TW202126494A - 液滴排出裝置及液滴排出方法 - Google Patents

Abstract

液滴排出裝置具有：相對於目標物往第1方向移動並自噴嘴排出液滴的液滴排出部、取得前述噴嘴之資訊的取得部，與依據前述所取得之前述噴嘴的資訊來設定前述液滴之排出條件的設定部。在上述液滴排出裝置中，亦可更具有檢查前述噴嘴的檢查部，前述噴嘴的資訊亦可包含前述噴嘴之前端之形狀的資訊。藉由使用本發明之一實施型態，可將目標物穩定於指定之位置並穩定排出液滴。

Description

液滴排出裝置及液滴排出方法

本發明係關於液滴排出裝置及液滴排出方法。

近年來，已進行噴墨印刷技術在工業用製程的應用。舉例而言，液晶顯示器用的濾色片製造工序等即為其一例。作為噴墨印刷技術，以往以來多使用藉由機械性壓力或振動來排出液滴之所謂的壓電型噴頭，但可排出較微細之液滴的靜電排出型噴墨頭已受到矚目。專利文獻1揭露了靜電排出型噴墨記錄裝置。

『專利文獻』 《專利文獻1》：日本專利公開第H10-34967號公報

另一方面，在靜電排出型噴墨頭中，會有因噴嘴之前端的形狀而無法於指定之位置排出的情形。

於是，本發明之目的之一在於將目標物穩定於指定之位置並排出液滴。

根據本發明之一實施型態，提供一種液滴排出裝置，其具有：取得液滴排出部之資訊的取得部，所述液滴排出部具有相對於目標物往第1方向移動並排出液滴的多個噴嘴；與依據前述所取得之前述液滴排出部的資訊來設定前述多個噴嘴各自之前述液滴之排出條件的設定部。

在上述液滴排出裝置中，亦可更具有檢查設置於前述液滴排出部之噴嘴之形狀的檢查部，前述液滴排出部的資訊亦可包含前述噴嘴之開口部的資訊。

在上述液滴排出裝置中，亦可更具有檢查自設置於前述液滴排出部之噴嘴排出之前述液滴之形狀的檢查部，前述液滴排出部的資訊包含與前述所排出之前述液滴之形狀相關聯的資訊。

在上述液滴排出裝置中，前述液滴排出部亦可具有排出第1液滴的第1噴嘴，以及配置成相對於前述第1噴嘴在與前述第1方向交叉之第2方向上鄰接並排出第2液滴的第2噴嘴，前述第1噴嘴與前述第2噴嘴亦可配置於沿前述第2方向延伸而配置的結構體。

在上述液滴排出裝置中，前述設定部亦可在前述第2噴嘴之開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之開口部的中心還要往前述第1方向偏離時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出開始時間還要早。

在上述液滴排出裝置中，前述設定部亦可在前述第2噴嘴的開口部較前述第1噴嘴的開口部還要小時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出時間還要長。

在上述液滴排出裝置中，前述設定部亦可在前述第2噴嘴之開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之開口部的中心還要往前述第2方向偏離時，將前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間設定成在前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出結束時間之後。

在上述液滴排出裝置中，亦可具有與前述液滴排出部相異之第2液滴排出部，前述第2液滴排出部亦可依據前述液滴排出部的資訊來排出液滴。

根據本發明之一實施型態，可提供一種液滴排出方法，其中檢查相對於目標物往第1方向移動並排出液滴的液滴排出部，取得前述所檢查之液滴排出部的資訊，依據前述所取得之前述液滴排出部的資訊來設定前述液滴的排出條件。

在上述液滴排出方法中，前述所檢查之液滴排出部的資訊亦可包含設置於前述液滴排出部之噴嘴之開口部的資訊。

在上述液滴排出方法中，前述所檢查之液滴排出部的資訊，亦可包含與自設置於前述液滴排出部之噴嘴排出之前述液滴之形狀相關聯的資訊。

在上述液滴排出方法中，設置於前述液滴排出部之前述噴嘴亦可為多個，具有排出第1液滴的第1噴嘴，以及配置成相對於前述第1噴嘴在與前述第1方向交叉之第2方向上鄰接並排出第2液滴的第2噴嘴，前述第1噴嘴與前述第2噴嘴亦可配置於沿前述第2方向延伸而配置的結構體。

