TW201139233A - Pellicle container - Google Patents

Description

201139233 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於在製造半導體農置 時，作為防塵所使用之微影用防塵薄膜组路板或液晶顯示器 【先前技術】 中，之半導體裝置或是液晶顯示器等的f造 甲將先妝射於丰導體晶圓或是液晶 寻的衣w 時若有雜質等異物附著在所使用 卞、製作圖水，但在此 罩)上時，因為此雜質㈣蔽光，或下簡稱為光 的圖案，此皆為其問題點。’先偏轉’所以會損害到轉印 以當此ϊ之作業通常是於無塵室内進行，但即使如此_ 為防塵ίίί潔。因此，採用於光罩表面貼附防塵薄膜组件作 上：塵，件上的異對準於光罩之圖案 防塵薄二ΐϊΐΐ防塵薄膜組件框架之上端面塗佈 塵薄膜係由對於置的分離層(分離部）。該防 維素或氟化樹脂等製成之、类^ 射率的硝化纖維素、醋酸纖 由紹、不鏽鋼、聚=^塵_。該防塵薄膜組件框架係 樹月旨等之轉劑。$赫雜接__酸樹脂或環氧 丙稀酸樹鱗所構成f者層係由聚了烯樹脂、聚醋酸乙稀樹脂、 基於消除防塵薄 組件框架的—部分]二;二卜广的虱壓差之目的，而在防塵薄膜 防止異物由通過小孔’亦可設置用來 、巧I、孔移動之空氣侵入的過滤器。

S 201139233 巧年來，由於隨著液晶顯示器的大型化 防塵薄膜組件亦明顯地日趨大型化，當然 、，化， 件的收納容器亦大型化。 田…' 一而來的防塵薄膜組 型：二!=納本、《、可-體成 脂製製品。 〃工成型或黏接接合之樹 ’大型化的情形，因為除了收納物的重量辦加之外，从 容器本身會移動或產生擦傷。 “_的收輸或是收納 性，關於提i剛性的^了提高收納容器的剛 ί器之外側安裝補驗等 提出=3法裝上較花費工時，所以另外亦有人 的金屬製，或是使骑造成型 的器’雖然存在有重量變重 則其成本與樹脂$者同蓉^、的難、及安裝補強體的工時， 大於職m之_輸=====組件的邊長 但是，採用金屬制 干匕有抓用之例。 脂製的情形-樣，有J送中產納容器本體時’亦與樹 部產生。 纟塵賴組件收納容器本體與蓋體的接觸 之表=Ϊ=塵=，容器本體，基於為了提高潔淨性 化等理由，所以施以氧^膜U巧^勿的目視辨識性之黑色 另一方面，盘防Ϊ塗裝等表面處理而使用。 用將紹合金或是鎂合全容器本體組裝的蓋體’係使 將聚碳酸酯、聚甲壓成型之金屬製製品，或使用 甲基响酸甲醋、兩稀腈-丁二稀-苯乙稀樹脂等樹 201139233 收納容器=蓋體亦施以與防塵薄膜組件 都ηΐίΐί生灰塵的情形，無論蓋體係樹脂製，或是金屬制， 管為1防止由防塵薄膜組件收納容；：: 蓋體之間: 納容器本體與 其平滑，贿法完全儘&對互相的絲施以處理使 以解ί。ϊί有Ιϊίίί，塵薄膜組件收納容器的剛性而加 作的重· 不可能ί 從J 防塵薄膜組件收納容器中，盔 ：、二 件收納容器。 r ”、、法焱付產生灰塵較少的防塵薄^ 作是，為了担古---------，〜、”分命《、川U生而加 作的重量Γ=ί2：：ϋ性I能使《更增加，騎慮到可操 不可_。酬性不能無限地提高，故要完全防止撓曲“ k蓮聘用金屬製的防塵薄膜組件收納容器本體之 :膜組 [習知技術文獻] [專利文獻] 專利文獻1:日本特開2009 —037269號公報 【發明内容】 [發明所欲解決的問題] 收納題，所以本發明的目的係提供—種能 防塵薄膜J 邊長大於議_的大型的防塵薄膜組件之 並能保持所在運送中產生的灰塵非常少， [解決問題之技術手段] 的邊塵輪組件收納容器，係—種能收納至少有-邊 容器r並紐為防塵薄膜組件之大型的防塵薄膜組件收納 周緣截^=塵_組件收納容器本體為金屬製，且於在 疋之盍體所接觸之該防塵薄膜組件收納容器的表 201139233 it與其蓋體減層細脂，無簡藤件㈣容ρ本㈣曰 ；^：：ΐϊ"]; 3 ίΓί； 接声為接層為樹脂，與防塵薄膜組件收納容器本體相 = 脂且其中間層為彈性體。而該傾構件中的彈 酯 再者’與該保護構件的蓋體相接層，宜為聚對苯二甲酸乙二 [對照先前技術之功效] 的大苎明’亦可以得到一種能收納像邊長大於1〇〇〇_ 避免，_為：可 股'盍脰罝接接觸，在運送中產+的#鹿非a >、，並旎保持所收納之防塵薄膜組件清潔。 吊 【實施方式】 邊的大㈣收納至少有- 在周緣載置、固本體糊製’且於 面，設有保護構件，收納容器所接觸的表 保護構件载置、固定。金屬紫的體與蓋體係隔著該 體則^直接接觸㈣容器本體與蓋 中，與ί蓋少由2層所構成，其 接層，亦即安裝於防塵“组件“二版組件收納容器本體相 體相接層為樹脂，可軌著劑。由於令與蓋 化一接力%:，而==度=1 201139233 =’而^合適。又科因化學性分解而 件之疑慮較低的優點。再者，於更掻此彳丨罐j々歷^寻臊、、且 地剝離，且易於清洗及再安ί更換此保雜件時，可不留殘渔 又更佳的實施形態，係上述保護構件，至少由3 f特徵宜為：與其蓋體相接層為樹脂，與__^收納容哭 本體相接層為賴轉劑，且其巾間層為 、性二 緩衝效果，能更謀求防核塵的發生。*篮猎由純體的 做為此彈性體’制是宜使财輯脂。在 形，緩衝性能較咼，特別是效果好。 寸j丨月 又，與蓋體相接的樹脂，宜為聚對苯二曱酸乙 i表Γΐί，以產生灰塵，而且對於各式各樣的;質摩捧:ί 低，化學性亦安定，特別合適。 貝/手h你数 以下說明本發日⑽實施形態，但本發明不限於此。 容器^5防塵薄膜組件收納 側視圖。 乂、十面圖圖2為其則視圖、圖3為其右 以10表示防塵薄膜組件收納容器的整體，防鹿笼描知放丨AM 容器本體11，係以下列方式f防塵_組件收納 此5是=金;鎂合金、不等= 等的目的，，柯職，從補強 12，係將金屬每減心、:t體兵載置、固定所用之蓋體 氣屋成型而使用。樹真空成型，或是壓縮空 ^宜將抓解透 丁二烯-苯乙烯樹脂等樹脂直空成刑 來反酉夂酉日、丙烯腈- 宜具有防止靜電的性能，成使用，#佳的實施形態，係 在防塵薄膜組件收納容器本體u盥宴 狀的保護構件17。另外，13 A麻邱μ、二體12之間，设有平板

