TW200915383A - Data display, data display method, and program - Google Patents

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200915383 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種將半導體製程在處理時之狀態之時間 序列資料’即製程關聯資料予以顯示複數個之資料顯示農 置等者。

【先前技術J 1 具備對被處理基板進行特定之製程之複數個製造裝

置、及與該複數個製造裝置連接之伺服（^^〇)裝置之群管 理系統中之測定資料加工方法而言，以往，已知有一種將 攸測定器所傳送來之資料予以自動地且正確地加工之方法 (例如參照專利文獻υ。本測定資料加王方法係預先登錄將 測定資料加工之計算式，於接收測定資料時，將此測定資 :儲存於敎諸接收緩衝㈣，並且根據測定資 /所具有之製程參數（recipe)名稱，從所登錄之計算式之 二選擇適於將測定資料加工之具有至少1個相同製程參數 並儲存於計算切存緩_，並將所儲存之 二::料適用於前述所選擇之計算式進行計算，且將 °舁結果記憶於加工完成資料儲存緩衝器者。 此外，在習知之具備半導體製造裝置 :，係具有將在半導體製造裝置所測 = (以下稱條形圖⑽art))予以顯/序狀資讯 係顯示有群管理季續所^ 力月匕。在此條形圖中， 況。再者，在習知之群管理系統令 襄置之貝 行異常感測，且於宜後推^ 有使用條形圖進 且於/、後進行異常分& F fauh 131242.doc 200915383 detection and CalSsification，即時錯誤診斷與分類）之 能。 專利文獻1 :曰本特開平H-354395號公報（第、圖 【發明内容】 發明所欲解決之問題 然而，在習知之群管理系統等中，係、有無法將在半導體 製程中所測定之資料等之時間序列之資料予以適切地顯示 之問題。 例如，在對於複數個時間序❹料進行解析等之際，藉 由將以曲線圖等所顯示之複數個時間序列資料予以並_ 不’即可比較各資料彼此。 ^ ’ f知係在以如此方式並列複數個時間 =ΐΓΓ，在變更作為1個時間序列資料之顯示對 =序:::::顯·—形下，-為 ::曲線圖所顯示之期間將會不同，而難以比較： 放：外二將以曲線圖等所顯示之時間序列資料之-部分 瞬間掌握目·^將要顯示之期間之範圍變更之情形下，無法 螂π旱握目刖之顯 -邊之位置，此外， 時間序列資料之整體之中哪 尤其在近年來，為亦無法瞬間.曰定其他顯示期間。 從半導體製造裝置等了以良好精度控制半導體製程’已可 料，且所取得之資:ΜΗΖ左右之高取樣率取得測定資 里已王增加。因此，藉由將測定資料 I31242.doc 200915383 之一部分加以放大顯示，即可進行更為細微之部分之八 析。然而’僅將細部放大顯示之情形 刀 ，θ有無法掌握、丨 定資料整體之傾向，此外，亦無法判斷測定資料軟體之中 =經放大之部分之位置關係，而無法進行適切之分:之: 解決問題之技術手段 本發明之資料顯示裝置，係、具備：儲存部，其 複數個關於半導體製程在處理時之狀態之時間序列資Γ 即製程關聯資料· ，資料取得部，其從前述儲存 以上之製程關聯資料；第丨顯示部，其,亏個 所取得之丨個以上之製程關聯資料 件部 並以第1顯示寬度加以顯示1圍Μ二 边弟1顯：部所顯示之前述製程關聯資料内之一部：： 圍，即顯不對象範圍之指定；顯示資料取得部 “= 複數個製程關聯資料之各個，取得與_ :述 應之期間，即顯示期間内之製程關 部’其將前述顯示資料取得部所取得之 _及弟2顯示 :數個製程關聯資料與時間軸建立對應關係: 顯示對象範圍之寬度更寬之第2顯示寬度 = 弟1顯示部係將表示前述範圍指定接受部所接，：/、， 象範圍之資訊與該第〗顯示部所顯示：:：接文之顯示對 關聯資料建立對應關係，並進—步加以月顯^個以上之製程 藉由此種構成，即可以曲線來 不者。 時間序列之資料之細部，而進行更為::半導體製程之 丁旯馮，、、田微之分析，並且可 】31242.doc 200915383 在視覺上瞬間掌握第2顯示部1 3 1 0所放大顯示之資料之期 間’是在第1及第2測定資料之整體之中哪一個部分之期 間。藉此，即可適切地顯示闕於半導體製程之時間序列之 資料。 此外，本發 T /g ^ ^ 1 ( ^^ 叫、K W 1咱 1于右卜，兵可 供儲存關於半導體製程在處理時之狀態之時間序列資料， 即1個製程關聯資料；資料取得部，其從前述儲存部取得 前述1個製程關聯資料；第丨顯示部，其將前述資料取得部 所取得之！個製程關聯資料與時間軸建立對應關係並以第^ 顯示寬度加以顯示；範圍指定接受部’其針對前述第旧 不部所顯示之!個製程關聯資料，接受複數個範圍 =顯示對象範圍之指$;顯示資料取得部，其從前述^ ^程關聯資料，取得與前述複數個顯示對象範圍分別對 期間，即複數個顯示期間内之複數個製程關聯資料， 第2顯不部，其將前述顯示資料取 製程關聯資料與時間轴建立對應關係、，並個 象範圍之寬度更寬之第2顯示寬度公:對 部係將表Μ述範圍__ 心顯示 範圍之資訊與該第1顯示部所顯示…複數個顯示對象 建立對應關係，並進— '' 剛述1個製程關聯資料 延—步加以顯示者。 藉由此種構成，即可以第2顯示 聯資料之複數個區域所取得之#广 ”、員不從1個製程關 程關聯資料内之資料之比，★貢料，且容易進行在i個製 檢測等。 較等，而可有效率地進行異常之 131242.doc 200915383 本發明之資料顯示裝置係在 中，前诚筮1月s - Λ 乂貝料顯不裝置 弟〗，‘·員不部係將資料取得部所取 資料與時間轴建 個製程關聯 ]釉建立對應關係並以第〗顯示 顯示；前诚銘閉4t — 1 尤度加以複數個 』迂乾圍扣疋接受部係針對前述 顯示之前述丨個贺葙M4不部複數個 指定.二： 各個接受顯示對象範圍之 疋，則述顯示資料取得部係從前述】個 取得與前述範圍指定接受部接 ““資料’ 圍對應之複數個製程關H 复數個顯示對象範 1歎個襄程關聯貧料；前述第 顯示資料取得部所取得之複數個製程關聯資料二 軸建立對應關係，並以較前述顯示對象範 更二 =受部所接受之複數個顯示對象範 接艾私疋之前述第1顯示部所 、

W顯不之複數個前述H 聯資料分別建立對應關係，並 "哥 及進步加以顯示者。 :由此種構成’即可以第2顯示寬度來顯示從"固 聯s貝料之複數個區域所取得 — 侍之貝枓，且容易進行在丨個贺 程關聯貢料内之資料之比較等 % 罕乂寺，而可有效率地進 檢測等。 V 令之 此外，本發明之資料顯示 衣置係在則述資料顯示裝詈 中，進一步具備解析部，其針 " 衣置 、十對别述顯示資料取得部 得之複數個資料進行特定之取 部’其用以顯示前述解析部之解析結果者。 々不 藉由此種構成’將針對1個製程關聯資料内之複數個區 域之資料之解析結果，與丨# I °° 1転關聯育料、及1個製程關 131242.doc 200915383 聯資料内之複數個區域之資料並列顯示，藉此即容易進行 資料間之比較，而可易於辨識資料之異常等。 〇

G 此外，本發明之資料顯示裝置係在前述資料顯示裝置 中，進-步具備資料處理部，其針對前述顯示資料取得部 所取得之製程關聯資料之㈣以上’進行特定之運算處 理，則述第2顯不部係將前述顯示資料取得部所取得之製 程關聯資料、及藉由前述資料處理部運算處理之製程關聯 資料’與時間軸建立對應關係，並以較前述顯示對象範圍 之寬度更寬之第2顯示寬度加以顯示者。 斤藉由此種構成，自資料處理部僅將測定資料之顯示對象 I:圍進仃處理’藉此即可削減資料處理部之資料之處理 1此外’由於在顯示之際進行資料處理，因此可實時 (realtime)顯示經資料處理之製程關聯資料。 此:，、本發明之資料顯示裝置係在前述資料顯示裝置 中，前述範圍指定接受部係藉由使用指示元件㈣㈣對 於前述糾顯示部所顯示之製程關聯資料之操作而接受前 述顯不對象範圍之指定者。 資㈣成，即可使用第1顯示部所顯示之製程關聯 ❹示對象範圍，而可進行感覺式之操作，且可 使操作性提升。 p | 此：、、本發明之資料顯示裝置係在前述資料顯示裝置 ::述第1顯不部係將表示前述顯示對象範圍之資訊， 與該第1顯示部所顯示製 、。 圍指定接受部係依據使用:顯示；前 吏用私不兀件對於表示前述第丨顯示 131242.doc 200915383 部所顯示之顯示對象範圍之資訊之移動及寬度之變更之操 作而接受前述顯示對象範圍之指定者。 藉由此種構成，即可以感覺式地操作而進行顯示對象範 圍之變更，且可使操作性提升。

此外’本發明之資料顯示裝置係在前述資料顯示裝置 中’進—步具備檢測部’其從資料取得部所取得之製程關 聯資料之〗個檢測特異點；前述範圍指定接受部係=受用 以表示前述檢測部所檢測出之特異點所產生之期間之資 訊，作為指定前述顯示對象範圍之資訊者。 示顯示對象範圍之資 象範圍之使用者之勞 示之部分之檢測遺漏 藉由此種構成，即可自動取得表 訊。藉此’即可削減用以指定顯示對 力此外可將應以第2顯示寬度顯 消除。 依據本發明之資料 導體製程之時間序列4，即可適切地顯示關於半 【實施方式】 以下參照圖式說明資 _ λ^m φ 枓.4不裝置等之實施形態。另外， 在貝施形態中附有相 将5虎之構成要素係進行同樣之動 作因此有省略再度說明之情形。 (實施形態1 ) 圖1係為本實施形態总 統係為例如管理半導：理系統之概念圖。群管理系 製造裝晉> i 化裝置、液晶面板製造裝置等之 菜&裝置之糸統。此 辟s理系統係具有1個以上製造 13I242.doc 200915383 裝置m從製造裝置iu至製造震置lln(惟n係表示任音 數））、伺服裝置12、及資料顯示裝置13。 心 製造裝置11與祠服裝置12、及資料顯 丁衮置13與伺服裝 置12係分別介隔通訊線路等而可進杆咨# 丁貝矾之傳送接收。各 裝置係例如可藉由網際網路、盔续式士 …、琛或有線之

Area Network，區域網路）等之網路爽、查扭 术運接，亦可藉由藍牙 (bluetooth，註冊商標）等之近距離無 π热竦通訊來連接。此 外，藉由 USB(Universal Serial Bus，萬用电胳广士

妈用串聯匯流排）或 IEEE 1394(火線接口技術）之匯流排等來連接。惟各裝置間 之連接方法不予限定。此外，資訊之傳送接收之機構係可 為通訊機構、或播放機構等。 圖2係為表示本實施形態之群管理系統之構成之區塊 圖：另外，在此為了便於說明，係舉製造裝置叫一個情 形為例加以表示。 製w裝置11係為對於被處理基板，例如半導體晶圓或液 晶面板基板等進行特定之半導體製程之裝置。製造裝置u 係例如進行對於成膜處理、敍刻處理、熱氧化處理等之被 处严基板之各種處理。製造裝置i i係例如為半導體晶圓製 、f置荨之半導體製造裝置、液晶面板製造裳置、電漿顯 示器用面板製造裝置等。 圖係為表不製造裝置11之一例之半導體晶圓製造裝置 之圖。圖3之半導體晶圓製造裝置係具備以下所構成·對 於半導體晶圓進杆久絲考 ^ JL^ ^ ^仃各種處理，例如進彳丁成膜處理或韻刻處 理或熱化虛了田& 、卜 处理等之複數個、例如3個製程腔室 131242.doc -12- 200915383

