JP2003276218A - 液滴吐出装置、液滴吐出方法、デバイスの製造方法並びに電子機器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液滴吐出ヘッドの吐出不良を防止して、安定
した品位で液滴を吐出させることにより装置の稼働効率
を向上させる。 【解決手段】 入力される駆動波形に応じて伸縮する振
動子により液滴を吐出する吐出部が設けられた液滴吐出
ヘッド（１０）を備え、前記液滴吐出ヘッドを吐出対象
物に対して相対的に移動させつつ、駆動波形により吐出
部を駆動して液滴を吐出させる液滴吐出装置（１）にお
いて、液滴吐出ヘッドの位置情報を検出する位置検出手
段（１５）と、検出された前記液滴吐出ヘッドの位置情
報に基づいて駆動波形を選択する駆動波形選択手段（１
６）とから液滴吐出装置（１）を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、入力される駆動波
形に応じて伸縮する振動子により液滴を吐出する液滴吐
出装置及び液滴吐出方法、この液滴吐出方法を製膜工程
に含んでなるデバイスの製造方法、並びにこのデバイス
の製造方法により製造されたデバイスを用いた電子機器
に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ端末の印刷装置としてイン
クジェットプリンタが利用されている。また、例えば液
晶表示パネルのカラーフィルタのフィルタエレメントの
形成にインクジェット技術を応用した液滴吐出装置が利
用されている。この液滴吐出装置は、ピエゾ素子等の振
動子を伸縮させて圧力を発生させて、液滴吐出ヘッド
（インクジェットヘッド）に設けられた吐出部（ノズ
ル）の先端から液滴（インク滴）を吐出させるようにな
っている。このような液滴吐出装置では、吐出部先端の
液滴は大気と接するため、その液滴は、時間の経過とと
もにの水分が失われて増粘する。このように吐出部先端
の液滴が増粘した状態で次に液滴の吐出動作を行った場
合、液滴の吐出動作が安定せず、図７に示すように、吐
出対象物上の所定の位置（直線Ｌ上）に正しく液滴が塗
布されなかったり、液滴の大きさが均一でなかったりす
るという問題があった。そのため、従来の液滴吐出装置
では、所定の領域に液滴吐出ヘッドを移動させて、液滴
を捨て打ち又は試し打ちするフラッシング動作と呼ばれ
る液滴の予備吐出を行い、吐出部先端の増粘した液滴を
適宜に強制的に排出している。

【０００３】ところで、液晶表示パネルの画素密度や印
刷装置の印字ドット密度は、年々、高密度化している。
例えば、液晶パネルにおける画素密度は、これまでは１
００ＰＰＩ（Pixel Per Inch）が一般的であったが、近
年では２００ＰＰＩが一般的になりつつある。このよう
に画素の密度が高くなると、例えば図８に示すように、
１画素の間隔が約８４μｍから約４２μｍに減少する。
したがって、液滴吐出装置では、このような画素の微小
化に対応するため、例えば図９に示すように、液滴吐出
ヘッドの駆動波形を駆動波形Ｗｂから駆動波形Ｗａに変
えて液滴吐出ヘッドから吐出する液滴の大きさを小さく
している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の液滴吐出装置では、液滴吐出ヘッドから液滴を吐出
させるための駆動波形は一義的に決められていて、吐出
対象物に対する液滴の吐出時と、フラッシング動作時の
時とで何れも同じ駆動波形により液滴吐出ヘッドを駆動
させていた。したがって、近年の液滴の微小化により液
滴吐出ヘッドから吐出される液滴の大きさが小さくなる
と、フラッシング動作時の液滴の大きさも小さくなり、
その吐出時の圧力も下がる。そのため、フラッシング動
作によって吐出部先端の増粘した液滴を確実に排除する
ことができなくなり、最悪の場合には、吐出部が目詰ま
りしてしまう。これにより、液滴吐出装置では、その都
度、液滴の吐出動作を中断して、ワイピング装置により
吐出部先端の増粘した液滴を拭き取ったり、クリーニン
グ装置により吐出部の目詰まりを吸引したりしなければ
ならず、これらの動作を行うために装置の稼働効率が低
下するという問題があった。

