TW202103878A

TW202103878A - 吸附機構

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Publication number: TW202103878A
Application number: TW109113767A
Authority: TW
Inventors: 有賀拓真
Original assignee: 日商日本匹士克股份有限公司
Priority date: 2019-07-08
Filing date: 2020-04-24
Publication date: 2021-02-01
Also published as: JP2021010985A; CN112192598B; JP6880112B2; KR20210006279A; CN112192598A

Abstract

實現一種吸附機構，其能夠防止吸盤的變形，並且使可靠的吸附力發揮作用，從而極容易地進行吸盤的更換作業。本發明的吸附機構(2)包括：具有與真空源(14)連通的空間部(20)的主體部(22)；固定於主體部(22)，並且構成空間部(20)的外周部的吸盤(30)，主體部(22)具有：向工件(W)側延伸的支承壁(26)；與吸盤(30)的後端(30d)抵接的底盤面(22a)，吸盤(30)構成為，使用彈性材料，具有使前端(30a)比支承壁(26)更向工件(W)側突出的軸向長度，並且形成為沿周向連續的環狀，且嵌設於支承壁(26)的外周部(26a)或內周部(26b)，在吸附時與工件(W)緊貼而使空間部(20)處於密閉狀態，在主體部(22)安裝有固定部(32)，其藉由壓接於吸盤(30)的外周部(30c)或內周部(30b)，以將吸盤(30)緊貼於支承壁(26)和底盤面(22a)並進行固定。

Description

吸附機構

本發明涉及吸附機構，更詳細而言，涉及通過對與工件相對的空間部進行減壓來吸附工件並使其移動的移動裝置的吸附機構。

以往，為了在生產線等中進行搬運或組裝，投入使用一種包括機器人臂等機構進行工件的移動的移動裝置。在這樣的機器人臂等機構的前端，使用很多通過減壓來吸附工件的吸附機構。

例如，在專利文獻1(參照日本特開2019-024127號公報)中，公開了適合於工件為基板的情況的吸附機構。另外，在專利文獻2(參照日本特開2016-215285號公報)中，公開了適合於移動對象的工件為袋狀物的情況的吸附機構。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2019-024127號公報專利文獻2：日本特開2016-215285號公報

[發明欲解決之課題]

特別是在工件的吸附面存在凹凸的情況等下，需要通過在吸附機構設置具有彈性的吸盤，以使由減壓引起的吸附力可靠地作用於工件的吸附面。然而，根據本案發明人等的研究，在將具有彈性的吸盤設置於吸附機構的結構中，明顯會產生吸盤的變形或更換作業的效率低下等各種課題。 [用以解決課題之手段]

本發明是鑒於上述情況而作出的，其目的在於實現一種吸附機構，上述吸附機構在設置有具有彈性的吸盤的結構中，通過適當地保持吸盤整體的姿勢變化，並且提高前端面(在前端中之與工件以規定面積接觸的面，以下相同)的隨動性，以使可靠的吸附力發揮作用，並且能夠極容易地進行吸盤的更換作業。

本發明通過以下所記載的解決手段來解決上述課題。

本發明提供一種吸附機構，所述吸附機構是通過對設置於與工件相對的位置的空間部進行減壓來吸附工件並使所述工件移動的移動裝置的吸附機構，其要件為，所述吸附機構包括：主體部，所述主體部具有與真空源連通的所述空間部；以及吸盤，所述吸盤固定於所述主體部，並且構成所述空間部的外周部，所述主體部具有：支承壁，所述支承壁在朝向所述工件的方向上延伸；以及底盤面，所述底盤面與所述吸盤的後端抵接，所述吸盤構成為，使用彈性材料，具有使前端比所述支承壁更向所述工件側突出的軸向長度，並且形成為沿周向連續的環狀，且嵌設於所述支承壁的外周部或內周部，在吸附時與所述工件緊貼而使所述空間部處於密閉狀態，在所述主體部安裝有固定部，在上述吸盤嵌設於所述支承壁的外周部的結構的情況下，所述固定部通過壓接於所述吸盤的外周部來將所述吸盤緊貼於所述支承壁和上述底盤面並進行固定，在所述吸盤嵌設於所述支承壁的內周部的結構的情況下，所述固定部通過壓接於上述吸盤的內周部來將所述吸盤緊貼於所述支承壁和所述底盤面並進行固定。 [發明之效果]

