TW201812309A - 電連接裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種電連接裝置(10)，係具備：複數個探針(20)；探針基板(16)，係連接於複數個探針(20)之基端部(20b)；以及探針支撐體(18)，係在複數個探針(20)之前端部(20a)被按壓於被檢查體時，防止複數個探針(20)之鄰接的探針彼此之干涉；其中，探針支撐體(18)係具備要插通探針(20)之導孔的板狀之導引部(30)；導引部(30)係包含上方導引部(31)、下方導引部(32)及中間導引部(33)；探針(20)係藉由插通於上方導引部(31)、中間導引部(33)及下方導引部(32)之導孔來導向被檢查體；中間導引部(33)係設置成能夠朝向與厚度方向(Y)正交的正交方向(X)移動。

Description

電連接裝置
本發明係關於一種垂直動作式探針卡(probe card)等的電連接裝置，該電連接裝置係用於以積體電路等為代表的被檢查體之電性檢查。
製入於半導體晶圓內的多數個積體電路，一般是在從該晶圓切斷、分離之前，接受是否具有如同規格書之性能的電性檢查。作為此種檢查所用的電連接裝置，係有一種應用複數個探針的垂直動作式探針卡(例如，參照專利文獻1)。
在垂直動作式探針卡中，從探針基板伸長的線狀之各探針係經過由探針基板所保持的探針支撐體而被導向下方之被檢查體。
探針支撐體係構成為了防止由相鄰的探針間之接觸所引起的電性短路，而控制各探針之姿勢，又構成將各探針之前端導引至被檢查體之對應的電極襯墊(electrode pad)。
又，如第10圖(a)所示，在此種的探針支撐體1係具備有：板狀之上方導引部3，係鄰近於探針基板2 並在其下方與該探針基板平行地配置；下方導引部5，係平行地配置於該上方導引部3；以及板狀之中間導引部4，係配置於上方導引部3與下方導引部5之間。
如第10圖(a)所示，在各導引部3、4及5，係貫通設置有由線狀金屬材料所構成之探針6用的導孔3a、4a及5a。各探針6，係貫通各導孔3a、4a及5a所配置。上方導引部3之導孔3a，係將各探針6之上端部導引至探針基板2之對應的連接襯墊(未圖示)。
雖然中間導引部4及下方導引部5之各導孔4a及5a，係相互地匹配，但是排列於已從上方導引部3之對應的導孔3a朝向一方向偏移的位置。藉此，在各探針6，係在上方導引部3與中間導引部4之間，如第10圖(a)所示地形成有因彈性變形所形成的彎曲部6a。又，從各探針6之下方導引部5突出的各探針6之前端部，係藉由中間導引部4及下方導引部5之二個導孔4a及5a的相互配合，以朝向被檢查體7之對應的電極襯墊7a之方式朝垂直方向對齊。
為了進行被檢查體7之電性檢查，例如當被檢查體7朝向探針基板2移動時，藉由該移動，各探針6就會從對應的電極襯墊7a接受第10圖(b)之箭頭8所示的上推力。各探針6係當各探針6之前端藉由該上推力朝向探針基板2上推時，各探針6之前端部就會隨之朝向上方移動。
又，各探針6之基端係能藉由固定於探針基 板2來限制移動。為此，在各探針6之前端部朝向探針基板2上推時，在第10圖(a)所示的中間導引部4與下方導引部5之間且形成於各探針6的彎曲部6a，會如第10圖(b)所示產生由撓曲變形所造成之較大的彎曲，且包含該彎曲之大小及方向的姿勢，係受探針支撐體1而被控制成彼此相同。
因此，各探針6不會彼此電性短路就能以藉由其本身之彈性變形所產生的適當之彈簧力來按壓於對應的電極襯墊7a。又，因當被檢查體7離開時，各探針6之前端部的壓入就會被解除，故而各探針6會彈性復位至第10圖(a)的形狀。藉此，使用垂直動作式探針卡，來反覆進行被檢查體7之電性檢查。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本特開平7-29838號公報
然而，在先前技術的垂直動作式探針卡中，係如第10圖(b)所示，當各探針6之前端部的壓入被解除而各探針6彈性復位時，藉由各探針6之撓曲變形各探針6之彎曲部6a會如第10圖(b)之虛線所示被強力緊壓於中間導引部4之導孔4a的邊緣部。如此，當探針6被強力緊壓於中間導引部4之導孔4a的邊緣部時，會有在被緊 壓的狀態下卡止的情況。
