TWI578459B - 壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置及方法、壓縮成形裝置及方法 - Google Patents

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Description

壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置及方法、壓縮成形裝置及方法
本發明係關於一種將半導體晶片等電子零件進行樹脂密封之裝置，尤其關於為了壓縮成形而將具有顆粒狀、粉末狀等形態之樹脂材料(以下，除特別記載之情形以外，於簡稱為「樹脂材料」之情形時係指顆粒狀或粉末狀之樹脂材料)供給至模具之模穴之樹脂材料供給裝置及方法、以及具有該樹脂材料供給裝置之壓縮成形裝置及方法。
伴隨電子零件之小型化及由此產生之半導體晶片等之接合金屬線之小徑化，於電子零件之密封成形採用了壓縮成形。壓縮成形係藉由如下方式進行成形，即，將樹脂材料供給至以脫模膜被覆之下模之模穴中進行加熱熔融之後，在與安裝有基板之上模之間進行鎖模將該樹脂壓縮，該基板安裝有電子零件。於此種壓縮成形中，為了遍及大型基板之整體進行無缺陷之成形，重要的是對模穴恰好且均等地供給既定量之樹脂材料。若供給至模穴之樹脂材料之量中存在不均勻性，則鎖模時於模穴內產生樹脂材料之流動(移動)，從而對電子零件基板之接合金屬線等配線造成不良影響。
為了對模穴均等地供給既定量之樹脂材料，而採用如下方法，即，並非自貯存樹脂材料之供給部直接向模穴供給樹脂材料，而是先將樹脂材料以成為均等之厚度之方式供給至樹脂用托盤，其後，自樹脂用托盤使樹脂材料同時落下至模穴。
自樹脂用托盤使樹脂材料同時落下之方法之一，係將設置於該樹脂用托盤之下表面、由在中央對接之2塊平板構成之擋板打開的方法(專利文獻1之[先前技術]，將其稱為單純擋板方式)。
又，作為向模穴內更均等地供給樹脂材料之方法，如圖8所示，有如下方法：於樹脂用托盤931設置複數條狹縫狀之樹脂材料供給孔932(圖8係與樹脂材料供給孔932之狹縫長度方向垂直之面的剖面圖，呈現3條樹脂材料供給孔932之剖面)，且將設置於樹脂用托盤931底部且由在中央對接之2塊平板構成之擋板933在與該樹脂材料供給孔932之狹縫長度方向垂直的方向(寬度方向，於圖8中為左右方向)打開，藉此自各樹脂材料供給孔932使樹脂材料落下至模穴934內(專利文獻1之[0011]，將其稱為狹縫-擋板方式)。
作為使用同樣地具有複數條狹縫狀之樹脂材料供給孔之樹脂用托盤之方法，亦有圖9所示之方法。於該方法中，由上托盤941及下托盤942構成樹脂用托盤940，且於兩者預先形成多個平行之狹縫狀之樹脂材料供給孔。該樹脂用托盤940係上托盤941之樹脂材料供給孔943作為用以保持樹脂之樹脂保持部發揮功能，且下托盤942之樹脂材料供給孔944作為用以使保持於上托盤941之樹脂材料供給孔943之樹脂材料落下之開口發揮功能。預先於上下托盤941、942之樹脂材料供給孔943、944完全錯開(即， 下托盤942之非開口部將上托盤941之開口部堵塞)之狀態下對上托盤941之樹脂材料供給孔943供給樹脂材料，且將該樹脂用托盤940配置於模穴955之上(圖9(a))。繼而，藉由使上托盤941於垂直於樹脂材料供給孔943、944之狹縫之方向(於圖9中為左右方向)移動，而使上托盤941之樹脂材料供給孔943內之樹脂材料通過下托盤942之樹脂材料供給孔944落下至模穴955內(圖9(b)，將其稱為上下狹縫方式)。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2007-125783號公報
