TW200933140A - Inspection device and inspection method - Google Patents

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200933140 九、發明說明： 【發明所屬气技術領域】 技術領域 5 ❹ 10 15 20 本發明關於檢查裝置及檢查方法，特別是關於檢查電 子零件對基板之安錄態的檢查裝置及檢查方法。 t先前技相 背景技術 翫知以來’已於具有以IT〇(Indium Tin ㈣等所構成 之電極的液晶顯示器及電漿顯示器等平面面板顯示器（以 下私面板）上’安裝具有電極之TAB(TaPe Automated

Bondmg)基板、半導體元件及可撓性基板等電子零件（以下 稱零件）。 此女褒係於零件與面板之間介在有異向性導電片（以 下稱ACF)的狀態下，進行零件對面板的暫時_及正規壓 ^ ’而使面板之電極（以下稱面板電極)與零件之電極（以下 ^零件電極)接合。於暫㈣㈣，藉著減附加朗弱弱 按恩料以進行零件的暫時壓附，而在之後的正規壓附 8’ ’藉者熱壓附加壓頭以較暫時壓著更高溫與壓力來按壓 業已暫時壓附之零件以進行正規麼附。而且，以檢查裝置 來檢^零件之輯狀安肢置之㈣性的偏移量一(位置 ^移幻。經檢測出的偏移量回饋至下—個面板的零件安 裝’以進行已修正位置偏移的安襄。 檢測零件之偏移量的檢查裳置乃有例如專利文獻1記 載者。於此檢錢置，可藉由檢測面板電極與零件電極(凸 5 200933140 塊)之偏移量而檢測出零件的位置偏移量。 [專利文獻1]特開平8 一 330393號公報 【發明内容】 發明之揭示 5發明所欲解決的課題 但是，於專利文獻1所記載之檢查裝置中，面板電極及 零件電極的位置，係依據設置於面板之背面（面板之未安裝 零件之侧之透明基板的面）側之攝影裝置所為之面板電極 及零件電極的攝影結果，而藉由操作者來算出。因此，此 10檢查裝置極難以精度優良地檢測出透過包含有ACF等導電 性粒子之接合構件而安裝於面板之零件的位置偏移量。 即，由於光不會透過或是難以透過金屬等導電性粒子，因 此，來自零件電極之光難以到達面板之背面側的攝影巢 置，而無法攝影零件電極全體。爰此，操作者難以辨識零 15件電極的位置，無法精度優良地算出位置偏移量。伴隨著 零件之安裝間距之窄間距化的進展，而進展著導電性粒子 之細微化及高密度化，而變得導電性粒子易遮住光，因此 光更難以到達攝影裝置。其結果隔著導電性粒子難以辨識 零件電極，因此伴隨著安裝間距之窄間距化的進展而此問 20 題更加顯著。 因此’本發明鑑於該問題點而以提供能以精度優良地 檢測出透過包含有導電性粒子之接合構件而安裝於面板之 零件之位置偏移量的檢查裝置及檢查方法為目的。 [用以解決課題的手段] 200933140 為達成上述目的，本發明之檢杳 之偏離預定安裝位置之偏移量的^係用以檢測零件 導電性粒子之接著構件 认、置’該零件係藉由包含 包含有：可攝影已形成在面；面板表面者，其特點在於 5零件之零件辨識標記的攝影機之識標記及已形成在 影結果的影像取得前 ❹ 10 15 Φ 20 述面:辨二:從前述攝影機所為之攝 辨識標記之特徵點之位置的取得Ζ之特徵點及前述零件 以前述面㈣識標記切 耩，及從前述影像中， 標記的特徵點位置為基準之預定^識標5己之其中任一者之 徵點位置之偏移量的算出機構，立置’算出另-標記之特 Μ藉1依據已獲得之面板辨識標記及零件辨狀加 影像，檢查裝置算出零件的位置偏2件辨識‘己的 優良地檢測出透過包含導電 =，能以精度 板之零件的位置偏移量。 子之接者構件而安裝於面 中，前述檢查裝置更包含有可判定於前述影像 點的零件辨識標記之特徵 特及在以前述判定機構判定無法辨識前述 =;:前_象施予修正的修正機構，前述取得機 或已藉著可辨識前述特徵點之前述影像 修正機構施予修正之前述影像，取得前述特 1，前述修正機構於藉著前述判定機構判定無法辨識 y、徵點時’從前述影像刪除導電性粒子，並對前述影 像之已删除導電餘子的部分崎錄純或曲線插值。 