TWI692921B

TWI692921B - 電源供應電路與操作方法

Info

Publication number: TWI692921B
Application number: TW108122320A
Authority: TW
Inventors: 賴威勳; 王健宇; 邱柏晟; 林韋丞
Original assignee: 台達電子工業股份有限公司
Priority date: 2019-06-26
Filing date: 2019-06-26
Publication date: 2020-05-01
Also published as: TW202101875A

Abstract

一種電源供應電路，包含一儲能元件、一第一開關、一電壓訊號轉換器、一第二開關、一第三開關及一電源供應器。第一開關與儲能元件耦接於第一電壓輸出端點。電壓訊號轉換器分別與儲能元件及第一開關耦接於第一轉換器輸出端點及第二轉換器輸出端點。第二開關與第一開關耦接。第三開關與第二開關耦接於第二電壓輸出端點。電源供應器與第二開關及第三開關耦接。儲能元件、第一開關、該電壓訊號轉換器、第二開關、第三開關與電源供應器係用以協同操作而於第一電壓輸出端點與第二電壓輸出端點產生輸出電壓。一電源供應電路的操作方法亦在此揭露。

Description

電源供應電路與操作方法

本案關於一種電源供應電路，特別是關於一種具可變輸出電壓的電源供應電路。

在目前半導體製程領域的電漿系統中（如濺鍍、蝕刻等），現行技術使用負壓電源及與其電壓等比例、相依式的正壓電源搭配作脈衝電源輸出，以週期性抑制於靶材表面產生的電弧。然而，對於需調整正壓電源的電壓準位以符合不同製程與濺鍍材料的應用，習知固定電壓比例、脈衝頻率輸出的正壓無法有效率抑制電弧的產生，造成濺鍍速率慢及薄膜品質不佳等問題。

本案之一實施例是關於一種電源供應電路，該電源供應電路包含一儲能元件、一第一開關、一電壓訊號轉換器、一第二開關、一第三開關及一電源供應器。該第一開關的一第一端點與該儲能元件的一第一端點耦接於一第一電壓輸出端點。該電壓訊號轉換器包含一第一轉換器輸出端點以及一第二轉換器輸出端點，其中該儲能元件的一第二端點耦接該第一轉換器輸出端點，該第一開關的一第二端點耦接該第二轉換器輸出端點。該第二開關的一第一端點與該第一開關的該第二端點耦接。該第三開關的一第一端點與該第二開關的一第二端點耦接於一第二電壓輸出端點。該電源供應器的一第一端點與該第二開關的該第一端點耦接，該電源供應器的一第二端點與該第三開關的該第二端點耦接。該儲能元件、該第一開關、該電壓訊號轉換器、該第二開關、該第三開關與該電源供應器係用以協同操作而於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點產生一輸出電壓。

本案之另一實施例是關於一種電源供應電路，該電源供應電路包含一儲能元件、一第一開關、一電壓供應器、一第二開關、一第三開關。該儲能元件用以接收來自一電壓訊號轉換器的輸出電壓並產生一儲能電壓。該第一開關耦接該儲能元件於一第一電壓輸出端點。該電壓供應器用以產生一供應電壓。該第二開關耦接於該電壓供應器與一第二電壓輸出端點之間。該第三開關耦接於該第二開關於該第二電壓輸出端點，並與該電壓供應器及該第一開關耦接。該第一開關及該第二開關用以分別導通，使得該電壓供應器、該第一開關與該第二開關形成一第一迴路而於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出該供應電壓。第三開關用以導通，使得該儲能元件、該第三開關與該電壓訊號轉換器形成一第二迴路而於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出該儲能電壓。

本案之另一實施例是關於一種電源供應電路的操作方法，該方法包含以下步驟：藉由一控制訊號產生電路產生一第一控制訊號、一第二控制訊號及一第三控制訊號，以及分別響應於該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號選擇性導通一第一開關、一第二開關與一第三開關。其中當該第一開關與該第三開關關斷時，該第二開關響應於該第二控制訊號導通，使得一儲能元件經由與該第二開關所形成之迴路輸出一負電壓作為一輸出電壓，以及當該第二開關關斷時，該第一開關及該第三開關分別響應於該第一控制訊號與該第三控制訊號導通，使得一電壓供應器經由與該第一開關及該第三開關所形成之迴路輸出一正電壓作為該輸出電壓。

以下將以圖式及詳細說明闡述本案之精神，任何所屬技術領域中具有通常知識者在瞭解本案之較佳實施例後，當可由本案所教示之技術，加以改變及修飾，其並不脫離本案之精神與範圍。

