JP2001234397A - 電気メッキ用冶具 - Google Patents

電気メッキ用冶具

Info

Publication number
JP2001234397A
JP2001234397A JP2000048119A JP2000048119A JP2001234397A JP 2001234397 A JP2001234397 A JP 2001234397A JP 2000048119 A JP2000048119 A JP 2000048119A JP 2000048119 A JP2000048119 A JP 2000048119A JP 2001234397 A JP2001234397 A JP 2001234397A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electroplating
substrate
frame
jig
bypass
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2000048119A
Other languages
English (en)
Inventor
Shinya Nishimoto
晋也 西本
Koji Takagi
光司 高木
Kazunobu Morioka
一信 盛岡
Daisuke Kanetani
大介 金谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP2000048119A priority Critical patent/JP2001234397A/ja
Publication of JP2001234397A publication Critical patent/JP2001234397A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電気メッキ層の厚みをほぼ均一にすることが
できる電気メッキ用冶具を提供する。 【解決手段】 基板1をメッキ浴2中に保持して基板1
に電気メッキを施すために用いる電気メッキ用冶具Aに
関する。基板1を支持して基板1に通電するための枠体
3と、枠体3の複数の箇所同士を電気的に接続するため
の通電補助バイパス4とを備える。基板1の電源に近い
部分に位置する無電解メッキ層や回路と電源から遠い部
分に位置する無電解メッキ層や回路との間で電流密度を
ほぼ均一にすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、電子機
器、コンピュータ、通信機器などに用いられる多層プリ
ント配線板の製造時に使用される電気メッキ用冶具に関
するものである。
【0002】
【従来の技術】電気メッキにより多層プリント配線板の
スルーホールメッキを形成したり回路にメッキを施した
りすることが行なわれているが、電気メッキを行なうに
あたっては、図5に示すような、四角枠状の電気メッキ
用冶具Aが用いられている。この電気メッキ用冶具Aを
用いて電気メッキを行なうにあたっては、まず、電気メ
ッキ冶具Aの内側に多層プリント配線板用の基板1を保
持する。この基板1にはスルーホールの内面に無電解メ
ッキ層が形成されたり表面に回路が形成されたりしてい
るものである。また、基板1は取付金具11にて電気メ
ッキ用冶具Aに取り付けられており、この取付金具11
を介して基板1の無電解メッキ層や回路と電気メッキ用
冶具Aが電気的に接続されている。次に、基板1を保持
させた電気メッキ用冶具Aをメッキ浴の中に浸漬すると
共に電気メッキ用冶具Aの上端を電極と電気的に接続す
る。この後、電極と電気メッキ用冶具Aと取付金具11
を介して基板1の無電解メッキ層や回路に通電し、メッ
キ浴から金属を析出させることによって、基板1の無電
解メッキ層や回路に電気メッキ層を形成することができ
るのである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来例
では基板1の電源(電極)に近い部分に位置する無電解
メッキ層や回路と電源から遠い部分に位置する無電解メ
ッキ層や回路との間で電流密度(電流分布)に差がある
ために、電気メッキ層の厚みにばらつきが生じるという
問題があった。
【0004】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、電気メッキ層の厚みをほぼ均一にすることができ
る電気メッキ用冶具を提供することを目的とするもので
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
電気メッキ用冶具Aは、基板1をメッキ浴2中に保持し
て基板1に電気メッキを施すために用いる電気メッキ用
冶具Aであって、基板1を支持して基板1に通電するた
めの枠体3と、枠体3の複数の箇所同士を電気的に接続
するための通電補助バイパス4とを備えて成ることを特
徴とするものである。
【0006】また、本発明の請求項2に係る電気メッキ
用冶具Aは、請求項1の構成に加えて、通電補助バイパ