在上述液滴排出方法中，亦可在前述第2噴嘴之開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之開口部的中心還要往前述第1方向偏離時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出開始時間還要早。

在上述液滴排出方法中，亦可在前述第2噴嘴的開口部較前述第1噴嘴的開口部還要小時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出時間還要長。

在上述液滴排出方法中，亦可在前述第2噴嘴之開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之開口部的中心還要往前述第2方向偏離時，將前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間設定成在前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出結束時間之後。

透過使用本發明之一實施型態，可將目標物穩定於指定之位置並穩定排出液滴。

以下一邊參照圖式一邊說明本申請中所揭露之發明的各實施型態。惟本發明可在不脫離其要旨的範圍中以各式各樣的型態來實施，並非受以下所示例之實施型態之記載內容所限定解釋者。

此外，在本實施型態裡所參照的圖式中，對於相同部分或具有同樣功能的部分會標註相同之符號或類似之符號（即在數字後標註A、B等的符號），其重複之說明有時會予以省略。並且，圖式的尺寸比例為方便說明有時會與實際的比例相異，或自圖式省略一部分的構造。

再者，於本發明之詳細說明中，在規定某構造物與其他構造物的位置關係時，所謂「在……上」或「在……下」，並非僅包含緊鄰某構造物之上方或者下方的情況，除非另有註記，否則視為包含了其間更中介有其他構造物的情況。

〈第1實施型態〉

（1-1.液滴排出裝置100的構造）

圖1係本發明之一實施型態相關之液滴排出裝置100的概略圖。

液滴排出裝置100包含控制部110、儲存部115、電源部120、驅動部130、液滴排出部140、檢查部150及目標物支承部160。

控制部110包含中央處理單元（CPU，Central Processing Unit）、特殊應用積體電路（ASIC，Application Specific Integrated Circuit）、場域可程式閘陣列（FPGA，Field Programable Gate Array）或其他運算處理電路。控制部110使用預先設定的液滴排出用程式來控制液滴排出部140的排出處理。

儲存部115具有作為儲存「液滴排出用程式」及「液滴排出用程式所使用的各種資訊」之資料庫的功能。儲存部115方面，使用記憶體、硬磁碟驅動機（HDD，Hard Disk Drive）、固態驅動機（SSD，Solid State Drive）或其他能夠儲存的元件。

電源部120與控制部110、驅動部130及液滴排出部140連接。電源部120基於自控制部110輸入的訊號，對液滴排出部140施加電壓。在此例中，電源部120會對液滴排出部140在一定期間施加脈衝狀的電壓。此外，並不受限於脈衝電壓，亦可常時施加一定的電壓。

驅動部130係由馬達、皮帶、齒輪等驅動部件所構成。驅動部130依據來自控制部110的指示，使液滴排出部140（更具體而言為於後所述之噴嘴141）相對於目標物200往一個方向（在此例中為第1方向D1）移動。

液滴排出部140對目標物200排出液滴147。在此例中，液滴147係自相對於目標物200垂直之方向D3排出。液滴排出部140包含噴嘴141及墨水槽（並未圖示）。噴嘴141方面，使用靜電排出型的噴墨噴嘴。是故，液滴排出部140可為靜電排出型的噴墨頭。

圖2（A）係液滴排出部140的平面圖。圖2（B）係噴嘴141的放大視圖。在此例中，液滴排出部140包含多個噴嘴141（噴嘴141-1、噴嘴141-2、噴嘴141-3、噴嘴141-4及噴嘴141-5）及結構體142。噴嘴141-1、噴嘴141-2、噴嘴141-3、噴嘴141-4及噴嘴141-5，分別等間隔配置於結構體142。噴嘴141可對結構體142熔接，亦可藉由接合劑固定。噴嘴141-1、噴嘴141-2、噴嘴141-3、噴嘴141-4及噴嘴141-5，在毋須特別限定的情況下，將作為噴嘴141來說明。

回到圖1來說明。結構體142沿係為與液滴排出部140運行之方向（第1方向D1）交叉（在此例中為正交）之方向的第2方向D2延伸。是故，多個噴嘴141可沿第2方向D2排列。結構體142在此例中設置成板狀。於結構體142設置有每個噴嘴141的流道，以使墨水槽所貯藏之液體以液滴147的形式自各個噴嘴141排出。此外，結構體142可適當因應用途做成最合適的形狀。如圖2所示，在噴嘴141之前端的開口部141a之內徑，以數百nm以上且20 μm以下──以1 μm以上且15 μm以下為佳，以5 μm以上且12 μm以下為較佳──為符合期望。