於單純擋板方式、狹縫-擋板方式及上下狹縫方式之任一者中，均存在為了使擋板順利地移動，而於樹脂用托盤之底部與擋板之上表面之間產生微小間隙之情形。若存在此種間隙，則存在於使擋板或上托盤移動時，因樹脂材料進入或被嚙入該間隙而導致阻礙擋板或上托盤之移動之情況。於該情形時，擋板或上托盤之移動速度變慢或者變得不均勻，導致供給至模穴內之樹脂材料之量變得不均勻。進而，於最差之情形時，擋板或上托盤之移動於中途停止，樹脂材料不再被供給至模穴內之一部分。
本發明所欲解決之課題在於提供一種可將樹脂材料均等且始終順利地供給至模穴內之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置。
為解決上述課題而做成之本發明之壓縮成形裝置之樹脂材 料供給裝置之特徵在於具備：複數條之樹脂材料收容部，其等於柱狀材形成有於側面開口且沿軸向延伸之槽，能夠以軸為中心地旋動，且彼此平行地配置；及旋動驅動部，其係以上述軸為中心地使上述複數條之樹脂材料收容部旋動。
本發明之樹脂材料供給裝置係於將所有樹脂材料收容部設為上述槽之開口朝上之狀態下，自開口將樹脂材料收容於槽內。其後，將本樹脂材料供給裝置配置於模穴之開口部上，隨後藉由上述旋動驅動部而使上述複數條之樹脂材料收容部分別旋動直至收容於上述槽之樹脂材料落下至模穴之狀態為止。例如，於槽具有在該開口朝上之狀態下為鉛直之側壁之情形時，藉由自槽之開口朝上之狀態使樹脂材料收容部旋動至超過90°之角度為止而使收容於槽之樹脂材料落下。
藉此，將收容於平行地配置之複數條之樹脂材料收容部之槽內之樹脂材料於各個位置供給至模穴，因此樹脂材料被大致均等地供給至模穴內。又，樹脂材料供給裝置之動作不因樹脂材料之嚙入等受到阻礙，因此可始終順利地向模穴供給樹脂材料。
旋動驅動部可較佳地使用具備使複數條之樹脂材料收容部同時旋動之齒條與小齒輪機構者。當然，亦可使用其他傳遞機構，亦可於各個樹脂材料收容部設置伺服馬達等旋轉驅動源。
本發明之樹脂材料供給裝置較理想為更具備移動部，該移動部係於上述旋動驅動部使上述複數條之樹脂材料收容部旋動之期間，使上述複數條之樹脂材料收容部整體於該複數條之樹脂材料收容部所形成之面 內且不平行於上述軸之方向移動。藉由樹脂材料收容部如此一面旋動一面移動，樹脂材料自各樹脂材料收容部之槽落下至模穴之位置不斷移動，因此可進一步提高供給至模穴內之樹脂材料之量之均勻性。
本發明之樹脂材料供給裝置於具備上述移動部之情形時較理想為，使上述旋動驅動部所引起之上述複數條之樹脂材料收容部之旋動與該移動部所引起之該複數條之樹脂材料收容部之移動的同步成為如能夠進行更均勻之供給之態樣。例如，於樹脂材料收容部旋動至槽內之樹脂材料開始落下之角度之時點停止樹脂材料收容部之旋動而開始樹脂材料收容部之移動，使樹脂材料收容部僅移動既定距離(較理想為設為與樹脂材料收容部之配置間距相同之距離或略長於該間距之距離)。於將樹脂材料供給部移動既定距離之時點停止移動，隨後進而使樹脂材料收容部旋轉而使槽內之樹脂材料全部落下。再者，於將樹脂材料收容部移動既定距離之期間，亦可使樹脂材料收容部慢慢地繼續旋動。
該等樹脂材料收容部之旋動與移動之同步可使用凸輪機構進行。或者，亦可使用設置於各個樹脂材料收容部之伺服馬達等致動器進行同步控制。
本發明之壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法之特徵在於具有如下步驟： 於將在柱狀材形成有於側面開口且沿軸向延伸之槽且能夠以軸為中心地旋動之彼此平行地配置之複數條之樹脂材料收容部之該開口設為朝上之狀態下，將樹脂材料自該開口收容於該槽內； 將上述複數條之樹脂材料收容部配置於模穴之開口部上；及 藉由使上述複數條之樹脂材料收容部以上述軸為中心地旋動而向模穴供給樹脂材料。
上述複數條之樹脂材料收容部之旋動可藉由齒條與小齒輪機構進行。又，亦可於各個樹脂材料收容部設置伺服馬達等旋轉驅動源。
