201100312 六、發明說明· 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種升降裝置’尤其係關於一種藉由配置於 桅桿(mast)内之鏈條使升降台升降之升降裝置。 【先前技術】 - 堆高式起重機係包括移行台車、在設置於該移行台車之桅 — 桿可升降自如之升降台、及設置於該升降台之移載機（例 〇 如，平面關節型機械手臂）。 電子零件之製造步驟係於室内之灰塵非常少之無塵室内 進行。因此，對於在無塵室内所使用之堆高式起重機而言， 必需抑制來自機構部之灰塵，防止粉塵之擴散。 堆高式起重機之升降裝置係包括升降台、桅桿、配置於槐 桿内之傳送帶、及用於驅動傳送帶之驅動機構。桅桿中形成 有朝上下方向延伸之狹縫，配置於狹縫内之連接構件係將升 〇 降台與鏈條相連接(例如，參照專利文獻1)。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]曰本專利特開平11-334869號公報 【發明内容】 (發明所欲解決之問題） 於專利文獻1所記載之升降裝置中，係使驅動傳送帶具有 狹缝之密封構件功能。藉此，即便無專用之密封構件，因傳 099121018 , 201100312 送帶之滑動所產生之灰塵亦難以自# 狹縫中漏出。因此，外部 之污染減少。 另一方面，當在升降裝置中使用鏈條時，必須準備覆蓋專 用之傳达帶機構以堵住狹縫。在覆蓋專用之傳送帶機構中， 傳送帶、帶輪、張力計等零件為必要，因此其配置需要額外 之空間。又’將導致成本、重量、維護項目等。 本發明之闕係在藉由配置於桅棹内之鏈條^升降△升 降之升降裝置中採用簡單之構成即可抑制桅桿内所產生之 灰塵向外部漏出。 (解決問題之手段） 升降裝置包括桅桿、升降台、鏈條、連接構件、及狹縫覆 盍構件。桅桿内部具有空間，且形成有沿上下方向延伸之狹 縫。升降台可沿桅桿升降。鏈條係設置於桅桿之内部，且為 用於驅動升降台之環形狀構件。連接構件透過狹縫而將鏈條 與升降台相連接。狹縫覆蓋構件係固定於鏈條之外周部。 於"亥升降裝置中’係藉由固定於鍵條之狹縫覆蓋構件來覆 蓋狹縫’故可抑制灰塵自桅桿之狹縫向外部漏出。再者，所 明「覆蓋狹縫」’係意指當鏈條位於與狹縫相對向之位置時， 狹縫覆蓋構件抛置於賴錢狀間，藉此可減少自狹縫 漏出之微粒等。於該情料，「覆蓋狹縫」亦意指僅覆蓋狭 縫之一部分’而並不受限於覆蓋狹縫之全部。 鏈條包括配置於狭縫之寬度方向兩侧之一對鏈條構件，狹 099121018 201100312 缝覆蓋構件亦可固定於—對鏈條構件間。 支中’狹縫覆蓋構件之兩端係藉由鏈條構件而 支持因此穩定性將提高。 括複數個鍵環，狹縫覆蓋構件亦可包括分別固定於 鏈裱之後數個板狀構件。 降裝置中，板狀構件係固定於鏈條之各鏈環，因此 Ο 田u移動時，板狀構件不會妨礙到鏈條之移 (發明效果） 根據本發明’於藉由配置於桅桿内之鏈條而使升降台升降 t降裝置中’其可抑制桅桿⑽產生之灰塵向外部漏出。 【實施方式】 (1)移载裝置 使用圖1對移載裝置lit行說明。圖i係採用本發明一實 施形態之移載裝置之立體圖。 〇移储置1例如係用於搬送裝人有大型液晶基板之卡E 之裝置’其主要包括基台5、升降裝置7、及移載機8。 ;土 D 5没置有複數個車輪9。車輪9係位於敷設於地面 之執道10上。車輪9例如藉由組入於基台5内之馬達(未圖 式）而進仃旋轉驅動。沿軌道1〇設置有倉庫之棚架(未圖式)。 (2)升降裝置(概略） 升降裝置7主要包括一對桅桿u、升降台U、及驅動機 構13。桅椁11以左右—對固定於基台5上。升降台丨2可 099121018 5 201100312 升降地安裝於桅桿11之間，並由驅動機構13(後述)進行驅 動而沿梳桿11升降。 (3) 移载機 使用圖2對移載機8進行說明。圖2係表示移載裴置之概 略俯視圖。 移載機8係用於對倉庫之棚架（未圖式)存入取出卡匣之平 面關節型機械手臂。移載機8設置於升降台12上。移載機 8可進仃伸縮與旋轉，以伸展之狀態進行卡匣之存入取出， 而於輪送時則以收縮之狀態搭載卡匣。又，移載機8亦可進 灯方疋轉以對於相反侧之棚架存入取出卡匣。 (4) 升降裝置（詳細） 使用圖3及圖4對升降台12進行說明。圖3係移載裝置 之側視圖’圖4係圖3之IV箭視圖。 升降σ 12包括升降台本體15、及其兩側之支持框架16。 支持框架、1 /、Q運結於驅動機構13(後述），並懸掛升降台本體 支持框架16係底邊與升降台本體15之寬度大致相同之 大致等腰三角形。 使用圖5、国^ 〆士 _ 圚6及圖7對桅桿n之構造進行說明。圖5 係表示升降梦番 之桅产 "之桅桿内部構成之模式圖，圖ό係升降裝置 ..]祁之橫剖視圖，圖7係升降裝置之桅桿上部之橫 刮視圖。再去 6及圖7 ;以下之說明中，將圖5之左右方向以及圖 099121018 1 上下方向稱作「桅桿對向方向」，將圖ό及圖7 201100312 之左右方向稱作「與槐桿 桅桿u主要包括槐桿本°目正交之方向」。 例如為銘製，其剖面為中及_蓋18。桅桿本體17 於桅桿本體17之上^ H四邊形。 裝有下部框架22。 裝有上部框架21，於下端部安 内側蓋18為樹脂等薄板， 桅桿對向方向之對向’安裝於桅桿本體17之内側面 ο 桅桿本體π之内側面17a面）。内侧蓋18係用以確保與 ι〇^ a之間的既定空間。又，於内側蓋 之面。P刀（桅扣對㈣ 下方向延伸之狹縫18a 、°侧之部分）’形成有沿上 外空間彼此連通。9由狹縫18a，而使内侧蓋18之内 對升降裴置7之驅動機 條驅動式機構，其主要：進行說明。驅動機構13為鏈 輪25、及驅動f ^鏈條23、上側鏈輪24、下側鏈 〇 下側鏈輪嫩咖， 且捲繞於上·輪24 ^ ^ 22心鏈條23為環雜鏈， 18内之空間、與桅侧鍵輪25。鏈條23通過内側蓋 干體17之中空内部。 更祥細而言，_23 向方向正交之方向_ 及圖7=:與槐桿對 條構件加所構成。第第1鏈條構件2从及第2鏈 分別為2列鍵條構件，^條構件2从及第2鍵條構件細 側板(外鏈環）、及軸戶“輥、襯套、内側板（内鏈環）、外 _麵 所構成。又，上側鏈輪24由第！上側 201100312 谜輪24A及第2上侧鍵輪24R所媒士 ~r~ 硬輪24B所構成。下側鍵輪％亦同 圖式）。 驅動裝置26收容於下部框架22。驅動褒置％例如包含 馬達，其可向下侧鏈輪25傳達動力。當驅動裝置％向 鏈輪25傳達動力後，鏈條23將於上側鏈輪24 *下侧 25之間進行循環。 ％ 於鏈條23中通過内侧蓋18狀部分，懸掛有移動塊也 於鏈條23中通過桅桿本體17之巾”部之部分，懸掛有配 重29。配重29之重量係被設定可取得與载置所搬送卡 升降台12之間的平衡。 於桅桿本體17之内側面17a設置有沿上下方向延伸之導 引構件31。導引構件31中卡合有上述移動塊32。移動塊 32係受導引構件31而限制其前後左右之動作，其僅可沿導 引構件31進行上下移動。移動塊32經由連接構件33而連 結於支持框架16。連接構件33在内侧蓋18之狹縫i8a内 可進行上下移動。於移動塊32中之兩個部位設置有吊鍵安 裝部34 ’鏈條23上下被固定地懸掛於此處。 再者’狹縫18a之寬度(與桅桿對向方向相正交之方向的 長度)較第1上侧鏈輪24A及第2上侧鏈輪24B之間隔還短。 於桅桿本體17之開口部安裝有複數個風扇過濾單元35。 風扇過濾單元35包括風扇與高性能過濾器，利用風扇而吸 入桅桿本體17内之空氣並使其通過過濾器，藉此可將不包 099121018 8 201100312 含灰塵之潔淨空氣排出至桅桿11之外。 (5)狹縫遮蔽構造 升降裝置7更包括用於遮蔽桅桿Π之内侧蓋18之狹縫 18a的抑制灰塵洩漏構造40 ° 於本實施形態中’藉由將内側蓋18設置於桅桿本體17 ’ 除具有防止鏈條23捲入之效果之外，亦具有不會使因移動 塊32與鏈條23之升降而產生之灰塵擴散之效果。然而’由 〇 於在内侧蓋18形成有用於使連接構件33通過之狹縫18a， 故而會存在灰塵自此向外部漏出之問題。對此，為了解決該 問題，可採用以下所述之抑制灰塵洩漏構造40。 抑制灰塵洩漏構造40主要係由固定於鏈條23之板狀構件 42所構成。更具體而言，在位於第1鏈條構件23A及第2 鏈條構件23B彼此接近之側之列的彼此相接近側之内側板 41，係固定有板狀構件42。 Ο 更具體而言，板狀構件42中與桅桿對向方向相正交之方 向兩端係被固定於上述2個内側板41。如此板狀構件42之 兩端可由鏈條23所支持，故而穩定性將提高。 於内侧板41形成有彼此相向延伸之突起部43，於突起部 43 ’藉由螺栓45及螺帽46而固定有向外周側延伸之概套 44。於襯套44之前端固定有上述板狀構件42之端部。 板狀構件42 4大致長方形狀之構件，且左右配置得較 長。板狀構件42之長邊(左右方向寬度)係大致對應於= 099121018 9 201100312 鍵條構件23A及弟2鏈條禮& 條構件23B之間。板狀構件42之短 邊大致對應於鍵條之鏈環之一。 以下’使用圖8〜圖1〇對板狀構件42彼此之關係進行說 明。圖8係鏈條及上部鏈輪之側視圖。®1 9係桅桿之局部前 視圖。圖10係圖8之局部放大圖。 此處，對位於鍵條23中接近内側蓋18内狹縫18a之位置 的料所安裝之板狀構件42進行說明。板狀構件42於接近 内側蓋18之狹縫18a的位置處向下方延伸，位於下方之第 1端部42a係如圖1〇所示，抵接於位於在下方另一板狀構 件42上方的第2端部你。如此一來，複數個板狀構件^ 保持連續配置’並且兩端位於比狹縫⑽而更靠與桅桿對向 向相父方向之外側。即，複數個板狀構件42覆蓋狹縫 18a之大半部分。 再者較佳為板狀構件42接近狹縫18a。然而，對於板 狀構件42與内侧蓋18之間隙而言，只要自狹縫他漏出之 灰塵量處於容許範圍内，則該間隙亦可不必過小。 板狀構件42較佳為設置於鏈條23中通過狹縫丨如之部分 之全部°再者’連接構件33所通過之部分亦可不設置板狀 構件42。 如上述般’抑制灰塵洩漏構造40由被配置成履帶狀之複 數個板狀構件42所構成，其構造簡單，並且零件之種類亦 車父少。又’因複數個板狀構件42只要配合鏈條驅動進行循 099121018 201100312 環傳送即可’故可不需要進行更多之維護作業。進而，滑動 部分較少，因而比起傳送帶方式可更不易產生灰塵。 進而，於升降鏈條安裝履帶狀之附件而形成堵住狹縫之 蓋，由此較習知之覆蓋傳送帶方式而可更節省空間。 (6)特徵 •升降裝置7包括桅桿11、升降台12、鏈條23、連接構件 • 33及板狀構件42。桅桿11内部具有空間，且形成有沿上下 〇 方向延伸之狹缝18a。升降台12可沿桅桿11升降。鏈條23 係設置於桅桿11之内部’為用於驅動升降台12之環形狀構 件。連接構件33透過狹縫18a而將鏈條23與升降台12連 接。板狀構件42係固定於鏈條23之外周部，並覆蓋狹縫 18a。 該升降裝置7中，係藉由固定於鏈條23之板狀構件42 而覆蓋狹縫18a，因此可抑制灰塵自桅桿11之狹縫18a向 〇 外部漏出。再者，所謂「覆蓋狹縫18a」，係意指當鏈條23 位於與狹縫18a相對向之位置時，板狀構件42被配置於鏈 條23與狹縫18a之間’藉此可減少自狹縫i8a漏出之微粒 等。