JPH07214489A - 吸着パッド - Google Patents
吸着パッドInfo
- Publication number
- JPH07214489A JPH07214489A JP2606094A JP2606094A JPH07214489A JP H07214489 A JPH07214489 A JP H07214489A JP 2606094 A JP2606094 A JP 2606094A JP 2606094 A JP2606094 A JP 2606094A JP H07214489 A JPH07214489 A JP H07214489A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- article
- suction
- pad
- contact ring
- vacuum suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】蛇腹状のパッド本体１の下端部に、シリコンゴ
ム製の中空状の当てリング２を備える。そして、この当
てリング２の内周に近い所に、真空吸引作用時の負圧に
より少なくとも収縮変形し得るごとく孔２ａを形成す
る。また、当てリング２の中空部分に、細孔を有するス
ポンジからなる充填物３を充填する。 【効果】当てリング２を吸着保持しようとする物品Ｗに
押し付けた上で真空吸引を行うと、その負圧により充填
物３内の空気が孔２ａから抜けて収縮変形し、当てリン
グ２が吸着保持しようとする物品Ｗの外面形状により一
層適応し、物品Ｗを強固に吸着保持することができる。
一方、吸引を解くと、孔２ａから空気が入り込み、充填
物３の復元力とともに当てリング２は真空吸引前の状態
に戻る。
ム製の中空状の当てリング２を備える。そして、この当
てリング２の内周に近い所に、真空吸引作用時の負圧に
より少なくとも収縮変形し得るごとく孔２ａを形成す
る。また、当てリング２の中空部分に、細孔を有するス
ポンジからなる充填物３を充填する。 【効果】当てリング２を吸着保持しようとする物品Ｗに
押し付けた上で真空吸引を行うと、その負圧により充填
物３内の空気が孔２ａから抜けて収縮変形し、当てリン
グ２が吸着保持しようとする物品Ｗの外面形状により一
層適応し、物品Ｗを強固に吸着保持することができる。
一方、吸引を解くと、孔２ａから空気が入り込み、充填
物３の復元力とともに当てリング２は真空吸引前の状態
に戻る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空吸引作用により物
品を吸着保持するための吸着パッドに関するものであ
る。
品を吸着保持するための吸着パッドに関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】真空吸引作用により物品を吸着保持する
ための吸着パッドとして、従来からゴムなどからなるら
っぱ状のものが一般的に知られており、物品を吸着保持
するのに広く用いられている。
ための吸着パッドとして、従来からゴムなどからなるら
っぱ状のものが一般的に知られており、物品を吸着保持
するのに広く用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のパッドはらっぱ
状の部分を物品に押し付けてその形状になじませること
により、吸着力を得るようにしたものであり、平らな面
に対しては充分吸着保持機能を発揮する。しかしなが
ら、角があるような物品や突弧面、凹弧面のような特殊
な面を有する物品、凹凸が形成されている物品に対して
は、らっぱ状のパッドの内面と各物品との間に隙間が生
じて吸着保持機能が失われる場合が多い。本発明は、吸
着保持しようとする物品の形状や位置、姿勢の如何にか
かわらず、安定した吸着保持機能を有する汎用性のある
吸着パッドを得ることを目的とするものである。
状の部分を物品に押し付けてその形状になじませること
により、吸着力を得るようにしたものであり、平らな面
に対しては充分吸着保持機能を発揮する。しかしなが
ら、角があるような物品や突弧面、凹弧面のような特殊
な面を有する物品、凹凸が形成されている物品に対して
は、らっぱ状のパッドの内面と各物品との間に隙間が生
じて吸着保持機能が失われる場合が多い。本発明は、吸
着保持しようとする物品の形状や位置、姿勢の如何にか
かわらず、安定した吸着保持機能を有する汎用性のある
