TW201821235A - 壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置及方法、以及壓縮成形裝置及樹脂成形品製造方法 - Google Patents

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Abstract

樹脂材料供給裝置19由具有對應於模腔之平面形狀之形狀之樹脂材料保持部20、配置於其上之具有樹脂材料保持部20之1/4大小之小樹脂材料保持部40、配置於樹脂材料保持部20之下之擴散板60所構成。於樹脂材料保持部20，設置有使其於面內移動之移動部30，於擴散板60設置有使其振動之激振部70。於第1階段自小樹脂材料保持部40將樹脂材料供給至樹脂材料保持部20之多個樹脂材料收容部22，於第2階段使該等多個樹脂材料收容部22分別旋動而使樹脂材料掉落至模腔。此時，藉由使擴散板60振動而將樹脂以成為不均較少之狀態之方式供給至模腔。

Description

壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置及方法、以及壓縮成形裝置及樹脂成形品製造方法
本發明係關於一種將半導體晶片等電子零件樹脂密封之裝置，尤其，係關於一種為了壓縮成形而將具有顆粒狀、粉末狀等形態之樹脂材料(以下，除特別說明之情形以外，於簡稱為「樹脂材料」之情形時係指顆粒狀或粉末狀之樹脂材料)供給至模具之模腔之樹脂材料供給裝置及方法、以及具有該樹脂材料供給裝置之壓縮成形裝置及樹脂成形品製造方法。
伴隨電子零件之小型化及因其引起之半導體晶片等之接合線(bonding wire)之直徑微細化，電子零件之密封成形開始使用壓縮成形。於壓縮成形中，將樹脂材料供給至由離型膜被覆之下模之模腔，加熱熔融之後，於與安裝有裝配有電子零件之基板之上模之間合模而壓縮該樹脂， 藉此進行成形。於此種壓縮成形中，為了遍及大模具之基板之整體進行無缺陷之成形，將既定量之樹脂材料不多不少且均等地供給至模腔係重要的。若供給至模腔之樹脂材料之量存在不均勻性，則於合模時於模腔內產生樹脂材料之流動(移動)，而對電子零件基板之接合線等配線造成不良影響。
為了將既定量之樹脂材料均等地供給至模腔，不自貯存樹脂材料之供給部直接將樹脂材料供給至模腔，而採取將樹脂材料先以成為均等之厚度之方式供給至具有對應模腔之形狀之樹脂用托盤，其後，自樹脂用托盤使樹脂材料一齊地掉落至模腔之方法。
自樹脂用托盤使樹脂材料一齊地掉落之方法之一有將設置於其樹脂用托盤之下面之、由在中央對接之2片平板所構成之擋閘打開之方法(將此稱為單純擋閘方式)。
並且，作為將樹脂材料更均等地供給至模腔內之方法，有如圖12所示般，預先於樹脂用托盤931設置多個狹縫狀之樹脂材料供給孔932(圖12係垂直於樹脂材料供給孔932之狹縫之長度方向之面之剖面圖，出現有3個樹脂材料供給孔932之剖面)，將設置於樹脂用托盤931底部之由在中央對接之2片平板所構成之擋閘933沿垂直於該樹脂材料供給孔932之狹縫之長度方向(於圖12中為左右方向)打開，藉此，自各樹脂材料供給孔932使樹脂材料掉落至模腔934內之方法(將此稱為狹縫擋閘方式)。
作為同樣地使用具有多個狹縫狀之樹脂材料供給孔之樹脂用托盤之方法，亦有圖13所示之方法。於該方法中，使樹脂用托盤940由上托盤941與下托盤942構成，於兩者預先形成大量之平行之狹縫狀之樹 脂材料供給孔。於該樹脂用托盤940中，上托盤941之樹脂材料供給孔943作為用以保持樹脂之樹脂保持部發揮功能，下托盤942之樹脂材料供給孔944作為用以使保持於上托盤941之樹脂材料供給孔943之樹脂材料掉落之開口發揮功能。於上下托盤941、942之樹脂材料供給孔943、944完全地不對齊之(即，下托盤942之非開口部將上托盤941之開口部堵塞之)狀態下將樹脂材料預先供給至上托盤941之樹脂材料供給孔943，將該樹脂用托盤940配置於模腔955之上(圖13(a))。然後，使上托盤941於垂直於樹脂材料供給孔943、944之狹縫之方向(於圖13中為左右方向)上移動，藉此，使上托盤941之樹脂材料供給孔943內之樹脂材料通過下托盤942之樹脂材料供給孔944而掉落至模腔955內(圖13(b)，將此稱為上下狹縫方式)。