噴嘴141具有玻璃管，於玻璃管之內部設置有電極145。在此例中，電極145方面使用鎢的細線。此外，電極145並不受限於鎢，亦可設置鎳、鉬、鈦、金、銀、銅、鉑等。

噴嘴141的電極145與電源部120電性連接。藉由自電源部120對噴嘴141之內部及電極145施加的電壓（在此例中為1000 V），墨水槽所貯藏之液體（墨水）會以液滴147的形式自噴嘴141之開口部141a排出。藉由自電源部120施加的電壓，由液滴147所形成之液滴（圖案）的形狀受到控制。

液滴147方面，使用黏度高的材料。具體而言，液滴147方面，使用包含顏料之用於形成圖案的墨水。液滴147亦可包含導電粒子。於液滴排出部140設置有靜電排出型噴墨頭，藉由自電源部120賦予的電壓來控制排出量。液滴147的排出量以0.1 fL以上且100 pL以下為符合期望。此時形成的圖案大小為100 nm以上且500 μm以下。

檢查部150檢查各個噴嘴141之開口部141a的形狀。在此例中，檢查部150使用包含透鏡等光學元件、顯示器等顯示裝置及攝影元件的光學顯微鏡。成為檢查對象的噴嘴141與光學顯微鏡配置成相向而對。檢查部150以具有按照預先儲存於儲存部115之設計值形成之開口部的噴嘴141之影像為基準，拍攝噴嘴141的影像。由檢查部150檢查到之噴嘴141之開口部141a的資訊，儲存於儲存部115。

目標物支承部160具有支承目標物200的功能。目標物支承部160方面，在此例中使用載台。目標物支承部160支承目標物200的機構並不特別受限，可使用一般的支承機構。在此例中，目標物200真空吸附於目標物支承部160。此外，並不受限於此，目標物支承部160亦可使用固定具來支承目標物200。

目標物200係謂會被排放液滴147的部件。在此例中，目標物200方面使用玻璃板。此外，目標物200並不受限於玻璃板。舉例而言，亦可為金屬板，還可為有機樹脂部件。並且，在目標物200上，亦可形成有金屬佈線或有機樹脂部件。並且，於目標物200亦可設置有液滴排出用的相對電極。

並且，在本實施型態中，控制部110具有取得部111及設定部113作為軟體的內部構造。

取得部111取得噴嘴141的資訊。在此例中，由檢查部150檢查到之在噴嘴141之前端之開口部141a的資訊儲存於儲存部115。是故，取得部111會自儲存部115取得在噴嘴141之前端之開口部141a的資訊。此時，取得部111可藉由接收在噴嘴141之前端之開口部141a的資訊來取得之。

設定部113依據由取得部111取得之噴嘴141的資訊，設定液滴147的排出條件。在此例中，設定部113會由於後所述之噴嘴141的開口部141a之中心的位置、開口部141a的內徑等資訊修正事先設定好的排出條件，重新設定在目標物200之各排出位置的排出開始時間、排出結束時間、施加於電極145的電壓。

（1-2.液滴排出方法）

其次，使用圖式說明液滴排出方法。圖3係繪示本實施型態中之液滴排出方法的流程圖。以下說明開口部之形狀相異的各種情況。

（1-2-1.在開口部之內徑相異之情況下的液滴排出方法）

以下說明在噴嘴141之前端的開口部之內徑相異之情況下的液滴排出方法。首先，取得部111取得在噴嘴141之前端之開口部141a的資訊（S110）。開口部141a的資訊會由檢查部150事先檢查。在此例中，噴嘴配置於設定為檢查用的指定之位置。成為檢查對象之噴嘴141的前端，配置成與檢查部150相向而對並具有指定之距離。檢查部150以具有按照預先儲存於儲存部115之設計值形成之開口部141a的噴嘴141之影像為基準，拍攝各噴嘴141的開口部141a。此時會以噴嘴141之中央部來到影像之中心的方式拍攝。是故，若為具有按照設計值形成之開口部141a的噴嘴141，噴嘴141的中心部會變得與開口部141a的中心重合。所檢查到之噴嘴141之開口部141a的資訊會儲存於儲存部115。