(chambeOl、2、3 ;用以收容可收納多數片，例如5〇片之 晶圓W之匣盒（Cassette)C1、C2之匣盒腔室4、5;及在製程 腔室1、2、3與匣盒腔室4、5之間進行晶圓w之收付之搬 運腔室6»各腔室間係介隔閘閥（gate valve)(}而開閉自如地 連結。在搬運腔室6内係設有可進行屈伸動作及旋轉動作 之例如多關節式之搬運臂7，藉由此搬運臂7而進行在腔室 間之晶圓W之搬運。匣盒C1、㈡係在被取入至匣盒腔室 4、5内之際反轉9〇度，並且該度盒。、之晶圓插脫口 係以朝向搬運腔室6内之中心之方式旋轉，言免置為可藉由 搬運臂7而進出晶圓w之姿勢。 表k哀置11係例如儲存關於對於晶圓之特定之製程之資 訊，即製程參數（recipe)，且使用該製程參數進行製造過 程之控制。所謂製程參數通常係為製程條件值等之集合。 此外’製造裝置11係取得】個以上關於本身裝置之狀況 之時間序列之資料(以下稱時間序列資料)，即狀況資料， 2送至飼服裝置12。在此所述之各時間序列資料係例如 =由與時間對應之1個以上之資料所構成之資料。戶" 關於狀況之時間序列之資料，且 /、體而5係為與沿著時間序 況相關：：置之利用狀況相關之資料、及與動作狀 - 。所3胃與利用狀況相關之資料，係為例如表 =造袭置是已開始何種處理或控制、還是在執行中丨等： 心及表示控·造裝置之際之控制值之變動之資料 。所謂與製造裝置之動作狀況相 造裝置内之π _七廠^ 係為例如製 内之酿度或壓力、供給至製造襄置之電力量、在材 131242.d〇( 200915383 料氣體之流量等之製造裝置之動作時等所實測之測定資料 等。此測定資料係使用1個以上之溫度感測器（sens〇r)、或 1個以上之振動感測器、i個以上之流量感測器等而取得。 製造裝置11通常係將時刻資料與表示測定資料或利用狀況 之寅料建立對應關係並附加在狀況資料而加以輸出，該時 刻資料係表示構成有該狀況資料之時刻、或取得有用以表 示構成該狀況資料之測定資訊或利用狀況之資料之時刻等 之資訊。惟亦可使接收狀況資料之伺服裝置12將與接收狀 況資料之時間對應之時刻資料，與狀況f料建立對應關係 進行附加。此外，在狀況資料附加用以表示「溫度」、「壓 力」等之測定資料之種類之資訊加以輸出亦可。通常，^ 個製造裝置11係傳送不同種類之複數個狀況資料。惟亦可 複數個製造裝W傳送i個以上之狀況資料。此外，存在 複數個製造裝置n之情形下，以可識別從各製造裝置⑴斤 ^之狀況資料之方式，將用以識別各製造裝置u之識別 貧訊附加在狀況資料進行傳送亦可。 另外’關於製造裝置11對於晶圓笙 ^ L 耵於日日0等之被處理基板執行關 於特疋之半導體製程之處理之構 , 成及取传狀況資料進行 專送之構成等係、為公知技術，故省略詳細之說明。 伺服裝置12係為構成群管理系統之伺職置，接收複數 從1個以上之製造裝置11所傳送之時㈣❹f㈣ ’兄：1:而畜積於未圖示之儲存部等。再者，從儲存· 2從資料顯不裝置13所傳送，且與要求狀 ^ …即要求資訊對應之狀況資料，而傳送至資二:： 131242.doc 200915383 〜少求從資料顯示裝置13所傳送之狀況資料之傳送之 貝係可例如包括用以指定對於所希望之製造裝置之狀況 資料之值& μ。、’且所希望之製造裝置之裝置識別資訊。此 ^亦可包括要求傳送之狀況資料之範圍，換言之用以指 ，尸 開始時刻與結束時刻、或指定開始時刻與所需之 時門^貝讯。在此種情形下，伺服裝置12係從儲存部讀取 二-所私疋之製造裝置之要求資訊所指定之期間内之 狀況資訊，並傳送至作為要求資訊之傳送來源之資料顯示 =二惟词服裝置12係可與要求資訊無關，而以預先指 t —或不疋之特定之時序讀取狀況資料而傳送至預 先才曰疋之:料顯不裝置13。此外，词服裝置^亦可將所儲 存之狀况貝料加工而構成新的狀況資料。另外，在半導體 製造裝置之群管理系統中之祠服裝置12接收狀況資料而蓄 積之構成、及讀取所在灰六 _ " :存之狀況資訊而傳送之構成等係為 么知技術，因此省略詳細之說明。 =顯，裝置13係具備指示接受部_、要求 二则貝Γ得部13G6、第1顯示部i3G7、範圍指定接受 部訓、顯示資料取得部测、及第2顯示部1310。 指不接受部1301係接受傳 寸 < 脊衣狀況貧料之傳送之資 §fl，即要求資訊之指示，嗜次 ^ ^ m m ^ 况貝料係儲存在伺服裝置12 之複數個I程關聯資料關 户子接一貝枓關於製程關聯資料係於後陳述。 扣不接又部1301所接受之指示 Λ^ J J包括指定狀況資料之籍 類之資矾、或狀況資料之範圍，換 、。之用以‘疋期間之開 131242.doc •15- 200915383 始時刻與結束時刻、或指定開始時刻與所需之時間之資 訊此外亦可包括用以要求關於所希望之製造裝置11之 狀況資料’且指定識別資訊等之製造裝置n之資訊。在此 所述之接受，係為例如來自輸人機構之接受、從其他機器 等傳送之輸入信號之接收等。指示接受部13〇1所接受之指 示之輸入機構係為藉由十字鍵或鍵盤或滑鼠或選單畫面者 等’可為任-者。指示接受部13〇1係可藉由十字鍵或鍵盤 等之輸入機構之元件驅動器、或選單畫面之控制軟體等來 實現。 要求資訊傳送部1302係構成與指示接受部13〇1所接受之 指示對應之要求資訊，而傳送至伺服裝置12。所謂與指示 接受部1301所接受之指示對應之要求資訊，具體而言係 為與指定狀況資料之種類之資訊、狀況資料之範圍，亦即 指定期間之資訊、或指定製造裝置u之資訊等對應之要求 狀況資訊之傳送之資訊。要求資訊傳送部13〇2係藉由有線 或無線之通訊機構等來實現。 另外，與要求資訊無關，在從伺服裝置丨2傳送狀況資料 等之情形下，指示接受部1301及要求資訊傳送部13〇2等亦 可省略。 資料接收部1303係接收從伺服裝置12所傳送之製程關聯 資料，即狀況資料。資料接收部13〇3係藉由有線或無線之 通訊機構等來實現。 在儲存部1 304中係可供儲存複數個關於半導體製程在處 理時之狀態之時間序列資料，即製程關聯資料。所謂製程 131242.doc •16· 200915383 關聯資料，具體而言，係為上 之狀況資料.、或後述之資料處H料接㈣所接收 13〇-3 °卩1305對於資料接收部 1 3 〇3所接收之狀況資料進行 資枓〜 貞㈣仃特疋之處理所獲得之時間序列 二:例如’供儲存針對製造裝置仙特定之時間間隔重 複測疋之測定資料等。在儲存 儲存°P 1304之製程關聯資 =中通㈣加有表示取得各資料之時間之時間資訊。例

=儲存部1304中係供蓄積資料接收軸所接收之狀 況讀、未圖示之讀取部等從記錄媒體等 導體製程在處理時之狀態之時間序列資料，即不同之複： 個製程關聯資料、或後述之資料處理部⑽所處理之 關聯資料等。在此所述之儲存係為亦包括暫時記憶之概 念。儲存部13〇4係可為非揮發性之記錄媒體，亦可為揮發 性之記錄媒體。 資料處理部13〇5係為對於資料接收部13〇3所接收之製程 關聯資料’即狀況資料進行特定之處理，而構成新的製= 關聯資料。再者’將所構成之製程關聯資料蓄積於儲存部 13〇4。特定之處理係可為任何之處理，例如為微波 (wavelet)轉換、或資料之標準化•正規化之處理等。此 外’要進行何種處理係可預先決定，《亦可依據從未圖示 之接受部等接受之指示來指定。資料處理部13〇5係可對資 料接收部1303所接收之狀況資料直接進行處理，或亦可暫 且讀取儲存於儲存部13〇4之狀況資料進行處理。資料處理 部1305通常係可藉由MPU(Micro Proeessor Unit，微處理 器）或記憶體等來實現。資料處理部1305之處理順序通常 131242.doc -17- 200915383 系藉由軟體來實現，且該軟體係記錄於ROM(Read Only mory，唯讀記憶體）等之記錄媒體。惟亦可藉由硬體（專 用電路）來實現。 另外，在不需要對於狀況資料進行特定之處理所構成之 新的製程關聯資料之情形下，資料處理部1305亦可省略。

C 貢料取得部1306係從儲存部1304取得丨個以上之製程關 聯資料。資料取得部1306係可取得儲存於儲存部13〇4之製 程關聯資料之所有期間資料，亦可取得一部分期間之資 料。此期間之指定係可預先決定，亦可根據從指示接受部 =或未圖示之接受部等接受之開始時刻與結束時刻、或 指定開始時刻與所需之時間之資訊等來決定。此外’在未 有期間之指定之情形下，亦可取得儲存於儲存部之製 程關聯資料之所有期間之製程關聯資料。資料取得部13〇6 所取得之!個以上之製程關聯資料係可為蓄積於儲存部 1304之複數個製程關聯資料之全部，亦可為其一部分。作 為此取得對象之一部分制 資料似何種方式指定 =疋°例如亦可介隔未圖示之接受部等而由使用 者使用資料之種類、或裝置識別f訊#來 設定。另外，針對在所沪定夕力』預先 關聯資料之部分，亦可取 子在裟％ 「〇」之資訊。資料取得部⑽ u之亦即 體等來實現。資料取得部 ” i MPU或記憶 ._ Η306之處理順序通常係藉由麩栌 來實現，而該軟體俦印姝 s由軟體 體係。己錄於RQM等之記錄媒體 由硬體（專用電路）來實現。 准亦可糟 I31242.doc 200915383 J1顯示部1307係將資料取得部⑽所取得之"固以上 製程關聯資料與時間軸建 遷立對應關係並以第1顯示寬度加 以顯不。所謂與時間軸建立 _ …關係並加以顯示，具體而 吕，係使用以時間軸為橫軸、

、 或縱軸之曲線圖來顯示各劁 程關聯資料等。所謂以 L貝丁各I 只不見度顯不，係為資料取撂 口P 1306所取得之1個以上制、 之I耘關聯資料之開示時刻、盥 …束吩刻以位於第1顯示寬度 ’、 ^ 7挪·^万式顯不1個以上之 裝程關聯資料。在此所述之 _ _ * X係為時間軸方向之長度。 弟I顯示寬度係可為固定，亦 咕 j与了依據未圖示之接受邬 等所接受之指示等來變更者。t卜冰^ 心筏又4 Μ M ^ ^如 匕外，弟1顯示部1307係依 像弟1顯不寬度，在】隹私3 — 資料拉實質不需要之製程關聯 貝枓拉開間隔’或以可圓 _ 圓π地顯不製程關聯資料之方式進 盯補間。此外，第1顯干，Λ， 弟1顯不部1307所顯示之丨個以上之 聯資料以任何方式法宁沾表私關 資料顯 、…。此外’在將複數個製程關聯 〆 ’”、不’月形’亦可將複數個製程關聯資料予以重疊進 行顯示。 里進 此外’第1顯示部1307係將-爲™“， 係將用以表不後述之範圍指定接 又口(M 3 08所接文之顯示對象 了豕祀圍貝5孔，與上述第