根據本發明，實現一種吸附機構，上述吸附機構在設置有具有彈性的吸盤的結構中，通過適當地保持吸盤整體的姿勢變化，並且提高前端面的隨動性，從而能夠以可靠的吸附力發揮作用，並且能夠極容易地進行吸盤的更換作業。

(第一實施方式) 以下，參照附圖，對本發明的第一實施方式進行詳細說明。圖1是包括本發明的第一實施方式的吸附機構的移動裝置的結構例。另外，圖2是本發明第一實施方式的吸附機構的立體圖(示意圖)，圖3是圖2的正面剖視圖(示意圖)。另外，在用於對實施方式進行說明的全部附圖中，對於具有相同功能的構件標注相同的符號，並省略其重複的說明。

首先，吸附機構例如被裝備於為了在工業產品的生產線等中進行搬運或組裝而通過減壓來吸附工件並使其移動的移動裝置。作為該移動裝置的示例，可以列舉搬運機器人、取出機等。

如圖1所示，本實施方式的移動裝置1包括例如由機器人臂等構成的移動機構12。在該移動機構12的前端配設有吸附機構2、3。此處，吸附機構2、3經由流路16與真空源(減壓源)14連接，流路切換閥18設置於流路16。該流路切換閥18起到對使吸附機構2、3處於真空(減壓)的位置和使吸附機構2、3處於向大氣開放的位置進行切換的作用。由此，通過使在吸附機構2、3中設置於與工件相對的位置的空間部(後述)處於真空即減壓狀態，能夠使工件吸附於該空間部的開口部分。另外，真空源(減壓源)14作為一例使用真空泵(減壓泵)，但是不限定於此。另外，作為工件的示例，假定具有能吸附的面的產品、或者產品被捆包狀態的紙箱容器等。特別是重物的情況下，由於達到數公斤至數十公斤，因此需要吸附機構具有可靠的吸附性能。

本案的發明人等專心致力於吸附機構的研究開發，提出了比較例的吸附機構3。圖5示出了吸附機構3的結構例。

吸附機構3包括：主體部22，在上述主體部22中，與真空源14連通的空間部20設置於徑向的中央區域；吸盤30，上述吸盤(pad)30固定於主體部22，並且構成空間部20的外周部(即周壁部)。該空間部20經由流路16與真空源14連通。因此，通過使真空源14工作，能夠使空間部20處於真空(減壓)狀態。

如圖5所示，主體部22具有：支承壁26，上述支承壁26在朝向工件W的方向上延伸(即，周面成為與徑向正交的方向)；以及底盤面22a，上述底盤面22a與吸盤30的後端30d抵接。

此處，吸盤30具有前端30a比支承壁26更向工件W側突出的軸向長度，並且形成為沿周向連續的環狀，且嵌設於支承壁26的外周部。此時，吸盤30的後端30d成為與底盤面22a抵接的狀態。作為一例，吸盤30採用使用了彈性材料的發泡材料或海綿等形成為截面呈矩形。作為具體示例，可以列舉橡膠、彈性體或樹脂，或者他們的複合材料等。

或者，作為變形例，如圖6所示，也可以考慮在主體部22中將支承壁26設置成能夠在其內周部嵌設吸盤30的結構。

根據上述比較例(包括變形例)，在進行工件W的吸附時，即使在工件W的吸附面上存在凹凸的情況下，也能夠通過彈性來吸收凹凸並使吸盤30緊貼於吸附面，從而使空間部20處於密閉狀態。因此，能夠將空間部20減壓，並且能夠通過減壓引起的吸附力進行吸盤30的前端30a對工件W的支承，且使空間部20的開口部分20a吸附工件W並使其移動。

