TW201708623A - 鍍覆裝置、鍍覆方法、及基板固持器 - Google Patents

鍍覆裝置、鍍覆方法、及基板固持器 Download PDF

Info

Publication number
TW201708623A
TW201708623A TW105119892A TW105119892A TW201708623A TW 201708623 A TW201708623 A TW 201708623A TW 105119892 A TW105119892 A TW 105119892A TW 105119892 A TW105119892 A TW 105119892A TW 201708623 A TW201708623 A TW 201708623A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
power supply
substrate
current
plating
supply member
Prior art date
Application number
TW105119892A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI687555B (zh
Inventor
Junko Mine
Tsutomu Nakada
Mitsutoshi Yahagi
Original Assignee
Ebara Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ebara Corp filed Critical Ebara Corp
Publication of TW201708623A publication Critical patent/TW201708623A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI687555B publication Critical patent/TWI687555B/zh

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/12—Semiconductors
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/06—Suspending or supporting devices for articles to be coated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/001—Apparatus specially adapted for electrolytic coating of wafers, e.g. semiconductors or solar cells
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/004—Sealing devices
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/005—Contacting devices
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/007—Current directing devices
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/02—Tanks; Installations therefor
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • C25D21/10—Agitating of electrolytes; Moving of racks
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
    • C25D21/12—Process control or regulation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00—Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/18—Electroplating using modulated, pulsed or reversing current
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00—Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/12—Semiconductors
    • C25D7/123—Semiconductors first coated with a seed layer or a conductive layer
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
    • H01L21/68785—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by the mechanical construction of the susceptor, stage or support
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00—Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/10—Bump connectors ; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/11—Manufacturing methods
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00—Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/008—Current shielding devices
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/11—Manufacturing methods
    • H01L2224/114—Manufacturing methods by blanket deposition of the material of the bump connector
    • H01L2224/1146—Plating
    • H01L2224/11462—Electroplating
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/12—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process
    • H01L2224/13—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors prior to the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/13001—Core members of the bump connector
    • H01L2224/13099—Material
    • H01L2224/131—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof
    • H01L2224/13138—Material with a principal constituent of the material being a metal or a metalloid, e.g. boron [B], silicon [Si], germanium [Ge], arsenic [As], antimony [Sb], tellurium [Te] and polonium [Po], and alloys thereof the principal constituent melting at a temperature of greater than or equal to 950°C and less than 1550°C
    • H01L2224/13147—Copper [Cu] as principal constituent

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)

Abstract

使鍍覆於多角形基板之膜的面內均勻性提高。 本發明具有：保持陽極而構成之陽極固持器；保持多角 形基板而構成之基板固持器；用於收容前述陽極固持器及前述基板固持器，並將前述陽極及前述基板浸漬於鍍覆液的鍍覆槽；及用於控制在前述陽極與前述基板之間流動的電流之控制裝置。前述基板固持器具有沿著前述多角形基板之各邊而配置的複數個供電部件。前述控制裝置係以可同時對前述複數個供電部件供給至少2個不同值之電流的方式，可控制電流而構成。