1307以第1顯示寬度所鞀 乐‘.，、貝不口P 見度所顯不之丨個以上之製程 對應關係並加以顯示貝抖建立 以以m 建立對應關係並加以顯示係為 ......旱之方式顯示顯示對象範圍是在第1顯示部 1307所顯示之製程關聯資料之中之何種範圍。亦即’:;二 將顯示對象範圍是在第以糸乂 料之中之何種範圍與苴他 關聯貝 域可區別之方式進行顯示。具 131242.doc •19- 200915383 體而言，係將表示顯示對象範圍所表示之範圍之圖像重疊 於製程關聯資料加以顯示，或沿著製程關聯資料之時間軸 而加以顯示。此表示顯示對象範圍之冑訊係可例如為將第 1顯示部1307所顯示之丨個以上之製程關聯資料之相當於顯 示對象範圍之範圍，以可與其他範圍判別之方式顯示之資 訊，例如物件（object)圖像，例如將相當於顯示對象範圍 之範圍藉由疊合（overlay)等加以著色顯示之資訊、或藉由 虛線或邊界線等包圍或區隔之資訊。此外，亦可為使顯示 對象範圍之時間序列資訊之顏色等反轉顯示之資訊。在此 所述之範圍，具體而言係指期間。另外，顯示相當於顯示 對象範圍之範圍之技術，由於作為在指示元件等所指定之 區域、例如顯示表示選擇範圍之資訊之技術等係為公知， 故省略詳細之說明。在此所述之顯示，係為包括顯示於顯 不益等之概念。第！顯示部13〇7係可考慮包括或可考慮不 包括顯不斋等之顯示元件等。第!顯示部Η。?係可藉由顯 不兀件之驅動軟體、或顯示元件之驅動器軟體與 件等來實現。 ‘ 範圍指定接受心谓係接受第1顯示部i3G7所顯示 程關聯f料内之—部分範圍，即顯示對象範圍之指定。顯 不對象对圍只要是表示至少可特別定義沿著時間轴之始點 與終點之範圍之資訊即可。顯示對象範圍係為第}顯示部 13 0 7所顯示之盤』起,丨 t ^關聯資料上之範圍。範圍指定接受部 1308係在例如對热键，时 1 — 十苐1顯不部1307所顯示之製程關聯資料 藉由使用滑鼠等之和_ _ 之私不7L件之拉作而接受顯示對象範圍之 131242.doc -20· 200915383 ^ ’可直覺式地進行操作之點極為理想。具體而言，係 ::::成第工顯示部1307所顯示之㈣以上之製程關聯資 』不對象之範圍’藉由操作指示元件等，進行觸 或-面點選按鍵等一面拖矣，來接受範圍之指定。此 二7^顯示對象範圍之資訊’在已顯示於第1顯示部 ^ 之製㈣聯資料上、或製程關聯資料之周邊之 •:形下’亦可依據資訊對於此表示所顯示之顯示對象範圍 仃使用指示元件之移動及寬度之變更之操作，來接受顯 7對象範圍之指I例如，亦可在表示顯示對象範圍之矩 形之物件圖像重疊於第！顯示部贿所顯示之製程關聯資 料上而穿透顯示之情形下’藉由使用指示元件而拖矣此物 圖像之中〜’接χ顯不對象範圍之移動。此外，亦可藉 :使用扣不7〇件拖曳矩形之物件圖像之時間軸方向之端 部’來接受顯示對象範圍所表示之範圍之變更。惟範圍指 定接受部！3〇8係以何種方式接受顯示對象範圍之指定則 、Ρ疋例如，亦可藉由接受表示顯示對象範圍之始 點與終點之時刻等之值，來接受顯示對象範圍之指定或變 更等。在此所述之接受係例如為來自輸入機構之接受、或 從”他機器等所傳送之輸入信號之接收等。輸入機構係為 藉由十字鍵或㈣切鼠或選單晝面者等，可為任一者。 範圍指定接受部1308係可藉由十字鍵或鍵盤等之輸入機構 之疋件驅動器、或選單晝面之控制軟體等來實現。 顯不資料取得部丨3〇9係從儲存於儲存部1 3⑽之複數個製 程關聯=貝料之各個取得與範圍指定接受部Η⑽接受之顯示 131242.doc 21 · 200915383 對象範圍對應之期μ „ Η ' 尸具示期間内之製程關聯眘夺 具體例而言，顯示次刺〜 衣往闕聯#科。以 "貝枓取得部1309係取得盥範圍#〜 部】308所接受之顯示 ，、範圍#日疋接受 與結束時刻，且從储〇 顯示期間之開始時刻 击心㈣部13_取絲得此開始時刻虚 間之期間内之複數個製程關聯資科。此複數㈣ 程關聯資料係可以任何方 ：心复數個製 受部等接受指定，… 可介隔未圖示之接 或亦可預先指定。此外，與 — 受部1308所接受之顯示對象範圍對應之 f 曰疋 刻及結束時刻係例如可 “u間之開始時 不于J係例如可從顯示有第丨顯示部13〇7所 ^程^資料上之顯示對象範圍之時間轴方向之兩端之位 置、及弟1顯示部13〇7以笙-發ώ：θ U07以弟〗顯不寬度顯示之製程關聯資料 之兩端之時刻，使用比率等來算出。此外，亦可預先從第 1顯示寬/'第1顯示部⑽所顯示之製程關聯資料之期 間，來算出第i顯示部13〇7所顯示之圖像上之距離、盥時 間之關係’而可使用此關係，從顯示對象範圍之兩端相對 於顯示於第1顯示部1307上之時間序列資訊之兩端等之距 離’來算出與顯示對象範圍之兩端對應之時刻，即開始時 刻與結束時刻。另夕卜在顯示對象範圍内之一部分或全部 不存在製程關聯資料之情形下，亦可不取得此不存在之期 間之製程關聯資料，或亦可取得預先所設定之值，例如 「〇」等作為此期間之值。顯示資料取得部13〇9通常係可 藉由MpU或記憶體等來實現。顯示資料取得部13〇9之處理 順序通常係可藉由軟體來實現，而該軟體係記錄於r〇m等 之記錄媒體。惟亦可藉由硬體（專用電路）來實現。 131242.doc -22- 200915383 第2顯不部13 10係將顯示資料取得部1309所取得 期間内之複數個製程關聯資料’與時間轴建立對應關係， 並以較顯示對象範圍之寬度更寬之第2顯示寬度加以顯 不。通常，第2顯示寬度係以與第丨顯示寬度相同程度之寬 度$較佳，惟亦可為不同之寬度。在第2顯示寬度較第丄顯 不見度更狹窄之情形下，為使第2顯示寬度較顯示對象範 /寬度更寬，係可將顯示對象範圍之最大寬度先設定為 較第2顯不寬度狹窄。此外，第2顯示寬度亦可為固定，亦 可為依據未圖示之接受部等所接受之指示等而可變更者。 此外，第2顯示部1310係依據第1顯示寬度，在進行顯示後 將實質不需要之製程關聯資料拉開間⑮，或以可圓滑地顯 不製程關聯資料之方式進行補間。此外，第2顯示部131〇 所顯示之1個以上之製程關聯資料以任何方式決定均可。 此外，在將複數個製程關聯資料顯示之情形，通常，係將 各個製程關聯資料個別地與時間軸建立對應關係、，並❹ 顯示對象範圍之寬度更寬之第2顯示寬度來顯示 將複數個製程關聯資料之中—部分製程關聯資料加最 顯示。此外’在未接受顯示對象範圍之指定之 〆且 2顯示部1310係例如可將複數個製程關聯資料^俨，，第 程關聯資料別’以第2顯示寬度加以顯示。在此戶：依製 不’係為包括顯示於顯示器等之概念。第_ J述之顯 可考慮包括或考慮不包括顯示器等之顯示元件不:。1310係 不部13 10係可藉由顯示元件之驅動器軟體、或-第2顯 驅動器軟體與顯示元件等來實現。 厂、元件之 131242.doc •23- 200915383 另外，顯示資料取得部1309取得與範圍指定接受部胸 象範圍對應之期間之顯示期間内之製程關 2科，且由第2顯示部1310將所取得之製程關聯資料加 處理’由於以範圍指定接受部13崎受顯示對象 ，圍為觸發⑻gger)來進行，係可依據顯示對象範圍之指 定而實時地更新第2顯示部1310之顯示，故較理想。a

接著，使用圖4之流程圖說明資料顯示裝置之動作。另 外二在此，指示接受部1301係設為心接受從伺服裝置12 取：所希望之期間内之"固以上之狀況資料(製程關聯資料) 之才曰定期間、與狀況資料之種類之資訊。 步驟S400)指示接受部·係判斷是否接受了傳送要求 =況之}日不。在接受之情形下，前進至步驟州}，在未接 受之情形下，返回步驟S4〇〇。 (步驟S4〇1)要求資訊傳送部13〇2係構成與指示接受部 所接又之扣不對應之要求資訊，並傳送至伺服裝置 U °在此’舉例而言’係依據指示接受部13G1所接受之指 不將所希望之期間内之所希望之狀況資料，亦即要求製 程關聯貝料之傳送之要求資訊，傳送至祠服裳置U。 (广驟8402)貝料接收部13〇3係接收從飼服裝置u所傳送 之製程關聯資料，即狀況資料。 ,(ν驟S403)貝料接收部13〇3係將在步驟s4〇2中所接收之 製程關聯資料蓄積於儲存部13〇4。 (步驟S404)資料處理部m5係對資料接收部13〇3所接收 之氣私關聯貧料進行特定之處理，而構成新的製程關聯資 13i242.doc -24· 200915383 料。再者將所構成之製程關聯資料蓄積於儲存部· ==係可對於資料接收部咖所接收之製程關聯 仃、疋之處理’亦可讀取儲存於儲存部刪之在步 S402中所接收之製程闕聯資料而進行特定之處理。在 二舉例而言，係設為預先指定資料處理部1305作為處理 :象之製程關聯資料，且亦預先決定對於該製程關聯資料 所進行之處理。 (步驟S405)資料取得部腕係從儲存部⑽取得⑽以 =製程關聯資料。在此’資料取得部13〇6係設為例如取 侍在步驟S402中所接收之狀況資料之全期間之資料。 (步驟嶋）第1顯示部1307係將資料取得部13〇6所取得 之製程關聯資料以第1顯示寬度加以顯示。 (步驟S407)範圍指定接受部係判斷是否接受了糾 顯示部贿所顯示之製程關聯資料内之一部分範圍，即顯 示對象範圍之指定。在接受之情形下，前進至步驟剛， 在未接焚之情形下，返回步驟S4〇7。 (步驟S4〇8)第1顯示部1 307係將用以表示在步驟S407中 所接受之顯示對象範圍之資訊’與在步驟所顯示之時 間序列資訊建立對應關係並加以顯示，例如重疊加以顯

Tfx 。 (步驟S409)顯示資料取得部13〇9係取得用以表示與在步 驟S407中所接夂之顯示對象範圍對應之實際之期間，即顯 示期間之資訊。具體而言，係從^顯示部以第丄顯示 寬度所顯不之時間序列眘却 J貝訊之開始時刻與結束時刻、及第 131242.doc -25- 200915383 1顯示部1 307以第1顯示寬度所 軸方向之端部所在之時間轴方 部13 0 8所接受之顯示對象範圍 時間轴方向之座標等，來算出 束時刻。 顯示之時間序列資訊之時間 向之座標、與範圍指定接受 之時間軸方向之端部所在之 顯示期間之開始時刻、與結 (步驟S41 0)顯示資料取得部1 3 总二态 仵dIU309係讀取並取得儲存於儲 存部1 3 〇4之複數個製程關聯資料 丨剛聊貝料之中在步驟S4〇9中所算出 之顯不期間内之製程關聯資料.

封聊貧料。在此，此複數個製程關聯 資料之種類等係設為預先予以指定。 (步驟S411)第2顯示部131〇係將在步驟S4i〇中所取得之 製程關聯資料’與時間軸建立對應關係並以第2顯示寬度 加以顯示。此第2顯示寬度係設為預先予以指定。 (步驟S412)範圍指定接受部13〇8係判斷是否接受了顯示 對象範圍之變更。在接受之情形下，前進至步驟s4〇8，在 未接受之情形下，返回步驟S412。 另外，在圖4之流程圖中，藉由電源關斷（〇ff)或處理結 束之中斷使處理結束。 另外’關於製造裝置11或伺服裝置12之動作係為公知， 故在此省略說明。 以下說明本實施形態中具備資料顯示裝置之群管理系統 之具體之動作。群管理系統之概念圖係為圖1。 在此，首先係設為在製造裝置11之動作時，關於溫度或 振動或氣體流量等之測定資料（狀況資料）例如以i 取樣率進行重複測定’且與以測定開始時刻為0之時刻資 131242.doc -26 - 200915383 料建立對應關係，並從製造裝置11傳送至伺服裝置12。 再者係設為所傳送之測定資料在伺服裝置丨2内與時刻資 料建立對應關係並予以蓄積。

