TW201412198A - 直流電源裝置、直流電源裝置之控制方法 - Google Patents

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Abstract

藉由使再啟動時之脈波控制訊號之相位和停止時之脈波控制訊號之相位一致，抑制再啟動時之逆變器之各相之輸出電壓變動及對負載供給的電壓變動。於對電漿產生裝置供給直流電力之時，當在電漿產生裝置產生電弧放電之時，停止直流電力之供給而降低電極或基板之損傷，並且於電弧放電消弧時，重新開始供給直流電力。在直流輸出之停止、重新開始時，藉由於停止時將在截波器部流通之電流當作循環電流而予以保持，並在逆變器部之再啟動時對負載供給該循環電流，降低直流輸出之重新開始時對負載供給直流電力的延遲。

Description

直流電源裝置、直流電源裝置之控制方法
本發明係關於直流電源裝置，例如關於電漿產生裝置等之負載所使用的直流電源裝置、直流電源裝置之控制方法。
電漿產生用裝置所使用之直流電源裝置被要求在產生電弧時抑制過剩電流，以高速進行電弧之消弧。電壓型之直流電源則有時而由於被連接於輸出的大電容而在電弧產生時流動過剩之放電電流，時而由於為了補足電弧產生時之輸出電壓下降而更增加輸出，導致電弧長時間化而增加對負載之影響的問題。
將電漿產生裝置當作負載之時，每產生電弧，直流電源就重複進行啟動、停止動作。由於難以高速之啟動、停止動作，故招致不安定的動作。對於如此之問題，提案有在具備截波電路、逆變器、電壓轉換電路之直流電源裝置中，於停止時進行停止截波器之主開關，並且 使逆變器動作之停止操作、在使截波器之主開關動作之狀態下使逆變器之電晶體所有成為接通(ON)之停止動作、停止截波器之主開關並且使逆變器之電晶體全部呈接通(ON)之停止動作中之任一者，於啟動時，藉由使逆變器動作，並且緩緩地增大從截波電路輸出之直流電壓脈波之脈波寬，抑制朝向逆變器之大電流，啟動時之動作安定，且高速地將負載予以啟動、停止之直流電源裝置(專利文獻1)。
再者，在直流電源裝置和負載之間設置強制性地使電弧能旁通之短路開關電路，使該短路開關電路於每一定時間定期性動作而使產生逆脈波來抑制電弧放電，並且於產生電弧放電之時，強制性地使逆脈波產生而降低電弧能，並於電弧放電消弧之後，使電漿狀態回復之濺鍍電源用電弧遮斷裝置(非專利文獻1)。
另外，在對負載供給高頻電力之交流電源裝置中，當在屬於負載之電漿產生裝置中產生電弧放電時，除了時而電路斷線時而短路之外，有對電極或基板造成損傷之情形。為了抑制產生如此之電弧放電，所知的有於檢測出電弧放電之後，在特定時間限制或停止供給高頻電力，之後再使高頻電力回復。
於檢測出電弧放電之後，於特定時間停止高頻電力之供給時，為了充分抑制電弧放電，當過度長時間停止供給高頻電力時，則有難以維持電暈放大之問題。
對於如此之問題，為了於產生電弧放電之 後，快速抑制電弧放電，並於電弧放電消失後，馬上使電漿裝置可運轉，提案有於檢測出電弧放電後供給脈波狀之高頻，並因應電弧放電之大小而抑制脈波狀高頻之脈波寬的電漿產生裝置用電源(專利文獻2)。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2006-6053號公報(段落[0002]至段落[0012])
[專利文獻2]日本特開平08-167500號公報(段落[0003]至段落[0011])
[非專利文獻]
[非專利文獻1]Origin Technical Journal No.73(2010)1-7濺鍍電源用電弧遮斷裝置(脈波產生器)「GEXUS-P30」，中村健一、三保谷博
與直流電源裝置有關之先前技術中，具備逆變器之直流電源裝置(專利文獻1)係於停止直流電源裝置之後，於再啟動逆變器之時，藉由使逆變器之控制開始後，控制截波器之動作，使電漿產生裝置再啟動。
通常，於對逆變器進行脈波寬控制之時，生 成脈波訊號，並將該脈波訊號當作閘極訊號輸入至逆變器之各開關元件，並控制開關元件之接通(ON)、斷開(OFF)動作。
逆變器之脈波寬控制，係於構成橋接電路之各橋臂中，進行直流、交流轉換使各開關元件之接通、斷開動作之相位成為特定關係。在該脈波寬控制中，於各橋臂之開關元件之接通、斷開動作之相位從特定關係偏離時，有在所取得之各相之輸出電壓產生變動，於供給至負載之電壓產生變動之問題。
上述直流電源裝置係被設定成在逆變器之再啟動中，再啟動時之脈波控制訊號之相位與停止時之脈波控制訊號之相位無關係。因此，再啟動時，有在各相之輸出電壓產生電動，在供給至負載之電壓產生變動之虞。
再者，於停止直流電源裝置之直流輸出之後使回復之時，由於藉由直流電源裝置所具備之電容成分等所產生之延遲時間，有逆變器於再啟動後至對負載供給直流電力為止之期間產生延遲之問題。
本發明係解決以往之問題點，其目的係針對具備逆變器之直流電源裝置，在逆變器之再啟動中，使再啟動時之脈波控制訊號之相位和停止時之脈波控制訊號之相位一致。
再者，其目的係藉由使再啟動時之脈波控制訊號之相位與停止時之脈波控制訊號之相位一致，抑制再啟動時之逆變器之各相之輸出電壓變動，並抑制供給至負 載之電壓的變動。
再者，其目的係降低直流電源裝置之直流輸出之回復時對負載供給直流電力的延遲。
本案發明係關於對電漿產生裝置等之負載供給直流電力之時，進行直流輸出之停止、回復之直流電源裝置及直流電源裝置之控制方法。
於將電漿產生裝置當作負載而供給直流電力之時，在屬於負載之電漿產生裝置產生電弧放電之時，藉由停止從直流電源裝置對電漿產生裝置供給直流電力，降低電極或基板之損傷。並且，於電弧放電消弧之時，回復從直流電源裝置對電漿產生裝置供給直流電力。