應當理解，在本文的描述和其後的所有專利範圍中，當一個元件被稱為被『連接』或『耦合』到另一個元件時，它可以被直接連接或耦合到另一個元件，或者可能存在插入元件。相比之下，當一個元件被稱為『直接連接』或『直接耦合』到另一個元件時，則不存在插入元件。此外，『電連接』或『連接』還可以指兩個或多個元件之間的相互操作或相互作用。

應當理解，在本文的描述和其後的所有專利範圍中，雖然『第一』、『第二』等詞彙可以使用來描述不同元件，但是這些元件不應該被這些術語所限制。這些詞彙只限於用來區分單一元件與另一個元件。例如，一第一元件也可被稱為一第二元件，類似地，一第二元件也可被稱為一第一元件，而不脫離實施例的範圍。

應當理解，在本文的描述和其後的所有專利範圍中，在本文中所使用的用詞『包含』、『包括』、『具有』、『含有』等等，均為開放性的用語，即意指『包含但不限於』。

應當理解，在本文的描述和其後的所有專利範圍中，所使用的『及/或』包含相關列舉項目中一或多個項目的任意一個以及其所有組合。

應當理解，在本文的描述和其後的所有專利範圍中，除非另有定義，使用的所有術語（包括技術和科學術語）與本案所屬領域技術人員所理解的具有相同含義。進一步可以明瞭，除非這裡明確地說明，這些術語，例如在常用字典中所定義的術語，應該被解釋為具有與其在相關領域背景下的含義相一致的含義，而不應被理想化地或過於正式地解釋。

專利範圍中的任一元件如果沒有明確說明『裝置用於』實施一特定功能，或是『步驟用於』實施一特定功能，不應當被解釋為手段功能用語。

本案旨在提供一種電源供應電路及其操作方法。該電源供應電路於一些實施例中可用於濺鍍系統以提供可調整的正壓輸出脈衝電源，並且結合三個開關元件搭配儲能元件達到良好的電弧抑制效果。

請參照第1圖。第1圖係為依據本案一實施例所繪示之一種電源供應電路100的示意圖。電源供應電路100包含電壓訊號轉換器110、儲能元件120、緩衝器130、控制訊號產生電路140、電源供應器150、開關160、170、180。在一些實施例中，電壓訊號轉換器110可以是直流轉直流轉換器（DC-to-DC converter）、交流轉直流轉換器（AC-to-AC converter）或是任何可用以實現將輸入電壓轉換為不同電壓的另一直流電源的裝置；儲能元件120可以包含至少一電感器；緩衝器130可以是一緩衝電路、吸收器（snubber）或是任何可用以實現抑制瞬態電壓以達脈衝波型優化之效果的電路；開關160、170、180可以電晶體實現，或可以是任何可實現開關功能的元件。

如第1圖所示，在一些實施例中，電壓訊號轉換器110包含第一轉換器輸出端點DC1以及第二轉換器輸出端點DC2。而在連接關係上，開關160的第一端點與儲能元件120的第一端點耦接於第一電壓輸出端點n1，儲能元件120的第二端點耦接電壓訊號轉換器110的第一轉換器輸出端點DC1，開關160的第二端點耦接電壓訊號轉換器110的第二轉換器輸出端點DC2，開關170的第一端點與開關160的第二端點耦接，開關180的第一端點與開關170的第二端點耦接於第二電壓輸出端點n2，電源供應器150的第一端點與開關170的第一端點耦接，電源供應器150的第二端點與開關180的第二端點耦接，緩衝器130耦接於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2之間，控制訊號產生電路140與開關160、180、170中的每一者的控制端點耦接。

在一些實施例中，電壓訊號轉換器110用以輸出電壓訊號，且該電壓訊號可以是一負電壓。儲能元件120用以接收來自電壓訊號轉換器110的輸出電壓並產生儲能電壓。電源供應器150用以產生供應電壓，且電源供應器150可例如是用以產生正電壓的電壓供應器。控制訊號產生電路140用以產生控制訊號Q1、Q2、Q3，其中開關160可響應於控制訊號Q1切換、開關170可響應於控制訊號Q2切換，且開關180可響應於控制訊號Q3切換，如此一來，儲能元件120、開關160、180、170與電源供應器150可用以協同操作而於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2產生輸出電壓VO。在一些實施例中，控制訊號Q1、Q2、Q3可以是脈衝寬度調變訊號（Pulse Width Modulation, PWM）。