接著設為資料顯示裝置13之指示接受部13〇1，將從使用 者取得儲存於伺服裝置12之測定資料之中之第1測定資料 及第2測定資料之從3〇〇〇xl〇-6秒至7〇〇〇χ1〇·6秒之期間之資 料之指示，介隔鍵盤等之輸入機構等而接受。第1及第2測 疋資料係可為任何測定資料。另外，在此為了便於說明， 第1及第2測定資料之測定值之單位係設為相同之單位。 要求資訊傳送部13 02係依據指示接受部i 3〇丨所接受之指 示將要求苐1及第2資料之中之3〇〇〇χΐ〇_6秒至7〇〇〇χΐ〇-6 秒之期間之資料之傳送之要求信號，傳送至伺服裝置12。 伺服裝置1 2係讀取與從資料顯示裝置丨3所傳送之要求信 號對應之第1及第2資料之30〇〇χ 1〇-6秒至7〇〇〇χ 1〇-6秒之期 間之貧料，並傳送至資料顯示裝置1 3。 資料顯不裝置13之貧料接收部丨3 〇3係接收從伺服裝置j 2 所傳送之第1及第2測定資料，且儲存於儲存部13〇4。 在此，茲設為預先指定令預先將第丨及第？測定資料進行 微波轉換所獲得之資料，與第1及第2測定資料一起顯示 者，而資料處理部1305係分別讀取儲存於儲存部13〇4之第 1測定資料與第2測定資料並進行微波轉換。再者，將經微 波轉換所獲得之製程關聯資料，蓄積於儲存部·。另 外’關於微波轉換之處理係為公知技術，故說明予以省 略。 13I242.doc •27- 200915383 接者，貝料取得部1306係從 1307田、隹—姑_ 存# 13〇4取得第1顯示部 1307用以進仃顯不之製程關聯 A ^ 1 - λιτ 1-2Λ ^。在此係預先設為指定 由弟1顯不邛1307顯示資料接收 f °Pl 303所接收之所有測定 貝枓者，而資料取得部1306係讀 ^ « 1 ^ ^ 9 «if - 胃取貝枓接收部1303所接收 之第1及第2測疋資料之所有期間之資料。 第1顯示部1307係構成沿著時 > 卜 了间釉將資料取得部1306所 碩取之第1測定資料、與第2 如电 ^ ώ j疋貢科加以重疊之第1顯示

Ο 見度之曲線圖，且使用未圖示之顯示器等來顯示。在此， 第1顯不寬度係設為預先設定，例如為_畫素（pixei)。此 外，曲線圖之高度係設為160晝素。另外，在此，橫軸之 單位係設為1 〇-6秒。此外，力 此外在此，由於第1及第2測定資料 相對於第I顯示赏声韭赍炙，h X 常多…、法將所有資料以曲線圖内 之有限之晝素數來顯示’因此使用將各個測定資料拉開間 隔之 > 料來構成曲線圖亦可。 圖g為第i顯示部1307所構成之曲線圖之顯示例。在此 係將第1及第2測定值之曲線圖重疊顯示。另外，僅曲線圖 51為第i顯示部㈣所顯示之曲線圖。在此，係以χ轴為時 間:y軸為測定資料之值。曲、線圖52〜曲線圖55係為第2顯 示部1310所顯示之曲線圖，惟在此係設為在初期狀態未顯 不曲線圖。另外，在此係設為第1顯示部1307與第2顯示部 1 3 1 0係顯示圖像在相同顯示器。 接著，若使用者操作滑鼠等，使顯示於顯示器上之游標 (P〇lnter)等移動，而選擇第1顯示部1307所顯示之曲線圖51 上之一部分範圍，則範圍指定接受部1308係接受第！顯示 131242.doc 28· 200915383 部1307所顯示之製程關聯資料内之一部分範圍，即顯示對 象祀圍之指定。具體而言，範圍指定接受部1308係接受由 δ亥滑鼠之操作等所選擇之範圍之X座標之值。在此，為了 便；說月將第1顯示部1 3 07所顯示之曲線圖之左側之X座 ‘ °又為〇」、右側之X座標設為「400」’且將範圍指定接 又邰1 308所接党之顯示對象範圍之左側之X座標設為 「mo」、右側之乂座標設為「28〇」，則範圍指定接受部

1308係接受指定顯示對象範圍之資訊，即「x=l60」及 「x=280」之值。 第1顯示部1307係取得指定範圍指定接受部1308所接受 之顯示對象範圍之座標之資訊，即「x=160」及「x=280」 將Q 5所示之曲線圖5丨之包夾在此座標間之範圍 内之背厅、色變更為與其他區域不同之顏色並加以再度顯 示。 顯示資料取得部13 G 9係從屬於用以指定範圍減接受部 1308所接受之顯示對象範圍之資訊，即「^的」及 「⑽」之值’取得與顯示對象範圍對應之期間：資 訊。具體而言’約顯示部1307所顯示之曲線圖之時間軸 之範圍係在3_x10、、至7〇〇〇xl〇、、之期間而由於此 期間係以400晝素之糾顯示寬度來顯示，因此顯示資料取 得部係運算（雇―3_)x1().6秒彻晝素而曾出曲 線圖上之1晝素為1〇X10·6秒。再者，顯示資料取得部 ，使n U對應之時間，而算出顯示對象範圍 之左端之時刻與右端之時刻。顯示資料取得部膽所算出 131242.doc -29- 200915383 之顯不對象$!圍之左端之時刻係成為（遍許i6㈣〇)川_( 矛y而右知之時刻係成為（3000+ 280x1 〇)xl〇·6秒。因此， 與顯示^象範圍對應之期間係成為從4600X10·6秒至 58〇〇Xl〇秒之期間’而顯示資料取得部1309係從儲存部 1304讀取此期間内之第1及第2測定資料、及將此等資料作 微波轉換之製程關聯資料。再者，分別使用所讀取之資 料’與第1顯示部1307同樣地構成沿著時間轴之預先設定 之第2顯不寬度之曲線圖。在此，第2顯示寬度係設為預先 設定’且與第1顯示寬度大致相同之尺寸，例如410晝素。 再者將所構成之曲線圖顯示於顯示器等。另外，亦可使 顯示資料取得部1309使用將第!及第2測定資料、及藉由微 波轉換等所獲得之製程關聯資料予以適宜拉開間隔之資料 來構成曲線圖。 圖6係為表示第}顯示部13〇7與第2顯示部131〇所構成之 :線圖之顯示例之圖。與圖5同樣，曲線圖51係為第！顯示 4 1307所顯不之曲線圖，而曲線圖52〜曲線圖乃係為第2顯 不部1310所顯示之曲線圖。曲線圖52係為第i測定資料之 :線：、曲線圖53係為將測定資料予以微波轉換所獲 付之貝料之曲線圖、曲線圖54係為第2測定資料之曲線 圖曲線圖55係為將第2測定資料予以微波轉換所獲彳曰 資料之曲線圖。 于 如圖6所示，在第i顯示部13〇7所顯示之曲線圖中，係顯 八儲存邛1 304所儲存之第1及第2測定資料之中之全期間之 貪料，並且範圍指定接受部13〇8所接受之範圍，係顯示為 131242.doc • 30· 200915383 背景色與其他區域不同之區域61。此外，在第2顯示部 13 10所顯示之曲線圖中，與第1顯示部1307所顯示之曲線 圖之中之區域61對應之期間内之資料，係為較區域61之寬

度更寬之第2顯示寬度，在此係以與第1顯示寬度相同程度 之兔度來顯示D 如此，藉由顯示，即可將第1顯示部1307顯示於顯示器 等之曲線圖上之與使用者所指定之範圍對應之期間之測定 資料、及此期間之經微波轉換之資訊予以放大顯示。藉 此’即可以曲線圖來顯示資料之細部，而進行更細微之分 析。此外，第1及第2測定資料之整體係由於成為藉由第！ 顯示部1307顯示之狀態，並且第1顯示部13〇7係將藉由第2 顯示部13 1 0所放大顯示之範圍與第1及第2測定資料建立對 應關係並加以顯示，因此即可在視覺上瞬間掌握第2顯示 部1310所放大顯示之資料之期間是在第丨及第2測定資料之 整體之中之哪個部分之期間。尤其是，近年來，由於可以 更高頻率取得關於半導體製程在處理時之狀態之值，因此 可將測定資料等之細部放大加以顯示。因此，依據本實扩 形態，即可將測定資料等之整體一面以第1顯示部13二: 顯示，一面有效率且感覺式地指定欲觀看測定資料等之* 部之部分並加以放大顯示。藉此’即可有效率地顯示剛t 資料等之整體與細部。 & 此外，由於與範圍指定接受部13〇8所接受之顯示對象〜 圍對應之期間之複數個測定資料等之製程關聯資料係/ 第2顯示部1310所顯示，因此可使第2顯示部ΐ3ι〇所顯;: 131242.doc -31 - 200915383 複數個製程關聯資料之作為顯示對象之期間一致，而容易 進行複數個製程關聯資料之比較。 此外，由於在第！顯示部1307之曲線圖上可指定顯示對 象範，，因此容易判斷要放大之部分等，而操作性較佳。 接者，若將用以表示顯示於第i顯示部13〇7之顯示對象 範圍之區域51之時間軸方向之端部，如圖7所示，進行藉 由顯示於畫面之滑鼠等拖良之操作而使游㈣移動，财 圍指定接受和〇8即接受經變更寬度之顯示對象範圍之資 訊。隨此，用以表示顯示於第i顯示部13〇7之顯 圍=區糾之寬度即被變更，並且顯示資料取得部⑽所 取付之測疋資料等之期間亦被變更，而第2顯示部" 顯不與藉由拖曳等變更寬产戸祕 度之&域51對應之測定資料等。 此外，在圖6中，若將用以表示顯示於第！顯示部⑽之 顯不對象範圍之區域51之中央部’如_所示，進 滑鼠等拖上之操作而使游標71移動，則範圍指定接』部 1308即接受在時間轴方向經變更位置之顯 * 訊。隨此，用以表示顯示於第丨粑之貧 圍之區糾之時間轴方向之位置即顯示對象範 取得部测所取得之測定 ❹顯示資料 顯示部mo即顯示與藉由拖复等 第2 區域51對應之測定資料等。 、θ方向之位置之 如此，藉由滑鼠等操作用以表示 上之顯示對象範圍之區域之寬度、位置g Π3〇7 示部mo以第2顯示寬度顯:可變更第2顯 弋貧枓專之期間，因此 131242.doc •32- 200915383 可進彳于感覺式之操作，而使操作性提升。 以上’依據本實施形態，係藉由將關於製造裝置 個以上之時間序列之資料，使用第1顯示部13〇7加以顯 示，並且由第2顯示部1310將其-部分之期間之複數個製 程關聯貢料加以放大並顯示，而可以曲線圖顯示關於半導 體製程之時間序列之資料之細部，並進行更為細微之分 析。此外，第i顯示部1307係將藉由第2顯示部1310所放大

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顯示之範圍與P及第2測定資料建立對應關係並加以顯 示’即可在視覺上瞬間掌握第2顯示部131Q所放大顯示之 資料之期間，是在第1及第2測定資料之整體之中之哪個部 分之期間。藉此，即可適切地顯示關於半導體製程之時間 序列之資料。 此外，藉由第2顯示部1310將與範圍指定接受部13〇8所 接受之顯示對象範圍對應之期間之複數個製程關聯f料加 以顯示，即可使作為顯示對象之期間一致，而可顯示複數 個製程關聯資料，而容易進行複數個製程關聯資料之比 較。 另外，在上述實施形態中，資料處理部13〇5處理狀況資 料等之製程關聯資料，並構成新的製程關聯資料之時序或 觸發等不予以限定。例如，在範圍指定接受部13〇8接受顯 不對象範圍之指定之情形下，針對與儲存於儲存部13〇4之 該顯示對象範圍對應之顯示期間内之丨個以上之狀況資料 等之製程關聯資料，進行微波轉換等之特定之處理，而構 成新的製程關聯資料，並將所構成之製程關聯資料輸出至 13 i.242.doc -33- 200915383 顯示資料取得部1309等亦可。 此外，在上述實施形態中，將 資料處理部等設置於词服褒置⑴、且對:理部1305同樣之 存之狀況資料，由飼服褒 ' Η服裝置12所錯 之處理，構;« ^ ^㈣處理部等進行特定 構成新的製程關聯資料，並 積於词服裝置丨2内之未圖示 …專-同蓄 製程關聯資料，而傳送至資料顯_ :㉟取此所蓄積之 砰迗至貝枓顯不裝置13亦可。 另外在上述實施形態中，關於顯千> 形"…限定。例二圖==: ;二)91及標記92顯示在第1顯一所顯示之1= 士之對象範圍61之開始時刻與結束時刻分別對應之 日才間轴之位置’而由第！顯示部1307來進行顯示對象範圍 之顯示亦可。 (實施形態2) :實施形態係在上述實施形態所示之資料顯示裝置中， 由資料處理部針對顯示資料取得部所取得之製程關聯資料 進行特定之處理，並顯示藉由此處理所獲得之製程關聯資 料者。 圖10係為表示具備有本實施形態之資料顯示裝置之群管 理系統之構成之區塊圖。在圖中，與圖2同一符號係表示 同一或相當之部分。 資料顯示裝置23係具備指示接受部1301、要求資訊傳送 部1302、資料接收部1303、儲存部13〇4、資料處理部 2305、資料取得部1306、第1顯示部1307、範圍指定接受 131242.doc -34- 200915383 部1308、顯示資料取得部1309、第2顯示部231〇。 關於資料顯示裝置23之資料處理部23 以外之構成，係與上述 二2‘.’… 樣，故詳細之說明予以省略 痛不裝置同 資料處理部贿係㈣顯示㈣取得部_ :呈關聯資料之,個以上進行特定之運算處理。再= 由運异處理所取得之製程關聯資 1 3 1 0。特定之幸阳及_』 示ζ顯不4 或資料之標準化之卢、理等任何之處理，例如為微波轉換、 — 之處理荨。所謂資料之標準化係為用以择 J為：料：單位或種類之不同所致之影響減少之處理。此 接受部==來:!先…亦可依據從未圖示之 部1309所取Γ Κ此外’要處理顯示資料取得 不予H 料之中之哪—個製程關聯資料 ^ °作為處理對象之製程關聯資料係可以任何方