於單純擋閘方式、狹縫擋閘方式及上下狹縫方式之任一者，為了使擋閘平滑地移動，均存在於樹脂用托盤之底部與擋閘之上面之間產生略微之間隙之情況。若有此種間隙，則存在於使擋閘或上托盤移動時，樹脂材料進入至該間隙，或者被嚙入，由此擋閘或上托盤之移動被妨礙之情況。於該情形時，擋閘或上托盤之移動速度變慢或變得不均勻，供給至模腔內之樹脂材料之量變得不均勻。進而，於最差之情形時，擋閘或上托盤之移動於途中停止，而使模腔內的一部分不能被供給樹脂材料。
於專利文獻1中揭示有消除此種樹脂之嚙入之問題之樹脂供給裝置。於該樹脂供給裝置(樹脂投入裝置)中，為了將樹脂用托盤(托板)中收容之樹脂投入至模腔，具備可使上述樹脂用托盤翻轉之容器翻轉機構，使其翻轉時之至少一定之時間，採用以相對於樹脂用托盤中收容之 全部樹脂產生朝向上述樹脂用托盤之底面側之推壓力之方式，使樹脂用托盤一氣呵成式之翻轉方法。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2009-234042號公報
於專利文獻1中記載之樹脂供給裝置中，為了相對於樹脂用托盤中收容之全部樹脂使朝向上述樹脂用托盤之底面側之推壓力產生，不得不將樹脂用托盤急遽地加速而使其瞬間翻轉。此種加速於旋轉初期實現其目的，但於樹脂用托盤完全地翻轉而將其中之樹脂材料投入至模腔時，由於樹脂材料以較大之速度被投入至模腔內，故而無法實現不均較少之向模腔內之投入之目的。
本發明所欲解決之課題在於提供一種能夠將樹脂材料以成為不均較少之狀態之方式供給至模腔內之、壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置。
為了解決上述課題而完成之本發明之壓縮成形裝置之第1態樣之樹脂材料供給裝置之特徵在於具備：a)樹脂材料保持部，其具有相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部，該等複數個樹脂材料收容部係於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上 延伸之溝槽，且能以該柱狀材之軸為中心而旋動；b)旋動驅動部，其使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動；c)擴散板，其配置於上述樹脂材料保持部之下，配置有樹脂材料掉落用之複數個孔；及d)激振部，其使上述擴散板振動。
又，為了解決上述課題而完成之本發明之壓縮成形裝置之第2態樣之樹脂材料供給裝置之特徵在於具備：a)樹脂材料保持部，其具有相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部，該等複數個樹脂材料收容部係於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽，且能以該柱狀材之軸為中心而旋動；b)旋動驅動部，其使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動；c)小樹脂材料保持部，其可配置於上述樹脂材料保持部之上，具有對應於將上述樹脂材料保持部分割為複數個同一形狀之區域之該形狀之形狀，使樹脂材料掉落至上述複數個樹脂材料收容部之各者；及d)移動部，其以上述小樹脂材料保持部位於上述樹脂材料保持部之上述複數個同一形狀之區域之任一者之方式，使上述小樹脂材料保持部與上述樹脂材料保持部相對地移動。