圖4係所檢查到之開口部141a的資訊之一例。圖4（A）係噴嘴141A的放大視圖。在圖4（A）中，開口部141Aa的內徑d141Aa與設計值d141Za相同。圖4（B）係噴嘴141B的放大視圖。在圖4（B）中，開口部141Ba的內徑d141Ba較設計值d141Za還要大。圖4（C）係噴嘴141C的放大視圖。在圖4（C）中，開口部141Ca的內徑d141Ca較設計值d141Za還要小。

其次，設定部113會將由取得部111取得之開口部141a的內徑與設計值比較（S120）。此時，設定部113會運算處理開口部141a偏離設計值多少程度。此時，在檢查部150中亦可使用拍攝到的影像適當進行影像處理。

其次，設定部113使用在上述中自所檢查到之開口部141a的內徑與設計值運算出的結果，設定液滴147自噴嘴141的排出條件（S130）。在此例中，設定部113會修正事先設定好之液滴自依設計值形成之開口部141a的排出條件，重新設定在目標物200之各排出位置之液滴147的排出開始時間、排出結束時間、施加於電極145的電壓。

圖5係繪示本實施型態中之液滴147的排出時間與施加於電極145的電壓之關係的概略圖。舉例而言，假設噴嘴141之中，噴嘴141-1之開口部141-1a的內徑做成較依設計值形成之噴嘴141Z還要大（相當於噴嘴141B），且噴嘴141-2之開口部141-2a的內徑做成較依設計值形成之噴嘴141Z還要小（相當於噴嘴141C）。此時，如圖5所示，設定部113會以噴嘴141-2之液滴排出時間變得較噴嘴141-1之液滴排出時間還要長的方式來設定排出條件（S130）。並且，此時設定部113亦可使排出時之施加於噴嘴141-2之電極145的電壓較施加於噴嘴141-1之電極145的電壓還要大。設定部113亦對其他噴嘴141同樣進行排出條件的設定。

最後，藉由控制部110及驅動部130，移動至在液滴排出裝置100中準備好的目標物200上。液滴排出部140依據由設定部113設定好的排出條件，自各噴嘴141排出一定量的液滴（S140）。藉由以上方式，即使在開口部141a之內徑相異的情況下，仍可以成為最合適之排出條件的方式，對每個噴嘴141修正排出條件，以排出相同量的液滴。

（1-2-2.開口部於運行方向上偏離時的液滴排出方法）

其次，說明開口部141a的內徑相同但開口部141a於係為液滴排出部140之移動方向的第1方向D1上偏離時的液滴排出方法。此外，針對與上述同樣的記載，會適當予以省略來說明。

首先，取得部111取得噴嘴141之開口部141a的資訊（S110）。圖6係所檢查到之開口部141a之中心的位置資訊之一例。圖6（A）係噴嘴141D的放大視圖。在圖6（A）中，開口部141Da的中心位置C141Da較設計值之中心C141Za還要往第1方向D1位移了Δ141Da。圖6（B）係噴嘴141E的放大視圖。在圖6（B）中，開口部141Ea的中心C141Ea較設計值的中心位置C141Za還要往第1方向D1的相反方向位移了Δ141Ea。

其次，設定部113會將所取得之開口部141a的中心位置與設計值的中心位置比較（S120）。此時，設定部113會運算處理所檢查到之開口部141a的中心偏離設計值的中心多少程度。

其次，設定部113使用在上述中自所檢查到之開口部141a之中心的位置資訊及設計值之中心的位置資訊比較運算出的結果，設定液滴147自噴嘴141的排出條件（S130）。在此例中，設定部113會自事先設定好之在依設計值形成之開口部141a的排出條件開始修正，重新設定在目標物200之各排出位置的排出開始時間、排出結束時間。

圖7係繪示本實施型態中的排出時間與電壓之關係的概略圖。舉例而言，假設噴嘴141之中，噴嘴141-1之開口部141-1a的中心配置成較依設計值形成之噴嘴141Z之開口部的中心還要往第1方向D1的相反之側偏離（相當於噴嘴141E），且噴嘴141-2之開口部141-2a的中心配置成較依設計值形成之噴嘴141Z之開口部的中心還要往第1方向D1偏離（相當於噴嘴141D）。此時，如圖7所示，設定部113會以噴嘴141-2之液滴排出開始時間變得較噴嘴141-1之液滴排出開始時間還要早的方式來設定排出條件（S130）。此外，此時設定部113亦可使排出時之施加於噴嘴141-2之電極145的電壓與施加於噴嘴141-1之電極145的電壓為定值。並且，設定部113亦可設定液滴排出部140之位置的變動量，依據此資訊，驅動部130可使液滴排出部140的位置位移。設定部113亦可對其他噴嘴141同樣適當進行排出條件的設定。在此例中，於圖7中，自各噴嘴141的排出時間在一部分上重疊。