卜1為脚°卩’ 16為扣接防塵細組件收納S 201139233 容器本體與蓋體之環扣。 圖4係顯示圖1的a—a線之剖面概略圖。 裝容器本體11的外周部，安 塵薄膜組件 ®疋亚接觸的面。又，18為收納於内部的防 係，本發_保護構件17的剖面構造之例圖。 護層）开f的保護構件17為2層構造，上層21(保 曰^即舁盍體接觸的層，宜以樹脂構成。 mi ίί層=斤使用的樹脂，例如可列舉出聚乙烯、聚對苯二 俨;所以不易產生灰塵，化學性亦安定。又，1 右使用作為黏接劑層22之各式各樣的黏接劑、接 者j具有良好的黏接性，此亦為其優點。 接 在使用矽酮黏著劑的情形，具有述 办 化、及因溫度，度等：丄二:著 力的交化少’所以有關黏接力之可靠度提升。 成之黏考 應笼^，t於化學性的安定’由分解等產生之化學物質排屮石 件收納容器内部之疑慮較少。再者，雖然保H出f防 、朴產生污垢、損傷的情形有必要更換，但在ϋ 7， 殘Ξ歹斷’所以防塵薄膜組件收納容器本體不·

:以常容易清洗’以上皆為其優點。其結果，可S =6係顯示保護構件17的另一實施形態，以3 在此6形，上層(保護層)21，與上 9 為例。 脂特別是聚對笨二甲酸乙二叫下層 ==2一:同;= 201139233 丙烯酸黏著劑、矽酮黏著劑箄之读益 樹脂黏接劑、橡膠系黏接劑等之^接:所U熱炫黏接劑、環氧 著劑。而中間層(缓衝卵3 成^宜使时^ 圖6所示之中間層23，係^f、體、橡膠等彈性體。 缓衝性，JL降低灰塵產生之效果。$ ㉛2層構造者更提高 樣的:=夺雖甲酸乙_各式各 時的清洗水浸潤。 獨乳泡的發泡體，因其可防止清洗 特腈橡膠、乙稀丙烯橡膠、碎 ίίίίί!'^' ^ ΐΐίίΓ'Ιχί 形成護g雜料式能直接 層)21與中間層(緩衝一^^亦有將分卿成的上層(保護 的情形。像這種情幵^必須於上^ ’ 形成下層(黏接層） 黏接劑或是黏著劑而加以接合。層21或疋中間層23薄薄地塗佈 23之間夹著上層21與中間層 器本，黏 觀點來看，竹辆接;。7又何重時防止上層21的横向偏移之 可能，，幸ts?t2l在下足以维持黏接力的情況下，厚度要盡 於其情形另雖f 2的面=帶狀之物堆疊並貼合(未圖示）。 雙面膠帶的部分的^料^ θ或6層以上，但若考慮到要使 時H向偏移等，而=^能的薄，則可防止承受横向負荷 構件π的本Ιί Π上的保護 固8係配置於全周之實施形態，圖萏 201139233 9係不連續配置於全周而h 於全周斷續配置之實^形1:角部預留間隙之實施形態’圖10為 如圖1所示，因為芸俨19 膜組件收納容器本體=在周緣部整體載置、固定於防塵薄 任一實施形態之情形，皆可範圍都夾著保護構件，於 在預留間隙的情形，因為在:=發生之職望的效果。 膜組件收納容器内，所 體4外面空氣易於流入防塵薄 為負壓而捲人異物的程度得到薄膜組件收納容器内成 因為必須考虞到俘1播之放果。 的作業性等，定性，以及製造時 所費之工時，而選擇„納谷器的大小、及作業 少在以用來將蓋體㈣的。