為詳細說明電源供應電路100藉由開關160、180、170響應於控制訊號Q1、Q2、Q3切換的操作情形，請一併參照第2圖、第3圖及第4圖。第2圖係為依據本案一些實施例所繪示之控制訊號Q1、Q2、Q3及輸出電壓VO的示意圖。第3圖係為依據本案一實施例所繪示之一種如第1圖所示電源供應電路100運作時的示意圖。為便於理解，在第3圖中與第1圖中相同的元件將用相同的參考符號標記。除非有需要說明與第3圖中所示之元件的協作關係，否則為了簡潔起見，在此省略在上面的段落中已經詳細討論之類似元件的具體操作。此外，於第3圖中為方便說明起見，未繪出電壓訊號轉換器110、緩衝器130及控制訊號產生電路140，其連接關係如第1圖中的實施例所示。第4圖係為依據本案一實施例所繪示之一種電源供應電路操作方法400的流程圖。在一些實施例中，如第4圖的電源供應電路操作方法400可應用於如第1圖所示的電源供應電路100中，但不以其為限。

請同時參照第2圖、第3圖的(a)部分及第4圖。在步驟410中，於時間間隔t1（如第2圖中所繪示的實施例）時，控制訊號Q1、Q3具有低位準且控制訊號Q2具有高位準，如第3圖的(a)部分中之實施例，開關160、180響應於控制訊號Q1、Q3關斷，開關170響應於控制訊號Q2導通，使得儲能元件120、開關170以及電壓訊號轉換器110形成一迴路，也就是電壓訊號轉換器110輸出的電流自第一轉換器輸出端點DC1輸出，流經儲能元件120後從第一電壓輸出端點n1流至一負載上，並從第二電壓輸出端點n2流回，再經過開關170後回到第二轉換器輸出端點DC2。在此配置下，儲能元件120可於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2之間將儲能電壓輸出作輸出電壓VO。舉例而言，在一些實施例中，如一些大功率的濺鍍電源系統，電壓訊號轉換器110可以輸出具-20kV的電壓並透過儲能元件120預載（preload）電能，當開關160、180切換至關斷且開關170切換至導通時，儲能元件120輸出位準為-20kV的負電壓（如第2圖中所繪示於時間間隔t1時VO具有負電壓位準）。

接著，在步驟420中，如本案的一些實施例，於時間間隔t2時，控制訊號Q3具有低位準且控制訊號Q1、Q2具有高位準，如第3圖的(b)部分中之實施例，開關160響應於控制訊號Q1從關斷狀態切換成導通狀態，而開關170維持導通且開關180維持關斷，無電壓於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2之間被輸出，如第2圖所示，輸出電壓VO的電位為0V。

更進一步，在步驟430中，如本案的一些實施例，於時間間隔t3時，控制訊號Q2、Q3具有低位準且控制訊號Q1維持具有高位準，如第3圖的(c)部分中之實施例，開關170響應於控制訊號Q2從導通狀態切換成關斷狀態，而開關160維持導通且開關180維持關斷，與步驟420相同地，無電壓於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2之間被輸出，如第2圖所示，輸出電壓VO的電位為0V。

接續步驟430，在步驟440中，於時間間隔t4時，控制訊號Q1、Q3具有高位準且控制訊號Q2具有低位準，如第3圖的(d)部分中之實施例，開關160、180可響應於控制訊號Q1、Q3導通，開關170可響應於控制訊號Q2關斷，使得電源供應器150、開關160以及開關180形成另一迴路，也就是自電源供應器150輸出的電流流經開關180並由第二電壓輸出端點n2輸出至負載上，接著從第一電壓輸出端點n1流回並經開關160後回到電源供應器150，在此配置下，電源供應器150可於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2之間將供應電壓輸出作輸出電壓VO。舉例而言，如在前述實施例中的大功率濺鍍電源系統中所配置的正壓可調電源供應器，電源供應器150可相應於濺鍍系統中靶材材料特性被設定而輸出一正電壓，如100V，當開關160、180切換至導通且開關170切換至關斷時，電源供應器150輸出位準為100V的正電壓（如第2圖中所繪示於時間間隔t4時VO具有正電壓位準）。需注意的是，上述關於電壓訊號轉換器110及電源供應器150的輸出電壓數值均為易於了解本案，並不為限制本案，本領域具有通常知識者可按所需應用設定所輸出之正電壓與負電壓的電壓位準，此類應用亦屬於本案的範圍。