7 200933140 藉此’即使在因導電性粒 的情形下，也可藉著赘〜 …法辨識特徵點 態。因此，可不受導電性：正而設成可取得特徵點的狀 偏移量，因此，可確實檢= 影響而能算出零件的位置 板之零件的位置偏移量。料電性粒子而安裝於面 10 15 20 又^述^機構依序判_可辨 述另一標记之多數特徵點之其令任一者，前述修i象中别 前述判定機構判定前述多數特徵點機構於 識的情形下，《述影像施讀述修正。均無法辨 識^及㈣構財述料分㈣包含前述面板辨 :標兄及零件辨識標記之多數區域，並依序判 = 機構判定前述多數區域;::任：，前述判定 :下’對前述多數區域之其中任-者施予前述:正 成处取1以僅對所獲得之景 彡像之—部分施予修正而可1 粒:而的狀態’因此能簡易地檢測出透過導電性 千而衫於面板之零件的位置偏移量。 難透二=查裝置更具有可將透過面板、且不透過或 料電錄子之波長之光照射前述面板 零件照明，前述攝影機配設於與面板要:裝 述面板辨奸反側之面板的背面側，前述算出機構從以前 述零件辨之特徵點位置為基準之預定位置，算出前 辨識樑圮之特徵點的位置偏移量。 又前述攝影機為可見光攝影機，前述照明為可見光 200933140 照明。 藉此，不須特殊的照明 大型化及複雜化。 攝影機，因此可防止裝置之 本發明之檢查方法^ γ备田、 ;置之'、叫測零件之偏侧定安裝位 構件而安裝於面板表面者，in包含導電性粒子之接著 在面板之面板辨識標記及已形包含：攝影已形成 10 15 e 20 攝影步驟，·從前述攝影機所為之攝〜士 =件辨識標記的 面板辨識標記之特徵點及前述零件=的衫像取得前述 置的取得步驟，·及從前述影 二^己之特徵點之位 前述零件辨識標記之其中任則述面板辨識標記及 預定位置，算出另—標記之特^點位^徵點位置為基準之 驟。 、置之偏移量的算出步 藉此^以精度優良地檢測出透過包含 接著構件而安裝於面板之零件的電性教子之 [發明之效果] 偏移量。 依據本發明，能達到 粒子之接著構件而安裝於面板之二由包含導電性 及檢查方法的效果。 量之檢查裝置 [圖式簡單說明] 第1圖表示本發明夕 構造的概念圖。 實施樣態之零件安裝系統之全體 第2圖表示於同零件安裂系 於面板的情形。 板裝機，零件安裝 9 200933140 第3圖（a)表示同零件安裝系統之檢查機之概略構造的 立體圖。第3圖（b)表示以同零件安裝系統之檢查機檢查已安 裝完之面板的情形。 第4圖表示同零件安裝系統之概略構造的機能方塊圖。 5 第5圖表示同零件安裝系統之回饋動作的順序。 第6圖（a)表示零件辨識標記之一例。第6圖（b)表示面板 辨識標記之一例。第6圖（c)表示面板辨識標記之一例。第6 圖（d)表示零件辨識標記及面板辨識標記之一例。第6圖（e) 表示零件辨識標記及面板辨識標記之一例。 10 第7圖（a)表示零件辨識標記之一例。第7圖（b)表示面板 辨識標記之一例。第7圖（c)表示零件辨識標記及面板辨識標 記之一例。 第8圖（a)〜（e)表示於同零件安裝系統之檢查機進行影 像修正的情形。 15 第9圖（a)、（b)表示依據可見光攝影機之攝影結果之影 像的一例。 第10圖表示依據可見光攝影機之攝影結果之影像的一 例。 第11圖（a)〜（e)表示於同零件安裝系統之檢查機進行 20 影像修正的情形。 L實施方式3 實施發明之最佳樣態 以下一面參照圖式一面說明本發明之實施樣態之零件 安裝系統。 200933140 第1圖表示本發明之實施樣態之零件安裝系統1 〇〇之全 體構造的概念圖。 5 Ο 10 15 ❹ 20 此零件安裝系統100由裝載器101、洗淨機102、兩個面 板安裝機103a及103b、零件供給單元104、檢查機105及裝 載器106所構成之線路、線路控制器108及通信電纜丨09所構 成。 裝載器101將面板供給至線路。洗淨機102洗淨以裝載 器101所供給之面板之貼附ACF的部分。