KR101854030B1 - 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 및 방법 - Google Patents

압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101854030B1
KR101854030B1 KR1020160073087A KR20160073087A KR101854030B1 KR 101854030 B1 KR101854030 B1 KR 101854030B1 KR 1020160073087 A KR1020160073087 A KR 1020160073087A KR 20160073087 A KR20160073087 A KR 20160073087A KR 101854030 B1 KR101854030 B1 KR 101854030B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
resin material
material accommodating
accommodating portions
cavity
resin
Prior art date
Application number
KR1020160073087A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170001590A (ko
Inventor
히로키 오와리
나오키 다카다
마사노리 시라사와
Original Assignee
토와 가부시기가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 토와 가부시기가이샤 filed Critical 토와 가부시기가이샤
Publication of KR20170001590A publication Critical patent/KR20170001590A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101854030B1 publication Critical patent/KR101854030B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/34—Feeding the material to the mould or the compression means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
    • H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
    • H01L21/565—Moulds
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
    • B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
    • B29C2043/181—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles encapsulated
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/34—Feeding the material to the mould or the compression means
    • B29C2043/3466—Feeding the material to the mould or the compression means using rotating supports, e.g. turntables or drums
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/34—Feeding the material to the mould or the compression means
    • B29C2043/3488—Feeding the material to the mould or the compression means uniformly distributed into the mould
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
    • B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C43/58—Measuring, controlling or regulating
    • B29C2043/5875—Measuring, controlling or regulating the material feed to the moulds or mould parts, e.g. controlling feed flow, velocity, weight, doses
    • B29C2043/5883—Measuring, controlling or regulating the material feed to the moulds or mould parts, e.g. controlling feed flow, velocity, weight, doses ensuring cavity filling, e.g. providing overflow means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)

Abstract

[과제] 수지 재료를 캐비티 내에 균등하게, 또한 항상 스무스하게 공급할 수 있는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치를 제공한다.
[해결 수단] 수지 재료 공급 장치(20)는, 기둥 모양재(221)에, 측면으로 개구하고 축방향으로 연장되는 홈(222)이 형성되며, 축을 중심으로 회동 가능한, 서로 평행하게 배치된 복수개의 수지 재료 수용부(22)와, 상기 축을 중심으로 상기 복수개의 수지 재료 수용부(22)를 회동시키는 회동 구동부(피니언(224), 랙(23) 등)를 구비한다. 또, 상기 복수개의 수지 재료 수용부 전체(22)를, 상기 복수개의 수지 재료 수용부(22)가 형성하는 면내로서 상기 축에 평행이 아닌 방향으로 이동시키는 이동부를 구비한다. 상하로 겹친 트레이와 셔터를 서로 슬라이드시키는 종래의 기구와 달리, 가동부에 수지 재료가 말려 들어가지 않기 때문에, 수지 재료를 캐비티 내에 균등하게, 또한 항상 스무스하게 공급할 수 있다.

Description

압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR SUPPLYING RESIN MATERIAL OF COMPRESSION MOLDING APPARATUS, COMPRESSION MOLDING APPARATUS AND COMPRESSION MOLDING METHOD}
본 발명은, 반도체 칩 등의 전자 부품을 수지(樹脂) 씰링하는 장치에 관한 것이며, 특히, 압축 성형을 위해서 과립상(顆粒狀), 분말상(粉末狀) 등의 형태를 가지는 수지 재료(이하, 특별히 기재한 경우를 제외하고, 간단히 「수지 재료」라고 하는 경우에는 과립상 또는 분말상의 수지 재료를 가리키는 것으로 함)를 형(型)의 캐비티에 공급하는 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 상기 수지 재료 공급 장치를 가지는 압축 성형 장치 및 방법에 관한 것이다.
전자 부품의 소형화 및 그것에 의한 반도체 칩 등의 본딩 와이어의 소경화(小徑化)에 따라, 전자 부품의 씰링 성형에 압축 성형이 이용되도록 되어 있다. 압축 성형에서는, 이형 필름에 의해 피복한 하형(下型)의 캐비티에 수지 재료를 공급하고, 가열 용융한 후, 전자 부품을 장착한 기판을 장착한 상형(上型)과의 사이에서 형 체결하여 상기 수지를 압축하는 것에 의해서 성형이 행해진다. 이러한 압축 성형에서, 대형의 기판의 전체에 걸쳐서 결함이 없는 성형을 행하기 위해서는, 캐비티에 소정량의 수지 재료를 과하거나 부족하지 않게 또한 균등하게 공급하는 것이 중요하게 된다. 캐비티에 공급하는 수지 재료의 양에 불균일성이 있으면, 형 체결시에 캐비티 내에서 수지 재료의 유동(이동)이 생겨, 전자 부품 기판의 본딩 와이어 등의 배선에 악영향을 미친다.
캐비티에 소정량의 수지 재료를 균등하게 공급하기 위해서, 수지 재료를 저류(貯留)하는 공급부로부터 직접 캐비티에 수지 재료를 공급하는 것이 아니라, 일단, 수지 재료를 수지용 트레이에 균일한 두께가 되도록 공급하고, 그 후, 수지용 트레이로부터 캐비티에 수지 재료를 일제히 낙하시키는 방법이 취해진다.