吸着パッドを得ることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明では、パッド本体１の下端部に、真空吸引作
用時の負圧により少なくとも収縮変形し得るごとく孔２
ａを設けた当てリング２を有するものとしたものであ
る。
め、本発明では、パッド本体１の下端部に、真空吸引作
用時の負圧により少なくとも収縮変形し得るごとく孔２
ａを設けた当てリング２を有するものとしたものであ
る。
【０００５】また、本発明では、前記当てリング２を中
空状とし、この中空部分に、真空吸引作用時の負圧によ
り収縮変形し吸引を解くと復元する性質のある充填物３
を充填するようにすることもできる。
空状とし、この中空部分に、真空吸引作用時の負圧によ
り収縮変形し吸引を解くと復元する性質のある充填物３
を充填するようにすることもできる。
【０００６】
【作用】パッド本体１の下端部に、真空吸引作用時の負
圧により少なくとも収縮変形し得るごとく孔２ａを設け
た当てリング２を有するものとすると、この当てリング
２を吸着保持しようとする物品Ｗに押し付けた上で真空
吸引を行うと、その際の負圧により、孔２ａを通して当
てリング２が吸着保持しようとする物品Ｗの形状に対応
して例えば図３に示すように収縮変形し、該物品Ｗとの
間に隙間が生じることは全くない。また、本吸着パッド
により吸着保持されている物品Ｗを持ち上げて搬送して
いる間、物品Ｗのぐらつきを減少させることができる。
圧により少なくとも収縮変形し得るごとく孔２ａを設け
た当てリング２を有するものとすると、この当てリング
２を吸着保持しようとする物品Ｗに押し付けた上で真空
吸引を行うと、その際の負圧により、孔２ａを通して当
てリング２が吸着保持しようとする物品Ｗの形状に対応
して例えば図３に示すように収縮変形し、該物品Ｗとの
間に隙間が生じることは全くない。また、本吸着パッド
により吸着保持されている物品Ｗを持ち上げて搬送して
いる間、物品Ｗのぐらつきを減少させることができる。
【０００７】特に、前記当てリング２を中空状とし、こ
の中空部分に、真空吸引作用時の負圧により収縮変形し
吸引を解くと復元する性質のある充填物３を充填してあ
る場合には、当てリング２を吸着保持しようとする物品
Ｗに押し付けた上で真空吸引を行った際、その負圧によ
り充填物３内の空気が孔２ａから抜けて例えば図３に示
すように収縮変形し、当てリング２が吸着保持しようと
する物品Ｗの外面形状により一層適応する。一方、吸引
を解くと、孔２ａから空気が入り込み、充填物３の復元
力とともに当てリング２を通常時（真空吸引前）の状態
に戻す。
の中空部分に、真空吸引作用時の負圧により収縮変形し
吸引を解くと復元する性質のある充填物３を充填してあ
る場合には、当てリング２を吸着保持しようとする物品
Ｗに押し付けた上で真空吸引を行った際、その負圧によ
り充填物３内の空気が孔２ａから抜けて例えば図３に示
すように収縮変形し、当てリング２が吸着保持しようと
する物品Ｗの外面形状により一層適応する。一方、吸引
を解くと、孔２ａから空気が入り込み、充填物３の復元
力とともに当てリング２を通常時（真空吸引前）の状態
に戻す。
【０００８】
【実施例】本発明による吸着パッドの実施例を添付の図
面に基づいて詳細に説明する。図１は、吸着パッドの概
要を示す断面図である。図１に示す吸着パッドは、基本
的には、蛇腹状のパッド本体１と、その下端部に備えら
れた真空吸引作用時の負圧により少なくとも収縮変形し
得るごとく孔２ａを設けた当てリング２と、パッド本体
１の上部に備えられたスプリング４とからなる。
面に基づいて詳細に説明する。図１は、吸着パッドの概
要を示す断面図である。図１に示す吸着パッドは、基本
的には、蛇腹状のパッド本体１と、その下端部に備えら
れた真空吸引作用時の負圧により少なくとも収縮変形し
得るごとく孔２ａを設けた当てリング２と、パッド本体
１の上部に備えられたスプリング４とからなる。
【０００９】蛇腹状のパッド本体１の下端部に位置する
当てリング２は、真空吸引作用時の負圧により少なくと
も収縮変形し得るごとく孔２ａを設けたものであり、そ
の材質は摩擦係数が大きく、吸着保持しようとする物品
に対してすべりが生じにくく、かつ、ある程度柔軟性を
有する材料、最も好ましくは、シリコンゴム製とすると
よい。ただし、必ずしもこれのみに限定されるものでは
なく、物品を吸着保持するに当たって特に支障がない材
料で作れば充分である。