疋例如’介隔未圖示之接受邱裳而並山成成I 接受指定亦可。此外介用者等來 兀了此外，亦可以初期值（defauU)來設定。此 顯示資料取得部1309所取得之所有製程關聯資 等來S理。資料處理部2305通常係可藉由MPU或記憶體 現。資料處理部测之處理順序通常係可藉由軟體 W軟體係記錄於R〇M等之記錄 由硬體（專用電路）來實現。 兀了错 紹ί 1顯不部23 1〇係將顯示資料取得部1309所取得之製裎 關IS資Γ、及藉由資料處理部2305運算處理所獲得之製程 +與時間軸建立對應關係’並以較顯示對象範圍之 131242.doc -35- 200915383 寬度更寬之第2顯示寬度加以顯示。第2顯示部23 } 〇亦可將 顯示資料取得部1309所取得之製程關聯資料、及藉由資料 處理部23G5運算處理之製程關聯資料作成不同之曲線圖， 並分別在個別之區域，例如顯示於視窗等亦可，或予以重 疊加以顯示亦可。另外’關於藉由製程關聯資料之第2顯 :寬度之顯7F之作法等之其他構成，係、與上述實施形態之 第2顯示部同樣，故省略說明。 接著使用圖11之流程圖說明資料顯示裝置23之動作。另 外，在圖U之流程圖中，與圖4同一符號係表示同一或相 當之處理步驟’在此係省略說明。 (步驟Sll01)資料處理部23〇5係針對在步驟S410取得之 製程關聯資料之中之]個以上進行特定之處理。 (步驟S1102)第2顯示部23 10係將在步驟S41〇取得之製程 關聯資料、及在步驟811〇1進行特定之處理所獲得之製程 關聯資料，與時間軸建立對應關係並以第2顯示寬度加以 顯示。 乂下說明具備本實施形態之資料顯示裝置之群管理系統 之具體之動作。群管理系統之概念圖係與圖1同樣。 在此，係設為與在上述實施形態丨中所說明之具體例同 樣，由資料接收部1303接收第1及第2資料作為製程關聯資 料且由第1顯示部1307構成沿著時間軸將第i測定資料與 第2測定資料重疊之第i顯示寬度之曲線圖51，而如圖^所 示加以顯示。 若由使用者操作滑鼠等，且使顯示於顯示器上之游標等 131242.doc •36- 200915383 移動，並選擇第！顯示部13〇7 ，貝不之曲線圖5 1上之一部 分 則範圍指定接受部13_接受心顯示部⑽所 顯不之製程關聯資料内之—部分範圍，即顯示對象範圍之 指定。 顯示資料取得部13〇9絲得與_指定接0關所接 受之顯：對象範圍對應之顯示期間之資訊，且讀取此顯示 期間之第1測定資料及第2測定資料。

在此，資料處理部靡係針對顯示資料取得部⑽所取 得之第1測定資料及第2測定資料，分料行特定之處理’ 即微波轉換。 再者，將藉由經由資料處理部2305所為之微波轉換所獲 得之資料、及顯示資料取得部1309所取得之第丨測定資料 及第2測定資料，在此由第2顯示部231〇將各個作為不同之 曲線圖，以與第1顯示寬度相同之尺寸加以顯示。以此方 式所顯示之曲線圖，結果而言，係成為與圖6所示之實施 形悲1之具體例同樣者。例如，顯示資料取得部丨3〇9所取 得之第1測定資料及第2測定資料係成為曲線圖52及曲線圖 54 ,而將第1測定資料予以微波轉換之曲線圖係成為曲線 圖5 3、將第2測定資料予以微波轉換之曲線圖係成為曲線 圖55。 此外，由於關於與顯示對象範圍之變更同步，而使顯示 變更之處理等，係與上述實施形態1之具體例同樣，故說 明予以省略。 以上’依據本實施形態，由於可達成與上述實施形態工 131242.doc -37· 200915383 同樣之效果，並且只要僅將測定 料處理邱I# w p 育枓之顯不對象範圍由資 処里π來處理即可，因此可削次 理量。此外拉丄 J減貝枓處理部之資料之處 此外，藉由在顯示之際進行資料處理，即可實時地 字迓貝料處理之製程關聯資料加以顯示。 、 (實施形態3) 本實施形態之資料顯示梦署总& 1 & ...裝置係為可針對1個製程關聯資 料知疋複數個顯示對象範圍， ^ a且將與1個製程關聯資料之

:之各個顯示對象範圍對應之顯示期間内之資料，分別以 弟2顯示寬度加以顯示者。 圖12係為表示具備本實施形態之資料顯示裝置之群管理 系統之構成之區塊圖。在圖中’與圖2同一符號係表示同 一或相當之部分。 資料顯示裝置33係具備指示接受部13〇1、要求資訊傳送 部13〇2、資料接收部13〇3、儲存部33〇4、資料處理部 1305、資料取得部33〇6、第1顯示部13〇7、範圍指定接受 部3308、顯示資料取得部33〇9、第2顯示部331〇、解析部 3311、第3顯示部3312。 關於資料顯示裝置3 3之指示接受部13 〇 1、要求資訊傳送 部1302、資料接收部丨3〇3、資料處理部丨3〇5之構成，係與 上述實施形態1之資料顯示裝置同樣，故詳細之說明予以 省略。 在儲存部3 304中係可供關於半導體製程在處理時之狀態 之時間序列資料，即1個製程關聯資料儲存。另外，除了 可供1個製程關聯資料儲存之點以外，儲存部33〇4之構成 131242.doc -38- 200915383 係與上述實施形態i之儲存部之構成同樣， „兄明予以省 略。 資料取得部3306係從儲存部33〇4取 叔私關聯資 料。另外，除取得1個製程關聯資料之點之外，資料取得 部3306之構成係與上述實施形態i之資料取得 說明予以省略。 像’故 第1顯示部3307係將資料取得部33〇6所取得之—個 關聯資料，與時間軸建立對應關係並以&顯示寬戶加以 =示。此外，第i顯示部3307係將用以表示後述之：圍°指 定接受部3308所接受之複數個顯示對象範圍之資訊，與^ 第1顯示部3307所顯示之！個製程關聯資料建立對應關係 並進一步加以顯示。表示顯示對象範圍之資訊或供其顯示 用之構成等’係與上述實施形態1之第!顯示部同樣，故在 此省略說明。 在此，在本實施形態中，尤其針對第1顯示部33〇7為將i 個製程關聯資料以第1顯示寬度作複數個顯示者之情形， 例如以複數個曲線圖或複數個視窗顯示者之情形進行說 :月。所：顯示複數個係例如分別顯示在複數個曲線圖或複 視®者。例如，將用以表示1個製程關聯資料之相同 曲線圖，予以顯示複數個者。惟複數個曲線圖之寬度等未 必要全部均為相同之寬度亦可。例如，苐i顯示部3307係 丄、使顯不1個製程關聯資料之時間-致所排列之n(n係為2 可進整數）個之曲線圖來顯示。此時，第1顯示部3307亦 " ^將用以表不範圍指定接受部3308所接受之複數個 I3J242.doc -39- 200915383 顯示對象範圍之資訊，與各個接受指定之第旧 所顯示之複數個之！個製程關聯資料分別建立對應關係並 加以顯*。具體而言1圍指定接受部33〇8在對於第㈣ 不部33〇7複數個顯示之i個製程關聯資料之中之第 k(GkSn)個顯示之曲線圖而接受顯示對象範圍之浐定之 Γ下，第1顯示部3307切用以表示此顯示對Μ圍之 貝訊，與第k個曲線圖建立對應關係並加以顯干。 惟第1顯示部3307亦可將1個製程關聯資料，僅以】個曲 線圖或視窗來顯示。此情形下，亦可為將用以表示複數個 ❻不對象範圍之資訊，顯示於1個曲線圖或視窗者。另 外1於上述以外之第1顯示部咖之構成等，係與實施 形態1之第1顯示部之構成等同樣’故說明予以省略 範圍指定接受部3308係針對第i顯示部33 ° 製程關聯資料，接受複數個範圍，即複數個顯；^ 之^曰疋。具體而言，第i顯示部33〇7係在將⑽ = ϋ 料藉由複數個曲線圖等作複數個顯示之情” “貝 接受部3·係針對第1顯示部侧所顯示複數個^旨定 關聯貧料之各個接受顯示對象範圍之指定 @製程 製程關聯資料以n個曲線圖分別顯示之；形列如，在1個 線圖，接受顯示對象範圍之指定。另外，接成^針對各曲 對象範圍彼此，係以非相同範圍為較佳。此:指定之顯示 示部3307將1個製程關聯資料藉由！個曲線圖算禮在第1顯 之情形下，範圍指定接受部3308亦可針 僅顯示1個 僅顯示1個之1個製程關聯資料接受 頌不部3307 之设數個顯示對象 I31242.doc 200915383 範圍之指定。如上述之範圍指定之結果，即成為對於Η固 製程關聯資料’接受複數個顯示對象範圍之指$。另外， 關於上述以外之構成等，係與上述實施形態丨之範圍指定 接文部1 3 0 8同樣，故說明予以省略。

顯示資料取得部3309係從儲存於儲存部^料之丨個製程 關聯資料’分別取得與範圍指定接受部33G8所接受之複數 個顯示對象範圍分別對應之期間，即複數個顯示期間内之 複數個製程關聯資料。所謂丨個製程關聯資料係為第丄顯示 :3307所顯示之製程關聯資料1 了取得複數個製程關聯 貝料之構成之外’顯示資料取得部33G9係與上述實施形能 1之顯示資料取得部1309同樣，故說明予以省略。 〜、 第2顯不部33 10係將顯示資料取得部33〇9所取得之複數 個製程關聯資料’與時間軸建立對應關係，並以較顯示對 象範圍之寬度更寬之第2顯示寬度加以顯示。例如，第· 示將複數個製程關聯資料，藉由複數個曲線圖或 視窗等分別個別顯示。或亦可將此等複數個製程關聯資料 予以重疊加以顯示。另外’％ 了顯示複數個製程關聯資料 之點以外’第2顯示部331G係與上述實施形態 部1310同樣，故說明予以 弟颂不 =部=係針對顯示資料取得部测所取得之複數個 貝料進仃特疋之解析。所謂㈣之處理係可為任何處理， 望、°為aylandU蘭）測試等之混泡（chaos)時間序列解 專，或亦可為多變量解析等之其他解析處理。關： W咖d測試，係記載於文獻「李察韋蘭邮一 131242.doc 200915383