수지용 트레이로부터 수지 재료를 일제히 낙하시키는 방법 중 하나로, 그 수지용 트레이의 하면에 마련한, 중앙에서 맞대어진 2매의 평판으로 이루어지는 셔터를 개방하는 방법이 있다(특허 문헌 1의［배경 기술], 이들을 '단순 셔터 방식'이라고 함).
또, 캐비티 내에 수지 재료를 보다 균등하게 공급하는 방법으로서, 도 8에 나타내는 바와 같이, 수지용 트레이(931)에 복수개의 슬릿 모양의 수지 재료 공급 구멍(932)을 마련해 두고(도 8은 수지 재료 공급 구멍(932)의 슬릿의 길이 방향에 수직인 면의 단면도이며, 3개의 수지 재료 공급 구멍(932)의 단면이 나타내어져 있음), 수지용 트레이(931) 저부에 마련된, 중앙에서 맞대어진 2매의 평판으로 이루어지는 셔터(933)를 이 수지 재료 공급 구멍(932)의 슬릿의 길이 방향에 수직인 방향(폭 방향, 도 8에서는 좌우 방향)으로 개방하는 것에 의해, 각 수지 재료 공급 구멍(932)으로부터 수지 재료를 캐비티(934) 내에 낙하시키는 방법이 있다(특허 문헌 1의 [0011]. 이것을 '슬릿·셔터 방식'이라고 함).
마찬가지로 복수개의 슬릿 모양의 수지 재료 공급 구멍을 가지는 수지용 트레이를 이용하는 방법으로서, 도 9에 나타내는 방법도 있다. 이 방법에서는, 수지용 트레이(940)를 상부 트레이(941)와 하부 트레이(942)로 구성하고, 양자에 다수의 평행한 슬릿 모양의 수지 재료 공급 구멍을 형성해 둔다. 이 수지용 트레이(940)에서는, 상부 트레이(941)의 수지 재료 공급 구멍(943)은 수지를 유지하기 위한 수지 유지부로서 기능하고, 하부 트레이(942)의 수지 재료 공급 구멍(944)은 상부 트레이(941)의 수지 재료 공급 구멍(943)에 유지된 수지 재료를 낙하시키기 위한 개구로서 기능한다. 상하부 트레이(941, 942)의 수지 재료 공급 구멍(943, 944)이 완전히 어긋난(즉, 하부 트레이(942)의 비(非)개구부가 상부 트레이(941)의 개구부를 막는) 상태에서 상부 트레이(941)의 수지 재료 공급 구멍(943)에 수지 재료를 공급해 두고, 이 수지용 트레이(940)를 캐비티(955) 상에 배치한다(도 9의 (a)). 그리고, 상부 트레이(941)를 수지 재료 공급 구멍(943, 944)의 슬릿에 수직인 방향(도 9에서는 좌우 방향)으로 이동시키는 것에 의해, 상부 트레이(941)의 수지 재료 공급 구멍(943) 내의 수지 재료를 하부 트레이(942)의 수지 재료 공급 구멍(944)을 통해 캐비티(955) 내에 낙하시킨다(도 9의 (b), 이것을 '상하 슬릿 방식'이라고 함).
특허 문헌 1 : 일본특허공개 제2007-125783호 공보
단순 셔터 방식, 슬릿·셔터 방식 및 상하 슬릿 방식 모두에 있어서, 셔터를 스무스하게 이동시키기 위해서, 수지용 트레이의 저부와 셔터의 상면과의 사이에 약간의 간극이 생기는 경우가 있다. 이러한 간극이 있으면, 셔터나 상부 트레이를 이동시킬 때에, 이 간극에 수지 재료가 들어가거나, 혹은 말려 들어가며, 그것에 의해 셔터나 상부 트레이의 이동이 방해되어 버리는 경우가 있다. 이 경우, 셔터나 상부 트레이의 이동 속도가 늦어지거나 불균일하게 되어, 캐비티 내에 공급되는 수지 재료의 양이 불균일하게 되어 버린다. 또, 최악의 경우에는, 셔터나 상부 트레이의 이동이 도중에서 정지하여, 수지 재료가 캐비티 내의 일부에 공급되지 않게 된다.
본 발명이 해결하려고 하는 과제는, 수지 재료를 캐비티 내에 균등하게, 또한 항상 스무스하게 공급할 수 있는, 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치를 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서 이루어진 본 발명에 관한 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치는,
기둥 모양재에, 측면으로 개구하고 축방향으로 연장되는 홈이 형성되며, 축을 중심으로 회동 가능한, 서로 평행하게 배치된 복수개의 수지(樹脂) 재료 수용부와,
상기 축을 중심으로 상기 복수개의 수지 재료 수용부를 회동시키는 회동 구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치에서는, 모든 수지 재료 수용부를, 상기 홈의 개구를 상향으로 한 상태에서, 개구로부터 홈 내에 수지 재료를 수용한다. 그 후, 본 수지 재료 공급 장치를 캐비티의 개구부 상에 배치하고, 그곳에서, 상기 회동 구동부에 의해, 상기 복수개의 수지 재료 수용부를 각각, 상기 홈에 수용된 수지 재료가 캐비티에 낙하하는 상태까지 회동시킨다. 예를 들면, 홈이, 그 개구가 상향의 상태에서 연직인 측벽을 가지는 경우에는, 홈의 개구가 상향의 상태로부터 수지 재료 수용부를 90°를 넘는 각도까지 회동시키는 것에 의해, 홈에 수용된 수지 재료가 낙하한다.