【０００５】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、液滴吐出ヘッドの吐出不良を防止して、安定した
品位で液滴を吐出させることにより稼働効率の高い液滴
吐出装置及び液滴吐出方法、この液滴吐出方法を製膜工
程に含んでなるデバイスの製造方法、並びにこのデバイ
スの製造方法により製造されたデバイスを用いた電子機
器を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、入力される駆動波形に応じて伸縮する振
動子により液滴を吐出する吐出部が設けられた液滴吐出
ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッドを吐出対象物に対し
て相対的に移動させつつ、前記駆動波形により吐出部を
駆動して液滴を吐出させる液滴吐出装置において、前記
液滴吐出ヘッドの位置情報を検出する位置検出手段と、
検出された前記液滴吐出ヘッドの位置情報に基づいて前
記駆動波形を選択する駆動波形選択手段とを備えること
を特徴とする。

【０００７】この発明によれば、位置検出手段が液滴吐
出ヘッドの位置情報を検出し、駆動波形選択手段が液滴
吐出ヘッドの位置情報に基づいて前記駆動波形を選択す
るので、液滴吐出ヘッドの位置に応じて駆動波形を変更
して、吐出部から異なる大きさの液滴を吐出させること
ができる。これにより、吐出対象物に対する液滴の吐出
に支障を来さない範囲で任意の駆動波形により吐出部を
駆動して、吐出部先端の液滴を撹拌して液滴の増粘を防
止したり、増粘した液滴を強制的に排出したりして、液
滴の吐出不良を防止することができる。

【０００８】また、上記発明において、前記吐出対象物
の近傍に、前記吐出対象物に対する液滴の吐出開始前に
行われる前記吐出部による液滴の予備吐出のための液滴
受け皿を設け、前記駆動波形選択手段が、前記吐出対象
物及び液滴受け皿の位置に対応する前記液滴吐出ヘッド
の位置情報に基づいて、それぞれ第１及び第２の異なる
駆動波形を選択することを特徴とする。

【０００９】この発明によれば、駆動波形選択手段が、
吐出対象物及び液滴受け皿の位置に対応する液滴吐出ヘ
ッドの位置情報に基づいて、それぞれ第１及び第２の異
なる駆動波形を選択するので、吐出対象物に対して吐出
される液滴の大きさに関係なく、液滴の予備吐出では、
吐出部先端の液滴を強制的に排出するのに適切な大きさ
の液滴が吐出される。これにより、吐出部先端の増粘し
た液滴が取り除かれ、液滴の吐出不良を防止することが
できる。したがって、塗布媒体に対して微小の液滴を吐
出する、例えば高画質プリンタや高精細カラーフィルタ
の製造装置に好適な液滴吐出装置が実現できる。

【００１０】また、上記発明において、前記第２の駆動
波形は前記液滴吐出ヘッドから第１の駆動波形より大き
な液滴を吐出するための駆動波形であることを特徴とす
る。

【００１１】この発明によれば、吐出対象物に対して吐
出される液滴よりも大きな液滴を予備吐出において吐出
するので、吐出対象物に対して吐出される液滴が微小の
場合でも、液滴の予備吐出では、吐出部先端の液滴を強
制的に排出するのに十分な大きさを有する液滴が吐出さ
れる。これにより、吐出部先端の増粘した液滴が取り除
かれ、液滴の吐出不良を防止することができる。

【００１２】また、上記発明において、前記駆動波形選
択手段が、前記吐出対象物及び液滴受け皿の位置に対応
する前記液滴吐出ヘッドの位置情報に基づいて、前記液
滴吐出ヘッドから液滴を吐出しない程度に前記振動子を
伸縮させるための第３の駆動波形を選択することを特徴
とする。

【００１３】この発明によれば、駆動波形選択手段が、
吐出対象物及び液滴受け皿以外の位置に対応する前記液
滴吐出ヘッドの位置情報に基づいて、液滴吐出ヘッドか
ら液滴を吐出しない程度に振動子を伸縮させるための第
３の駆動波形を選択するので、液滴吐出ヘッドが液滴受
け皿から吐出対象物まで移動する行程や、液滴吐出ヘッ
ドの改行行程において振動子を微振動させることができ
る。これにより、吐出部先端の液滴が撹拌され、液滴の
増粘を抑制して液滴の吐出不良を防止することができ
る。

