CN101889212A - 测试装置及校准方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种测试被测试器件的测试装置，包括多个信号生成部和判断被测试器件好坏的判断部，各个信号生成部具有：驱动部，将测试信号提供给被测试器件的对应管脚；电压测定部，根据被测试器件对应测试信号输出的信号，检出驱动部输出的信号的直流电压；输出侧调整部，根据电压测定部检出的直流电压，调整驱动部输出的信号的占空比。当向被测试器件提供规定的电流时，各个电平测定部被设定为可测定被测试器件上外加的电压电平。

Description

测试装置及校准方法

技术领域

本发明涉及一种测试装置及测试装置的校准方法。

本申请与下述美国申请相关联，主张下述美国申请的优先权。对允许通过文献参照而编入内容的指定国，通过参照而编入下述申请记载的内容，作为本申请的一部分。

申请号11/951,335申请日2007年12月6日

背景技术

近年，伴随着半导体电路等的高速发展，要求测试半导体电路的测试装置要高速化，能生成数GHz兆赫兹测试信号的测试装置已经产品化。在这种测试装置中，测试信号为高频率，因此有必要高精度地调整测试信号的占空比。为调整测试信号的占空比，首先要测定测试信号的占空比。

例如，通过使探针接触测试装置的输出管脚来测定测试信号的各边缘定时，可测定测试信号的占空比。在测试装置设置多个输出管脚时，用该探针依次接触各输出管脚，可测定来自各输出管脚的测试信号。以下为相关的现有技术专利文献：

专利文献1，特开平11-306688号公报。

发明内容

但是，当测定数GHz的测试信号时，必须在数p S的时间误差范围内测定边缘定时，必须使用精度非常高的定时测定器。而且，必须使用信号劣化较小的探针。因此，提高了测试费用。

而且，根据半导体电路等的管脚数，测试装置中设置有多个输出管脚。因此，当使探针依次接触各管脚测定测试信号的占空比时，测试时间大大增加。

本发明的一个方面，以提供可解决上述问题的测试装置及校准方法为目的。该目的可通过组合权利要求中独立权利要求记载的特征达成。另外，从属权利要求限定了本发明的更有利的实施方式。

本发明的第1实施方式中，提供一种测试被测试器件的测试装置，所述测试装置包括：驱动部，将测试信号提供给被测试器件的对应管脚；判断部，根据被测试器件输出的与上述测试信号相对应的应答信号，判定被测试器件的好坏；电平测定部，用于检测出驱动部输出的信号的直流电平；输出侧调整部，根据电平测定部检出的直流电平，调整驱动部输出的信号的占空比。

在第2实施方式中，提供一种校准方法，是调整测试装置中的测试信号的占空比的校准方法，所述测试装置具有：多个驱动部，将测试信号提供给各个被测试器件的对应管脚，以及判断部，根据被测试器件对应测试信号而输出的信号，判断被测试器件的好坏；所述校准方法检出驱动部输出的信号的直流电平，并对应检出的直流电平，调整驱动部输出的信号的占空比。

另外，上述发明的概要并未列举出本发明必要特征的全部，所述特征群的辅助组合也可构成发明。

附图说明

【图1】与被测试器件200一同示出的实施例涉及的测试装置100的结构示意图。

【图2】测试装置100的动作例说明流程示意图。

【图3】与图2的S106相关联的、预先取得目标值的方法说明示意图。

【图4】另一预先取得目标值的方法说明示意图。

【图5】电压测定部20的结构示意图。

【图6】驱动部18中输入的差动测试信号的一例示意图。

【图7】由输出侧调整部24调整了偏压的测试信号的一例示意图。

【图8】切换部22的另一例结构示意图。

【图9】测试装置100的另一例结构示意图。

符号说明

10.信号生成部，12.图像发生部，14.定时发生部，16.波形成形部，18.驱动部，19.传输路径，20.电压测定部，22.切换部，24.输出侧调整部，26.低通滤波器，28.AD转换器，40.信号测定部，42.电平比较部，44.定时比较部，50.判断部，60.占空测定部，70.测定侧调整部，80.校准板，100.测试装置，200.被测试器件。