另一方面，關於吸附機構3，由於通過空間部20的減壓而將工件W按壓於吸盤30的前端30a，因此，如圖7所示，吸盤30(特別是軸向的中間區域)的內周部30b以從支承壁26的外周部26a背離的方式變形，從而無法進行適當的姿勢變化，前端面對工件W的隨動性(緊貼性)降低的課題變得明顯(另外，在圖6的變形例的情況下，向徑向的相反方向變形)。此外，因移動作業中的振動、與工件W接觸時的衝擊、或從傾斜方向接觸時的作用力等可能會導致吸盤30脫落這樣的課題也變得明顯。

為了解決該課題，作為比較例，如圖8所示，在主體部22中，對具有在朝向工件W的方向上延伸的兩個支承壁26A、26B的結構進行了研究。根據該結構，在以與兩個支承壁26A、26B抵接的狀態嵌設，因此能夠提高吸盤30的防止脫落效果。但是，另一方面，由於沒有向徑向退避，因此，其結果會產生在與工件W接觸時適當的姿勢變化受到妨礙，從而導致前端面(吸附面)對工件W的隨動性(緊貼性)降低這樣的另一課題。

為了解決該課題，在圖5(或圖6)所示的配置結構下，對使用黏接劑(包括雙面膠帶等)將吸盤30的內周部30b與支承壁26的外周部26a(另外，在圖6的變形例的情況下為內周部26b)黏接的結構進行了研究。除此以外，還進一步對將吸盤30的後端30d和主體部22黏接的結構進行了研究。根據任一種結構，均能夠防止在利用吸附機構3吸附工件W時，吸盤30的內周部30b從支承壁26的外周部26a(內周部26b)背離的變形。另外，還能夠提高由振動等而引起的吸盤30的防止脫落效果。此外，在追加了將吸盤30的後端30d、主體部22和吸盤30黏接的結構的情況下，能夠進一步提高吸盤30的防止脫落效果。

但是，在採用了這樣的結構的情況下，關於吸附機構3，已經明確：當通過空間部20的減壓將工件W按壓於吸盤30的前端30a時，如圖9所示，吸盤30的外周部30c側區域沒有由黏接導致的限制而能夠充分地發揮彈性，與此相對，吸盤30的內周部30b側區域與支承壁26的外周部26a黏接，壓縮方向的變形被限制，從而處於無法充分地發揮彈性的狀態(另外，在圖6的變形例的情況下，外周部30c側被黏接使得變形被限制)。由於在這樣的吸盤30中，彈性性能因徑向位置不同而產生差異，因此，存在無法進行適當的姿勢變化，前端面對工件W的隨動性(緊貼性)降低這樣的課題。

而且，由於吸盤30是消耗品，因此，在觀察到磨損或劣化等狀態後，根據需要而進行更換作業。但是，由於吸盤30的內周部30b與支承壁26的外周部26a黏接，因而，在更換時需要剝離黏接劑的作業。因此，由於作業工時增加，停止裝置的時間變長，因此，導致生產效率降低的課題也變得明顯。

為了解決這些課題，本案的發明人等進一步專心致力於吸附機構的研究開發，並最終提出了本發明的實施方式的吸附機構2。圖2示出了吸附機構2的立體圖(示意圖)，圖3示出了吸附機構2的正面剖視圖(示意圖)。另外，包括吸附機構2的移動裝置的結構圖如上述圖1所示。