在此情況下，如第10圖(c)所示，因即便被檢查體7分離而各探針6之前端部的壓入被解除，探針6之形狀仍不會復位至如第10圖(a)所示的探針6的態樣而是成為未返回狀態，故而有無法反覆進行電性檢查的問題。
又，即便是不具有彎曲部的探針(例如，垂直式的探針)，當被強力緊壓於導孔4a之邊緣部時，仍有探針與導孔之邊緣部摩擦，使探針損傷的情況。為此，無論有無彎曲部，均殷切要求探針不被強力緊壓於邊緣部的對策。
本發明係有鑑於如此的問題而開發完成，其目的在於提供一種能夠防止探針被強力緊壓於導孔之邊緣部的電連接裝置。
為了達成上述目的，本發明的電連接裝置之第一特徵係在於具備：複數個探針，係前端部被按壓於被檢查體；探針基板，係連接於前述複數個探針之基端部；以及探針支撐體，係在前述複數個探針之前端部被按壓於前述被檢查體時，防止前述複數個探針之鄰接的探針彼此之干涉；其中，前述探針支撐體係配置於前述探針基板之下方，且具備板狀之導引部，該導引部係具有要插通前述複數個探針插通的複數個導孔；前述導引部係包含上方導引部、下方導引部、以及配置於前述上方導引部與前述下方導引部之間的中間導引部；前述上方導引部係具有複數 個上方導孔，前述中間導引部係具有複數個中間導孔，並且前述下方導引部係具有複數個下方導孔；前述複數個探針係藉由分別插通於前述上方導孔、前述中間導孔、及前述下方導孔來導向前述被檢查體；前述中間導引部係設置成能夠朝向與前述中間導引部之厚度方向正交的正交方向移動。
本發明的電連接裝置之第二特徵係如上述特徵，其中，前述複數個探針，係在前述上方導引部與前述下方導引部之間具有在分別被按壓於前述被檢查體時會彎曲的彎曲部。
本發明的電連接裝置之第三特徵係如上述特徵，其中，前述中間導引部，係設置成能夠朝向前述中間導引部之厚度方向移動。
本發明的電連接裝置之第四特徵係如上述特徵，其中，前述導引部，係復包含：輔助固定導引部，該輔助固定導引部係固定設置在前述中間導引部與前述下方導引部之間；前述輔助固定導引部係具有輔助固定導孔；前述複數個探針，係分別插通於前述上方導孔、前述中間導孔、前述輔助固定導孔及前述下方導孔。
本發明的電連接裝置之第五特徵係如上述特徵，其中，在前述上方導引部與前述下方導引部之間，具備限定前述中間導引部之可移動範圍的可動室。
本發明的電連接裝置之第六特徵係如上述特徵，其中，在前述可動室具備位置調整部，該位置調整 部係使與厚度方向正交之正交方向上的前述中間導孔之位置，對合於前述下方導孔之位置。
本發明的電連接裝置之第七特徵係如上述特徵，其中，在前述上方導引部與前述下方導引部之間具備位置調整部，該位置調整部係使與厚度方向正交之正交方向上的前述中間導孔之位置，對合於前述下方導孔之位置。
本發明的電連接裝置之第八特徵係如上述特徵，其中，前述位置調整部，係使前述中間導引部朝向前述中間導引部之厚度方向或正交方向的至少一方移動的彈性體。
本發明的電連接裝置之第九特徵係如上述特徵，其中，前述可動室，係具有載置前述中間導引部的載置面；前述載置面係朝向前述下方導孔傾斜，以藉由前述中間導引部滑動於前述載置面，來使與厚度方向正交之正交方向上的前述中間導孔之位置對合於前述下方導孔之位置。
本發明的電連接裝置之第十特徵係如上述特徵，其中，前述導引部係包含另一中間導引部，該另一中間導引部係位在前述中間導引部與前述上方導引部之間，並設置成能夠朝向與厚度方向正交之正交方向移動；前述另一中間導引部，係配置於比前述彎曲部更靠厚度方向之上方。
依據本發明之電連接裝置，可以防止探針被強力緊壓於導孔之邊緣部。
1、18‧‧‧探針支撐體
2、16‧‧‧探針基板
3、31‧‧‧上方導引部
3a、31a‧‧‧上方導孔
4、33‧‧‧中間導引部(第一中間導引部)
4a、33a‧‧‧中間導孔
5、32‧‧‧下方導引部
5a、32a‧‧‧下方導孔
6、20‧‧‧探針
6a、20z‧‧‧彎曲部
7‧‧‧被檢查體
7a、14a‧‧‧電極襯墊
8‧‧‧箭頭
10‧‧‧電連接裝置
12‧‧‧夾盤
14‧‧‧半導體晶圓(被檢查體)
16a、24a‧‧‧配線
20a‧‧‧前端部
20b‧‧‧基端部
22‧‧‧測試器焊盤
24‧‧‧間隔轉換器
26‧‧‧補強板
30‧‧‧導引部
33b、140b‧‧‧邊緣部
33s‧‧‧可動室
33x‧‧‧側面
34‧‧‧間隔件構件
35、48‧‧‧下方支撐構件
35x‧‧‧上表面
38‧‧‧上方支撐構件
40a、40b、40c、40d‧‧‧箭頭
