TW200931030A - Test apparatus and calibration method - Google Patents

Description

200931030 六、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 、本發明是有關於一種測試裝置以及測試裝置的校正 方，本申凊案主張於2〇〇7年12月6號向美國智慧財産 局提出中請之美國專利中請案第11/951335號的優先權， 該專射龍所揭露之内容完合於本說明書中。 【先前技術】 近年來，料體電路料高速化崎。隨之在對 ^電路等進行測試的測試裝置中也要求高速化n GHz的測試錢之測峨置製品化。在這種 ^數 測試信號爲高頻，所以需要對測試 ' ， 行調整，首先要考慮對測試信 例如，藉由使探測器與測試裝置進行測定。 並測定測試信號的各邊緣時序，可 =銷(Pm)接觸， 期比。在測試裝置設置有多個輪出銷g =號的工作周 探測器(probe)與各輸出銷依次接觸，可二下，藉由使該 的測試信號的工作周期比。另外， u疋來自各輸出銷 獻有以下的專利文獻^ 、、關聯的先行技術文 專利文獻1:日本專利早期公 號公報 W開平11〜306688 但是，在測定數GHz的測試信號工 下，必須在數ps左右的誤差範圍内&定乍周期比的情況 用精度非常高的時序測定器。而、、透緣時序，必須利 必、須利用信號劣化少 200931030 的探測器。因此，使測試成本上升。 夕而且，依據半導體電路等的銷數，在測試裝置中設置 =輪，。因此，當使探測器與各銷依次接觸而測定該 測忒彳§旎的工作周期比時，測試時間會增大。 【發明内容】 曰曰 ❹ ❹ 麥詈的目的是提供—_夠解決上輯題的測試 項藉由申請專利範圍中的獨立 的更加有利成。而且，從屬項規定本發明 依據本發明的第1樣態，本發明提供一 爲對被測試元件進行測試的測試裝置，包'括.驅飭χ ， 對，測試元件的對應的銷供給測試信心定:動;:其 依照測試信號而由被測試元件 二 、又據 測試元件的好壞;位準測===應信號’判定被 的直流位準進行細；以錄“、/驅動部所輸出的信號 定部所_的直流位準，對驅’其依據位準測 期比進行調整。 邛所輸出的信號的工作周 依據本發明的第2樣態，本 是對具有修_部和敢部的驗正方法， 作周期比進行調整的校正方法=、置之測試信號的工 被測試元件的對應的銷供 2 個驅動部各別對 測試信號而由被測試元件心二’判定部根據對應於 的好壞:而且，該方法是偵測定，件 位準，並依據所偵測的直产 "Ϊ出的L號的直流 "而對驅動部所輪出的信 200931030 號的工作周期比進行調整。 另外’上述發明的概要並未列舉本發明的必 日^’它們的特徵群的子集⑽.咖binatiQn)也可又形成^ 【實施方式】 行二下通過發明ΐ實施形態來對本發明的㈠方面造 明^ 下的實施形態並不對關於申請專利範圍的發 而且’實施形態中所說明之特徵的組合= 邛也未必疋發明的解決方法所必需的。 开杜= 形態的測試裝置10㈣構成及被測試 70件·。測試裝f靡爲對半導體電路等的被測試元件 細進行測試的裳置，包括多個信號生成部10、多 測定部40及多個判定部5〇。 〇測試裝置1〇0藉甴對各個信號生成部10所輸出之信 號的直流電壓輯峡，_度良好賴職信號的工^ 周期比。在這裏’所說的直流電壓是直流位準的一個例子。 而且，對信號生成部1〇進行調整，以使該工作周期比達到 規定的值。藉由採用這種構成，可精度良好地調整各信號 生成部10所輸出的信號的工作周期比。 首先’對測試裝置1〇〇的概要進行說明。各個信號生 成部10是與被測試元件200的某個輸入銷相連接。各個信 號生成部10生成測試信號，並通過對應的輸入銷而供给到 被測試元件。測試信號可爲例如應輸入到被測試元件2〇〇 的數位電路中的數位信號、應輸入到被測試元件2〇〇的類 200931030 比電路中的類比信號、應輸入到被測試元件2〇〇的控 路中的控制信號、應輪入到被測試元件2〇〇的時脈終端 時脈信號，或是作爲驅動被測試元件2〇〇的電源電力供 給的信號等。