具体实施方式

以下通过发明的实施方式对本发明进行说明，以下实施方式并非对权利要求所表述的发明进行限定，并且实施方式中说明的特征的组合也并非全部为本发明的必要特征。

图1是与被测试器件200一同示出的实施例涉及的测试装置100的结构示意图。测试装置100是测试半导体电路等被测试器件200的装置，具备多个信号生成部10、多个信号测定部40及多个判断部50。

测试装置100通过测定各个信号生成部10所输出的信号的直流电压，而高精度地检出该信号的占空比。这里，直流电压为直流电平的一例。然后，调整信号生成部10，使该占空比达到规定值。由于采用上述结构，可高精度地调整各信号生成部10输出的信号的占空比。

首先，对测试装置100的概要进行说明。各个信号生成部10连接在被测试器件200的任一输入管脚上。各个信号生成部10生成测试信号，并通过对应的输入管脚提供给被测试器件。测试信号可为下述信号，例如输入被测试器件200的数字电路的数字信号、输入被测试器件200的模拟电路的模拟信号、输入被测试器件200的控制电路的控制信号、输入被测试器件200的时钟端子的时钟信号，或驱动被测试器件200的电源电力而提供的信号等。信号生成部10的结构及动作如后所述。

被测试器件200对应所提供的测试信号而动作，输出应答信号。应答信号可为数字信号，也可为模拟信号。

各个信号测定部40连接在被测试器件200的任一输出管脚上。各个信号测定部40测定从对应的输出管脚输出的应答信号。例如，信号测定部40可测定应答信号的逻辑图像，也可测定应答信号的模拟波形。此外，信号测定部40还可测定应答信号的边缘定时等定时信息。

多个判断部50与多个信号测定部40一一对应设置。各个判断部50根据对应的信号测定部40中的测定结果，判断被测试器件200的好坏。例如，判断部50，可根据信号测定部40中测定的应答信号的逻辑图像与规定的期待值图像是否一致，来判断被测试器件200的好坏。以上就测试一个被测试器件200为例进行了说明，测试装置100也可同时测试多个被测试器件200。

另外，对调整信号生成部10输出的信号占空比的方法进行说明。各个信号生成部10具有图像发生部12、定时发生部14、波形成形部16、驱动部18、传输路径19、电压测定部20、切换部22以及输出侧调整部24。此时，电压测定部20为电平测定部的一例。

图像发生部12生成信号生成部10所输出的信号应具有的逻辑图像。例如，图像发生部12根据使用者等所给予的测试程序而动作，生成规定的逻辑图像。

定时发生部14生成信号生成部10所输出的信号的定时信息。例如，定时发生部14可生成规定信号生成部10所输出的信号的周期或比特率的时钟信息。

波形成形部16根据图像发生部12生成的逻辑图像和定时发生部14生成的定时信息，形成测试信号的波形。例如，波形成形部16具有与定时发生部14生成的时钟大致相同的比特率，并且，可生成具有图像发生部12生成的逻辑图像的测试信号。

驱动部18将波形成形部16生成的测试信号提供给被测试器件200的对应输入管脚。驱动部18还可提供被测试器件200消耗的电流。而且，驱动部18还可接收来自波形成形部16的差动测试信号，并将其转换成单端的信号提供给被测试器件200。

传输路径19设置在驱动部18的输出端子和被测试器件200的输入端子之间，将驱动部18输出的测试信号传送至被测试器件200。切换部22设置在传输路径19和电压测定部20之间，切换使电压测定部20与传输路径19连接或断开。

电压测定部20检出驱动部18输出的信号的直流电压。信号的直流电压根据信号的占空比而决定。例如，占空比为50％的时钟信号的直流电压为H逻辑的信号电压与L逻辑的信号电压的中间电压。因此，通过由电压测定部20检出驱动部18输出的信号的直流电压，可检出该信号的占空比。

输出侧调整部24，根据电压测定部20检出的直流电压，调整驱动部18输出的信号的占空比。例如，输出侧调整部24可调整驱动部18输出的信号的占空比，使得电压测定部20检出的直流电压和预先设定的目标值之间的差减小。

输出侧调整部24，可通过调整驱动部18来调整该占空比，或者通过调整驱动部18中输入的信号来调整该占空比。一般来说，图像发生部12及定时发生部14即使以占空比50％的设定生成测试信号，由于电路内的误差及噪声等影响，有时生成的测试信号的占空比达不到50％。输出侧调整部24也可调整相关的占空比的误差。