50a、50b、50c‧‧‧箭頭
133‧‧‧輔助固定導引部
133a‧‧‧輔助固定導孔
140‧‧‧其他的中間導引部(第二中間導引部)
140a‧‧‧第二中間導孔
200‧‧‧位置調整部
210‧‧‧彈性體
220‧‧‧螺桿部
220a‧‧‧螺孔
CL‧‧‧直線
L1、L2‧‧‧距離
L3‧‧‧變形量
X‧‧‧正交方向
Y‧‧‧厚度方向
第1圖係顯示本發明之實施形態1的電連接裝置之概略側視圖。
第2圖係概略地顯示本發明之實施形態1的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
第3圖係概略地顯示本發明之實施形態1的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
第4圖係概略地顯示本發明之實施形態1的電連接裝置之另一例之一部分的局部放大剖視圖。
第5圖係概略地顯示本發明之實施形態2的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
第6圖係概略地顯示本發明之實施形態3的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
第7圖係概略地顯示本發明之實施形態4的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
第8圖係概略地顯示本發明之實施形態4的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
第9圖係概略地顯示本發明之其他實施形態的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
第10圖(a)係顯示先前技術的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖，第10圖(b)係顯示先前技術的電連接裝 置之一部分的局部放大剖視圖，而第10圖(c)係顯示先前技術的電連接裝置之一部分的局部放大剖視圖。
以下，一邊參照圖式一邊詳細說明本發明之實施形態的電連接裝置。又，以下所示的實施形態，係例示用以使該發明之技術思想具體化的裝置等，本發明之技術思想並非是將各構成零件之配置等特定於下面所述。本發明之技術思想，係可以在申請專利範圍內施加各種的變更。
(實施形態1)
第1圖係顯示本發明之實施形態1的電連接裝置10之概略側視圖。
如第1圖所示，本發明之實施形態1的電連接裝置10，係被稱為垂直動作式探針卡，且在能夠升降的夾盤(chuck)12之上方由框架(frame)(未圖示)所保持。如第1圖之例所示，在夾盤12上係保持有半導體晶圓14作為被檢查體之一例。在半導體晶圓14係組入有多數個積體電路。
半導體晶圓14，係為了進行積體電路之電性檢查，以該積體電路之多數個電極襯墊14a朝向上方之方式，配置於夾盤12上。
電連接裝置10，係具備探針基板16、探針支撐體18及複數個探針20。
探針基板16，係由例如圓形之硬性(rigid) 配線基板所構成。探針基板16，係連接於探針20之基端部20b(上端部)。
在第1圖之例中，探針基板16，係於一方之表面保持作為連接器的間隔轉換器(space transformer)24，且透過間隔轉換器24之對應的配線24a，來與探針20之基端部20b電連接。
在探針基板16的一方之表面(第1圖所示之上表面)的周緣部，係設置有多數個測試器焊盤(taster land)22，該測試器焊盤22係作為對未圖示之測試器進行連接的連接端，各測試器焊盤22係經過設置於探針基板16的配線16a來連接於探針基板16的另一方之表面(第1圖所示之下表面)上所設置的間隔轉換器24。
又，在探針基板16的一方之表面，係設置有補強探針基板16的例如金屬製之補強板26，該補強板26係配置於探針基板16之除了設置有測試器焊盤22之周緣部分以外的中央部。
探針支撐體18，係與間隔轉換器24一起保持於探針基板16。探針支撐體18，係在探針20之前端部20a(下端部)已按壓於半導體晶圓14時，防止鄰接的探針20彼此之干涉。再者，探針支撐體18之詳細的構成將於後述(參照第2圖)。