對應於上述壓縮成形裝置之第1態樣之樹脂材料供給裝置之本發明之第1態樣之樹脂材料供給方法之特徵在於具有：a)於使具有於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽且能以 該柱狀材之軸為中心而旋動之相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部的樹脂材料保持部之該等複數個樹脂材料收容部之開口朝上之狀態下，自該開口將樹脂材料收容至該溝槽內之步驟；b)將上述樹脂材料保持部配置於模腔之開口部上之步驟；c)藉由使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動而使樹脂材料自該溝槽掉落之步驟；及d)藉由使配置於上述樹脂材料保持部之下之配置有樹脂材料掉落用之複數個孔之擴散板振動，而將自上述溝槽掉落至該擴散板上之樹脂材料供給至模腔之步驟。
又，對應於上述壓縮成形裝置之第2態樣之樹脂材料供給裝置之本發明之第2態樣之樹脂材料供給方法之特徵在於具有：a)使具有於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽且能以該柱狀材之軸為中心而旋動之相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部的樹脂材料保持部之該等複數個樹脂材料收容部之開口朝上之步驟；b)利用配置於上述樹脂材料保持部之上且具有對應於將上述樹脂材料保持部分割為複數個同一形狀之區域之該形狀之形狀且使樹脂材料掉落至上述複數個樹脂材料收容部之各者之小樹脂材料保持部，使樹脂材料掉落至上述複數個樹脂材料收容部之各自之溝槽之步驟；c)藉由一面使上述小樹脂材料保持部移動一面反覆進行上述樹脂材料掉落步驟，而使所有上述樹脂材料保持部之複數個樹脂材料收容部都保持樹脂材料之步驟，d)將上述樹脂材料保持部配置於模腔之開口部上之步驟，及 e)藉由使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動而將樹脂材料供給至模腔之步驟。
本發明之壓縮成形裝置之第1態樣者之特徵在於具有上述第1態樣之樹脂材料供給裝置。
又，本發明之壓縮成形裝置之第2態樣者之特徵在於具有上述第2態樣之樹脂材料供給裝置。
本發明作為以具有藉由上述第1態樣之樹脂材料供給方法將樹脂材料供給至壓縮成形裝置之下模之模腔之步驟為特徵之樹脂成形品製造方法亦可實施。
又，本發明作為以具有藉由上述第2態樣之樹脂材料供給方法將樹脂材料供給至壓縮成形裝置之下模之模腔之步驟為特徵之樹脂成形品製造方法亦可實施。
根據本發明，能夠將樹脂材料以成為不均較少之狀態之方式供給至模腔內。
10‧‧‧壓縮成形裝置
11‧‧‧上模
12‧‧‧下模
13‧‧‧中間板
15‧‧‧基板
16‧‧‧離型膜
19‧‧‧樹脂材料供給裝置
21‧‧‧框構件
22‧‧‧樹脂材料收容部
23‧‧‧齒條
26‧‧‧連結構件
27‧‧‧空氣致動器
29‧‧‧基台
30‧‧‧移動部
40‧‧‧小樹脂材料保持部
41‧‧‧樹脂保持部
42‧‧‧擋閘
43、44‧‧‧狹縫
45、47‧‧‧小樹脂材料保持部
46、48‧‧‧樹脂材料收容部
49‧‧‧擋閘板
60、62、64‧‧‧擴散板
61、63、65‧‧‧貫通孔
67‧‧‧軌道
70‧‧‧激振部
111‧‧‧基板設置部
121‧‧‧模腔
122‧‧‧膜推壓件
123‧‧‧模腔底部構件
221‧‧‧柱狀材
222‧‧‧溝槽
224‧‧‧小齒輪
242‧‧‧平行移動用連結構件
241‧‧‧旋動用連結構件
251‧‧‧旋動用凸輪
252‧‧‧平行移動用凸輪
481‧‧‧小貫通孔
931、940‧‧‧樹脂用托盤
932、943、944‧‧‧樹脂材料供給孔
933‧‧‧擋閘
934、955‧‧‧模腔
941‧‧‧上托盤
942‧‧‧下托盤
2411‧‧‧旋動用板狀構件
2412‧‧‧旋動用凸輪銷
2421‧‧‧平行移動用板狀構件
2422‧‧‧平行移動用凸輪銷
2511‧‧‧旋動用凸輪溝槽
2521‧‧‧平行移動用凸輪溝槽
圖1係說明使用本發明之樹脂材料供給裝置之一實施例進行壓縮成形之次序(a)~(f)之步驟圖。
圖2係該實施例之樹脂材料供給裝置整體之概略剖面圖。
圖3係該實施例之樹脂材料保持部之俯視圖。
圖4係該實施例之小樹脂材料保持部之俯視圖(a)及剖面圖(b)。
圖5係表示樹脂材料保持部整體與小樹脂材料保持部之關係之說明圖。
