TW202014287A

TW202014287A - 脫模薄膜及成形品之製造方法

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Publication number: TW202014287A
Application number: TW108130061A
Authority: TW
Inventors: 山本誠治
Original assignee: 日商住友電木股份有限公司
Priority date: 2018-08-24
Filing date: 2019-08-22
Publication date: 2020-04-16
Also published as: JPWO2020040240A1; JP2020199769A; CN112601646A; CN112601646B; JP6863523B2; WO2020040240A1; TWI784191B

Abstract

本發明的脫模薄膜(10)在一個脫模表面具有含有熱塑性樹脂之第1脫模層，一個脫模表面的算術平均高度Sa為0.6μm以上2.3μm以下，在一個脫模表面的任意區域，將該區域的面積設為A(mm² )，且將該區域的表面積設為S(mm² )時，S/A為1.005以上1.025以下。

Description

脫模薄膜及成形品之製造方法

本發明係有關一種脫模薄膜及成形品之製造方法。

通常，在製造成形品時或製造貼合不同材料而成之積層體時，脫模薄膜大多以保護該種成形品或積層體的表面之目的而使用。例如，脫模薄膜在經由黏接劑藉由熱壓而將覆蓋層薄膜(以下，亦稱為“CL薄膜”。)或補強板黏接於有電路露出之撓性薄膜(以下，亦稱為“電路露出薄膜”。)來製作撓性印刷電路基板(以下，亦稱為“FPC”)時使用。

因此，關於脫模薄膜，從以往要求提高以下說明之2個特性。首先要求之特性係製造成形品或上述積層體之後的該脫模薄膜的易剝離性亦即脫模性。其次要求之特性係該脫模薄膜相對於成形品或上述積層體的表面之密接性亦即追隨性。因此，以往關於提高該種脫模薄膜中的脫模性或追隨性之類的特性進行了研究、開發。

例如，專利文獻1中揭示了一種脫模薄膜，其具有在表面形成有滿足特定條件之凸凹之聚酯層。

又，在撓性印刷電路基板的以往的製造程序中，通常對依次疊加紙或矽氧橡膠等緩衝材料、脫模薄膜、CL薄膜及電路露出薄膜而成之被衝壓物進行上述熱壓處理(例如，專利文獻2)。 [先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本特開2009-90665號公報專利文獻2：日本特開2012-179827號公報

(發明欲解決之課題)

然而，近年來對脫模薄膜的各種特性要求之技術水準變得越來越高。其中，從提高與覆蓋層薄膜或補強板的黏接性之觀點考慮，當對經表面粗糙化處理之FPC直接使用了專利文獻1等中所記載之以往的脫模薄膜時，存在脫模薄膜與經表面粗糙化之FPC的密接變得過大，且脫模性降低之傾向。

本發明的課題為提供一種得到相對於經表面粗糙化之FPC的良好的脫模性的同時提高脫模性與追隨性的平衡之脫模薄膜。 (解決課題之方式)

本發明人等從提高脫模薄膜對於經粗糙化之FPC的脫模性與追隨性的平衡之觀點進行深入研究而得到了如下見解，亦即從提高對於經表面粗糙化之FPC的脫模性之觀點考慮，有效的是關於脫模表面的表面粗糙度，控制表面方向上的凹凸形狀。而且，進而進行研究之結果，發現藉由控制算術平均高度之類的指標和表面積相對於脫模表面的面積的的比率之類的指標，脫模性與追隨性的平衡變良好，從而能夠解決所述課題，並完成了本發明。

依本發明，提供一種脫模薄膜，在一個脫模表面具有含有熱塑性樹脂之第1脫模層，其中前述一個脫模表面的算術平均高度Sa為0.6μm以上2.3μm以下，在前述一個脫模表面的任意區域，將該區域的面積設為A(mm² )，且將該區域的表面積設為S(mm² )時，S/A為1.005以上1.025以下。

又，依本發明，提供一種成形品之製造方法，其包括如下步驟：以上述脫模薄膜的前述一個脫模表面成為對象物側之方式，於前述對象物上配置前述脫模薄膜；及對配置有前述脫模薄膜之前述對象物進行熱壓，在配置前述脫模薄膜之前述步驟中，前述對象物的配置有前述脫模薄膜之表面由含有熱硬化性樹脂之材料形成。 (發明之效果)

依本發明，能夠得到相對於經表面粗糙化之FPC的脫模薄膜的良好的脫模性的同時提高脫模性與追隨性的平衡。

>脫模薄膜> 圖1為本實施形態之脫模薄膜的剖面圖。如圖1所示，脫模薄膜10具有沿厚度方向積層有含有第1熱塑性樹脂之脫模層1、緩衝層3及含有第2熱塑性樹脂之脫模層2之積層結構。又，脫模層1配置在脫模薄膜10的一個表面，且脫模層2配置在脫模薄膜10的另一個表面。