Description

鍍覆裝置、鍍覆方法、及基板固持器
本發明係關於一種鍍覆裝置、鍍覆方法、及基板固持器。
過去係進行在設於半導體晶圓等基板表面的微細配線用溝、孔或抗蝕層開口部形成配線，或是在基板表面形成與封裝電極等電性連接之凸塊(突起狀電極)。形成該配線及凸塊之方法，例如習知有電解鍍覆法、蒸鍍法、印刷法、球凸塊法等。伴隨半導體晶片的I/0數增加及窄間距化，則多採用可微細化且性能比較穩定之電解鍍覆法。
以電解鍍覆法形成配線或凸塊時，係在設於基板上之配線用溝、孔、或抗蝕層開口部的障壁金屬表面形成低電阻種層(供電層)。而在該種層表面生長鍍覆膜。
一般而言，鍍覆之基板在其周緣部具有電接點。因而，對應於鍍覆液之電阻值與從基板中央部至電接點之種層的電阻值之合成電阻的電流流至基板中央部。另外，大致對應於鍍覆液之電阻值的電流流至基板周緣部(電接點附近)。亦即，從基板中央部至電接點之種層的電阻值部分之電流不易流至基板中央部。電流集中於基板周緣部之現象稱為終端效應(terminal effect)。
另外，以電解鍍覆法鍍覆之基板的形狀，已知為圓形基板、或四角形基板(例如參照專利文獻1及專利文獻2)。
圓形基板中，從圓形基板中央部至基板周緣部的距離在基板全周相同。因而，鍍覆於圓形基板時之終端效應，在基板全部周圍大致同樣地產生。因此，對圓形基板鍍覆時，在基板中心部之鍍覆速度比基板周緣部低，且在基板中心部之鍍覆膜的膜厚比在基板周緣部之鍍覆膜薄。過去為了抑制因終端效應造成膜厚之面內均勻性降低，係進行從圓形基板周緣部均等地供給電流，並使用例如揭示於專利文獻3之調整板，來調節施加於圓形基板之電場。
【先前技術文獻】
【專利文獻】
[專利文獻1]日本特開平09-125294號公報
[專利文獻2]日本特公平03-029876號公報
[專利文獻3]日本特開2005-029863號公報
但是，多角形基板中，從多角形基板中央部至多角形基板周緣部的距離依位置而異。亦即，多角形基板之邊的中央部(頂點間之中央部)距基板中心部之距離比較短，而多角形基板之頂點附近距基板中心部的距離比較長。因而，鍍覆於多角形基板時的終端效應在基板全部周圍不均勻地產生。
本發明人檢討對多角形基板之鍍覆方法及鍍覆裝置時，檢討了伴隨電解鍍覆之進展而電流密度分佈在多角形基板上的變化。第二十一A圖至第二十一D圖係顯示鍍覆於多角形基板之一例的四角形基板時，伴隨鍍 覆之進展電流密度分布的變化之概略圖。第二十一A圖顯示鍍覆初期四角形基板之電流密度分布。如第二十一A圖所示，由於四角形基板S1之中心部C1因終端效應其電阻值比周緣部高，因此電流密度最小。第二十一A圖所示之階段，由於四角形基板S1之邊中央區域A1距四角形基板S1之中心部C1的距離比較短，因此在邊中央區域A1之電阻值比角部區域A2低。因而，在邊中央區域A1電場比較集中而電流密度高。另外，四角形基板S1頂點附近之角部區域A2及位於邊中央區域A1與角部區域A2之間的中間區域A3，由於距中心部C1之距離比邊中央區域A1長，因此電阻值比邊中央區域A1高。因而，第二十一A圖所示之階段，集中於角部區域A2及中間區域A3之電場不如邊中央區域A1。
鍍覆進行時，如第二十一B圖所示，電場亦開始向距中心部C1之距離比較長的角部A2集中。另外，邊中央區域A1及中間區域A3中之電流密度，比第二十一A圖所示之邊中央區域A1及中間區域A3中的電流密度小。此因，隨著鍍覆進行膜厚增加，而終端效應的影響逐漸變小。
進一步藉由鍍覆進行膜厚增加，如第二十一C圖所示，緩和了電場在邊中央區域A1之集中。因而，邊中央區域A1之電流密度與中間區域A3的電流密度之差比第二十一A圖及第二十一B圖小。另外，電場對角部區域A2之集中，即使鍍覆進行仍不太變化。
進一步鍍覆進行時，如第二十一D圖所示，邊中央區域A1之電流密度與中間區域A3的電流密度幾乎無差異。另外，在角部區域A2繼續發生電場集中。
如第二十一A圖至第二十一D圖有關之說明，四角形基板S1 之邊中央區域A1係在鍍覆之初期階段電場集中，隨著鍍覆進行而電流密度變小。另外，四角形基板S1之中間區域A3係在鍍覆之初期階段電流密度比邊中央區域A1小，隨著鍍覆進行與邊中央區域A1之差異變小。因此，邊中央區域A1之鍍覆的膜厚比中間區域A3有增加的趨勢。
另外，在四角形基板S1之角部區域A2，雖鍍覆初期階段電場集中小一些，但從鍍覆初期階段至結束時，電場一貫地繼續集中。因而，角部區域A2之膜厚比邊中央區域A1及中間區域A3有增加的趨勢。
如以上，由於在多角形基板之終端效應依基板周緣部之位置而異，因此在基板之周緣部產生電流密度分布不均勻。因而，本發明人發現鍍覆於多角形基板之膜的面內均勻性比圓形基板差的問題。
本發明係鑑於上述問題者，其目的之一在使鍍覆於多角形基板之膜的面內均勻性提高。
本發明第一種形態提供一種鍍覆裝置。該鍍覆裝置具有：陽極固持器，其係保持陽極而構成；基板固持器，其係保持多角形基板而構成；鍍覆槽，其係用於收容前述陽極固持器及前述基板固持器，並將前述陽極及前述基板浸漬於鍍覆液；及控制裝置，其係用於控制在前述陽極與前述基板之間流動的電流。前述基板固持器具有複數個供電部件，其係沿著前述多角形基板之各邊而配置。前述控制裝置係以可同時對前述複數個供電部件供給至少2個不同值之電流的方式，可控制電流而構成。
本發明第二種形態如上述鍍覆裝置之第一種形態，其中前述供電部件包含：第一供電部件，其係可接觸於包含前述多角形基板之邊的 中央部之邊中央區域；第二供電部件，其係可接觸於與前述邊中央區域鄰接的中間區域；及/或第三供電部件，其係可接觸於比前述中間區域接近前述多角形基板之角部的區域；前述控制裝置係以對前述第一供電部件、前述第二供電部件及/或前述第三供電部件分別供給不同值之電流的方式，可控制電流而構成。
本發明第三種形態如上述鍍覆裝置之第二種形態，其中前述控制裝置係以流入前述第二供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件之電流之值大的方式，可控制前述電流而構成。
本發明第四種形態如上述鍍覆裝置之第二或第三種形態，其中前述控制裝置係以開始鍍覆時將第一值之電流供給至前述第一供電部件，而後將比前述第一值大之第二值的電流供給至前述第一供電部件之方式，可控制前述電流而構成。
本發明第五種形態如上述鍍覆裝置之第四種形態，其中前述控制裝置係以流入前述第一供電部件之電流從前述第一值階段性增加至前述第二值的方式，可控制前述電流而構成。
本發明第六種形態如上述鍍覆裝置之第四種形態，其中前述控制裝置係以流入前述第一供電部件之電流從前述第一值連續性增加至前述第二值的方式，可控制前述電流而構成。
本發明第七種形態如上述鍍覆裝置之第二種形態至第六種形態中任何一種形態，其中前述控制裝置係以流入前述第三供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件的電流之值小之方式，可控制前述電流而構成。
本發明第八種形態如上述鍍覆裝置之第二種形態至第七種形態中任何一種形態，其中前述第三供電部件係以接觸於前述多角形基板之邊的交點以外區域之方式構成。
本發明第九種形態提供一種鍍覆方法，係電流在陽極與多角形基板之間流動，而對前述多角形基板鍍覆。該方法具有以下工序：沿著前述多角形基板之各邊而使複數個供電部件接觸；將前述陽極與前述多角形基板浸漬於鍍覆液；及同時對前述複數個供電部件供給至少2個不同值之電流。
本發明第十種形態如上述鍍覆方法之第九種形態，其中使前述複數個供電部件接觸的工序包含以下工序：使第一供電部件接觸於包含前述多角形基板之邊的中央部之邊中央區域；使第二供電部件接觸於與前述邊中央區域鄰接的中間區域；且/或使第三供電部件接觸於比前述中間區域接近前述多角形基板之角部的區域；供給前述電流之工序包含以下工序：對前述第一供電部件、前述第二供電部件及/或前述第三供電部件分別供給不同值之電流。
本發明第十一種形態如上述鍍覆方法之第十種形態，其中供給前述電流之工序包含以下工序：以流入前述第二供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件的電流之值大之方式，供給電流至前述第一供電部件及前述第二供電部件。
本發明第十二種形態如上述鍍覆方法之第十種形態或第十一種形態，其中供給前述電流之工序包含以下工序：開始鍍覆時將第一值之電流供給至前述第一供電部件，而後將比前述第一值大之第二值的電流 供給至前述第一供電部件。
本發明第十三種形態如上述鍍覆方法之第十二種形態，其中供給前述電流之工序包含以下工序：使流入前述第一供電部件之電流從前述第一值階段性增加至前述第二值。
本發明第十四種形態如上述鍍覆方法之第十二種形態，其中供給前述電流之工序包含以下工序：使流入前述第一供電部件之電流從前述第一值連續性增加至前述第二值。
本發明第十五種形態如上述鍍覆方法之第十種形態至第十四種形態中任何一種形態，其中供給前述電流之工序包含以下工序：以流入前述第三供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件的電流之值小之方式，供給電流至前述第一供電部件及前述第三供電部件。