信號生成部1G的構成及動作將在後面進行說 被測試元件200依據所給予的測試信號而動 出響應信號。響應信號可爲數位信號，也可爲類 ^輸 ❹ 各個信號測定部40是與被測試元件2〇〇的^^ 銷相連接。各個信朗定部40測定從職的輸出銷^ 的響應信號。例如，信號測定部4G可測定響應信斤= 圖案，也可測定響應信號的類比波形。而且，.目 40也可測定該響應信號的邊緣時序等的時序資^，。以疋部 多個判定部50是與多個信號測定部4〇 一 置。各個判定部5G根據對應的信號測定部4() ^ 判定被測試元件200的好壞。例如，判定部5〇 果， ❹ 號測定部40所測定的響應信號的邏_案 =信 值圖案是H而狀㈣試元件的。的⑽ 以上是對測試一個被測試元件2〇〇的例子進。、另外， 測試裝置也可同時職多個·m元件f說明，但 接著，對調整信號生成部1〇所輸 =之，進行說明。各個信號生成部：包 作周 郤I2、時序產生部14、波形 圖案産生 路19、電壓夠定部20、切換° +動部18、傳送 裏，霞剛定心^淮 輸出側調整部 疋°卩20爲位準測定部的一個例子 24 200931030 所且古部12用於生成信號生成部10所輸出的信辦 有f邏輯圖案。例如，圖案産生部12可藉由依據使： 等戶予的測試程式來動作，而生成規定的邏輯圖ί ⑽二d14用於生成信號生成部ig所輸出之信號 * 〃例如，時序產生部14可生成用於規定信號4 成《IUO所輪出的信號的週期或位元速率之時脈。〜 3成形部16根據圖案産生部12所生成 =生Γ4所生成的時序資訊，形成測試信號3 :生=_成形料可蝴_號，其具有與= 產生部U所所生產成生的的邏t圖大案致相同的位元速率且具有圖案 到被峨料16触娜_號，供給 、、-牛200的對應的輸入銷。而且，驅動部18可桩 被測試元件2GG所消耗的電流。而且，驅動部i 波形成形部16接收差動的測試信號，並轉換 且供給到被測試元件200。 平和的以 傳送路19狄置在驅動部a的輸出終端和被 、的輸入終端之間，用於將驅動部18所輸出的測 傳送到被觀元件。切細Μ是設置在傳送 ^ 電壓測定部2Gd料否將電壓駭部2G連 路19上進行切換。 择在傳送 電壓測定部20侧驅動部18所輸出之信號的直 壓。信號的直流電壓是依據信號的工作周期比而確定二 如’工作關比爲㈣叫脈信賴錢電壓形成H邏輯 200931030 信號電堡之中間電壓。因此，藉由 利，電壓測疋部20而偵測驅動部18所輸出的 = 電壓，可偵測該信號的工作周期比。 ° &的直机 輸出側調签部24依據電屋測定部2〇所 麼，對驅動部18所輸出之信號的工作周期比進行電 如，輸出侧調整部24可對驅動部18所輸二例 周期比進行調整，以使電壓測定邻 自、。唬的工作 ❹ Ο 預先確定的目雛之差料^。。卩2()__錢電壓與 輸出側調整部24可藉由調整驅動部18 =1=比也可通=輪入到_18的信號而二 4工作周概。通常，圖案産生部12及時序産 Γίί工作周期比爲5G%的設打生成測試信號，有時也 ==誤差及愼的影響，而使所生成的測試： 、、f卜Γ且’各個電壓測定部2G也可與進行電流施加電壓 ^㈣使用的電路爲相同的電路。亦即，電壓測定部加 疋以在對被戦元件·供給規定的電流時， 上所施加的電壓位準進賴定之形態而設置 =流施加f壓測定的情況下，欺部5G可根據電壓測 ^ 20所測定的電壓位準而判定被測試元件的好壞。 這樣，藉由在各個信號生成部10上設置電壓測定部 ，輸^側調整部24 ’可同時測定各個信號生成部1〇所 3出之信號的工作周期比並進行調整。亦即，不使測定探 200931030 測器等依次接觸各個信號生成部ίο的情況下，亦可對各個 信號生成部10所生成的信號的工作周期比進行測定。 在這種情況下，各個圖案產生部12及時序産生部14 使對應的驅動部18大致同時地輸出調整用信號。而且，各 個電壓測定部20大致同時地偵測對應的驅動部丨8所輸出 之調整用信號的直流電壓。 ^

