ワイヤ位置補正量を導出する。この場合、（１＋２）／２＝１．５をワイヤ位置補正量とすればよい。

図９および図１０は、ワイヤ位置補正量（加工条件）の実測点と補間点を説明するための図である。実測点は、加工条件を用いて実際に被加工物１４を加工し、加工形状を計測することによってワイヤ位置補正量を設定した点（加工条件）である。また、補間点は、実測点で取得したワイヤ位置補正量を用いた補間処理によって、ワイヤ位置補正量を設定した点（加工条件）である。

図９は、加工条件の実用上の最大値と最小値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。図９では、加工条件をワイヤ張力と加工液圧力との組み合わせとしており、Ｘ軸がワイヤ張力であり、Ｙ軸が加工液圧力である。図９では、ワイヤ張力の実用上の最大値および最小値と、加工液圧力の実用上の最大値および最小値と、を主とする加工条件で被加工物１４を加工した場合の、実測点６１（黒丸）および補間点６２（白丸）を示している。

このように、本実施の形態では、実測点６１の加工条件で加工結果を実測し、補間点６２の加工条件は線形補間などの補間で補う。ワイヤ電極１２の位置変位の原因が、ワイヤ張力と加工液反力の少なくとも一方によるワイヤガイド８の弾性変形であるので、ワイヤ電極１２の位置変位量には線形性が成り立つものと考えられる。

ここで、加工液圧力については、ノズル３０ａ，３０ｂと被加工物１４との間の距離（上部側距離Ｄａ、下部側距離Ｄｂ）を考慮することによって、加工液圧力の設定値の調整を行なう。例えば、加工液圧力の実測結果に基づいて、参照テーブルを作成するか、近似式を作成することによって加工液圧力の設定値を調整する。以上により、少ない計測点（実測点６１）数で、実際に使用する加工条件に対応したワイヤ位置補正量を導出することが可能となる。したがって、ワイヤ位置補正量を導出する際に、実際に被加工物１４へ加工する回数を減らすことができる。

図１０は、加工条件の実用上の中心値をワイヤ位置補正量の実測点とした場合の、加工条件の補間点を説明するための図である。図１０では、図９と同様に、加工条件をワイヤ張力と加工液圧力との組み合わせとしており、Ｘ軸がワイヤ張力であり、Ｙ軸が加工液圧力である。図１０では、ワイヤ張力の実用上の中心値と、加工液圧力の実用上の中心と、を主とする加工条件で被加工物１４を加工した場合の、実測点６１（黒丸）および補間点６２（白丸）を示している。

この場合であっても、図９の場合と同様に、少ない計測点（実測点６１）数で、実際に使用する加工条件に対応したワイヤ位置補正量を導出することが可能となる。したがって、実際に被加工物１４へ加工する回数を減らすことができる。

このように、実施の形態６によれば、種々の加工条件で加工した被加工物１４の加工形状計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定するので、高精度なワイヤ位置補正を容易に実現することが可能となる。

また、計測した加工条件におけるワイヤ位置補正量から、線形補間によって、計測しない加工条件におけるワイヤ位置補正量を推定するので、少ない計測回数で容易に所望のワイヤ位置補正量を導出することができる。

実施の形態７．
つぎに、図１１を用いてこの発明の実施の形態７について説明する。実施の形態７では、実施の形態６で説明した方法によってワイヤ位置補正量を導出する際に、加工中のワイヤガイド８の位置を計測しておく。そして、計測結果に基づいて、補正量記憶部３で記憶しておくワイヤ位置補正量を設定する。

図１１は、ワイヤガイドの変位量を計測する方法を説明するための図である。本実施の形態では、ワイヤ放電加工装置１ａに、ワイヤガイド８の位置（変位量）を計測する位置計測器１６ａ，１６ｂを設置しておく。そして、種々の加工条件を用いてワイヤ位置補正量を導出する際に、位置計測器１６ａ，１６ｂが、加工中のワイヤガイド８の位置を計測する。具体的には、位置計測器１６ａが加工中の上部ワイヤガイド８ａの位置を計測し、位置計測器１６ｂが加工中の下部ワイヤガイド８ｂの位置を計測する。