Wayland)及其他，「關於時間序列之決定論性之定量化 (Recognizing Determinism in a Time Series)」，物理評論通 訊（PHYSICAL REVIEW LETTERS)，1993 年 2 月 1 日，卷 (VOLUME) 70，號（NUMBER) 5, p. 580_582」為公知技 術，故說明予以省略。解析部3311要進行何種處理亦可預 先決定，亦可依據從未圖示之接受部等接受之指示來指 定。藉由解析所獲得之資料等係暫時記憶於例如未圖示之 記憶媒體等。解析部33丨丨通常係可由]^1>11或記憶體等來實 現。解析部3311之處理順序通常係可藉由軟體來實現，而 該軟體係記錄於R〇M等之記錄媒體。惟亦可藉由硬體（專 用電路）來實現。 第3顯示部33 12係用以顯示解析部33U之解析結果。所 »胃解析結果具體而言係為表示藉由解析所獲得之結果之資 料或判定結果等。第3顯示部3312係使用解析部3311之解 析結果，而構成用以顯示解析結果之資料，例如曲線圖 等，亦可將用以顯示該解析結果之資料加以顯示。在此所 述之顯示，係為包括顯示於顯示器等之概念。第丨顯示部 1307係可考慮包括或可考慮不包括顯示器等之顯示元件 等。第1顯示部1307係可藉由顯示元件之驅動器軟體、或 顯不το件之驅動器軟體與顯示元件等來實現。 接著，使用圖13之流程圖來說明資料顯示裝置33之動 作。另外，在圖13之流程圖中，與圖4同一符號係表示同 一或相當之處理步驟，在此係省略說明。另外，在此係針 對在接受1個顯示對象範圍之指定之情形下，將與該顯示 131242.doc -42- 200915383 對象範圍對應之顯示期間之製程關聯 月丨寸Μ第2顯示甯声 加以顯示之情形進行說明。 見度 (步驟資料取得部3遍係從儲存部33G4 程關聯資料。 ΊΕΙ i (步驟_2)第1顯示部係將資料取得部33G6所取得 之製程關聯資料以第i顯示寬度加以顯示複數値。 (步驟S13(>3)範圍以接受部係針對第i顯示部3307 顯示複數個之製程關聯資料之中之！個，判斷是否接 二部分範圍’即顯示對象範圍之指^在接受之情形=， 前進至步驟S1304,在未接受之情形下，返回步驟S1303。 (步驟S13〇4)第1顯示部3307係將用以表示在步驟Sl3〇3 中所接受之顯示對象範圍之資訊，與在步驟S⑽顯 數^程關聯資料之中之在步驟su〇3接受顯示對象範圍 之才曰疋之製程關聯資料建立對應關係並加以顯示 疊進行顯示。 $ (步驟SU0·示資料取得部係取得用以表示與在 步驟S13G4中所接受之顯示對象範圍對應之實際之期間， 即顯示期間之資訊。 (步驟S13G6)顯示資料取得部测係從儲存於儲存部 3304之1個製程關聯資料，讀取並取得在步驟S1305中所算 出之顯示期間内之製程關聯資料。所取得之製程關聯資料 係例如將接受顯示對象範圍之指定之製程關聯資料之_ <·、、建立對應關係，並蓄積於未圖示之記憶媒體等。 (/驟S1307)第2顯不部331〇係將在步驟si3〇6中所取得 13I242.doc •43· 200915383 之製程關聯資料，傲P日 /、寸間轴建立對應關係並以第2顯示寬 度加以顯示。 (步驟S1308)解析部3311係判斷範圍指定接受部3则是 Z針對1個製私關聯資料接受了複數個顯示對象範圍之指 疋。在接受之情形下，由於可進行解析，因此前進至步驟 s 309在未接梵之情形下，前進至步驟S1312。 (步驟s13G9)解析部3311係判斷是否要進行特定之解 析。解析部33 11係可以任何方式來判斷是否要進行特定之 解析，例如，亦可在未圖示之接受部等接受要進行解析之 指示之情形下，判斷要進行解析。此外，在步驟S1308 中亦可在接焚複數個顯示對象範圍之指定之情形下，判 斷要進行解析。在判斷要進行解析之情形下，前進至步驟 S1310，在判斷不進行解析之情形下，前進至步驟Sm2。 (步驟S1310)解析部3311係對於顯示資料取得部33〇9從工 個製程關聯資料取得之複數個製程關聯資料進行特定之解 析。 (步驟S1311)第3顯示部3312係顯示步驟8131〇之解析結 果。 (步驟SUU)範圍指定接受部3308係判斷是否接受了顯 示對象範圍之變更或追加。在接受之情形下，返回步驟 S1304，在未接受之情形下，返回步驟sl3〇9。 以下說明具備本實施形態之資料顯示裝置之群管理系統 之具體之動作。群管理系統之概念圖係與圖丨同樣。另 外，在此為了簡化說明，係舉不進行藉由資料處理部13〇5 131242.doc 44· 200915383 之處理之情形為例進行說明。 在此’係設為與上述實施形態1之具體例同樣，資料接 收部1303係接收製程關聯資料，且蓄積於儲存部33〇4。惟 在此係設為僅接收一個製程關聯資料，即第1測定資料， 且予以蓄積。 資料取得部3306係讀取蓄積於儲存部3304之1個製程關 聯資料’即第1測定資料。 第1顯示部3307係以複數個，在此為以5個為例構成用以 表示第1測定資料之以時間軸為橫軸之第丨顯示寬度之曲線 圖’且如圖14所示顯示於監視器畫面。在圖14中，曲線圖 3 3 1〜3 3 5係為第1測定資料之5個曲線圖。5個曲線圖 331〜335係為相同之曲線圖。 接著，若由使用者操作滑鼠等，使顯示於顯示器上之游 k #移動而選擇第1顯示部33 07所顯示之曲線圖33 1上之 一部分範圍，則範圍指定接受部33〇8係接受第！顯示部 所顯示之製程關聯資料内之一部分範圍，即顯示對象 摩巳圍之指定。若相對於曲線圖331接受顯示對象範圍之指 定，則第1顯示部3307係將範圍指定接受部13〇8接受顯示 對象範圍之曲線圖331上之與此顯示對象範圍對應之期間 之區域334之背景色，變更為與其他區域不同之顏色再度 顯示。再者’顯示資料取得部係、讀取與此顯示對象範 ，對應之顯示期間内之第！測定資料，且加以暫時記憶。 =2顯示部331〇係將顯示資料取得部33〇9所讀取之第1測定 貧料’以第2顯示寬度之曲線圖加以顯示。另夕卜，在此， 131242.doc -45. 200915383 藉由從顯示對象資訊所讀取之資料而顯示之曲線圖，為了 可月瞭與接又顯示對象範圍之指定之曲線圖之對應關係， 例如係鄰接加以顯不為較@。另夕卜，接受顯示對象範圍之 處理、或顯示第2顯示寬度之曲線圖之處理等係與上述具 體例同樣。 〃 Ο 重複上述之處理，並對於第丨顯示部33〇7所顯示之所有 曲線圖331〜335，設為由範圍指定接受部33〇8分別接受顯 丁對象範圍之才0疋，且由顯示資料取得部分別取得對 各個曲一線圖33卜奶所指定之顯示對象範圍之資料，而由 第2顯示部3 3 1 0顯示第廳+宮# Λ , 貝不弟2顯不見度之曲線圖331b〜335b。 將此情形之顯示例表示於圖15。區域331&〜3仏係為表示 分別指定於各曲線圖331〜335之顯示對象範圍之區域 線圖33.曲線圖3说係分別為曲線圖331〜奶内之 331:〜335a所示之範圍内之資料之曲線圖。 2 藉由設為可如此顯示 g ,.L 負不即可谷易配合單-之時間序列資 料’即一個製程關聯資 貝 L 即可易於辨識單—之製程關聯資料中之異常部 另外，在此時‘點，顯示資料取得部33 測定資料之複數個顯 ’、私疋為第1 料，得複數個製程關聯資 ^ '禾圖不之記憶媒體等。 接著’係設為由使用者操作未 於從指定為心測定 之選早畫面等’而對 複數個資料，賦二二複數個顯示對象範圍所取得之 進订特定之解析之指示。在此係設為特 131242.doc • 46 - 200915383 疋之解析為早蘭測試。解析部33丨】係從未圖示之儲存部 等’讀取顯示資料取得㈣崎據複數個顯示指定範圍^ 第1測定資料取得且蓄積之複數個P敎資料，且執行韋 蘭測試。再者，將韋蘭測試之結果由第3顯 曲線圖化並加以顯示。 加以 圖16係為表示韋蘭測試之結果之圖。此圖16係為對於圖 15所示之顯示例，追加表示韋蘭測試之結果之曲線圖16並 加以顯示之顯示例。

^ 藉由對彳之1個製程關聯資料内之複數個顯示指定 範圍所取得之複數個資料進行韋蘭载，即可取得表示埋 入次兀與並進誤差推定值之關係之資料。此外，在變更顯 示指定範圍之情形下，使用從經變更之顯示指定範圍所取 得之製程關聯資料，並進行再度解析，而將解析結果隨時 更新’藉此即可實時地顯示用以表示埋人次元與並進誤 推定值之關係之資料。 此外，將關於1個製程關聯資料之複數個區域之資料之 解析結果’藉由與1個製程關聯資料、或1個製程關聯資料 内之複數個區域之資料並列加以顯示，即可容易進行資料 間之比較’且可易於辨識資料之異常等。 另外，關於與顯示對象範圍之變更同步而使顯示變更之 處理等，係與上述實施形態1之具體例同樣，故說明予以 省略。 以上，依據本實施形態，可發揮與上述實施形態丨同樣 之效果，並且可將從1個製程關聯資料之複數個區域所取 131242.doc -47- 200915383 示而可容易進行在1個 且可有效率地進行異常 1個製程關聯資料之複數 即可從解析結果與時間 得之資料，以第2顯示寬度加以顯 製程關聯資料内之資料之比較等 之檢測等。 再者’藉由設為可顯示關於從 個區域所取得之資料之解析結果 序列資料之組合檢測異常。 另外’關於本實施形態之構成’亦可適用於上述實施形

態2之構成’在此種情形下’亦可發揮與上述同樣之效 果。 (實施形態4) 本實施形態之資料顯示裝置係設為從製程關聯資料之玉 個檢測特異點，且接受檢測出此特異點之期間所表示之資 訊’作為表示顯示對象範圍之資訊者。 圖17係為表示具備本實施形態之資料顯示裝置之群管理 系統之構成之區塊圖。在圖t，與圖2同—符號係表示同 一或相當之部分。 資料顯不裝置43係具備指示接受部13()1、要求資訊傳送 部Π02=資料接收部13〇3、儲存部13〇4、資料處理部 13 05、貝料取侍部13〇6、第】顯示部13〇7、範圍指定接受 部4308、顯示資料取得部13〇9、第2顯示部i3i〇、檢測部 43 11、圖案儲存部43 12。 關於貝料顯不震置43之範圍指定接受部43〇8、檢測部 4311、及圖案儲存部4312以外之構成，係與上述實施形態 1之資料顯示裝置同樣，故詳細之說明予以省略。 131242.doc •48- 200915383 檢測部仙係從資料取得部13崎取得之製程關聯資料 之^固檢測特異點。所謂在製程關聯資料之特異點係為表 ;…、他不同之特性之點。特異點係例如為異常產生之部 分。作為特異點之檢測對象劁 庄一 & 裟耘關聯資料，通常係為預 先扣疋之 > 料，且以特異點為 TT丹，..£马合易檢測之資料為 Γ4311係亦可從1個製程關聯資料以任何方式檢測特： 二從1個製程關聯資料檢测特異點之運算法則而言I、 係有例如由使用者預先登 # , 0 L 日由手動所檢索之異常之波形 4且取付此已登錄之波形、盥製裎關 ，、裟程關聯資料之相關，而 W斷為相關較南之部分為特显 旅也m朴 、點者此種相關較高之部分 Γ ： 11筑5兄明予以省略。此外，々制< 落在一定t βπ 在製程關聯資料只要值 在疋之乾圍内則判斷為正常之資料之情形 將製程關聯資料之值與臨限 定之範圍外之值之情形下，判斷為特限值所指 可從儲在於冲— 螂马特…點。檢測部43 11亦 J仉储存於儲存部13 或亦可從資粗& 個I程關聯貧料檢測特異點， 飞丌了從貝枓取得部13〇6所取 測特異點。ΑI , 之製耘關聯資料之1個檢 間之資訊，且！^卜 係、取仔表不特異點產生之期 且輪出至乾圍指定接受邱 期間係可為檢洌出Ml # 8。特異點產生之 q似娜出特異點之期間， 點之時刻或期間 ，-、I括檢測出特異 <⑴便之特疋之期 在藉由與波形圖宏夕士 例如，如上所述， 聯資料内檢洌屮i + b 、‘.、之凊形，係於製程關 接受表示檢測出+4+ /、相關之。卩分之情形下， 杈判出此特異點之期間 作為表示特異點 131242.doc -49- 200915383