圖6係該實施例之擴散板之概略俯視圖。
圖7係該實施例之1個樹脂材料收容部之概略剖面圖(a)及表示樹脂材料自2個樹脂材料收容部掉落之情況之說明圖(b)。
圖8係表示擴散板之其他2種例之概略俯視圖(a)(b)。
圖9係表示小樹脂材料保持部之另一例之俯視圖。
圖10係表示小樹脂材料保持部之再另一例之立體圖。
圖11係說明利用該實施例之樹脂材料供給裝置將樹脂材料供給至下模之模腔之次序之流程圖。
圖12係表示藉由習知之狹縫擋閘方式將樹脂材料供給至模腔之狀態之說明圖。
圖13係表示藉由習知之上下狹縫方式將樹脂材料供給至模腔之狀態之說明圖。
一面參照圖1一面對使用本發明之樹脂材料供給裝置之一實施例之電子零件之壓縮成形之次序進行說明。此處使用之壓縮成形裝置10之模具係由上模11、(內置加熱器(未圖示)之)下模12、及中間板13所構成，下模12之模腔121於俯視時呈長方形(矩形)。於本實施例中，使用顆粒狀樹脂作為樹脂材料，但亦可為粉末狀等其他形態。
首先，將裝配有電子零件之基板15以使其裝配面朝下之狀 態設置於上模11之基板設置部111(圖1(a))。於其前或後，使橫跨下模12而設置之供給側及巻取側之離型膜輥旋轉，將自供給側之離型膜輥拉出之新離型膜16張設於下模12之模腔121之上方。其次，於將中間板13固定之狀態下使下模12上升，透過離型膜16而使中間板13與下模12之膜推壓件122抵接。離型膜16藉由被下模12加熱而軟化並延伸。進而，於將中間板13固定之狀態下使下模12上升，藉此，將中間板13與下模12之膜推壓件122之抵接面相對於模腔121壓下。模腔121上之離型膜16藉由中間板13與下模12之膜推壓件122之抵接面被壓下而被張設。然後，藉由自模腔121側抽吸離型膜16，而利用離型膜16被覆模腔121(圖1(a),(b))。
其後，利用樹脂材料供給裝置19將樹脂材料供給至模腔121內(圖1(c))。對該樹脂材料供給裝置19之動作於後進行詳細說明。
利用下模12之熱將樹脂材料熔融(圖1(d))後，使下模12靠近上模11，使電子零件浸漬於熔融之樹脂，並且利用模腔底部構件123推壓樹脂(圖1(e))。樹脂硬化之後，將上模11與下模12及中間板13打開，藉此，可獲得電子零件之樹脂密封成形品(圖1(f))。
其次，一面參照圖2~圖7一面對本實施例之樹脂材料供給裝置19進行詳細說明。本實施例之樹脂材料供給裝置19如圖2所示般，由具有對應於模腔121之平面形狀之樹脂材料保持部20、配置於其上之具有樹脂材料保持部20之1/4左右大小之小樹脂材料保持部40、及配置於樹脂材料保持部20之下(即，於本樹脂材料供給裝置19配置於模腔121上時配置於樹脂材料保持部20與模腔之間)之擴散板60所構成。於樹脂材 料保持部20，設置有使其於面內(於圖2之中垂直於左右及紙面之方向)相對於小樹脂材料保持部40移動之移動部30。又，於擴散板60設置有使其振動之激振部70。再者，圖2係用以表示小樹脂材料保持部40、樹脂材料保持部20及擴散板60之位置關係之圖，實際上其等並非同時以此種位置關係存在，如下述般，於自小樹脂材料保持部40將樹脂供給至樹脂材料保持部20之第1階段，僅兩者成為此種位置關係，於自樹脂材料保持部20將樹脂供給至模腔121之第2階段，僅樹脂材料保持部20與擴散板60成為此種位置關係。
樹脂材料保持部20如圖3所示般具備基台29、設置於基台29上之矩形之框構件21、及平行且等間隔地配置於框構件21之內部並分別可旋動地安裝之複數個樹脂材料收容部22。再者，於圖3中省略移動部30之圖示。以下，如圖3所示般，將樹脂材料收容部22之軸向設為Y方向，將於框構件21之面內垂直於Y方向之方向設為X方向。基台29具有與模腔121之開口相同之大小或與之相比略微小之矩形之開口。框構件21之內側之矩形具有相較於基台29之開口於X方向上略微小且於Y方向上大致相同之大小。