兩個面板安裝機 103a及103b分別將零件安裝於面板之不同邊。零件供給單 元104將零件供給至面板安裝機103a。檢查機1〇5可檢測出 透過ACF安裝於面板表面之零件之安裝位置與零件之預定 安裝位置之相對性的偏移量(位置偏移量）。裝載器1〇6排出 已安裝零件之面板（以下稱已安裝完的面板）。線路控制器 108管理並控制線路全體之運轉狀況與各種資訊的通信 等。通信電纜109連接線路控制器108與各裝置。 面板安裝機l〇3a由ACF貼附裝置1Π、暫時壓附裝置 114及正規壓附裝置115所構成。ACF貼附裝置113將ACF貼 附於面板之表面的長邊部及短邊部。暫時壓附裝置114藉由 熱壓附加壓頭載置零件並按壓而暫時壓附於面板表面。正 規壓附裝置115藉著熱壓附加壓頭並以較暫時壓附高的溫 度與壓力，按壓已被暫時壓附於面板表面之長邊的零件之 後，正規壓附於面板表面。 面板安裝機103b由正規壓附裝置116所構成。正規壓附 裝置116藉著熱壓附加壓頭並以較暫時壓附高的溫度與壓 11 200933140 力’按塵已被暫時壓附於面板表面之短邊的零件之後，正 規壓附於面板表面。 第2圖表示於面板安裝機1〇33及1〇31)，零件安裝於面板 的情形。 5 首先，以ACF貼附裝置113將ACF貼附於面板200表面 之側緣部之零件要安裝的區域後，使面板200朝暫時壓附裝 置114移動。 接著，使保持零件201之熱壓附加壓頭202下降（第2圖 (a)) ’而將零件201暫時壓附於已載置於壓著平台203上之面 10 板200表面之已貼附ACF210的部分201(第2圖（b))。 其次，使面板200朝正規壓附裝置115移動後，使熱壓 附加壓頭204下降（第2圖（c))，將已暫時壓附於已載置於壓 著平台205上之面板200表面之長邊部的零件201予以正規 壓附（第2圖（d))。 15 最後，使面板200朝正規壓附裝置116移動後，使熱壓 附加壓頭206下降（第2圖（e))，將已暫時壓附於已載置於壓 著平台207上之面板200表面之短邊部的零件201予以正規 壓附（第2圖⑴）。 第3圖（a)表示檢查機105之概略構造的立體圖，第3圖（b) 20 表示藉由檢查機105檢查已安裝完的面板3〇〇的情形。 檢查機105包含有壓著平台3(Π、面板移載台部302、面 板下搬送移載軸部303、可見光照明304及可見光攝影機 306。 壓著平台301可載置已安裝完的面板300。面板移載台 200933140 °P302可將已安裝完的面板300移載至壓著平台301。面板下 搬送移载軸部303可將已安裝完的面板3〇〇移送至面板移載 台部302。 了見光照明304配设於已女裝完的面板3〇〇之背面（已 5安裝完的面板300之未安裝零件的面）側，對已安裝完的面 板300的背面照射紅外光。已安裝完的面板300相對於可見 光為透明，因此藉由可見光照明304所照射之可見光透過已 安裝完的面板300,而照射已形成在已安裝完的面板3〇〇表 面（已安裴完的面板3〇〇之已安裝零件之面）的面板辨識標 1〇記。另一方面，由於包含在ACF之導電性粒子不透過或難 透過可見光，因此以可見光照明3 04所照射之可見光僅照射 於形成在零件之表面（零件與面板接合之面）之零件辨識標 記的一部分。此時，面板的材質以玻璃為主，面板辨識標 記及零件辨識標記的材質主要以Α1為，導電性粒子之表面 15以Ni材質來形成。 可見光攝影機306配設於與已安裝完的面板3〇〇安裴有 零件之側呈相反側之已安裝完的面板300的背面側。可見光 攝影機306攝影被可見光照射之面板辨識標記及零件辨識 標記。 20 第4圖表示零件安裝系統100之概略構造的機能方塊 圖。 線路控制器108包含有控制部410、記憶部411、輸人部 412、顯示部413、通信I/F部414及運算部415。 控制部410依據來自操作者的指不荨而執行記情、部411 13 200933140 的線路控制資料，且依照該執行結果來控制各部。 記憶部411為硬碟或記憶體等，可保持線路控制資料及 ， 主表單411a等。