KR101171758B1

KR101171758B1 - 챔버라인

Info

Publication number: KR101171758B1
Application number: KR1020100094156A
Authority: KR
Inventors: 이츠시 이이오; 마사히토 잇시키
Original assignee: 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date: 2010-09-29
Filing date: 2010-09-29
Publication date: 2012-08-07
Also published as: KR20120032695A

Abstract

[과제] 덮개부를 개폐하기 위한 설비를 심플하게 구축하기 쉬워지고, 비용절감에도 유효한 챔버라인을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[해결수단] 복수의 챔버(4A~4E)의 나열방향(D)을 따라 배치된 레일(11, 12)과, 레일(11, 12)을 따라 이동 가능하며, 복수의 챔버(4A~4E)에 설치된 복수의 천판(덮개부)(9)을 각각 승강시켜 챔버를 개폐 가능한 천판 체인저(13)를 구비한다. 천판 체인저(13)는, 복수의 챔버(4A~4E)의 나열방향(D)을 따라 이동 가능하며, 임의의 챔버(4A~4E)의 천판(9)을 승강시킬 수 있다. 결과적으로, 하나의 천판 체인저(13)로 복수의 챔버(4A~4E)를 개폐시킬 수 있게 되어, 챔버(4A~4E)를 개폐하기 위한 설비를 심플하게 구축하기 쉬워지고, 비용절감에도 유효하다.

Description

챔버라인{Chamber line}

본 발명은, 성막장치 등의 복수의 챔버를 구비한 챔버라인에 관한 것으로서, 특히, 챔버에 장착된 덮개부를, 청소나 유지보수 등을 위해 개폐할 수 있는 챔버라인에 관한 것이다.

이온플레이팅 장치나 증착장치 등의 성막장치(특허문헌 1 참조)에서는, 인접하여 나열된 복수의 챔버에 의하여 구축된 챔버라인을 구비한다. 이런 종류의 챔버라인에서는, 진공챔버인 성막실을 기판이 통과할 때, 그 기판에 대해 소정의 성막처리가 실시된다(특허문헌 1 참조). 성막처리에 수반되는 증착물질의 부착이나 오염물을 제거하기 위하여, 성막실 내부는 정기적인 청소가 필요하고, 또한, 그 외의 챔버도 적절히 유지보수할 필요가 있다. 이를 위하여, 챔버의 천정부분에는, 유지보수용 개구가 형성되어 있고, 일반적으로는, 이 개구를 폐쇄하는 천정덮개가 힌지부를 통해 본체부분에 연결되어 있다. 천정덮개는, 중량이 500㎏ 이상이나 되는 중량물이기 때문에, 각 챔버에는, 천정덮개를 끌어올려 챔버를 개방하고, 또 개방한 챔버를 지지하기 위한 개폐장치가 설치되어 있다.

일본 공개특허공보 2006-299358호

그러나, 종래의 챔버라인에서는, 복수의 챔버 각각에 천정덮개의 개폐장치가 필요하여, 설비가 복잡하고 대형화되기 쉬워서, 설비비용의 증대를 쉽게 초래하였다.

본 발명은, 이상의 과제를 해결하는 것을 목적으로 하고 있고, 덮개부를 개폐하기 위한 설비를 심플하게 구축하기 쉬워지고, 비용절감에도 유효한 챔버라인을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 덮개부를 가지는 챔버를 복수 인접하여 나열한 챔버라인에 있어서, 챔버의 나열방향을 따라 배치된 레일부와, 레일부를 따라 이동 가능하며, 챔버에 설치된 덮개부를 승강시켜서 챔버를 개폐 가능한 개폐수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 의하면, 개폐수단은, 복수의 챔버의 나열방향을 따라 배치된 레일부를 따라 이동 가능하다. 따라서, 하나의 챔버의 덮개부를 승강시켜 챔버를 개폐하고, 다시 다른 챔버까지 이동하여 다른 챔버의 덮개부를 승강시켜 다른 챔버를 개폐하는 것도 가능해진다. 그 결과, 적어도 하나의 개폐수단으로 복수의 챔버를 개폐시킬 수 있게 되어, 복수의 챔버 각각에 개폐장치를 설치할 필요가 없어져서 설비를 심플하게 구축하기 쉬워지고, 비용절감에도 유효하다.

또한, 덮개부는, 챔버로부터 이탈 가능하면 바람직하다. 챔버로부터 이탈한 덮개부와 함께 개폐수단을 이동시킴으로써, 덮개부가 제거된 챔버의 상방에, 넓고 안전한 작업영역을 확보할 수 있게 된다.

