JP2021010985A - 移動装置の吸着機構 - Google Patents

Abstract

【課題】パッドの変形を防止して確実な吸着力を作用させることができ、パッドの交換作業が極めて容易となる吸着機構を実現する。【解決手段】本発明に係る吸着機構２は、真空源１４と連通する空間部２０を有する本体部２２と、本体部２２に固定されて空間部２０の外周部を構成するパッド３０とを備え、本体部２２はワークＷ側に延びる支持壁２６と、パッド３０の後端３０ｄを当接させるベース面２２ａとを有し、パッド３０は弾性材料を用いて支持壁２６よりも先端３０ａがワークＷ側に突出する軸方向長さを有して周方向に連続する環状に形成されて支持壁２６の外周部２６ａもしくは内周部２６ｂに嵌設され、吸着時にワークＷに密着させて空間部２０を密閉状態にする構成であり、本体部２２にはパッド３０の外周部３０ｃもしくは内周部３０ｂに圧接させて、パッド３０を支持壁２６およびベース面２２ａに密着させて固定する固定部３２が取付けられている。【選択図】図３

Description

本発明は、吸着機構に関し、より詳細には、ワークに対向する空間部を減圧することによりワークを吸着して移動させる移動装置の吸着機構に関する。

従来より、生産ライン等における搬送や組立を行うためにロボットアーム等の機構を備えてワークの移動を行う移動装置が実用化されている。このようなロボットアーム等の機構の先端には、減圧によってワークを吸着する吸着機構が多く用いられている。

例えば、特許文献１（特開２０１９−０２４１２７号公報参照）には、ワークが基板である場合に好適な吸着機構が開示されている。また、特許文献２（特開２０１６−２１５２８５号公報参照）には、移動対象のワークが袋状物である場合に好適な吸着機構が開示されている。

特開２０１９−０２４１２７号公報 特開２０１６−２１５２８５号公報

特にワークの吸着面に凹凸がある場合等においては、吸着機構に弾性を有するパッドを設けることによって、減圧による吸着力を確実にワークの吸着面に作用させることが必要となる。しかしながら、本願発明者らの研究によって、弾性を有するパッドを吸着機構に設ける構成においては、パッドの変形や交換作業の非効率性といった種々の課題が生じ得ることが明らかになった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされ、弾性を有するパッドを設ける構成において、パッド全体の姿勢変化を適正に保ちつつ先端面（先端においてワークと所定面積で接触する面、以下同様）の追従性を高めることによって確実な吸着力を作用させることができると共に、パッドの交換作業を極めて容易に行うことができる吸着機構を実現することを目的とする。

本発明は、以下に記載するような解決手段により、前記課題を解決する。

開示の吸着機構は、ワークに対向する位置に設けられる空間部を減圧することによりワークを吸着して移動させる移動装置の吸着機構であって、真空源と連通する前記空間部を有する本体部と、前記本体部に固定されて前記空間部の外周部を構成するパッドと、を備え、前記本体部は、前記ワークに向かう方向に延びる支持壁と、前記パッドの後端を当接させるベース面と、を有し、前記パッドは、弾性材料を用いて前記支持壁よりも先端が前記ワーク側に突出する軸方向長さを有すると共に周方向に連続する環状に形成されて前記支持壁の外周部もしくは内周部に嵌設され、吸着時に前記ワークに密着させて前記空間部を密閉状態にする構成であり、前記本体部には、前記パッドが前記支持壁の外周部に嵌設される構成の場合には、前記パッドの外周部に圧接させることによって、前記パッドが前記支持壁の内周部に嵌設される構成の場合には、前記パッドの内周部に圧接させることによって、いずれの場合においても、前記パッドを前記支持壁および前記ベース面に密着させて固定する固定部が取付けられていることを要件とする。

本発明によれば、弾性を有するパッドを設ける構成において、パッド全体の姿勢変化を適正に保ちつつ先端面の追従性を高めることによって確実な吸着力を作用させることができると共に、パッドの交換作業を極めて容易に行うことができる吸着機構が実現される。