当てリング２は、真空吸引作用時の負圧により少なくと
も収縮変形し得るごとく孔２ａを設けたものであり、そ
の材質は摩擦係数が大きく、吸着保持しようとする物品
に対してすべりが生じにくく、かつ、ある程度柔軟性を
有する材料、最も好ましくは、シリコンゴム製とすると
よい。ただし、必ずしもこれのみに限定されるものでは
なく、物品を吸着保持するに当たって特に支障がない材
料で作れば充分である。
【００１０】前記孔２ａは図２に示すように、リング状
の当てリング２の内周に近い所に数個形成するとよい
が、パッド本体１の下端部に取り付けた当てリング２が
収縮する際に、各孔２ａが少なくともパッド本体１で閉
塞されてしまわないような位置に設けなければならな
い。孔２ａの数は適宜増減可能である。
の当てリング２の内周に近い所に数個形成するとよい
が、パッド本体１の下端部に取り付けた当てリング２が
収縮する際に、各孔２ａが少なくともパッド本体１で閉
塞されてしまわないような位置に設けなければならな
い。孔２ａの数は適宜増減可能である。
【００１１】実施例に示す当てリング２は中空状であ
り、この中空部分には、真空吸引作用時の負圧により収
縮変形し吸引を解くと復元する性質のある充填物３を充
填してある。真空吸引作用時の負圧により収縮変形し吸
引を解くと復元する性質のあるものとして、例えばスポ
ンジのように細孔を有するものを挙げることができる
が、海綿、繊維を絡めたフィルター等スポンジと同じよ
うに細孔を有していて弾力性があるもの、不織布のよう
に少なくとも弾力性があるものであればよい。
り、この中空部分には、真空吸引作用時の負圧により収
縮変形し吸引を解くと復元する性質のある充填物３を充
填してある。真空吸引作用時の負圧により収縮変形し吸
引を解くと復元する性質のあるものとして、例えばスポ
ンジのように細孔を有するものを挙げることができる
が、海綿、繊維を絡めたフィルター等スポンジと同じよ
うに細孔を有していて弾力性があるもの、不織布のよう
に少なくとも弾力性があるものであればよい。
【００１２】このように、孔２ａを形成した当てリング
２の中空部分に細孔を有する充填物３を充填することに
より、通常時（物品を吸着保持する前）における当てリ
ング２の正規の形状が保たれ、また、図３に示すように
当てリング２が吸着保持しようとする物品Ｗに当接した
際物品Ｗとの間の隙間を充分埋めることができる。
２の中空部分に細孔を有する充填物３を充填することに
より、通常時（物品を吸着保持する前）における当てリ
ング２の正規の形状が保たれ、また、図３に示すように
当てリング２が吸着保持しようとする物品Ｗに当接した
際物品Ｗとの間の隙間を充分埋めることができる。
【００１３】そして、本吸着パッドを把持装置、例え
ば、ロボットに取り付け、本吸引パッドの孔１ａを真空
源と連通させた上で、この当てリング２を吸着保持しよ
うとする物品Ｗに押し付けて真空吸引を行うと、その負
圧により充填物３の細孔に溜まった空気が孔２ａから抜
けて図３に示すように収縮変形し、当てリング２が吸着
保持しようとする物品Ｗの外面形状により一層適応す
る。
ば、ロボットに取り付け、本吸引パッドの孔１ａを真空
源と連通させた上で、この当てリング２を吸着保持しよ
うとする物品Ｗに押し付けて真空吸引を行うと、その負
圧により充填物３の細孔に溜まった空気が孔２ａから抜
けて図３に示すように収縮変形し、当てリング２が吸着
保持しようとする物品Ｗの外面形状により一層適応す
る。
【００１４】逆に、真空源との連通状態を解くと、孔２
ａから充填物３の細孔に空気が入り込み、充填物３の復
元力とともに当てリング２は通常時（真空吸引前）の状
態に戻る。このように、当てリング２が自然に通常時
（真空吸引前）の状態に戻るということは、当てリング
２の復元のための機構を特に必要としないということで
ある。
ａから充填物３の細孔に空気が入り込み、充填物３の復
元力とともに当てリング２は通常時（真空吸引前）の状
態に戻る。このように、当てリング２が自然に通常時
（真空吸引前）の状態に戻るということは、当てリング
２の復元のための機構を特に必要としないということで
ある。
【００１５】当てリング２の外径は、吸着保持しようと
する物品の大きさに応じてその寸法を決めるとよい。一
方、当てリング２の内径は、真空吸引作用時の負圧空気
が障害なく流れ、かつ、吸着保持しようとする物品に対
して負圧空気が有効的に作用するような大きさとすべき
である。内径が小さ過ぎると、当てリング２に負圧空気