또한, 덮개부에는, 다른 덮개부를 겹쳐 쌓아 지지하는 홀드부가 설치되어 있으면 바람직하다. 개폐수단에 의해 챔버로부터 이탈된 덮개부는, 예컨대 이웃의 덮개부에 겹쳐 쌓아 임시 적치할 수 있으므로, 개폐수단이 상시, 덮개부를 지지해 두지 않아도 되게 되어, 복수의 덮개부를 동시에 개방할 수 있다.

또한, 개폐수단은, 일단이 덮개부에 결합 가능한 롤러체인과, 롤러체인이 감겨진 스프라킷과, 스프라킷을 회전 구동하는 구동부를 가지며, 롤러체인의 타단은 스프라킷에 결합되어 있으면 바람직하다. 롤러체인의 타단은 스프라킷에 결합되어 있기 때문에, 스프라킷의 회전에 따라 롤러체인은 확실히 감아올려져, 그 결과 덮개부의 확실한 상승이 가능해진다. 또한, 상기 구성에 의하면, 승강 스트로크가 짧은 경우에 적용할 수 있으므로, 설비의 컴팩트화에 유리하다.

본 발명에 의하면, 설비의 단순화가 용이하고 비용절감에도 유효한 챔버라인을 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 관한 성막장치의 측면도이다.
도 2는, 본 실시형태에 관한 천판(天板) 체인저의 평면도이다.
도 3은, 도 2의 III-III선을 따른 단면도이다.
도 4는, 도 2의 IV-IV선을 따른 단면도이다.
도 5는, 성막장치의 일부를 확대하여 나타내는 측면도이다.
도 6은, 천판의 사시도이다.

이하, 본 발명에 관한 챔버라인의 바람직한 실시형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다. 본 실시형태에서는, 챔버라인을 구성하는 성막장치(1)를 예로 하여 설명한다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 성막장치(1)는, 기판에, 다양한 증착법에 의해 성막하는 장치이며, 통칭, 인라인 타입으로 불리는 반송형태를 채용하고 있다. 성막장치(1)는, 가설대(3) 상에 설치된 복수의 챔버(4A~4E)를 구비하고 있고, 각 챔버(4A~4E) 내에는, 소정의 경로를 따라 캐리어를 반송(搬送)하는 구동기구가 설치되어 있다. 캐리어란, 트레이 및 기판을 포함한 반송체이다.

복수의 챔버(4A~4E)의 역할은 각각 상이하여, 캐리어가 통과하는 경로의 상류측에서부터 순서대로 로드 락 챔버(4A), 전단(前段) 버퍼챔버(4B), 성막챔버(4C), 후단(後段) 버퍼챔버(4D), 언로드 락 챔버(4E)가 설치되어 있다. 각 챔버(4A~4E)는, 각각 개폐 가능한 진공 게이트밸브(5)에 의해 구획되어 있다.

로드 락 챔버(4A) 및 전단 버퍼챔버(4B)는, 기판을 받아들여 순차 감압한다. 또한, 로드 락 챔버(4A) 및 전단 버퍼챔버(4B)에서는, 반송 중인 기판을 소정의 온도까지 가열한다. 소정의 온도까지 가열된 기판은, 성막챔버(4C)에 반입된다.

성막챔버(4C)는, 서로 연통하는 3개의 진공챔버로 이루어지고, 성막챔버(4C) 내부는 고온 분위기로 유지되어 있다. 중앙의 진공챔버의 저부(底部)에는, 다양한 증착법에 의한 증착장치가 설치되고, 증착입자에 의해 기판의 성막이 행하여진다.

성막 후의 기판은, 후단 버퍼챔버(4D)로 배출된다. 후단 버퍼챔버(4D)에는, 수냉판이 설치되어 있어서, 기판은, 후단 버퍼챔버(4D) 내에서 복사(輻射)에 의해 서서히 냉각된다. 그 후, 기판은, 조압(調壓) 후에 언로드 락 챔버(4E)를 거쳐 성막장치(1) 밖으로 반출된다.

각 챔버(4A~4E)에는, 그 역할에 따라 각종 배관이나 기기가 장착되어 있다. 그러나, 각 챔버의 개략적인 구성은 공통적이고, 각각 본체부가 되는 케이스부(7)를 구비하고 있다(도 5 참조). 케이스부(7)는, 직사각형으로 둘러싸는 외벽(7a)을 구비하고, 상부는 개방되어 유지보수용 개구(7b)가 형성되어 있다. 이 개구를 막도록, 직사각형의 천판(덮개부)(9)이 착탈 가능하게 장착되어 있다. 천판(9)은, 500㎏이나 되는 중량물이다.