本発明の第一の実施形態に係る吸着機構を備える移動装置の構成図である。 図１に示す吸着機構の例を示す概略図（斜視図）である。 図２に示す吸着機構の概略図（正面断面図）である。 図１に示す吸着機構の他の例を示す概略図（正面断面図）である。 比較例に係る吸着機構の例を示す概略図（正面断面図）である。 比較例に係る吸着機構の他の例を示す概略図（正面断面図）である。 比較例に係る吸着機構の課題を説明する説明図である。 比較例に係る吸着機構の他の例を示す概略図（正面断面図）である。 比較例に係る吸着機構の課題を説明する説明図である。 図１に示す吸着機構のパッドの他の例を示す概略図（正面断面図）である。 本発明の第二の実施形態に係る吸着機構の例を示す概略図（正面断面図）である。 図１１に示す吸着機構の他の例を示す概略図（正面断面図）である。 本発明の第三の実施形態に係る吸着機構の例を示す概略図（斜視図）である。

（第一の実施形態）
以下、図面を参照して、本発明の第一の実施形態について詳しく説明する。図１は、本発明の第一の実施形態に係る吸着機構を備える移動装置の構成例である。また、図２は、本発明の第一の実施形態に係る吸着機構の斜視図（概略図）であり、図３は、その正面断面図（概略図）である。なお、実施形態を説明するための全図において、同一の機能を有する部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する場合がある。

先ずはじめに、吸着機構は、例えば、工業製品の生産ライン等において搬送や組立を行うために、減圧によってワークを吸着して移動させる移動装置に装備されている。当該移動装置の例としては、搬送ロボット、取出機等が挙げられる。

図１に示すように、本実施形態に係る移動装置１は、例えばロボットアーム等によって構成される移動機構１２を備えている。この移動機構１２の先端に吸着機構２、３が配設されている。ここで、吸着機構２、３は、流路１６を介して真空源（減圧源）１４に接続されており、流路切換弁１８が流路１６に設けられている。この流路切換弁１８は、吸着機構２、３を真空（減圧）にする位置と、吸着機構２、３を大気開放する位置とを切り換える作用をなす。これによれば、吸着機構２、３においてワークに対向する位置に設けられる空間部（後述）を真空すなわち減圧状態とすることによって、当該空間部の開口部分にワークを吸着させることができる。なお、真空源（減圧源）１４には、一例として真空ポンプ（減圧ポンプ）が用いられるがこれに限定されるものではない。また、ワークの例としては、吸着可能な面を有する製品、あるいは製品が梱包された状態のダンボール容器等が想定される。特に、重量物の場合には、数キログラムから数十キログラムに及ぶため、吸着機構には確実な吸着性能が求められる。

本願発明者らは、吸着機構の研究開発に鋭意取り組み、比較例に係る吸着機構３を案出するに至った。図５に吸着機構３の構成例を示す。

吸着機構３は、真空源１４と連通する空間部２０が径方向の中央領域に設けられる本体部２２と、本体部２２に固定されて空間部２０の外周部（すなわち周壁部）を構成するパッド３０とを備えている。この空間部２０は、流路１６を介して真空源１４に連通している。したがって、真空源１４を作動させることによって、空間部２０を真空（減圧）状態とすることができる。

図５に示すように、本体部２２は、ワークＷに向かう方向に延びる（すなわち周面が径方向と直交する方向となる）支持壁２６と、パッド３０の後端３０ｄを当接させるベース面２２ａとを有している。

ここで、パッド３０は、支持壁２６よりも先端３０ａがワークＷ側に突出する軸方向長さを有すると共に周方向に連続する環状に形成されて、支持壁２６の外周部に嵌設される。このとき、パッド３０の後端３０ｄがベース面２２ａと当接した状態となる。一例として、パッド３０は、弾性材料を用いた発泡素材やスポンジ等を用いて、断面矩形状に形成されている。具体例としては、ゴム、エラストマー、もしくは樹脂、またはそれらの複合材等が挙げられる。