樹脂材料收容部22各自具有1個圓柱狀之柱狀材221、及設置於柱狀材221之側面之於側面開口並於柱狀材221之軸向(Y方向)上延伸之溝槽222。再者，於圖3中，為了容易理解地表示樹脂材料收容部22之構成，僅表示中央附近之1個及兩端之數個樹脂材料收容部22，而省略一部分之樹脂材料收容部22之圖示。樹脂材料收容部22於垂直於軸之剖面(Y剖面)，具有如圖7(a)中放大而表示般將柱狀材221之圓柱之側 面利用平行於軸之平面P切除而成之形狀，溝槽222以於該平面P中開口之方式設置。溝槽222於垂直於軸之剖面中，具有於內部為長方形且朝向開口擴展開之形狀。於本實施例中柱狀材221係製成將圓柱之側面切除之形狀，但亦可使用(不切除之)圓柱狀者，亦可製成四角柱或六角柱等其他形狀。樹脂材料收容部22之長度或個數可根據作為供給樹脂之對象之模腔之大小或由所要求之樹脂之均等性決定之配置密度而適當設定。
於圖3中，於框構件21之對向之2個框之一者等間隔地設置複數個貫通孔，於另一者以相同間隔設置有相同數量之非貫通孔。各柱狀材221係一端貫通各貫通孔，另一端由該非貫通孔保持，可於兩孔之間旋動。於各樹脂材料收容部22之上述一端之成為框構件21之外側之部分設置有小齒輪224。又，以與所有樹脂材料收容部22之小齒輪224嚙合之方式，於框構件21之外側可於X方向上移動地設置有齒條23。框構件21之下方係向外側(於圖3中為右側)突出，齒條23可移動地載置於其上。再者，於框構件21之對向之2個框之另一者，亦可與上一者同樣地設置貫通孔。
於齒條23之一端固定有旋動用連結構件241。旋動用連結構件241由平行於框構件21設置之旋動用板狀構件2411、及設置於其下面之旋動用凸輪銷2412所構成。又，於框構件21亦固定有平行移動用連結構件242，同樣地，由平行於框構件21設置之平行移動用板狀構件2421、及設置於其下面之平行移動用凸輪銷2422所構成。
旋動用凸輪銷2412與平行移動用凸輪銷2422分別卡合於旋動用凸輪251之旋動用凸輪溝槽2511及平行移動用凸輪252之平行移動用 凸輪溝槽2521，可沿各凸輪輪廓移動。旋動用凸輪251及平行移動用凸輪252係固定於共通之連結構件26，利用空氣致動器27而於Y方向上移動。
於本實施例中，用以使所有樹脂材料收容部22旋動之旋動驅動部由齒條23、小齒輪224、旋動用連結構件241、旋動用凸輪251、連結構件26及空氣致動器27所構成。又，用以使所有樹脂材料收容部22於X方向上平行移動之旋動移動部由框構件21、平行移動用連結構件242、平行移動用凸輪252、連結構件26及空氣致動器27所構成。
其次，對配置於樹脂材料保持部20之上之小樹脂材料保持部40進行說明。小樹脂材料保持部40如圖4所示般，具備具有以與樹脂材料保持部20中之樹脂材料收容部22之配置間距對應之間距配置之複數個狹縫43之樹脂保持部41、及設置於其下之具有相同之配置之複數個狹縫44之擋閘42。再者，為了便於說明，於圖4中小樹脂材料保持部40之狹縫之個數描繪地較少。如圖5所示般，小樹脂材料保持部40具有樹脂材料保持部20之1/4左右之大小。又，小樹脂材料保持部40具有對應於將樹脂材料保持部20分割為複數個同一形狀之區域之該形狀之形狀。
配置於樹脂材料保持部20之下之擴散板60具有與樹脂材料保持部20之框構件21大致相同之形狀(即，與模腔大致相同之形狀)，如圖6所示般，二維狀地設置有大量之貫通孔61。貫通孔61較理想為均等地設置於擴散板60。又，貫通孔61之配置週期(間距)較理想為預先設為小於上述樹脂材料保持部20之複數個樹脂材料收容部22之配置週期(間距)。於擴散板60設置有使其振動之激振部70，擴散板60沿設置於兩側部之軌道67於一方向(於圖6中為左右方向)上振動。
使用圖11對本實施例之樹脂材料供給裝置19之動作進行說明。
首先，進行自小樹脂材料保持部40將樹脂供給至樹脂材料保持部20之第1階段之處理。於第1階段，於將樹脂材料保持部20分割成4個部份之區域之中之1個區域之上配置小樹脂材料保持部40(參照圖5)。於該狀態下將樹脂材料供給至小樹脂材料保持部40之樹脂保持部41之各狹縫43(製程S11)。然後，藉由使擋閘42垂直於狹縫43、44移動，而將樹脂保持部41之各狹縫43內之樹脂材料通過狹縫44而投入至樹脂材料保持部20之各樹脂材料收容部22之溝槽222內(製程S12)。其次，判定是否已於全部區域進行此種自小樹脂材料保持部40向樹脂材料保持部20之樹脂材料之投入(製程S13)，若有尚未投入之區域，則利用移動部30使樹脂材料保持部20移動，使小樹脂材料保持部40位於下一區域上(製程S14)。此處，為了此種區域變更，不使樹脂材料保持部20移動而使小樹脂材料保持部40移動，或者亦可使兩者移動。