主表單41la由表示具有對應關係之一組安 裝位置及修正量（回饋量）的資訊所構成。 5 輸入部412為鍵盤或滑鼠等，顯示部413為 ' CRT(Cath〇de-Ray Tube)或 LCD(Liquide Crystal Display) 等。此等構件用於本線路控制器1〇8與操作者的對話等。 通15 1/?部 414 為 LAN(Local Area Network)調變器 等，用於本線路控制器1〇8與面板安裝機1〇3&及檢查機1〇5 0 10 的通信等。 運算部415依據檢查機105算出之零件的偏移量而算出 修正量，且更新記憶部411之主表單4Ua。 面板安裝機103a包含有控制部430、記憶部431、輸入 部432、顯示部433、通信i/f部434、機構部435及資料更 15 新部436。 控制部430依據來自操作者的指示等而執行記憶部431 之NC資料’且依照該執行結果而控制各部。 0 記憶部431為硬碟或記憶體等’可保持nc資料及回饋 資料431a等。回饋資料431&由表示相互具有對應關係之一 20組安裝位置及修正量的資訊所構成。 輸入部432為鍵盤或滑鼠等，顯示部433為CRT或LCD ； 等。此等構件使用於本面板安裝機1〇3a與操作者的對話等。 通信I/F部434為LAN調變器等，用於本面板安裝機 103a與線路控制器1〇8的通信等。 14 200933140 機構部435為包含熱壓附加壓頭、搬送部、臂、χγ桌、 零件供給部、以及驅動此等構件之馬達與馬達控制器等之 機構零件的集合。 5 ❹ 10 15 ❹ 20 資料更新部436依據從線路控制器108發送之主表單 41 la而更新記憶部431之回饋資料431a。 檢查機105包含有控制部440、記憶部44卜輸入部442、 顯示部443、通信I/F部444、機構部445、偏移量算出部 446、修正部447、取得部448及判定部449。 控制部440依據來自操作者的指示等而執行記憶部441 之NC資料，並依照其執行結果而控制各部。 s己憶部441為硬碟或記憶體等，可保持nc資料、檢查 位置資料441a及特徵點資料44115等。檢查位置資料441a係 表示以檢查機105進行檢查之對象之全部位置之資訊的集 合。特徵點資料4 41 b係關於零件辨識標記之特徵點的資訊。 輸入部442為鍵盤或滑鼠等，顯示部443為CRT或LCD 等。此等構件用於本檢查機1〇5與操作者的對話等。 通信I/F部444為LAN調變_等，使用於本檢查機ι〇5 與線路控制器108的通信等。 機構部445為包含面板移载台部、面板下搬送移載轴 部、可見光照明及可見光攝影機、以及心驅動此等構件 之馬達與馬達控制器等機構零件的集合。 偏移量算出部446為本發明之算出機構的—例，從可見 光攝影機所為之攝影結果㈣像巾，以面_識標記之特 徵點位置為基準之預定位置，算出於零件_標記之預定 15 200933140 特徵點位置的偏移量。 修正部447為本發明之修正機_1，依 449在可見光攝雜所為之攝騎果㈣像判定 Μ 預定特徵點的情形下，對姉像進行錢插值及曲^ 之^中-種的修正，而且進行二進位處理的修正= 點作成可辨識的影像。具體而言，從可見光攝影機所為: 攝影結果的影像刪除導電性粒子，並依該.而藉著^ 或曲線插值來修正造絲狀輪廓科楚的部分 線 行二進位處理。 進 ιυ 15 取仔杉48為本發明之取得機構的—例，依據可 影機所為之攝影結果的影像，取得面板辨識標記之 徵點及零件辨識標記之預定特徵點的位置。 特 判定部449為本發明之判定機構的—例，從可見光 機所為之攝影結果的影像，判定是^可辨識面板辨識標^ 及零件辨識標記之預定特徵點。 Τ'1 其次，詳細說明零件安裝系統刚之回镇動作(將零件 之位置偏移量回饋至零件安裝的流程）。第5圖表示零件安 裝系統100之回饋動作的順序。 首先’檢查機105之控制部440使機構部445攝影已安装 2〇完的面板300之面板辨識標記及零件賴標記（步驟su)。