於本發明之樹脂材料供給方法之向模穴供給樹脂材料之步驟中，較理想為使上述複數條之樹脂材料收容部整體於該複數條之樹脂材料收容部所形成之面內且不平行於上述軸之方向移動。
於本發明之樹脂材料供給方法中，於使上述複數條之樹脂材料收容部整體移動之情形時，可使上述複數條之樹脂材料收容部之旋動與該複數條之樹脂材料收容部之移動的同步之態樣成為能夠進行更均勻之供給之態樣。
可藉由凸輪機構而使該等樹脂材料收容部之旋動及移動同步。或者，亦可對設置於各個樹脂材料收容部之伺服馬達進行同步控制。
本發明之壓縮成形裝置之特徵在於具有上述樹脂材料供給裝置。
本發明之壓縮成形方法之特徵在於具有藉由上述樹脂材料供給方法而對壓縮成形裝置之下模之模穴供給樹脂材料之步驟。
根據本發明，可將樹脂材料均等且始終順利地供給至模穴內。
10‧‧‧壓縮成形裝置
11‧‧‧上模
111‧‧‧基板設置部
12‧‧‧下模
121‧‧‧模穴
122‧‧‧膜壓件
123‧‧‧模穴底部構件
13‧‧‧中間板
15‧‧‧基板
16‧‧‧脫模膜
20‧‧‧樹脂材料供給裝置
21‧‧‧框構件
22‧‧‧樹脂材料收容部
221‧‧‧柱狀材
2211‧‧‧柱狀材切斷平面
222‧‧‧槽
224‧‧‧小齒輪
23‧‧‧齒條
241‧‧‧旋動用連結構件
2411‧‧‧旋動用板狀構件
2412‧‧‧旋動用凸輪銷
242‧‧‧平行移動用連結構件
2421‧‧‧平行移動用板狀構件
2422‧‧‧平行移動用凸輪銷
251‧‧‧旋動用凸輪
2511‧‧‧旋動用凸輪槽
252‧‧‧平行移動用凸輪
2521‧‧‧平行移動用凸輪槽
26‧‧‧連結構件
27‧‧‧空氣致動器
29‧‧‧基台
931、940‧‧‧樹脂用托盤
932、943、944‧‧‧樹脂材料供給孔
933‧‧‧擋板
934、955‧‧‧模穴
941‧‧‧上托盤
942‧‧‧下托盤
圖1係對使用本發明之樹脂材料供給裝置之一實施例進行 壓縮成形之順序(a)~(f)進行說明之步驟圖。
圖2係該實施例之樹脂材料供給裝置之概略俯視圖(a)、Y剖面圖(b)、及X剖面圖(c)。
圖3係樹脂材料供給部之放大Y剖面圖。
圖4係該實施例之旋動用凸輪(a)及水平移動用凸輪(b)之俯視圖。
圖5係對藉由該實施例之樹脂材料供給裝置將樹脂材料供給至下模之模穴之順序進行說明之流程圖。
圖6係表示藉由該實施例之樹脂材料供給裝置將樹脂材料供給至下模之模穴時樹脂材料收容部之旋轉角度與框構件之平行移動距離之關係的曲線圖。
圖7係表示樹脂材料自該實施例之樹脂材料收容部落下之情況之說明圖(a)~(e)。
圖8係表示藉由先前之狹縫-擋板方式而將樹脂材料供給至模穴之狀態之說明圖。
圖9係表示藉由先前之上下狹縫方式而將樹脂材料供給至模穴之狀態之說明圖。
以下，一面參照圖1一面說明使用本發明之樹脂材料供給裝置之一實施例之電子零件壓縮成形順序。此處所使用之壓縮成形裝置10之模具，係由上模11、(內置加熱器(未圖示)之)下模12、及中間板13構成，且下模12之模穴121係於俯視下呈長方形(矩形)。於本實施例中，使用顆粒狀樹脂作為樹脂材料，但亦可為粉末狀及其他形態。或者，亦可使 用液狀樹脂(於常溫下具有流動性之樹脂材料)作為樹脂材料。
首先，將安裝有電子零件之基板15以使其安裝面朝下之狀態設置於上模11之基板設置部111(圖1(a))。於其前或其後，使橫跨下模12而設置之供給側及捲取側之脫模膜輥旋轉，將自供給側之脫模膜輥拉出之新的脫模膜16鋪設於下模12之模穴121之上方。其次，於將中間板13固定之狀態下使下模12上升，介隔脫模膜16使中間板13與下模12之膜壓件122抵接。脫模膜16因被下模12加熱而軟化延伸。進而，藉由在將中間板13固定之狀態下使下模12上升，而相對於模穴121壓下中間板13與下模12之膜壓件122之抵接面。模穴121上之脫模膜16係藉由將中間板13與下模12之膜壓件122之抵接面壓下而鋪設。繼而，藉由自模穴121側抽吸脫模膜16而以脫模膜16被覆模穴121(圖1(a)、(b))。