【００１４】また、上記発明において、液滴吐出ヘッド
の位置情報と駆動波形の情報とを関連付けて記憶する記
憶手段を備え、駆動波形手段が、液滴吐出ヘッドの位置
情報に基づいて記憶手段を参照し、対応する駆動波形を
選択することを特徴とする。

【００１５】この発明によれば、駆動制御手段が、液滴
吐出ヘッドの位置情報と駆動波形の情報とが関連付けら
れている記憶手段を参照して駆動波形を選択するので、
吐出対象物の大きさや位置、吐出する液滴の大きさ等の
条件が変更になった場合でも、記憶手段の内容を変更し
て容易に対応できる。したがって、多様な条件に対して
対応可能な利便性の高い液滴吐出装置が実現できる。

【００１６】また、上記目的を達成するため、本発明
は、入力される駆動波形に応じて伸縮する振動子により
液滴を吐出する吐出部が設けられた液滴吐出ヘッドを用
い、前記液滴吐出ヘッドを吐出対象物に対して相対的に
移動させつつ、前記駆動波形により吐出部を駆動して液
滴を吐出させる液滴吐出方法において、前記液滴吐出ヘ
ッドの位置情報を検出する処理と、検出された前記液滴
吐出ヘッドの位置情報に基づいて前記駆動波形を選択す
る処理とを含むことを特徴とする。

【００１７】この発明によれば、液滴吐出ヘッドの位置
情報の検出処理と、検出された液滴吐出ヘッドの位置情
報に基づいて前記駆動波形の選択処理とが行われるの
で、液滴吐出ヘッドの位置に応じて駆動波形を変更し
て、吐出部から異なる大きさの液滴を吐出させることが
できる。これにより、吐出対象物に対する液滴の吐出に
支障を来さない範囲で任意の駆動波形により吐出部を駆
動して、吐出部先端の液滴を撹拌して液滴の増粘を防止
したり、増粘した液滴を強制的に排出したりして、液滴
の吐出不良を防止することができる。

【００１８】また、本発明のデバイスの製造方法は、上
記本発明の液滴吐出方法を製膜工程の一部に含むことを
特徴とする。

【００１９】この発明によれば、デバイスの製造におけ
る製膜工程において、液滴の吐出不良により発生する製
造不良を防止することができる。

【００２０】また、本発明の電子機器は、上記本発明の
デバイスの製造方法により製造されたデバイスを含むこ
とを特徴とする。

【００２１】この発明によれば、製膜工程における製造
不良のないデバイスを使用して、動作不良のない電子機
器を実現できる。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図面を参照して説明する。図１は、本実施形態による
液滴吐出装置の一利用形態であるカラーフィルタ製造装
置の構成を示したブロック図である。本実施形態による
液滴吐出装置は、例えば液晶パネルのカラーフィルタ製
造装置に示すように、液滴吐出装置１は、液滴吐出ヘッ
ド１０とその駆動回路１１、モータ１２とその駆動回路
１３、エンコーダ１４、位置検出手段としての位置検出
回路１５、駆動波形選択手段としての演算装置１６と、
記憶手段として記憶装置１７、各部を通信可能に接続す
るバス１８等から構成されている。

【００２３】また、本実施形態では、液滴吐出装置１の
全体の動作を制御する上位ホスト２０、液滴吐出ヘッド
１０の目詰まりや汚れを除去するクリーニング装置２１
とワイピング装置２２、液滴吐出装置１を操作する操作
ボタンや動作状態を表示するモニタ等の入出力装置２
３、液滴吐出ヘッド１０の位置の微調整を行うためのヘ
ッド位置制御装置２４、描画媒体における液滴の吐出状
態等の画像情報を取得するセンサ２５、センサ２５の取
得した画像情報を処理するための画像処理回路２６を備
えている。これらの機能は、従来構成によるカラーフィ
ルタ製造装置が備える機能と同一であり詳細な説明は省
略する。