探針20之前端部20a，係按壓於半導體晶圓14。藉此，因探針20係與半導體晶圓14電連接，故而半導體晶圓14會經過探針20、配線24a及配線16a來電連 接於測試器焊盤22。
探針20係由線狀之金屬構件所構成。金屬構件，例如亦可為鎢(tungsten)。探針20係具有彈性，該彈性例如是在外力不作用於探針20的自由狀態下保持於預定形狀，在施加有賦予撓曲變形之外力(以下，稱為撓曲外力)的狀態下變形為預定形狀，而在經移除撓曲外力的狀態下復位至原來之預定形狀者。
<探針支撐體之構成>
接著，針對探針支撐體18之構成加以說明。第2圖係放大本發明之實施形態1的電連接裝置10之一部分的局部放大剖視圖。再者，為了說明起見，在圖式中，將上下方向限定作為厚度方向Y，將左右方向限定作為與厚度方向Y正交的正交方向X。
探針支撐體18，係配置於探針基板16之下方，且具備板狀之導引部30，該板狀之導引部30係具有要插通複數個探針20的複數個導孔。導引部30，係具有藉由將導孔抵接於被插通至導孔的探針20來導引探針20的導引作用。
具體而言，導引部30，係包含：上方導引部31；下方導引部32；以及配置於上方導引部31與下方導引部32之間的中間導引部33。
上方導引部31、中間導引部33及下方導引部32之各個，係藉由間隔件(spacer)構件34等的構件，來相互地保持成平行。上方導引部31、中間導引部33及下 方導引部32之各個，例如是由陶瓷(ceramic)板或聚醯亞胺(polyimide)合成樹脂板所形成。
上方導引部31，係鄰近於間隔轉換器24所配置。在上方導引部31，係沿著厚度方向Y貫通形成有複數個上方導孔31a。上方導孔31a，係將各探針20之基端部20b導引至往間隔轉換器24之對應的配線24a之連接位置。
在中間導引部33及下方導引部32，係對應於上方導引部31之上方導孔31a，並以沿著厚度方向Y貫通的方式形成有複數個中間導孔33a及複數個下方導孔32a。在中間導孔33a及下方導孔32a，係以允許探針20之軸線方向之移動的方式插通有該探針20。
探針20之基端部20b，係藉由上方導引部31、中間導引部33及下方導引部32，導引至往對應的配線24a之連接位置，且使用例如焊錫黏著固定於該配線24a之對應的連接襯墊(未圖示)。又，複數個探針20，係藉由分別插通於上方導引部31之上方導孔31a、中間導引部33之中間導孔33a、及下方導引部32之下方導孔32a從而導向半導體晶圓14。具體而言，探針20之前端部係被導向半導體晶圓14之對應的電極襯墊14a。藉此，各探針20，係配置於與半導體晶圓14之應連接的各電極襯墊14a對應的位置。
又，如第2圖所示，在上方導孔31a、與中間導孔33a及下方導孔32a之間，係朝向正交方向X賦予 預定量之偏移。藉此，探針20，係在上方導引部31與下方導引部32之間具有當被按壓於半導體晶圓14時會彎曲的彎曲部20z。具體而言，如第2圖所示，探針20，係在上方導引部31與中間導引部33之間具有彎曲部20z。
複數個探針20之彎曲部20z，係以成為相同形狀且相同姿勢之彈性變形的方式所形成。藉此，探針20，係藉由探針支撐體18，來配置成描繪平滑之曲柄(crank)狀態，並且探針20之前端部20a係以預定長度從探針支撐體18朝向厚度方向Y之下方突出。
並且，在藉由夾盤12之上升，使半導體晶圓14之電極襯墊14a抵接於從探針20之探針支撐體18突出的探針20之前端部20a之後，繼續伴隨夾盤12之上升電極襯墊14a會將探針20之前端部20a朝厚度方向Y之上方上推。雖然探針20之前端部20a係藉由該上推而往上方位移，但是此時藉由上方導引部31之上方導孔31a、中間導引部33之中間導孔33a、及下方導引部32之下方導孔32a的各自之導引作用，從而保證探針20之前端部20a往厚度方向Y之直線的移動動作。
又，由於探針20之基端部20b，係藉由間隔轉換器24而阻止移動，所以探針20之彎曲部20z會受由電極襯墊14a所造成的探針20之前端部20a的上推，而朝向正交方向X之一方向大幅地彈性變形。
藉由複數個探針20之彎曲部20z朝向一方向彈性變形，來防止各探針20之間的電性短路。又，因各 探針20之前端部20a，係利用藉由探針20之彈性所帶來的適當之彎曲性(flexibility)，來按壓於對應的電極襯墊14a，故而能確實地連接於電極襯墊14a。藉此，各電極襯墊14a，係經由探針基板16之對應的測試器焊盤22來電連接於測試器(未圖示)，且進行半導體晶圓14之電性檢查。