本實施形態中，脫模薄膜10配置成脫模層1側與具備電路等之成形對象物接觸。亦即，將與成形對象物接觸之一側的表面設為脫模薄膜10的第1脫模表面，且將與成形對象物接觸之一側的表面為相反側的表面設為脫模薄膜10的第2脫模表面。

又，配置脫模薄膜10之前階段中的上述成形對象物的表面通常由含有處於半硬化狀態之熱硬化性樹脂之材料形成。脫模薄膜10配置於由上述含有處於半硬化狀態之熱硬化性樹脂之材料形成之成形對象物的表面上而使用。進而，以在成形對象物的表面配置有脫模薄膜10之狀態進行熱壓，藉此能夠得到所希望的成形品。

以下，對各層進行詳細敘述。

･脫模層1(第1脫模層) 脫模層1為在使用脫模薄膜10進行熱壓時，形成與成形對象物接觸之表面(第1脫模表面)之層。

在本實施形態中，脫模層1含有粒子。粒子的平均粒徑d50較佳為3μm以上，更佳為10μm以上。另一方面，粒子的平均粒徑d50較佳為35μm以下，更佳為25μm以下。藉由將粒子的平均粒徑d50設為上述下限值以上，能夠提高脫模薄膜10的剛性的同時提高與經表面粗糙化之FPC的脫模性。另一方面，藉由將粒子的平均粒徑d50設為上述上限值以下，能夠使脫模性與追隨性的平衡良好，並製作成品外觀良好的成形品。

關於粒子，從提高脫模薄膜10的剛性之觀點考慮，無機粒子為較佳。作為無機粒子，可舉出使用從由結晶二氧化矽、非晶二氧化矽及熔融二氧化矽等二氧化矽、氫氧化鋁、氫氧化鎂、碳酸鈣、碳酸鎂、矽酸鈣、矽酸鎂、氧化鈣、氧化鎂、氧化鋅、氧化鋁、氮化鋁、硼酸鋁晶鬚、氮化硼、銻氧化物、E玻璃、D玻璃、S玻璃及沸石構成之群組得到之1種或2種以上而成之粒子。無機粒子可以單獨使用僅1種，亦可以同時使用不同種類的粒子。無機粒子可以以提高與樹脂的密接性之目的使用矽烷耦合劑等進行表面處理，亦可以以提高分散性之目的使用對無機粒子進行了有機被膜處理之核-殼型粒子。從提高脫模薄膜的剛性之觀點考慮，結晶二氧化矽、非晶二氧化矽及熔融二氧化矽等二氧化矽為較佳，球狀熔融二氧化矽為更佳。

相對於脫模層1總量的粒子的含量較佳為3重量%以上30重量%以下，更佳為5重量%以上20重量%以下。藉此，關於脫模層1，能夠提高與經表面粗糙化之FPC的脫模性和追隨性的平衡。

關於脫模層1的厚度，從得到適當的強度的同時於高溫、高壓衝壓時亦得到良好的脫模性之觀點考慮，較佳為5μm以上，更佳為10μm以上。另一方面，從提高相對於成形品之埋入性之觀點考慮，脫模層1的厚度較佳為40μm以下，更佳為35μm以下，進一步較佳為30μm以下，更進一步較佳為20μm以下。藉由將脫模層1的厚度設為上述下限值以上，易得到良好的脫模性，另一方面，藉由將脫模層1的厚度設為上述上限值以下，易得到良好的追隨性，並且能夠實現成本降低。又，關於脫模層1的厚度，從兼備脫模性與追隨性的平衡之觀點考慮，根據與脫模薄膜的總厚度的平衡而設定為適宜。關於脫模層1的厚度，相對於脫模薄膜的總厚度，較佳為15～40%，更佳為20～30%。

脫模薄膜10的第1脫模表面的算術平均高度Sa為0.6μm以上2.3μm以下，0.7μm以上2.0μm以下為較佳。藉由將算術平均高度Sa設為上述下限值以上，能夠提高與粗糙化FPC的脫模性。另一方面，藉由將算術平均粗糙度Sa設為上述上限值以下，能夠良好地保持追隨性。此外，算術平均高度Sa能夠遵照ISO25178而測定。

又，在脫模薄膜10的第1脫模表面的任意區域中，將該區域的面積設為A(mm² )，並將該區域的表面積設為S(mm² )時，S/A為1.005以上1.025以下。藉由將S/A設為上述下限值以上，能夠提高與粗糙化FPC的脫模性。另一方面，藉由將S/A設為上述上限值以下，能夠良好地保持追隨性。此外，第1脫模表面的任意區域只要為脫模薄膜10作為脫模薄膜而發揮功能之區域則可以為任意區域。