在一些實施例中，上述電源供應器150所輸出的正電壓可用以釋放濺鍍過程中吸附於靶材上的正離子，使得腔體中發生電弧的機率降低。更進一步說，在一些實施例中，可以基於所應用的製程或材料組合透過彈性調整電源供應器改變正電壓的電壓位準，抑制腔體中電弧的產生以避免待鍍物上之薄膜表面佈滿細小坑洞，進而提升濺鍍品質。

此外，如上述的實施例，在正電壓透過由電源供應器150、開關160、180所形成之迴路輸出時，儲能元件120可用以在電壓訊號轉換器110的第一轉換器輸出端點DC1以及第二轉換器輸出端點DC2之間作為一電流源提供穩定電流，以維持濺鍍速率及穩定性。

接著，在步驟450中，如本案的一些實施例，於時間間隔t5時，控制訊號Q2、Q3具有低位準且控制訊號Q1維持具有高位準，如第3圖的(e)部分中之實施例，開關180響應於控制訊號Q3從導通狀態切換成關斷狀態，而開關160維持導通且開關170維持關斷，在此配置下，無電壓於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2之間被輸出，如第2圖所示，輸出電壓VO的電位為0V。

最後，在步驟460中，如本案的一些實施例，於時間間隔t6時，控制訊號Q3具有低位準且控制訊號Q1、Q2具有高位準，如第3圖的(f)部分中之實施例，開關170響應於控制訊號Q1從關斷狀態切換成導通狀態，而開關160維持導通且開關180維持關斷，無電壓於第一電壓輸出端點n1與第二電壓輸出端點n2之間被輸出，如第2圖所示，輸出電壓VO的電位為0V。

在一些實施例中，藉由響應於控制訊號Q1、Q2、Q3切換開關160、170、180完成如步驟410至步驟460的一次循環後，電源供應電路100可繼續透過響應於控制訊號Q1、Q2、Q3週期性輸出正電壓或負電壓作輸出訊號以完成濺鍍製程，換句話說，在完成步驟460後，控制訊號產生電路140可繼續產生控制訊號Q1、Q2、Q3以執行電源供應電路操作方法400中的步驟410至460直到濺鍍製程完成。

更進一步說，請再參照第2圖。控制訊號產生電路140可以調整控制訊號Q1、Q2、Q3中之每一者的頻率，以控制開關160、170、180切換以改變輸出正電壓與負電壓的頻率。舉例而言，在一些實施例中，當控制訊號Q1、Q2、Q3的頻率皆為f時，正電壓與負電壓的輸出頻率亦為f，而在一應用中為抑制腔體內電弧產生情形，欲使單位時間中正電壓與負電壓切換頻率加速為原本的2倍，在此配置下，可透過調整控制訊號Q1、Q2、Q3的頻率至2f，以使正電壓與負電壓的輸出頻率相應的被改變為2f。

此外，控制訊號產生電路140更可用以調整控制訊號Q1、Q2、Q3中之每一者的一工作週期（duty cycle），以控制開關160、170、180切換，使得正電壓及負電壓不輸出的時間被改變。舉例而言，如第2圖中所繪示的實施例，在時間間隔t2、t3、t5及t6時無電壓輸出（輸出電壓VO電壓位準為0V），以延長時間間隔t5（縮短時間間隔t4）為例，控制訊號產生電路140可縮短控制訊號Q3的工作週期並同時維持控制訊號Q1、Q2的原工作週期以達改變正電壓及負電壓不輸出之時間的目的。換句話說，在一些實施例中，控制訊號產生電路140可用以透過控制訊號Q1、Q2、Q3調整用以輸出正電壓之迴路及用以輸出負電壓之迴路的導通時間。例如，在本案的一些實施例中，縮短控制訊號Q3的工作週期並同時維持控制訊號Q1、Q2的原工作週期，使得由開關160、180及電源供應器150形成以輸出正電壓之迴路的導通時間相應縮短。同樣地，在一些實施例中，增加控制訊號Q1的工作週期並同時維持控制訊號Q2、Q3的原工作週期，使得由儲能元件120、開關170及電壓訊號轉換器110形成以輸出負電壓之迴路的導通時間相應縮短。上述說明僅為易於了解本案之舉例用，並不用於限制本案的實施方式。