あるいは、変形例として、図６に示すように、本体部２２において、内周部にパッド３０を嵌設できるように支持壁２６を設ける構成も考えられる。

上記の比較例（変形例を含む）によれば、ワークＷの吸着を行う際に、ワークＷの吸着面に凹凸がある場合でも、弾性によって凹凸を吸収しつつ吸着面にパッド３０を密着させて空間部２０を密閉状態にすることができる。したがって、空間部２０を減圧することができ、減圧による吸着力によってワークＷをパッド３０の先端３０ａによる支持を行いつつ空間部２０の開口部分２０ａに吸着させて移動させることができる。

その一方で、吸着機構３に関して、空間部２０の減圧によってワークＷをパッド３０の先端３０ａに押し当てるため、図７に示すようにパッド３０（特に軸方向における中間領域）の内周部３０ｂが支持壁２６の外周部２６ａから乖離するように変形し、適正な姿勢変化を行うことができず先端面のワークＷへの追従性（密着性）が低下してしまう課題が明らかとなった（なお、図６の変形例の場合には径方向逆向きに変形する）。さらに、移動作業における振動や、ワークＷと接触する際の衝撃、あるいは斜め方向から接触する場合の作用力等に起因して、パッド３０の脱落が生じ得るという課題も明らかとなった。

この課題の解決を図るために、比較例として、図８に示すように、本体部２２において、ワークＷに向かう方向に延びる二つの支持壁２６Ａ、２６Ｂを有する構成について研究を行った。この構成によれば、二つの支持壁２６Ａ、２６Ｂに当接する状態で嵌設されるため、パッド３０の脱落防止効果を高めることができた。しかし、その反面、径方向への逃げが無いため、ワークＷと接触する際に適正な姿勢変化が妨げられ、先端面（吸着面）のワークＷへの追従性（密着性）が低下してしまうという別の課題が生じる結果となった。

この課題の解決を図るために、図５（または図６）に示す配置構成のまま、パッド３０の内周部３０ｂと、支持壁２６の外周部２６ａ（なお、図６の変形例の場合には内周部２６ｂ）とを接着剤（両面テープ等を含む）を用いて接着する構成について研究を行った。さらに追加的に、パッド３０の後端３０ｄと、本体部２２とを接着する構成についても研究を行った。いずれの構成によっても、吸着機構３でワークＷを吸着する際に、パッド３０の内周部３０ｂが支持壁２６の外周部２６ａ（内周部２６ｂ）から乖離してしまう変形を防ぐことが可能となった。また、振動等に起因するパッド３０の脱落防止効果を高めることもできた。さらに、パッド３０の後端３０ｄと、本体部２２とパッド３０とが接着される構成を追加した場合には、より一層、パッド３０の脱落防止効果を高めることができた。

しかし、そのような構成を採用した場合に、吸着機構３に関して、空間部２０の減圧によってワークＷをパッド３０の先端３０ａに押し当てた際に、図９に示すようにパッド３０の外周部３０ｃ側領域は接着による規制がなく弾性を十分に発揮できるのに対して、パッド３０の内周部３０ｂ側領域は支持壁２６の外周部２６ａと接着されており圧縮方向の変形が規制されて弾性を十分に発揮できない状態となることを究明した（なお、図６の変形例の場合には外周部３０ｃ側が接着されて変形が規制される）。このようなパッド３０における径方向の位置によって弾性性能に差異が生じることに起因して、適正な姿勢変化を行うことができず先端面のワークＷへの追従性（密着性）が低下してしまうという課題が明らかとなった。

さらに、パッド３０は消耗品であるため、摩耗や劣化等の状態をみて必要に応じて交換作業が発生するものである。しかし、パッド３０の内周部３０ｂが支持壁２６の外周部２６ａと接着されているため、交換時に接着剤を剥す作業が必要となる。したがって、作業工数が増加し、装置を停止させる時間が長くなるため、生産効率の低下を招いてしまう課題も明らかとなった。