本發明第十六種形態如上述鍍覆方法之第十種形態至第十五種形態中任何一種形態，其中使第三供電部件接觸於前述多角形基板之前述角部區域的工序包含以下工序：使前述第三供電部件接觸於前述多角形基板之邊的交點以外之區域。
本發明第十七種形態提供一種基板固持器，係用於保持多角形基板。基板固持器具有：基板保持面，其係用於保持前述多角形基板；及複數個供電部件，其係用於對保持於前述基板保持面之前述多角形基板供電；前述供電部件具有接點部，其係構成可與前述多角形基板接觸，前述接點部以沿著前述多角形基板之邊的方式概略直線狀整齊排列。
本發明第十八種形態如上述基板固持器之第十七種形態，其中基板固持器具有：外部接點部，其係與用於供給電流至前述供電部件的 電源電性連接；及連接單元，其係連接前述外部接點部與前述供電部件；前述供電部件包含：第一供電部件，其係可接觸於包含前述多角形基板之邊的中央部之邊中央區域；第二供電部件，其係可接觸於與前述邊中央區域鄰接的中間區域；及/或第三供電部件，其係可接觸於比前述中間區域接近前述多角形基板之角部的區域；前述連接單元具有彼此電性獨立之複數個連接單元，其係從前述外部接點部分別連接於前述第一供電部件、前述第二供電部件及/或第三供電部件。
本發明第十九種形態如上述基板固持器之第十八種形態，其中前述外部接點部具有：複數個第一外部接點部，其係經由前述連接單元而與前述第一供電部件連接；複數個第二外部接點部，其係經由前述連接單元而與前述第二供電部件連接；及/或複數個第三外部接點部，其係經由前述連接單元而與前述第三供電部件連接；前述連接單元具有：複數條第一接點配線，其係分別連接於前述複數個第一外部接點部；第一板，其係與前述複數條第一接點配線連接；第一供電配線，其係電性連接前述第一板與前述第一供電部件；複數條第二接點配線，其係分別連接於前述複數個第二外部接點部；第二板，其係與前述複數條第二接點配線連接；及第二供電配線，其係電性連接前述第二板與前述第二供電部件；與/或複數條第三接點配線，其係分別連接於前述複數個第三外部接點部；第三板，其係與前述複數條第三接點配線連接；及第三供電配線，其係電性連接前述第三板與前述第三供電部件。
本發明第二十種形態如上述基板固持器之第十七種形態至第十九種形態中任何一種形態，其中前述第三供電部件係以接觸於前述多 角形基板之邊的交點以外區域之方式構成。
採用本發明可使鍍覆於多角形基板之膜的面內均勻性提高。
10‧‧‧鍍覆單元
12‧‧‧陽極
13‧‧‧陽極固持器
14‧‧‧鍍覆槽
15A、15B、15C‧‧‧電源
16‧‧‧槳葉
17‧‧‧控制裝置
20‧‧‧調整板
21‧‧‧開口
24‧‧‧凸部件
30‧‧‧基板固持器
31‧‧‧第一保持部件
32‧‧‧第二保持部件
32a‧‧‧密封固持器
32b‧‧‧壓環
33‧‧‧固定夾
34‧‧‧保持面
35‧‧‧支臂
37‧‧‧外部接點部
37A‧‧‧第一外部接點部
37B‧‧‧第二外部接點部
37C‧‧‧第三外部接點部
37D‧‧‧第四外部接點部
38A、38B、38C‧‧‧導電體
39‧‧‧突條部
40‧‧‧開口
41‧‧‧供電部件
41A‧‧‧第一供電部件
41B‧‧‧第二供電部件
41C‧‧‧第三供電部件
42A‧‧‧第一腳部
42B‧‧‧第二腳部
42C‧‧‧第三腳部
43A‧‧‧第一接點部
43B‧‧‧第二接點部
43C‧‧‧第三接點部
45A‧‧‧第一接點配線
45B‧‧‧第二接點配線
45C‧‧‧第三接點配線
45D‧‧‧第四接點配線
46A‧‧‧第一板
46B‧‧‧第二板
46C‧‧‧第三板
46D‧‧‧第四板
47A‧‧‧第一供電配線
47B‧‧‧第二供電配線
47C‧‧‧第三供電配線
47D‧‧‧第四供電配線
100‧‧‧匣盒
102‧‧‧匣盒台
104‧‧‧對準器
106‧‧‧自旋沖洗乾燥機
120‧‧‧基板裝卸部
122‧‧‧基板搬送裝置
124‧‧‧暫存盒
126‧‧‧預濕槽
128‧‧‧預浸槽
130a‧‧‧第一洗淨槽
130b‧‧‧第二洗淨槽
132‧‧‧鼓風槽
134‧‧‧鍍覆槽
136‧‧‧溢流槽
140‧‧‧基板固持器搬送裝置
142‧‧‧第一輸送機
144‧‧‧第二輸送機
146‧‧‧槳葉驅動裝置
150‧‧‧軌條
152‧‧‧放置板
A1‧‧‧邊中央區域
A2‧‧‧角部區域
A3‧‧‧中間區域
C1‧‧‧中心部
Wf‧‧‧多角形基板
S1‧‧‧四角形基板
第一圖係本發明實施形態之電解鍍覆裝置的整體配置圖。
第二圖係鍍覆裝置中具備之鍍覆單元的概略側剖面圖(縱剖面圖)。
第三圖係鍍覆單元使用之本實施形態的基板固持器之立體圖。
第四圖係顯示基板固持器之保持面的俯視圖。
第五圖係第二保持部件之背面側的前視圖。
第六圖係設於基板固持器之外部接點部的前視圖。
第七圖係顯示設於保持面內部之板的俯視圖。
第八圖係顯示基板固持器另外實施形態之立體圖。
第九圖係顯示基板與供電部件之位置關係的概略圖。
第十圖係顯示流入電路A、電路B、及電路C之電流的方案(recipe)例之曲線圖。
第十一圖係顯示流入電路A、電路B、及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第十二圖係顯示流入電路A、電路B、及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第十三圖係顯示流入電路A、電路B、及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第十四圖係顯示流入電路A、電路B、及電路C之電流的方案例之曲線 圖。
第十五圖係顯示基板與供電部件之位置關係的概略圖。
第十六圖係顯示流入電路A及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第十七圖係顯示流入電路A及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第十八圖係顯示流入電路A及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第十九圖係顯示流入電路A及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第二十圖係顯示流入電路A及電路C之電流的方案例之曲線圖。
第二十一A圖係顯示對多角形基板之一例的四角形基板進行鍍覆時，伴隨鍍覆之進展電流密度分布變化的概略圖。
第二十一B圖係顯示對多角形基板之一例的四角形基板進行鍍覆時，伴隨鍍覆之進展電流密度分布變化的概略圖。
第二十一C圖係顯示對多角形基板之一例的四角形基板進行鍍覆時，伴隨鍍覆之進展電流密度分布變化的概略圖。
第二十一D圖係顯示對多角形基板之一例的四角形基板進行鍍覆時，伴隨鍍覆之進展電流密度分布變化的概略圖。
以下，參照圖式說明本發明之實施形態。以下說明之圖式中，對同一或相當之元件註記同一符號並省略重複之說明。
第一圖顯示本發明實施形態之鍍覆裝置的整體配置圖。如第一圖所示，該鍍覆裝置具有：搭載收納半導體晶圓等基板之匣盒(cassette)100的2台匣盒台102；將基板之定向平面(Orientation flat)或凹槽等位置對準指定方向的對準器104；及使鍍覆處理後之基板高速旋轉而乾燥的自旋沖洗 乾燥機106。在自旋沖洗乾燥機106附近設有放置基板固持器30進行基板之裝卸的基板裝卸部120。在此等單元100、104、106、120的中央配置有在此等單元間搬送基板之由搬送用機器人構成的基板搬送裝置122。
基板裝卸部120；進行基板固持器30之保管及暫時放置的暫存盒(stocker)124；使基板浸漬於純水之預濕槽126；蝕刻除去形成於基板表面之種層等導電層的表面氧化膜之預浸槽128；與基板固持器30一起以洗淨液(純水等)洗淨預浸後之基板的第一洗淨槽130a；進行洗淨後基板之脫液的鼓風槽132；與基板固持器30一起以洗淨液洗淨鍍覆後之基板的第二洗淨槽130b；及鍍覆單元10依序配置於鍍覆裝置。
該鍍覆單元10在溢流槽136內部收納複數個鍍覆槽14而構成。各鍍覆槽14在內部收納1個基板，使基板浸漬於保持於內部之鍍覆液中，對基板表面實施銅鍍覆等鍍覆。
鍍覆裝置具有基板固持器搬送裝置140，其係位於此等各機器側方，並採用在此等各機器之間與基板一起搬送基板固持器30的例如線性馬達方式。該基板固持器搬送裝置140具有：在基板裝卸部120、暫存盒124、預濕槽126、預浸槽128、第一洗淨槽130a及鼓風槽132之間搬送基板的第一輸送機(first transporter)142；及在第一洗淨槽130a、第二洗淨槽130b、鼓風槽132及鍍覆單元10之間搬送基板的第二輸送機(second transporter)144。鍍覆裝置亦可不具備第二輸送機144，而僅具備第一輸送機142。