又，脫模薄膜10中的算術平均高度Sa及S/A的數值能夠藉由控制脫模層1中所含有之粒徑、粒子的含量、脫模薄膜10及脫模層1的厚度來調整。亦即，例如存在若粒子的粒徑比脫模層1的厚度大，則基於該粒子所致的凹凸在脫模薄膜10的第1脫模表面變顯著的傾向，並且可得到粒子的含量越多則基於粒子所致的凹凸在脫模薄膜10的第1脫模表面變顯著之傾向。

在脫模薄膜10中，第1脫模表面的剝離強度越是低的值越較佳，但為0.1N/50mm以下，且與FPC自然剝離為較佳。藉此，能夠提高相對於成形對象物的脫模性。

此外，上述剝離強度能夠藉由以下方法而測定。首先，藉由對層壓覆蓋層薄膜而成之電路基板實施氬(Ar)電漿處理來得到經表面粗糙化之電路基板。然後，對於經表面粗糙化之電路基板，以脫模薄膜10中的第1脫模表面與上述之電路基板對置之方式上下貼合，並利用真空壓機來進行熱壓，藉此製作試驗片。然後，使用拉伸試驗機從所得到之試驗片剝離脫模薄膜10，藉此對第1脫模表面的剝離強度進行測定。

脫模層1含有熱塑性樹脂。作為熱塑性樹脂，例如可舉出聚對苯二甲酸乙二酯樹脂(PET)、聚對苯二甲酸丁二酯樹脂(PBT)、聚對苯二甲酸丙二酯樹脂(PTT)、聚對苯二甲酸己二酯樹脂(PHT)等聚對苯二甲酸烷二酯(polyalkylene terephthalate)樹脂、聚-4-甲基-1-戊烯樹脂(TPX：以下，亦稱為聚甲基戊烯樹脂。)、間規聚苯乙烯樹脂(SPS)、聚丙烯樹脂(PP)及共聚合其他成分而成之共聚物樹脂。該些可以使用1種或組合使用2種以上。其中，從提高脫模層的脫模性之觀點考慮，使用選自由聚甲基戊烯樹脂、聚對苯二甲酸丁二酯樹脂、間規聚苯乙烯樹脂及聚丙烯樹脂構成之群中之1種或2種以上為較佳，聚甲基戊烯樹脂為更佳。

關於第1脫模層1，除了上述熱塑性樹脂以外，亦可含有抗氧化劑、助滑劑、抗黏連劑(anti-blocking agent)、抗靜電劑、染料及顏料等著色劑、穩定劑等添加劑、氟樹脂、矽氧橡膠等耐衝擊性賦予劑、氧化鈦、碳酸鈣、滑石等無機填充劑。

･脫模層2 脫模層2為使用脫模薄膜10進行熱壓時形成與壓熱板接觸之表面(第2脫模表面)之層。

脫模層2可以含有粒子。脫模層2中所含有之粒子的平均粒徑d50係3μm以上50μm以下為較佳，10μm以上40μm以下為更佳。藉此，能夠對第2脫模表面賦予所希望大小的凹凸。

相對於脫模層2總量的粒子的含量係0.05重量%以上30重量%以下為較佳，0.1重量%以上20重量%以下為更佳，1重量%以上10重量%以下為進一步較佳。

此外，脫模層2中所含有之粒子能夠形成為與上述脫模層1中所含有之粒子相同的粒子。此外，脫模層1中所含有之粒子與脫模層2中所含有之粒子可以為由相同材料或粒徑組成之粒子，亦可以為由不同材料或粒徑組成之粒子。

關於脫模層2的厚度，從得到適當的強度的同時於高溫、高壓衝壓時亦得到良好的脫模性的觀點考慮，較佳為5μm以上，更佳為10μm以上。另一方面，從提高相對於成形品之埋入性之觀點考慮，脫模層2的厚度較佳為40μm以下，更佳為35μm以下，進一步較佳為30μm以下，更進一步較佳為20μm以下。又，關於脫模層2的厚度，從兼備脫模性與追隨性的平衡的觀點考慮，根據與脫模薄膜的總厚度的平衡來設定為適宜。脫模層2的厚度相對於脫模薄膜的總厚度較佳為15～40%，更佳為20～30%。

脫模層2含有熱塑性樹脂。在脫模層2中所使用之熱塑性樹脂能夠使用與在上述脫模層1中進行了說明者相同的熱塑性樹脂。在脫模層1和脫模層2中所使用之塑性樹脂可以相同，亦可以不同。又，脫模層2可以使用與脫模層1相同的材料來形成，亦可以使用與脫模層1不同的材料來形成。