これらの課題の解決を図るために、本願発明者らは、さらに吸着機構の研究開発に鋭意取り組み、本発明の実施形態に係る吸着機構２を案出するに至った。図２に吸着機構２の斜視図（概略図）を示し、図３に、吸着機構２の正面断面図（概略図）を示す。なお、吸着機構２を備える移動装置の構成図は前述の図１の通りである。

吸着機構３は、真空源１４と連通する空間部２０が径方向の中央領域に設けられる本体部２２と、本体部２２に固定されて空間部２０の外周部（すなわち周壁部）を構成するパッド３０とを備えている。この空間部２０は、流路１６を介して真空源１４に連通している。したがって、真空源１４を作動させることによって、空間部２０を真空（減圧）状態とすることができる。なお、本体部２２は、金属材料（例えば、アルミニウム合金、ステンレス合金等）、もしくは樹脂材料（例えば、ＰＡ、ＰＢＴ、ＰＯＭ等）を用いて、一体（別体としてもよい）に形成されている。

また、本体部２２は、ワークＷに向かう方向に延びる（すなわち周面が径方向と直交する方向となる）支持壁２６と、パッド３０の後端３０ｄを当接させるベース面２２ａとを有している。

ここで、パッド３０は、支持壁２６よりも先端３０ａがワークＷ側に突出する軸方向長さを有すると共に周方向に連続する環状に形成されて、支持壁２６の外周部に嵌設される。このとき、パッド３０の後端３０ｄがベース面２２ａと当接した状態となる。一例として、パッド３０は、弾性材料を用いた発泡素材やスポンジ等を用いて、断面矩形状に形成されている。具体例としては、ゴム、エラストマー、もしくは樹脂、またはそれらの複合材等が挙げられる。なお、断面形状は矩形状に限定されるものではなく、図１０（ａ）に示すように先端３０ａおよび後端３０ｄが曲面状であるもの、あるいは、図１０（ｂ）に示すように先端３０ａが外方に反るように先細りとなる突起状であるもの等、種々の形状を採用し得る。

上記の構成によれば、前述の吸着機構３と同様に、ワークＷの吸着を行う際に、ワークＷの吸着面に凹凸がある場合でも、弾性によって凹凸を吸収しつつ吸着面にパッド３０を密着させて空間部２０を密閉状態にすることができる。すなわち、空間部２０を減圧することができ、減圧による吸着力によってワークＷをパッド３０の先端３０ａによる支持を行いつつ空間部２０の開口部分２０ａに吸着させて移動させることができる。

さらに、本実施形態に特徴的な構成として、吸着機構２は、パッド３０の外周部３０ｃに圧接させることより。当該パッド３０を支持壁２６およびベース面２２ａの両方に密着させて固定する固定部３２を備える構成としている。一例として、固定部３２は本体部２２に取付けられる構成としている。

これによれば、ワークＷの吸着時において、空間部２０の減圧によってワークＷをパッド３０の先端３０ａに押し当てた際に、パッド３０の内周部３０ｂ（または外周部３０ｃ）が支持壁２６の外周部２６ａ（または内周部２６ｂ）から乖離するように変形して適正な姿勢変化を保てずに先端面の追従性が低下してしまうことの防止が可能となる。このとき、パッド３０の内周部３０ｂ（または外周部３０ｃ）と、支持壁２６の外周部２６ａ（または内周部２６ｂ）とを接着剤を用いて接着する構成も不要となる。したがって、前述の課題、すなわち、パッド３０の内周部３０ｂ側領域（または外周部３０ｃ側領域）が接着によって弾性を十分に発揮できない課題、および、パッド３０の交換時に接着剤を剥す作業が必要となる課題のいずれも解決を図ることが可能となる。