於該情形時，「覆蓋狹縫18a」亦意指僅覆蓋狹縫18a 之一部分，而並不受限於覆蓋狹縫18a之全部。 鍵條23包括配置於狹縫之寬度方向兩侧之第i鍵條 23A及第2鏈條構体， 再件23B ’而板狀構件42固定於第1鏈條 構件23A及第2鏈條構件UR間。 099121018 201100312 於該升降裝置7中，因板狀構件42之兩端藉由鍵條23 而支持，故而穩定性高。 鏈條23包括複數個内側板41 ’板狀構件42分別固定於 内侧板41。 於該升降裝置7中，板狀構件42係固定於鏈條23之各内 側板41，故當鏈條23移動時，板狀構件42不易妨礙到鍵 條23之移動。 (7)另一實施形態 以上，已對本發明之一實施形態進行說明，但本發明並不 受限於上述實施形態，於不脫離本發明主旨之範圍内可進行 各種變更。 圖11表示本發明之另一實施形態。板狀構件42A於接近 内側蓋18之狹縫18a之位置處向下方延伸，位於下方之第 1端部42c係與位於在下方之另一板狀構件42A上方的第2 端部42d僅相隔開微小間隙而配置。 圖12表示本發明之又一實施形態。板狀構件42B於接近 内側蓋18之狹縫18a之位置處向下方延伸，位於下方之第 1端部42e係自外侧而重疊配置在位於在下方之另一板狀構 件42B上方的第2端部42f。 鏈條之種類及形狀並不受限於上述實施形態。例如，亦可 為一根鏈條而非二根鏈條。此時，一根鏈條之板則固定有板 狀構件。又，可為單輥鏈而非雙輕鏈，亦可為3列以上之多 099121018 12 201100312 列輥鏈。 上述實施形態巾，板狀構件储由作為間隔件之襯套而被 配置於靠近狹縫之位置處。然而，當鏈條自身充分靠近狹縫 時亦可不使用襯套而直接將板狀構件固定於鍵條。 板狀構件之雜、她、配置等衫受限於上述實施形 態。例如’上述實施形態中板狀構件係自固定部分而向鏈條 延長方向單侧延伸’但板狀構件亦可自固料分而向鍵條延 〇 長方向兩側延伸。 固疋有板狀構件之鏈條構件並不受限於内側板。 板狀構件亦可不固定於鏈條之所有鏈環。例如，亦可 隔一鏈環而固定有板狀構件。此時’藉由將板狀構件之長度 汉為2個鏈環之分量’可消除或減小板狀構件彼此之間隙。 (產業上之可利用性） ❹ ::適用於藉“置於—升降 【圖式簡單說明】 置之立體圖 圖1係採用本發明一實施形態之移裁裝 圖2係移載裝置之概略俯視圖。 圖3係移載裝置之側視圖。 圖4係圖3之IV箭視圖。 圖5 圖6 係表示升降裝置之桅㈣部構成之模式圖 係升降裝置之桅桿中間部之橫剖视圖。 099121018 13 201100312 圖7係升降裝置之桅桿上部之橫剖視圖。 圖8係鏈條及上部鏈輪之側視圖。 圖9係桅桿之局部前視圖。 圖10係圖8之局部放大圖。 圖11係另一實施形態中與圖10相當之圖。 圖12係又一實施形態中與圖10相當之圖。 【主要元件符號說明】 1 移載裝置 5 基台 7 升降裝置 8 移載機 9 車輪 10 執道 11 桅桿 12 升降台 13 驅動機構 15 升降台本體 16 支持框架 17 槐桿本體 17a 内側面 18 内側蓋 18a 狹缝 099121018 14 201100312
21 上部框架 22 下部框架 23 鏈條 23A 第1鏈條構件 23B 第2鏈條構件 24 上側鏈輪 24A 第1上側鏈輪 24B 第2上側鏈輪 25 下側鏈輪 26 驅動裝置 29 配重 31 導引構件 32 移動塊 33 連接構件 34 吊鏈安裝部 35 風扇過濾、單元 40 抑制灰塵洩漏構造 41 内側板 42、42A、42B 板狀構件(狹缝覆蓋構件) 42a、42c、42e 第1端部 42b、42d、42f 第2端部 43 突起部 099121018 15 201100312 44 45 46 概套 螺栓 螺帽 099121018 16