在夾著該基板固持器搬送裝置140之溢流槽136的相反側配置有槳葉驅動裝置146，其係驅動位於各鍍覆槽14之內部，作為攪拌鍍覆槽 14內之鍍覆液的攪拌棒之槳葉16(參照第二圖)。
基板裝卸部120具備沿著軌條150橫方向滑動自如之平板狀放置板152。2個基板固持器30以水平狀態橫向放置於該放置板152上，在一方基板固持器30與基板搬送裝置122之間進行基板的交接後，放置板152橫方向滑動，並在另一方基板固持器30與基板搬送裝置122之間進行基板的交接。
第二圖係第一圖所示之鍍覆裝置中具備的鍍覆單元之概略側剖面圖(縱剖面圖)。如第二圖所示，鍍覆單元10具有：以收容鍍覆液、基板固持器30及陽極固持器13而構成的鍍覆槽14；及溢流槽(無圖示)。基板固持器30係以保持多角形之基板Wf的方式構成，陽極固持器13是以保持具有金屬表面之陽極12的方式構成。
鍍覆單元10進一步具有：複數個(本實施形態係3個)電源15A、15B、15C；及用於分別獨立控制電源15A、15B、15C之控制裝置17。電源15A、15B、15C係以分別電性連接於陽極12與基板Wf，使電流在陽極12與基板Wf之間流動的方式構成。控制裝置17藉由控制電源15A、15B、15C，以對設於基板固持器30之後述的第一供電部件41A、41B、41C分別供給不同值電流之方式控制電流。
鍍覆單元10具有：用於調整基板Wf與陽極12間之電場的調整板20；及用於攪拌鍍覆液之槳葉16。調整板20配置於基板固持器30與陽極12之間。具體而言，調整板20之下端部係插入設於鍍覆槽14底面的一對凸部件24間，且調整板20對鍍覆槽14固定。槳葉16配置於基板固持器30與調整板20之間。
調整板20在概略中央部具有對應於基板Wf之形狀的開口21。在調整板20收容於鍍覆槽14之狀態下，對基板Wf與陽極12施加電壓時，來自陽極12之電流通過開口21而流入基板Wf。換言之，調整板20遮蔽形成於陽極12與基板Wf之間的一部分電場。
第三圖係第二圖所示之鍍覆單元10使用的本實施形態之基板固持器30的立體圖，第四圖係顯示基板固持器30之保持面的俯視圖。如第三圖所示，基板固持器30具有：例如氯乙烯製之平板狀的第一保持部件31；及安裝於該第一保持部件31之第二保持部件32。第二保持部件32係以將基板Wf按壓於第一保持部件31之方式可裝卸地安裝於第一保持部件31。
在基板固持器30之第一保持部件31的概略中央部設有用於放置基板Wf(圖示之例係四角形)而保持的保持面34(相當於基板保持面之一例)(參照第四圖)。亦即，從第一保持部件31拆卸第三圖所示之第二保持部件32，而拆卸基板Wf時，保持面34作為第一保持部件31之一部分而出現。在第一保持部件31之保持面34周圍，圓周狀等間隔設有具有突出於內方之突出部的倒L字狀固定夾(clamper)33。
在基板固持器30之第一保持部件31端部連結有搬送或懸掛支撐基板固持器30時成為支撐部的一對概略L字狀之支臂35。例如在第一圖所示之暫存盒124中，藉由在暫存盒124之周壁上面掛上支臂35，而垂直地懸掛支撐基板固持器30。又，該懸掛支撐之基板固持器30的支臂35係以基板固持器搬送裝置140之第一輸送機142或第二輸送機144握持來搬送基板固持器30。另外，在預濕槽126、預浸槽128、洗淨槽130a、130b、鼓風槽132及鍍覆槽134中，基板固持器30依然經由支臂35而懸掛支撐於此等之周 壁。
又，在支臂35之一方設有與第一圖所示之電源15A、15B、15C電性連接的外部接點部37。該外部接點部37經由後述之複數個連接單元而與設於保持面34外周的複數個導電體38A、38B、38C(參照第四圖)電性連接。
第二保持部件32具有密封固持器32a，其係具有露出基板Wf之概略四角形的開口40。在密封固持器32a之外周部旋轉自如地安裝有用於將密封固持器32a按壓於第一保持部件54而固定的壓環32b。壓環32b在其外周部具有突出於外方之複數個突條部39。突條部39之上面與固定夾33之內方突出部的下面具有沿著旋轉方向彼此反方向傾斜的錐角面。
保持基板時，首先，在拆卸了第二保持部件32之狀態下，在第一保持部件31之保持面34(參照第四圖)上放置基板Wf，並將第二保持部件32安裝於第一保持部件31。繼續，使壓環32b順時鐘方向旋轉，使壓環32b之突條部39滑入固定夾33的內方突出部內部(下側)。藉此，經由分別設於突條部39與固定夾33之錐角面，將第一保持部件31與第二保持部件32彼此旋緊鎖住而保持基板Wf。解除基板Wf之保持時，係在鎖住第一保持部件31與第二保持部件32之狀態下，使壓環32b逆時鐘方向旋轉。藉此，壓環32b之突條部39從倒L字狀的固定夾33脫離，而解除基板Wf的保持。
其次，詳細說明第三圖所示之第二保持部件32。第五圖係第二保持部件32之背面側的前視圖。此處所謂背面側係指將第三圖所示之第二保持部件32的面作為表面側時的背面側。如第五圖所示，第二保持部件32具有沿著開口40周圍而配置的複數個供電部件41。第二保持部件32安裝 於第一保持部件31時，由於開口40係以與基板Wf之各邊概略一致的方式配置，因此，此時供電部件41係沿著基板Wf之各邊而配置於基板Wf上。
供電部件41包含：可接觸於包含基板Wf之邊的中央部之邊中央區域的第一供電部件41A；可接觸於與邊中央區域鄰接之中間區域的第二供電部件41B；及可接觸於比中間區域接近基板Wf之角部的角部區域之第三供電部件41C。第一供電部件41A具有：以與第四圖所示之導電體38A接觸的方式而構成的第一腳部42A；及以接觸於基板Wf之邊中央區域的方式而構成的第一接點部43A。第二供電部件41B具有：以與第四圖所示之導電體38B接觸的方式而構成的第二腳部42B；及以接觸於基板Wf之中間區域的方式而構成的第二接點部43B。第三供電部件41C具有：以與第四圖所示之導電體38C接觸的方式而構成的第三腳部42C；及以接觸於基板Wf之角部區域的方式而構成的第三接點部43C。由於本實施形態之基板固持器30係構成可保持多角形的基板Wf，因此第一接點部43A、第二接點部43B及第三接點部43C係沿著基板Wf之各邊概略直線狀整齊排列。
第一供電部件41A、第二供電部件41B及第三供電部件41C中係從第一圖所示之電源15A、15B、15C，經由第三圖所示之外部接點部37、後述之複數個連接單元、及第四圖所示之複數個導電體38A、38B、38C供給電流。供給至第一供電部件41A、第二供電部件41B及第三供電部件41C之電流，係從第一接點部43A、第二接點部43B及第三接點部43C分別供給至基板Wf。
第三供電部件41C以接觸於基板Wf之角部區域的方式而構成，然而不接觸於基板Wf之角(邊的交點)上。第三供電部件41C更宜以 不接觸於基板Wf之角(邊的交點)附近的方式配置。此處，所謂基板Wf之角附近，係指第二十一A圖至第二十一D圖所示之電場容易集中的區域，例如係指從角(邊之交點)起在一邊長度之20%長度以內範圍的區域。具體而言，例如係指從基板Wf之角(邊的交點)起約1.5cm的範圍，或是約1.0cm之範圍。如第二十一A圖至第二十一D圖有關之說明，多角形基板Wf之角部附近電場有集中之趨勢。因而，本實施形態之基板固持器30藉由第三供電部件41C接觸於基板Wf之角以外區域的方式而構成，可使電流不易流入電場容易集中的區域。並宜在從基板Wf之角起相當於基板Wf之一邊長度的20%之長度以內範圍，設置基板Wf與供電部件41不接觸的區域。此時，將供電部件41不與基板Wf接觸之區域設在從角起超過20%之區域時，亦即供電部件41與基板Wf之接觸部從角起的距離過大時，因為緩和角部附近之電場集中所以降低角部附近之鍍覆膜集中。另外，此時，因為邊中央區域之鍍覆膜厚增加，所以可能無法確保鍍覆膜厚之均勻性。
其次，詳細說明第三圖所示之外部接點部37。第六圖係設於基板固持器30之外部接點部37的前視圖。在第六圖中，擴大了基板固持器30之支臂35附近，並透過顯示支臂35。基板固持器30之外部接點部37具有：一對第一外部接點部37A、37A、一對第二外部接點部37B、37B、一對第三外部接點部37C、37C、及一對第四外部接點部37D、37D。第六圖中，在各個外部接點部37中僅顯示一方。第一外部接點部37A、第二外部接點部37B、第三外部接點部37C及第四外部接點部37D彼此電性獨立，可分別流入不同電流。
基板固持器30具有：分別連接第一外部接點部37A、37A之 一對第一接點配線45A、45A；分別連接於第二外部接點部37B、37B之一對第二接點配線45B、45B；分別連接於第三外部接點部37C、37C之一對第三接點配線45C、45C；及分別連接於第四外部接點部37D、37D之一對第四接點配線45D、45D。第六圖中，各個接點配線中僅顯示一方。第一接點配線45A、第二接點配線45B、第三接點配線45C及第四接點配線45D彼此電性獨立，可分別流入不同電流。