【００２４】液滴吐出ヘッド１０は、図２に示すよう
に、液体１０１が充填されたキャビティ１０２と、入力
される駆動波形に応じて伸縮する振動子１０３と、振動
子１０３の伸縮により液滴を吐出する吐出部としてのノ
ズル１０４とからなる。振動子１０３はキャビティ１０
２の一方の外壁面に設けられ、ノズル１０４は、キャビ
ティ１０２の他方の壁面に貫通して設けられている。な
お、振動子１０３としては、例えばピエゾ素子等の圧電
振動子が利用できる。

【００２５】このように構成された液滴吐出ヘッド１０
では、駆動回路１１を介して駆動波形が入力されると、
振動子１０３が伸縮してキャビティ１０２内の液体１０
１を加圧する。そして、加圧された液体１０１がノズル
１０４から液滴として吐出される。なお、液滴吐出ヘッ
ド１０は、入力される駆動波形の形状（例えば振幅及び
期間）に応じて振動子１０３の伸縮動作が変化し、ノズ
ル１０４から吐出される１滴の液滴の量（体積）が変化
する。

【００２６】モータ１２は、Ｘモータ１２１、Ｙモータ
１２２、θモータ１２３とからなり、それぞれの駆動回
路１３１〜１３３を介して、駆動信号が入力されること
により駆動され、液滴吐出ヘッド１０を吐出対象物（こ
こでは基板）に対して相対的に移動させる。図３は、液
滴吐出装置１における基板の態様を示した模式図であ
る。この図に示すように、基板５０はテーブル６０上に
載置され、固定されている。また、テーブル６０上には
基板５０を挟むようにＹ軸方向に沿って所定の幅で液滴
受け皿７１、７２が設けられている。

【００２７】Ｘモータ１２１が駆動されると、テーブル
６０がＸ軸方向に移動する。すなわち、液滴吐出ヘッド
１０が基板５０に対して相対的にＸ軸方向に沿って移動
する。一方、Ｙモータ１２２が駆動されると、液滴吐出
ヘッド１０がＹ軸方向に沿って移動する。このように、
液滴吐出装置１では、描画情報に基づいてＸモータ１２
１とＹモータ１２２とを駆動し、液滴吐出ヘッド１０に
対して駆動波形を入力することにより基板５０に対して
液滴を吐出するようになっている。他方、θモータ１２
３が駆動されると、テーブル６０はその中心点Ｐを軸と
してＸ−Ｙ平面と平行にθ方向へ回転する。このθモー
タ１２３は、例えば、液滴吐出ヘッド１０に対するテー
ブル６０の角度アライメントの実行時や、基板５０を液
滴吐出装置１の排出時において駆動されるようになって
いる。なお、Ｘモータ１２１、Ｙモータ１２２としてリ
ニアモータ等が利用でき、他方、θモータ１２３として
サーボモータ等が利用できる。

【００２８】エンコーダ１４は、Ｘエンコーダ１４１及
びＹエンコーダ１４２からなり、それぞれＸモータ１２
１及びＹモータ１２２の移動量に応じたパルス数を発生
する。例えば図３に示したように、Ｘ軸方向に関して、
液滴吐出ヘッド１０のホームポジションを基準点（＝
０）とすると、テーブル６０上の基板５０の位置は、Ｘ
エンコーダ１４１から出力されるパルス数８００００〜
８０００００として表される。他方、液滴受け皿７１の
位置は、３００００〜５００００と表される。

【００２９】位置検出回路１５は、エンコーダ１４の発
生するパルス数を累算して、液滴吐出ヘッド１０の現在
の位置情報として算出する。このとき、液滴吐出ヘッド
１０のホームポジションを基準点（＝０）として算出す
ることにより、基板５０及び液滴受け皿７０、７２の位
置情報との比較対照を容易とする。

【００３０】演算装置１６は、例えばＣＰＵ（中央演算
処理装置）等からなり、所定のプログラムを実行するこ
とにより各部の機能を制御し、位置検出回路１５から取
得した液滴吐出ヘッド１０の現在の位置情報に基づい
て、振動子１０３を駆動する駆動波形を選択的する機能
を備える。また、本実施形態では、演算装置１６は、詳
しくは後述する記憶装置１７を参照することにより駆動
波形の選択を行っている。なお、演算装置１６の各機能
は、例えば上位ホスト２０からの要求に基づいて制御さ
れている。