產生之期間之資訊。此外’亦可在檢測出特異點產生之時 刻之情形下，接受表示將^或未定之特u期間附加於 此被檢測出之時刻（例如時間戳記（timestamp))之前後之期 間之資訊，作為表示特異點產生之期間之資訊。所謂表示 期間之資訊，只要可表示期間，則可為表示期間之始點盥 終點之時刻之資訊、與指定期間之始點或中間點之時㈣ 期間之長度之資訊之組合。另外，在此舉例而纟，說明藉 由與預先登錄之波形之相關而檢測特異點之情形。另外， 預先登狀波形係設為儲存於後述之圖案儲存部4312。檢 測部仙通常係可藉由MPU或記憶料來實^檢測: 4311之處理順序通常係可藉由軟體來實現，而該軟體係記 =於ROM等之記錄媒體。㈣可藉由硬體（專用電路）來實 在圖案儲存部4312中係儲存有在檢測部4311檢測特異點 之際所讀取用以表示特異點之波形圖案。波形圖案係可為 複數個。圖案儲存部4312係可為非揮發性之記錄媒體，亦 可為揮發性之記錄媒體。 範圍指定接受部4 3 0 8係接受表示檢測部4 3丨丨所檢測出之 寺”點產生之期間之資訊，作為指定顯示對象範圍之資 訊。另外，除了接受表示檢測部43丨丨所輸出之特異點產生 之’月間之s代作為指定顯示對象範圍之資訊之點之外，範 圍指定接受部4308係與實施形態1之範圍指定接受部43〇8 同樣，故說明予以省略。 接著使用圖1 8之流程圖來說明資料顯示裝置43之動作。 131242.doc -50- 200915383 另外，在圖11之流程圖中，與圖4同—符號係表示同一或 相當之處理步驟，在此係省略說明。 (步驟S1 8 01)檢測部4 3 11係讀取儲存於圖案儲存部4 3 12 之波形圖案之資料。 (步驟S 1 802)檢測部43 11係取得儲存於儲存部33之製 程關聯資料之中之預先指定之1個製程關聯資料。 (步驟S1 803)檢測部4311係求出與在步驟818〇2所取得之 製程關聯資料、及在步驟81801所取得之波形資料之相 關。例如，相關係可使用互相關函數等來算出。 (步驟S18〇4)檢測部4311係在步驟818〇3中，判斷是否已 檢測出與波形資料相關較高之資料。例如，判斷用以表示 在步驟S1803所算出之相關之值是否為臨限值以上，若為 臨限值以丨，則判斷相關較高。在檢測出相關較高之資料 ^情形下，前進至步驟S18G5，在未檢測出之情形下，將 ，理結束。在檢測出相關較高之資料之情形下， 出之部分即為特異點。 W叫 (步驟S1805)檢測部4311係取 之資訊並力，出。所謂表示特異點產==間 只要是表示包括特異點之期間之資訊即 ：： 期間之前後之期間。料，亦二為包括此時刻或 :、波形貝枓之比較之期間之資訊 進仃 附加於進行此比較之期間之前錢 為將特疋之期間 例如取得用以表 ^ 3。檢測部43 11係 ]斷為與製程關聯資料之中之波形圖 131242.d〇i 200915383 案”有相關之關為中心之預先指定之長度之期間之資 作為表不特異點產生之期間之資訊。此外，亦可取得 判斷為與裝程關聯資料之中之波形圖案具有相關之範圍之 中〜之時刻’作為特異點產生之時刻，且接受用以表示以 此時刻為中心之預杏社… 一 預先心疋之長度之期間之資訊，作為指定 顯示對象範圍之資訊。 (步驟S18G6)關指定接受部4地係接受用以表示檢測 部43U所檢測出之特異點產生之期間之資訊，作為指定顯 不對象fe圍之育訊。再者，前進至步驟§彻。 (V驟S1807)第1顯不部43〇7係將用以表示在步驟§1祕 士斤接又之s，，員不對象範圍之資訊，與在步驟s4〇6所顯示之 :門序列貝5fl建立對應關係、並加以顯#，例如重疊進行顯 示。再者’前進至步驟S4〇9。 另外在此流程圖中，雖係設為在步驟S411之處理後， 使動作結束，惟亦可設為在步驟洲之處理後，依據使用 者等之指對於檢測出特異點之後之資料，亦進行步驟 S湖以後之處理。#此，例如其後產生之異常亦可感 測。 以下說明具備本實施形態之資料顯示裝置之群管理系統 之具體之動作。群管理系統之概念圖係、與圖i同樣。 在此，資料接收部1 3 03係設為與上述實施形態丨同樣， 接收第1及第2測定資料作為製程關聯資料，且將所接收之 資料蓄積於儲存部1304。除此之外，資料接收部1303係設 為接收製程關聯資料之丨，即第3測定資料，且蓄積於儲存 131242.doc -52- 200915383 P 04 #夕卜，第3測定資料係設為與第1及 同時測定之其他系統之資料。 J U料 此外，資料處理部1305係設為分別讀取 刪之第戰資料與請定資料並進行微波轉換^: 經微波轉換所獲得之製程關聯資料，蓄積於儲存部13〇4 圖19係為表示儲存於圖案儲存部仙之用於特異點_ ^皮形圖案之一例之圖。此波形圖案係取得在與過去所測 定之上述之第3測定資料相同測定資料中，被檢測出在半 導體製士造過程等之異常之時點之前後之特定之期間，在此 係以5毫秒間之資料為例，並將此以波形加以表示者。在 此，係檢測部43U使用此波形圖案，進行檢測被認為在第 3測定資料中產生異常之部位作為特異點之處理之例進行 說明。 首先仏測°卩43 11係瀆取儲存於圖案儲存部12之波形 圖案。 接著，檢測部4311係從儲存部13〇4讀取第3測定資料， 且暫時記憶於記憶體或緩衝器等。 檢測部4 3 11係取得暫時記憶於記憶體等之第3測定資 料、與從圖案儲存部4312讀取之波形圖案之相關。關於相 關之算出方法係為公知之技術，故在此省略說明。 圖20係為表示第3測定資料之一例之曲線圖。從與自圖 案儲存部43 12所讀取之圖19所示之波形圖案之比較，判斷 區域20之部位係藉由檢測部43 11而相關較高。 在第3測定資料内被檢測出與從圖案儲存部43 12所讀取 131242.doc -53- 200915383 之波形圖案之相關較高之八 之時間戳記等取得用以表之匱形下，從第3測定資料 關較高之波形所存在之期2測疋資料内之琴皮判斷為相 所取得之期間之資訊，且取=5fl °再者’使用用以表示 間，在此係460 ms之期門于从此期間為中心之特定之期 π里* 〇 期間之開始時刻與結束時刻之次 讯。再者，將用以表示所取 之貝 指定接受部4308。例如，讲 曰之、孔’傳送至範圍 Π 刻為「W、27〇毫秒」、处時/則部43U所取得之開始時 心」、、·。束時刻為「1#、33〇毫秒 =定=43。8係接受檢測部所取得之 狀貝訊即 秒咖毫秒」作為指定顯示對象範圍之資訊。 1 接著胃料取付部！ 3〇6係與上述實施㈣Κ # 樣地從儲存部1304讀取第1測定資料與第2測定資料。再 者’第1顯不部1307係構成沿著時間軸將資料取得部1306 所讀取之第!測定資料、與第2測定資料重疊之第i顯示寬 度之曲線圖並加以輸出。此時，在此曲線圖中，用以表示 由顯7Γ貝料取仔部43〇8所取得之顯示對象範圍之期間之背 景色係以與其他區域不同之顏色顯示。 此外’顯#資料取得部1309係從將儲存於儲存部13〇4之 f1測，資料、第2測定資料、及將此等進行微波轉換所獲 得之資料之各個，取得由範圍指定接受部4308所接受之用 以表不顯不對象範圍之期間之資訊所表示之期間内之資 訊。亦即，從各個資料，取得開始時刻為「i秒27〇毫 秒」'結束時刻為「1秒330毫秒」之期間之資訊。再者， 131242.doc -54- 200915383 第2 &員示部13 1 0係將顯示資料取得部丨3〇9所取得之各資料 顯示作為個別之曲線圖。 圖21係為表示第丨顯示部13〇7及第2顯示部ΐ3ι〇顯示在監 視器等之曲線圖之顯示例之圖。曲線圖2U係為將糾顯示 部1307所顯示之第1測定資料與第2測定資料加以重疊之資 料，表示區域2U與顯示對象範圍對應之期間。此外，曲 線圖2lb〜21e係為第2顯示部131〇所顯示之資料。曲線圖 21b係為與第㈣定f料之顯示對象範圍對應之期間内之曲 線圖。曲線圖2le係為與將^測定資料進行微波轉換之資 料之顯示對象範圍對應之期間内之曲線圖。曲線圖⑽係 為與第2測定資料之顯示對象範圍對應之期間内之曲線 圖。曲線圖仏係為與將第2測定資料進行微波轉換之資料 之顯示對象範圍對應之期間内之曲線圖。 如此，在此具體例中，係可自動檢測從第3資料產生特 異點之異常之期間’且將此所檢測出之期間内之第】及第2 =資料等加以放大並顯示。因此’使用者不再需要探尋 異吊產生之部位，且蔣_lf it . 且將此邛位指定於顯示對象範圍。因 此，可減輕使用者之作蚩。 之作業此外，可削除在探尋異常產生 之部位之際因為使用者之錯誤所導致之疏漏，而可提升分 析資料之際之可靠性。 依據本實施形態，係可發揮與上述實施形態 1同樣之效果，並且藉由從製程關聯資料之!檢測特異點， 且將用以表示該特異點產生之期間之資 #» Α ^ ΠΠ η 使用作為顯不 對象耗圍’即可自動取㈣以表示顯示對象㈣之資訊。 131242.doc -55. 200915383 藉此，使用者不需指定顯示對象範圍之作業，而可削減使 用者之勞力。此外，藉由自動檢測被認為以第2顯示寬度 顯示為適切之特異點，即可削除人為方式檢測特異點之^ 形之檢測疏漏，而可提升分析資料之際之可靠性。 另外’關於本實施形態之構成，亦可適用於上述實施形 態2及實施形態3之構成，在此種情形下，亦可發揮與上述 同樣之效果。 ^ Ο 另外，在上述各實施形態中，各處理（各功能）係可藉由 以單-裝置（系統）集中處理來實現，或可藉由複數個果:置 分散處理來實現。 & 此卜在上述各貫把形恶中，各構成要素係可藉由專用 之硬體來構成’或者’關於可藉由軟體實現之構成要素， 係可藉由執行程式來實;見。例士〇，藉&cpu等之程式執行 部來讀取紀錄於硬碟或半導體記憶體等之記錄媒體之軟 體•程式並加以執行，可實現各構成要素。 另外’實現上述各實施形態之資料顯示裝置之軟體，係 為以下之程式。換言之，此程式係為—種使電腦發揮作為 以下之功能：資料取得部’其從可供儲存複數簡於半導 體製程在處理時之狀態之屬於時間序列資料之製程關聯資 料之儲存部，取得丨個以上之製程關聯資料；第丨顯示部， 其將前述資料取得部所取得之㈣以上之製程關聯資料與 時間軸建立對應關係並以p顯示寬度加以顯示，·範圍指 疋接又。P其接*前述第！顯示部所顯示之前述製程關聯 貝料内之屬於一部分範圍之顯示對象範圍之指定；顯示資 131242.doc -56- 200915383 料取得部，其從前述複 於與前述顯示對象範圍對聯資料之各個，取得屬 g44 Μ之期間之顯示期間内之掣裎 聯貪料；及第2顯示部， U轾關 之前述顯示期間内之複數個製P顯不資料取得部所取得 應關係，並以較前述顯示 漫立對 寬度加以顯示者；且前 二之二兄之第2顯示 定接受部所接受之項干對^ 係 前述範圍指 m _ .、、’、f象乾圍之資訊，與該第1顯示部 進-步加以顯示。製私關聯資料建立對應關係，並 ，外’此程式係使電腦發揮作為以下功能之 取仔部’其從可供儲存關於 貝;' 屬於眭叫— 卞导體製私在處理時之狀態之 辻】：列資料之1個製程關聯資料之儲存部，取得义 述1個製程關聯資料；第丨顯千卹^ 取侍則 取得之丨個制4 弟員不4，其將前述資料取得部所 “關聯資料與時間軸建立對應 不見度加以顯示，·範圍指定接受部，以 弟l.'員

C 部所顯示之！個製程關 Ί 肩不 數個顯示對象範图… 硬數個範圍之複 個製程關聯^ 顯取得部，其從前述】 別對應之期門與前述複數個顯示對象範圍分 科第二， 數個==，其將前述顯示f料取得部所取得之複 I私關聯資料與時間軸建 寬度更寬之_::::= 個二=:將t示前述範圍指定接受部所接受之』 +象耗圍之_貝訊，與該第】顯示部所顯示之前述㈣ 131242.doc •57- 200915383 製程關聯資料建立對應關係，並進一步加以顯示。 僅=眚卜纟上述程式中，上述程式所實現之功能，不包含 2實現硬體之功能。例如，僅能由取得資訊之取得部、 或在輸出資訊之輸出部等中之數據機或介面卡等之硬體實 現之功能，係不包含於上述程式所實現之功能。 實 此外，此程式亦可藉由從伺服器等下載來執行，或可藉 由讀取紀錄於特定之記錄媒體（例如cd_r〇m(c