在一些實施例中，可透過如上述開關160、170、180響應於控制訊號Q1、Q2、Q3切換的配置調整輸出電壓VO的一電壓擺幅。舉例而言，請再參照第2圖，在一些實施例中，輸出電壓VO於時間間隔t1被調整為具負電位的電壓位準，接著，在時間間隔t2、t3時，輸出電壓VO被調整為0V的電壓位準，然後，在時間間隔t4時，輸出電壓VO被調整為具正電位的電壓位準，最後在時間間隔t5、t6時，輸出電壓VO再度被調整為0V的電壓位準。需注意的是，在一些實施例中，正電壓的電壓擺幅可遠小於負電壓的電壓擺幅，例如正電壓可為50V而同時負電壓可為-20kV。

此外，如上述實施例，由於自電壓訊號轉換器110輸出的電流不會流經開關180，故在一些實際應用中，開關180可選擇以不需耐高壓的開關元件來實現。

經由上述各種實施例的操作，本案所提供的電源供應電路與其操作方法可透過簡易的三開關與一可調電壓之正壓電源供應器的結合，抑制濺鍍過程中腔體產生的電弧，同時在此配置下，供應負電壓之電壓訊號轉換器與正壓電源供應器被分開（亦即自電壓訊號轉換器輸出的電流不會流經正壓電源供應器），因此提高電源供應電路設計的彈性以符合各種應用情形的需要。本案所提供的電源供應電路特別適合應用於高功率輸出的濺鍍系統。

雖然本案已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本案，任何熟習此技藝者，在不脫離本案之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本案之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

為讓本案之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附符號之說明如下： 100:電源供應電路 110:電壓訊號轉換器 120:儲能元件 130:緩衝器 140:控制訊號產生電路 150:電源供應器 160:開關 180:開關 170:開關 DC1:第一轉換器輸出端點 DC2:第二轉換器輸出端點 n1:第一電壓輸出端點 n2:第二電壓輸出端點 Q1、Q2、Q3:控制訊號 VO:輸出訊號 t1、t2、t3、t4、t5、t6:時間間隔 400:電源供應電路操作方法 410、420、430、440、450、460:步驟

為讓本案之上述和其他目的、特徵、優點與實施例能更明顯易懂，所附圖式之說明如下：第1圖係為依據本案一實施例所繪示之一種電源供應電路的示意圖；第2圖係為依據本案一實施例所繪示之複數個控制訊號及輸出電壓的示意圖；第3圖係為依據本案一實施例所繪示之一種電源供應電路運作時的示意圖；以及第4圖係為依據本案一實施例所繪示之一種電源供應電路操作方法的流程圖。