本案發明係在直流電源裝置之直流輸出之停止、回復中，藉由於停止時將流至截波器部之電流當作循環電流而予以保持，並在逆變器部之再啟動時對負載供給所保持之循環電流，降低直流電源裝置之直流輸出之回復時對負載供給直流電力的延遲。
再者，保持停止時之閘極訊號之相位狀態，在逆變器部之再啟動時從所保持之閘極訊號之相位狀態開始進行逆變器部之直交流轉換，依此抑制再啟動時之輸出電壓變動。
[直流電源裝置]
本案發明之直流電源裝置具備：構成直流源之電流型截波器部；藉由複數開關元件之動作將電流型截波器部之直流輸出轉換成多相之交流電力的多相逆變器部；將多相逆變器部之輸出進行交直流轉換，並將直流供給至負載的整流部；和控制電流型截波器部及多相逆變器部的控制部。
在通常之電力供給動作中，電流型截波器部係將直流電力之電壓轉換成特定電壓而輸出直流電流。多相逆變器部係藉由以複數開關元件之動作切換電流路而將電流型截波器部之直流輸出轉換成多相的交流電力。整流部係藉由交直流轉換將在多相逆變器部轉換之交流電力轉換成直流電力，並將轉換後之直流電力供給至負載。
在對負載供給直流電力之動作狀態中，當在負載之電漿產生裝置中產生電弧放電時，負載電壓下降，並且從電源側朝向負載流通過剩電流。本案發明之直流電源裝置係於產生該電弧放電之時，停止從電源側供給電力至負載，之後於電弧放電消弧之後，回復從電源側供給電力至負載。
電弧放電有無消弧，除了藉由負載電壓等之電壓檢測而進行判定之外，事先設定從產生電弧放電至電弧放電消弧為止之時間，即使根據該設定時間之經過來判定消弧亦可。
本案發明之直流電源裝置係藉由以以下之(a)~(c)所示之各功能，在電力供給之停止時及回復時，藉由 使逆變器部之再啟動時之脈波控制訊號之相位與停止時之脈波控制訊號之相位一致，並配合脈波控制訊號之相位，抑制再啟動時逆變器之各相之輸出電壓變動，並抑制對負載供給之電壓的變動。
再者，在直流電源裝置之直流輸出之停止、重新開始中，藉由於停止時將流至截波器部之電流當作循環電流而予以保持，並在逆變器部之再啟動時對負載供給該循環電流，降低直流電源裝置之直流輸出之回復時對負載供給直流電力的延遲。
(a)電流型截波器部之停止功能及逆變器之短路功能
在停止從電源側供給電力至負載之時點，停止電流型截波器部之動作，並且在逆變器部之輸入側，藉由使正端子側和負端子側，使從逆變器部朝向變壓器側之電流停止的功能
(b)電流型截波器部之循環電流之保持功能
在停止從電源側供給電力至負載的停止中，將在停止時流至電流型截波器部之感應器部之電流當作循環電流而予以保持，在電力供給之回復時，藉由使循環電流流至感應器部而迅速地使逆變器再啟動的功能
(c)逆變器之閘極訊號狀態之保持功能：
停止從電源側對負載供給至電力之停止中，保持停止時控制逆變器部的閘極訊號狀態，在電力供給之回復時，從所保持之閘極訊號狀態重新開始逆變器部之控制的功能
藉由(a)之電流型截波器部之停止功能和逆變器部之短路功能，停止電弧放電弧時對負載供給電力，藉由(b)之電流型截波器部之循環電流之保持功能，及(c)之逆變器部之閘極訊號狀態之保持功能，迅速地再啟動逆變器部。
本發明之直流電源裝置係在將電弧產生裝置設為負載之時，成為具備檢測出電弧產生裝置之電弧狀態的電弧檢測部之構成，控制部可以根據電弧檢測部之檢測訊號而進行直流輸出之停止、重新開始控制。控制部係根據電弧之產生檢測而進行停止控制，根據電弧之消失檢測而進行再啟動控制。
電弧檢測部係檢測出負載之電壓或是直流電源裝置之輸出端之電壓，比較該檢測電壓和事先決定之第1臨界值，於低於第1臨界值之時，檢測出電弧產生。
再者，於檢測出電弧產生之後，比較檢測電壓和事先決定之第2臨界值，當超過第2臨界值之時，判斷成電弧放電消失。
[直流電源裝置之控制方法]
本發明之直流電源裝置之控制部具有於直流電源裝置之直流輸出停止時、停止中及重新開始時，進行下述控制之功能。
(直流電源裝置之直流輸出停止時)
電源裝置之直流輸出之停止時的控制，係將電流型截波器部之主開關從接通狀態切換至斷開狀態，停止構成多相逆變器部之橋接電路之閘極訊號之生成，並且使橋接電路之正端子和負端子間短路。
直流電源裝置係在對負載供給直流輸出之狀態下，電流型截波器部係將直流源之直流電力轉換成特定電壓，並輸入至多相逆變器部。多相逆變器部係將直流電力轉換至交流電力。整流部係將多相逆變器部之輸出進行交直流轉換，並將直流電力供給至負載。
於直流電源裝置之直流輸出停止時，藉由將電流型截波器部之主開關從接通狀態切換至斷開狀態，停止自直流源供給電力。在該停止時，當使多相逆變器部之橋接電路之正端子和負端子間短路時，在電流型截波電路和多相逆變器部之間形成閉電路。在閉電路，停止時被儲存於電流型截波器部之感應器的能量以循環電流之形態流動。該循環電流於使逆變器部再啟動而回復直流輸出之時，在較從直流源供給直流輸出更前的時點，在從電流型截波器部觀看存在於負載側的電路流動，進行從逆變器部對負載快速地供給電力。
(直流電源裝置之直流輸出之停止中)
直流電源裝置之直流輸出之停止中的控制，係保持電流型截波器部之主開關之斷開狀態和橋接電路之正端子和負端子間之短路狀態，並且將橋接電路之閘極訊號狀態保 持在停止時之閘極訊號狀態。
於直流電源裝置之直流輸出之停止中，藉由保持電流型截波器部之主開關的斷開狀態，保持停止從直流源供給電力，並保持橋接電路之正端子和負端子間之短路狀態，依此保持在電流型截波電路和多相逆變器部之間所形成的在閉電路流動之循環電流。再者，藉由將橋接電路之閘極訊號狀態保持於停止時之閘極訊號狀態，再啟動逆變器部而使直流電源之直流輸出回復之時點，可以從停止時之相位狀態持續進行橋接電路之脈波控制訊號之相位。