이것에 의해, 평행하게 배치된 복수개의 수지 재료 수용부의 홈 내에 수용된 수지 재료가, 각각의 위치에서 캐비티에 공급되기 때문에, 수지 재료는 캐비티 내에 거의 균등하게 공급된다. 또, 수지 재료 공급 장치의 동작이, 수지 재료의 말려 들어감 등에 의해 방해되는 것은 아니기 때문에, 항상 스무스하게 캐비티에 수지 재료를 공급할 수 있다.
회동 구동부는, 복수개의 수지 재료 수용부를 동시에 회동시키는 랙 앤드 피니언 기구를 구비하는 것을 바람직하게 이용할 수 있다. 물론, 그 외의 전달 기구를 이용해도 괜찮고, 개개의 수지 재료 수용부에 서보 모터 등의 회전 구동원을 마련해도 좋다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치는, 상기 회동 구동부가 상기 복수개의 수지 재료 수용부를 회동시키는 동안에, 상기 복수개의 수지 재료 수용부 전체를, 상기 복수개의 수지 재료 수용부가 형성하는 면내로서 상기 축에 평행이 아닌 방향으로 이동시키는 이동부를 더 구비하는 것이 바람직하다. 이와 같이 수지 재료 수용부가 회동하면서 이동하는 것에 의해서, 각 수지 재료 수용부의 홈으로부터 캐비티에 수지 재료가 낙하하는 위치가 이동하여 가기 때문에, 캐비티 내에 공급되는 수지 재료의 양의 균일성을 보다 한층 높게 할 수 있다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치는, 상기 이동부를 구비하는 경우에 있어서, 상기 회동 구동부에 의한 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동과, 상기 이동부에 의한 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 이동의 동기(同期)를, 보다 균일한 공급이 가능해지는 형태로 하는 것이 바람직하다. 예를 들면, 홈 내의 수지 재료가 낙하하기 시작하는 각도까지 수지 재료 수용부가 회동한 시점에서 수지 재료 수용부의 회동을 정지하여 수지 재료 수용부의 이동을 개시하고, 수지 재료 수용부가 소정 거리(수지 재료 수용부의 배치 피치(pitch)와 동일 거리 또는 그것 보다도 조금 긴 거리로 하는 것이 바람직함)만큼 이동시킨다. 수지 재료 공급부를 소정 거리만큼 이동한 시점에서 이동을 정지하고, 그곳에서 수지 재료 수용부를 더 회전시켜 홈 내의 수지 재료를 모두 낙하시킨다. 또, 수지 재료 수용부를 소정 거리만큼 이동시키는 동안, 수지 재료 수용부를 조금씩 계속하여 회동시켜도 좋다.
이들 수지 재료 수용부의 회동과 이동의 동기는, 캠 기구를 이용하여 행할 수 있다. 혹은, 각각의 수지 재료 수용부에 마련한 서보 모터 등의 액추에이터를 이용하여 동기 제어하도록 해도 괜찮다.
본 발명에 관한 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법은,
기둥 모양재에, 측면으로 개구하고 축방향으로 연장되는 홈이 형성되며, 축을 중심으로 회동 가능한, 서로 평행하게 배치된 복수개의 수지 재료 수용부의 상기 개구를 상향으로 한 상태에서, 상기 개구로부터 상기 홈 내에 수지 재료를 수용하는 공정과,
상기 복수개의 수지 재료 수용부를 캐비티의 개구부 상에 배치하는 공정과,
상기 복수개의 수지 재료 수용부를, 상기 축을 중심으로 회동시키는 것에 의해, 캐비티에 수지 재료를 공급하는 공정을 가지는 것을 특징으로 한다.
상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동은, 랙 앤드 피니언 기구에 의해 행할 수 있다. 또, 개개의 수지 재료 수용부에 서보 모터 등의 회전 구동원을 마련하여 행해도 괜찮다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 방법의, 캐비티에 수지 재료를 공급하는 공정에서, 상기 복수개의 수지 재료 수용부 전체를, 상기 복수개의 수지 재료 수용부가 형성하는 면내로서 상기 축에 평행이 아닌 방향으로 이동시키는 것이 바람직하다.
본 발명에 관한 수지 재료 공급 방법에서 상기 복수개의 수지 재료 수용부 전체를 이동시키는 경우에는, 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동과, 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 이동의 동기의 형태를, 보다 균일한 공급이 가능해지는 형태로 할 수 있다.
이들 수지 재료 수용부의 회동과 이동은, 캠 기구에 의해 동기시킬 수 있다. 혹은, 각각의 수지 재료 수용부에 마련한 서보 모터를 동기 제어하도록 해도 괜찮다.
본 발명에 관한 압축 성형 장치는, 상기 수지 재료 공급 장치를 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 압축 성형 방법은, 상기 수지 재료 공급 방법에 의해 압축 성형 장치의 하형의 캐비티에 수지 재료를 공급하는 공정을 가지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 수지 재료를 캐비티 내에 균등하게, 또한 항상 스무스하게 공급할 수 있다.