が作用し、当てリング２が収縮してしまって吸着保持し
ようとする物品との間の隙間を埋めにくくしてしまう。
また、逆に、内径が大き過ぎても、縦方向に断面した場
合における当てリング２の径が必然的に小さくなり、こ
の場合も、吸着保持しようとする物品との間の隙間を埋
めにくくしてしまう。
する物品の大きさに応じてその寸法を決めるとよい。一
方、当てリング２の内径は、真空吸引作用時の負圧空気
が障害なく流れ、かつ、吸着保持しようとする物品に対
して負圧空気が有効的に作用するような大きさとすべき
である。内径が小さ過ぎると、当てリング２に負圧空気
が作用し、当てリング２が収縮してしまって吸着保持し
ようとする物品との間の隙間を埋めにくくしてしまう。
また、逆に、内径が大き過ぎても、縦方向に断面した場
合における当てリング２の径が必然的に小さくなり、こ
の場合も、吸着保持しようとする物品との間の隙間を埋
めにくくしてしまう。
【００１６】このような当てリング２を備えた蛇腹状の
パッド本体１は、弾力性を有するものとすべきである
が、ある程度の剛性を必要とする。従って、少なくとも
当てリング２よりも柔らかくない方がよく、例えば、シ
リコンゴムとは異なるゴムなどで形成するのが理想的で
ある。また、物品を吸着保持する際、蛇腹部が直接物品
に触れて物品との間の隙間を埋めるのを妨げないよう、
蛇腹の径は当てリング２の外径より小さくしておくべき
である。蛇腹の径と当てリング２の稜線の径とを等しく
することにより、当てリング２が吸着保持しようとする
物品に最も有効的に押さえ付けられ、密着しやすくなる
ことが、実験により確かめられている。
パッド本体１は、弾力性を有するものとすべきである
が、ある程度の剛性を必要とする。従って、少なくとも
当てリング２よりも柔らかくない方がよく、例えば、シ
リコンゴムとは異なるゴムなどで形成するのが理想的で
ある。また、物品を吸着保持する際、蛇腹部が直接物品
に触れて物品との間の隙間を埋めるのを妨げないよう、
蛇腹の径は当てリング２の外径より小さくしておくべき
である。蛇腹の径と当てリング２の稜線の径とを等しく
することにより、当てリング２が吸着保持しようとする
物品に最も有効的に押さえ付けられ、密着しやすくなる
ことが、実験により確かめられている。
【００１７】このパッド本体１の上部に相当する基部に
は、上述したように孔１ａが形成されている。この孔１
ａは真空源（図示しない）に連通されているものであ
る。パッド本体１の蛇腹の段数は自由に変更可能である
が、その数がある程度多いほどパッド本体１の最大傾斜
角は大きくなり、傾斜の大きな物品にも充分対応でき
る。なお、パッド本体１を蛇腹状としておくと、吸着保
持していた物品を離した後には、蛇腹自体の弾性力によ
り通常時（物品を吸着保持する前）の状態に自然に戻
る。
は、上述したように孔１ａが形成されている。この孔１
ａは真空源（図示しない）に連通されているものであ
る。パッド本体１の蛇腹の段数は自由に変更可能である
が、その数がある程度多いほどパッド本体１の最大傾斜
角は大きくなり、傾斜の大きな物品にも充分対応でき
る。なお、パッド本体１を蛇腹状としておくと、吸着保
持していた物品を離した後には、蛇腹自体の弾性力によ
り通常時（物品を吸着保持する前）の状態に自然に戻
る。
【００１８】なお、パッド本体１と当てリング２とはそ
れぞれ別個に製作し、両者を適当な接着剤を用いて互い
に接着するのが、最も簡単な製作方法であろう。
れぞれ別個に製作し、両者を適当な接着剤を用いて互い
に接着するのが、最も簡単な製作方法であろう。
【００１９】
【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、当てリン
グ２を吸着保持しようとする物品に押し付けた上で真空
吸引を行うと、その際の負圧により、孔２ａを通して当
てリング２が吸着保持しようとする物品の形状に対応し
て収縮変形し、該物品との間に隙間が生じることは全く
ないから、角があるような物品や突弧面、凹弧面のよう
な特殊な面を有する物品、凹凸が形成されている物品
等、様々な形状をした物品をいずれも強固に吸着保持し
得る効果がある。また、請求項１記載の発明によれば、
吸着保持されている物品を持ち上げて搬送している間、
物品のぐらつきを減少させることができるから、これを
安定よく搬送し得る効果がある。
グ２を吸着保持しようとする物品に押し付けた上で真空