而且’由於是在電壓測定部20中藉由偵測信號的直 流電壓而測定信號的工作周期比，所以可以簡易的構成而 精度良好地測定該工作周期比。例如，在測定Η邏輯的電 墨位準Vh爲1V，L邏輯的電壓位準VI爲0V，週期了爲 3〇8ps (3.25GHz)之信號的情況下，電壓測定部2〇的電 壓測定解析度爲lmV。此時的工作周期測定的時間解析度 T/(Vh-Vl)=308/(1000-0)=0.308ps 可精度良好地測定信號的工作周期。 而且’由上式可知，在偵測出信號的直流電壓並測定

工作周期的情況下，信號的週期T越小，工作周期測定的 時間解析度越精細，可精度良好地測定工作周期。亦即， 本例的測試裝置100是越爲高頻信號，越可精度良好地測 定工作周期。 '' 而且，如上所述，電壓測定部20可與進行電流施加 電壓測定的電路共通化。因此，可不使測試裝置1〇〇的電 路構成增大而容易地進行工作周期比的調整。 而且，輪出侧調整部24在進行被測試元件2⑻的測 10 ❹ ❹ 200931030 ;ί二周Γ⑷亍調整。如供給到被測試元 則輸出伽烟i 時脈信號那樣具有反復的圖案， 作月期士5部24也可在被測試元件2〇〇的測財調整工 2=。而且’㈣敎部2G由於是可號 私墨2,所以切換部22也可不能通過寬頻的信號。 20 計算機等而控餘出卩3也可通過控制系統及 媳广n 整部24。在這種情況下，該計算 收雷爆二Γ試兀件2GG的測試之前，通過控制系統而接 電U2G所測定之調整用信號的直流電麗的值。 然後，該計算機從所接㈣直流的值而生成應 予輸出側調整部24的修正數據，並通過控制系統而在輸出 =調整部24中進行設定。輸出_整部％根據所接收的 =數據崎驅動部18所輸出之錢的卫作周期比進行 、而且，控制系統及計算機等可在進行被測試元件2的 的測試之前’預先對驅動部丨8所輸出之信號的工作周期比 進行調整。以下利用省略了上述的控制系統及計算機等的 構成，而對測試裝置100的機能進行說明。而且，對在進 行被測試元件200的測試之前，預先校正驅動部18的工 周期比之情況進行說明。 圖2所示爲測試裝置100的動作例子的流程說明圖。 本例的測試裝置100在進行被測試元件2〇〇的測試之前， 對驅動部18所輸出之信號的工作周期比預先進行調整。 11 200931030 义首先在驅動部18對被測試元件200供給測試信號 之:’在各個信號生成部t，圖案産生部12、時序產 14及波形成形部16使驅動部18輸出預先所確定之圖 信號（_)。該調整用信號可爲例如與被測 期之時脈信树應生成的職信號具有纽相同的週 〇 定驅動部18於山(）。繼而，輸出側調整部24判 产電壓出調整用信號時電壓測定部20所该測的直 定的值，也可爲二試周期比，而由使用者等所預先設 在4=;:置100所預先測定的值。 整部24對驅動部18^壓與目標值不一致，則輸出側調 行調整（S108)，並及^3、出之調整用信號的工作周期比進 在S106中如直流電壓^行從S104開始的處理。而且， 束工作周期比的調整並標值一致，則測試裝置100結 (S110)。利用這樣的動=始被測試元件200的測試 之信號的工作周期比進 ，可預先對驅動部18所輸出 m ^ ^ ^ 疋订綱整。 圖3所不爲與圖2 標值之方法例子的說明圖。6相關聯說明的預先取得目 序産生部14使驅動部l8 f本例中，圖案產生部12及時 調整用信號、固定爲1^輸出固定爲Η邏輯的Η固定 Ή邏輯及L邏輯交互反 2乙固夂調整用信號，以及使 Α準調整用信號。在圖3中以 12 ❹

200931030 實踐表示基準調整甩信號。