도 6에 나타내는 바와 같이, 천판(9)에는, 2개의 행잉 플레이트(9a)가 연결되어 있다. 행잉 플레이트(9a)는 길이가 긴 직사각형 판형상이며, 천판(9)의 길이방향에 직교하여 뻗어 있고, 또한 천판(9)에 대해 세워서 설치되어 있다. 행잉 플레이트(9a)는, 천판(9)의 양측 가장자리로부터 외측으로 돌출된 양쪽의 단부(9b)를 가진다. 단부(9b)에는, 다른 천판(9)을 지지하는 천판받이 지주(홀드부)(9c)가 세워서 설치되어 있다. 천판받이 지주(9c)의 상단에는, 다른 천판(9)의 천판받이 지주(9c)의 하단에 맞닿아 지지하기 위한 컷아웃(받이부)(9d)이 마련되어 있고, 하단에는, 받이부(9d)에 대응한 치수의 맞닿음부(9e)가 설치되어 있다.

행잉 플레이트(9a) 각각에는, 행잉 다운을 위해서 브래킷부(27c)(도 3 참조)가 걸리는 관통공(걸어맞춤부)(9f)이 2군데에 형성되어 있다. 관통공(9f)은, 천판(9) 상에 겹쳐지는 위치에 마련되어 있고, 또한, 천판(9)을 매달았을 때의 밸런스를 고려해 천판받이 지주(9c)에 가까운 위치에 각각 설치되어 있다.

도 1에 나타내는 바와 같이, 각 챔버(4A~4E)는, 가설대(3) 상에서 일렬로 인접해 나열되어 있다. 가설대(3) 상에는, 각 챔버(4A~4E)의 나열방향(D)을 따라 설치된 2개의 레일(레일부)(11, 12)(도 4 참조)가 부설되어 있다. 2개의 레일(11, 12)은, 각 챔버(4A~4E)를 사이에 두도록 하여 배치되어 있어, 천판 체인저(13)의 이동을 안내한다. 일방의 레일(12)의 상면은 단면 역V자 형상으로 되어 있으며, 길이방향을 따라 천판 체인저(13)의 롤러(15a)의 어긋남을 방지하는 첨형(尖形)부(11a)가 형성되어 있다. 또한, 타방의 레일(12)의 상면은, 롤러(15b)가 순조롭게 구름운동되도록 평평한 평면으로 되어 있다.

도 2 내지 도 4에 나타내는 바와 같이, 천판 체인저(개폐수단)(13)는, 각 챔버(4A~4E)에 걸치듯이 형성된 문형 프레임(15)과, 문형 프레임(15)의 좌우의 다리부(15c)의 하단에 설치된 롤러(15a, 15b)의 주행부를 구비하고 있다. 좌우란, 레일(11, 12)의 길이방향에 직교하는 방향을 의미하고, 또한, 기판의 반송방향을 기준으로 보았을 경우의 좌우를 의미하고 있다. 또한, 후술하는 전후란, 레일(11, 12)의 길이방향을 따른 방향을 의미하고, 기판의 반송방향의 전후방향을 의미하고 있다. 다만, 도 4에서는, 기판의 반송방향과는 역방향에서 보았을 경우의 도면이기 때문에, 도면상의 좌우와는 반대로 되어 있다.

좌측의 다리부(15c)에는, 2개의 롤러(15a, 15a)가 앞뒤로 설치되어 있고, 우측의 다리부(15c)에는, 2개의 롤러(15b, 15b)가 앞뒤로 설치되어 있다. 롤러(15a)에는, 레일(11)의 첨형부(11a)가 끼워 넣어져 좌우의 어긋남이 방지되는 홈(15d)이 형성되어 있다(도 4 참조). 롤러(15b)에는, 레일(12) 상의 구름운동 저항을 억제하기 위하여 요철이 없는 평평한 둘레면(15e)이 마련되어 있다.