第七圖係顯示設於第四圖所示之保持面34內部的板之俯視圖。基板固持器30具有：連接於一對第一接點配線45A之第一板46A；連接於一對第二接點配線45B之第二板46B；連接於一對第三接點配線45C之第三板46C；及連接於一對第四接點配線45D之第四板46D。第一板46A、第二板46B、第三板46C及第四板46D彼此電性獨立，可分別流入不同電流。
第一板46A上經由第四圖所示之導電體38A而連接電性連接第一板46A與第一供電部件41A的第一供電配線47A。第二板46B上經由第四圖所示之導電體38B而連接電性連接第二板46B與第二供電部件41B的第二供電配線47B。第三板46C上經由第四圖所示之導電體38C而連接電性連接第三板46C與第三供電部件41C的第三供電配線47C。第四板46D上連接第四供電配線47D。本實施形態中第四外部接點部37D、37D、第四接點配線45D、45D、第四板46D與第四供電配線47D係預備之電流供給手段，且不構成對基板供給電流。依需要亦可將第四供電配線47D連接於供電部件41的任何一個。第一供電配線47A、第二供電配線47B、第三供電配線47C及第四供電配線47D彼此電性獨立，可分別流入不同電流。
第六圖及第七圖所示之第一接點配線45A、第一板46A及第 一供電配線47A構成電性連接第一外部接點部37A與第一供電部件41A的第一連接單元。又，第二接點配線45B、第二板46B及第二供電配線47B構成電性連接第二外部接點部37B與第二供電部件41B的第二連接單元。同樣地，第三接點配線45C、第三板46C及第三供電配線47C構成電性連接第三外部接點部37C與第三供電部件41C的第三連接單元。各連接單元彼此電性獨立，可分別流入不同電流。
如第七圖所示，在第一板46A上連接2個第一接點配線45A。藉此，即使2個第一外部接點部37A、37A間有電阻差時，藉由來自2個第一接點配線45A之電流流入1個第一板46A，可消除因該電阻差造成2個第一接點配線45A的電流值差異。第二板46B、第三板46C及第四板46D亦具有同樣效果。
第七圖所示之實施形態係第一供電配線47A、第二供電配線47B、第三供電配線47C及第四供電配線47D分別僅圖示1條。但是，不限於此，亦可依供電部件41數量適當增加配線數量，或使配線分歧。
如以上說明，本實施形態之基板固持器30由於第一接點部43A、第二接點部43B及第三接點部43C係沿著基板Wf之邊概略直線狀整齊排列，因此可保持多角形之基板Wf，並可對基板Wf供給電流。
又，基板固持器30可從外部接點部37經由第一連接單元、第二連接單元及第三連接單元，對第一供電部件41A、第二供電部件41B及第三供電部件41C分別供給不同值之電流。因而如後述，可依基板Wf周緣部產生之不均勻的終端效應，在基板Wf之邊中央區域、中間區域及角部區域流入不同值的電流，可使形成於基板Wf之膜厚的面內均勻性提高。
另外，基板固持器30係具有一對第一外部接點部37A、37A、一對第二外部接點部37B、37B、一對第三外部接點部37C、37C及一對第四外部接點部37D、37D者，不過不限於此。例如，亦可逐一設置各個外部接點部37。又，基板固持器30亦可構成僅具有第一外部接點部37A、第二外部接點部37B、第三外部接點部37C及第四外部接點部37D中至少一個任意之外部接點部。同樣地，基板固持器30亦可構成具有第一連接單元、第二連接單元及第三連接單元中至少一個任意之連接單元。
第八圖係顯示基板固持器30之另外實施形態的立體圖。圖示之基板固持器30與第三圖所示之基板固持器30比較，其保持之基板Wf的方向不同。如圖示，該基板固持器30係以基板固持器30懸掛於第二圖所示之鍍覆槽14的狀態下，基板Wf之角位於鉛直下方的方式保持基板Wf。藉此，從鍍覆槽14撈起基板固持器30時，附著於基板Wf等之鍍覆液沿著概略四角形之開口40邊緣移動於下方，可從開口40下方之角部將鍍覆液迅速脫液。因此，從鍍覆槽14撈起基板固持器30而搬出至下一個工序時，由於可在鍍覆槽14上迅速將鍍覆液脫液，因此可防止產生液體滴流等問題。
其次，說明在第二圖所示之鍍覆單元10中對基板Wf進行鍍覆的處理。如第二十一A圖至第二十一D圖相關之說明，多角形基板Wf會產生沿著周緣部不均勻的終端效應。因而，本發明之鍍覆裝置係使用具有沿著多角形基板之各邊而配置的複數個供電部件41之基板固持器30，並以控制裝置17對複數個供電部件41中之不同供電部件同時供給至少2個不同值之電流的方式構成。藉此，可依多角形基板Wf之不均勻的終端效應，而在多角形基板Wf周緣部流入適切值的電流。以下說明之複數個處理係例示地 說明：將3個不同值之電流同時流入基板Wf的處理(第九圖至第十四圖)；及將2個不同值之電流同時流入基板Wf的處理(第十五圖至第二十圖)。但是，不限於此等例，本發明之鍍覆裝置亦可將4個以上不同值之電流同時流入基板Wf。此時，可適當調整電流流入電接點之電源、外部接點部37、及連接單元(接點配線、板及供電配線)數量。如此，依不均勻之終端效應，藉由對基板Wf同時局部流入不同值之電流，可使膜厚的面內均勻性提高。
第九圖係顯示基板Wf與供電部件41之位置關係的概略圖。第九圖所示之例係基板Wf為四角形，且沿著其4邊配置供電部件41。供電部件41如第五圖相關之說明包含：可接觸於包含基板Wf之邊的中央部之邊中央區域的第一供電部件41A；可接觸於與邊中央區域鄰接之中間區域的第二供電部件41B；及可接觸於比中間區域接近基板Wf之角部的角部區域之第三供電部件41C。
第一供電部件41A與第二圖所示之電源15A電性連接，並藉由電源15A施加電壓。此處，將包含第一供電部件41A與電源15A之迴路稱為迴路A。第二供電部件41B與第二圖所示之電源15B電性連接，並藉由電源15B施加電壓。此處將包含第二供電部件41B與電源15B之迴路稱為迴路B。第三供電部件41C與第二圖所示之電源15C電性連接，並藉由電源15C施加電壓。此處將包含第三供電部件41C與電源15C之迴路稱為迴路C。
其次，說明電源15A、15B、15C流入迴路A、迴路B及迴路C之電流的方案例。第十圖至第十四圖係顯示流入迴路A、迴路B及迴路C之電流方案例的曲線圖。各曲線圖中，橫軸表示鍍覆時間(%)，縱軸表示每1個接點的平均電流值(A)。另外，電源15A、15B、15C係藉由第二圖所示 之控制裝置17控制，而使第十圖至第十四圖所示之電流流入迴路A、迴路B及迴路C。
第十圖所示之例係在整個鍍覆處理中，在迴路A上流入約8A之定電流，在迴路B上流入約10A之定電流，在迴路C上流入約1A之定電流。亦即，係以在迴路A、迴路B及迴路C上分別流入不同值之電流的方式來控制電源15A、15B、15C。
如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，基板Wf之邊中央區域A1中因終端效應，四角形基板S1之邊中央區域A1係在鍍覆的初期階段電場集中，並隨著鍍覆進行而電流密度減少。另外，四角形基板S1之中間區域A3係在鍍覆之初期階段電流密度比邊中央區域A1小，並隨著鍍覆進行而縮小與邊中央區域A1的差。因此，邊中央區域A1比中間區域A3有鍍覆之膜厚增加的趨勢。另外，四角形基板S1之角部區域A2中，從鍍覆初期階段至結束時，電場持續集中。因而，角部區域A2比邊中央區域A1及中間區域A3有膜厚增加的趨勢。
因而，第十圖所示之例係比其他迴路減少供給至與有膜厚最大趨勢之角部區域接觸的第三供電部件41C(迴路C)之電流值。另外，比迴路B減少供給至與電場比中間區域容易集中之邊中央區域接觸的第一供電部件41A(迴路A)之電流值。換言之，係比其他迴路增加供給至與基板Wf周緣部中電場最難集中之中間區域接觸的第二供電部件41B(迴路B)之電流值。
如第十圖所示，藉由控制電源15A、15B、15C，來補償因多角形基板Wf之終端效應及/或鍍覆槽構造造成電場不均勻而產生的膜厚 面內均勻性惡化，可使膜厚之面內均勻性提高。
第十一圖所示之例，係在迴路A上，於鍍覆時間50%以前流入約4A，從鍍覆時間50%起流入約8A電流；在迴路B上，整個鍍覆處理中流入約10A之電流；在迴路C上，於鍍覆時間50%之前流入約2A，從鍍覆時間50%起流入約1A之電流。另外，第十一圖將切換各迴路電流之時間設為鍍覆時間50%，不過亦可選擇例如鍍覆時間40%、或鍍覆時間60%之其他數值。此處所謂「鍍覆時間」係指以(鍍覆時間)=100×(經過時間)/(鍍覆完成所需時間)而計算的數值(單位：%)。因此，所謂鍍覆時間50%係指在鍍覆完成所需時間中經過一半時間的時刻。
第十一圖所示之例與第十圖所示之例比較，不同之處為在鍍覆中途變更流入迴路A及迴路C之電流值。亦即，使流入迴路A之電流值在鍍覆中途階段性增加。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，在基板之邊中央區域A1中，藉由終端效應而四角形基板S1之邊中央區域A1係在鍍覆之初期階段電場集中，並隨著鍍覆進行而電流密度減少。因而，在電場集中之鍍覆初期階段比較減少電流值，而在電流密度變小之鍍覆中途階段比較增大電流值。如此，由於依終端效應使電流值變化，因此比定電流持續流動的第十圖之例，可使膜厚之面內均勻性更加提高。