(直流電源裝置之直流輸出之回復時)
直流電源裝置之直流輸出之回復時的控制，係將電流型截波器部之主開關從斷開狀態切換至接通狀態，從停止時之閘極訊號狀態重新開始橋接電路之閘極訊號之生成，藉由所生成之閘極訊號再啟動多相逆變器部。
於直流電源裝置之直流輸出之回復時，藉由將電流型截波器部之主開關從斷開狀態切換至接通狀態，重新開始將直流源之直流電力轉換成特定電壓，將轉換後之直流電力輸入至多相逆變器部。此時，多相逆變器部之橋接電路係藉由重新開始生成之閘極訊號，進行接通、斷開之控制而再啟動。此時，藉由從停止時之閘極訊號狀態重新開始橋接電路之閘極訊號的生成，可以從停止時之相位狀態持續進行橋接電路之脈波控制訊號的相位。
(短路控制之態樣)
控制部係在直流電源裝置之直流輸出之停止時及停止中，對橋接電路之正端子和負端子間進行短路控制。該短路控制可以以兩個態樣進行。
第1態樣係對橋接電路之負端子之橋臂之開關元件，輸出將橋接電路之負端子之全橋臂的所有開關元件設為接通狀態之脈波控制訊號以作為閘極訊號。
在多相逆變器部之橋接電路之切換動作中，被連接於正端子之複數根橋臂中之任一橋臂成為接通狀態。因此，當輸出將橋接電路之負端子之全橋臂的所有開關元件設為接通狀態之脈波控制訊號以作為閘極訊號時，橋接電路之正端子和負端子之間短路。
第2態樣係在橋接電路之正端子及負端子之橋臂對中，對橋接電路之正端子之橋臂，輸出停止時之正端子之閘極訊號狀態中之閘極訊號，對與停止時為接通狀態之橋接電路之正端子之橋臂之開關元件構成一對的負端子之橋臂的開關元件，輸出將該負端子之橋臂之開關元件設為接通狀態的閘極訊號。
依此，在與停止時相同之開關狀態下，成為接通狀態之正端子側之橋臂之開關元件，和在橋接電路中與該正端子側之開關元件形成一對之負端子側之開關元件皆成為接通狀態，橋接電路之正端子和負端子間短路。
(重新開始控制之態樣)
控制部係可以以兩個態樣進行直流電源裝置之直流輸出之回復時橋接電路之開關元件的控制。
第1態樣係對應於短路控制之第1態樣，停止將橋接電路之負端子之橋臂的所有開關元件設為接通狀態的閘極訊號，從停止時之閘極訊號狀態重新開始各開關元件之閘極訊號的生成，對橋接電路之正端子及負端子之機械臂之開關元件輸入閘極訊號，再啟動多相逆變器部。
第2態樣係對應於短路控制之第2態樣，從停止時之閘極訊號狀態重新開始各開關元件之閘極訊號的生成，對橋接電路之正端子及負端子之橋臂之開關元件，輸入閘極訊號，再啟動多相逆變器部。
如上述說明般，若藉由本發明時，在具備逆變器之直流電源裝置中，在逆變器之再啟動中，可以使再啟動時之脈波控制訊號的相位與停止時之脈波控制訊號的相位一致。
再者，若藉由本發明時，藉由使再啟動時之脈波控制訊號之相位與停止時之脈波控制訊號之相位一致，抑制再啟動時之逆變器之各相之輸出電壓變動，並抑制供給至負載之電壓的變動。
再者，可以降低直流電源裝置之直流輸出之重新開始時對負載供給直流電力的延遲。
1‧‧‧直流電源裝置
2‧‧‧交流電源
3‧‧‧輸出配線
4‧‧‧電漿產生裝置
10‧‧‧整流部
20‧‧‧減震器部
30‧‧‧電流型截波器部
40‧‧‧多相逆變器部
50‧‧‧多相變壓部
51‧‧‧相變壓器
60‧‧‧多相整流部
80‧‧‧控制部
81‧‧‧開關控制部
81a‧‧‧脈波控制訊號生成電路
81b‧‧‧閘極訊號生成電路
81c‧‧‧閘極訊號保持電路
81d‧‧‧短路用接通訊號生成電路
82‧‧‧電弧檢測電路
90‧‧‧配線
CO‧‧‧電極電容
CF1‧‧‧輸出電容器
CFO‧‧‧輸出電容器
D1‧‧‧二極體
LO‧‧‧配線電感
LF1‧‧‧直流電抗器
LFO‧‧‧輸出電抗器
Lm1,Lm2,Lm3‧‧‧電感
LR‧‧‧電感
PC‧‧‧電弧能量
Q1‧‧‧開關元件
Q3‧‧‧開關元件
QR、QS、QT‧‧‧開關元件
QX、QY、QZ‧‧‧開關元件
R‧‧‧連接點
S‧‧‧連接點
T‧‧‧連接點
tarc‧‧‧保持時間
VO‧‧‧輸出電壓
△i‧‧‧循環電流
第1圖為用以說明本發明之直流電源裝置之構成例的圖示。
第2圖為用以說明本發明之開關控制部之一構成例的概略方塊圖。
第3圖為用以說明本發明之直流電源裝置之動作例的流程圖。
第4圖為用以說明本發明之直流電源裝置之動作例的時序圖。
第5圖為用以說明本發明之直流電源裝置之電弧放電產生時之電流流動的圖示。
第6圖為用以說明本發明之直流電源裝置之電弧放電消失時之電流流動的圖示。
第7圖為用以說明本發明之直流電源裝置之另外構成例的圖示。
以下，針對本發明之實施型態，一面參照圖示，一面予以詳細說明。在以下中，針對本發明之直流電源裝置及控制方法，使用第1圖、第2圖，說明直流電源裝置之構成例，使用第3圖至第6圖針對直流電源裝置之控制例予以說明。
[直流電源裝置之構成例]
首先，針對本發明之直流電源裝置之構成例，使用第1圖、第2圖予以說明。
第1圖所示之本發明之直流電源裝置1具備：對交流電源2之交流電力進行整流之整流部10；抑制過渡性產生的高電壓之保護電路的減震器部20；將從整流部10輸入之直流電力之電壓轉換成特定電壓而輸出直流電流之電流型截波器部30；將電流型截波器部30之直流輸出轉換成多相之交流輸出的多相逆變器部40；將多相逆變器部40之交流輸出轉換成特定電壓之多相變壓部50；將多相變壓部50之交流轉換成直流之多相整流部60。
在第1圖所示之構成例中，雖然表示電流型下降截波電路以作為電流型截波器部30之例，但是並不限定於電流型下降截波電路，即使為電流型升壓截波電路或是電流型升降截波電路亦可。