･緩衝層3 緩衝層3介於脫模層1與脫模層2之間。

緩衝層3的厚度係10μm以上100μm以下為較佳，10μm以上90μm以下為更佳，10μm以上70μm以下為進一步較佳。又，從降低製造成本之觀點考慮，緩衝層3的厚度係20μm以上50μm以下為較佳，30μm以上40μm以下為更佳。藉由將緩衝層3的厚度設為上述下限值以上，於高溫/高壓條件下亦易得到相對於粗糙化FPC的脫模性。進而，可得到脫模薄膜10的緩衝性，抑制熱壓時所使用之後述材料等的網眼轉印於FPC表面而得到良好的外觀，並且追隨性變良好。另一方面，藉由將緩衝層3的厚度設為上述上限值以下，能夠良好地維持脫模性。

作為形成緩衝層3之樹脂材料的具體例，可舉出：聚乙烯、聚丙烯等α-烯烴系聚合物；具有乙烯、丙烯、丁烯、戊烯、己烯、甲基戊烯等作為共聚物成分之α-烯烴系共聚物、聚醚碸、聚苯硫醚等工程塑膠系樹脂等。該些可以單獨使用1種，亦可以同時使用2種以上。其中，α-烯烴系共聚物為較佳。作為α-烯烴系共聚物，可舉出乙烯等α-烯烴與(甲基)丙烯酸酯之共聚物、乙烯與乙酸乙烯酯之共聚物、乙烯與(甲基)丙烯酸之共聚物、及該些之部分離子交聯物等。進而，從得到良好的緩衝功能之觀點考慮，係單獨使用乙烯等α-烯烴-(甲基)丙烯酸酯共聚物者、或聚對苯二甲酸丁二酯與1,4-環己二甲醇共聚合聚對苯二甲酸乙二酯之混合物、α-烯烴系聚合物與乙烯等α-烯烴-(甲基)丙烯酸酯共聚物之混合物為較佳。例如，乙烯與乙烯-甲基丙烯酸甲酯共聚物(EMMA)之混合物、聚丙烯(PP)與乙烯-甲基丙烯酸甲酯共聚物(EMMA)之混合物、聚對苯二甲酸丁二酯(PBT)與聚丙烯(PP)與乙烯-甲基丙烯酸甲酯共聚物(EMMA)之混合物等為更佳。

緩衝層3可以還含有橡膠成分。作為橡膠成分，例如可舉出苯乙烯-丁二烯共聚物、苯乙烯-異戊二烯共聚物等苯乙烯系熱塑性彈性體、烯烴系熱塑性彈性體、醯胺系彈性體、聚酯系彈性體等熱塑性彈性體材料；天然橡膠、異戊二烯橡膠、氯丁二烯橡膠、矽氧橡膠等橡膠材料等。

緩衝層3中可以含有抗氧化劑、助滑劑、抗黏連劑、抗靜電劑、染料及顏料等著色劑、穩定劑等添加劑、氟樹脂、矽氧橡膠等耐衝擊性賦予劑、氧化鈦、碳酸鈣、滑石等無機填充劑。

作為形成緩衝層3之方法，例如可舉出空冷或水冷充氣擠製法、T模擠製法等公知的方法。

･整個脫模薄膜10 脫模薄膜10的總厚度較佳為30μm以上180μm以下，更佳為30μm以上150μm以下。又，從降低製造成本之觀點考慮，脫模薄膜10的總厚度較佳為30μm以上100μm以下，更佳為40μm以上90μm以下，進一步較佳為50μm以上80μm以下。藉由將脫模薄膜10的厚度設為上述下限值以上，於高溫/高壓條件下亦易得到相對於粗糙化FPC的脫模性。進而，可得到脫模薄膜10的緩衝性，抑制熱壓時所使用之後述材料等網眼轉印於FPC表面而得到良好的外觀，並且追隨性變良好。另一方面，藉由將脫模薄膜10的厚度設為上述上限值以下，能夠良好地維持脫模性。又，藉由將脫模薄膜10的總厚度設為上述數值範圍內，能夠於製作成形品時對脫模薄膜10均勻地施加衝壓壓力。