最後，液滴排出部140會依據由設定部113設定好的排出條件，自各噴嘴141排出一定量的液滴（S140）。藉此，即使在開口部141a之中心往液滴排出部140移動的方向或其相反方向偏離的情況下，仍可排出指定之位置的液滴。

此外，在圖7中，自各噴嘴141的排出時間重疊了一部分，但亦可不必重疊。

（1-2-3.開口部於與運行方向交叉之方向上偏離時的液滴排出方法）

其次，說明開口部141a的內徑相同但開口部141a之中心於與液滴排出部140之移動方向（第1方向D1）交叉的方向（第2方向D2）上偏離時的液滴排出方法。此外，針對與上述同樣的記載，會適當予以省略來說明。

首先，取得部111取得噴嘴141之開口部141a的資訊（S110）。圖8係所檢查到之開口部141a之中心的位置資訊之一例。圖8（A）係噴嘴141F的放大視圖。在圖8（A）中，開口部141Fa的中心位置C141Fa較設計值之中心C141Za還要往第2方向D2之相反方向位移。圖8（B）係噴嘴141G的放大視圖。在圖8（B）中，開口部141Ga的中心C141Ga較設計值的中心C141Za還要往第2方向D2位移。

其次，設定部113會將所取得之開口部141a的中心位置與設計值的中心位置比較（S120）。此時，設定部113會運算處理所檢查到之開口部141a的中心偏離設計值的中心多少程度。

其次，設定部113使用在上述中自所檢查到之開口部141a之中心的位置資訊及設計值之中心的位置資訊運算出的結果，設定噴嘴141的排出條件（S130）。在此例中，設定部113會自事先設定好之在依設計值形成之開口部141a的排出條件開始修正，重新設定在目標物200之各排出位置的液滴147之排出開始時間及排出結束時間。

圖9係繪示本實施型態中之液滴147的排出時間與施加於電極145的電壓之關係的概略圖。舉例而言，假設噴嘴141之中，在噴嘴141-1之前端之開口部141-1a的中心較在依設計值形成之噴嘴141Z之前端之開口部的中心C141Za還要往第2方向D2配置（相當於噴嘴141G），且噴嘴141-2之開口部141-2a的中心較在依設計值形成之噴嘴141Z之前端之開口部的中心C141Za還要往第2方向D2的相反之側配置（相當於噴嘴141F）。此時，如圖9所示，設定部113會以噴嘴141-2之液滴排出開始時間變得在噴嘴141-1之液滴排出結束時間之後的方式來設定排出條件（S130）。並且，此時設定部113會設定液滴排出部140之位置的變動量。依據此資訊，驅動部130可使液滴排出部140的位置位移。具體而言，係以下述方式來設定排出條件：在自噴嘴141-1排出液滴前，噴嘴141的位置透過驅動部130移動Δ141Ga，其次，在噴嘴141-1排出後，噴嘴141的位置透過驅動部130位移Δ141Fa及Δ141Ga的總合量，噴嘴141-2再排出液滴。此外，此時設定部113亦可使排出時之施加於噴嘴141-2之電極145的電壓與施加於噴嘴141-1之電極145的電壓為定值。設定部113對其他噴嘴141亦同樣進行排出條件的設定。

最後，液滴排出部140會依據由設定部113設定好的排出條件，自各噴嘴141排出一定量的液滴（S140）。藉此，即使在開口部141a之中心配置成往與運行方向交叉的方向或其相反方向偏離的情況下，仍可排出指定之位置的液滴。

（1-3.排出後的圖案形狀）

圖10繪示液滴排出後之目標物200的平面圖。圖13繪示在不修正液滴排出條件之情況下的液滴排出後之目標物200的平面圖作為比較例。如圖13所示，在不修正液滴排出條件的情況下，液滴的排出會偏離，或液滴的排出量會不夠。另一方面，如圖10所示，藉由使用本實施型態之液滴排出裝置及液滴排出方法，由於即使在開口部141a之內徑、中心位置與設計值相異的情況下亦會修正以使排出條件變得最合適，故可於指定之位置排出所規定之量的液滴。