在以下中，針對以電流型下降截波電路作為電流型截波器部之時予以說明。電流型截波器部30具備開關元件Q1和二極體D1和直流電抗器LF1。開關元件Q1係藉由對在整流部10整流之直流電壓進行截波控制而降壓。直流電抗器LF1係使截波控制之直流予以電流平滑。多相逆變器部40係藉由輸入在電流型截波器部30被進行電流平滑之直流，並控制多相逆變器部40所具備之橋接 電路之開關元件，來進行直交流轉換。
電流型截波器部30即使為在輸出端並聯連接輸出電容器CF1(無圖示)之構成亦可。通常，電流型降壓截波器為不具備輸出電容器之構成，但是在本發明之電流型截波器部30之電流型降壓截波器電路中，藉由在輸出端連接輸出電容器CF1之構成，可以吸收在多相逆變器部40之開關元件間進行整流動作之時產生的突波電壓，或被串聯連接於各開關元件之電感的能量，而可以保護開關元件。
並且，輸出電容器CF1之值，係藉由該輸出電容器及配線電感所產生的時間常數，設定成電流之延遲不會對逆變器動作之整流造成影響之程度。
多相逆變器部40具備對因應相數之開關元件進行橋接而構成的多相逆變器電路。例如於3相之時，3相逆變器電路藉由6個開關元件而構成。開關元件可以使用例如IGBT或MOSFET等之半導體開關元件。多相逆變器電路之各開關元件係根據開關控制部81之控制訊號，進行開關動作，將直流電力轉換成交流電力而予以輸出。
多相整流部60係對多相逆變器部40之交流輸出進行整流，並對負載供給直流輸出。以往所知的多相整流部可以設成在輸出部具備直流過濾器電路的構成。藉由該直流過濾器電路，除去多相逆變器部之交流輸出所含之高頻波紋成分。直流過濾器電路可以藉由與並聯連接於輸出端之輸出電容器CFO串聯連接之輸出電抗器LFO(無圖 示)而構成。
多相整流部60之直流輸出經配線90所具備之配線電感LO而被輸出，藉由連接直流電源裝置1和電漿產生裝置4之間的輸出配線3而被供給至電漿產生裝置4。
本發明之直流電源裝置1係以除去高頻波紋成分之構成，在多相整流部60中，可以利用寄生阻抗而取代直流過濾器電路。例如，以電感成分而言，可以使用多相整流部60和輸出端子之間的配線9之電感LO，或被連接於直流電源裝置1和負載之間的輸出配線3所含之電感或電容器，或是於電漿負載時，可以使用電漿產生裝置4之電極電容CO。上述多相逆變器部之寄生阻抗及輸出配線或電極電容之電容成分實質上構成直流過濾器電路，降低多相逆變器部之交流輸出所含之高頻波紋成分。
再者，直流電壓之波紋成分具有當降低多相逆變器電路之驅動頻率時增加的特性。因此，藉由提高多相逆變器電路之驅動頻率，可以降低輸出電容器CFO及輸出電抗器LFO的必要性。再者，藉由提高多相逆變器電路之驅動頻率，可以抑制直流電源裝置1在內部所保有之能量。
並且，本發明之直流電源裝置1具備控制電流形截波器部30之控制部80，及控制多相逆變器部40之開關控制部81。
控制部80係對電流型截波器部30之開關元 件Q1進行截波控制之電路，檢測出屬於開關元件Q1之輸出電流的截波電流，及直流電源裝置1之輸出電壓，根據該截波電流及輸出電壓之檢測值，控制成電流型截波器部30之輸出成為事先所設定之特定電流值及特定電壓值。
開關控制部81係控制被連接於構成多相逆變器部40之橋接電路之各橋臂的開關元件之開關動作。多相逆變器部40係藉由開關元件之控制，將輸入的直流進行直交流轉換而成交流。
多相逆變器部40於例如3相逆變器之時，例如第5圖、第6圖所示般藉由具有6根橋臂之橋接電路所構成。在各橋臂各設置有開關元件QR、QS、QT、QX、QY、QZ之6個開關元件。串聯連接開關元件QR和開關元件QX，串聯連接開關元件QS和開關元件QY，串聯連接開關元件QT和開關元件QZ。
該開關元件QR和開關元件QX之連接點R係經電感Lm1而作為3相變壓器51之R相成分被連接，開關元件QS和開關元件QY之連接點S，係經電感Lm2而作為3相變壓器51之S相成分被連接，開關元件QT和開關元件QZ連接點T係經電感Lm3而作為3相變壓器51之T相成分被連接。並且，第5圖、第6圖係省略電感Lm1、Lm2、Lm3而予以表示。
作為電流型逆變器之控制，所知的有在一定輸入電流下改變輸出電流之大小的PWM控制。在PWM控制下，藉由比較載波和調變波，針對各相形成脈波控制 訊號。於3相逆變器之時，各相之脈波控制訊號各具有120°之導通期間，藉由該脈波控制訊號，控制逆變器之各橋臂之開關元件之接通、斷開，形成各具有120°之相位差的R相、S相及T相的電流。
在控制部80及開關控制部81，從直流電源裝置1之輸出端或負載側返回反饋訊號。反饋訊號例如可以設為直流電源裝置1之輸出端的電壓。
接著，使用第2圖，說明開關控制部81之一構成例。第2圖為用以說明本發明之開關控制部之一構成例的概略方塊圖。
開關控制部81具備控制多相逆變器部之開關元件之接通、斷開的脈波控制訊號的脈波控制訊號生成電路81a；和使橋接電路之正端子和負端子之間的短路用接通訊號的短路用接通訊號生成電路81d；和從在脈波控制訊號生成電路81a所生成之脈波控制訊號和在短路用接通訊號生成電路81d生成之短路用接通訊號生成閘極訊號的閘極訊號生成電路81b；和將在閘極訊號生成電路81b所生成的閘極訊號而予以保持並輸出的閘極訊號保持電路81c。
閘極訊號生成電路81b係從在脈波控制訊號生成電路81a所生成之脈波控制訊號，和在短路用接通訊號生成電路81d所生成之短路用接通訊號生成閘極訊號。