如此於將樹脂材料投入至樹脂材料保持部20之全部區域(即，所有的樹脂材料收容部22)之時點，使第1階段結束。
其次，進入自樹脂材料保持部20將樹脂供給至模腔之第2階段。於第2階段，使於所有的樹脂材料收容部22保持有樹脂材料之樹脂材料保持部20，移動至壓縮成形裝置10之被覆有離型膜16之模腔121上，以使基台29之開口對準模腔121之開口之方式配置(製程S15，參照圖1(b))。於該階段，擴散板60係配置於樹脂材料保持部20與模腔121之間。再者，擴散板60亦可預先設為固定於樹脂材料保持部20之狀態，使其與 樹脂材料保持部20一起於模腔上移動。於將樹脂材料保持部20配置於模腔121上時，利用激振部70使擴散板60振動。該振動方向係設為垂直於樹脂材料保持部20之樹脂材料收容部22之軸之方向。亦可設為其他方向之振動(例如，圓運動)，但較理想為預先包含至少垂直於樹脂材料收容部22之軸之方向之成分。
通過第1階段、第2階段，於初始狀態下，各樹脂材料收容部22係溝槽222之開口朝向正上方。若利用空氣致動器27使連結構件26於Y方向上以一定之速度移動，則旋動用連結構件241隨著旋動用凸輪251之凸輪輪廓而於X方向上移動。藉此，齒條23移動，與其嚙合之小齒輪224上所固定之樹脂材料收容部22旋動(參照圖7(b))，而使溝槽222內之樹脂材料掉落至擴散板60。與其同時地，藉由框構件21隨著移動用凸輪252之凸輪輪廓之移動，而使樹脂材料收容部22於X方向上移動。藉此，樹脂材料首先自樹脂材料保持部20之所有樹脂材料收容部22均等地掉落至擴散板60上，再自擴散板60之貫通孔61掉落至模腔121(製程S16)。此處，藉由擴散板60振動，而樹脂材料均等地散佈於模腔121內。再者，擴散板60之振動係設為如賦予超過擴散板60之上面之樹脂材料與該上面之摩擦之加速度般者。因此，藉由使擴散板60之上面平滑，縮小其摩擦係數，而能夠以更小(弱)之振動進行自擴散板60向模腔121之掉落。亦可預先於擴散板60之各貫通孔61之上面側進行倒角(chamfer)。再者，於可充分地獲得由擴散板60產生之均等散佈之效果之情形時，並不一定必需利用旋動移動部進行之所有樹脂材料收容部22之向X方向及Y方向之至少一方向之移動，而可省略用以進行該操作之機構。又，擴散板60亦可於樹 脂材料自各樹脂材料收容部22掉落至擴散板60之時點靜止，於全部樹脂材料掉落至擴散板60上之時點(雖然一部分之樹脂材料通過貫通孔61掉落至模腔121)使擴散板60振動，而使載置於其上面之樹脂材料通過貫通孔61掉落至模腔121。
於擴散板60上之樹脂材料全部供給至模腔121內之時點，使擴散板60之振動停止(製程S17)，使樹脂材料供給裝置19自模腔121上退避。其後，使下模12靠近上模11，使電子零件浸漬於熔融之樹脂，並且利用模腔底部構件123推壓樹脂(圖1(e)、(f))。藉此，樹脂成形品之製造完成。
上述實施例之樹脂材料供給裝置19係本發明之一例，允許於本發明之宗旨之範圍內適當地變化或修正、追加。
例如，擴散板亦可非圖6所示般之二維地均等地配置有較小之貫通孔61者，而為圖8(a)所示般一維地均等地配置有狹縫狀之貫通孔63之擴散板62。於該情形時，貫通孔63之長度方向係預先設為與樹脂材料保持部20之所有樹脂材料收容部22之軸正交之方向。又，其振動之方向係設為與貫通孔63之長度方向正交之方向。再者，即便不使其完全地正交，亦可為如圖8(b)所示般為斜交般者。於該情形時，擴散板64之振動方向係設為與貫通孔65之長度方向正交之方向。