〈第2實施型態〉

在本實施型態中說明與第1實施型態相異之液滴排出裝置。具體而言，說明除了液滴排出部140之外還設置有新的液滴排出部之例。此外，為了說明的關係，會適當省略部件來說明。

圖11係本發明之一實施型態相關之液滴排出裝置100A的概略圖。液滴排出裝置100A除了控制部110、儲存部115、電源部120、驅動部130、液滴排出部140、檢查部150及目標物支承部160，還包含第2液滴排出部170。

第2液滴排出部170相對於液滴排出部140配置於第1方向D1之相反方向之側（即液滴排出部140的後方）。如圖11所示，第2液滴排出部170在此例中包含單個噴嘴171。具體而言，第2液滴排出部170包含噴嘴171、結構體172及電極175。此外，第2液滴排出部170亦可具有與液滴排出部140同樣的型態。第2液滴排出部170會依據檢查部150所檢查到之液滴排出部140的資訊（具體而言為噴嘴141的資訊）來排出液滴177。

在此例中，於在多個噴嘴141之中一個噴嘴141的開口部堵塞的情況下，液滴147不會自此噴嘴141排出。是故，在由液滴排出部140所致之液滴147結束之後，第2液滴排出部170可在原本應該由開口部141a堵塞之噴嘴141排出液滴的位置排出液滴177。

藉由使用本實施型態，可對呈排出不良的位置穩定排出液滴。

〈第3實施型態〉

在本實施型態中說明與第1實施型態及第2實施型態相異的液滴排出裝置。具體而言，說明液滴排出裝置不包含取得部及設定部而檢查裝置一併包含檢查部與取得部及設定部之例。

圖12係本發明之一實施型態相關之包含液滴排出裝置100B及檢查裝置300的液滴排出系統10的概略圖。液滴排出裝置100B包含控制部110、儲存部115、電源部120、驅動部130、液滴排出部140及目標物支承部160。

檢查裝置300包含控制部310、儲存部315、檢查部350。控制部310包含取得部311及設定部313。取得部311具有與取得部111同樣的功能。設定部313具有與設定部113同樣的功能。

在本實施型態的情形中，與第1實施型態相異，於檢查裝置中，可由基準值修正液滴排出條件。包含藉由修正而重新設定好之液滴排出條件的資訊，會經由網路NW而為液滴排出裝置100B的儲存部115所接收。此外，包含液滴排出條件的資訊，亦可儲存於儲存媒體再連接至液滴排出裝置100B。藉由使用本實施型態，可減輕液滴排出裝置100B相關之控制部110的負擔，同時就整個液滴排出系統而言，可在指定之位置穩定排出液滴。

〈變形例〉

在本發明之思想的範疇中，只要係本發明所屬技術領域中具有通常知識者，即得思及各種變更例及修正例，關於此等變更例及修正例，亦應理解為屬於本發明之範圍者。舉例而言，對於前述各實施型態，本發明所屬領域中具通常知識者適當進行構成元件的追加、刪除或設計變更者，或者進行工序之追加、省略或條件變更者，只要具備本發明之要旨，即亦包含於本發明之範圍。

在本發明之第1實施型態中，檢查部150方面使用光學顯微鏡，但不受限於此。舉例而言，亦可使用雷射顯微鏡、掃描型電子顯微鏡等。並且，檢查部150亦可為具有作為攝影裝置（攝像機（camera））的型態而不具有作為顯微鏡的型態。

並且，在本發明之第1實施型態中，說明了檢查噴嘴141之開口部141a的形狀之例，但不受限於此。舉例而言，亦可檢查噴嘴141之前端的方向，還可檢查噴嘴141之側部的形狀。

並且，在本發明之第1實施型態中，揭示了檢查部150設置於液滴排出裝置100的內部之例，但不受限於此。檢查部150亦可作為與液滴排出裝置不同的裝置來設置。在此情況下，噴嘴141之開口部141a的資訊，亦可自液滴排出裝置100的外部保存於儲存部115。