另外，优选各个电压测定部20与进行电流外加电压测定时使用的电路为公共的电路。即设定为，当被测试器件200中被提供规定的电流时，电压测定部20可测定被测试器件200上外加的电压电平，在测定电流外加电压时，判断部50可根据电压测定部20测定的电压电平，判断被测试器件200的好坏。

如上所述，通过在各个信号生成部10中设置电压测定部20及输出侧调整部24，可同时测定并调整各个信号生成部10输出的信号的占空比。即，即使不用测定探针等依次接触各个信号生成部10，也可测定各个信号生成部10生成的信号的占空比。

此时，各个图像发生部12及定时发生部14，向对应的驱动部18大致同时输出调整用信号，并且各个电压测定部20，大致同时检出对应的驱动部18输出的调整用信号的直流电压。

另外，在电压测定部20中，通过检出信号的直流电压而测定信号的占空比，所以可以用简单的结构高精度地测定该占空比。例如，在测定H逻辑的电压电平VH为1V、L逻辑的电压电平VL为0V以及周期T为308ps(3.25GHz)的信号时，电压测定部20的电压测定分辨率为1mV。此时的占空测定的时间分辨率为：

T/(VH-VL)＝308/(1000-0)＝0.308ps

可高精度地测定信号的占空。

另外，从上式可知，在用检出信号的直流电压来测定占空比的情况下，信号的周期T越小，占空比测定的时间分辨率越精细，即可高精度地测定占空比，即本例的测试装置100，越是高频的信号测定占空比的精度越高。

如上所述，电压测定部20可与进行电流外加电压测定的电路通用化。因此可不增大测试装置100的电路结构，使占空比的调整简便易行。

另外，在被测试器件200进行测试前，输出侧调整部24预先调整占空比。而且，向被测试器件200提供的测试信号，例如时钟信号这种具有重复的图像时，输出侧调整部24也可在被测试器件200的测试中调整占空比。另外，因为电压测定部20只要能检出信号的直流电压即可，切换部22也可不通过宽带的信号。

另外，图1示出了电压测定部20直接控制输出侧调整部24的结构，电压测定部20也可借助控制系统及计算机等控制输出侧调整部24。此时，该计算机在进行被测试器件200的测试前，从控制系统接收电压测定部20测定的调整用信号的直流电压值。

然后，该计算机从接收的直流电压值生成应给予输出侧调整部24的修正数据，借助控制系统在输出侧调整部24中进行设定。输出侧调整部24根据接收的修正数据，调整驱动部18输出的信号的占空比。

另外，在进行被测试器件200的测试前，控制系统及计算机等可预先调整驱动部18输出的信号的占空比。以下用省略了上述控制系统及计算机等的结构对测试装置100的功能进行说明。另外，对在进行被测试器件200的测试前预先校准驱动部18中占空比的情况加以说明。

图2为测试装置100的动作例说明流程示意图。在进行被测试器件200的测试前，本例的测试装置100预先调整驱动部18输出的信号的占空比。

首先，在驱动部18向被测试器件200提供测试信号前，各个信号生成部10中，图像发生部12、定时发生部14及波形成形部16，向驱动部18输出预先设定的图像的调整用信号(S102)。该调整用信号，例如可以为具有与被测试器件200在测试时应生成的测试信号大致相同的周期的时钟信号。

而后，电压测定部20检出驱动部18输出的调整用信号的直流电压(S104)。随后，输出侧调整部24，判断驱动部18在输出调整用信号时电压测定部20检出的直流电压与目标值是否一致(S106)。此时，目标值可以是根据应设定的占空比由使用者等预先设定的值，也可以是测试装置100预先测定的值。

S106中直流电压与目标值不一致时，输出侧调整部24调整驱动部18输出的调整用信号的占空比(S108)，重复从S104的处理。另外，S106中直流电压与目标值一致时，测试装置100终结占空比的调整，开始被测试器件200的测试(S110)。通过如上动作，可预先调整驱动部18输出的信号的占空比。

图3为与图2的S106相关联的、预先取得目标值的方法说明示意图。本例中图像发生部12及定时发生部14，向驱动部18依次输出被H逻辑固定的H固定调整用信号、被L逻辑固定的L固定调整用信号以及H逻辑及L逻辑交替重复的基准调整用信号。图3中以实线表示基准调整用信号。