吸引を行うと、その際の負圧により、孔２ａを通して当
てリング２が吸着保持しようとする物品の形状に対応し
て収縮変形し、該物品との間に隙間が生じることは全く
ないから、角があるような物品や突弧面、凹弧面のよう
な特殊な面を有する物品、凹凸が形成されている物品
等、様々な形状をした物品をいずれも強固に吸着保持し
得る効果がある。また、請求項１記載の発明によれば、
吸着保持されている物品を持ち上げて搬送している間、
物品のぐらつきを減少させることができるから、これを
安定よく搬送し得る効果がある。
【００２０】請求項２記載の発明によれば、当てリング
２を吸着保持しようとする物品に押し付けた上で真空吸
引を行った際、その負圧により充填物３内の空気が孔２
ａから抜けて収縮変形し、当てリング２が吸着保持しよ
うとする物品の外面形状により一層適応し、逆に、吸引
を解くと、孔２ａから空気が入り込み、充填物３の復元
力とともに当てリング２が通常時（真空吸引前）の状態
に戻るから、角があるような物品や突弧面、凹弧面のよ
うな特殊な面を有する物品、凹凸が形成されている物品
等、様々な形状をした物品を一層強固に吸着保持し得る
効果がある。また、請求項２記載の発明によれば、当て
リング２の復元のための機構を特に必要としないという
効果もある。
２を吸着保持しようとする物品に押し付けた上で真空吸
引を行った際、その負圧により充填物３内の空気が孔２
ａから抜けて収縮変形し、当てリング２が吸着保持しよ
うとする物品の外面形状により一層適応し、逆に、吸引
を解くと、孔２ａから空気が入り込み、充填物３の復元
力とともに当てリング２が通常時（真空吸引前）の状態
に戻るから、角があるような物品や突弧面、凹弧面のよ
うな特殊な面を有する物品、凹凸が形成されている物品
等、様々な形状をした物品を一層強固に吸着保持し得る
効果がある。また、請求項２記載の発明によれば、当て
リング２の復元のための機構を特に必要としないという
効果もある。
【図１】吸着パッドの概要を示す断面図である。
【図２】当てリングのみの拡大平面図で、一部を切り欠
いて示す。
いて示す。
【図３】使用状態を示す断面図である。
１─パッド本体、２─当てリング、２ａ─孔、３─充填
物。
物。
Claims (2)
- 【請求項１】真空吸引作用により物品を吸着保持するた
めのものであって、パッド本体１の下端部に、真空吸引
作用時の負圧により少なくとも収縮変形し得るごとく孔
２ａを設けた当てリング２を有することを特徴とする吸
着パッド。 - 【請求項２】前記当てリング２を中空状とし、この中空
部分に、真空吸引作用時の負圧により収縮変形し吸引を
解くと復元する性質のある充填物３を充填したことを特
徴とする請求項１記載の吸着パッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2606094A JPH07214489A (ja) | 1994-01-27 | 1994-01-27 | 吸着パッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2606094A JPH07214489A (ja) | 1994-01-27 | 1994-01-27 | 吸着パッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07214489A true JPH07214489A (ja) | 1995-08-15 |
Family
ID=12183147
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2606094A Pending JPH07214489A (ja) | 1994-01-27 | 1994-01-27 | 吸着パッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07214489A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011183536A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ihi Corp | 形状自在な吸着パッド |
| CN102939189A (zh) * | 2010-04-15 | 2013-02-20 | 康奈尔大学 | 夹持与释放设备及方法 |