ス4の導体抵抗を枠体3の導体抵抗よりも小さく形成し
て成ることを特徴とするものである。
【0007】また、本発明の請求項3に係る電気メッキ
用冶具Aは、請求項1又は2の構成に加えて、通電補助
バイパス4を接続するための接続部5を枠体3に略等間
隔に設けて成ることを特徴とするものである。
【0008】また、本発明の請求項4に係る電気メッキ
用冶具Aは、請求項1乃至3のいずれかの構成に加え
て、通電補助バイパス4を線材で形成して成ることを特
徴とするものである。
【0009】また、本発明の請求項5に係る電気メッキ
用冶具Aは、請求項1乃至4のいずれかの構成に加え
て、通電補助バイパス4を絶縁材料で被覆して成ること
を特徴とするものである。
【0010】また、本発明の請求項6に係る電気メッキ
用冶具Aは、請求項1乃至5のいずれかの構成に加え
て、通電補助バイパス4への給電側となる接続部5をメ
ッキ浴2よりも上側に設けて成ることを特徴とするもの
である。
【0011】また、本発明の請求項7に係る電気メッキ
用冶具Aは、請求項1乃至6のいずれかの構成に加え
て、電源と接続された電極12と接触させるための接触
部7を枠体3に設け、通電補助バイパス4への給電側と
なる接続部5を接触部7の近傍に設けて成ることを特徴
とするものである。
【0012】また、本発明の請求項8に係る電気メッキ
用冶具Aは、請求項1乃至7のいずれかの構成に加え
て、通電補助バイパス4を銅で形成して成ることを特徴
とするものである。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
【0014】図2に示すように、本発明の電気メッキ用
冶具Aは枠体3と通電補助バイパス4を具備して形成さ
れている。枠体3はステンレス鋼(SUS)などの導電
性のある金属材料で形成されるものであって、一対の縦
枠材20の間に下横枠材21と中横枠材22と上横枠材
23を架設して形成されている。各縦枠材20の上端に
は下方に開口する略コ字状の接触部7が設けられてい
る。また、枠体3には通電補助バイパス4と接続される
複数個の接続部5が設けられている。接続部5はボルト
などの結合具が結合可能な雌ねじのような穴形状に形成
されるものである。これら接続部5のうち、接触部7の
近傍(接触部7の直ぐ下側)において縦枠材20に設け
られた接続部5と上横枠材23に設けられた接続部5は
給電側接続部26a〜26cとして形成されており、他
の接続部5は配電側接続部27a〜27gとして形成さ
れている。配電側接続部27a〜27dは下横枠材21
と中横枠材22の間において各縦枠材20に二個ずつ、
配電側接続部27e〜27gは下横枠材21に三個設け
られているが、配電接続部27a〜27gはほぼ等間隔
に設けられている。また、一対の縦枠材20と下横枠材
21と中横枠材22に囲まれる空間は基板配置部28と
して形成されており、下横枠材21と中横枠材22には
基板配置部28内に突出する取付金具11が複数個設け
られている。取付金具11は銅などの導電性のある金属
材料で形成されており、クリップのように基板1の端部
を厚み方向に挟むことができるものである。尚、枠体3
は絶縁材料で被覆されているのが好ましく、このことで
電気メッキによりメッキが付着しないようにすることが
できると共に枠体3から直接メッキ浴2に通電されるの
を防止することができ、電気メッキの効率を高めること
ができるものである。
【0015】通電補助バイパス4は導電性のある金属材
料の線材で形成されるものであって、その外面はメッキ
用テープ又は熱収縮チューブなどとして用いられている
塩化ビニル樹脂などの樹脂製の絶縁材料で被覆されてい
る。例えば、通電補助バイパス4としてはSQ規格のも
のを使用することができる。また、通電補助バイパス4
の両端部には圧着端子などの端子が設けられている。こ
の通電補助バイパス4の導体抵抗(電気抵抗)は枠材3
の導体抵抗よりも小さく形成されるのが好ましく、従っ
て、通電補助バイパス4の線材の金属材料はステンレス
鋼よりも抵抗値の小さい銅などを用いるのが好ましい。
【0016】そして、通電補助バイパス4の一端の端子
と枠材3の接続部5をボルトなどの結合具30で結合す
ると共に通電補助バイパス4の他端の端子と枠材3の他
の接続部5を結合具30で結合し、枠体3と通電補助バ
イパス4とを電気的に接続することによって、枠体3の
複数の箇所同士が通電補助バイパス4で電気的に接続さ
れた電気メッキ用冶具Aを形成することができる。図2
に示すものでは、通電補助バイパス4を二本用いている
が、通電補助バイパス4は複数本用いるのが好ましい。
【0017】また、通電補助バイパス4の両端を給電側
接続部26a〜26cに接続することによって、給電側
接続部26a〜26c同士を電気的に接続したり、ある
いは通電補助バイパス4の一端を給電側接続部26a〜
26cに、他端を配電側接続部27a〜27gにそれぞ
れ接続することによって、給電側接続部26a〜26c
と配電側接続部27a〜27gを電気的に接続したり、
あるいは通電補助バイパス4の両端を配電側接続部27