도 1은 본 발명에 관한 수지 재료 공급 장치의 일 실시예를 이용하여 압축 성형을 행하는 순서 (a)~(f)를 설명하는 공정도.
도 2의 (a)는 일 실시예의 수지 재료 공급 장치의 개략 평면도, (b)는 Y단면도, 및 (c)는 X단면도.
도 3은 수지 재료 공급부의 확대 Y단면도.
도 4의 (a)는 일 실시예의 회동용 캠 및 (b)는 수평 이동용 캠의 평면도.
도 5는 일 실시예의 수지 재료 공급 장치에 의해 수지 재료를 하형의 캐비티에 공급하는 순서를 설명하는 순서도.
도 6은 일 실시예의 수지 재료 공급 장치에 의해 수지 재료를 하형의 캐비티에 공급할 때의, 수지 재료 수용부의 회전 각도와 프레임 부재의 평행 이동 거리의 관계를 나타내는 그래프.
도 7의 (a)~(e)는 일 실시예의 수지 재료 수용부로부터 수지 재료가 낙하하는 모습을 나타내는 설명도.
도 8은 종래의 슬릿·셔터 방식에 의해 수지 재료를 캐비티에 공급하는 상태를 나타내는 설명도.
도 9는 종래의 상하 슬릿 방식에 의해 수지 재료를 캐비티에 공급하는 상태를 나타내는 설명도.
본 발명에 관한 수지(樹脂) 재료 공급 장치의 일 실시예를 이용한 전자 부품의 압축 성형의 순서에 대해서, 도 1을 참조하면서 설명한다. 여기서 이용하는 압축 성형 장치(10)의 금형은 상형(上型)(11), (히터(도시하지 않음)를 내장하는) 하형(下型)(12), 및 중간 플레이트(13)로 이루어지며, 하형(12)의 캐비티(121)는 평면에서 보아 장방형(직사각형)을 이룬다. 본 실시예에서는, 수지 재료로서 과립상 수지를 이용하지만, 분말상 그 외의 형태라도 상관없다. 혹은, 수지 재료로서, 액상 수지(상온에서 유동성을 가지는 수지 재료)를 사용해도 괜찮다.
먼저, 전자 부품을 장착한 기판(15)을, 그 장착면을 아래를 향한 상태에서 상형(11)의 기판 세트부(111)에 셋팅한다(도 1의 (a)). 그 전 또는 후에, 하형(12)을 걸쳐서 마련된 공급측과 권취측의 이형 필름 롤을 회전시켜, 공급측의 이형 필름 롤로부터 인출된 새로운 이형 필름(16)을 하형(12)의 캐비티(121)의 상부에 펼쳐서 마련한다. 다음으로, 중간 플레이트(13)를 고정한 상태에서 하형(12)을 상승시켜, 이형 필름(16)을 매개로 하여 중간 플레이트(13)와 하형(12)의 필름 누름부(122)를 맞닿게 한다. 이형 필름(16)은, 하형(12)에 의해서 가열되는 것에 의해, 연화(軟化)하여 신장된다. 게다가, 중간 플레이트(13)를 고정한 상태에서 하형(12)을 상승시킴으로써 중간 플레이트(13)와 하형(12)의 필름 누름부(122)와의 맞닿음면을 캐비티(121)에 대해서 눌러 내린다. 캐비티(121) 상의 이형 필름(16)은, 중간 플레이트(13)와 하형(12)의 필름 누름부(122)와의 맞닿음면이 눌러 내려지는 것에 의해, 펼쳐져 마련된다. 그리고, 캐비티(121)측으로부터 이형 필름(16)을 흡인하는 것에 의해, 캐비티(121)를 이형 필름(16)에 의해 피복한다(도 1의 (a), (b)).
그 후, 수지 재료 공급 장치(20)에 의해 캐비티(121) 내에 수지 재료를 공급한다(도 1의 (c)). 이 수지 재료 공급 장치(20)의 동작에 대해서는 후에 상세하게 설명한다.
하형(12)의 열에 의해 수지 재료가 용융한(도 1의 (d)) 후, 하형(12)을 상형(11)에 가까이 하여, 용융한 수지에 전자 부품을 침지시킴과 아울러, 수지를 캐비티 저부 부재(123)에 의해 압압한다(도 1의 (e)). 수지가 경화한 후, 상형(11)과 하형(12) 및 중간 플레이트(13)를 개방하는 것에 의해, 전자 부품의 수지 씰링 성형품이 얻어진다(도 1의 (f)).
다음으로, 본 실시예의 수지 재료 공급 장치(20)에 대해서, 도 2~도 4를 참조하면서 상세하게 설명한다.
본 실시예의 수지 재료 공급 장치(20)는, 도 2에 나타내는 바와 같이, 베이스대(29)와, 베이스대(29) 상에 마련된 직사각형의 프레임 부재(21)와, 프레임 부재(21)의 내부에 평행하게 또한 등간격으로 배치되며, 프레임 부재(21)에 회동 가능하게 장착된 복수개의 수지 재료 수용부(22)를 구비한다. 이하, 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 수지 재료 수용부(22)의 축방향을 Y방향, 프레임 부재(21)의 면내에서 Y방향에 수직인 방향을 X방향으로 한다. 베이스대(29)는, 캐비티(121)의 개구와 동일한 크기이거나 그것 보다도 약간 작은 직사각형의 개구를 가지고 있다. 프레임 부재(21)의 내측의 직사각형은, 베이스대(29)의 개구 보다도 X방향으로는 약간 작고, Y방향으로 거의 동일한 크기를 가진다.