| CN102941566A (zh) * | 2012-11-29 | 2013-02-27 | 浙江纺织服装职业技术学院 | 一种软指移物机器人 |
| CN106272516A (zh) * | 2016-10-19 | 2017-01-04 | 深圳市艾励美特科技有限公司 | 吸附装置 |
| WO2019093592A1 (ko) * | 2017-11-08 | 2019-05-16 | 주식회사 다우에프에이 | 형상적응형 전기접착 그리퍼 |
| CN113976756A (zh) * | 2021-10-08 | 2022-01-28 | 安徽福达汽车模具制造有限公司 | 一种汽车覆盖件冲压模具的拉回机构 |
-
1994
- 1994-01-27 JP JP2606094A patent/JPH07214489A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011183536A (ja) * | 2010-03-11 | 2011-09-22 | Ihi Corp | 形状自在な吸着パッド |
| CN102939189A (zh) * | 2010-04-15 | 2013-02-20 | 康奈尔大学 | 夹持与释放设备及方法 |
| CN102941566A (zh) * | 2012-11-29 | 2013-02-27 | 浙江纺织服装职业技术学院 | 一种软指移物机器人 |
| CN106272516A (zh) * | 2016-10-19 | 2017-01-04 | 深圳市艾励美特科技有限公司 | 吸附装置 |
| WO2019093592A1 (ko) * | 2017-11-08 | 2019-05-16 | 주식회사 다우에프에이 | 형상적응형 전기접착 그리퍼 |
| CN113976756A (zh) * | 2021-10-08 | 2022-01-28 | 安徽福达汽车模具制造有限公司 | 一种汽车覆盖件冲压模具的拉回机构 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5163541B2 (ja) | 真空吸着パッド | |
| JP7180975B2 (ja) | エンドエフェクタ用の適合バキュームカップを与える装置及び方法 | |
| JP2020089936A (ja) | 吸着パッド | |
| JPH07214489A (ja) | 吸着パッド | |
| JPS59212305A (ja) | 真空吸着器 | |
| KR200483004Y1 (ko) | 흡착 물품 표면의 컵 현상을 제거 가능한 진공 흡착 패드 | |
| US6727162B2 (en) | Semiconductor chip assembly system with a suction nipple for removing a semiconductor chip | |
| JP2002001686A (ja) | 半導体収納容器搬送装置及び搬送方法及びそれに用いる吸着パッド | |
| JPH0672974U (ja) | 搬送装置 | |
| JPH072540Y2 (ja) | 吸着具 | |
| JPS62215117A (ja) | 負圧吸着装置 | |
| JP2551160Y2 (ja) | 吸着用パッド | |
| TWM576211U (zh) | Suction cup and its suction cup auxiliary suction cup | |
| KR20100062517A (ko) | 반도체 패키지 흡착패드 | |
| JP3967220B2 (ja) | 吸着ヘッド及び移載装置 | |
| JPH06335877A (ja) | 真空吸着装置 | |
| TWI709492B (zh) | 剝離裝置 | |
| JPH0627086U (ja) | ロボットの吸着パッド | |
| JP2512633Y2 (ja) | 吸着装置 | |
| JPH1071587A (ja) | 吸着パッド | |
| JP3232972B2 (ja) | 半導体収納容器搬送装置及び半導体収納容器の搬送方法 | |
| JPH09112531A (ja) | 吸着構造 | |
| JPH03293237A (ja) | 吸着パッド | |
| JPH063589U (ja) | ディスク用吸着パット及び装置 | |
| JPH0810496Y2 (ja) | 真空吸着装置における吸着ベッド |