电压测定部20，预先测定H固定调整用信号及L固定调整用信号的信号电压(H电压及L电压)。而后，输出侧调整部24调整驱动部18中的占空比，使得相对于基准调整用信号，电压测定部20检出的直流电压对于H电压及L电压成为规定的相对电平。例如，将占空比设定为50％时，输出侧调整部24调整驱动部18的占空比，使得基准调整用信号的直流电压为H电压及L电压的大致中间的电平。

图4为预先取得目标值的方法的另一例示意图。本例中，图像发生部12及定时发生部14，向驱动部18依次输出频率比应提供给被测试器件200的测试信号的频率低且与测试信号的占空比大致相同的低频调整用信号，及频率与应提供给被测试器件200的测试信号的频率大致相同的基准调整用信号。

电压测定部20预先测定低频调整用信号的直流电压Vref，而后，输出侧调整部24调整驱动部18的占空比，使得相对于基准调整用信号，电压测定部20测定的直流电压V_DC与低频调整用信号的直流电压Vref成为大致相同的电平。

低频信号中，对于信号周期的边缘定时的误差相对变小，因此由边缘定时的误差产生的占空比的误差变小。所以，通过将相对低频的信号的直流电压作为目标值，调整基准调整用信号的直流电压，可高精度地调整基准调整用信号的占空比。

图5为电压测定部20的结构示意图。本例的电压测定部20具有低通滤波器26及AD转换器28。低通滤波器26分路接收传输路径19传送的调整用信号，通过包含直流成分的低频成分。低通滤波器26，可在预先设定的频率范围内使直流成分近旁的频率成分通过。

AD转换器28将通过低通滤波器26的模拟信号的信号电压转换为数字值。另外，AD转换器28将转换的数字值提供给输出侧调整部24。

输出侧调整部24，根据由AD转换器28接收的数字值，调整驱动部18输出的信号的占空比。本例的输出侧调整部24，根据由AD转换器28接收的数字值，调整由波形成形部16给予驱动部18的测试信号的偏压。更具体而言，输出侧调整部24通过调整给予传输路径的偏置电流来调整测试信号的偏压，所述传输路径中由波形成形部16向驱动部18传送测试信号。此时偏压为偏置电平的一例。

另外，本例的驱动部18接收差动测试信号并将其转换为单端的测试信号输出。此时，针对非反转侧的传输路径以及反转侧的传输路径分别设置输出侧调整部24，以调整各个传输路径中被给予的偏置电流。

图6为驱动部18中输入的差动测试信号的一例示意图。图6中，测试信号的非反转侧信号由实线表示，测试信号的反转侧信号由虚线表示。差动测试信号的占空比由非反转侧信号及反转侧信号的交叉的间隔比T1∶T2决定。

图像发生部12及定时发生部14，即使在占空比为50％(T1∶T2＝1∶1)的设定下生成测试信号，由于电路内存在误差的影响，有时如图6所示占空比达不到50％。本例的输出侧调整部24，通过根据电压测定部20检出的直流电压，调整应给予反转侧信号及非反转侧信号的偏压的至少一方，以调整驱动部18输出的信号的占空比。

图7由输出侧调整部24调整了偏压的测试信号的一例示意图。本例的输出侧调整部24调整反转侧信号的偏压。如图7所示，通过调整差动信号的偏压可将差动信号的占空比调整至规定值。

另外，在变更应提供给被测试器件200的测试信号的频率时，在将该测试信号提供给被测试器件200之前，输出侧调整部24可根据该频率预先调整驱动部18输出的信号的占空比。例如，信号生成部10，在每次变更应提供给被测试器件200的测试信号的频率时，可使用针对该频率的频率调整用信号，调整驱动部18的占空比。

另外，信号生成部10也可预先生成表示各个频率上输出侧调整部24应生成的偏压的表。电压测定部20，例如也可使驱动部18依次输出频率不同的多个调整用信号、检出各个直流电压，生成该表。

另外，输出侧调整部24可进一步根据驱动部18的温度，调整驱动部18输出的信号的占空比。例如，输出侧调整部24，也可根据在电压测定部20的由AD转换器28所给予的数字值乘上针对驱动部18的温度的系数的值，来调整差动信号的偏压。