其後，藉由樹脂材料供給裝置20而對模穴121內供給樹脂材料(圖1(c))。關於該樹脂材料供給裝置20之動作於下文詳細敍述。
藉由下模12之熱而樹脂材料熔融(圖1(d))之後，使下模12靠近上模11，使電子零件浸漬於熔融之樹脂，並且藉由模穴底部構件123而按壓樹脂(圖1(e))。樹脂硬化之後，藉由打開上模11、下模12及中間板13而獲得電子零件之樹脂密封成形品(圖1(f))。
其次，關於本實施例之樹脂材料供給裝置20，一面參照圖2~圖4一面詳細地進行說明。
如圖2所示，本實施例之樹脂材料供給裝置20具備：基台29；矩形之框構件21，其設置於基台29上；及複數條之樹脂材料收容部22，其等於框構件21之內部平行且等間隔地配置，且能夠旋動地安裝於框構件21。以下， 如圖2(a)所示，將樹脂材料收容部22之軸向設為Y方向，將於框構件21之面內垂直於Y方向之方向設為X方向。基台29具有與模穴121之開口相同大小或略小於該開口之矩形之開口。框構件21內側之矩形具有較基台29之開口於X方向略小且於Y方向大致相同之大小。
樹脂材料收容部22分別具有：1根圓柱狀之柱狀材221；及槽222，其設置於柱狀材221之側面，且於側面開口，沿柱狀材221之軸向(Y方向)延伸。再者，於圖2(a)中，為了易於理解地表示樹脂材料收容部22之構成，而於中央附近僅表示1條樹脂材料收容部22，省略兩旁各3條之樹脂材料收容部22之圖示。樹脂材料收容部22係於垂直於軸之剖面(Y剖面)中，如圖3中放大所示，具有將柱狀材221之圓柱之側面以平行於軸之平面2211切除而成之形狀。槽222係以於該平面2211開口之方式設置。槽222於垂直於軸之剖面中，具有於內部為長方形且朝向開口不斷地擴大之形狀。再者，柱狀材221係於本實施例中設為將圓柱之側面切除而成之形狀，但亦可使用(未切除之)圓柱狀者，亦可設為四角柱或六角柱等其他形狀。樹脂材料收容部22之條數係於本實施例中設為24條，但本發明並不限定於此，可根據與作為供給樹脂之對象之模穴之大小、或要求之樹脂之均等性而確定之配置密度相應地適當設定。
框構件21中，於對向之2個框之一者等間隔地設置有複數個貫通孔，且於另一者以相同間隔設置有相同數量之非貫通孔。各柱狀材221係一端將各貫通孔貫通，另一端以該非貫通孔保持，且能夠於兩孔之間旋動。於各樹脂材料收容部22之上述一端之成為框構件21之外側之部分設置有小齒輪224。又，以與所有樹脂材料收容部22之小齒輪224嚙合之方 式，將齒條23可於X方向移動地設置於框構件21之外側。如圖2(c)所示，框構件21之下方朝外側突出，且齒條23可移動地載置於其上。
如圖2(a)所示，於齒條23之一端固定有旋動用連結構件241。旋動用連結構件241係由平行於框構件21設置之旋動用板狀構件2411、及設置於其下表面之旋動用凸輪銷2412構成。又，於框構件21固定有平行移動用連結構件242。平行移動用連結構件242亦與旋動用連結構件241同樣地由平行於框構件21設置之平行移動用板狀構件2421、及設置於其下表面之平行移動用凸輪銷2422構成。
樹脂材料供給裝置20更具備旋動用凸輪251(圖4(a))及平行移動用凸輪252(圖4(b))。關於旋動用凸輪251之凸輪槽(旋動用凸輪槽2511)及平行移動用凸輪252之凸輪槽(平行移動用凸輪槽2521)之形狀(凸輪輪廓)見下文。該等旋動用凸輪251及平行移動用凸輪252係固定於共用之連結構件26。而且，空氣致動器27使連結構件26於Y方向移動。
於本實施例中，上述旋動驅動部係由齒條23、小齒輪224、旋動用連結構件241、旋動用凸輪251、連結構件26及空氣致動器27構成。又，於本實施例中，上述移動部係由框構件21、平行移動用連結構件242、平行移動用凸輪252、連結構件26及空氣致動器27構成。