位置計測器１６ａ，１６ｂは、例えば、被加工物１４とワイヤガイド８との間の相対距離を計測する。したがって、位置計測器１６ａ，１６ｂは、例えば、被加工物１４とワイヤガイド８の間の相対距離を計測できる位置に配置される。この配置が困難な場合は、ワイヤ放電加工装置１ａの架台（図示せず）に位置計測器１６ａ，１６ｂを固定してもよい。この場合、位置計測器１６ａ，１６ｂは、ワイヤガイド８とワイヤ放電加工装置１ａの架台との間の距離を計測する。位置計測器１６ａ，１６ｂによってワイヤガイド８の位置が計測されると、計測した位置に基づいて、ワイヤ位置補正量を設定する。

このように、実施の形態７によれば、種々の加工条件で加工中のワイヤガイド８の変位量を計測し、この変位量計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定するので、高精度なワイヤ位置補正を実現することが可能となる。

実施の形態８．
つぎに、図１２を用いてこの発明の実施の形態８について説明する。実施の形態８では、実施の形態６で説明した方法によってワイヤ位置補正量を導出する際に、加工中のワイヤガイド８の位置および被加工物１４の変位量を計測しておく。そして、計測結果に基づいて、補正量記憶部３で記憶しておくワイヤ位置補正量を設定する。

図１２は、ワイヤガイドの変位量および被加工物の変位量を計測する方法を説明するための図である。位置計測器１６ｃは、ワイヤ放電加工装置１ａの架台に対する被加工物１４の位置（変位量）を計測する装置である。

位置計測器１６ｃによって被加工物１４の位置が計測されると、計測された被加工物１４の変位量に基づいて、ワイヤ位置補正量を設定する。これにより、ワイヤ電極１２と被加工物１４との間の相対位置を高精度に補正可能となる。なお、被加工物１４の加工形状計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を作成する手順は実施の形態６と同様であるので、その説明を省略する。

このように、実施の形態８によれば、種々の加工条件で加工中の被加工物１４の変位量を計測し、この変位量計測結果から、補正量記憶部３に記憶させるワイヤ位置補正量を決定するので、高精度なワイヤ位置補正を実現することが可能となる。

実施の形態９．
つぎに、図１３を用いてこの実施の発明の形態９について説明する。実施の形態５では、図８−２に示したような数値テーブル（表形式）を用いてワイヤ位置補正量を記憶しておく場合について説明したが、この実施の形態では、補正量記憶部３の代わりに、以下の式（１）に示す関数を用いて補正量決定部１７でワイヤ位置補正量を生成する。なお、図１３のワイヤ放電加工装置１ｂの構成は、補正量記憶部３が補正量決定部１７に代わること以外は実施の形態１の図１と同じであるため、他の部分の説明は省略する。補正量決定部１７へは、係数が入力される。

ΔＹ＝ｆ（Ｔ、Ｐ）・・・（１）
ここで、ΔＹは、ワイヤ位置補正量、ｆ（）は関数、Ｔはワイヤ張力、Ｐは加工液圧力を示す。式（１）ではＹ軸方向の補正値のみを示しているが、Ｘ軸方向についても同様である。式（１）は具体的には、以下の式（２）で表される。

ΔＹ＝（ａ×Ｔ）＋（ｂ×Ｐ）＋ｃ・・・（２）
ここで、ａ、ｂ、ｃは係数であり、加工形状の計測結果から同定する。また、ノズル３０ａ，３０ｂと被加工物１４との間の距離である上部側距離Ｄａまたは下部側距離Ｄｂを考慮する場合、式（１）は以下の式（３）となる。式（３）では、上部側距離Ｄａおよび下部側距離Ｄｂを、Ｌで示している。

ΔＹ＝ｇ（Ｔ、Ｐ、Ｌ）・・・（３）
具体的には、式（３）は、以下の式（４）で近似できる。
ΔＹ＝（ａ×Ｔ）＋（ｄ×Ｐ／Ｌ²）＋ｅ・・・（４）
ここで、ｄ、ｅは係数であり、加工形状の計測結果から同定する。

このように、実施の形態９によれば、種々の加工条件で加工した被加工物１４の加工形状計測結果、あるいは、加工中のワイヤ電極１３の位置から、補正量決定部１７によってワイヤ位置補正量を決定するので、計測した加工条件におけるワイヤ位置補正量から、計測しない加工条件におけるワイヤ位置補正量を簡便、かつ、高精度に決定することができる。そのため、少ない計測回数で必要な精度のワイヤ位置補正量を決定することができる。また、放電加工装置の制御装置に必要となるメモリ量を節約することができるという効果も奏する。