【００３１】記憶装置１７は、例えば揮発性のＲＡＭ
（Random Access Memory）や不揮発性のＲＯＭ（Read O
nly Memory）等の半導体メモリからなり、波形組合せテ
ーブル１７１と、駆動波形の波形形状データ１７２、例
えばカラーフィルタのフィルタエレメントのパターニン
グのための情報としての吐出パターンデータ１７３、演
算装置１６が実行するプログラムデータ１７４を格納し
ている。

【００３２】波形組合せテーブル１７１は、液滴吐出ヘ
ッドの位置情報と駆動波形の情報とを関連付けた一覧で
あり、図４に示すように、開始位置及び終了位置により
範囲指定される液滴吐出ヘッドの位置情報に対して選択
されるべき振動子１０３を駆動するための駆動波形の種
類と駆動波形の出力間隔及び駆動波形の出力回数限定か
らなる駆動波形の情報が含まれている。なお、図４は、
図３の例示と対応する。

【００３３】この図において、駆動波形Ｗ１は、振動子
１０３を停止状態からスタンバイ状態に遷移させる駆動
波形である。第３の駆動波形として駆動波形Ｗ２は、液
滴吐出ヘッド１１から液滴が吐出されない程度に振動子
１０３を微振動させる駆動波形である。第２の駆動波形
としての駆動波形Ｗ３は、液滴吐出ヘッド１１から約８
〜１２［×１０^-15ｍ³］の液滴量をノズル１０４から吐
出させる駆動波形である。同様に、第１の駆動波形とし
て駆動波形Ｗ４は、駆動波形Ｗ３より少ない約２〜５
［×１０^-15ｍ³］の液滴量をノズル１０４から液滴を吐
出させる駆動波形である。また、駆動波形Ｗ５は、振動
子１０３をスタンバイ状態から停止状態に遷移させる駆
動波形である。

【００３４】図４に例示した波形組合せテーブル１７１
では、基板５０の位置に対応する位置情報（８００００
〜８０００００）に対しては微小な液滴を吐出させる駆
動波形Ｗ４が選択され、基板５０の手前に設けられた予
備吐出を行う液滴受け皿７１の位置に対応する位置情報
（３００００〜５００００）に対しては駆動波形Ｗ４よ
り大きな液滴を吐出させる駆動波形Ｗ３が選択されるよ
うになっている。又、液滴受け皿７１から基板５０間の
位置に対応する位置情報（５００００〜８００００）に
対しては振動子１０３を微振動させる駆動波形Ｗ２が選
択される。

【００３５】これにより、描画領域５０に対しては微小
な液滴を吐出する一方で、予備吐出に際しては十分に大
きな液滴を吐出して、ノズル１０４先端の増粘した液滴
を確実に排出させるので、微小液滴を描画媒体に対して
吐出する高画質プリンタや高精細カラーフィルタの製造
装置に本実施形態による液滴吐出装置を適用して、液滴
の吐出不良が無く、安定した品位で液滴を吐出させるこ
とができ、稼働効率の高い装置が実現できる。また、液
滴受け皿７１から基板５０間の位置では、振動子を微振
動させることにより、テーブル６０や基板５０を不用意
に汚すことなく、ノズル１０４先端の液滴を撹拌させる
ので、その部分における液滴の増粘を抑制し、より確実
に液滴の吐出不良を防止することができる。

【００３６】波形形状データ１７２は、図５に示すよう
に、波形組合せテーブル１７１に含まれる駆動波形の波
形形状を表したデータであり、このデータは、ヘッド駆
動回路１１が演算装置１６により選択された駆動波形を
生成する際に利用される。