使用圖1~圖7說明本實施例之樹脂材料供給裝置20之動作。
於初始狀態下，各樹脂材料收容部22係使槽222之開口朝向正上方。將此時之樹脂材料收容部22之旋轉角設為0°(圖7(a))。於該初始狀態下，向各樹脂材料收容部22之槽222內投入既定量之樹脂材料(圖5之步驟 S11)。使樹脂材料之投入量於各樹脂材料收容部22中變均勻，且於各個樹脂材料收容部22中於槽222之長度方向變均勻。此種樹脂材料之投入例如可藉由專利文獻1所記載之使用樹脂投入斜槽之樹脂材料供給機構、或先前之使用流槽狀之給料器之樹脂材料供給機構等進行。
其次，使於樹脂材料收容部22保持有樹脂材料之樹脂材料供給裝置20往壓縮成形裝置10之被覆有脫模膜16之模穴121上移動，且以使基台29之開口對準模穴121之開口之方式配置(步驟S12，參照圖1(b))。
繼而，藉由空氣致動器27使連結構件26於Y方向以固定之速度移動。藉此，固定於連結構件26之旋動用凸輪251及平行移動用凸輪252亦於Y方向以固定之速度移動。而且，依據旋動用凸輪251之凸輪輪廓，旋動用連結構件241及固定於其之齒條23、以及平行移動用凸輪252及固定於平行移動用板狀構件2421之框構件21在下述既定之時機於X方向移動。藉由該齒條23之移動，固定於小齒輪224之樹脂材料收容部22在既定之時機旋動，藉此使槽222內之樹脂材料落下至模穴121。與此同時，藉由框構件21之移動，在既定之時機使樹脂材料收容部22於X方向移動(步驟S13)。
此處，旋動用凸輪251及平行移動用凸輪252之凸輪輪廓成為如圖4所示，與此相對應地，樹脂材料收容部22之旋動角及X方向之移動距離如圖6所示般變化。具體而言，以如下方式形成凸輪輪廓，即，樹脂材料收容部22於自初始位置旋動70°為止(圖4及圖6所示之區間A)於X方向不移動，於自70°旋動至105°之期間(圖4及圖6所示之區間B)於X方向上移動與樹脂材料收容部22之間隔相同之距離，其後於旋動至180°之 期間(圖4及圖6所示之區間C)於X方向不移動。槽222內之樹脂材料於樹脂材料收容部22之旋動角為70°時尚未落下(圖7(b))，於超過70°且旋動至105°之期間落下(圖7(c)、(d))，其後，於旋動至180°之期間，殘留於槽222內之樹脂材料亦落下(圖7(e))。如此一來，於槽222內之所有樹脂材料被供給至模穴121之時點，對1個模穴121之樹脂材料之供給動作結束(步驟S14)。
根據本實施例之樹脂材料供給裝置20，與先前之上下狹縫方式等不同，於將樹脂材料供給至模穴121時，不存在樹脂材料被嚙入而阻礙供給動作之情況，因此可始終順利且均等地將樹脂材料供給至模穴121。又，樹脂材料收容部22一面移動一面將樹脂材料供給至模穴121，因此可使樹脂材料之供給之均等性更良好。
上述實施例之樹脂材料供給裝置20係本發明之一例，且於本發明之主旨之範圍內適當地容許變形或修正、追加。
例如，旋動用凸輪251及平行移動用凸輪252之凸輪輪廓並無特別限定，可根據樹脂材料收容部22之槽222之形狀或收容於槽222中之樹脂材料之量等而適當設計。又，於樹脂材料收容部22開始平行移動至移動既定距離為止之期間，樹脂材料收容部22可繼續旋動，亦可在槽222內之樹脂材料落下之既定之角度停止旋動。又，亦可藉由凸輪以外之機構使樹脂材料收容部22之旋動與移動同步。
使各樹脂材料收容部22旋動之機構並不限定於齒條與小齒輪機構，使用使所有樹脂材料收容部22同步地旋動之其他適當之機構即可。例如，亦可於各樹脂材料收容部22設置伺服馬達等旋轉驅動源。
樹脂材料供給裝置20亦可進一步具備對各樹脂材料收容部22(或框構件21)賦予振動之振動器(包含進行敲擊各樹脂材料收容部22或框構件21之動作者)。樹脂材料收容部22之槽222旋動180°時，利用該振動器對各樹脂材料收容部22賦予振動，藉此可使殘留於槽222內之樹脂材料全部落下並供給至模穴121內。