又，第十一圖所示之例，係使流入迴路C之電流值在鍍覆中途減少。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，在基板之角部區域A2中，雖然從鍍覆初期階段至結束時，電場一貫地持續集中，但是鍍覆初期階段電場之集中小一些。因而，鍍覆之初期階段係比較增加電流值，而在電場集中變大的鍍覆中途階段比較減少電流值。如此，由於依終端效應之 變化而使電流值變化，因此比持續流入定電流的第十圖之例，可使膜厚之面內均勻性更加提高。
第十二圖所示之例係在迴路A上，於鍍覆時間50%之前流入約4A，在鍍覆時間50%後流入約8A電流；而在迴路B上，係在整個鍍覆處理中流入約10A之電流；在迴路C上，於鍍覆時間50%之前流入0A，在鍍覆時間50%後流入約1A之電流。
第十二圖所示之例與第十一圖所示之例比較，不同之處為在鍍覆時間50%之前電流不流入迴路C。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，基板之角部區域A2比邊中央區域A1及中間區域A3有膜厚增加的趨勢。因而，第十二圖所示之例藉由在鍍覆處理中對迴路C設定不流入電流的時間，可抑制角部區域A2之膜厚增加。另外，第十二圖切換迴路之電流的時間為鍍覆時間50%，不過，亦可選擇例如鍍覆時間40%或鍍覆時間60%之其他數值。
第十三圖所示之例係在迴路A上，於鍍覆時間30%之前流入約2A，從鍍覆時間30%起至50%流入約4A，鍍覆時間50%後流入約8A之電流。又，在迴路B上，於整個鍍覆處理中流入約10A之電流；在迴路C上，於鍍覆時間50%之前流入0A，在鍍覆時間50%後流入約1A之電流。
第十三圖所示之例與第十二圖所示之例比較，不同之處為隨著鍍覆處理進行，流入迴路A之電流值以多階段增加。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，邊中央區域A1中之終端效應逐漸變化。亦即，邊中央區域A1之電場逐漸變化。因而，第十三圖所示之例，由於係依終端效應之變化而使流入迴路A的電流值多階段增加，因此，比流入迴路A之電流值 以1個階段變化的第十二圖之例，可使膜厚之面內均勻性更加提高。另外，第十三圖如在迴路A上流入約8A電流而切換電流的時間為鍍覆時間50%，不過亦可選擇例如鍍覆時間40%或鍍覆時間60%的其他數值。
與使迴路A之電流值多階段變化同樣地，依需要亦可使迴路B及迴路C的電流值以多階段變化。又，亦可使迴路A、迴路B及迴路C之電流值不多階段變化，而以一次函數之方式連續性變化。又，如第十四圖所示之例，迴路A、迴路B及迴路C之電流亦可流入脈衝電流。
以上，係說明對四角形之基板Wf進行鍍覆的處理，不過不限於此，對三角形、或五角形以上之基板Wf亦可以同樣之處理進行鍍覆。
其次，說明對基板Wf進行鍍覆之其他處理。第十五圖係顯示基板Wf與供電部件41之位置關係的概略圖。第十五圖所示之例，基板Wf係六角形，且沿著其6個邊配置供電部件41。
第十五圖所示之供電部件41包含：可接觸於包含基板Wf之邊的中央部之邊中央區域的第一供電部件41A；及可接觸於接近基板Wf之角部的角部區域之第三供電部件41C。亦即，不存在第五圖所示之對應於可接觸於與邊中央區域鄰接的中間區域之第二供電部件41B的供電部件。
第一供電部件41A與第二圖所示之電源15A電性連接，並藉由電源15A施加電壓。此處，將包含第一供電部件41A與電源15A之迴路稱為迴路A。第三供電部件41C與第二圖所示之電源15C電性連接，並藉由電源15C施加電壓。此處，將包含第三供電部件41C與電源15C之迴路稱為迴路C。
其次，說明電源15A、15C流入迴路A及迴路C之電流的方案 例。第十六圖至第二十圖係顯示流入迴路A及迴路C之電流的方案例之曲線圖。各曲線圖中，橫軸表示鍍覆時間(%)，縱軸表示電流方案(A)。另外，電源15A、15C係藉由第二圖所示之控制裝置17控制而使第十六圖至第二十圖所示之電流流入迴路A及迴路C。
第十六圖所示之例係在整個鍍覆處理中於迴路A上流入約8A，於迴路C上流入約1A之定電流。亦即，以迴路A及迴路C上分別流入不同值之電流的方式控制電源15A、15B、15C。
如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，四角形基板S1之邊中央區域A1藉由終端效應而在鍍覆初期階段電場集中，並隨著鍍覆進行電流密度減少。另外，四角形基板S1之角部區域A2中，從鍍覆初期階段至結束時，電場持續集中。因而，角部區域A2比邊中央區域A1有膜厚增加的趨勢。
因而，第十六圖所示之例，係使供給至接觸於有膜厚最大趨勢之角部區域的第三供電部件41C(迴路C)之電流值比迴路A小。
如第十六圖所示，藉由控制電源15A、15C，補償因多角形基板Wf之終端效應及鍍覆槽構造造成電場不均勻而產生的膜厚面內不均勻惡化，可使膜厚之面內均勻性提高。
第十七圖所示之例係在迴路A上，於鍍覆時間50%之前流入約4A，鍍覆時間50%後流入約8A之電流；而在迴路C上，於鍍覆時間50%之前流入約2A，鍍覆時間50%後流入約1A之電流。
第十七圖所示之例與第十六圖所示之例比較，不同之處為在鍍覆中途變更流入迴路A及迴路C的電流值。亦即，使流入迴路A之電流值 在鍍覆中途階段性增加。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，四角形基板S1之邊中央區域A1因終端效應而在鍍覆初期階段電場集中，並隨著鍍覆進行而電流密度減少。因而，電場集中之鍍覆初期階段係比較減少電流值，而在電流密度變小之鍍覆中途階段比較增加電流值。由於依終端效應使電流值變化，因此比持續流入定電流的第十六圖之例，可使膜厚之面內均勻性更加提高。
又，第十七圖所示之例係在鍍覆中途使流入迴路C的電流值減少。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，在基板之角部區域A2從鍍覆之初期階段至結束時，電場一貫地持續集中，不過鍍覆初期階段電場集中小一些。因而，鍍覆之初期階段比較增加電流值，電場集中變大之鍍覆中途階段比較減少電流值。由於依終端效應之變化而使電流值變化，因此比持續流入定電流的第十六圖之例，可使膜厚之面內均勻性更加提高。
第十八圖所示之例係在迴路A上，於鍍覆時間50%之前流入約4A，鍍覆時間50%後流入約8A之電流；在迴路C上，於鍍覆時間50%之前流入0A，在鍍覆時間50%後流入約1A之電流。
第十八圖所示之例與第十七圖所示之例比較，不同之處為在鍍覆時間50%之前電流不流入迴路C。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，基板之角部區域A2比邊中央區域A1及中間區域A3有膜厚增加之趨勢。因而，第十八圖所示之例藉由在鍍覆處理中設定電流不流入迴路C之時間，可抑制角部區域A2之膜厚增加。
第十九圖所示之例係在迴路A上，於鍍覆時間30%之前流入約2A，從鍍覆時間30%至50%流入約4A，鍍覆時間50%後流入約8A之電 流。又，在迴路C上，於鍍覆時間50%之前流入0A，鍍覆時間50%後流入約1A之電流。
第十九圖所示之例與第十八圖所示之例比較，不同之處為隨著鍍覆處理進行，流入迴路A之電流值多階段增加。如第二十一A圖至第二十一C圖之相關說明，終端效應在邊中央區域A1逐漸變化。亦即，邊中央區域A1之電場逐漸變化。因而，由於第十九圖所示之例係依終端效應之變化而使流入迴路A的電流值多階段增加，因此流入迴路A之電流值比1個階段變化的第十八圖之例，可使膜厚之面內均勻性更加提高。
與使迴路A之電流值多階段變化同樣地，依需要亦可使迴路C之電流值多階段變化。又，亦可使迴路A及迴路C之電流值並非多階段，而以一次函數之方式連續性變化。此外，如第二十圖所示之例，迴路A及迴路C之電流亦可流入脈衝電流。
第十五圖至第二十圖所示之例係說明基板固持器30具有第一供電部件41A與第三供電部件41C者。但是，基板固持器30亦可具備第一供電部件41A與第二供電部件41B而構成。此時流入迴路A及迴路B之電流可與流入第十圖至第十四圖所示之迴路A及迴路B的電流同樣。
以上係說明本發明之實施形態，不過上述發明之實施形態係為了容易理解本發明者，而並非限定本發明者。本發明在不脫離其旨趣情況下可以變更、改良，並且本發明當然包含其均等物。此外，在可解決上述問題之至少一部分的範圍、或達到效果之至少一部分的範圍中，可任意組合或省略記載於申請專利範圍及說明書的各元件。
10‧‧‧鍍覆單元
12‧‧‧陽極
13‧‧‧陽極固持器
14‧‧‧鍍覆槽
15A、15B、15C‧‧‧電源
16‧‧‧槳葉
17‧‧‧控制裝置
20‧‧‧調整板
21‧‧‧開口
24‧‧‧凸部件
30‧‧‧基板固持器
Wf‧‧‧多角形基板