수지 재료 수용부(22)는 각각, 1개의 원기둥 모양의 기둥 모양재(221)와, 기둥 모양재(221)의 측면에 마련된, 측면으로 개구하고 기둥 모양재(221)의 축방향(Y방향)으로 연장되는 홈(222)을 가진다. 또, 도 2의 (a)에서는, 수지 재료 수용부(22)의 구성을 알기 쉽게 나타내기 위해, 중앙 부근에서 1개의 수지 재료 수용부(22)만을 나타내고, 양쪽에 이웃하는 3개씩의 수지 재료 수용부(22)의 도시를 생략하고 있다. 수지 재료 수용부(22)는, 축에 수직인 단면(Y단면)에서는, 도 3에 확대하여 나타내는 바와 같이, 기둥 모양재(221)의 원기둥의 측면을, 축에 평행한 평면(2211)으로 절제한 형상을 가진다. 홈(222)은 이 평면(2211)에서 개구하도록 마련되어 있다. 홈(222)은 축에 수직인 단면에서, 내부에서는 장방향으로서, 개구를 향해 넓어져 가는 형상을 가진다. 또, 기둥 모양재(221)는, 본 실시예에서는 원기둥의 측면을 절제한 형상으로 했지만, (절제하지 않은) 원기둥 모양의 것을 이용해도 괜찮고, 사각 기둥이나 육각 기둥 등의 다른 형상으로 해도 좋다. 수지 재료 수용부(22)의 갯수는, 본 실시예에서는 24개로 했지만, 본 발명은 그것에는 한정되지 않고, 수지를 공급하는 대상인 캐비티의 크기나, 요구되는 수지의 균등성에 의해 정해지는 배치 밀도에 따라 적절히 설정 가능하다.
프레임 부재(21)에는, 대향하는 2개의 프레임의 일방에는 복수의 관통공이 등간격으로 마련되고, 타방에는 동일한 수의 비(非)관통공이 동일한 간격으로 마련되어 있다. 각 기둥 모양재(221)는, 일단이 각 관통공을 관통하고, 타단이 상기 비관통공에서 유지되며, 양 구멍의 사이에서 회동 가능하게 되어 있다. 각 수지 재료 수용부(22)의 상기 일단의, 프레임 부재(21)의 외측이 되는 부분에는, 피니언(224)이 마련되어 있다. 또, 모든 수지 재료 수용부(22)의 피니언(224)과 서로 맞물리도록, 랙(23)이 프레임 부재(21)의 외측에, X방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 도 2의 (c)에 나타내는 바와 같이, 프레임 부재(21)의 하부는 외부로 돌출하고 있으며, 랙(23)은 그 위에 이동 가능하게 재치(載置)되어 있다.
도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 랙(23)의 일단에는 회동용 연결 부재(241)가 고정되어 있다. 회동용 연결 부재(241)는, 프레임 부재(21)에 평행하게 마련된 회동용 판 모양 부재(2411)와, 그 하면에 마련된 회동용 캠 핀(2412)으로 이루어진다. 또, 프레임 부재(21)에는, 평행 이동용 연결 부재(242)가 고정되어 있다. 평행 이동용 연결 부재(242)도 회동용 연결 부재(241)와 마찬가지로, 프레임 부재(21)에 평행하게 마련된 평행 이동용 판 모양 부재(2421)와, 그 하면에 마련된 평행 이동용 캠 핀(2422)으로 이루어진다.
수지 재료 공급 장치(20)는 추가로, 회동용 캠(251)(도 4의 (a)) 및 평행 이동용 캠(252)(도 4의 (b))을 구비한다. 회동용 캠(251)의 캠 홈(회동용 캠 홈(2511)) 및 평행 이동용 캠(252)의 캠 홈(평행 이동용 캠 홈(2521))의 형상(캠 프로파일)에 대해서는 후술한다. 이들 회동용 캠(251) 및 평행 이동용 캠(252)은, 공통의 연결 부재(26)에 고정되어 있다. 그리고, 에어 액추에이터(27)가 연결 부재(26)를 Y방향으로 이동시킨다.
본 실시예에서는, 상기 회동 구동부는 랙(23), 피니언(224), 회동용 연결 부재(241), 회동용 캠(251), 연결 부재(26) 및 에어 액추에이터(27)에 의해 구성된다. 또, 본 실시예에서는, 상기 이동부는 프레임 부재(21), 평행 이동용 연결 부재(242), 평행 이동용 캠(252), 연결 부재(26) 및 에어 액추에이터(27)에 의해 구성된다.
본 실시예의 수지 재료 공급 장치(20)의 동작을, 도 1~도 7을 이용하여 설명한다.