도 2에 나타내는 바와 같이, 문형 프레임(15)의 천정부분(도 2 참조)은, 평면에서 보아 직사각형의 프레임바디를 형성하는 4개의 프레임부(17L, 17R, 17F, 17B)로 이루어진다. 좌우에 배치된 프레임부(17L, 17R)는, 각각 레일(11, 12)과 동일 방향으로 뻗어 있고, 전후에 배치된 프레임부(17F, 17B)는, 레일(11, 12)과 직교하는 방향으로 뻗어 있다. 또한, 프레임바디의 내측에는, 좌우의 프레임부(17L, 17R)와 평행한 2개의 보조프레임부(18L, 18R)가 배치되어 있고, 보조프레임부(18L, 18R)의 양단은 전후의 프레임부(17F, 17B)에 고정되어 있다.

문형 프레임(15)의 천정부분에는, 천판(9)을 승강시키는 승강기구(19)가 설치되어 있다. 승강기구(19)는, 축 동기부(21)와, 천판승강부(23)를 구비한다. 축 동기부(21)는, 좌우의 프레임부(17L, 17R) 및 좌우의 보조프레임부(18L, 18R)에 회전 가능하게 지지된 구동축부(21a)와, 구동축부(21a)에 연결된 구동모터(감속기 포함)(21b)를 가진다. 구동모터(21b)는, 좌측의 프레임부(17L)에 고정되어 있고, 구동축부(21a)는 구동모터(21b)의 구동에 의해 순방향 또는 역방향으로 회전한다. 여기서, 순방향이란, 천판(9)을 상승시키는 방향으로의 회전이고, 역방향이란 천판(9)을 강하시키는 방향으로의 회전이다.

또한, 축 동기부(21)는, 좌측의 프레임부(17L) 및 좌측의 보조프레임부(18L)에 회전 가능하게 지지된 제1 종동축부(21c)를 가진다. 제1 종동축부(21c)에는, 회전력이 전달되는 제1 종동스프라킷(21d)이 설치되어 있다. 또한, 축 동기부(21)는, 우측의 프레임부(17R) 및 우측의 보조프레임부(18R)에 회전 가능하게 지지된 제2 종동축부(21e)를 가진다. 제2 종동축부(21e)에는, 회전력이 전달되는 제2 종동스프라킷(21f)이 설치되어 있다. 그리고, 구동축부(21a)에는, 롤러체인(21j)을 통해 제1 종동스프라킷(21d)에 회전력을 전달하기 위한 제1 구동스프라킷(21k)과, 롤러체인(21g)을 통해 제2 종동스프라킷(21f)에 회전력을 전달하기 위한 제2 구동스프라킷(21h)이 설치되어 있다.

천판승강부(23)는, 제1 종동축부(21c)에 설치된 승강스프라킷(25), 제2 종동축부(21e)에 설치된 승강스프라킷(25) 및 구동축부(21a)의 좌우 2군데에 설치된 승강스프라킷(25, 25)을 가진다. 또한, 천판승강부(23)는, 4개의 승강스프라킷(25) 각각에 연결된 롤러체인(27)을 가진다.

4개의 승강스프라킷(25) 및 롤러체인(27)의 구성은 동일하므로, 하나의 구성을 대표로 설명한다. 도 3에 나타내는 바와 같이, 롤러체인(27)은 고리형이 아니고, 양쪽의 단부(27a, 27b)를 가진다. 롤러체인(27)은, 승강스프라킷(25)에 부분적으로 감겨 있고, 일방의 단부(상단부)(27a)가 브래킷(27g)에 의해 승강스프라킷(25)에 결합되어 있다.

타방의 단부(하단부)(27b)에는, 천판(9)을 들어올리기 위한 브래킷부(27c)가 고정되어 있다. 브래킷부(27c)는, 행잉 플레이트(9a)를 끼우도록 삽입되는 U자 형상의 핀 지지부(27d)와, 핀 지지부(27d) 및 행잉 플레이트(9a)의 관통공(9f)(도 6 참조)을 관통하여, 브래킷부(27c)와 행잉 플레이트(9a)를 연결하는 고정핀(27e)을 구비하고 있다.

롤러체인(27)의 길이는, 문형 프레임(15)의 높이에 의존하여 바뀌지만, 챔버(4A~4E)에 장착된 상태에서의 천판(9)에 닿을 필요가 있다. 또한, 승강스프라킷(25)의 회전에 따라 천판(9)을 가장 높이 들어올린 상태에서의 승강스프라킷(25)에 대한 롤러체인(27)의 권취 길이는, 승강스프라킷(25)의 전체둘레의 3/4 정도의 길이가 되도록 설정한다.