具 體而言，從與零件要安裝於已安裝完的面板3〇〇之側呈相^ 側之已安裝完的面板3〇〇的背面側，使可見光照明3〇4對已 形成在檢查位置資料411a所示之位置的面板辨識標記及零 件辨識標記照射可見光，並藉著可見光攝影機3〇6從與已安 200933140 裝完的面板300之安裝有零 面板300的背面_$ 目反狀已安裝完的 接著，檢麵件辨軸纪。 5 ❹ 10 15 e 20 果的影像是否為良好的影像，亦即二===影結 楚而可辨識特徵點的影像(步驟Sl2)。己之輪廟為清 例如，於零件形成第6圖⑷所示 板形成第6_场)所示之面板_標記，—識^件^ =6:安裝位置，則零件辨識標二 ^籌成弟6圖⑷或(e)所示的位置關係。此情形下， 成零件辨識標記及面板辨識標記之輪㈣直線相交的^ (=A_作為特徵點而顯示於特徵點資料她寺，則 判疋邊緣A1及A2是否為可辨識。 又，第7圖⑷所示之零件辨識標記形成於零件，第7圓 ⑼所不之面_„_成於面板，當零件在狀的位置 安裝於面板時，則零件_標記及面板辨識標記呈第7 所示的位置關係。此情形下，當構成零件辨識標記及面板 辨識標記之圓的重讀㈣作為特徵點而顯示於特㈣ 資料4仙時，則判定圓的重心抝及幻是否為可辨識。 其次，當判定攝影結果之零件辨識標記的影像非良好 的影像時(在步驟SU為否），如第8圖⑷及⑼所示檢杳機 1〇5之㈣部_藉著修正部447而從影像删除AC·之導 電性粒子211(步驟S13)。例如第9圖⑷及(b)所示，導電性粒 子重疊零件辨識標記之特徵點c、〇及£等，特徵點形成導 電性粒子211之影而無法辨識時，刪除導電性粒子川。 17 200933140 在導電性粒子2】i之影像的刪除上，預先將多數個導電 性粒子2⑽影像儲存於記憶部441，與其已儲存之影像比 較後從攝影所獲得之影像抽出一致度高者，經抽出者作為 導電性粒子2U並料赚4是從攝影所獲得之影像抽丨 5圓形度高者’亦即抽出從重^至外形之徑度在—定範㈣ 者，經抽出者作為導電性粒子211之影像並刪除。 其次，檢查機105之控制部440如第8圖（c)所示，藉著修 正部447而於已刪除導電性粒子211之影像，對已刪除導電 f·生粒子211的#5?施予直線插值或曲線插值(步驟训）。 ⑮ 1〇 料，檢查機105之控制部_如第8圖⑷所示，藉著修 4 447而於已施予修正之影像進一步施予用以明確對比 之二進位處理的修正（步驟S15)。藉此，如第8圖⑷所示， 可獲得能取得面板辨識標記及零件辨識標記之預定特徵點 位置的影像。 &接著’在判定為良好影像的情形下(在步驟S12為是)或 &像已被施予一進位處理的情形下，檢查機之控制部 440使取得部448取得特徵點的位置(步驟S16)。具體而言， Ο 使取得部448取得經二進位處理之影像或判定為良好影像 辨識標記之預定特徵點的位置與零件辨識標記之 20 特徵點位置。 接著檢查機1〇5之控制部44〇藉著偏移量算出部446， 以面板辨識標記之特徵點位置作為基準之預定位置 ，算出 '零件辨識標€之預定特徵點位置之偏移量作為零件之安 裝位置之偏移量的位置偏移量（步驟S17)。具體而言，算出 18 200933140 以面板辨識標記之預定特徵點位置為基準之零件辨識標記 之預疋特徵點位置，並以從面板辨識標記之預定的特徵點 位置為基準之預定的位置，算出已算出之零件辨識標記之 預定的特徵點位置的偏移量。 5 ❹ 10 15 ❿ 其次，檢查機105之控制部440藉著通信I/F部444，使 經算出之零件的位置偏移量與檢查位置資料441a所示之安 裝位置具對應關係性並發送至線路控制器1〇8(步驟si8)。 接著’線路控制器108之控制部410藉著運算部415，並 依據已透過通信1/F部414所接收之位置偏移量 ，更新記憶 部411之主表單411a(步驟S19)。 其次’線路控制器108之控制部410藉著通信I/F部414 將已更新之主表單41 la發送至面板安裝機l〇3a(步驟S20)。 接著’面板安裝機103a之控制部430依據已透過通信I /F部434而接收之主表單4113，更新記憶部431之回饋資料 431a(步驟S21)。 