초기 상태에서는, 각 수지 재료 수용부(22)는 홈(222)의 개구가 바로 위를 향하고 있다. 이 때의 수지 재료 수용부(22)의 회전각을 0°(도 7의 (a))로 한다. 이 초기 상태에서, 각 수지 재료 수용부(22)의 홈(222) 내에 소정량의 수지 재료를 투입한다(도 5의 스텝 S11). 수지 재료의 투입량은, 각 수지 재료 수용부(22)에 균일하게, 또한, 개개의 수지 재료 수용부(22)에서 홈(222)의 길이 방향으로 균일하게 되도록 한다. 이러한 수지 재료의 투입은, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 수지 투입 슈트(chute)를 이용한 수지 재료 공급 기구나, 종래의 홈통 모양의 피더(feeder)를 이용한 수지 재료 공급 기구 등에 의해 행할 수 있다.
다음으로, 수지 재료 수용부(22)에 수지 재료를 유지한 수지 재료 공급 장치(20)를, 압축 성형 장치(10)의 이형 필름(16)이 피복된 캐비티(121) 상으로 이동시켜, 캐비티(121)의 개구에 베이스대(29)의 개구를 맞추도록 배치한다(스텝 S12. 도 1의 (b) 참조).
이어서, 에어 액추에이터(27)에 의해, 연결 부재(26)를 Y방향으로 일정한 속도로 이동시킨다. 이것에 의해, 연결 부재(26)에 고정된 회동용 캠(251) 및 평행 이동용 캠(252)도 Y방향으로 일정한 속도로 이동한다. 그리고, 회동용 캠(251)의 캠 프로파일에 따라서, 후술의 소정의 타이밍으로, 회동용 연결 부재(241) 및 그것에 고정된 랙(23), 그리고 평행 이동용 캠(252) 및 평행 이동용 판 모양 부재(2421)에 고정된 프레임 부재(21)이 X방향으로 이동한다. 이 랙(23)의 이동에 의해, 소정의 타이밍으로, 피니언(224)에 고정된 수지 재료 수용부(22)가 회동하고, 그것에 따라 홈(222) 내의 수지 재료를 캐비티(121)에 낙하시킨다. 그것과 함께, 프레임 부재(21)의 이동에 의해, 소정의 타이밍으로 수지 재료 수용부(22)를 X방향으로 이동시킨다(스텝 S13).
여기서, 회동용 캠(251) 및 평행 이동용 캠(252)의 캠 프로파일은 도 4에 나타내는 바와 같이 되어 있으며, 그것에 대응하여, 수지 재료 수용부(22)의 회동각 및 X방향의 이동 거리는 도 6에 나타내는 바와 같이 변화한다. 구체적으로는, 수지 재료 수용부(22)가 초기 위치로부터 70°회전할 때까지(도 4 및 도 6에 나타내는 구간 A)는 X방향으로 이동하지 않고, 70°로부터 105°까지 회동하는 동안(도 4 및 도 6에 나타내는 구간 B)에 X방향으로 수지 재료 수용부(22)의 간격과 동일 거리만큼 이동하며, 그 후 180°까지 회동하는 동안(도 4 및 도 6에 나타내는 구간 C)은 X방향으로 이동하지 않도록, 캠 프로파일이 형성되어 있다. 홈(222) 내의 수지 재료는, 수지 재료 수용부(22)의 회동각이 70°일 때에는 아직 낙하하지 않고(도 7 의 (b)), 70°를 넘어 105°까지 회동하는 동안에 낙하하며(도 7 의 (c), (d)), 그 후, 180°까지 회동하는 동안에 홈(222) 내에 잔존하고 있던 수지 재료도 낙하한다(도 7 의 (e)). 이렇게 하여, 홈(222) 내의 모든 수지 재료가 캐비티(121)에 공급된 시점에서, 1개의 캐비티(121)로의 수지 재료의 공급 동작이 종료한다(스텝 S14).
본 실시예의 수지 재료 공급 장치(20)에 의하면, 종래의 상하 슬릿 방식 등과 달리, 수지 재료를 캐비티(121)에 공급할 때에 수지 재료가 말려들어가 공급 동작이 방해되는 것은 아니기 때문에, 수지 재료를 캐비티(121)에 항상 스무스하게, 또한 균등하게 공급할 수 있다. 또, 수지 재료 수용부(22)가 이동하면서 수지 재료를 캐비티(121)에 공급하기 때문에, 수지 재료의 공급의 균등성을 한층 양호하게 할 수 있다.
상기 실시 예의 수지 재료 공급 장치(20)는 본 발명의 일례이며, 본 발명의 취지의 범위에서 적절히 변형이나 수정, 추가가 허용된다.
예를 들면, 회동용 캠(251) 및 평행 이동용 캠(252)의 캠 프로파일은 특히 한정되지 않고, 수지 재료 수용부(22)의 홈(222)의 형상이나 홈(222) 안에 수용되어 있는 수지 재료의 양 등에 의해서 적절히 설계할 수 있다. 또, 수지 재료 수용부(22)의 평행 이동의 개시로부터 소정 거리만큼 이동할 때까지의 동안, 수지 재료 수용부(22)는 계속 회동해도 좋고, 홈(222) 내의 수지 재료가 낙하하는 소정의 각도로 회동이 정지해도 괜찮다. 또, 수지 재료 수용부(22)의 회동과 이동은 캠 이외의 기구에 의해서 동기시켜도 괜찮다.
각 수지 재료 수용부(22)를 회동시키는 기구는, 랙 앤드 피니언 기구에 한정되지 않고, 모든 수지 재료 수용부(22)를 동기시켜 회동시키는 다른 적절한 기구를 이용하면 좋다. 예를 들면, 개개의 수지 재료 수용부(22)에 서보 모터 등의 회전 구동원을 마련해도 좋다.