图8为切换部22的另一例结构示意图。本例的切换部22，在调整驱动部18的占空比时，使用低通滤波器26在电压测定部20测定传输路径19传送的信号。另外，在电流外加电压测定中，测定被测试器件200上外加的直流电压的电平时，不使用低通滤波器26在电压测定部20上测定传输路径19传送的信号。据此，可根据测定对象调整电压测定部20的频率特性。另外，进行电流外加电压测定时，AD转换器28可将输入的电压电平转换的数字值提供给判断部50。判断部50可根据该数字值判断被测试器件200的好坏。

图9为测试装置100的另一例结构示意图。本例的测试装置100，比较信号测定部40中输入的波形的占空比，修正信号测定部40输出的波形的占空比的误差。具体而言，如图1至图8的相关说明所述，从预先调整了占空比的信号生成部10对信号测定部40提供给规定的占空比的调整用信号。而后，对信号测定部40进行调整，以使信号测定部40输出的波形的占空比与该规定的占空比大致相同。

本例的测试装置100，除了图1至图8的相关说明的测试装置100结构之外还具有多个占空测定部60、多个测定侧调整部70以及校准板80。另外，信号测定部40具有电平比较部42及定时比较部44。

电平比较部42，测试时接收被测试器件200输出的应答信号，根据接收的信号输出相应波形。例如，电平比较部42，可输出表示接收信号的信号电压与所给予的基准电压的比较结果的波形。

更具体地说，电平比较部42，当接收信号的信号电压大于等于基准电压时，输出显示H逻辑的波形；当接收信号的信号电压小于基准电压时，输出显示L逻辑的波形。另外，电平比较部42，可接收单端的信号，将表示该信号的信号电压与基准电压的比较结果的波形以差动波形输出。

定时比较部44，用被依次给予的选通脉冲定时依次检出电平比较部42输出的波形的逻辑值。判断部50可以对定时比较部44检出的逻辑图像与期待值图像进行比较。

校准板80在被测试器件200测试前使用，连接信号生成部10与信号测定部40。校准板80，在一个信号生成部10上可连接多个信号测定部40，也可一对一连接信号生成部10及信号测定部40。

信号生成部10，输出由输出侧调整部24预先调整了占空比的调整用信号。信号生成部10，可输出与被测试器件200输出的应答信号所应具有的频率大致相同的频率的调整用信号。校准板80将信号生成部10输出的调整用信号输入电平比较部42，从电平比较部42输出与调整用信号对应的波形。

占空测定部60测定电平比较部42输出的波形的占空比。本例的占空测定部60，根据定时比较部44输出的逻辑图像测定该占空比。更具体地说，占空测定部60，可由该逻辑图像中逻辑值跃迁的定时间隔测定该占空比。

测定侧调整部70调整电平比较部42输出的波形的占空比，使得占空测定部60测定的占空比与信号生成部10输出的调整用信号的占空比大致相同。例如，测定侧调整部70，可具有与图5及图6中相关说明的输出侧调整部24同样的功能和结构。又例如，测定侧调整部70，可通过调整电平比较部42输出的差动信号的偏压调整该占空比。通过上述结构，也可容易地调整信号测定部40中的占空比。

以上，使用本发明的具体实施方式进行了说明，但本发明技术的范围不限于上述具体实施方式所记载的范围。本领域技术人员清楚，在上述实施方式的基础上可加以各种变更和改进。由权利要求的记载可知，这种变更和改进的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

权利要求书、说明书及附图中所示的装置、系统、程序，方法中的动作、顺序、步骤，以及阶段等的各处理的实行顺序，没有特别明示「更先」、「先于」等，另外，应注意只要前面处理的输出在后面的处理中不使用，就可以以任意顺序实现。关于权利要求书、说明书及附图中的动作流程，为方便而使用「首先」、「而后」等进行了说明，并不意味着必须按照所述顺序实施。

Claims (14)