吸附機構3包括：主體部22，在上述主體部22中，與真空源14連通的空間部20設置於徑向的中央區域；以及吸盤30，上述吸盤30固定於主體部22，並且構成空間部20的外周部(即周壁部)。該空間部20經由流路16與真空源14連通。因此，通過使真空源14工作，能夠使空間部20處於真空(減壓)狀態。另外，主體部22使用金屬材料(例如鋁合金、不銹鋼合金等)或樹脂材料(例如PA、PBT、POM等)來形成於一體(也可以分體)。

另外，主體部22具有：支承壁26，上述支承壁26在朝向工件W的方向上延伸(即，周面成為與徑向正交的方向)；以及底盤面22a，上述底盤面22a與吸盤30的後端30d抵接。

此處，吸盤30具有前端30a比支承壁26更向工件W側突出的軸向長度，並且形成為沿周向連續的環狀，且嵌設於支承壁26的外周部。此時，吸盤30的後端30d成為與底盤面22a抵接的狀態。作為一例，吸盤30採用使用了彈性材料的發泡材料或海綿等形成為截面呈矩形。作為具體示例，可以列舉橡膠、彈性體或樹脂，或者他們的複合材料等。另外，截面形狀不限定於矩形，可以採用如圖10A所示的前端30a和後端30d呈曲面狀，或者如圖10B所示的以使前端30a向外側翹曲的方式前端變細的突起狀等各種形狀。

根據上述結構，與上述的吸附機構3同樣地，在進行工件W的吸附時，即使在工件W的吸附面上存在凹凸的情況下，也能夠通過彈性來吸收凹凸並使吸盤30緊貼於吸附面，從而使空間部20處於密閉狀態。即，能夠將空間部20減壓，並且能夠通過減壓引起的吸附力進行吸盤30的前端30a對工件W的支承，並且使空間部20的開口部分20a吸附工件W並使其移動。

此外，作為本實施方式的特徵性結構，吸附機構2構成為包括固定部32，上述固定部32通過壓接於吸盤30的外周部30c，以將上述吸盤30緊貼於支承壁26和底盤面22a這兩者而對上述吸盤30進行固定。作為一例，固定部32構成為安裝於主體部22。

由此，在工件W的吸附時，能夠防止如下情況：當通過空間部20的減壓來將工件W按壓於吸盤30的前端30a時，吸盤30的內周部30b(或者外周部30c)以從支承壁26的外周部26a(或者內周部26b)背離的方式變形，從而無法保持適當的姿勢變化，導致前端面的隨動性下降。此時，也不需要使用黏接劑來將吸盤30的內周部30b(或外周部30c)與支承壁26的外周部26a(或內周部26b)黏接的結構。因此，能夠解決上述的課題、即吸盤30的內周部30b側區域(或外周部30c側區域)因黏接而無法充分地發揮彈性的課題、以及在更換吸盤30時需要剝離黏接劑的作業的課題中的任一個。

此處，對固定部32的結構例進行說明。本實施方式的固定部32構成為固定帶，上述固定帶的內徑以比吸盤30的外徑還小規定尺寸的方式形成，並且上述固定帶沿著吸盤30的外周部30c壓接設置。具體而言，通過使用連續狀的形狀、例如一個部件、或者將多個部件無間隙地組合，來形成連續的環狀(環形狀)。但是，不限定於此，也可以使用不連續狀的形狀、例如使用一個部件並在局部具有切槽的形狀(所謂的C字形狀等)，或者具有多個部件並以規定的間隙組合而成的形狀，來形成不連續的固定帶。

上述固定部32通過使螺柱34夾在中間並使用緊固構件40(螺栓或螺釘等)固定於主體部22，以配設於距主體部22(此處是底盤面22a)規定尺寸的位置。由此，由於能夠藉由固定部32遍及環狀的吸盤30的整周(包括幾乎整周的情況)的進行按壓，因此，能夠可靠地固定。另外，此時，能夠將固定部32配置於圖7所示的容易發生變形的吸盤30的中間區域，因此，能夠提高上述變形的抑制效果。而且，在更換吸盤30時，僅需拉拽吸盤30即可將其拆下，僅需壓入吸盤30即可將其安裝，因此，更換作業極為容易。另外，固定部32和螺柱34使用金屬材料(例如鋁合金、不銹鋼合金等)或樹脂材料(例如PA、PBT、POM等)來形成。