最後’面板安裝機103a之控制部430執行NC資料，並藉 由機構部使零件安裝於面板（步驟S22)。在安裝時，加上已 更新之回饋資料431a而修正零件的安裝位置，而將零件安 裝於經修正之安裝位置。 如上所述’依據本實施樣態之檢查機105，檢查機1〇5 依據所獲得之面板辨識標記及零件辨識標記之影像而算出 零件的位置偏移量。因此，能以精度優良地檢測出透過ACF 而安裝於面板之零件的位置偏移量。 又’依據本實施樣態之檢查機105 ’即使在因導電性粒 20 200933140 子的影響而無法辨識全體零件辨識標記的情形下，也可藉 著修正影像而可設成能算出零件之位置偏移量的狀態。爰 此，可不受導電性粒子的影響而能算出零件的位置偏移 量，故能確實檢測出透過ACF安裝於面板之零件的位置偏移 5 量。

又，依據本實施樣態之檢查機1〇5，依據攝影所獲得之 影像被施予插值後’更被施予二進位處理。因此，可更正 確地取得特徵點位置，故能以更良好精度檢測出透過ACF安 裝於面板之零件的位置偏移量。 10 以上，依據實施樣態說明了本發明之檢查襞置及檢查 方法，本發明非限定於此實施樣態者。在不脫離本發明之 宗旨的範圍内，業者實施所想到的各種變形例亦包含在本 發明的範圍内。

例如，上述實施樣態中’於線路上設置檢查機。惟， 15也可使面板安裝機具有可檢查已安裝完之基板的機能。此 情形下，面板安裝機具備有與上述實施樣態之檢查機同樣 位置關係配置之可見光照明及可見光攝影機。 又，上述實施樣態中，在判定無法辨識特徵點資料所 不之預定特徵點位置時，對於攝影所獲得之影像加以插 值。但是，也可於特徵點資料上，多數的特徵點依其優先 度而被賦予順序來表示，而判定部最先判定是否可辨識優 先度最高的特徵點位置，判定為無法辨識時，依序判定是 否可辨識下一個優先度高的特徵點。此情形下，在判I: 徵點資料所示之特徵點之其中一者為可辨識時不對零件 20 200933140 3、示s己及面板辨識標記 徵點的處理(第5圖之牛驟:象加以修正，而進行取得特 均可辨識時，進行影狀修正I是及在判定對任一特徵點 步驟S13〜S15)。 正處理及二進位處理（第5圖之 第10圖所示之零件辨 下，構成零件辨識標記G 在零件的情形 ❹ 15 20 10 〜ΗΠ作為特徵點而顯示於特:的直線相交的多數邊緣m 記之距離愈近的待徵點設為产^與面板辨識標 示’從多數“的標記F1〜Ft度愈4 °如第10圖所 下’藉著判定部將攝影結果之^^件_標記G的情形 記及面板辨識標記之多數區域含零件辨識標 徵點的辨識判定序進行特 區域定為個 例如以標記F1為中心之預定區域I内，進行如第=個£域 影像的修正處理及二進位處理(第5圖之步驟=)示之 值後又二述=Γ;Γ攝影所獲得之影像被施予插 =予-進位處理。但是’也可不進行二進位處理的 又，可取代而施予圖案匹配的修 :二查:105之記__成匹配基準的：： = 將已被施予插值之零件辨識標記的影像與 圮憶部441之零件辨識標記的影像匹配。 又’上述實施樣態中’為了攝影零件辨識標記及面板 21 200933140 辨識標記，乃於檢查機設置可見光照明及可見光 然而，祇要是可發出可攝影零件辨識標記及面板辨識^ 之光’即可透過面板且不透過或難透過導電性粒子之:長 限 之光的照明，以及可對該光予受光之攝影機的話，則不 於此。 又 10 15

’上述實施樣態中’為了攝影零件辨識標記及面板 辨識標記，乃於檢查機設置可見光照明及可見光攝影機。 然而’可設置紅外光照明以取代可見光照明，可設置〗&攝 影機以取代可見光攝影機。此情形下，紅外光照明及汛攝 影機配設於兀零件背面（零件之不接合面板的面），而紅外光 照明將紅外光照射於零件的背面。零件相對於紅外光為透 明’因此以紅外光照明所照射之紅外光透過零件，而可照 射已形成在零件表面之零件辨識標記全面。此時，藉著判 定部來判定於攝影所獲得之影像中，是否可辨識零件辨識