並且，在本發明之第1實施型態中，噴嘴141之開口部141a的資訊亦可儲存於檢查部150。取得部111亦可經由網路自檢查部150取得之。

並且，噴嘴141之開口部141a的資訊，除了檢查部150之外，亦可儲存於所連接之HDD、SSD等外部的儲存裝置或外部伺服器的儲存部。

並且，在本發明之第1實施型態中，揭示了液滴排出部140透過驅動部130而在目標物200上移動之例，但不受限於此。舉例而言，在液滴排出裝置中，驅動部130亦可使目標物200移動。在此情況下，液滴排出部140亦可固定於相同的位置。

並且，在本發明之第1實施型態中，目標物200並不受限於擁有平坦之表面的基板。目標物200亦可為堆疊有佈線的佈線基板。

並且，在本發明之第1實施型態中，揭示了檢查噴嘴的開口部作為液滴排出部的資訊之例，但不受限於此。舉例而言，亦可在對目標物200排出之前由檢查部150檢查預先對試驗用之基板排出時之液滴的形狀。在此情況下，檢查部150可檢查於指定之位置排出液滴時之液滴的大小、位置偏離量。液滴排出部140的資訊，可作為與液滴147之形狀相關聯的資訊。取得部111取得此排出結果，設定部113即可設定各噴嘴141之液滴的排出條件。

並且，亦可設置與檢查部150相異之新的第2檢查部。第2檢查部亦可與液滴排出部140一體化來使用。在液滴排出部140對目標物200排出液滴147之後，第2檢查部亦可檢查自噴嘴141排出之液滴的形狀。第2檢查部亦可具有攝影元件來拍攝排出結果。並且，拍攝結果亦可利用控制部110來判斷。控制部110亦可在判斷存在排出不良的情況下，對發生不良的區域再次排出液滴147。藉此，可抑制液滴排出不良。此外，在判定排出不良後，第2液滴排出部170亦可於發生排出不良的區域排出。

並且，在本發明之第1實施型態中，揭示了第2液滴排出部依據液滴排出部140的資訊來排出液滴之例，但不受限於此。如上所述，液滴排出部140亦可依據利用液滴排出部140之第1次的液滴排出結果來排出第2次的液滴。

並且，亦可設置與於上已述之檢查部150及第2檢查部相異的檢查部（第3檢查部）。第3檢查部亦可檢查目標物200的表面狀態、液體的黏度等。取得部111可取得此等資訊。設定部113會依據所取得之資訊來與成為基準之液體之黏度、目標物之表面狀態的資訊比較，修正排出條件。藉此，可設定新的液滴排出條件。

10:液滴排出系統 100、100A、100B:液滴排出裝置 110:控制部 111:取得部 113:設定部 115:儲存部 120:電源部 130:驅動部 140:液滴排出部 141、141-1、141-2、141-3、141-4、141-5、141A、141B、141C、141D、141E、141F、141G、141Z:噴嘴 141a、141Aa、141Ba、141Ca、141Da、141Ea、141Fa、141Ga:開口部 142:結構體 145:電極 147:液滴 150:檢查部 160:目標物支承部 170:第2液滴排出部 171:噴嘴 172:結構體 175:電極 177:液滴 200:目標物 300:檢查裝置 310:控制部 311:取得部 313:設定部 315:儲存部 350:檢查部 d141Aa、d141Ba、d141Ca:內徑 d141Za:設計值 C141Da、C141Ea、C141Fa、C141Ga、C141Za:中心 D1:第1方向 D2:第2方向 D3:相對於目標物垂直的方向 NW:網路 S110、S120、S130、S140:步驟 Δ141Da、Δ141Ea、Δ141Ga:位移量