作為供給樹脂材料之對象之模穴之平面形狀亦可為正方形、圓形、橢圓形、菱形、三角形等。於該等情形時，只要使框構件之形狀與其一致，並且調整各樹脂材料收容部之長度均等地配置於框構件內即可。
20‧‧‧樹脂材料供給裝置
21‧‧‧框構件
22‧‧‧樹脂材料收容部
23‧‧‧齒條
26‧‧‧連結構件
27‧‧‧空氣致動器
29‧‧‧基台
221‧‧‧柱狀材
222‧‧‧槽
224‧‧‧小齒輪
241‧‧‧旋動用連結構件
242‧‧‧平行移動用連結構件
251‧‧‧旋動用凸輪
252‧‧‧平行移動用凸輪
2411‧‧‧旋動用板狀構件
2412‧‧‧旋動用凸輪銷
2421‧‧‧平行移動用板狀構件
2422‧‧‧平行移動用凸輪銷

Claims (10)

  1. 一種壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其特徵在於具備：複數條之樹脂材料收容部，其等係於柱狀材形成有於側面開口且沿軸向延伸之槽，能夠以軸為中心旋動，且彼此平行地配置；及旋動驅動部，其係以上述軸為中心使上述複數條之樹脂材料收容部旋動。
  2. 如申請專利範圍第1項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其中上述旋動驅動部具備使上述複數條之樹脂材料收容部同時旋動之齒條與小齒輪機構。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其更具備移動部，該移動部係使上述複數條之樹脂材料收容部整體於該複數條之樹脂材料收容部所形成之面內且不平行於上述軸之方向移動。
  4. 如申請專利範圍第3項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給裝置，其具備使上述旋動驅動部所進行之上述複數條之樹脂材料收容部之旋動、與該移動部所進行之該複數條之樹脂材料收容部之移動同步之凸輪機構。
  5. 一種壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法，其特徵在於具有如下步驟：於在柱狀材形成有於側面開口且沿軸向延伸之槽且能夠以軸為中心地旋動且彼此平行地配置之複數條之樹脂材料收容部之該開口設為朝上之狀態下，將樹脂材料自該開口收容於該槽內；將上述複數條之樹脂材料收容部配置於模穴之開口部上；及 藉由使上述複數條之樹脂材料收容部以上述軸為中心旋動以對模穴供給樹脂材料。
  6. 如申請專利範圍第5項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法，其係藉由齒條與小齒輪機構進行上述複數條之樹脂材料收容部之旋動。
  7. 如申請專利範圍第5或6項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法，其中於對上述模穴供給上述樹脂材料之上述步驟中，使上述複數條之樹脂材料收容部整體於該複數條之樹脂材料收容部所形成之面內且不平行於上述軸之方向移動。
  8. 如申請專利範圍第7項之壓縮成形裝置之樹脂材料供給方法，其係藉由凸輪機構使上述複數條之樹脂材料收容部之旋動與該複數條之樹脂材料收容部之移動同步。
  9. 一種壓縮成形裝置，其特徵在於具備如申請專利範圍第1至4項中任一項之樹脂材料供給裝置。
  10. 一種壓縮成形方法，其特徵在於具有藉由申請專利範圍第5至8項中任一項之樹脂材料供給方法對壓縮成形裝置之下模之模穴供給樹脂材料之步驟。
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