標記及面板辨識標記之預定特徵點，並以取得部來取得此 預定特徵點。又，祇要是可發出可攝影零件辨識標記及面 板辨識標記之光，即可透過面板且不透過或難透過導電性 粒子之波長之光的照明，以及可對該光予受光之攝影機的 話，則不限於此。 20 又，上述實施樣態中，藉著取得部取得零件辨識標記 及面板辨識標記之分別一個特徵點位置。然而，也可取得 兩個特徵點位置。如此一來，可將連結兩個特徵點之直線 之傾斜的偏移量或兩個特徵點之中心的偏移量也可作為零 件的位置偏移量而算出，因此，可精度優良地檢測出透過 22 200933140 ACF安裝於平面面板之零件的位置偏移量。 又，上述實施樣態中，檢查機將以面板辨識標記作為 基準而將零件辨識標記之偏移量作為零件的位置偏移量。 惟’也能以面板之配線圖案作為基準而將零件的配線圖案 作為零件的位置偏移量。

10 15

又，上述實施樣態中，檢查機對已刪除導電性教子之 影像施予修正。惟，檢查機也可不進行導電性粒子的删除 而對未刪除導電性粒子之影像施予修正。此情形下， 攝影所獲得之影像中，辨識標記為直線之級合形狀、為八 離的直線或辨識標記為圓形狀的情形下，梅取出具有預~ 徑尺寸之曲線，並進行插值以使直線及曲線連結。 【產業上之利用性】 本發明可利用於檢查裝置及檢查方法，特別a可利 於將零件安裝於面板之零件安裝系統等。 $ C圖式簡單説明3 第1圖表示本發明之實施樣態之零件安裝系统之人體 構造的概念圖。 第2圖表示於同零件安裝系統之面板安裝機，零件安裝 於面板的情形。 2〇 第3圖（a)表示同零件安裝系統之檢查機之概略構造的 立體圖。第3圖（b)表示以同零件安裝系統之檢查機檢查已安 裝完之面板的情形。 第4圖表示同零件安裝系統之概略構造的機能方塊圖。 第5圖表示同零件安裝系統之回饋動作的顺序。 23 200933140 第6圖⑷表示零件辨識標記之 辨識標記之-例。第6圖⑷表厂、 圖⑻表示面板 圖⑷表示零件辨識標記 面板辨識標記之-例。第6 5 10 表示零件_標記及岐辨識m記之—例。第6圖（〇 第7圖⑷表示零件辨識標記例。 辨識標記之-例。第7_)表示零件二第表示面板 記之一例。 識標5己及面板辨識標 像修Γ::⑷表’零件安裝“之檢查機進行影

例 像的iir)、（b)表线財見*_狀_結果之影 第10圖表示依據可見先攝影機之攝影結果之影像的一 第11圖（a)〜(e)表示於同零件安裝系統之檢查機進行 15 影像修正的情形。 【主要元件符號說明】 100…零件安裝系統 1(U、106…裝載器 102…洗淨機 103a、l(Bb…面板安裝機 104…零件供給單元 105…檢查機 108…線路控制器 109…通信電纜 113-“ACF貼附裝置 114…暫時壓附裝置 115、116···正規壓附裝置 200…面板 201…零件 202、204、206…熱壓附加壓頭

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203、205、207、301."壓著平台 415…運算部 210 …ACF 431a···回饋資料 211···導電性粒子 435、445…機構部 300…已安裝完的面板 436…資料更新部 302…面板移轉台部 441a···檢查位置資料 303…面板下搬送移載軸部 441b…特徵點資料 304…可見光照明 446…偏移量算出部 306…可見光攝影機 447…修正部 41〇、430、440…控制部 448…取得部 411、431、441…記憶部 449".判定部 411a…主表單 A…特徵點 412、432、442···輸入部 B…重心 413、433、443···顯示部 414、434、444…通信I/F部 25

Claims (1)