又，小樹脂材料保持部亦可為如圖9所示般具有與樹脂材料保持部20相同之構成者。但是，於該小樹脂材料保持部45中，樹脂材料收容部46之個數成為樹脂材料保持部20之樹脂材料收容部22之一半(間距相同)，長度亦成為一半。
作為小樹脂材料保持部之其他例，可列舉如圖10所示般大量地具有二維狀地設置之小貫通孔者。於該小樹脂材料保持部47中，於樹脂材料收容部48二維地均等地配置大量之小貫通孔481，於配置於樹脂材料收容部48之下之擋閘板49亦設置有相同之配置之小貫通孔。將樹脂材料供給至樹脂材料收容部48之各小貫通孔481之後，使擋閘板49沿箭頭方向移動，藉此，使保持於樹脂材料收容部48之各小貫通孔481之樹脂材料通過擋閘板49之小貫通孔掉落至樹脂材料保持部20之各樹脂材料收容部22。
於圖2中，樹脂材料供給裝置19亦可省略小樹脂材料保持部40，而製成具備樹脂材料保持部20及擴散板60之構成。又，於圖2中，樹脂材料供給裝置19亦可省略擴散板60，而製成具備小樹脂材料保持部40及樹脂材料保持部20之構成。
於使用圖5之說明中，將小樹脂材料保持部40製成樹脂材料保持部20之1/4左右大小，將自小樹脂材料保持部40向樹脂材料保持部20之樹脂材料供給進行4次。除此以外，小樹脂材料保持部40製成樹脂材料保持部20之1/6左右大小並將自小樹脂材料保持部40向樹脂材料保持部20之樹脂材料供給進行6次或小樹脂材料保持部40製成樹脂材料保持部20之1/8左右大小並將自小樹脂材料保持部40向樹脂材料保持部20之樹脂材料供給進行8次等，小樹脂材料保持部40及樹脂材料保持部20之大小及自小樹脂材料保持部40向樹脂材料保持部20之樹脂供給次數可適當設定。
作為供給樹脂材料之對象之模腔之平面形狀亦可為正方 形、圓形、橢圓形、菱形、三角形等。於該等情形時，使框構件之形狀與其匹配，並且調整各樹脂材料收容部之長度，以均等地配置於框構件內之方式構成即可。

Claims (11)

  1. 一種壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其特徵在於具備：a)樹脂材料保持部，其具有相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部，該等複數個樹脂材料收容部係於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽，且能以該柱狀材之軸為中心而旋動；b)旋動驅動部，其使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動；c)擴散板，其配置於上述樹脂材料保持部之下，配置有樹脂材料掉落用之複數個孔；及d)激振部，其使上述擴散板振動。
  2. 如申請專利範圍第1項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其中上述擴散板係於平板二維地配置有複數個孔者。
  3. 如申請專利範圍第1項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其中上述擴散板係於平板將複數個長孔垂直於該長孔之長度方向而配置者。
  4. 一種壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其特徵在於具備：a)樹脂材料保持部，其具有相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部，該等複數個樹脂材料收容部係於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽，且能以該柱狀材之軸為中心而旋動；b)旋動驅動部，其使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動；c)小樹脂材料保持部，其可配置於上述樹脂材料保持部之上，具有對應於將上述樹脂材料保持部分割為複數個同一形狀之區域之該形 狀之形狀，使樹脂材料掉落至上述複數個樹脂材料收容部之各者；及d)移動部，其以上述小樹脂材料保持部位於上述樹脂材料保持部之上述複數個同一形狀之區域之任一者之方式，使上述小樹脂材料保持部與上述樹脂材料保持部相對地移動。