電壓測定部2G預先測定H 調整用信號的信號電壓（Η電壓及L 用信號及乙固定 側調整部24對驅動部18的工作周#電壓）。然後，輸出 壓測定部20對基準調整用信號戶^、=行調整’以使電 位準及L位準形成規㈣相對 “、j的直流電壓，對Η 比設定爲5G%的情況下，輸出側調整=，在將工作周期 工作周期比進行難，以錄 動部18的 成Η位準及L位準的纽中間的直流電壓形 在本=爲目標值之方法的另-例子的說明圖。 在本例中，®織生部12及轉産生部 依次輸出頻率較應供仏刭祜、、目，丨〜_从 便駆動〇卩18 率低，且與測試信===== d’以及與應供給到被測試元件2〇〇的測試信號二 率大致相同頻率之基準調整用信號。 電壓測定部20預先測定低頻調整用信號的直流電壓 Vref。然後，輸出側調整部24對驅動部18的工作周期比 進行調整，以使電壓敎部20對基準調整用錢所測定的 直流電壓vDC與低頻調整用信號的直流電壓Vref爲大致相 同的位準。 關於低頻的信號，由於對信號週期的邊緣時序的誤差 相對減小，所以因邊緣時序的誤差所産生之工作周期比的 誤差減小。因此，藉由以比較低頻率的信號的直流電壓作 爲目標值’對基準調整用信號的直流電壓進行調整，可精 13 200931030 度良整Λ準調整用信號的工作周期比。 定部的構成例。本例_測 26將在傳送路19;傳°及AD轉換15 28。低頻遽波器 取，並使含有分支且予以收 Z在預先以的頻率範圍，使直流成分附近的醉成分通 信號電麼轉換爲數26的類比信號的 換的數據值供給到輪出側調整部24轉換器28將進行了轉 值，對驅動ίιΓ::出依轉:器28所接收的數據 例的輸出_· 的工作_比進行調整。本 的測試信號的M 部16賦轉動部u ::調整。更具體地說，輸出側調整部22: 形成形部16向驅動邱难 稽由調整對從波 ❹ r •，: 的偏壓是偏置位準的一個例子。 在每裏，所說 ，且’本例的驅動部18接收差 ΓΓ可。奴種‘料下=側S 置料路分別設 個例:。6:6爲=7:18_:的差動測試信號的- 貫踐來表不測試信號的非反轉側信 14 200931030 號，以虛綫來表示測試信號的反轉侧信號。差動的測試信 號的工作職比，是㈣反轉俯t號及反轉 ^ 點的間隔比Τ1:Τ2而確定。 Ο ❹ 圖案產生部12及時序産生部14即使按以作周期比 爲50〇/〇 (T1 : Τ2=1 : υ的設定而生成測試信號，有時也 會因電，内的誤差的影響，而如圖6所示那樣出現工作周 期比不是50%的情況。本例的輸出侧調整部％是藉由依 據電壓測定部2G所偵測的直流電壓，來對應該賦予^轉^ 信號及非反轉難_偏壓的至少—個進行罐 整驅動部18所輸出之信號的工作周期比。 _ 、圖7所示爲利用輸出側調整部24而對偏壓進行 之測試信號的一個例子。本例的輸出侧調整部24對 信號的偏壓進行調整。如圖7所示，藉由調整差動= 偏壓，可縣動魏的X作·比難狀定的值。°就的 而且，輸出侧調整部24在變更應供給到被 2〇〇的測試信號的頻率之情況下，可在將該測試信號供^ 到被測試讀2GG之前，依據_率_先對驅、'α 所輸出的信號的工作周期比進行調整。例如，信號生8 10可在每次變更應供給到㈣試元件的^信號^ 率時’利目與麵率對狀頻率的調脑信號 = 部18的工作周期比進行調整。 7驅動 而且，信號生成部10也可預先生成用於表 削 調整部24在每麵率敲_偏壓之祕n測= 20可依次從驅動部18輸出例如頻率不同的多個調整用= 15 200931030 號，並债測各個直流電壓而生成該表格。 而且，輪出侧調整部24也可又依據驅動部Μ 度’來_動部18所輸㈣信號的工制期比進整： ===則調整部24可依據從電壓測定部2〇的α 換1§ 28所給予的數位值，、 的得之值，而對差^ 在調整驅s —構成。本_切換㈣ 26使電_定部2()^情j兄"低頻濾波器 定。而且，在電:：電傳二 19中中， 2〇〇上所施加的直流電中’㈣定在被測試元件 而使電屢測定部立準’則不利用低頻遽波器％ 此，可依據測定19中所傳送的信號。藉 整。另外，在進行電定部2〇的頻率特性進行調 器28可將對所収的情況下，AD轉換 到判定部5G。±丨〜壓位準進行轉換後的數位值，供哈 件200的好壞。疋部5〇可依據該數位值而判定被測試元 〇 士㈣:二=作= :===的工作周心^ 期比預先得以調整的信號生成周 供給規定的工_____ ， 部40進順，以使信號測定部4。