1. 200933140 5 10 15 20 十、申請專利範圍·· 1.-種檢查裝置，係用以 偏移量的裝署〜 件之偏離預定安裝位置 重的装置，零件_由 構件而安裝於面板表面者此 導電1±粒子之接著 攝影機，係可St形：檢查裝置包含有： 已形成在零件之零件辨識標記者面板之面板辨識標記及 像前述攝影機所為之攝影結果的影 記之待徵點的位置者Γ己之特徵點及前述零件辨識標 算出機構，係可從前 記及前述零件辨識標記之其中/ :以前述面板辨識標 基準的預定位置，算—標記之特徵點位置為 者。 糕圮之特徵點位置的偏移量 2.如申請專利範圍第】項之 包含有： 、置，、中前述檢查裝置更 判疋機構，係可判定 & 述面板辨記及零件像中，是何辨識前 修正伽及記之特徵點者；及 C正機構，係在以前述判定機 特徵點時，對前述影像施予修正者，‘，，、法辨識刚达 且前述取得機構從已藉由 點之前述影像或 正之則述影像，取得前述特徵點的位置。機構破把予修 如申π專利祀圍第2項之檢查裝置， 藉由前述判定機構判定無法辨識前迷特二正： ❹ 26 200933140 5 ❹ 10 15 20 ^像删除導電如子’對前述影像之已騎 的部分進行直線插值或曲線插值。 ’权子 4.如申請專利範物物之檢查裝置，射^依序判定是否可辨識前述影像^ 特徵點之其中任 K另“之多數, 者，而則逸修正機構於前述判定機 匈疋前述多數特心#疋機構 下，對前述影像施予前述修正。_，，，、法辨識的情形 5.如令請專利範圍第如項之檢查裝置， 構將前述影像分割成包含 辭及=疋機 識前述特徵點，而前述^==多數區域是否可辨 、七交叔 ^機構於則述判定機構判定前 ^區域之其中任_者均無法辨識前述特徵 6下’輪—輪f正。 6.如申請專利範圍第⑴項中任—項之檢查裝置， =裝置更具有可將透過面板、且不透過或難透過： 迷導電性好之録之料板賴標記 辨識標記賴明，且前述攝影機配設於與面板要安 件之侧呈相反側之面板的背面側，而前述算出機構從前 述影像中，以前述面_識標記之特徵點位置為基 狀位置，算出前述零件辨識標記之特徵點的位置偏移 1 〇 I如申請專利關第6項之檢麵置，其帽述攝影機為可 見光攝影機’而前述照明為可見光照明。 8· 一種檢查方法，係用以檢測愛彼^…士 件之偏離預定安裝位置之 27 200933140 偏移置的方法，前逑零件係藉由 構件而安裝於面极表、#由包含導電性粒子之接著 攝影步驟，_攝職2檢查方法包含有： 識標記及e形成在攝衫已形成在面板之面板辨 5 取得步驟，卿Λ之+零件辨識標記，· 像’取得料叫攝料果的影 記之特徵點的位署. 寻徵點及前述零件辨識標 1，及 算出步驟，係從前述影像… 10 及前述零件辨識標記之 以則述面板辨識標記 〇 準的預定位置^出另―、中任—標記之特徵點位置為基 9.-種零件安裳系統’ ^之特徵點位置的偏移量。 裝裝置、及用以檢測零件:偏:將::安裝於面板的安 的檢查裝置， 預疋安裝位置之偏移量 構件而安裝於：=係藉由包含導電性粒子之接著 前述偏移量而修正於且前述零件安裝系統可依據 置，又，前述檢查裝 、置之零件的安裝位 ❹ 攝影機，係可攝影已 已形成在零件之零件辨識標記者面板之面板辨識襟記及 像：，係可從前述攝影機所為之攝料果的r 取件前述面板辨識標 纟、、。果的影 記之特徵點的位置者；及肖徵點及别述零件辨識標 算出機構，係可從前述 記及前述零件辨 =，以前述面板辨識標 基準的取位置，算=射任—標記之特徵點位置為 標記之特徵點位置的偏移量 28 200933140 - 者。 . ίο. —種零件安裝方法，係準備可將零件安裝於面板的安裝 裝置、及用以檢測零件之偏離預定安裝位置之偏移量的 檢查裝置，而前述零件係藉由包含導電性粒子之接著構 - 5 件而安裝於面板表面者，且依據前述偏移量而修正於前 述安裝位裝置之零件的安裝位置，又，前述零件安裝方 法包含有： 攝影步驟，係藉攝影機攝影已形成在面板之面板辨 © 識標記及已形成在零件之零件辨識標記； 10 取得步驟，係從前述攝影機所為之攝影結果的影 像，取得前述面板辨識標記之特徵點及前述零件辨識標 記之特徵點的位置；及 算出步驟，係從前述影像中，以前述面板辨識標記 及前述零件辨識標記之其中任一標記之特徵點位置為基 15 準的預定位置，算出另一標記之特徵點位置的偏移量者。 ❿ 29