4개의 승강스프라킷(25) 및 롤러체인(27)의 배치는, 천판(9)의 행잉 플레이트(9a)에 마련된 관통공(9f)에 대응하고 있고, 천판(9)을 밸런스 좋게 승강시키는 것에 배려하여, 4개의 롤러체인(27)의 중심과 천판(9)의 무게중심이 일치하게 되는 배치로 되어 있다. 다만, 좌우로 나열된 브래킷부(27c, 27c)는, 연결 브래킷(27f)(도 4 참조)을 통해 서로 연결되어 있다.

다음으로, 성막장치(1)의 유지보수를 위한 천판(9)의 개폐작업의 순서에 대해 설명한다. 예컨대, 전단 버퍼챔버(4B)(도 1 참조)를 유지보수하는 경우에는, 천판 체인저(13)의 주행부의 롤러(15a, 15b)에 의하여, 전단 버퍼챔버(4B)를 걸치는 소정 위치까지 천판 체인저(13)를 이동시킨다.

다음으로, 천판 체인저(13)의 구동모터(21b)를 구동 제어하여, 승강스프라킷(25)에 고정된 4개의 롤러체인(27)의 브래킷부(27c)를 강하시킨다. 다음으로, 4개의 롤러체인(27) 모두의 브래킷부(27c)를 천판(9)의 행잉 플레이트(9a)에 걸어 고정한다.

다음으로, 구동모터(21b)를 구동 제어하여, 4개의 롤러체인(27) 모두를 동기하여 끌어올려, 천판(9)을 상승시킨다. 소정 위치까지 천판(9)이 상승하면 구동모터(21b)를 정지시키고, 그 위치에서 천판(9)을 지지한다.

다음으로, 천판 체인저(13)의 주행부의 롤러(15a, 15b)에 의하여, 예컨대, 이웃의 로드 락 챔버(4A)를 걸치는 소정 위치까지 천판 체인저(13)를 이동시킨다. 소정 위치에 도달하면, 구동모터(21b)를 구동 제어하여 천판(9)을 강하시켜서, 로드 락 챔버(4A)의 천판(9) 위에 실어놓는다(도 5 및 도 6 참조). 반송되어 온 천판(9)이 로드 락 챔버(4A)의 천판(9) 위에 실려서, 4개의 천판받이 지주(9c)에 의하여 확실히 지지되면, 천판(9)으로부터 롤러체인(27)의 브래킷부(27c)를 제거한다.

이 상태에서 전단 버퍼챔버(4B)의 상방에는 천판(9)은 존재하지 않아, 작업자는 안심하고 유지보수 작업을 행할 수가 있다. 여기서, 전단 버퍼챔버(4B)의 유지보수 작업과 병행하여, 예컨대, 후단 버퍼챔버(4D)의 유지보수 작업을 행하는 경우에는, 천판(9)을 내려서 비워져 있는 천판 체인저(13)를, 후단 버퍼챔버(4D)를 걸치는 소정 위치까지 이동시켜서, 상술한 순서와 마찬가지의 순서에 의하여 천판(9)을 제거한다.

유지보수 작업이 종료되면, 로드 락 챔버(4A)의 천판(9) 위에 실려 있는 천판(9)을 다시 롤러체인(27)에 장착하여 들어올려, 전단 버퍼챔버(4B)의 상방 위치까지 반송하고 내려서, 전단 버퍼챔버(4B)의 개구(7b)에 장착한다.

이상의 성막장치(챔버라인)(1)에 의하면, 천판 체인저(개폐수단)(13)는, 복수의 챔버(4A~4E)의 나열방향(D)을 따라서 배치된 레일(11, 12)을 따라 이동 가능하다. 따라서, 예컨대, 전단 버퍼챔버(4B)의 천판(9)을 승강시켜서 전단 버퍼챔버(4B)를 개폐하고, 또한 후단 버퍼챔버(4D)까지 이동하여 후단 버퍼챔버(4D)를 개폐하는 것도 가능해진다. 그 결과로, 적어도 하나의 천판 체인저(13)로 복수의 챔버(4A~4E)를 개폐시킬 수 있게 되어, 복수의 챔버(4A~4E) 각각에 천판의 개폐장치를 설치할 필요가 없어져서 설비를 심플하게 구축하기 쉬워지고, 비용절감에도 유효하다.