所輸出的波 16 200931030 周期比與該規定的工作周期比大致相同。 、本例的測試裝置100除了與圖丨至圖8所關聯說 測4裝置1GG的構成以外，還具有多個卫作周期立 60夕個測足側調整部7〇及校正板8〇。而且，信 部40具有位準比較部42及時序比較部44。 ^ 位準比較部42在測試時接收被測試元件2〇〇 的響應信號，並輸出與所接收的信號相對應賴形。例二， 〇 準匕車乂邻42可輸出一種表示所接收的信號的信號 和所給予的參考㈣之比較結果的波形… 電愚 號地說’位準比較部42輸出一種在所接收的作 '' °'壓大於等於參考電壓的情況下表示Η邏輯，巷 的信號的信號電壓小於參考電壓的情況下表示4 、；开>。而且，位準比較部42可接收單端的俨號， 來輸出—種表示該信號的信號電壓和°參考電以 之比較結果的波形。 ^1电蜃 ®偵測時序，依次 對暗容_都“所輸出之波形的邏輯值。判定部5〇可 較i 削貞測的顿冑案和麟側案進行比 號生破測試元件200的測試前使用，將# 就生成口F 10和㈣測定部4〇 個信號生成部10上連接多個^=板正板8G可在〜 生成部Π)及信號測定部40 11=40 ’也可將信說 信號生成部1〇輸出一種利用輸出^調整部24而預先 17 200931030 調整了工作周期比的機用。〜 與被測試元件2〇〇所輸出的響雇號生成部10也可輸出 相同的頻率之調整用信號。和^銳應具有的頻率爲大致 出的調整用信號輸入到位準^ 80將信號生成部10輪 輸出與調整用信號相稱的波形=邵42,並使位準比較部42 工作周期測定部60對位準比 〇 工作周期比進行測定。本例的工。卩42所輪出之波形的 比較部44所輸出的邏輯圖案，=期測定部60根據時序 更具體地說，工作周期測定部6〇=工作周期比進行測定。 值進行躍遷的時序間隔，而:從在該邏輯圖案中邏輯 測定側調整部70對位準比^工，周期比。 作周期比妨罐，以紅作 t2所輪D的工 顯比與信號生成部1G所^^^部測定的工作 比大致相同。例如，測定侧調 號的工作周期 聯說明的輪出側調整部24具有關〇二與f 5及圖6所關 测定側調整部7〇可藉由調敕’、機旎及構成。例如， ❹ 各易地調整信號狀部4G的工作周期種構成，亦可 雖然本發明已以實施例揭露如上，然其 — =月’任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫^ dt範圍内1可作些許之更動與潤飾，故本 之保護範圍當視後附之申請專利麵 程式=:範圍、說明書及圈示中所示的裝置 '及方法中的動作、順序、步驟以及階段等的各處理的 18 ❹ Ο 200931030 $仃二序意’只要未特別明確表示“更前面”、“首 就可以任意的順處理中不利用前面處理的輸出， 圖示中的動作流種，】了 =射請專利範圍、說明書及 Γ繼而〕望、^ 爲了說明上的便利而利用〔首先〕、 實施。 ，但財是意味著_純該順序來 【圖式簡單說明】 元件L1所示针卿_賴健⑽的構成及被測試 圖2所示爲測試裝置的動 目標二所法==°6相__=^^ 圖。圖4·於預先取得目標值之方法的另-例子的說明 圖5所示爲電壓測定部20的構成例。 例子圖6_聽人_動部18之差麵試錢的一個 信號Γ個所^子爲利用輪出侧調整部24而調整偏壓之測試 圖8所示爲切換部22的另一構成例子。 圖9所示爲測試裝置1〇〇的另一構子。 【主要元件符號說明】 10:信號生成部 12 :圖案產生部 200931030 14 :時序産生部 16 :波形成形部 18 :驅動部 19 :傳送路 20 :電壓測定部 22 :切換部 24 :輸出側調整部 26 :低頻濾波器 28 : AD轉換器 40 :信號測定部 42 :位準比較部 44 :時序比較部 50 :判定部 60 :工作周期測定部 70 :測定側調整部 80 :校正板 100 :測試裝置 200 :被測試元件

Claims (1)