以上のように、本発明に係るワイヤ放電加工装置および制御装置は、ワイヤ電極の位置変位を補正しながら行うワイヤ放電加工に適している。

１ａ，１ｂ ワイヤ放電加工装置、２ 加工条件設定部、３ 補正量記憶部、４ 補正量読み出し部、５ ワイヤ位置補正部、６ａ，６ｂ 駆動制御部、７ａ，７ｂ 駆動部、８ａ 上部ワイヤガイド、８ｂ 下部ワイヤガイド、９ 指令生成部、１０ 制御装置、１１ 電源、１２ ワイヤ電極、１３ 加工液、１４ 被加工物、１５ 電源制御部、１６ａ〜１６ｃ 位置計測器、１７ 補正量決定部、２０ 加工部、３０ａ，３０ｂ ノズル、６１ 実測点、６２ 補間点。

Claims (9)

1. 第１の位置でワイヤ電極を支持するとともに被加工物側に前記ワイヤ電極を送出する第１のワイヤガイドと、
   前記第１の位置に対向する第２の位置で前記ワイヤ電極を支持するとともに前記被加工物側から送られてくる前記ワイヤ電極を巻き取る第２のワイヤガイドと、
   前記第１のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第１の駆動部と、
   前記第２のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第２の駆動部と、
   前記被加工物に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、前記第１の駆動部を制御する第１の駆動制御部と、
   前記加工形状に基づいて、前記第２の駆動部を制御する第２の駆動制御部と、
   前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間に張架された前記ワイヤ電極の張力を含む加工条件を設定する加工条件設定部と、
   前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を予め記憶しておく補正量記憶部と、
   前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を前記補正量記憶部から読み出す補正量読み出し部と、
   前記位置補正量に基づいて、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対距離を、前記第１および第２の駆動制御部に補正させるワイヤ位置補正部と、
   を備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。
2. 前記第１のワイヤガイドは、前記被加工物に加工液を供給する第１のノズルを有し、
   前記第２のワイヤガイドは、前記被加工物に加工液を供給する第２のノズルを有し、
   前記加工条件は、前記第１のノズルから供給される加工液の圧力と、前記第２のノズルから供給される加工液の圧力と、をさらに含むことを特徴とする請求項１に記載のワイヤ放電加工装置。
3. 前記加工条件は、前記被加工物と前記第１のノズルとの間の距離と、前記被加工物と前記第２のノズルとの間の距離と、をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載のワイヤ放電加工装置。
4. 前記加工条件は、前記ワイヤ電極の剛性、前記ワイヤ電極の径、および前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間の距離を、さらに含むことを特徴とする請求項２または３に記載のワイヤ放電加工装置。
5. 前記加工条件は、前記被加工物の剛性および前記被加工物の形状を、さらに含むことを特徴とする請求項２〜４のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工装置。
6. 前記位置補正量は、複数種類の加工条件で加工された前記被加工物の加工後の形状を計測することによって、決定されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工装置。
7. 前記位置補正量は、複数種類の加工条件で加工している間に計測された前記第１および第２のワイヤガイドの変位量に基づいて決定されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のワイヤ放電加工装置。
8. 前記位置補正量は、複数種類の加工条件で加工している間に計測された前記被加工物の変位量を用いて決定されることを特徴とする請求項５に記載のワイヤ放電加工装置。
9. 第１の位置でワイヤ電極を支持するとともに被加工物側に前記ワイヤ電極を送出する第１のワイヤガイドに対し、前記第１のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第１の駆動部を、前記被加工物に対して加工を行なう部分の加工形状に基づいて、制御する第１の駆動制御部と、
   前記第１の位置に対向する第２の位置で前記ワイヤ電極を支持するとともに前記被加工物側から送られてくる前記ワイヤ電極を巻き取る第２のワイヤガイドに対し、前記第２のワイヤガイドの位置を移動させることによって、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対位置を変化させる第２の駆動部を、前記加工形状に基づいて、制御する第２の駆動制御部と、
   前記第１のワイヤガイドと前記第２のワイヤガイドとの間に張架された前記ワイヤ電極の張力を含む加工条件を設定する加工条件設定部と、
   前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を予め記憶しておく補正量記憶部と、
   前記加工条件に対応する前記ワイヤ電極への位置補正量を前記補正量記憶部から読み出す補正量読み出し部と、
   前記位置補正量に基づいて、前記ワイヤ電極と前記被加工物との間の相対距離を、前記第１および第２の駆動制御部に補正させるワイヤ位置補正部と、
   を備えることを特徴とする制御装置。
   

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