<中間導引部之構成>
接著，針對中間導引部33之構成加以說明。中間導引部33，係設置成能夠朝向與中間導引部33之厚度方向Y正交的正交方向X(亦即，與上方導引部31及下方導引部32平行的平行面)移動。更且，中間導引部33，係設置成亦能夠朝向中間導引部33之厚度方向Y移動。
具體而言，如第2圖所示，中間導引部33，係載置於從間隔件構件34朝向內側突出的下方支撐構件35之上表面。因此，中間導引部33，係因應插通中間導引部33之中間導孔33a的探針20之移動，並設置成能夠在下方支撐構件35之上表面移動。
又，探針支撐體18，係在上方導引部31與下方導引部32之間，具備限定中間導引部33之可移動範圍的可動室33s，中間導引部33係構成能夠在可動室33s之內部移動。可動室33s，係藉由間隔件構件34、下方支撐構件35及上方支撐構件38所形成，該下方支撐構件35係位在中間導引部33之下方並從間隔件構件34朝向內側突出，該上方支撐構件38係位在中間導引部33之上方並從間隔件構件34朝向內側突出。
間隔件構件34，係配置成在正交方向X上從中間導引部33分離達距離L1，並限制中間導引部33之正交方向X上的移動。又，上方支撐構件38，係配置成在厚度方向Y上從中間導引部33分離達距離L2，並限制中間導引部33之厚度方向Y上的移動。
藉此，形成有將中間導引部33之正交方向X上的可移動範圍限定為距離L1，將中間導引部33之厚度方向Y上的可移動範圍限定為距離L2的可動室33s。
<本發明之實施形態1的功效>
接著，針對本發明之實施形態1的電連接裝置10之功效加以說明。
第3圖係顯示在本發明之實施形態1的電連接裝置10中，探針20被按壓於半導體晶圓14之狀態的局部放大剖視圖。
如第3圖所示，藉由夾盤12之上升，半導體晶圓14之電極襯墊14a就會將探針20之前端部20a往符號40a所示之箭頭方向上推。探針20之前端部20a係藉由該上推而往上方位移。
又，利用藉由電極襯墊14a所致使的探針20之前端部20a的上推，探針20之彎曲部20z就會朝向符號40b所示的正交方向X之一方向大幅地彈性變形，亦即大幅地彎曲。當探針20之彎曲部20z大幅地彎曲時，探針20就會一邊滑動於中間導引部33的中間導孔33a之邊緣部33b，一邊緊壓於該邊緣部33b。
在本發明之實施形態1的電連接裝置10中，中間導引部33，係設置成能夠在正交方向X上移動。藉此，藉由彎曲部20z彎曲，則即便彎曲部20z被緊壓於中間導孔33a之邊緣部33b，中間導引部33仍可以伴隨彎曲部20z之彎曲，朝向第3圖中之符號40c所示的「正交方向X移動」，並且朝向符號40d所示的「厚度方向Y移動」。因而，比起中間導引部33被固定的情況，還可以防止探針20被強力緊壓於中間導孔33a之邊緣部33b。
藉此，可以在探針20之前端部20a的壓入被解除時，防止探針20卡止於邊緣部33b。亦即，由於在解除了探針20之前端部20a的壓入時，探針20可以順利地彈性復位，故而可以使探針20之形狀更確實地復位以防止未返回狀態。
更且，由於可防止探針20被強力緊壓於中間導孔33a之邊緣部33b，故而亦可防止探針20摩擦到中間導孔33a之邊緣部33b而損傷。
在此，所謂「朝向正交方向X、及厚度方向Y移動」，係包含有相對於正交方向X平行地移動的情況、朝向厚度方向Y平行地移動的情況、以及朝向藉由正交方向X和厚度方向Y之疊合所得的方向(例如，傾斜於正交方向X的方向)移動的情況。
又，在第3圖中，設定作為中間導引部33之正交方向X上的可移動範圍的距離L1，較佳是比往伴隨探針20之按壓而變形的彎曲部20z之正交方向X的變形量 L3更大。藉此，即便中間導引部33被緊壓於彎曲部20z，仍可以防止碰撞到間隔件構件34，故而可以更確實地防止探針20被強力緊壓於中間導孔33a之邊緣部33b。
又，在本發明之實施形態1的電連接裝置10中，設定作為中間導引部33之厚度方向Y上的可移動範圍的距離L2，亦可不一定要設置。例如，如第4圖所示，亦可不設置距離L2，而僅設置距離L1。亦即，中間導引部33，亦可構成不朝向厚度方向Y移動，而僅朝向正交方向X移動。
(實施形態2)
接著，針對本發明之實施形態2的電連接裝置10之構成加以說明。第5圖係放大本發明之實施形態2的電連接裝置10之一部分的局部放大剖視圖。