然後，對本實施形態的脫模薄膜10的效果進行說明。脫模薄膜10具備脫模層1及緩衝層3，第1脫模表面的算術平均高度Sa為0.6μm以上2.3μm以下，並且在第1脫模表面的任意區域，將該區域的面積設為A(mm² )，並將該區域的表面積設為S(mm² )時，S/A為1.005以上1.025以下。亦即，藉由高程度控制第1脫模表面的表面狀態，提高脫模薄膜10與粗糙化FPC的脫模性和與追隨性的平衡。雖然該理由的詳細原因並不明確，但如下推測。首先，推測算術平均高度Sa為表示相對於平均表面的峰與谷的高度(凹凸的高度)的平均之參數，係著眼於脫模表面與對象物的切點的狀態而推測係控制脫模性者，相對於此，關於S/A，認為表面積越大越易得到緩衝性，並推測易控制追隨性。因此，藉由組合該等而適當控制整個脫模表面的表面形狀，其結果認為，作為整個脫模薄膜10，相對於經表面粗糙化之FPC亦可得到良好的脫模性，並且能夠提高脫模性與追隨性的平衡。此外，經表面粗糙化之FPC是指，例如於Ar氣下實施了電漿處理者，且指算術平均粗糙度Sa為(0.18μm)以上者，但亦能夠採用除了上述以外的各種電漿處理條件。

本實施形態中，對脫模薄膜10具有沿厚度方向依次積層脫模層1、緩衝層3及脫模層2而成之積層結構進行了說明，但並不限定於此。例如，脫模薄膜可以為具有黏接層、阻氣層等之4層、5層等4層以上之構成。此時，就黏接層、阻氣層而言並無特別限定，能夠使用公知者。

>脫模薄膜10的製造方法> 脫模薄膜10能夠利用共擠製法、擠製層壓法、乾式層壓法、充氣法等公知的方法來製作。又，脫模薄膜10可以在分開製造脫模層1、緩衝層3、脫模層2的各層之後藉由層合機等來接合，但利用空冷式或水冷式共擠製充氣法、共擠製T模法來成膜為較佳。其中，從可優異地控制各層的厚度之觀點考慮，利用共擠製T模法成膜之方法為特佳。又，可以直接接合脫模層1、緩衝層3及脫模層2，亦可以隔著黏接層而接合。

>成形品之製造方法> 然後，對本實施形態的成形品之製造方法進行說明。本實施形態的成形品之製造方法中使用上述之脫模薄膜10。進而，本實施形態的成形品之製造方法例如可以於製作撓性印刷電路基板時使用。此時，在為了保護形成在撓性薄膜上之電路而對該電路熱壓覆蓋層薄膜而使其密接時，脫模薄膜10介於覆蓋層與層壓機之間而使用。

具體而言，脫模薄膜10例如於撓性印刷配線基板的製造步驟之一之覆蓋層層壓步驟中使用。更詳細而言，脫模薄膜10於針對電路露出薄膜的覆蓋層薄膜黏接時為了將覆蓋層薄膜密接於電路圖案的凹凸部而以覆蓋覆蓋層薄膜之方式配置，且藉由壓機同時對電路露出薄膜及覆蓋層薄膜進行熱壓。此時，為了提高緩衝性，亦能夠在將紙、橡膠、氟樹脂版、玻璃紙等或組合該等而成之材料插入到脫模薄膜與壓機之間之基礎上進行熱壓。

又，本實施形態的脫模薄膜10亦可以為了製作上述之成形品而使用以下方法。首先，相對於由含有熱硬化性樹脂之材料形成之對象物的表面，配置上述本實施形態之脫模薄膜10的脫模層1上的第1脫模表面。然後，在脫模薄膜10的脫模層2上的第2脫模表面上，配置紙、橡膠、氟樹脂版、玻璃紙等或組合該等而成之材料。然後，對於配置有脫模薄膜10之對象物，在模具內進行衝壓處理。其中，上述熱硬化性樹脂可以為半硬化狀態，亦可以為硬化狀態，若為半硬化狀態，則該脫模薄膜10的作用效果變得更加顯著。尤其，熱硬化性樹脂為含有環氧樹脂之樹脂組成物時，該環氧樹脂處於硬化反應的中間階段亦即處於B步驟狀態為較佳。

以上，對本發明的實施形態進行了敘述，但該等為本發明的例示，且亦能夠採用除了上述以外的各種構成。 [實施例]

以下，藉由實施例及比較例對本發明進行說明，但本發明並不限定於該等。

>實施例1> 作為形成第1脫模層之熱塑性樹脂組成物，使用了聚甲基戊烯樹脂(TPX(註冊商標))(Mitsui Chemicals, Inc. 製、RT31)90重量份和平均粒徑d50為11.7μm的球狀無機粒子亦即熔融二氧化矽(NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD. 製、SC10-32F)10重量份。作為緩衝層，使用了含有改質聚乙烯樹脂(乙烯-甲基丙烯酸甲酯共聚物(EMMA)樹脂)(Sumitomo Chemical Co., Ltd. 製、WD106)40重量份、聚丙烯樹脂(Prime Polymer Co., Ltd. 製、E111G)30重量份、聚甲基戊烯樹脂(TPX(註冊商標))(Mitsui Chemicals, Inc. 製、RT31)30重量份之樹脂組成物。作為形成第2脫模層之熱塑性樹脂組成物，使用了聚甲基戊烯樹脂(TPX(註冊商標))(Mitsui Chemicals, Inc. 製、RT31)98重量份和球狀無機粒子亦即熔融二氧化矽(NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD. 製、SC10-32F)2重量份。進行了使用各自的材料，並藉由擠出T模法沿厚度方向依次積層第1脫模層、緩衝層、第2脫模層而以各自的厚度成為20μm、30μm、20μm之方式成形之成形步驟。