【００３７】次に、本実施形態による液滴吐出ヘッド１
０の吐出シーケンスについて図６を参照して説明する。
なお、演算装置１６の各動作は、上位ホスト２０からの
要求に基づき行われるものである。まず、演算装置１６
は記憶手段１７を参照して図４に示した波形組合せテー
ブル１７１を読み出す（ステップＳ１）。次いで、演算
装置１６は、吐出パターンデータ１７３に基づき駆動回
路１３を介してモータ１２へ駆動信号を供給して、液滴
吐出ヘッド１０の移動を開始する（ステップＳ２）。そ
して、演算装置１６は、位置検出回路１５から液滴吐出
ヘッド１０の現在の位置情報を取得する（ステップＳ
３）。ここで、演算装置１６は、例えば吐出パターンデ
ータのエンド情報に基づいて描画の終了を判断する（ス
テップＳ４）。描画が終了していない場合は（ＮＯ）、
演算装置１６は、液滴吐出ヘッド１０の現在の位置情報
が波形組合せテーブル１７１に示された開始位置と終了
位置の設定範囲にあるかどうかを判断する（ステップＳ
５）。なお、ステップＳ４でＹＥＳの場合は、演算装置
１６はモータ１２への駆動信号の供給を停止して、液滴
吐出ヘッド１０の移動を終了し（ステップＳ４ａ）、本
動作シーケンスを終了する。

【００３８】ステップＳ５で、設定範囲にある場合は
（ＹＥＳ）、演算装置１６は、該当する設定範囲に対応
する駆動波形を指定された吐出限定回数分だけ出力した
かどうかを判断する（ステップＳ６）。出力していない
場合は（ＮＯ）、演算装置１６は、次式に基づいて、液
滴吐出ヘッド１０の現在の位置が駆動波形を出力する位
置かどうかを判断する（ステップＳ７）。 （現在の位置情報）−（該当する設定範囲の開始位置）
／（出力間隔）＝０ この式が正しい場合には（ＹＥＳ）、演算装置１６は、
該当する設定範囲の駆動波形を選択して（ステップＳ
８）、その駆動波形をヘッド駆動回路１１を介して液滴
吐出ヘッドへ出力する（ステップＳ９）。なお、ステッ
プＳ５でＮＯ、又はステップＳ６でＹＥＳ、あるいはス
テップＳ７でＮＯの場合は、いずれもステップＳ３の処
理に戻る。以後、ステップＳ４で吐出終了と判断される
まで、ステップＳ３〜ステップＳ９の処理を繰り返す。

【００３９】なお、本発明は上述した実施形態に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変更できる
ことは勿論である。例えば、本実施形態では、液滴受け
皿７１から基板５０間の位置に対応する位置情報（５０
０００〜８００００）に対してのみ振動子１０３を微振
動させているが、液滴吐出ヘッド１０をＹ軸方向に対し
て改行動作を行う際にも同様に微振動させても良い。ま
た、本実施形態では、液滴吐出ヘッド１０をＸ軸方向に
対して一方向に移動しつつ液滴を吐出する場合について
説明しているが、双方向に移動させるようにしても良
い。この場合には、液滴受け皿７２において液滴を予備
吐出することがより好ましい。

【００４０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
位置検出手段が液滴吐出ヘッドの位置情報を検出し、駆
動波形選択手段が液滴吐出ヘッドの位置情報に基づいて
前記駆動波形を選択するので、液滴吐出ヘッドの位置に
応じて駆動波形を変更して、吐出部から異なる大きさの
液滴を吐出させることができる。これにより、被吐出媒
体に対する液滴の吐出に支障を来さない範囲で任意の駆
動波形により吐出部を駆動して、吐出部先端の液滴を撹
拌して液滴の増粘を防止したり、増粘した液滴を強制的
に排出したりして、液滴の吐出不良を防止することがで
きる。したがって、吐出部先端の目詰まりによるヘッド
クリーニングやヘッド交換などのメンテナンスの回数が
減り、効率よく、安定した品位で液滴を吐出することの
できる生産性の高い液滴吐出装置が実現できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態による液滴吐出装置の構
成を示すブロック図である。