另外，通過設置螺柱34，能夠實現如下結構：在螺柱34的外周面34a與該外周面34a相對的吸盤的周面(在這種情況下，外周部30c的面)之間設置空間(退避空間36)。在對其作用效果進行說明時，在工件W的吸附時，由於空間部20的減壓而將工件W按壓於吸盤30的前端30a，因此，吸盤30被壓縮而整體地以向徑向外側膨脹的方式變形。假設，在螺柱34與吸盤30的外周部30c接觸的情況下，吸盤30的周面(在這種情況下，外周部30c的面)以向徑向外側膨脹的方式的變形被限制，從而變成無法充分地發揮彈性的狀態。與此相對，根據上述結構，由於能夠使在吸附時以向徑向外側膨脹的方式變形的、吸盤的變形區域向退避空間36退避，因此，變形未受到限制，從而能夠充分地發揮彈性。另外，如果使用長度不同的螺柱34，則能夠容易地改變固定部32的設置位置。

另外，作為變形例，通過代替螺柱而設置螺旋彈簧等施力構件的結構也能夠得到相同的作用效果(未圖示)。

這樣，根據本實施方式的吸附機構2，通過適當地保持吸盤整體的姿勢變化，並且提高前端面的隨動性，從而能夠發揮可靠的吸附性能。因此，特別是在工件W是重物的情況下，或是在吸附面存在凹凸的產品或容器(例如，紙箱容器等)的情況下，也能夠可靠地吸附並使其移動。

接著，圖4中示出了吸附機構2的變形例。上述示例是吸盤30沿著支承壁26的外周部設置的情況的結構例，與此相對，上述變形例是吸盤30沿著支承壁26的內周部設置的情況的結構例。

關於吸附機構2，構成為包括固定部32，上述固定部32通過壓接於吸盤30的內周部30b、以將上述吸盤30緊貼於支承壁26和底盤面22a這兩者而對上述吸盤30進行固定。作為一例，固定部32構成為安裝於主體部22。

另外，固定部32構成為固定帶，上述固定帶的外徑以比吸盤的內徑還大規定尺寸的方式形成，並且沿著吸盤的內周部30b壓接設置。具體而言，通過使用連續狀的形狀、例如一個部件、或者將多個部件無間隙地組合，來形成連續的環狀(環形狀)。但是，不限定於此，也可以使用不連續狀的形狀、例如使用一個部件在局部具有切槽的形狀(所謂的C字形狀等)，或者具有規定間隙地組合多個部件而成的形狀，也可以形成不連續的固定帶。

上述固定部32通過使螺柱34夾在中間並使用緊固構件40(螺栓或螺釘等)固定於主體部22，以配設於距主體部22(此處是底盤面22a)規定尺寸的位置。

另外，其他的結構和作用效果與上述示例相同，因此省略重複說明。

(第二實施方式) 接著，對本發明的第二實施方式的吸附機構2進行說明。本實施方式的吸附機構2與上述的第一實施方式的基本結構相同，但是特別是在固定部的結構和固定結構中具有不同點。以下，以該不同點為中心對本實施方式進行說明。此處，圖11示出了本實施方式的吸附機構2的正面剖視圖(示意圖)。另外，包括本實施方式的吸附機構2的移動裝置1的結構例與圖1相同，因此省略圖示。