>實施例2> 使用以相對於第1脫模層總量的熔融二氧化矽的含量成為20重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為10μm，將緩衝層的厚度設為40μm，將第2脫模層的厚度設為10μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了實施例2的脫模薄膜。

>實施例3> 替代熔融二氧化矽SC10-32F而使用平均粒徑d50為17.1μm之熔融二氧化矽(NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD. 製、SC70F)，並使用以熔融二氧化矽的含量成為5重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為30μm，將緩衝層的厚度設為40μm，將第2脫模層的厚度設為30μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了實施例3的脫模薄膜。

>實施例4> 使用以相對於第1脫模層總量的熔融二氧化矽的含量成為10重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為15μm，將緩衝層的厚度設為30μm，將第2脫模層的厚度設為15μm，除此以外，以與實施例3相同的方法得到了實施例4的脫模薄膜。

>實施例5> 使用以相對於第1脫模層總量的熔融二氧化矽的含量成為15重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為10μm，將緩衝層的厚度設為30μm，將第2脫模層的厚度設為10μm，除此以外，以與實施例3相同的方法得到了實施例5的脫模薄膜。

>實施例6> 替代熔融二氧化矽SC10-32F而使用平均粒徑d50為23.9μm之熔融二氧化矽(NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD. 製、SC80-53F)，並使用以熔融二氧化矽的含量成為5重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為20μm，將緩衝層的厚度設為40μm，將第2脫模層的厚度設為20μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了實施例6的脫模薄膜。

>實施例7> 使用以相對於第1脫模層總量的熔融二氧化矽的含量成為10重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為15μm，將緩衝層的厚度設為30μm，將第2脫模層的厚度設為15μm，除此以外，以與實施例6相同的方法得到了實施例7的脫模薄膜。

>實施例8> 將第1脫模層的厚度設為25μm，將緩衝層的厚度設為60μm，將第2脫模層的厚度設為25μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了實施例8的脫模薄膜。

>實施例9> 將第1脫模層的厚度設為30μm，將緩衝層的厚度設為70μm，將第2脫模層的厚度設為30μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了實施例9的脫模薄膜。

>實施例10> 將第1脫模層的厚度設為35μm，將緩衝層的厚度設為80μm，將第2脫模層的厚度設為35μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了實施例10的脫模薄膜。

>比較例1> 替代熔融二氧化矽SC10-32F而使用平均粒徑d50為2.2μm之熔融二氧化矽(NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD. 製、SP60)，並使用以熔融二氧化矽的含量成為10重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為30μm，將緩衝層的厚度設為40μm，將第2脫模層的厚度設為30μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了比較例1的脫模薄膜。

>比較例2> 使用以相對於第1脫模層總量的熔融二氧化矽的含量成為20重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為20μm，將緩衝層的厚度設為30μm，將第2脫模層的厚度設為20μm，除此以外，以與比較例1相同的方法得到了比較例2的脫模薄膜。

>比較例3> 使用以相對於第1脫模層總量的熔融二氧化矽的含量成為2重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為20μm，將緩衝層的厚度設為30μm，將第2脫模層的厚度設為20μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了比較例3的脫模薄膜。

>比較例4> 使用以相對於第1脫模層總量的熔融二氧化矽的含量成為20重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為10μm，將緩衝層的厚度設為40μm，將第2脫模層的厚度設為10μm，除此以外，以與實施例3相同的方法得到了比較例4的脫模薄膜。

>比較例5> 替代熔融二氧化矽SC10-32F而使用平均粒徑d50為35.6μm之熔融二氧化矽(NIPPON STEEL & SUMIKIN MATERIALS CO., LTD. 製、SC30F)，並使用以熔融二氧化矽的含量成為5重量份之方式與上述TPX摻合而成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，且將第1脫模層的厚度設為15μm，將緩衝層的厚度設為30μm，將第2脫模層的厚度設為15μm，除此以外，以與實施例1相同的方法得到了比較例5的脫模薄膜。

>比較例6> 去除熔融二氧化矽SP60，並使用由上述TPX100重量份組成之熱塑性樹脂材料製作了第1脫模層，除此以外，以與比較例1相同的方法得到了比較例6的脫模薄膜。