a〜27gに接続することによって、配電側接続部27
a〜27g同士を電気的に接続したりすることができ、
例えば、図3に示すように、複数の給電側接続部26
a、26bと複数の配電側接続部27c、27g、27
dを通電補助バイパス4で接続することもできる。ま
た、給電側接続部部26a〜26cが通電補助バイパス
4への給電側となる接続部5である。また、通電補助バ
イパス4はメッキ作業などの邪魔にならないようにイン
シュロックなどの固定具で枠体3に固定するのが好まし
い。
【0018】上記のように形成される電気メッキ用冶具
Aを用いて多層プリント配線板用の基板1に電気メッキ
を行なうにあたっては、次のようにして行なう。まず、
枠体3の内側に形成された基板配置部28に基板1を配
置して一枚あるいは複数枚の基板1を枠体3で支持す
る。この時、基板1はその厚み方向がほぼ水平方向と合
致するように向けられ、基板1の上端が中横枠材21に
設けた取付金具11に取り付けられると共に基板1の下
端が下横枠材20に設けた取付金具11に取り付けられ
る。また、基板1には枠体3に支持させる前に予め無電
解メッキ層や表面に回路が形成されており、無電解メッ
キ層や回路が取付金具11を介して枠体3に電気的に接
続されている。
【0019】次に、図1に示すように、基板1を支持し
た電気メッキ用冶具Aをメッキ浴2に浸漬すると共にメ
ッキ浴2の上方に設けた電極12に電気メッキ用冶具A
の接触部7を接触させて係止することによって基板1を
メッキ浴2中に保持する。メッキ浴2は従来から電気メ
ッキに用いられている任意のものを使用することがで
き、例えば、電気メッキにより銅メッキ層を形成する場
合は硫酸銅と硫酸を主成分とする硫酸銅溶液を用いるこ
とができる。メッキ浴2の種類(組成)や温度は従来と
同様にすることができ、目的とする電気メッキ層に応じ
て適宜変更することができる。また、メッキ浴2に浸漬
する部分は上横枠材23よりも下側の部分であって、通
電補助バイパス4への給電側の接続部5(給電側接続部
26a〜26c)はメッキ浴2の液面よりも上側に位置
させてメッキ浴2に浸漬させないようにする。そして、
上記のようにメッキ浴2中に保持された基板1の無電解
メッキ層や回路は、電気メッキ用冶具Aと電極12を介
して電極12と接続された電源と接続されている。
【0020】この後、メッキ浴2中に設けた電極35と
基板1の無電解メッキ層や回路の間に直流電圧あるいは
パルス電圧を印加し、枠体3及び通電補助バイパス4を
通じて基板1の無電解メッキ層や回路に通電することに
よって、基板1の無電解メッキ層や回路の表面にメッキ
浴2から金属を析出させて電気メッキ層を形成すること
ができるものである。通電時間や通電量などの条件は従
来と同様にすることができ、目的とする電気メッキ層の
厚みなどに応じて適宜変更することができる。
【0021】そして本発明の電気メッキ用冶具Aは、枠
体3よりも導電性の高い通電補助バイパス4を用いて枠
体3の複数の箇所同士を接続するので、枠体3に供給さ
れた電流が通電補助バイパス4に分岐して枠体3の複数
の箇所に流れることになって、基板1の電源(電線1
2)に近い部分に位置する無電解メッキ層や回路と電源
(電線12)から遠い部分に位置する無電解メッキ層や
回路との間で電流密度をほぼ均一にすることができ、す
なわち、基板1の無電解メッキ層や回路に流れる電流の
電流密度を基板全体に亘ってほぼ均一にすることがで
き、電気メッキにより形成されるメッキ層の厚みにばら
つきが生じにくくすることができるものである。
【0022】図4に他の実施の形態を示す。この電気メ
ッキ用冶具Aは接触部7以外は図1、2のものと同様に
形成されている。接触部7は電気メッキ用冶具Aの幅方
向(左右方向)に突出して縦枠材20の上端に設けられ
ており、下側になるほど幅狭となる断面略三角形に形成
されている。また、この電気メッキ用冶具Aの接触部7
を接触させる電極12は左右一対の受け部40を設けて
形成されている。受け部40は接触部7の外形形状と合
致する断面略V字状に形成されている。そして、電気メ
ッキを行なう場合には、受け部40に接触部7を上側か
ら差し込んで係止することによって、基板1をメッキ浴
2中に保持するものである。
【0023】
【実施例】以下本発明を実施例によって具体的に説明す
る。
【0024】(実施例1〜5、比較例)図1に示す枠体
3をステンレス鋼で形成した。また、通電補助バイパス
4は直径10mmの銅線を用いた。また、通電補助バイ
パス4は絶縁材料で被覆した。そして、表1に示す接続
部5(給電側接続部26a〜26cと配電側接続部27
a〜27g)同士を通電補助バイパス4で接続して電気
メッキ用冶具Aを形成した。
【0025】上記のように形成される電気メッキ用冶具
Aを用いて基板1に電気メッキ(スルーホールメッキ)
を行なった。メッキ浴2としては硫酸銅濃度が100g
/リットル、硫酸濃度が150g/リットル、塩素イオ
ン濃度が50ppmのものを用いた。また、通電はパル
ス電圧(パルス電流)を用い、基板1側がカソード、メ