1. 200931030 七、申請專利範圍： 號 置，試裝置，爲對被測試元件進行_的測試裝 ;驅動部’對前述被測試元件的對應的输給測試信 判定部，根據對應於前述测試 、、 ❹ 件所=的響應信號，判定前述被;試元件測試元 以及 進行偵測對前述鶴部所輪出的錢的直流位準 t申請專利範圍第1項所述的測試裝置，其中， 調整ί述驅動部各別具有前述位準測定部及前述輸出側 3.如申請專利範圍第2項所述的測試裝置’其中， 各個前述位準測定部以在對前述被測試元件供給規 疋的電流時，可對前述被測試元件上所施加的電壓位準進 行測定之形態而設置。 4·如申請專利範圍第3頊所述的測試裝置，其中， 立各個前述信號生成部還具有圖案産生部，在前述驅動 邰對刚述被測試元件供給前述測試信號之前，使對應的前 述驅動部輪出預先所確定的圖案的調整用信號； 前逑輪出側調整部在前述驅動部輪出前述調整用信 200931030 號時，依據前述位準測定部所偵測的前述直流位 述驅動部所輸出的信號的工作周期比預先進行調整，對前 5·如申請專利第4項所述制試裝置， ，述義料所輸人的絲信號賴爲^的信號 並輸出， 前述輸出側調整部藉由對應於前述位準測 測的前述錢位準，來對應該向輸人顺_動料^ 侧仏號及非反轉側信號賦予之偏壓位準的至少一

   整，從而調整前述驅動部應輸出之前述測試信號的工^ 期比。 6.如申請專利範圍第 ......和㈤π 1 叼凋瑪裝置，其中， 地輸部使職的前述购部大致同時 鱗敎部大關時地細崎應的前述 驅動邻所輸出之前述調整用信號的前述直流位準。 7·如申請專利範圍第4項所述的測試裝置，其中， ❹ 整部在變更應供給到前述被測試元件 號的頻率之情況下，依據_率而預先調 整刖述驅動部所輸出之信號的工作周期比。 ^如申請專利範圍第7項所述的測試裝置，其中， 瓶叙輪出側調整部還依據前述驅動部的溫度:對前述 動。卩所輪出之信號的工作周期比進行調整。 ^如申請專利範圍第4項所述的測試裝置，其中， 前述信號生成部還具有切換部，對是否將前/述位準測 22 200931030 至前述驅動部及前述被測試元件之間的傳送路來 ^如中請專職圍第9項所述的職裝置， 前述切換部在對前述驅動部的工 二_ ’ :情::’r_滤波器，使前述位準:二； 進行測定的情況下’不利用前 二上: 則逑位準測定部測定前述傳适路中所傳送的信號l使 如申請專利範圍第4項所述_試裝置， 别述圖案產生部使前述驅動部依次輸出爲、’ 軏的ίί固定調整用信號、固定爲：^ 疋爲Η邏 號以及使Η賴及L邏財互反制鲜聰用信 前述輸出側調整部對前述驅動部的前 〜號， 進行調整，以使前述位準啦部對前述基準=期比 ❹ 調整用信號及前述L固定調整職朗固定 準的大致中間的位準。 j之削述直流位 12.如申請專利範圍第4項所述的測試裝置，复 前述圖案產生部使前述驅動部依次輪〃’ :被測試糾的前述測試信號的頻率低之 i用仏號，以及與應供給到前述被測試元件 、β 號的頻率大致相同之頻率的基準調整帛信號;、Μ ’〔測齡 月’J述輸出侧調整部對前述驅動部的前述工 進行調整，以使前述位準測定部對前述基準彳?，比 ^ ^ Ίδ 23 200931030 偵測的前述直流位準，成爲與前述位 調述纽娜大_^^ 番圍第4項所述的測試裝置，盆中， 則述測武裝置還具有位準比較部 /、 元件所輸出的前述響應信號相稱之波形、讀被測試 前述信號生成部對前述位準比 出側調整部而預先調整了 t入猎由前述輸 出與前述調㈣信動目對應的波信號，並輸 〇 部：；::定：二對前述位準比較 輪出的波形的工作周期比，盘1、 刖述調整用信號而 述調整用信號的卫作周期比號生成部所輸出的前 14·一種校正方法，是， ❹ 試裝置之測試信麵卫作周^ ^個驅動部和判定部的測 中’多個驅動部各別對被測試的校正方法’其 號，判定部是根據對應於前^^_銷供給測試信 件所輸出的信號，定前測=就而由前述被測試元 而且，侧前述驅動部所^=的好壞， 依據所偵測的前述直漭4 / 的彳§號的直流位準， 的信號的工作周期比進行調^準，而對前述驅動部所輸出 24