使用實施例1～實施例10及比較例1～比較例6的各脫模薄膜進行了以下評價。將結果示於表1。

>評價方法> ･粒子(熔融二氧化矽)的平均粒徑d50：依使用雷射繞射式粒度分析儀(Malvern公司製，Mastersizer2000)，溶劑為水而使粒子分散來進行了粒度測定而得之結果，計算累積頻度達到50%之粒徑的值作為平均粒徑d50。此外，單位為μm。

･第1脫模層的第1脫模表面的算術平均高度(Sa)：關於所得到之脫模薄膜中的第1脫模層的第1脫模表面的表面，遵照ISO25178，並利用MITSUBISHI CHEMICAL SYSTEMS, Inc. 製VertScan R3300H進行了測定。此外，單位為μm。

･第1脫模層的第1脫模表面的面積(A)及表面積(S)：關於所得到之脫模薄膜中的第1脫模層的第1脫模表面的表面，利用MITSUBISHI CHEMICAL SYSTEMS, Inc. 製VertScan R3300H進行了測定。

･脫模性(第1脫模層的第1脫模表面的脫模性)：首先，對層壓了覆蓋層薄膜而成之電路基板實施Ar電漿處理而得到了經表面粗糙化之電路基板。該Ar電漿處理藉由如下而進行，亦即利用Ar氣，以150sccm的流量向腔室內供給，並將腔室內的壓力設為25Pa，並藉由微波(功率300W、頻率：13.56MHz)的施加來生成Ar電漿。相對於經粗糙化之電路基板，以脫模薄膜10中的第1脫模表面與上述之電路基板對置之方式上下貼合，並利用真空壓機，以175℃、2MPa的壓力進行1分鐘的熱壓，藉此製作試驗片。然後，從壓機取出所得到之試驗片，並於大氣下冷卻60秒鐘之後，利用拉伸試驗機(A&D Company, Limited製Force gauge AD-4932A-50N)，沿180°方向以約1000mm/分鐘的速度施加應力而剝離脫模薄膜，藉此對第1脫模表面的剝離強度進行了測定。關於剝離強度的測定，基於以下基準對脫模性進行了評價。 ○：剝離強度為0.1N/50mm以下，且試驗片從FPC自然剝離。 ×：剝離強度大於0.1N/50mm，且試驗片未從FPC自然剝離。

･脫模性2(第1脫模層的第1脫模表面的脫模性)：相對於已實施和上述脫模性評價相同的粗糙化處理之電路基板，以脫模薄膜10中的第1脫模表面與上述之電路基板對置之方式上下貼合，並利用真空壓機，以185℃、2MPa的壓力進行1分鐘的熱壓，藉此製作了試驗片。然後，從壓機取出所得到之試驗片，並於大氣下冷卻60秒鐘之後，利用拉伸試驗機(A&D Company, Limited製Force gauge AD-4932A-50N)，沿180°方向以約1000mm/分鐘的速度施加應力而剝離脫模薄膜，藉此對第1脫模表面的剝離強度進行了測定。關於剝離強度的測定，基於以下基準對脫模性進行了評價。 ○：剝離強度為0.1N/50mm以下，且試驗片從FPC自然剝離。 △：剝離強度大於0.1N/50mm，且為3N/50mm以下。 ×：剝離強度大於3N/50mm。

･追隨性(黏接劑滲出形狀)：首先，在有澤製作所製的覆蓋層(CM類型)製作了1mm四方的開口部。然後，製作了以使塗佈有黏接劑之一側的面與撓性配線板用包銅層板的表面接觸之方式臨時固定有具有上述開口部之覆蓋層之試驗片。然後，以脫模薄膜中的第1脫模層的第1脫模表面與具有上述試驗片的覆蓋層之一側的面對置之方式，疊加上述脫模薄膜與上述試驗片之後，於175℃、2MPa的條件下實施2分鐘熱壓處理，得到了成形品。關於這樣得到之成形品，觀察塗佈於該覆蓋帶的表面之黏接劑從上述開口部的外緣部滲出至形成於覆蓋層之開口部內之形狀(黏接劑滲出形狀)，並依據以下基準對追隨性進行了評價。 ○：黏接劑滲出形狀的凹凸差小於80μm。 ×：黏接劑滲出形狀的凹凸差為80μm以上。