ッキ浴2中の電極35がアノードとなるように印加され
た場合の電流密度を1.5A/dm2、通電時間を20
msecとし、基板1側がアノード、メッキ浴2中の電
極35がカソードとなるように印加された場合の電流密
度を3.0A/dm2、通電時間を1msecとした。
また、トータルのメッキ時間を60分とした。通常、こ
の条件ではメッキ厚20μmの電気メッキ層を形成する
ことができる。
【0026】そして、基板1の複数箇所で電気メッキ層
の厚みを測定し、そのばらつきを求めた。結果を表1に
示す。
【0027】
【表1】
【0028】表1から明らかなように、実施例1〜5を
用いて電気メッキを行なった場合は比較例を用いて電気
メッキを行なった場合に比べて、メッキ厚のばらつきが
小さくなった。また、通電補助バイパス4を絶縁材料で
被覆した場合は、さらにメッキ厚のばらつきが小さくな
った。
【0029】
【発明の効果】上記のように本発明の請求項1の発明
は、基板をメッキ浴中に保持して基板に電気メッキを施
すために用いる電気メッキ用冶具であって、基板を支持
して基板に通電するための枠体と、枠体の複数の箇所同
士を電気的に接続するための通電補助バイパスとを備え
るので、通電補助バイパスを通じて枠体の複数の箇所に
電流を流すことによって、基板の無電解メッキ層や回路
に流れる電流の電流密度をほぼ均一にすることができ、
電気メッキにより形成される電気メッキ層の厚みをほぼ
均一にすることができるものである。
【0030】また、本発明の請求項2の発明は、通電補
助バイパスの導体抵抗を枠体の導体抵抗よりも小さく形
成するので、枠体よりも補助バイパスに電流が流れやす
くなって基板の無電解メッキ層や回路に流れる電流の電
流密度をより均一化することができ、電気メッキ層の厚
みをより均一にすることができるものである。
【0031】また、本発明の請求項3の発明は、通電補
助バイパスを接続するための接続部を枠体に略等間隔に
設けるので、基板の無電解メッキ層や回路に流れる電流
の電流密度をより均一化することができ、電気メッキ層
の厚みをより均一にすることができるものである。
【0032】また、本発明の請求項4の発明は、通電補
助バイパスを線材で形成するので、通電補助バイパスを
容易に曲げたり引き回したりすることができ、通電補助
バイパスの接続位置を簡単に変更することができるもの
である。
【0033】また、本発明の請求項5の発明は、通電補
助バイパスを絶縁材料で被覆するので、通電補助バイパ
スにメッキが付着するのを防止することができ、メッキ
の無駄を無くすことができるものであり、しかも、通電
補助バイパスからメッキ浴に直接電流が流れないように
することができ、メッキの効率を高めることができるも
のである。
【0034】また、本発明の請求項6の発明は、通電補
助バイパスへの給電側となる接続部をメッキ浴よりも上
側に設けるので、枠体に供給された電流を効率よく分岐
して枠体の複数の箇所に供給することができ、基板の無
電解メッキ層や回路に流れる電流の電流密度をより均一
化することができるものである。
【0035】また、本発明の請求項7の発明は、電源と
接続された電極に接触させるための接触部を枠体に設
け、通電補助バイパスへの給電側となる接続部を接触部
の近傍に設けるので、枠体に供給された電流を効率よく
分岐して枠体の複数の箇所に供給することができ、基板
の無電解メッキ層や回路に流れる電流の電流密度をより
均一化することができるものである。
【0036】また、本発明の請求項8の発明は、通電補
助バイパスを銅で形成するので、枠体よりも補助バイパ
スに電流が流れやすくなって基板の無電解メッキ層や回
路に流れる電流の電流密度をより均一化することがで
き、電気メッキ層の厚みをより均一にすることができる
ものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態の一例を示す斜視図であ
る。
【図2】同上の斜視図である。
【図3】同上の斜視図である。
【図4】同上の他の実施の形態を示す斜視図である。
【図5】従来例を示す斜視図である。
【符号の説明】
1 基板 2 メッキ浴 3 枠体 4 通電補助バイパス 5 接続部 12 電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 盛岡 一信 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 (72)発明者 金谷 大介 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板をメッキ浴中に保持して基板に電気
    メッキを施すために用いる電気メッキ用冶具であって、
    基板を支持して基板に通電するための枠体と、枠体の複
    数の箇所同士を電気的に接続するための通電補助バイパ
    スとを備えて成ることを特徴とする電気メッキ用冶具。
  2. 【請求項2】 通電補助バイパスの導体抵抗を枠体の導
    体抵抗よりも小さく形成して成ることを特徴とする請求