閘極訊號保持電路81c係保持並輸出在閘極訊號生成電路81b所生成之閘極訊號的電路，進行根據後 述之電弧產生訊號而解除保持動作或保持動作之解除動作。從閘極訊號生成電路81b輸入之閘極訊號係藉由保持動作被保持，輸出保持狀態之閘極訊號。再者，在解除動作中解除保持動作，輸出從閘極訊號生成電路81b被輸入之閘極訊號。
開關控制部81係輸入在電弧檢測電路82檢測到的電弧產生訊號。電弧檢測電路82係根據例如負載或輸出端之電壓，檢測出負載之電弧產生裝置中之電弧放電的產生狀態。
藉由電弧檢測電路82所進行的電弧狀態檢測，係比較例如負載之電壓，或是事先決定直流電源裝置之輸出端之電壓的第1臨界值，當檢測電壓低於第1臨界值時，檢測出產生電弧放電。再者，於檢測出電弧產生之後，比較檢測出的電壓和事先決定之第2臨界值，當檢測電壓超過第2臨界值之時，判斷成電弧放電消失。
電弧檢測電路82當檢測出電弧放電之產生時，暫時停止脈波控制訊號生成電路81a之各生成動作，並且保持其訊號狀態。
電弧檢測電路82係於檢測出電弧放電之產生之後，判斷電弧放電消失時，解除脈波控制訊號生成電路81a之保持狀態而重新開始生成動作。脈波控制訊號生成電路81a係從電弧放電產生時之訊號狀態重新開始生成各訊號。
電弧檢測電路82除了對上述脈波控制訊號生 成電路81a輸入電弧產生訊號之外，也對閘極訊號保持電路81c及短路用接通訊號生成電路81d輸入電弧產生訊號。
當閘極訊號保持電路81c接受電弧產生訊號，電弧放電之產生被檢測出時，保持該時點的閘極訊號，並且輸出所保持之時點的閘極訊號。閘極訊號保持電路81c係當藉由電弧放電之產生被檢測之後的電弧產生訊號，判斷電弧放電消失時，解除閘極訊號之保持，輸出以閘極訊號生成電路81b所生成之閘極訊號。
再者，閘極訊號保持電路81c即使計時電弧放電之產生被檢測出的經過時間，藉由經過時間經過事先所設定之保持時間tarc判斷電弧放電消失，解除閘極訊號之保持，並輸出在閘極訊號生成電路81b生成的閘極訊號亦可。保持時間tarc係保持電流狀態之時間，該電流狀態係將電弧放電產生前的直流電流當作循環電流△i而流動。該保持時間tarc可以任意設定，例如針對控制對象之負載，事先求出從電弧放電產生後至消失為止所需之時間，可以藉由對該時間加上從變動幅度所預測之限度成分等而決定。
短路用接通訊號生成電路81d係當輸入電弧放電產生訊號時，為了使多相逆變器部之正端子和負端子之間短路，生成短路用接通訊號。短路用接通訊號係藉由將被設置在多相逆變器部之正端子側之橋臂的開關元件，和被設置在負端子之橋臂之開關元件同時設為接通狀態， 使多相逆變器部之正端子和負端子之間短路。
該短路用接通訊號可以設為兩個態樣。
第1態樣係對橋接電路之負端子之橋臂之開關元件，將橋接電路之負端子之全橋臂的所有開關元件設為接通狀態，並藉由此使多相逆變器部之正端子和負端子之間短路之態樣。
在多相逆變器部之橋接電路之切換動作中，被連接於正端子之複數根橋臂中之任一橋臂成為接通狀態。因此，當輸出將橋接電路之負端子之全橋臂的所有開關元件設為接通狀態之脈波控制訊號以作為閘極訊號時，橋接電路之正端子和負端子之間短路。
第1短路用接通訊號係將橋接電路之負端子之全橋臂的所有開關元件設為接通狀態的脈波控制訊號。在閘極訊號生成電路81b中，以“或”條件加算在脈波控制訊號生成電路81a所生成之通常的脈波控制訊號，和在短路用接通訊號生成電路81d所生成之短路用接通訊號而生成閘極訊號。
第2態樣係在橋接電路之正端子及負端子之橋臂對中，對橋接電路之正端子之橋臂，輸出停止時之正端子之閘極訊號狀態中之閘極訊號，檢測出與停止時為接通狀態之橋接電路之正端子之橋臂之開關元件構成一對的負端子之橋臂的開關元件，將該負端子之橋臂之開關元件設為接通狀態，依此使多相逆變器之正端子和負端子之間的態樣。
依此，在與停止時相同之開關狀態下，成為接通狀態之正端子側之橋臂之開關元件，和在橋接電路中與該正端子側之開關元件形成一對之負端子側之開關元件皆成為接通狀態，橋接電路之正端子和負端子間短路。
第2短路用接通訊號係使橋接電路之負端子之全橋臂之所有開關元件成為接通狀態的脈波控制訊號。在閘極訊號生成電路81b中，以“或”條件加算在脈波控制訊號生成電路81a所生成之通常脈波控制訊號，和在短路用接通訊號生成電路81d所生成之短路用接通訊號而生成閘極訊號。
在閘極訊號生成電路81b中，加算在脈波控制訊號生成電路81a所生成之通常的脈波控制訊號，和在短路用接通訊號生成電路81d所生成之短路用接通訊號而生成閘極訊號。
[直流電源裝置之動作例]
首先，針對本發明之直流電源裝置之動作例，使用第3至6圖予以說明。第3圖為用以說明本發明之直流電源裝置之動作例的流程圖，第4圖為用以說明本發明之直流電源裝置之動作例的時序圖，第5圖為用以說明本發明之直流電源裝置之電弧放電產生時之電流流動的圖示，第6圖為用以說明本發明之直流電源裝置之電弧放電消失時之電流流動的圖示。
第3圖之流程圖係在直流電源裝置進行通常 動作之狀態下，電弧放電產生時之動作例(S1~S7)及電弧放電消失之時的動作例(S8~S15)。
在藉由直流電源裝置對負載供給直流電力之狀態，當在負載之電弧產生裝置產生電弧放電時，負載之輸入電壓或直流電源裝置之輸出電壓下降。
電弧檢測部係檢測並監視負載或直流電源裝置之輸出端之電壓，於電壓下降時，檢測出產生了電弧放電。電弧放電之產生的檢測，可以藉由比較事先決定之臨界值和檢測值而進行。並且，電弧放電之檢測並不限定於電壓之檢測值和臨界值之比較(S1)。
(電弧放電產生時之動作例)
於電弧放電之產生被檢測出之時，停止截波電路之開關元件(S2)，藉由在短路用接通訊號生成電路81d生成的短路用接通訊號(S3)，使多相逆變器部之正端子和負端子間短路(S4)。