與上述第一實施方式同樣地，本實施方式的固定部32構成為固定帶，上述固定帶的內徑以比吸盤30的外徑還小規定尺寸的方式形成，並且上述固定帶沿著吸盤30的外周部30c壓接設置。具體而言，通過使用連續狀的形狀、例如一個部件、或者將多個部件無間隙地組合，來形成連續的環狀(環形狀)。但是，不限定於此，也可以使用不連續狀的形狀、例如使用一個部件並在局部具有切槽的形狀(所謂的C字形狀等)，或者具有多個部件並以規定的間隙組合而成的形狀，也可以形成不連續的固定帶。

此處，本實施方式的固定部32具有從其外周部向主體部22方向延伸設置的周壁部32a。此外，周壁部32a可以在固定部32的外周整周範圍內設置，或者可以部分地設置。

根據上述結構，通過使用緊固構件42(螺栓或螺釘等)來將周壁部32a固定於主體部，能夠在距主體部22(此處是底盤面22a)規定尺寸的位置配設固定部32，也能夠設置退避空間36。另外，在上述的第一實施方式中，能夠省略將固定部32固定於主體部22時所需的螺柱，因此，能夠削減部件數量。

此外，作為變形例，也可以如圖12所示構成為主體部22與固定部32一體地形成(包括周壁部32a)。由此，能夠進一步削減部件數量和組裝工時。

另外，其他的結構和作用效果與上述第一實施方式相同，因此省略重複說明。

(第三實施方式) 接著，對本發明的第三實施方式的吸附機構2進行說明。本實施方式的吸附機構2與上述的第一實施方式的基本結構相同，但是特別是在包括多個空間部等的結構中具有不同點。以下，以該不同點為中心對本實施方式進行說明。此處，圖13示出了本實施方式的吸附機構2的立體圖(示意圖)。另外，包括本實施方式的吸附機構2的移動裝置1的結構例與圖1相同，因此省略圖示。

在本實施方式中，構成為在一個主體部22中設置多個(作為一例，兩個)空間部20A、20B。相對於各空間部20A、20B分別設置有與上述的支承壁26相同的支承壁26C、26D，並且與上述的吸盤30相同的吸盤30A、30B嵌設於各個支承壁26C、26D。但是，空間部不限定於兩個，也可以同樣地適用於設置三個以上的結構。

此處，本實施方式的固定部32具有能夠將設置於多個空間部20A、20B的多個吸盤30A、30B同時(即，一併)地固定的結構。作為一例，構成為包括沿著吸盤30A的外周部30Ac和吸盤30B的外周部30Bc壓接設置的連續狀或不連續狀(即，具有切槽的情況等)的固定部(固定帶)32A、32B。在本實施方式中，固定部32A、32B使用由形成為大致8字狀的一個部件構成的板材。但是，不限定於此，也可以使用多個部件來形成固定部32A、32B。

另外，其他的結構和作用效果與上述第一實施方式和第二實施方式相同，因此省略重複說明。

如上所述，根據本發明的吸附機構，在設置具有彈性的吸盤的結構中，通過適當地保持吸盤整體的姿勢變化，並且提高前端面的隨動性，能夠使可靠的吸附力發揮作用，並且能夠極容易地進行吸盤的更換作業。特別是在工件W是重物的情況下，或是在吸附面存在凹凸的產品或容器的情況下，均能夠可靠地吸附並使其移動。

另外，本發明不限定於以上說明的實施例，在不脫離本發明的範圍內可以進行各種變更。

1:移動裝置 2,3:吸附機構 12:移動機構 14:真空源(減壓源) 16:流路 18:流路切換閥 20,20A,20B:空間部 20a:開口部分 22:主體部 22a:底盤面 26,26A,26B,26C,26D:支承壁 26a:外周部 26b:內周部 30,30A,30B:吸盤 30a:前端 30b:內周部 30c:外周部 30d:後端 32,32A,32B:固定部 32a:周壁部 34:螺柱 34a:外周面 36:退避空間 40,42:緊固構件 W:工件