〈圖1〉係本發明之一實施型態相關之液滴排出裝置的概略圖。

〈圖2〉係本發明之一實施型態相關之液滴排出部的平面圖及噴嘴之開口部的放大視圖。

〈圖3〉係本發明之一實施型態相關之液滴排出方法的流程圖。

〈圖4〉係本發明之一實施型態相關之噴嘴之開口部的放大視圖。

〈圖5〉係繪示本發明之一實施型態相關之液滴排出方法的排出時間與電壓之關係的概略圖。

〈圖6〉係本發明之一實施型態相關之噴嘴之開口部的放大視圖。

〈圖7〉係繪示本發明之一實施型態相關之液滴排出方法的排出時間與電壓之關係的概略圖。

〈圖8〉係本發明之一實施型態相關之噴嘴之開口部的放大視圖。

〈圖9〉係繪示本發明之一實施型態相關之液滴排出方法的排出時間與電壓之關係的概略圖。

〈圖10〉係藉由本發明之一實施型態相關之液滴排出方法而形成之圖案的俯視圖。

〈圖11〉係本發明之一實施型態相關之液滴排出裝置的概略圖。

〈圖12〉係本發明之一實施型態相關之液滴排出裝置的概略圖。

〈圖13〉係不修正液滴排出條件而形成之圖案的俯視圖。

100:液滴排出裝置

110:控制部

111:取得部

113:設定部

115:儲存部

120:電源部

130:驅動部

140:液滴排出部

141、141-1、141-2、141-3、141-4、141-5 :噴嘴

142:結構體

145:電極

147:液滴

150:檢查部

160:目標物支承部

200:目標物

D1:第1方向

D2:第2方向

D3:相對於目標物垂直的方向

Claims (15)

1. 一種液滴排出裝置，其具有：取得液滴排出部之資訊的取得部，所述液滴排出部具有相對於目標物往第1方向移動並排出液滴的多個噴嘴；與依據所取得之前述液滴排出部的資訊來設定前述多個噴嘴各自之前述液滴之排出條件的設定部。
2. 如請求項1所述之液滴排出裝置，其更具有檢查設置於前述液滴排出部之前述噴嘴之形狀的檢查部，前述液滴排出部的資訊包含前述噴嘴之開口部的資訊。
3. 如請求項1所述之液滴排出裝置，其更具有檢查自設置於前述液滴排出部之前述噴嘴排出之前述液滴之形狀的檢查部，前述液滴排出部的資訊包含與所排出之前述液滴之形狀相關聯的資訊。
4. 如請求項2或3所述之液滴排出裝置，其中前述液滴排出部具有排出第1液滴的第1噴嘴，以及配置成相對於前述第1噴嘴在與前述第1方向交叉之第2方向上鄰接並排出第2液滴的第2噴嘴，前述第1噴嘴與前述第2噴嘴配置於沿前述第2方向延伸而配置的結構體。
5. 如請求項4所述之液滴排出裝置，其中前述設定部在前述第2噴嘴之開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之開口部的中心還要往前述第1方向偏離時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出開始時間還要早。
6. 如請求項4所述之液滴排出裝置，其中前述設定部在前述第2噴嘴的前述開口部較前述第1噴嘴的前述開口部還要小時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出時間還要長。
7. 如請求項4所述之液滴排出裝置，其中前述設定部在前述第2噴嘴之前述開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之前述開口部的中心還要往前述第2方向偏離時，將前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間設定成在前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出結束時間之後。
8. 如請求項1所述之液滴排出裝置，其中具有與前述液滴排出部相異的第2液滴排出部，前述第2液滴排出部依據前述液滴排出部的資訊來排出液滴。
9. 一種液滴排出方法，其中檢查相對於目標物往第1方向移動並排出液滴的液滴排出部，取得所檢查之前述液滴排出部的資訊，依據所取得之前述液滴排出部的資訊來設定前述液滴的排出條件。
10. 如請求項9所述之液滴排出方法，其中所檢查之前述液滴排出部的資訊包含設置於前述液滴排出部之噴嘴之開口部的資訊。
11. 如請求項9所述之液滴排出方法，其中所檢查之前述液滴排出部的資訊包含與自設置於前述液滴排出部之噴嘴排出之前述液滴之形狀相關聯的資訊。
12. 如請求項10或11所述之液滴排出方法，其中設置於前述液滴排出部之前述噴嘴為多個，具有排出第1液滴的第1噴嘴，以及配置成相對於前述第1噴嘴在與前述第1方向交叉之第2方向上鄰接並排出第2液滴的第2噴嘴，前述第1噴嘴與前述第2噴嘴配置於沿前述第2方向延伸而配置的結構體。
13. 如請求項12所述之液滴排出方法，其中在前述第2噴嘴之開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之開口部的中心還要往前述第1方向偏離時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出開始時間還要早。
14. 如請求項12所述之液滴排出方法，其中在前述第2噴嘴的前述開口部較前述第1噴嘴的前述開口部還要小時，使前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出時間較前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出時間還要長。
15. 如請求項12所述之液滴排出方法，其中在前述第2噴嘴之前述開口部的中心配置成較前述第1噴嘴之前述開口部的中心還要往前述第2方向偏離時，將前述第2液滴自前述第2噴嘴的排出開始時間設定成在前述第1液滴自前述第1噴嘴的排出結束時間之後。

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