藉由S2之工程，停止從直流電源對截波電路供給電力，停止從直流電源裝置對負載供給直流電力，藉由S3、S4之工程在截波電路和多相逆變器部之橋接電路之間形成閉電路。在截波電路之電感流通之電流，係當作循環電流△i在所形成之閉電路循環(S5)。
循環電流△i係於重新開始從直流電源裝置對負載供給直流電力之時，被供給至多相逆變器部，提早開始藉由多相逆變器部所進行的直交流轉換。
再者，在直流電源裝置之停止時，保持其停止時之多相逆變器部之閘極訊號(S6)，中斷藉由閘極訊號生成電路所進行的閘極訊號之生成(S7)。
藉由保持S6之閘極訊號的工程及中斷生成S7之新閘極訊號的工程，可以保持直流電源裝置之停止時之多相逆變器部之直交流轉換之轉換狀態。
(電弧放電消失時之動作例)
檢測出電弧放電之產生之後，於檢測到電弧放電消失之時，或是於假設電弧放電消失之時間經過時(S8)，藉由將截波電路之開關元件切換至接通狀態(S9)，結束短路用接通訊號之輸出(S10)，停止多相逆變器部之正端子和負端子之短路(S11)。
藉由S9之工程重新開始從直流電源供給對截波電路供給電力，藉由S10、S11之工程將流通於在截波電路和多相逆變器部之橋接電路之間所形成之閉電路的循環電流△i供給至多相逆變器之橋接電路(S12)。
藉由S9之工程，於重新開始截波電路之導通時，藉由截波電路所具有之電感或浮置電容，從直流電源被供給至多相逆變器部的直流電流產生延遲。對此，循環電流△i藉由多相逆變器部之正端子和負端子間之短路停止，在截波電路和多相逆變器部之間形成電流路，較從直流電源供給直流電流更前被供給至多相逆變器部，可以提早進行多相逆變器部的再啟動。
再者，在直流電源裝置之直流輸出之回復時，結束閘極訊號之保持(S13)，從所保持之相位狀態重新開始閘極訊號的生成(S14)。
在S13、S14之工程中，可以從與直流電源裝置停止之時點之相位狀態相同之相位狀態，生成閘極訊號。
至直流電源裝置之動作結束，重複S1~S14之工程(S15)。
第4圖之時序圖係使用3相逆變器作為多相逆變器之例，第4圖(a)係表示直流電源裝置之輸出電壓(VO)，第4圖(b)係表示藉由電弧檢測部的電弧檢測訊號，第4圖(c)係表示截波電路之運轉狀態，第4圖(d)~(i)係表示被設置在3相逆變器之各橋臂的開關元件之驅動的閘極訊號，第4圖(j)係表示使3相逆變器之正端子和負端子間短路之短路用接通訊號。
第4圖(d)、(f)、(h)係表示驅動3相逆變器之正端子側之橋臂之關開元件QR、QS、QT的閘極訊號，第4圖(e)、(g)、(i)係驅動3相逆變器之負端子側之橋臂之開關元件QX1、QY1、QZ1的閘極訊號。再者，將開關元件QR和開關元件QX1構成一對，將開關元件QS和開關元件QY1構成一對，並將開關元件QT和開關元件QZ1構成一對。再者，閘極訊號係表示將圖中附記有1~12的12區間當作1周期。
在第4圖中，當判斷在12區間中之區間“1” 中之時點，在產生電弧放電之時點停止藉由直流電源裝置供給直流電流，並在經過可任意設定之保持時間tarc之時點，電弧放電消失，再啟動逆變器部而重新開始直流電流之供給。
第4圖之橫軸表示相位，保持時間tarc之區間以“ω×tarc”表示(第4圖(a))。保持時間tarc係保持電弧放電產生時之狀態的區間，相當於電弧放電產生至消失為止之區間，可任意設定。
輸出電壓VO係在產生電弧放電之時點下降，在判斷經過“ω×tarc”之相位分而電弧放電消失之時點回復。電弧檢測部係監視輸出電壓VO，在檢測出輸出電壓VO下降之時點，開始電弧產生訊號之輸出，在檢測出輸出電壓VO之回復的時點，或是經過保持時間tarc之時點，結束電弧產生訊號之輸出(第4圖(b))。
當截波電路接受電弧產生訊號時，在構成1周期之複數區間(在第4圖中，12區間)之內的一區間，持續運轉至包含接收到電弧產生訊號之時點的一區間之最後而將屬於截波輸出之直流電流供給至3相逆變器部。在圖示之例中，因在區間“1”之途中接收電弧產生訊號，故在區間“1”之最後時點停止截波電路之運轉。
閘極訊號生成部係在通常運轉中，針對3相之各相，將訊號寬設為2π/3，將訊號間隔設為4π/3，和隔著2π/3之間隔輸出閘極訊號。例如，正端子側之開關元件QR之閘極訊號(第4圖(d))係將1~4之區間設為接通狀 態，將5~12之區間設為斷開狀態。開關元件QS之閘極訊號(第4圖(f))係將5~8之區間設為接通狀態，並將9~12之區間及1~4之區間設為斷開狀態。再者，開關元件QT之閘極訊號(第4圖(h))係將9~12之區間設為接通狀態，將1~8之區間設為斷開狀態。
開關控制部係當接受電弧產生訊號時，閘極訊號在接受到電弧產生訊號之時點處於輸出狀態之情況下，保持輸出狀態而維持閘極訊號之輸出。之後，當檢測出電弧放電之消失，或是保持時間經過而電弧產生訊號結束時，重新開始閘極訊號之生成，從接受到電弧產生訊號之時點生成剩下的區間成分的閘極訊號。
因此，合併電弧產生時點前之區間寬和電弧消失時點後或保持時間之經過後之區間寬的區間寬成為閘極訊號之2π/3成分的區間寬。
例如，在正端子側之開關元件QR之閘極訊號(第4圖(d))中，將從區間“1”之最初的時點至產生電弧放電之時點為止之“ω×t1”設為接通狀態，在電弧放電持續之“ω×tarc”區間之間維持接通狀態。並且，從電弧放電消失或保持時間經過之時點，僅屬於2π/3之訊號寬之殘留成分的“2π/3-ω×t1”成分持續接通狀態。依此，合併電弧產生時點前之區間寬“ω×t1”和電弧消失時點後或保持時間經過後之區間寬“2π/3-ω×t1”成分而輸出2π/3成分之區間寬之接通狀態之閘極訊號。