1.一种用于测试被测试器件的测试装置，其特征在于所述测试装置包括：

驱动部，将测试信号提供给所述被测试器件的对应管脚；

判断部，根据所述被测试器件对输出的与上述测试信号相对应的应答信号，判定所述被测试器件的好坏；

电平测定部，用于检测所述驱动部输出的信号的直流电平；

输出侧调整部，根据所述电平测定部检测出的所述直流电平，调整所述驱动部输出的信号的占空比。

2.根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于所述测试装置包括：

多个信号生成部，所述信号生成部分别具有所述驱动部、所述电平测定部以及所述输出侧调整部。

3.根据权利要求2所述的测试装置，其特征在于：

各个所述电平测定部设置为在向所述被测试器件提供规定的电流时，能够测定对所述被测试器件外加的电压电平。

4.根据权利要求3所述的测试装置，其特征在于：

各个所述信号生成部还具有图像发生部，其在所述驱动部向所述被测试器件提供所述测试信号之前，输出对应所述驱动部中预先规定的图像的调整用信号；

所述输出侧调整部，当所述驱动部输出所述调整用信号时，根据所述电平测定部检出的所述直流电平，预先调整所述驱动部输出的信号的占空比。

5.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于：

所述驱动部，将输入的差动信号转换为单端的信号并输出；

所述输出侧调整部，通过将应给予所述驱动部中输入的反转侧信号及非反转侧信号的偏置电平的至少一方，根据所述电平测定部检出的所述直流电平进行调整，来调整所述驱动部应输出的所述测试信号的占空比。

6.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于：

各个所述图像发生部，向对应的所述驱动部大致同时地输出所述调整用信号；

各个所述电平测定部，大致同时地检测出对应的所述驱动部所输出的所述调整用信号的所述直流电平。

7.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于：

所述输出侧调整部，在变更应向所述被测试器件提供给的所述测试信号的频率时，根据该频率而预先调整所述驱动部输出的信号的占空比。

8.根据权利要求7所述的测试装置，其特征在于：

所述输出侧调整部，还根据所述驱动部的温度，调整所述驱动部输出的信号的占空比。

9.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于：

所述信号生成部还具有切换部，其用于切换是否将所述电平测定部连接在所述驱动部及所述被测试器件之间的传输路径上。

10.根据权利要求9所述的测试装置，其特征在于：

所述切换部，在调整所述驱动部中的占空比时，使用低通滤波器，在所述电平测定部测定所述传输路径传送的信号，在测定所述被测试器件外加的电压电平时，不使用所述低通滤波器，使所述电平测定部测定所述传输路径中传送的信号。

11.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于：

所述图像发生部，向所述驱动部依次输出被H逻辑固定的H固定调整用信号、被L逻辑固定的L固定调整用信号以及H逻辑及L逻辑交替重复的基准调整用信号；

所述输出侧调整部调整所述驱动部中的所述占空比，以使所述电平测定部针对所述基准调整用信号所检测出的所述直流电平，成为所述电平测定部针对所述H固定调整用信号及所述L固定调整用信号所检测出的所述直流电平的大致中间的电平。

12.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于：

所述图像发生部，向所述驱动部依次输出比应提供给所述被测试器件的所述测试信号的频率低的低频调整用信号及与应提供给所述被测试器件的所述测试信号的频率大致相同频率的基准调整用信号；

所述输出侧调整部，调整所述驱动部的所述占空比，以使所述电平测定部针对所述基准调整用信号所检测出的所述直流电平，与所述电平测定部针对所述低频调整用信号所检出的所述直流电平大致相同的电平。

13.根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于：

所述测试装置还具有电平比较部，其输出与所述被测试器件输出的所述应答信号对应的波形；

所述信号生成部，对所述电平比较部输入由所述输出侧调整部预先调整了占空比的调整用信号，输出与所述调整用信号对应的波形；

所述测试装置还具有测定侧调整部，其调整所述电平比较部，以使所述电平比较部根据所述调整用信号而输出的波形的占空比，与所述信号生成部输出的所述调整用信号的占空比大致相同。

14.一种校准方法，是调整测试装置中的测试信号的占空比的校准方法，所述测试装置具有多个驱动部，其将测试信号提供给各个被测试器件的对应管脚；以及判断部，其根据所述被测试器件对应所述测试信号而输出的信号，判断所述被测试器件的好坏；其特征在于：

检测所述驱动部输出的信号的直流电平；

对应所检测出的所述直流电平，调整所述驱动部输出的信号的占空比。

Images