在此，在上面所述的本發明之實施形態1中，係已列舉導引部30包含上方導引部31、中間導引部33及下方導引部32之三個的電連接裝置10為例加以說明。
如第5圖所示，在本發明之實施形態2的電連接裝置10中，導引部30復包含輔助固定導引部133。輔助固定導引部133係固定所設置在中間導引部33與下方導引部32之間。在輔助固定導引部133係形成有輔助固定導孔133a，探針20係插通於輔助固定導引部133之輔助固定導孔133a。
輔助固定導引部133之輔助固定導孔133a的位置，係配置成在正交方向X中，與下方導引部32之 下方導孔32a的位置一致，且配置成與上方導引部31之上方導孔31a的位置具有預定量之偏移。
並且，探針20之彎曲部20z，係形成於上方導引部31與中間導引部33之間。
如以上，依據本發明之實施形態2的電連接裝置10，導引部30，係復包含：輔助固定導引部133，該輔助固定導引部133係固定設置在中間導引部33與下方導引部32之間。輔助固定導引部133，係具有可供探針20插通的輔助固定導孔133a。
因而，探針20，係在中間導引部33之下方，插通輔助固定導引部133之輔助固定導孔133a和下方導引部32之下方導孔32a的二個導孔，故而探針20係能一邊保持厚度方向Y上的直進性一邊導向半導體晶圓14。藉此，可以使探針20之厚度方向Y上的移動動作安定。
亦即，依據本發明之實施形態2的電連接裝置10，可以一邊防止探針20被強力緊壓於中間導孔33a之邊緣部33b，一邊可以使中間導引部33之下方的探針20之移動動作安定。
(實施形態3)
接著，針對本發明之實施形態3的電連接裝置10加以說明。第6圖係放大本發明之實施形態3的電連接裝置10之一部分的局部放大剖視圖。
在此，雖然在本發明之實施形態1至2中，係已列舉導引部30包含一個設置成能夠朝向正交方向X 及厚度方向Y移動之中間導引部33的電連接裝置10為例加以說明，但是並未限於此。
如第6圖所示，本發明之實施形態3的電連接裝置10，導引部30係復包含另一中間導引部140(以下，稱為第二中間導引部140)，該另一中間導引部140係配置於中間導引部33(以下，稱為第一中間導引部33)與上方導引部31之間。
第二中間導引部140，係與第一中間導引部33同樣，設置成能夠朝向正交方向X移動。第二中間導引部140，係配置於比彎曲部20更靠厚度方向Y之上方。具體而言，第二中間導引部140，係載置於從間隔件構件34朝向正交方向X突出的下方支撐構件48之上表面。因此，第二中間導引部140，係因應插通於第二中間導孔140a的探針20之移動，並設置成能夠在下方支撐構件48之上表面與第一中間導引部33同樣地朝向正交方向X及厚度方向Y自如地移動。
藉此，藉由探針20之彎曲部20z的彎曲，即便探針20被緊壓於第二中間導孔140a之邊緣部140b，第二中間導引部140仍可以移動，故而即便是在探針20之彎曲部20z的厚度方向Y之上方，仍可以防止探針20卡止於邊緣部140b。
又，在本發明之實施形態3的電連接裝置10中，第一中間導引部33係配置於比彎曲部20z更靠厚度方向Y之下方，第二中間導引部140係配置於比彎曲部 20z更靠厚度方向Y之上方。因而，探針20之彎曲部20z，係配置於第一中間導引部33與第二中間導引部140之間，故而可以防止在探針20之彎曲部20z的厚度方向Y之上方與下方的兩側，探針20被強力緊壓於邊緣部33b、140b。藉此，可以防止探針20卡止於邊緣部33b、140b，故而可以使探針20之形狀更確實地復位以防止未返回狀態。又，亦可以防止探針20摩擦到邊緣部33b、140b而損傷。
又，藉由上方導孔31a、第二中間導孔140a、中間導孔33a、下方導孔32a之導引作用，探針20之前端部20a，係能更進一步保證往厚度方向Y之直線的移動動作。
再者，在第6圖之例中，雖然係顯示導引部30包含能夠移動的第一中間導引部33和第二中間導引部140之二個的電連接裝置10，但是亦可包含三個以上之能夠移動的中間導件。例如，亦可在下方導引部32之上端部具有第三中間導引部，該第三中間導引部係在厚度方向具有與中間導孔33a一致的導孔。又，在第6圖之例中，雖然顯示導引部30包含輔助固定導引部133的電連接裝置10，但是導引部30亦可不一定要包含輔助固定導引部133。