【図２】 液滴吐出ヘッドの断面構造を示す図である。

【図３】 吐出対象物の態様を示す模式図である。

【図４】 波形組合せテーブルの内容を示す図である。

【図５】 波形形状データの内容を示す図である。

【図６】 液滴吐出ヘッドの吐出シーケンスを示す図で
ある。

【図７】 液滴の吐出不良の状態を示す図である。

【図８】 カラーフィルタの画素密度と画素幅との対応
を示す図である。

【図９】 駆動波形の形状と液滴の大きさとの対応を示
す図である

【符号の説明】

１ 液滴吐出装置 １０ 液滴吐出ヘッド １５ 位置検出回路（位置検出手段） １６ 演算装置（駆動波形選択手段） １７ 記憶装置（記憶手段） １０３ 振動子 １０４ ノズル（吐出部）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ４１Ｊ 2/18 Ｂ４１Ｊ 3/04 １０２Ｒ 2/185 Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ (72)発明者 高野 豊 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 (72)発明者 小山 実 長野県諏訪市大和３丁目３番５号 セイコ ーエプソン株式会社内 Ｆターム(参考） 2C056 EA24 EB25 EB36 EC24 EC41 EC56 FA04 FA10 FB01 JC01 2C057 AJ01 AM31 AR08 BA04 BA14 2H048 BA02 BA11 BA55 BA64 BB02 BB42 4D074 AA01 AA10 FF04 FF06

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 入力される駆動波形に応じて伸縮する振
   動子により液滴を吐出する吐出部が設けられた液滴吐出
   ヘッドを備え、前記液滴吐出ヘッドを吐出対象物に対し
   て相対的に移動させつつ、前記駆動波形により吐出部を
   駆動して液滴を吐出させる液滴吐出装置において、 前記液滴吐出ヘッドの位置情報を検出する位置検出手段
   と、 検出された前記液滴吐出ヘッドの位置情報に基づいて前
   記駆動波形を選択する駆動波形選択手段とを備えること
   を特徴とする液滴吐出装置。
2. 【請求項２】 前記吐出対象物の近傍に、前記吐出対象
   物に対する液滴の吐出開始前に前記吐出部から液滴を予
   備吐出するための液滴受け皿を設け、 前記駆動波形選択手段が、前記吐出対象物及び液滴受け
   皿の位置に対応する前記液滴吐出ヘッドの位置情報に基
   づいて、それぞれ第１及び第２の異なる駆動波形を選択
   することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出装置。
3. 【請求項３】 前記第２の駆動波形は、前記液滴吐出ヘ
   ッドから第１の駆動波形より大きな液滴を吐出するため
   の駆動波形であることを特徴とする請求項２に記載の液
   滴吐出装置。
4. 【請求項４】 前記駆動波形選択手段が、前記吐出対象
   物及び液滴受け皿以外の位置に対応する前記液滴吐出ヘ
   ッドの位置情報に基づいて、前記液滴吐出ヘッドから液
   滴を吐出しない程度に前記振動子を伸縮させるための第
   ３の駆動波形を選択することを特徴とする請求項２又は
   ３に記載の液滴吐出装置。
5. 【請求項５】 前記液滴吐出ヘッドの位置情報と駆動波
   形の情報とを関連付けて記憶する記憶手段を備え、 前記駆動波形手段が、前記液滴吐出ヘッドの位置情報に
   基づいて前記記憶手段を参照し、対応する駆動波形を選
   択することを特徴とする請求項１乃至４の何れかに記載
   の液滴吐出装置。
6. 【請求項６】 入力される駆動波形に応じて伸縮する振
   動子により液滴を吐出する吐出部が設けられた液滴吐出
   ヘッドを用い、前記液滴吐出ヘッドを吐出対象物に対し
   て相対的に移動させつつ、前記駆動波形により吐出部を
   駆動して液滴を吐出させる液滴吐出方法において、 前記液滴吐出ヘッドの位置情報を検出する処理と、 検出された前記液滴吐出ヘッドの位置情報に基づいて前
   記駆動波形を選択する処理とを含むことを特徴とする液
   滴吐出方法。
7. 【請求項７】 請求項６に記載の液滴吐出方法を、製膜
   工程の一部に含んで成ることを特徴とするデバイスの製
   造方法。
8. 【請求項８】 請求項７に記載のデバイスの製造方法に
   より製造されたデバイスを含んでなる電子機器。