100:電源供應電路

110:電壓訊號轉換器

120:儲能元件

130:緩衝器

140:控制訊號產生電路

150:電壓供應器

160:開關

170:開關

180:開關

Q1、Q2、Q3:控制訊號

n1:第一電壓輸出端點

n2:第二電壓輸出端點

DC1:第一轉換器輸出端點

DC2:第二轉換器輸出端點

Claims

一種電源供應電路，包含：一儲能元件；一第一開關，該第一開關的一第一端點與該儲能元件的一第一端點耦接於一第一電壓輸出端點；一電壓訊號轉換器，包含一第一轉換器輸出端點以及一第二轉換器輸出端點，其中該儲能元件的一第二端點耦接該第一轉換器輸出端點，該第一開關的一第二端點耦接該第二轉換器輸出端點；一第二開關，該第二開關的一第一端點與該第一開關的該第二端點耦接；一第三開關，該第三開關的一第一端點與該第二開關的一第二端點耦接於一第二電壓輸出端點；一控制訊號產生電路，分別與該第一開關、該第二開關及該第三開關中之每一者的一控制端點耦接；以及一電源供應器，該電源供應器的一第一端點與該第二開關的該第一端點耦接，該電源供應器的一第二端點與該第三開關的該第二端點耦接；其中該儲能元件、該第一開關、該第二開關、該第三開關、該電壓訊號轉換器與該電源供應器係用以協同操作而於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點產生一輸出電壓。
如請求項1所述的電源供應電路，其中當該第二開關關斷時，該第一開關及該第三開關分別響應於一第一控制訊號與一第三控制訊號導通，使得該電源供應器輸出一正電壓作為該輸出電壓。
如請求項1所述的電源供應電路，其中該電壓訊號轉換器為一交流轉直流轉換器或一直流轉直流轉換器，並用以輸出一負電壓至該儲能元件。
如請求項3所述的電源供應電路，其中當該第一開關與該第三開關關斷時，該第二開關響應於一第二控制訊號導通，使得該儲能元件輸出該負電壓作為該輸出電壓。
如請求項1所述的電源供應電路，其中該控制訊號產生電路用以產生一第一控制訊號、一第二控制訊號及一第三控制訊號，其中該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號為脈衝寬度調變訊號。
如請求項5所述的電源供應電路，其中當該第一控制訊號、該第三控制訊號具有一高位準且該第二控制訊號具有一低位準時，該輸出電壓為一正電壓；以及當該第一控制訊號、該第三控制訊號具有該低位準且該第二控制訊號具有該高位準時，該輸出電壓為一負電壓。
如請求項6所述的電源供應電路，其中當該第一控制訊號與該第二控制訊號具有該高位準且該第三控制訊號具有該低位準時，或該第一控制訊號具有該高位準且該第二控制訊號與該第三控制訊號具有該低位準時，無電壓於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出。
一種電源供應電路，包含：一儲能元件，用以接收來自一電壓訊號轉換器的輸出電壓並產生一儲能電壓；一第一開關，耦接該儲能元件於一第一電壓輸出端點；一電壓供應器，用以產生一供應電壓；一第二開關，耦接於該電壓供應器與一第二電壓輸出端點之間；以及一第三開關，耦接該第二開關於該第二電壓輸出端點，並與該電壓供應器及該第一開關耦接；其中該第一開關及該第二開關用以分別導通，使得該電壓供應器、該第一開關與該第二開關形成一第一迴路而於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出該供應電壓；該第三開關用以導通，使得該儲能元件、該第三開關與該電壓訊號轉換器形成一第二迴路而於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出該儲能電壓。
如請求項8所述的電源供應電路，其中該供應電壓為一正電壓，以及該儲能電壓為一負電壓。
如請求項8所述的電源供應電路，其中該第一開關、該第二開關及該第三開關更用以分別響應於一第一控制訊號、一第二控制訊號及一第三控制訊號切換；其中該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號為一脈衝寬度調變訊號。
如請求項10所述的電源供應電路，更包含：一控制訊號產生電路，用以產生該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號，並用以透過該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號調整該第一迴路及該第二迴路中之每一者的一導通時間。
如請求項11所述的電源供應電路，其中當該第一控制訊號、該第二控制訊號具有一高位準，且該第三控制訊號具有一低位準時，該供應電壓被輸出。
如請求項8所述的電源供應電路，其中當該第一開關與該第三開關導通且該第二開關關斷，或該第一開關導通且該第二開關與該第三開關關斷時，無電壓於該第一電壓輸出端點與該第二電壓輸出端點輸出。
一種電源供應電路操作方法，包含：藉由一控制訊號產生電路產生一第一控制訊號、一第二控制訊號及一第三控制訊號；以及分別響應於該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號選擇性導通一第一開關、一第二開關與一第三開關；其中當該第一開關與該第三開關關斷時，該第二開關響應於該第二控制訊號導通，使得一儲能元件經由與該第二開關所形成之迴路輸出一負電壓作為一輸出電壓，以及當該第二開關關斷時，該第一開關及該第三開關分別響應於該第一控制訊號與該第三控制訊號導通，使得一電壓供應器經由與該第一開關及該第三開關所形成之迴路輸出一正電壓作為該輸出電壓。
如請求項14所述的電源供應電路操作方法，更包含：調整該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號中之每一者的一頻率，以控制該第一開關、該第二開關及該第三開關切換以改變輸出該正電壓及該負電壓的頻率。
如請求項14所述的電源供應電路操作方法，更包含：調整該第一控制訊號、該第二控制訊號及該第三控制訊號中之每一者的一工作週期(duty cycle)，以控制該第一開關、該第二開關及該第三開關切換，使得該正電壓及該負電壓不輸出的時間被改變。
如請求項14所述的電源供應電路操作方法，更包含：透過切換該第一開關、該第二開關及該第三開關調整該輸出電壓的一電壓擺幅。
如請求項14所述的電源供應電路操作方法，更包含：透過調整該電壓供應器改變該正電壓的一電壓位準。
如請求項14所述的電源供應電路操作方法，其中當該第一開關導通時，該第二開關和該第三開關用以分別響應於該第二控制訊號與該第三控制訊號切換，以輸出該正電壓。
如請求項14所述的電源供應電路操作方法，其中當該第一控制訊號、該第三控制訊號具有一低位準且該第二控制訊號具有一高位準時，該負電壓作為該輸出電壓輸出。