수지 재료 공급 장치(20)는 추가로, 각 수지 재료 수용부(22)(혹은 프레임 부재(21))에 진동을 부여하는 바이브레이터(vibrator)(각 수지 재료 수용부(22) 혹은 프레임 부재(21)를 두드리는 동작을 하는 것을 포함함)가 구비되어 있어도 괜찮다. 수지 재료 수용부(22)의 홈(222)이 180°회동했을 때, 이 바이브레이터에 의해서 각 수지 재료 수용부(22)에 진동을 부여하는 것에 의해, 홈(222) 내에 잔류하고 있는 수지 재료를 모두 낙하시켜, 캐비티(121) 내에 공급할 수 있다.
수지 재료를 공급하는 대상인 캐비티의 평면 형상은 정방형, 원형, 타원형, 능형, 삼각형 등이라도 좋다. 이들 경우, 프레임 부재의 형상을 그것에 맞춤과 아울러, 각 수지 재료 수용부의 길이를 조정하여, 프레임 부재 내에 균등하게 배치하도록 구성하면 좋다.
10 - 압축 성형 장치 11 - 상형
111 - 기판 세트부 12 - 하형
121 - 캐비티 122 - 필름 누름부
123 - 캐비티 저부 부재 13 - 중간 플레이트
15 - 기판 16 - 이형 필름
20 - 수지 재료 공급 장치 21 - 프레임 부재
22 - 수지 재료 수용부 221 - 기둥 모양재
2211 - 기둥 모양재 절단 평면 222 - 홈
224 - 피니언 23 - 랙
241 - 회동용 연결 부재 2411 - 회동용 판 모양 부재
2412 - 회동용 캠 핀 242 - 평행 이동용 연결 부재
2421 - 평행 이동용 판 모양 부재 2422 - 평행 이동용 캠 핀
251 - 회동용 캠 2511 - 회동용 캠 홈
252 - 평행 이동용 캠 2521 - 평행 이동용 캠 홈
26 - 연결 부재 27 - 에어 액추에이터
29 - 베이스대 931, 940 - 수지용 트레이
932, 943, 944 - 수지 재료 공급 구멍 933 - 셔터
934, 955 - 캐비티 941 - 상부 트레이
942 - 하부 트레이

Claims (10)

  1. 기둥 모양재에, 측면으로 개구하고 축방향으로 연장되는 홈이 형성되며, 상기 기둥 모양재의 축을 중심으로 회동 가능한, 서로 평행하게 배치된 복수개의 수지(樹脂) 재료 수용부와,
    상기 축을 중심으로 상기 복수개의 수지 재료 수용부를 각각, 상기 수지 재료 수용부에 수용된 수지 재료가 낙하하는 각도까지 회동시키는 회동 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 회동 구동부가, 상기 복수개의 수지 재료 수용부를 동시에 회동시키는 랙 앤드 피니언 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 회동 구동부에 의한 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동 중에, 상기 복수개의 수지 재료 수용부 전체를, 상기 복수개의 수지 재료 수용부가 형성하는 면내로서 상기 축에 평행이 아닌 방향으로 이동시키는 이동부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 회동 구동부에 의한 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동과, 상기 이동부에 의한 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 이동의 동기(同期)를 행하는 캠 기구를 구비하는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치.
  5. 기둥 모양재에, 측면으로 개구하고 축방향으로 연장되는 홈이 형성되며, 상기 기둥 모양재의 축을 중심으로 회동 가능한, 서로 평행하게 배치된 복수개의 수지 재료 수용부의 상기 개구를 상향으로 한 상태에서, 상기 개구로부터 상기 홈 내에 수지 재료를 수용하는 공정과,
    상기 복수개의 수지 재료 수용부를 캐비티의 개구부 상에 배치하는 공정과,
    상기 복수개의 수지 재료 수용부를 각각, 상기 수지 재료 수용부에 수용된 수지 재료가 낙하하는 각도까지 상기 축을 중심으로 회동시키는 것에 의해, 캐비티에 수지 재료를 공급하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동을 랙 앤드 피니언 기구에 의해 행하는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 캐비티에 상기 수지 재료를 공급하는 상기 공정에서, 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동 중에, 상기 복수개의 수지 재료 수용부 전체를, 상기 복수개의 수지 재료 수용부가 형성하는 면내로서 상기 축에 평행이 아닌 방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 복수개의 수지 재료 수용부의 회동과 상기 복수개의 수지 재료 수용부의 이동을 캠 기구에 의해 동기시키는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법.
  9. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 하나에 기재된 수지 재료 공급 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 압축 성형 장치.
  10. 청구항 5 내지 청구항 8 중 어느 하나에 기재된 수지 재료 공급 방법에 의해 압축 성형 장치의 하형(下型)의 캐비티에 수지 재료를 공급하는 공정을 가지는 것을 특징으로 하는 압축 성형 방법.