    項1に記載の電気メッキ用冶具。
  3. 【請求項3】 通電補助バイパスを接続するための接続
    部を枠体に略等間隔に設けて成ることを特徴とする請求
    項1又は2に記載の電気メッキ用冶具。
  4. 【請求項4】 通電補助バイパスを線材で形成して成る
    ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電
    気メッキ用冶具。
  5. 【請求項5】 通電補助バイパスを絶縁材料で被覆して
    成ることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載
    の電気メッキ用冶具。
  6. 【請求項6】 通電補助バイパスへの給電側となる接続
    部をメッキ浴よりも上側に設けて成ることを特徴とする
    請求項1乃至5のいずれかに記載の電気メッキ用冶具。
  7. 【請求項7】 電源と接続された電極に接触させるため
    の接触部を枠体に設け、通電補助バイパスへの給電側と
    なる接続部を接触部の近傍に設けて成ることを特徴とす
    る請求項1乃至6のいずれかに記載の電気メッキ用冶
    具。
  8. 【請求項8】 通電補助バイパスを銅で形成して成るこ
    とを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の電気
    メッキ用冶具。
JP2000048119A 2000-02-24 2000-02-24 電気メッキ用冶具 Withdrawn JP2001234397A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000048119A JP2001234397A (ja) 2000-02-24 2000-02-24 電気メッキ用冶具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000048119A JP2001234397A (ja) 2000-02-24 2000-02-24 電気メッキ用冶具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2001234397A true JP2001234397A (ja) 2001-08-31

Family

ID=18570251

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000048119A Withdrawn JP2001234397A (ja) 2000-02-24 2000-02-24 電気メッキ用冶具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2001234397A (ja)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006257473A (ja) * 2005-03-16 2006-09-28 Toyota Motor Corp 表面処理装置及び表面処理方法
US7405353B2 (en) 2002-08-09 2008-07-29 Namco Bandai Games Inc. Input device, game machine, simulated percussion instrument, and program
JP2012151260A (ja) * 2011-01-19 2012-08-09 Ngk Spark Plug Co Ltd 多数個取り配線基板
JP2012151255A (ja) * 2011-01-19 2012-08-09 Ngk Spark Plug Co Ltd 多数個取り配線基板
JP2013194309A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Almex Pe Inc ワーク保持治具及び表面処理装置
JP2013537941A (ja) * 2010-09-23 2013-10-07 サンパワー コーポレイション 電気メッキ用の非浸透性基板キャリア
JP2016156084A (ja) * 2015-02-23 2016-09-01 京セラ株式会社 電解めっき装置
JP2016180148A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 京セラ株式会社 電解めっき装置
JP2016180149A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 京セラ株式会社 電解めっき装置
JP2018090911A (ja) * 2015-08-28 2018-06-14 株式会社荏原製作所 めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7405353B2 (en) 2002-08-09 2008-07-29 Namco Bandai Games Inc. Input device, game machine, simulated percussion instrument, and program