預邊間隙的情形，應考慮到至 扣叫接的部分，設置口 賴組件收納容器本體η之環 .[實本發明的實施例，但本發明不限於此。 發明人製作了如圖1、圖 一 器I此防塵薄膜組件收納容哭斤不=塵薄膜組件收納容 高一嶋部13)部尺寸為胸錢 造成型之呂合f繼以砂模鑄 膜組件的面以銑床進行切削加2:機械加i卜搭載防，薄 補表面的禱孔等之鐘达缺_ 、、’°束之後，以油灰填 化，塗佈導電性材料，°在供燥讓油灰自然乾燥並硬 腳部13 ’係將SUS3〇4冷軋板彎 , 裝塵薄聽件收納容器本體11的底面^者螺 =蓋:=:圖示)娜合金製的二= 護構本體11的外緣部安裝保 將石觸著劑(商品名稱：KR3700 ’信越化學工業股份有限公 201139233 司‘k)以塗佈棒塗佈於寬度5〇〇mm，厚度的聚對苯二甲 酸乙二酯製膠膜(商品名稱：Lumirr〇r，T〇RAY股份有限公司製 ie) ’以使其乾燥後的厚度為5〇gm，並加熱使其硬化。 、&將此聚對苯二甲酸乙二酯製膠膜與分離紙貼合，維持此貼人 狀態而纏繞在餘75mm的聚乙_之捲雜之後，將斷$ 寬度20mm的膠帶狀。製成的保護構件17的剖面構造如圖5所示， 上層聚對苯二甲酸乙二酯’下層22為矽酮黏著劑。 清潔防塵薄膜組件收納容器本體U的外周部，一邊注意 讓吼泡、異物等侵入，一邊將此保護構件1γ以橡膠滾筒滾 另外’在㈣各保護構件之間的接縫 舻祕η 工糊加工，哺其與防麟敵件料容^本 =;:=。於外面為了便~螺检(未以 將如此製成的防塵薄膜組件收納容器本體u盥罢辦、， 無塵室内，以介面活性劑與純水好好地清& = 照明對内的 件，=本體及蓋體的内面側的異物檢查，组 接下來，將蓋體12輕緩地欲合包覆於鹿有f者異物。 本體11，周緣部以黏著勝帶密封，且以配夂 收納容器 厂2與防塵薄膜組件收納容器本體u固定。H扣=將蓋 聚乙烯製膜片（未圖示)包裝整體，開 ^ ^止靜電之 再次從無塵室運送出，收納於底部設衝其後， 示}。其次，將此包裝箱以卡車載送，使包裝箱(未圖 運送結束的防塵薄膜組件收納容器、1〇夕動再的距離。 内，以純水將其夕卜面洗淨擦栻之後，打 12 201139233 况产關，無塵室的照明之狀態下，以聚光燈(光量40 面^显Γ射盖體與防塵薄膜組件收納容器本體的各自的内側 面，覜察異物的附著狀況。 J。曰日只j 夺面ίϊί登Ϊ防麟膜組件收納容器本體11，於保護構㈣的 iU !近發現有4個大小為ig〜5q师左右的異物附 . ’於盍體12 ’在與保護構件的接觸部發現3個大小 二〜’工右的異物。此等之附著位置皆限於保護構件17的 膜組件的内側-方完全沒有發現Π 於保破構件的表面及黏著層完全未發生損傷。 [實施例2] ' 哭。ίί上施例1完全相同的方式製成防塵薄膜組件收納容 :疋’在此所用的保護構件的構造同圖7所示，上層21為聚 =曱酸乙二酯(商品名稱：Lumirr〇r，t〇ray股份有限公司製 二;7A間Ϊ接層，4為石夕_黏著劑(厚*卿111，商品名稱： 俨工業股份有限公司製造），中間層23為矽酮橡 ： KE~931~U ^