  5. 如申請專利範圍第4項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其中上述小樹脂材料保持部係具備具有與上述複數個樹脂材料收容部之各者對應之樹脂保持狹縫之保持板、具有對應於該狹縫之貫通孔之擋閘板、及使該保持板或擋閘板垂直於上述狹縫而移動之移動機構者。
  6. 如申請專利範圍第4項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其中上述小樹脂材料保持部具備：小樹脂材料保持部，其具有相互平行地配置之複數個小樹脂材料收容部，該等複數個小樹脂材料收容部係對應於上述樹脂材料保持部之複數個樹脂材料收容部而設置，於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽，且能以該柱狀材之軸為中心而旋動；及小旋動驅動部，其使上述複數個小樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動。
  7. 如申請專利範圍第4項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其中上述小樹脂材料保持部係具備於平板二維地配置有複數個貫通孔之保持板、具有對應於該保持板之貫通孔之貫通孔之擋閘板、及使該保持板或擋閘板垂直於上述樹脂材料收容部而移動之移動機構者。
  8. 一種壓縮成形裝置，其特徵在於具備如申請專利範圍第1至7項中任一項之樹脂材料供給裝置。
  9. 一種壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法，其特徵在於具有： a)於使具有於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽且能以該柱狀材之軸為中心而旋動之相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部的樹脂材料保持部之該等複數個樹脂材料收容部之開口朝上之狀態下，自該開口將樹脂材料收容至該溝槽內之步驟；b)將上述樹脂材料保持部配置於模腔之開口部上之步驟；c)藉由使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動而使樹脂材料自該溝槽掉落之步驟；及d)藉由使配置於上述樹脂材料保持部之下之配置有樹脂材料掉落用之複數個孔之擴散板振動，而將自上述溝槽掉落至該擴散板上之樹脂材料供給至模腔之步驟。
  10. 一種壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法，其特徵在於具有：a)使具有於柱狀材形成有在側面開口並於軸向上延伸之溝槽且能以該柱狀材之軸為中心而旋動之相互平行地配置之複數個樹脂材料收容部的樹脂材料保持部之該等複數個樹脂材料收容部之開口朝上之步驟；b)利用配置於上述樹脂材料保持部之上且具有對應於將上述樹脂材料保持部分割為複數個同一形狀之區域之該形狀之形狀並使樹脂材料掉落至上述複數個樹脂材料收容部之各者之小樹脂材料保持部，使樹脂材料掉落至上述複數個樹脂材料收容部之各自之溝槽之步驟；c)藉由一面使上述小樹脂材料保持部移動一面反覆進行上述樹脂材料掉落步驟，而使所有上述樹脂材料保持部之複數個樹脂材料收容部都保持樹脂材料之步驟； d)將上述樹脂材料保持部配置於模腔之開口部上之步驟；及e)藉由使上述複數個樹脂材料收容部以各自之軸為中心而分別旋動而將樹脂材料供給至模腔之步驟。
  11. 一種樹脂成形品製造方法，其特徵在於具有藉由如申請專利範圍第9或10項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法將樹脂材料供給至壓縮成形裝置之下模之模腔之步驟。
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