在電弧放電之產生時點，即使針對閘極訊號 為斷開狀態，也進行同樣之動作控制。例如，在正端子側之開關元件Qs之閘極訊號(第4圖(f))中，將合併區間1~12，和在區間“1”之途中即至電弧放電產生之時點為止的區間之“π/3+ω×t1”成分設為斷開狀態，在電弧放電持續之“ω×tarc”區間之間維持斷開狀態。並且，從電弧放電消失或保持時間經過之時點，僅屬於4π/3之訊號寬之殘留成分的“2π/3-ω×t1”成分持續斷開狀態。依此，合併電弧產生時點前之區間寬“2π/3+ωt1”和電弧消失時點後或保持時間經過後之區間寬“2π/3-ω×t1”而輸出4π/3成分之區間寬之斷開狀態之閘極訊號。
再者，從電弧放電之產生時點至當判斷電弧放電之消失時點的時間為止之期間，可任意設定之保持時間tarc的期間輸出第4圖(j)之短路用接通訊號。
第5圖係表示電弧放電之產生時之電路狀態。於電弧放電之產生時，藉由電弧檢測訊號，將截波電路之開關元件Q1當作斷開狀態，停止來自直流電源之電流供給，並且藉由短路用接通訊號使3相逆變器短路，並在截波電路和3相逆變器之間形成閉電路，流通循環電流△i。
第5圖(a)係將3相逆變器之負端子之橋臂之所有開關元件QX、QY、QZ設為接通狀態，藉由該開關元件和正端子側之橋臂之開關元件QR、QS、QT之內成為接通狀態的開關元件而形成閉電路之例。在第5圖(a)中，表示正端子側之橋臂之開關元件QR，和負端子側之橋臂之 所有開關元件QX、QY、QZ成為接通狀態，在以該開關元件QR、QX、QY、QZ、二極體D1以及LF1之電感所形成閉電路流通循環電流之例。
再者，第5圖(b)係表示檢測出在3相逆變器之負端子之橋臂之開關元件QX、QY、QZ之內，與正端子側之橋臂之開關元件QR、QS、QT之內成為接通狀態之開關元件成為一對之開關元件而設為接通狀態，依此形成閉電路之例。在第5圖(b)中，正端子側之橋臂之開關元件QR，與該開關元件元件QR構成一對之負端子側之橋臂之開關元件QX成為接通狀態，在以該開關元件QR、QX、二極體D1以及直流電抗器LF1所形成之閉電路流通循環電流之例。
第6圖係表示電弧放電之消失時之電路狀態。電弧放電之消失時，藉由電弧檢測訊號而將截波電路之開關元件Q1從斷開狀態切換至接通狀態，重新開始自直流電源供給電流，並且藉由停止短路用接通訊號，解除3相逆變器之短路狀態。流通於截波電路和3相逆變器之間的閉電路之循環電流△i係被供給至3相逆變器側。在3相逆變器，接續於循環電流△i，通過開關元件Q1而從直流電源被供給直流電流。
第6圖(a)係表示循環電流△i流通於3相逆變器之狀態。在3相逆變器之開關控制中，於開關元件QR和開關元件QY在接通狀態中停止之情況下，與停止時相同，開關元件QR和開關元件QY從接通狀態進行再啟動。 藉由3相逆變器之再啟動，循環電流△i係通過開關元件QR、連接點R、3相變壓器、連接點S及開關元件QY之線路而流通。
第6圖(b)係表示於流通循環電流△i之後，通過開關元件Q1而從直流電源被供給之電流流至3相逆變器的狀態。來自直流電源之電流，通過開關元件QR、連接點R、3相變壓器、連接點S及開關元件QY之線路而流動。之後，3相逆變器係與通常之動作相同以閘極訊號導通控制開關元件而進行直交流轉換。
第7圖係表示本案發明之直流電源裝置之另外的構成例。上述之構成例係藉由控制3相逆變器之開關元件之接通狀態而使3相逆變器短路之例。對此，第7圖所示之構成例係在截波電路和3相逆變器之間並聯連接開關元件Q3而取代3相逆變器之短路。藉由短路用接通訊號將該開關元件Q3設為接通狀態，使截波電路之輸出端間短路，在形成截波電路之閉電路內流通循環電流。
並且，上述實施型態及變形例中之記述，係本發明所涉及之電流型逆變器裝置及電流型逆變器裝置之控制方法之一例，本發明並不限定於各實施型態，可根據本發明之主旨而做各種變形，並非係從本發明之範圍排除該些。
[產業上之利用可行性]
本發明之電流型逆變器裝置可以適用在對電漿產生裝置供給電力的電力源。
1‧‧‧直流電源裝置
2‧‧‧交流電源
3‧‧‧輸出配線
4‧‧‧電漿產生裝置
10‧‧‧整流部
20‧‧‧減震器部
30‧‧‧電流型截波器部
40‧‧‧多相逆變器部
50‧‧‧多相變壓部
60‧‧‧多相整流部
80‧‧‧控制部
81‧‧‧開關控制部
90‧‧‧配線
CO‧‧‧電極電容
CFO‧‧‧輸出電容器
D1‧‧‧二極體
LO‧‧‧配線電感
LF1‧‧‧直流電抗器
Q1‧‧‧開關元件
70‧‧‧共振器

Claims (10)

  1. 一種直流電源裝置，具備：構成直流源之電流型截波器部；藉由複數開關元件之動作將上述電流型截波器部之直流輸出轉換成多相之交流電力的多相逆變器部；將上述多相逆變器部之輸出進行交直流轉換，並將取得之直流供給至負載的整流部；和控制上述電流型截波器部及上述多相逆變器部的控制部，該直流電源裝置之特徵為：上述控制部在進行直流輸出之停止、回復控制的控制功能中，進行上述停止、回復控制之控制功能具備下述各控制功能：在直流電源裝置之直流輸出停止時，將上述電流型截波部之主開關從接通(ON)狀態切換成斷開(OFF)狀態，停止產生構成上述多相逆變器部之橋接電路的閘極訊號，並且使上述橋接電路之正端子和負端子間短路之停止控制；在直流電源裝置之直流輸出停止中，保持上述電流型截波器部之主開關之斷開狀態，和上述橋接電路之正端子和負端子間之短路狀態，將上述橋接電路之閘極訊號狀態保持停止時之閘極訊號狀態的停止保持控制，在直流電源裝置之直流輸出回復時，將上述電流型截波器部之主開關從斷開狀態切換成接 通狀態，從上述停止時之閘極訊號狀態重新開始生成上述橋接電路之閘極訊號，並藉由該閘極訊號再啟動上述多相逆變器部之回復控制。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載之直流電源裝置，其中上述控制部在使橋接電路之正端子和負端子間短路之停止控制中，具有：停止藉由脈波寬控制生成脈波控制訊號，並將停止時之脈波控制訊號，和將上述橋接電路之負端子側之所有開關元件設為接通狀態之脈波控制訊號之兩脈波控制訊號之“或”(OR)輸出當作閘極訊號而予以輸出之控制功能。