JP4491363B2 (ja) * 2005-03-16 2010-06-30 トヨタ自動車株式会社 成膜装置
JP2006257473A (ja) * 2005-03-16 2006-09-28 Toyota Motor Corp 表面処理装置及び表面処理方法
JP2013537941A (ja) * 2010-09-23 2013-10-07 サンパワー コーポレイション 電気メッキ用の非浸透性基板キャリア
KR101764275B1 (ko) 2010-09-23 2017-08-03 선파워 코포레이션 전기도금용 불침투성 기재 캐리어
JP2012151260A (ja) * 2011-01-19 2012-08-09 Ngk Spark Plug Co Ltd 多数個取り配線基板
JP2012151255A (ja) * 2011-01-19 2012-08-09 Ngk Spark Plug Co Ltd 多数個取り配線基板
JP2013194309A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Almex Pe Inc ワーク保持治具及び表面処理装置
JP2016156084A (ja) * 2015-02-23 2016-09-01 京セラ株式会社 電解めっき装置
JP2016180148A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 京セラ株式会社 電解めっき装置
JP2016180149A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 京セラ株式会社 電解めっき装置
JP2018090911A (ja) * 2015-08-28 2018-06-14 株式会社荏原製作所 めっき装置、めっき方法、及び基板ホルダ
US10513795B2 (en) 2015-08-28 2019-12-24 Ebara Corporation Plating apparatus, plating method, and substrate holder

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101384467B1 (ko) 태양 전지 및 그 제조 방법
US20100181670A1 (en) Contact structure for a semiconductor and method for producing the same
JP2001234397A (ja) 電気メッキ用冶具
KR20120095942A (ko) 금속 증착
JP3379755B2 (ja) 金属めっき装置
KR20120095944A (ko) 금속 증착
KR20120095945A (ko) 금속 증착
US6267860B1 (en) Method and apparatus for electroplating
KR100596992B1 (ko) 무연 주석합금을 피복하는 방법
US4595480A (en) System for electroplating molded semiconductor devices
US10487413B2 (en) System for insulating high current busbars
JP2013155433A (ja) 電気めっき方法およびめっき装置
JP3078795B1 (ja) 配線基板のメッキ方法及びそれに用いるメッキ用冶具
KR100716547B1 (ko) 인쇄회로기판의 고정 프레임
JPH05320994A (ja) プリント回路板の電解メッキ用治具
JPH10233563A (ja) プリント配線基板及びその製造方法
JP4775127B2 (ja) フラットケーブルの電気メッキ方法及びフラットケーブルの製造方法
CN107761158A (zh) 一种电镀设备及电镀方法
WO2001042533A9 (en) Electroplating apparatus
JPH05239698A (ja) 電気めっき方法
JPH10233568A (ja) プリント配線基板の製造方法及びこれに用いるメッキ用治具
JP5377478B6 (ja) 半導体素子のためのコンタクト構造
JPH07120846B2 (ja) 回路基板のメッキ方法
JPH10321967A (ja) プリント基板及びその製造方法
JPH036399A (ja) メッキ用補助極給電装置

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Withdrawal of application because of no request for examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20070501