(實施形態4)
接著，針對本發明之實施形態4的電連接裝置10加以說明。第7圖係放大本發明之實施形態4的電連接裝置10之一部分的局部放大剖視圖。
在此，雖然在上方導引部31之上方導孔 31a、與中間導引部33及下方導引部32之各自的中間導孔33a及下方導孔32a之間，係賦予朝正交方向X預定量之偏移，但是如第7圖所示，在交換探針20時使上方導引部31之上方導孔31a移動，俾以移除預定量之偏移。
於是，在對合上方導引部31、中間導引部33及下方導引部32之各自的上方導孔31a、中間導孔33a及下方導孔32a之位置的狀態下，交換探針20。
此時，為了使各自的上方導孔31a、中間導孔33a及下方導孔32a之位置容易對合，在本發明之實施形態4的電連接裝置10中，係具有用以調整中間導引部33之位置的功能。
具體而言，如第7圖所示，本發明之實施形態4的電連接裝置10係具備位置調整部200，該位置調整部200係在使上方導引部31之上方導孔31a朝向第7圖之符號50a所示的箭頭之方向移動之後，使與厚度方向Y正交之正交方向X上的中間導引部33之中間導孔33a的位置，對合於下方導引部32之下方導孔32a的位置。
位置調整部200，係配置於上方導引部31與下方導引部32之間。位置調整部200，亦可備置於可動室33s內。例如，位置調整部200，亦可為使中間導引部33朝向正交方向X移動的彈性體210。彈性體210，例如是線圈彈簧(coil spring)或板簧等。彈性體210，係配置於中間導引部33與間隔件構件34之間。彈性體210，係在中間導引部33之正交方向X的端部配置有一個或複數個。
藉此，在解除探針20之前端部20a之由半導體晶圓14所為的壓入，並使上方導引部31之上方導孔31a移動時，中間導引部33會藉由彈性體210之復原力朝向第7圖之符號50b所示之箭頭的方向移動，故而可以使中間導引部33之中間導孔33a的位置對合於下方導引部32之下方導孔32a的位置。亦即，在正交方向X上，可使上方導引部31之上方導孔31a的位置、中間導引部33之中間導孔33a的位置、以及下方導引部32之下方導孔32a的位置沿著直線CL來對合。
再者，亦可在中間導引部33與上方支撐構件38之間設置彈性體210，以使中間導引部33不僅朝向正交方向X還朝向厚度方向Y移動。亦即，彈性體210，亦可設置成使中間導引部33朝向厚度方向Y或正交方向之至少一方移動。
又，在彈性體210，亦可應用藉由電壓而進行伸縮的壓電元件(piezo element)。在此情況下，位置調整部200，亦可復具備控制提供給壓電元件之電壓的控制部(未圖示)，且藉由控制部之控制在任意之時序(timing)使中間導引部33之位置對合。
又，如第8圖所示，位置調整部200，亦可具備使中間導引部33朝向正交方向X移動的螺桿部220。具體而言，位置調整部200，亦可在中間導引部33之正交方向X的端部，具備一個或複數個形成於間隔件構件34的螺孔220a、以及螺合於螺孔220a的螺桿部220。在此情 況下，只要是僅在交換探針20時安裝螺桿部220，並藉由調整螺桿部220之鎖緊量來使中間導引部33之位置對合即可。
[本發明之其他的實施形態]
以上，雖然已使用上述之實施形態來詳細說明本發明，但是對於該發明所屬技術領域中具有通常知識者而言，可明白本發明並非被限定於本說明書中所說明的實施形態。
例如，第9圖係概略地顯示本發明之其他實施形態的電連接裝置10之一部分的局部放大剖視圖。如第9圖所示，可動室33s，係具有下方支撐構件35之上表面35x來作為載置中間導引部33的載置面，該上表面35x亦可以傾斜的方式所構成。
在第9圖之例中，上表面35x，係朝向下方導孔32a傾斜。並且，藉由中間導引部33滑動於上表面35x，就能使正交方向X上的中間導孔33a之位置對合於下方導孔32a之位置。
具體而言，下方支撐構件35之上表面35x係傾斜成以下方導孔32a作為中心的缽狀，並且中間導引部33之側面33x係以對向於下方支撐構件35之上表面35x的方式傾斜。
藉此，在解除了探針20之前端部20a的壓入時，中間導引部33，係沿著下方支撐構件35之上表面35x滑動，故而可以使中間導引部33移動至預定位置。亦 即，可使中間導引部33移動，俾使中間導引部33之中間導孔33a的位置與下方導引部32之下方導孔32a的位置對合。