  3. 如申請專利範圍第1項所記載之直流電源裝置，其中上述控制部在使橋接電路之正端子和負端子間短路之停止控制中，具有：在上述橋接電路之正端子側及負端子側之橋臂對(arm pairs)中，對橋接電路之正端子側之橋臂，輸出停止時之正端子側之閘極訊號狀態中之閘極訊號，對與停止時為接通狀態之橋接電路之正端子側之橋臂的開關元件構成一對之負端子側之橋臂的開關元件，輸出將該負端子側之橋臂之開關元件設為接通狀態之脈波控制 訊號以作為閘極訊號的控制功能。
  4. 如申請專利範圍第2項所記載之直流電源裝置，其中上述控制部在上述回復控制中，停止將上述橋接電路之負端子之橋臂的所有開關元件設為接通狀態的脈波控制訊號，從停止時之閘極訊號狀態重新開始生成各開關元件之閘極訊號，並對橋接電路之正端子側及負端子側之橋臂之開關元件輸出閘極訊號。
  5. 如申請專利範圍第3項所記載之直流電源裝置，其中上述控制部在上述回復控制中，停止將構成上述橋接電路之一對的正端子側及負端子側之橋臂之開關元件設為接通狀態之脈波控制訊號，從停止時之閘極訊號狀態重新開始生成各開關元件之閘極訊號，並對橋接電路之正端子側及負端子側之橋臂之開關元件輸出閘極訊號。
  6. 如申請專利範圍第1至5項中之任一項所記載之直流電源裝置，其中具備將電弧產生裝置設為負載，檢測出該電弧產生裝置之電弧狀態的電弧檢測部，上述控制部係在上述停止、回復控制中，根據藉由上述電弧檢測部檢測電弧之產生，進行直流輸出之停止控制， 根據藉由上述電弧檢測部檢測電弧之消失，或可任意設定之保持時間的經過，進行直流輸出之回復控制。
  7. 一種直流電源裝置之控制方法，該直流電源裝置之控制方法具備：構成直流源之電流型截波器部；藉由複數開關元件之動作將上述電流型截波器部之直流輸出轉換成多相之交流電力的多相逆變器部；將上述多相逆變器部之輸出進行交直流轉換，並將取得之直流供給至負載的整流部；和控制上述電流型截波器部及上述多相逆變器部的控制部，該直流電源裝置之控制方法之特徵為：上述控制部在藉由停止控制、停止保持控制及回復控制之各控制來控制直流輸出之停止及回復之停止、回復控制中，上述停止控制係在直流電源裝置之直流輸出停止時，將上述電流型截波器部之主開關從接通(ON)狀態切換成斷開(OFF)狀態，停止產生構成上述多相逆變器部之橋接電路的閘極訊號，並且使上述橋接電路之正端子和負端子間短路；上述停止保持控制係在直流電源裝置之直流輸出停止中，保持上述電流型截波器部之主開關之斷開狀態，和上述橋接電路之正端子和負端子間之短路狀態，將上述橋接電路之閘極訊號狀態保持停止時之閘極訊號狀態， 上述回復控制係在直流電源裝置之直流輸出回復時，將上述電流型截波器部之主開關從斷開狀態切換成接通狀態，從上述停止時之閘極訊號狀態重新開始生成上述橋接電路之閘極訊號，並藉由該閘極訊號再啟動上述多相逆變器部。
  8. 如申請專利範圍第7項所記載之直流電源裝置之控制方法，其中上述控制部進行根據上述負載之電壓下降而停止直流輸出的停止控制，根據上述負載之電壓持續下降，或可任意設定之保持時間，進行保持直流輸出之停止的停止保持控制，根據從上述負載之電壓下降的電壓回復，或上述保持時間之經過，進行回復直流輸出的回復控制。
  9. 如申請專利範圍第7或8項所記載之直流電源裝置之控制方法，其中上述控制部係控制構成多相逆變器部之橋接電路，上述停止控制係在直流電源裝置之直流輸出停止時，停止藉由脈波寛控制生成脈波控制訊號，且將停止時之脈波控制訊號，和將上述橋接電路之負端子側的所有開關元件設為接通狀態之脈波控制訊號之兩脈波控制訊號之“或”(OR)輸出當作閘極訊號而予以輸出，上述停止保持控制係在直流電源裝置之直流輸出停止中， 持續輸出上述停止時之閘極訊號，上述回復控制係在直流電源裝置之直流輸出回復時，從上述停止時之脈波控制訊號之狀態重新開始生成上述橋接電路之脈波控制訊號，並輸出該脈波控制訊號以作為閘極訊號。
  10. 如申請專利範圍第7或8項所記載之直流電源裝置之控制方法，其中上述控制部係控制構成多相逆變器部之橋接電路，上述停止控制係在直流電源裝置之直流輸出停止時，停止藉由脈波寬控制生成脈波控制訊號，在上述橋接電路之正端子側及負端子側之橋臂對(arm pairs)中，對橋接電路之正端子側之橋臂，輸出停止時之正端子側之脈波控制訊號以作為閘極訊號，對橋接電路之負端子側之橋臂，輸出與停止時為接通狀態之橋接電路之正端子側的橋臂構成一對之負端子側之橋臂的開關元件設為接通狀態之脈波控制訊號以作為閘極訊號，上述停止保持控制係在直流電源裝置之直流輸出停止中，持續輸出上述停止時之閘極訊號，上述回復控制係在直流電源裝置之直流輸出回復時，從上述停止時之脈波控制訊號之狀態重新開始生成上述橋接電路之脈波控制訊號，並輸出該脈波控制訊號以作為閘極訊號。
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