･成形性(孔)：相對於形成有寬度100μm、深度50μm的槽之電路露出薄膜的表面重疊有澤製作所製CL(CM類型、厚度40um)，接著進而與電路基板對置之方式上下貼合脫模薄膜，並利用真空壓機，以185℃、2MPa加熱壓縮1分鐘而成形。亦即，依次積層模具、脫模薄膜、成形材料、脫模薄膜、模具而進行了加熱壓縮成形。然後，從壓機取出所得到之成形品，並於大氣下冷卻60秒鐘之後，用光學顯微鏡觀察該成形品的外觀，並基於以下基準對成形性(孔)進行了評價。 ○：孔的數量為0個。 △：長度0.3mm以上的孔的數量為0個，並且小於0.3mm的孔的數量為1個以上。 ×：長度0.3mm以上的孔的數量為1個以上。

･成形性(成形品之褶皺)：製作了以使有澤製作所製的覆蓋層(CM類型)的塗佈有黏接劑之一側的面與撓性配線板用包銅層板的表面接觸之方式臨時固定有上述覆蓋層之試驗片。然後，以脫模薄膜中的第1脫模層的第1脫模表面與具有上述試驗片的覆蓋層之一側的面對置之方式疊加上述脫模薄膜與上述試驗片之後，於175℃、2MPa的條件下實施2分鐘熱壓處理，從而得到了成形品。關於FPC的外觀，利用基於JPCA規格“7.5.7.2項褶皺”之方法測定了每單位面積的褶皺產生率。關於所得到之測定值，藉由以下基準進行了評價。 ○：褶皺產生率小於1.5%。 ×：褶皺產生率為1.5%以上。

[表1]

本申請案主張以2018年8月24日申請之日本專利申請2018-156933號及2019年6月7日申請之日本專利申請2019-106729號為基礎之優先權，並將該揭示全部援用於此。

1:脫模層 2:脫模層 3:緩衝層 10:脫模薄膜

上述之目的及其他目的、特徵及優點藉由以下所述較佳的實施形態及隨附其之以下圖式變得進而明確。

圖1為第1實施形態之脫模薄膜的縱剖面圖。

1:脫模層

2:脫模層

3:緩衝層

10:脫模薄膜

Claims

一種脫模薄膜，在一個脫模表面具有含有熱塑性樹脂之第1脫模層，其中該一個脫模表面的算術平均高度Sa為0.6μm以上2.3μm以下，在該一個脫模表面的任意區域，將該區域的面積設為A(mm² )，且將該區域的表面積設為S(mm² )時，S/A為1.005以上1.025以下。
如申請專利範圍第1項之脫模薄膜，其中該第1脫模層含有平均粒徑d50為3μm以上35μm以下之粒子。
如申請專利範圍第1或2項之脫模薄膜，其在該脫模薄膜的另一個脫模表面還具有含有熱塑性樹脂之第2脫模層，該脫模薄膜的總厚度為180μm以下。
如申請專利範圍第2項之脫模薄膜，其中相對於該第1脫模層總量之該粒子的含量係3重量%以上30重量%以下。
如申請專利範圍第1或2項之脫模薄膜，其中該第1脫模層含有選自由聚4-甲基1-戊烯樹脂、聚對苯二甲酸丁二酯樹脂、間規聚苯乙烯樹脂及聚丙烯樹脂構成之群組中之1種或2種以上。
如申請專利範圍第2項之脫模薄膜，其中該粒子為無機粒子。
如申請專利範圍第6項之脫模薄膜，其中該無機粒子為使用從由碳酸鈣、氧化鋅、氧化鋁、結晶二氧化矽、非晶二氧化矽、熔融二氧化矽及沸石構成之群組中得到之1種或2種以上而成之粒子。
如申請專利範圍第1或2項之脫模薄膜，其中該第1脫模層含有聚4-甲基1-戊烯樹脂。
如申請專利範圍第3項之脫模薄膜，其中該第1脫模層與該第2脫模層隔著緩衝層而積層。
一種成形品之製造方法，其包括如下步驟：以如申請專利範圍第1至9項中任一項之脫模薄膜的該一個脫模表面成為對象物側之方式，於該對象物上配置該脫模薄膜；及對配置有該脫模薄膜之該對象物進行熱壓，在配置該脫模薄膜之該步驟中，該對象物的配置有該脫模薄膜之表面由含有熱硬化性樹脂之材料形成。
如申請專利範圍第10項之成形品之製造方法，其還包括如下步驟：在配置該脫模薄膜之該步驟後，在該脫模薄膜的第2脫模層的脫模表面上配置材料。
一種脫模薄膜的使用，其包括如下步驟：以如申請專利範圍第1至9項中任一項之脫模薄膜的該一個脫模表面成為對象物側之方式，於該對象物上配置該脫模薄膜；及對配置有該脫模薄膜之該對象物進行熱壓，且在該熱壓工序後用於得到成形品，在配置該脫模薄膜之該步驟中，該對象物的配置有該脫模薄膜之表面由含有熱硬化性樹脂之材料形成。