Claims (20)

  1. 一種鍍覆裝置，其具有：陽極固持器，其係保持陽極而構成；基板固持器，其係保持多角形基板而構成；鍍覆槽，其係用於收容前述陽極固持器及前述基板固持器，並將前述陽極及前述基板浸漬於鍍覆液；及控制裝置，其係用於控制在前述陽極與前述基板之間流動的電流；前述基板固持器具有複數個供電部件，其係沿著前述多角形基板之各邊而配置，前述控制裝置係以可同時對前述複數個供電部件供給至少2個不同值之電流的方式，可控制電流而構成。
  2. 如申請專利範圍第1項之鍍覆裝置，其中前述供電部件包含：第一供電部件，其係可接觸於包含前述多角形基板之邊的中央部之邊中央區域；第二供電部件，其係可接觸於與前述邊中央區域鄰接的中間區域；及/或第三供電部件，其係可接觸於比前述中間區域接近前述多角形基板之角部的區域；前述控制裝置係以對前述第一供電部件、前述第二供電部件及/或前述第三供電部件分別供給不同值之電流的方式，可控制電流而構成。
  3. 如申請專利範圍第2項之鍍覆裝置，其中前述控制裝置係以流入前述第二供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件之電流之值大的方式，可控制前述電流而構成。
  4. 如申請專利範圍第2項之鍍覆裝置，其中前述控制裝置係以開始鍍覆時將第一值之電流供給至前述第一供電部件，而後將比前述第一值大之第二值的電流供給至前述第一供電部件之方式，可控制前述電流而構成。
  5. 如申請專利範圍第4項之鍍覆裝置，其中前述控制裝置係以流入前述第一供電部件之電流從前述第一值階段性增加至前述第二值的方式，可控制前述電流而構成。
  6. 如申請專利範圍第4項之鍍覆裝置，其中前述控制裝置係以流入前述第一供電部件之電流從前述第一值連續性增加至前述第二值的方式，可控制前述電流而構成。
  7. 如申請專利範圍第2項之鍍覆裝置，其中前述控制裝置係以流入前述第三供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件的電流之值小之方式，可控制前述電流而構成。
  8. 如申請專利範圍第2項至第7項中任一項之鍍覆裝置，其中前述第三供電部件係以接觸於前述多角形基板之邊的交點以外區域之方式構成。
  9. 一種鍍覆方法，係電流在陽極與多角形基板之間流動，而對前述多角形基板鍍覆，且具有以下工序：沿著前述多角形基板之各邊而使複數個供電部件接觸；將前述陽極與前述多角形基板浸漬於鍍覆液；及同時對前述複數個供電部件供給至少2個不同值之電流。
  10. 如申請專利範圍第9項之鍍覆方法，其中使前述複數個供電部件接觸 的工序包含以下工序：使第一供電部件接觸於包含前述多角形基板之邊的中央部之邊中央區域；使第二供電部件接觸於與前述邊中央區域鄰接的中間區域；且/或使第三供電部件接觸於比前述中間區域接近前述多角形基板之角部的區域；供給前述電流之工序包含以下工序：對前述第一供電部件、前述第二供電部件及/或前述第三供電部件分別供給不同值之電流。
  11. 如申請專利範圍第10項之鍍覆方法，其中供給前述電流之工序包含以下工序：以流入前述第二供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件的電流之值大之方式，供給電流至前述第一供電部件及前述第二供電部件。
  12. 如申請專利範圍第10項之鍍覆方法，其中供給前述電流之工序包含以下工序：開始鍍覆時將第一值之電流供給至前述第一供電部件，而後將比前述第一值大之第二值的電流供給至前述第一供電部件。
  13. 如申請專利範圍第12項之鍍覆方法，其中供給前述電流之工序包含以下工序：使流入前述第一供電部件之電流從前述第一值階段性增加至前述第二值。
  14. 如申請專利範圍第12項之鍍覆方法，其中供給前述電流之工序包含以下工序：使流入前述第一供電部件之電流從前述第一值連續性增加至前述第二值。
  15. 如申請專利範圍第10項之鍍覆方法，其中供給前述電流之工序包含以 下工序：以流入前述第三供電部件之電流之值比流入前述第一供電部件的電流之值小之方式，供給電流至前述第一供電部件及前述第三供電部件。
  16. 如申請專利範圍第10項至第15項中任一項之鍍覆方法，其中使第三供電部件接觸於前述多角形基板之前述角部區域的工序包含以下工序：使前述第三供電部件接觸於前述多角形基板之邊的交點以外之區域。
  17. 一種基板固持器，係用於保持多角形基板，且具有：基板保持面，其係用於保持前述多角形基板；及複數個供電部件，其係用於對保持於前述基板保持面之前述多角形基板供電；前述供電部件具有接點部，其係構成可與前述多角形基板接觸，前述接點部以沿著前述多角形基板之邊的方式概略直線狀整齊排列。
  18. 如申請專利範圍第17項之基板固持器，其中具有：外部接點部，其係與用於供給電流至前述供電部件的電源電性連接；及連接單元，其係連接前述外部接點部與前述供電部件；前述供電部件包含：第一供電部件，其係可接觸於包含前述多角形基板之邊的中央部之邊中央區域；第二供電部件，其係可接觸於與前述邊中央區域鄰接的中間區域；及/或第三供電部件，其係可接觸於比前述中間區域接近前述多角形基板之角部的區域；前述連接單元具有彼此電性獨立之複數個連接單元，其係從前述外 部接點部分別連接於前述第一供電部件、前述第二供電部件及/或第三供電部件。
  19. 如申請專利範圍第18項之基板固持器，其中前述外部接點部具有：複數個第一外部接點部，其係經由前述連接單元而與前述第一供電部件連接；複數個第二外部接點部，其係經由前述連接單元而與前述第二供電部件連接；及/或複數個第三外部接點部，其係經由前述連接單元而與前述第三供電部件連接；前述連接單元具有：複數條第一接點配線，其係分別連接於前述複數個第一外部接點部；第一板，其係與前述複數條第一接點配線連接；第一供電配線，其係電性連接前述第一板與前述第一供電部件；複數條第二接點配線，其係分別連接於前述複數個第二外部接點部；第二板，其係與前述複數條第二接點配線連接；及第二供電配線，其係電性連接前述第二板與前述第二供電部件；與/或複數條第三接點配線，其係分別連接於前述複數個第三外部接點部；第三板，其係與前述複數條第三接點配線連接；及第三供電配線，其係電性連接前述第三板與前述第三供電部件。
  20. 如申請專利範圍第17項至第19項中任一項之基板固持器，其中前述第三供電部件係以接觸於前述多角形基板之邊的交點以外區域之方式構成。
TW105119892A 2015-08-28 2016-06-24 鍍覆裝置、鍍覆方法、及基板固持器 TWI687555B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2015168969A JP6317299B2 (ja) 2015-08-28 2015-08-28 めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ
JP2015-168969 2015-08-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201708623A true TW201708623A (zh) 2017-03-01
TWI687555B TWI687555B (zh) 2020-03-11