ここで、固定部３２の構成例について説明する。本実施形態に係る固定部３２は、内径がパッド３０の外径より所定寸法小さく形成されてパッド３０の外周部３０ｃに沿って圧接させて設けられる固定帯として構成されている。具体的には、連続状の形状、例えば、一部品を用いて、もしくは、複数部品を隙間無く組み合わせることによって、連続する環状形状（リング形状）に形成されている。ただし、これに限定されるものではなく、不連続状の形状、例えば、一部品を用いて一部にスリットを有する形状（いわゆるＣ字形状等）、もしくは、複数部品を所定の隙間を有して組合わせた形状として、不連続の固定帯を形成してもよい。

この固定部３２は、スタッド３４を間に介在させて締結部材４０（ボルトやネジ等）を用いて本体部２２に固定されることによって、本体部２２（ここでは、ベース面２２ａ）から所定寸法離れた位置に配設されている。これによれば、環状のパッド３０の全周（ほぼ全周の場合を含む）に渡って固定部３２によって押さえることができるため、確実な固定が可能となる。また、その際に、図７に示すような変形を生じ易いパッド３０の中間領域に固定部３２を配置できるため、当該変形の抑制効果を高めることができる。さらに、パッド３０の交換時に、パッド３０を引っ張るだけで取外すことができ、パッド３０を押し込むだけで取付けることができるため、交換作業が極めて容易となる。なお、固定部３２およびスタッド３４は、金属材料（例えば、アルミニウム合金、ステンレス合金等）、もしくは樹脂材料（例えば、ＰＡ、ＰＢＴ、ＰＯＭ等）を用いて形成されている。

また、スタッド３４を備えることによって、スタッド３４の外周面３４ａと当該外周面３４ａと対向するパッドの周面（この場合、外周部３０ｃの面）との間に空間（待避空間３６）を設ける構成が実現できる。その作用効果を説明すると、ワークＷの吸着時において、空間部２０の減圧によってワークＷをパッド３０の先端３０ａに押し当てるため、パッド３０は圧縮されて全体的に径方向外方へ膨らむように変形する。仮に、スタッド３４がパッド３０の外周部３０ｃと接触している場合、パッド３０の周面（この場合、外周部３０ｃの面）が径方向外方へ膨らむように変形が規制されて弾性を十分に発揮できない状態となる。これに対し、上記の構成によれば、吸着時に径方向外方へ膨らむように変形するパッドの変形領域を待避空間３６へ待避させることが可能となるため、変形が規制されずに弾性を十分に発揮することが可能となる。また、長さの異なるスタッド３４を用いれば、固定部３２の設置位置を容易に変更することが可能となる。

なお、変形例として、スタッドに代えてコイルスプリング等の付勢部材を備える構成によっても同様の作用効果を得ることができる（不図示）。

このように、本実施形態に係る吸着機構２によれば、パッド全体の姿勢変化を適正に保ちつつ先端面の追従性を高めることによって確実な吸着性能を発揮し得る。したがって、特にワークＷが重量物である場合や、吸着面に凹凸を有する製品や容器（例えば、ダンボール容器等）である場合においても、確実に吸着して移動させることが可能となる。

次に、吸着機構２の変形例を図４に示す。前述の例は、パッド３０が支持壁２６の外周部に沿って設けられる場合の構成例であったのに対し、この変形例は、パッド３０が支持壁２６の内周部に沿って設けられる場合の構成例である。

吸着機構２に関しては、パッド３０の内周部３０ｂに圧接させることより。当該パッド３０を支持壁２６およびベース面２２ａの両方に密着させて固定する固定部３２を備える構成としている。一例として、固定部３２は本体部２２に取付けられる構成としている。

また、固定部３２は、外径がパッドの内径より所定寸法大きく形成されてパッドの内周部３０ｂに沿って圧接させて設けられる固定帯として構成されている。具体的には、連続状の形状、例えば、一部品を用いて、もしくは、複数部品を隙間無く組み合わせることによって、連続する環状形状（リング形状）に形成されている。ただし、これに限定されるものではなく、不連続状の形状、例えば、一部品を用いて一部にスリットを有する形状（いわゆるＣ字形状等）、もしくは、複数部品を所定の隙間を有して組合わせた形状として、不連続の固定帯を形成してもよい。