KR1020160073087A 2015-06-25 2016-06-13 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 및 방법 KR101854030B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015127542A JP6080907B2 (ja) 2015-06-25 2015-06-25 圧縮成形装置の樹脂材料供給装置及び方法、圧縮成形装置、並びに樹脂成形品製造方法
JPJP-P-2015-127542 2015-06-25

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170001590A KR20170001590A (ko) 2017-01-04
KR101854030B1 true KR101854030B1 (ko) 2018-05-02

Family

ID=57651364

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160073087A KR101854030B1 (ko) 2015-06-25 2016-06-13 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 및 방법

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6080907B2 (ko)
KR (1) KR101854030B1 (ko)
CN (1) CN106273168B (ko)
TW (1) TWI578459B (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6349376B2 (ja) * 2016-12-07 2018-06-27 Ｔｏｗａ株式会社 圧縮成形装置の樹脂材料供給装置及び方法、並びに圧縮成形装置及び樹脂成形品製造方法
CN110589389B (zh) * 2019-08-30 2022-03-15 安徽耐科装备科技股份有限公司 一种有效消除物料离心力影响的树脂运输装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001130742A (ja) * 1999-11-05 2001-05-15 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 搬送中の薄板の表裏を反転させる装置
US20050050559A1 (en) 2003-08-27 2005-03-03 Taizo Minowa Electronic device provided with rack and pinion
JP2009234042A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Sumitomo Heavy Ind Ltd 樹脂投入装置
JP5285737B2 (ja) 2011-04-15 2013-09-11 Ｔｏｗａ株式会社 電子部品の樹脂封止成形方法及び樹脂封止成形装置

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5429488A (en) * 1992-11-24 1995-07-04 Neu Dynamics Corporation Encapsulating molding equipment and method
JP4593836B2 (ja) * 2001-07-09 2010-12-08 本田技研工業株式会社 セパレータ成形用材料投入方法
JP4469755B2 (ja) * 2005-05-23 2010-05-26 株式会社松井製作所 圧縮成形加工における粉粒体材料の充填装置
JP2007123323A (ja) * 2005-10-25 2007-05-17 Ricoh Co Ltd 粉体の充填装置、粉体の充填方法、長尺磁石成形体、及び、マグネットローラ
JP4953619B2 (ja) 2005-11-04 2012-06-13 Ｔｏｗａ株式会社 電子部品の樹脂封止成形装置
US8151995B2 (en) * 2008-02-04 2012-04-10 Texas Instruments Incorporated Methods and apparatus to prevent mold compound feeder jams in systems to package integrated circuits
TWI386301B (zh) * 2008-03-07 2013-02-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 模具裝置及使用該模具裝置之成型方法
SG172031A1 (en) * 2008-12-10 2011-07-28 Sumitomo Bakelite Co Granulated epoxy resin composition for semiconductor encapsulation, semiconductor device using same, and method for manufacturing semiconductor device
JP6057880B2 (ja) * 2013-11-28 2017-01-11 Ｔｏｗａ株式会社 圧縮成形装置の樹脂材料供給方法及び供給装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001130742A (ja) * 1999-11-05 2001-05-15 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 搬送中の薄板の表裏を反転させる装置
US20050050559A1 (en) 2003-08-27 2005-03-03 Taizo Minowa Electronic device provided with rack and pinion
JP2009234042A (ja) * 2008-03-27 2009-10-15 Sumitomo Heavy Ind Ltd 樹脂投入装置
JP5285737B2 (ja) 2011-04-15 2013-09-11 Ｔｏｗａ株式会社 電子部品の樹脂封止成形方法及び樹脂封止成形装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106273168A (zh) 2017-01-04
TW201701424A (zh) 2017-01-01
JP2017007272A (ja) 2017-01-12
KR20170001590A (ko) 2017-01-04
CN106273168B (zh) 2019-05-14
TWI578459B (zh) 2017-04-11
JP6080907B2 (ja) 2017-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101741390B1 (ko) 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법 및 공급 기구, 및 압축 성형 방법 및 압축 성형 장치
CN108162283B (zh) 压缩成形装置的树脂材料供给装置及方法、以及压缩成形装置及树脂成形品制造方法
KR101854030B1 (ko) 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 및 방법
CN107030952B (zh) 树脂材料供给装置及方法、以及压缩成形装置
KR101841831B1 (ko) 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 방법, 그리고 압축 성형 장치 및 방법
JP6257737B2 (ja) 圧縮成形装置の樹脂材料供給装置及び方法、圧縮成形装置、並びに樹脂成形品製造方法
CN112208054B (zh) 树脂成型装置及树脂成型品的制造方法
TWI680047B (zh) 樹脂成形用成形模具、樹脂成形裝置、樹脂成形用成形模具調整方法、以及樹脂成形品製造方法
KR101787234B1 (ko) 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 방법 및 공급 장치 및 압축 성형 방법 및 압축 성형 장치
KR101854029B1 (ko) 압축 성형 장치의 수지 재료 공급 장치 및 압축 성형 장치
JP7135192B1 (ja) 樹脂供給装置、樹脂成形装置、及び、樹脂成形品の製造方法
WO2024157545A1 (ja) 樹脂成形装置及び樹脂成形品の製造方法
JP7564792B2 (ja) 樹脂成形品の製造方法、フィルム固定部材、液状樹脂拡大機構、及び樹脂成形装置
JP2003128008A (ja) エンボスキャリヤテープの成形方法及び成形装置並びにその成形のための成形金型

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
GRNT Written decision to grant