又，雖然在上述之實施形態中，係已列舉探針20具有彎曲部20z的情況為例加以說明，但是本發明並非被限定於此種的構成。在本發明的電連接裝置中，探針20，亦可不一定要具有彎曲部20z。例如，探針20，亦可為延伸成直線狀的形狀。
因在本發明的電連接裝置中，係設置有能夠移動的中間導引部33，故而在不具有彎曲部20z的探針20滑動於中間導孔33a之邊緣部33b的情況下，亦可以防止被強力緊壓於中間導孔33a之邊緣部33b。藉此，可以防止探針20摩擦到中間導孔33a之邊緣部33b而損傷。
如此，本發明並非被限定於上述實施形態之狀態，而是可以在實施階段未脫離其要旨之範圍內變化構成要素來具體化。又，可以藉由上述實施形態所揭示的複數個構成要素之適當組合，來形成各種的發明。

Claims (10)

  1. 一種電連接裝置，係具備：複數個探針，係前端部被按壓於被檢查體；探針基板，係連接於前述複數個探針之基端部；以及探針支撐體，係在前述複數個探針之前端部被按壓於前述被檢查體時，防止前述複數個探針之鄰接的探針彼此之干涉；其中前述探針支撐體係配置於前述探針基板之下方，且具備板狀之導引部，該導引部係具有要插通前述複數個探針的複數個導孔；前述導引部係包含上方導引部、下方導引部、以及配置於前述上方導引部與前述下方導引部之間的中間導引部；前述上方導引部係具有複數個上方導孔，前述中間導引部係具有複數個中間導孔，並且前述下方導引部係具有複數個下方導孔；前述複數個探針係藉由分別插通於前述上方導孔、前述中間導孔、及前述下方導孔來導向前述被檢查體；前述中間導引部係設置成能夠朝向與前述中間導引部之厚度方向正交的正交方向移動。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之電連接裝置，其中，前述複數個探針，係在前述上方導引部與前述下方導引 部之間具有在分別被按壓於前述被檢查體時會彎曲的彎曲部。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之電連接裝置，其中，前述中間導引部，係設置成能夠朝向前述中間導引部之厚度方向移動。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之電連接裝置，其中，前述導引部，係復包含：輔助固定導引部，該輔助固定導引部係固定設置在前述中間導引部與前述下方導引部之間；前述輔助固定導引部係具有輔助固定導孔；前述複數個探針，係分別插通於前述上方導孔、前述中間導孔、前述輔助固定導孔及前述下方導孔。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之電連接裝置，其中，在前述上方導引部與前述下方導引部之間，具備限定前述中間導引部之可移動範圍的可動室。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之電連接裝置，其中，在前述可動室具備位置調整部，該位置調整部係使與厚度方向正交之正交方向上的前述中間導孔之位置，對合於前述下方導孔之位置。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之電連接裝置，其中，在前述上方導引部與前述下方導引部之間具備位置調整部，該位置調整部係使與厚度方向正交之正交方向上的前述中間導孔之位置，對合於前述下方導孔之位置。
  8. 如申請專利範圍第6項所述之電連接裝置，其中，前 述位置調整部，係使前述中間導引部朝向前述中間導引部之厚度方向或正交方向的至少一方移動的彈性體。
  9. 如申請專利範圍第5項所述之電連接裝置，其中，前述可動室，係具有載置前述中間導引部的載置面；前述載置面係朝向前述下方導孔傾斜，以藉由前述中間導引部滑動於前述載置面，來使與厚度方向正交之正交方向上的前述中間導孔之位置對合於前述下方導孔之位置。
  10. 如申請專利範圍第2項所述之電連接裝置，其中，前述導引部係包含另一中間導引部，該另一中間導引部係位在前述中間導引部與前述上方導引部之間，並設置成能夠朝向與厚度方向正交之正交方向移動；前述另一中間導引部，係配置於比前述彎曲部更靠厚度方向之上方。
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