또한, 힌지식 개폐기구에서는, 천판의 개방시라 하더라도 천판이 작업자의 머리 위에 남아 있어서, 작업자의 안전 측면을 고려하여 매우 강고하게 천판을 지지하는 기구를 구축해 놓을 필요가 있다. 특히, 천판은, 500㎏ 이상이나 되는 중량물이기 때문에, 천판을 받쳐서 지지해 두기 위한 설비는 엄청나게 대단한 것이 되기 쉽다. 그러나, 본 실시형태에서는, 천판(9)은, 챔버(4A~4E)로부터 이탈 가능하기 때문에, 챔버(4A~4E)로부터 이탈한 천판(9)과 함께 천판 체인저(13)를 이동시킴으로써, 천판(9)이 제거된 챔버(4A~4E)의 상방에, 넓고 안전한 작업영역을 간단히 확보할 수 있어서, 컴팩트하고 심플한 설비의 구축에 유효하다.

또한, 예컨대, 힌지식 개폐기구에서는, 천정덮개의 개도(開度)는 90° 이하로서 충분하지는 않아서, 유지보수시의 작업성이 나빴지만, 본 실시형태에서는, 천판(9)을 제거함으로써 완전히 개방되기 때문에, 유지보수시의 작업성도 매우 높아진다.

게다가, 천판(9)에는, 다른 천판(9)을 겹쳐 쌓아 지지하는 천판받이 지주(홀드부)(9c)가 설치되어 있다. 따라서, 천판 체인저(13)에 의해 챔버(4A~4E)로부터 제거된 천판(9)은, 예컨대 이웃의 천판(9)에 겹쳐 쌓아 임시 적재 가능하므로, 복수의 천판(9)을 동시에 개방할 수가 있다.

또한, 천판 체인저(13)의 승강기구(19)는, 하단부(27b)가 천판(9)에 결합되는 롤러체인(27)과, 롤러체인(27)이 감겨진 승강스프라킷(25)과, 승강스프라킷(25)을 회전 구동하는 구동모터(21b)부를 가지고, 롤러체인(27)의 상단부(27a)는 승강스프라킷(25)에 결합되어 있다. 따라서, 승강스프라킷(25)의 회전에 따라 롤러체인(27)은 확실히 감아 올라가게 되고, 그 결과로 천판(9)을 확실히 상승시킬 수 있다.

특히, 천정 높이의 제한이 엄격한 클린룸 내에서는, 심플하고 높이가 낮은 천판 개폐장치가 요구되는데, 상기의 승강기구(19)로 함으로써, 컴팩트하고 심플한 장치로 하는 것이 가능해진다.

또한 천판 체인저(13)의 승강기구(19)는, 축 동기부(21)를 가지므로, 4개의 체인을 동시에 어긋남 없이 승강시킬 수 있어, 천판(9)을 안정적으로 승강시킬 수 있으며, 설비의 컴팩트화에 유리하다.

이상, 본 발명을 그 실시형태에 근거하여 구체적으로 설명하였지만, 본 발명은, 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 본 실시형태에서는, 단일의 성막 라인을 구성하는 성막장치에, 하나의 개폐수단(천판 체인저)을 설치한 예를 설명하였지만, 서로 간섭하지 않는 배치로 설치한다거나, 이동범위나 이동순서를 제어한다거나 함으로써 복수의 개폐수단을 설치하는 것도 가능하다. 또한, 복수의 성막 라인에 대해서 단일의 개폐수단이 덮개부를 개폐할 수 있는 구성을 채용하는 것도 가능하다.

1…성막장치(챔버라인) 4A~4E…챔버
9…천판 9c…천판받이 지주(홀드부)
11, 12…레일(레일부) 13…천판 체인저(개폐수단)
21b…구동모터(구동부) 25…승강스프라킷
27…롤러체인 27a…상단부(일단)
27b…하단부(타단) D…나열방향

Claims

덮개부를 가지는 챔버를 복수 인접하여 나열한 챔버라인에 있어서,
상기 챔버의 나열방향을 따라서 배치된 레일부와,
상기 레일부를 따라서 이동 가능하며, 상기 챔버에 설치된 상기 덮개부를 승강시켜서 상기 챔버를 개폐할 수 있는 개폐수단
을 구비하는 것을 특징으로 하는 챔버라인.
청구항 1에 있어서,
상기 덮개부는, 상기 챔버로부터 이탈 가능한 것을 특징으로 하는 챔버라인.
청구항 2에 있어서,
상기 덮개부에는, 다른 상기 덮개부를 겹쳐 쌓아서 지지하는 홀드부가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버라인.
청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
상기 개폐수단은, 일단이 상기 덮개부에 결합될 수 있는 롤러체인과, 상기 롤러체인이 감겨진 스프라킷과, 상기 스프라킷을 회전 구동하는 구동부를 가지고,
상기 롤러체인의 타단은 상기 스프라킷에 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버라인.