圖1是包括本發明第一實施方式的吸附機構的移動裝置的結構圖。圖2是表示圖1所示的吸附機構的示例的示意圖(立體圖)。圖3是圖2所示的吸附機構的示意圖(正面剖視圖)。圖4是表示圖1所示的吸附機構的另一示例的示意圖(正面剖視圖)。圖5是表示比較例的吸附機構的示例的示意圖(正面剖視圖)。圖6是表示比較例的吸附機構的另一示例的示意圖(正面剖視圖)。圖7是對比較例的吸附機構的課題進行說明的說明圖。圖8是表示比較例的吸附機構的另一示例的示意圖(正面剖視圖)。圖9是對比較例的吸附機構的課題進行說明的說明圖。圖10是表示圖1所示的吸附機構的吸盤的另一示例的示意圖(正面剖視圖)。圖11是表示本發明第二實施方式的吸附機構的示例的示意圖(正面剖視圖)。圖12是表示圖11所示的吸附機構的另一示例的示意圖(正面剖視圖)。圖13是表示本發明第三實施方式的吸附機構的示例的示意圖(立體圖)。

2:吸附機構

20:空間部

20a:開口部分

22:主體部

22a:底盤面

26:支承壁

26a:外周部

30:吸盤

30a:前端

30b:內周部

30c:外周部

30d:後端

32:固定部

34:螺柱

34a:外周面

36:退避空間

40:緊固構件

Claims

一種吸附機構，係通過對設置於與工件相對的位置的空間部進行減壓來吸附工件並使前述工件移動的移動裝置者，其特徵在於，前述吸附機構包括：主體部，前述主體部具有與真空源連通的前述空間部；以及吸盤，前述吸盤固定於前述主體部，並且構成前述空間部的外周部，前述主體部具有：支承壁，前述支承壁在朝向前述工件的方向上延伸；以及底盤面，前述底盤面與前述吸盤的後端抵接，前述吸盤構成為，使用彈性材料，具有使前端比前述支承壁更向前述工件側突出的軸向長度，並且形成為沿周向連續的環狀，且嵌設於前述支承壁的外周部或內周部，在吸附時與前述工件緊貼而使前述空間部處於密閉狀態，在前述主體部安裝有固定部，在前述吸盤嵌設於前述支承壁的外周部的結構的情況下，前述固定部通過壓接於前述吸盤的外周部來將前述吸盤緊貼於前述支承壁和前述底盤面並進行固定，在前述吸盤嵌設於前述支承壁的內周部的結構的情況下，前述固定部通過壓接於前述吸盤的內周部來將前述吸盤緊貼於前述支承壁和前述底盤面並進行固定。
如請求項1之吸附機構，其中在前述吸盤嵌設於前述支承壁的外周部的結構的情況下，前述固定部的內徑以比前述吸盤的外徑還小規定尺寸的方式形成，並且前述固定部具有沿著前述吸盤的外周部壓接設置的連續狀或不連續狀的形狀，在前述吸盤嵌設於前述支承壁的內周的結構的情況下，前述固定部的外徑以比前述吸盤的內徑還大規定尺寸的方式形成，並且前述固定部具有沿著前述吸盤的內周部壓接設置的連續狀或不連續狀的形狀，無論在哪種情況下，前述固定部都配置於在朝向前述工件的方向上距前述底盤面規定尺寸的位置。
如請求項1或2之吸附機構，其中在前述固定部與前述底盤面之間設置有退避空間，前述退避空間供吸附時前述周面以向沿徑向膨脹的方式變形之前述吸盤的變形區域退避。
如請求項1至3中任一項之吸附機構，其中相對於一個前述主體部設置有多個前述空間部，並且設置有與前述空間部中的每一個對應的前述吸盤，前述固定部以能夠同時固定多個前述吸盤的方式安裝於前述主體部。
如請求項1至4中任一項之吸附機構，其中使用多孔質的橡膠、彈性體、樹脂或者該等的複合材料來形成前述吸盤。