この固定部３２は、スタッド３４を間に介在させて締結部材４０（ボルトやネジ等）を用いて本体部２２に固定されることによって、本体部２２（ここでは、ベース面２２ａ）から所定寸法離れた位置に配設されている。

なお、その他の構成や作用効果は前述の例と同様であるため、繰り返しの説明を省略する。

（第二の実施形態）
続いて、本発明の第二の実施形態に係る吸着機構２について説明する。本実施形態に係る吸着機構２は、前述の第一の実施形態と基本的な構成は同様であるが、特に、固定部の構成および固定構造において相違点を有する。以下、当該相違点を中心に本実施形態について説明する。ここで、本実施形態に係る吸着機構２の正面断面図（概略図）を図１１に示す。なお、本実施形態に係る吸着機構２を備える移動装置１の構成例は、図１と同様であるため図示を省略する。

本実施形態に係る固定部３２は、前述の第一の実施形態と同様に、内径がパッド３０の外径より所定寸法小さく形成されてパッド３０の外周部３０ｃに沿って圧接させて設けられる固定帯として構成されている。具体的には、連続状の形状、例えば、一部品を用いて、もしくは、複数部品を隙間無く組み合わせることによって、連続する環状形状（リング形状）に形成されている。ただし、これに限定されるものではなく、不連続状の形状、例えば、一部品を用いて一部にスリットを有する形状（いわゆるＣ字形状等）、もしくは、複数部品を所定の隙間を有して組合わせた形状として、不連続の固定帯を形成してもよい。

ここで、本実施形態に係る固定部３２は、その外周部から本体部２２方向へ延設される周壁部３２ａを有している。なお、周壁部３２ａは、固定部３２の外周において全週に渡って設けてもよく、あるいは部分的に設けてもよい。

上記の構成によれば、締結部材４２（ボルトやネジ等）を用いて、周壁部３２ａを本体部に固定することによって、本体部２２（ここでは、ベース面２２ａ）から所定寸法離れた位置に固定部３２を配設することが可能となり、待避空間３６を設けることも可能となる。また、前述の第一の実施形態において固定部３２を本体部２２に固定する際に必要であったスタッドを省略することができるため、部品点数の削減が可能となる。

さらに、変形例として、図１２に示すように固定部３２（周壁部３２ａを含む）を本体部２２と一体に形成する構成としてもよい。これによれば、より一層、部品点数および組立工数の削減が可能となる。

なお、その他の構成や作用効果は前述の第一の実施形態と同様であるため、繰り返しの説明を省略する。

（第三の実施形態）
続いて、本発明の第三の実施形態に係る吸着機構２について説明する。本実施形態に係る吸着機構２は、前述の第一の実施形態と基本的な構成は同様であるが、特に、空間部等を複数備える構成において相違点を有する。以下、当該相違点を中心に本実施形態について説明する。ここで、本実施形態に係る吸着機構２の斜視図（概略図）を図１３に示す。なお、本実施形態に係る吸着機構２を備える移動装置１の構成例は、図１と同様であるため図示を省略する。

本実施形態においては、一つの本体部２２おいて、複数個（一例として、二個）の空間部２０Ａ、２０Ｂが設けられる構成となっている。各空間部２０Ａ、２０Ｂは、それぞれに対して前述の支持壁２６と同様の支持壁２６Ｃ、２６Ｄが設けられていると共に、それぞれの支持壁２６Ｃ、２６Ｄに対して前述のパッド３０と同様のパッド３０Ａ、３０Ｂが嵌設されている。ただし、空間部は、二個に限定されるものではなく、三個以上設ける構成にも同様に適用し得る。

ここで、本実施形態に係る固定部３２は、複数の空間部２０Ａ、２０Ｂに設けられる複数のパッド３０Ａ、３０Ｂを同時に（すなわち一括して）固定可能な構成を有している。一例として、パッド３０Ａ、３０Ｂのそれぞれの外周部３０Ａｃ、３０Ｂｃに沿って圧接させて設けられる連続状もしくは不連続状（すなわちスリットを有する場合等）の固定部（固定帯）３２Ａ、３２Ｂを備える構成となっている。本実施形態においては、固定部３２Ａ、３２Ｂが略８字状に形成された一部品からなる板材を用いている。ただし、これに限定されるものではなく、固定部３２Ａ、３２Ｂを複数の部品を用いて形成してもよい。