Family

ID=58098210

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW105119892A TWI687555B (zh) 2015-08-28 2016-06-24 鍍覆裝置、鍍覆方法、及基板固持器

Country Status (6)

Country Link
US (2) US10316426B2 (zh)
JP (2) JP6317299B2 (zh)
KR (1) KR102483669B1 (zh)
CN (2) CN111304715B (zh)
SG (1) SG10201607132XA (zh)
TW (1) TWI687555B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI805780B (zh) * 2018-06-21 2023-06-21 日商荏原製作所股份有限公司 鍍覆裝置及鍍覆方法

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3589704A4 (en) 2017-03-03 2020-12-16 Harland Medical Systems, Inc. COATING COMPOSITION WITH A HYDROPHILIC CROSSLINKER, A HYDROPHOBIC CROSSLINKER AND, IF APPLICABLE, A HYDROGEL AND A METHOD FOR MANUFACTURING AND USING THEREOF
JP6859150B2 (ja) * 2017-03-22 2021-04-14 株式会社荏原製作所 めっき装置及びめっき槽構成の決定方法
WO2019003891A1 (ja) 2017-06-28 2019-01-03 株式会社荏原製作所 基板ホルダ及びめっき装置
JP6891060B2 (ja) 2017-07-11 2021-06-18 株式会社荏原製作所 レギュレーションプレート、アノードホルダ、及び基板ホルダ
WO2019050962A1 (en) * 2017-09-05 2019-03-14 Harland Medical Systems, Inc. COATING APPARATUS WITH AUTOMATIC FLUID LEVEL SYSTEM, AND METHODS OF USING THE SAME
KR20200075843A (ko) * 2017-10-20 2020-06-26 아루멕쿠스 피이 가부시키가이샤 표면처리 장치
JP6975650B2 (ja) * 2018-01-18 2021-12-01 株式会社荏原製作所 検査用基板を用いる電流測定モジュールおよび検査用基板
JP6942072B2 (ja) * 2018-02-22 2021-09-29 株式会社荏原製作所 めっき装置
JP6966958B2 (ja) * 2018-03-01 2021-11-17 株式会社荏原製作所 めっき液を撹拌するために用いるパドルおよびパドルを備えるめっき装置
JP6993288B2 (ja) * 2018-05-07 2022-01-13 株式会社荏原製作所 めっき装置
KR102111304B1 (ko) * 2018-08-09 2020-05-18 (주)선우하이테크 정전류 제어기능을 갖는 전기 도금 시스템 및 방법
CN108754590A (zh) * 2018-08-22 2018-11-06 深圳市创智成功科技有限公司 导电环、基于其的供电装置及基于供电装置的电镀治具
TWI728668B (zh) * 2019-01-31 2021-05-21 日商Ａｌｍｅｘ Ｐｅ股份有限公司 工件保持治具及表面處理裝置
JP7079224B2 (ja) * 2019-06-14 2022-06-01 株式会社荏原製作所 めっき方法、めっき装置、プログラムを記憶する不揮発性の記憶媒体
JP7256708B2 (ja) 2019-07-09 2023-04-12 株式会社荏原製作所 めっき装置
JP7227875B2 (ja) * 2019-08-22 2023-02-22 株式会社荏原製作所 基板ホルダおよびめっき装置
TWI722555B (zh) * 2019-09-04 2021-03-21 日月光半導體製造股份有限公司 電鍍治具
JP7296832B2 (ja) * 2019-09-10 2023-06-23 株式会社荏原製作所 めっき装置
CN115119515B (zh) * 2021-01-20 2023-03-24 株式会社荏原制作所 镀覆装置以及基板的膜厚测定方法
TWI821884B (zh) * 2021-02-18 2023-11-11 日月光半導體製造股份有限公司 電鍍裝置及製造封裝結構之方法
KR102553048B1 (ko) * 2021-03-03 2023-07-10 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 기판 홀더, 도금 장치 및 도금 장치의 제조 방법
CN114729467A (zh) * 2021-06-17 2022-07-08 株式会社荏原制作所 电阻体及镀覆装置
JP7093478B1 (ja) 2021-06-18 2022-06-29 株式会社荏原製作所 めっき装置及びめっき方法
KR102493634B1 (ko) * 2021-10-18 2023-02-06 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 도금 방법 및 도금 장치
WO2024003975A1 (ja) * 2022-06-27 2024-01-04 株式会社荏原製作所 めっき装置、および、めっき方法

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02101189A (ja) * 1988-10-05 1990-04-12 L Daburu Ii:Kk 精密電気めっき方法及びその装置
JPH0329876A (ja) 1989-06-28 1991-02-07 Nec Corp 電波監視装置
JPH05239698A (ja) * 1992-02-28 1993-09-17 Nec Corp 電気めっき方法
JPH09125294A (ja) 1995-11-02 1997-05-13 Mitsubishi Electric Corp 表面処理装置
US6517689B1 (en) * 1998-07-10 2003-02-11 Ebara Corporation Plating device
JP4179707B2 (ja) * 1999-06-15 2008-11-12 荏原ユージライト株式会社 プリント基板保持用治具及びめっき装置
JP2001234397A (ja) * 2000-02-24 2001-08-31 Matsushita Electric Works Ltd 電気メッキ用冶具
JP4136830B2 (ja) 2003-07-10 2008-08-20 株式会社荏原製作所 めっき装置
JP5184308B2 (ja) * 2007-12-04 2013-04-17 株式会社荏原製作所 めっき装置及びめっき方法
JP2010209440A (ja) * 2009-03-12 2010-09-24 Sumitomo Bakelite Co Ltd メッキ用治具
JP2011127172A (ja) * 2009-12-17 2011-06-30 Nitto Denko Corp めっき装置および配線回路基板の製造方法
US8496790B2 (en) * 2011-05-18 2013-07-30 Applied Materials, Inc. Electrochemical processor
DE102012012990B4 (de) * 2011-06-30 2014-09-04 Almex Pe Inc. Oberflächenbehandlungssystem und Werkstückhaltestütze
JP5898540B2 (ja) * 2012-03-22 2016-04-06 アルメックスＰｅ株式会社 ワーク保持治具及び表面処理装置
US9228270B2 (en) * 2011-08-15 2016-01-05 Novellus Systems, Inc. Lipseals and contact elements for semiconductor electroplating apparatuses
CN102560586A (zh) * 2012-02-08 2012-07-11 南通富士通微电子股份有限公司 电镀方法
JP6247557B2 (ja) * 2014-02-14 2017-12-13 株式会社Ｊｃｕ 基板めっき治具

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI805780B (zh) * 2018-06-21 2023-06-21 日商荏原製作所股份有限公司 鍍覆裝置及鍍覆方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106480480B (zh) 2020-05-05
JP6488041B2 (ja) 2019-03-20
JP2018090911A (ja) 2018-06-14
US20190249326A1 (en) 2019-08-15
KR20170026112A (ko) 2017-03-08
KR102483669B1 (ko) 2023-01-02
CN106480480A (zh) 2017-03-08
CN111304715A (zh) 2020-06-19
JP6317299B2 (ja) 2018-04-25
US10513795B2 (en) 2019-12-24
CN111304715B (zh) 2021-01-26
US10316426B2 (en) 2019-06-11
JP2017043815A (ja) 2017-03-02
US20170058423A1 (en) 2017-03-02
TWI687555B (zh) 2020-03-11
SG10201607132XA (en) 2017-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW201708623A (zh) 鍍覆裝置、鍍覆方法、及基板固持器
TWI781275B (zh) 電鍍裝置
TWI805780B (zh) 鍍覆裝置及鍍覆方法
JPWO2004009879A1 (ja) めっき装置
JP6508935B2 (ja) 基板ホルダ、めっき装置及びめっき方法
KR102279435B1 (ko) 기판의 제조 방법 및 기판
TWI805746B (zh) 鍍覆裝置
US10508354B2 (en) Feeder capable of feeding anode and plating apparatus
US11542629B2 (en) Method of plating, apparatus for plating, and non-volatile storage medium that stores program
US20180282895A1 (en) Plating method
TWI809415B (zh) 鍍覆裝置及鍍覆方法
JP7460504B2 (ja) めっき装置
WO2023053182A1 (ja) めっき装置
WO2022254579A1 (ja) めっき装置およびめっき方法