。司农以，下層22為矽酮黏著劑(厚度50陣，商品名稱. KR-3700，信越化學工業股份有限公司製造）。 ^名I 關於此防塵薄聽件_容!！，以與實細丨相 行運，驗，確制部的赴灰塵的狀況。其結果，關於防g J組，收納容器本體il ’發現有3個左右的異物附著。又， ，於1體12 ’發現1個1〇陣左右的異物。與實施例丨 等之附著位置皆限於保護構件17的附近，於搭載防塵^ 内側-方完全沒有發現異物，於保護構件17絲發生損^、、。件的 [比較例] 以與上述實施例卜2相同的方式製成防塵薄膜組件 本體11及蓋體…但是，在此防塵薄膜組件收納容器;匕-2安裝保麟件17。對於未設此保護構件17 _ ^ 納容器，以與上述實施m完全相同的方式進行運送實驗且= 内部的產生灰塵的狀況。 確5心 201139233 m ^結果^防塵薄膜組件收納容器本體上發現數百個大λΝΑ 1〇〜^哗的賤，於蓋體上«數十個異物。此等之附Κ f Γϋ卜Λ部:擴散到内面整體。又，在防塵薄膜組件收ί容 林體上，到處都存在有因為與蓋體u接觸所造成的擦痕。. 【圖式簡單說明】 圖1係顯，本發明的實施形態之平面圖。 .圖2係顯，本發明的實施形態之前視圖。 圖3係顯不本發明的實施形態之右側視圖。 ΐ4係顯示本發明的實施形態之圖1中的AA線剖面圖。 略圖賴不在本發賴關保護構件的—實施形態之剖面概 概略Ξ。6侧示在本發簡賴縣構件㈣—實施職之剖面 面概=係齡在本發明烟祕護構賴再另—實施形態之剖 整體祕職件邮_—雜賴即配置於 的接態即於角 •置料另-實施形態即以 【主要元件符號說明】 10〜防塵薄膜組件收納容器(整體） 11〜防塵薄膜組件收納容器本體 12〜蓋體 _ 13〜脚部 14〜把手 15〜把手 £ 201139233 16〜環扣 Π〜保護構件 18〜防塵薄膜組件 21〜上層(保護層） 22〜下層(黏接層） 23〜中間層(缓衝層) 24〜中間黏接層

Claims (1)

1. 201139233 七、申請專利範圍： 1、一種防塵薄臈組件收納容器，爱 ί大?：一塵薄媒組件的大型之防塵薄二 面，設有保護構件，兮阶μ ^卞叹π谷為的周緣部表 著該保護構件載置、^定。/w且納容器本體與該蓋體係隔 專^i圍第1項之防塵薄膜組件收納容器，1中， 防塵f膜組件收納容器本體相接層為石夕_著劑為批月曰與 利^圍第1項之防塵薄膜組件收納容器，盆中， 防塵所構成，與其蓋體相接層為樹脂，與 彈性體。、、μ本體相接層為石夕酮黏著劑，且其中間層為 t伴如 1申=專^範圍第3項之防塵薄膜組件收納容器，並中， °亥保遵構件中师性體，為御咖旨。 "τ 容器5，、ί中申請專利範圍第2至4項中任一項之防塵薄膜組件收納 與該保護構件的蓋體相接之層，絲對苯二甲酸乙二醋。 八 圖式 16