なお、その他の構成や作用効果は前述の第一の実施形態および第二の実施形態と同様であるため、繰り返しの説明を省略する。

以上、説明した通り、本発明に係る吸着機構によれば、弾性を有するパッドを設ける構成において、パッド全体の姿勢変化を適正に保ちつつ先端面の追従性を高めることによって確実な吸着力を作用させることができると共に、パッドの交換作業を極めて容易に行うことができる。特にワークＷが重量物である場合や、吸着面に凹凸を有する製品や容器である場合においても、確実に吸着して移動させることができる。

なお、本発明は、以上説明した実施例に限定されることなく、本発明を逸脱しない範囲において種々変更可能である。

１ 移動装置
２、３ 吸着機構
１２ 移動機構
１４ 真空源（減圧源）
２０、２０Ａ、２０Ｂ 空間部
２２ 本体部
２６、２６Ａ、２６Ｂ、２６Ｃ、２６Ｄ 支持壁
３０、３０Ａ、３０Ｂ パッド
３２、３２Ａ、３２Ｂ 固定部
３４ スタッド
３６ 待避空間
Ｗ ワーク

Claims (5)

1. ワークに対向する位置に設けられる空間部を減圧することによりワークを吸着して移動させる移動装置の吸着機構であって、
   真空源と連通する前記空間部を有する本体部と、
   前記本体部に固定されて前記空間部の外周部を構成するパッドと、を備え、
   前記本体部は、前記ワークに向かう方向に延びる支持壁と、前記パッドの後端を当接させるベース面と、を有し、
   前記パッドは、弾性材料を用いて前記支持壁よりも先端が前記ワーク側に突出する軸方向長さを有すると共に周方向に連続する環状に形成されて前記支持壁の外周部もしくは内周部に嵌設され、吸着時に前記ワークに密着させて前記空間部を密閉状態にする構成であり、
   前記本体部には、
   前記パッドが前記支持壁の外周部に嵌設される構成の場合には、前記パッドの外周部に圧接させることによって、
   前記パッドが前記支持壁の内周部に嵌設される構成の場合には、前記パッドの内周部に圧接させることによって、
   いずれの場合においても、前記パッドを前記支持壁および前記ベース面に密着させて固定する固定部が取付けられていること
   を特徴とする吸着機構。
2. 前記固定部は、
   前記パッドが前記支持壁の外周部に嵌設される構成の場合には、内径が前記パッドの外径より所定寸法小さく形成されて前記パッドの外周部に沿って圧接させて設けられる連続状もしくは不連続状の形状を有し、
   前記パッドが前記支持壁の内周部に嵌設される構成の場合には、外径が前記パッドの内径より所定寸法大きく形成されて前記パッドの内周部に沿って圧接させて設けられる連続状もしくは不連続状の形状を有し、
   いずれの場合においても、前記ベース面に対して、前記ワークに向かう方向に所定寸法離れた位置に配置されていること
   を特徴とする請求項１記載の吸着機構。
3. 前記固定部と前記ベース面との間に、吸着時に前記周面が径方向へ膨らむように変形する前記パッドの変形領域を待避させる待避空間が設けられていること
   を特徴とする請求項１または請求項２記載の吸着機構。
4. 前記空間部は、一つの前記本体部に対して複数個設けられると共に、前記空間部のそれぞれには対応する前記パッドが設けられており、
   前記固定部は、複数の前記パッドを同時に固定可能に前記本体部に取付けられていること
   を特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の吸着機構。
5. 前記パッドは、多孔質のゴム、エラストマー、もしくは樹脂、またはそれらの複合材を用いて形成されていること
   を特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の吸着機構。

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