㈣Read 0nly Memor”光碟唯讀記憶體)等之光碟或磁 碟、半導體記憶體等）之程式來執行。 此外’執行此程式之電腦係可為單數，亦可為複數個。 亦即’可進行集中處理，或亦可進行分散處理。 圖22係為表示執行上述程式，並實現上述實施形態之資 料顯示裝置之電腦之外觀之_例之模式圖。上述實施形態 係藉由電腦硬體及在其上執行之電腦程式而實現。 在圖22中，電腦系統⑽係具備包括CD_R〇M(c_pact Disk Read Only Memory，光碟唯讀記憶體）驅動器1〇5、 FD(Flexible Disk,軟碟）驅動器1〇6之電腦1〇1 '鍵盤1〇2、 滑鼠103、監視器1〇4。 圖23係為表示電腦系統之圖。在圖23巾，電腦係除 CD-ROM驅動器1〇5、FD驅動器1〇6之外，尚具備 CPU(Central Processing Unit，中央處理單元）lu、用以記 憶啟動（bootup)程式等之程式 iR〇M〇lead 〇nly MemQi_y , 唯讀記憶體）112、連接於CPU 111，用以暫時地記憶應用 (application)程式之命令，並且提供暫時記憶空間之 131242.doc -58- 200915383 RAM(Random Access Memory，隨機存取記憶體）ι 13、用 以記憶應用程式、系統程式、及資料之硬碟丨丨4、及將 CPU 111、ROM 112等彼此連接之匯流排（bus)115。另外， 電腦1 01亦可包括提供對於LAN之連接之未圖示之網路 卡。 用以使電腦系統1 00執行上述實施形態之資料顯示裝置 之功能之程式，係可記憶於CD_R0M 121、或？1:) 122，並 插入於CD-ROM驅動器105、或FD驅動器106 ,而傳送至硬 碟114。取而代之，該程式亦可介隔未圖示之網路傳送至 電腦1〇1，且記憶於硬碟114。程式在執行之際係載入 (load) RAM 113。另外，程式係可從CD_R〇M ^丨或阳 122、或網路直接載入。 程式亦可未必包括用以使電腦1〇1執行上述實施形態之 資料顯示裝置之功能之操作系統（〇pemi〇n ， OS)、或第三外hird party)程式等。n亦可僅包括命令 7 t部分’用以在被控制之態樣下呼叫適切之功能（模組）， 而獲得所希望之結果。關於電腦系統100要以何方式動作 係為周知，詳細之說明予以省略。 此外，在上述各實施形態中，存在於1個裝置之2個以上 之通訊機構（要求資訊傳送部或資料接收部等）在物理性上 係可藉由1個媒體來實現，此自不待言。 本發明並不限定於以上之實 貫施形態，亦可作各種變更， 該專均包含於本發明之範圍内，此自不待言。 產業上之可利用性 131242.doc •59 200915383 綜上所述，本發明之資料顯示裝置 半導體製程為卢禅η主 ’、< 用作為將關於 干守篮表私在處理時之狀態之屬 4d- MS - ^ * 、寸間序列之製程關聯資 #顯不複數個之裝置笤， 咐W貝 , 在作為使帛肖、線圖等並列顯示 複數個製程關聯資料之裝置等係屬有用。 【圖式簡單說明】 圖1係為表示本發明之奢始农At】 夕图 知月之實％形恶1之群管理系統之概念圖 之圔。 圖2係為同群管理系統之區塊圖。 圖3係為表示同製造裝置之例之圖。 圖4係為就同資料顯示裝置之動作進行說明之流程圖。 圖5係為表示同顯示例之圖。 圖6係為表示同顯示例之圖。 圖7係為用以說明對於同資料顯示裝置之操作之圖。 圖8係為用以說明對於同資料顯示裝置之操作之圖。 圖9係為表示同顯示例之圖。 圖1 〇係為本發明之實施形態2之群管理系統之區塊圖。 圖11係為就同資料顯示裝置之動作進行說明之流程圖。 圖12係為本發明之實施形態3之群管理系統之區塊圖。 圖13係為就同資料顯示裝置之動作進行說明之流程圖。 圖1 4係為表示同顯示例之圖。 圖1 5係為表示同顯示例之圖。 圖1 6係為表示同顯示例之圖。 圖1 7係為本發明之實施形態4之群管理系統之區塊圖。 圖1 8係為就同資料顯示裝置之動作進行說明之流程圖。 131242.doc 200915383 ，圖19係為表示儲存於同資料顯示裝置之圖案儲存部之波 形圖案之一例之圖。 圖2〇係為表示同資料顯示裝置所儲存之第3資料之一例 之圖。 圖2 1係為表示同顯示例之圖。 圖0 圖22係為表示同實施形態中之電腦系統之外觀之一例之 模式圖。 圖23係為表示同實施形態中之電腦系統之構成之一例之 【主要元件符號說明】 1、2、3 製程腔室 4、5 匣盒腔室 6 搬運腔室 7 搬運臂 11、11a、lib、...11η 製造裝置 12 伺服裝置 13 、 23 ' 33 ' 43 資料顯示裝置 20 判斷區域 21a、 21b、 21c、 21d、 21e、 曲線圖 52 、 53 、 54 、 55 、 331〜335 、 331b〜335b 51 、 61 、 211 、 331a〜335a 區域 71 游標 91 ' 92 標記 131242.doc -61 · 200915383 100 電腦糸統 101 電腦 102 鍵盤 103 滑鼠 104 監視器 105 C D - R 0 Μ驅動益 106 FD驅動器 111 CPU 112 ROM 113 RAM 114 硬碟 115 匯流排 121 CD-ROM 122 FD 1301 指示接受部 1302 要求資訊傳送部 1303 資料接收部 1304 、 3304 儲存部 1305 、 2305 資料處理部 1306 > 3306 資料取得部 1307 ' 3307 第1顯示部 1308 、 3308 、 4308 範圍指定接受部 1309 、 3309 顯不貢料取得部 1310 、 2310 、 3310 第2顯示部 131242.doc -62- 200915383 3311 解析部 3312 第3顯示部 4311 檢測部 43 12 圖案儲存部 Cl、C2 匣盒 G 閘閥 W 晶圓 131242.doc -63·

Claims (1)

1. 200915383 、申請專利範圍： 一種資料顯示裝置，係具備： f存部，其可供儲存複數個關於半導體製程在處理時 之狀態之時間序列資料，即製程關聯資料處時 資料取得部，其從前述 聯資料； 子卩取传1個以上之製程關 料取得部所取得之1個以上之 立對應關係並以第1顯示寬度

   第1顯示部，其將前述資 製程關聯資料與時間軸建 加以顯示； 範圍指定接受部 述製程關聯資料内 定； …前述第1顯示部所顯示之前 之-部分範圍，示對象範圍之指 顯示資料取得部，其從前述複數個製程關聯資料之各 内之製程關聯資料;及 +應之期間’即顯示期間 第2顯示部’其將前述顯示資料取得部所取得 硕不期間内之複數個製程關聯資料與時 “ 係’並以較前述顯示對象範0立對應關 啤〜見度更寬之第2顯宮 度加以顯示； 币4不寬 前述第1顯示部係 示對象範圍 之製程關聯 將表示前述範圍指定接受部所接受之顯 之資訊與該第1顯示部所顯示之前述丨個以上 資料建立對應關係，並進-步加以顯示。 一種資料顯示裝置，係具備： 131242.doc 200915383 程在處理時之狀態 * 前述1個製程關聯 儲存部，其可供儲存關於半導體製 ^間序列資料’即1個製程關聯資料 貝料取得部，其從前述儲存部取得 資料； .，"頁示部’其將前述資 聯資料與時間轴建立對應關係並:二得：個製程關 示； 昂1顯不寬度加以顯 辈已圍指定接受部，其斜斟 — Μη μ m ^ 4J. '、,, ’"第1 ”肩示部所顯示之1個 關聯資料，接受複數個範圍，即㈣如 圍之指定； 即複數個顯示對象範 斑：:資料取得部，其從前述1個製程關聯資料，取得 /、刖述複數個顯示對象範圍分別對庫之期門 顯示期間内之複數個製程關聯資料；及…即複數個 第2顯示部，其將前述顯 個製程關聯資料與時間轴建立對得之複數 示對象範圍之寬度更寬之第、並以較前述顯 前述第！顯示部係' 射見度加以顯示’· 象範==範圍指定接受部所接受之複數個顯示對 資料建立對庫關m不部所顯示之前述1個製程關聯 ▲ 、 #應關#，並進_步加以顯示。 "月求項2之資料顯示裝置，其中 —前述第1顯示部係將資料取得部所 資料與時間軸建 個製程關聯 個顯示； 對應關㈣以第1顯示寬度加以複數 131242.doc 200915383 前述範圍指定接受部係針對前述第丨顯示部複數個顯 示之前述!個製程關聯資料之各個，接受顯示對 之指定； 前述顯示資料取得部係從前述！個製程關聯資料，取 得與前述㈣Μ接受料受指定之錢㈣示對象範 圍對應之複數個製程關聯資料； 前述第2顯示部係將前述顯示資料取得部所取得 數個製程關聯資料分別與時間軸建立對應關係，並 =述顯示對象範圍之寬度更寬之第二顯示寬度加以： 前述第1顯示部係將表示前述範圍指定接受部所接為 之複數個顯示對象範圍之資訊，與分別接受指定之前^ 第1顯不部所顯示之複數個前述1個製程關聯資料分別逮 立對應關係，並進_步加以顯示。 1建 4. 5. 如請求項3之資料顯示裝置，其中 巧進―步具備解析部，其針對前述顯Μ料取 仟之硬數個資料進行特定之解析. 斤取 :進-步具備第3顯示部，其用以顯 解析結果。 < 鮮析部之 如請求項1之資料顯示裝置其甲 :步具備資料處理部，其針對前述顯 所取得之製程關聯資料之！個 定=部 理； 迓仃符疋之運算處 前述第2顯示部係 131242.doc 200915383 將前述顯示資料取得部所 Λ ^ ^ 表程關聯資料、！ 由别述貝料處理部運算處理所獲得、科及精 時間軸建立對應關係，並 1聯貪料’與 I Μ孕乂刖述顯示對急 更寬之第2顯示寬度加以顯示。 &圍之寬度 6. 8. 如請求項1之資料顯示裝置，其中 别述範圍指定接受部係藉由 _ _ i顯矛邱 s不兀件對於前述第 顯不销顯不之製程關聯資料之操作 對象範圍之指定。 接又則述顯示 如請求項1之資料顯示裝置，其中 :述第1顯示部係將表示前述顯示對象範圍之資訊， 與該第1顯示部所顯示之製程關聯資料重疊顯示； 月ij述範圍指定接受部係 依據使用指示元件對於表示前述第丨_示部所顯示 之顯示對象範圍之資訊之移動及寬度之變更之操作而接 受W述顯示對象範圍之指定。 如請求項1之資料顯示裝置，其中 檢測部，其從資料取得部所取得之製程關聯資料之i 個檢測特異點； 則述範圍才曰疋接受部係接受表示前述檢測部所檢測出 之特異點所產生之期間之資訊，作為指定前述顯示對象 範圍之資訊。 9. 一種肓料顯示方法，其藉由以下進行處理：儲存部，其 可供儲存複數個關於半導體製程在處理時之狀態之時間 序列資料’即製程關聯資料；資料取得部；第1顯示 131242.doc 200915383 及第2顯示部 邛，範圍指定接受部；顯示資料取得部； 所處理；且具備以下步驟： _貝料取得㈣，&前㈣料取得部 1個以上之製程關聯資料； '…子邛取得 第1顯示步驟，由第i顯示部將在前 取得之丨個以上之製程關聯資料與時間轴建 =驟所 並以第1顯示寬度加以顯示； 對應關係

   範圍：定接受步驟，由範圍指定接受部接 1顯不步驟所顯示之前述製程關聯資料内 逑第 圍’即顯示對象範圍之指定； 刀範 貝料取得步驟，由前述顯示資料取得部從前述福 數個製程關聯資料之各個’取得與前述 腌+ ΒΒ Λ丨野象乾圍對 α之，月間’即顯示期間内之製程關聯資料；及 第2顯示步驟，由前述第2顯示部將在前述顯示資料取 得步驟所取得之前述顯示期間内之複數個製程關:資料 與時間軸建立對應關係，並以較前述顯示對象範圍之寬 度更寬之第2顯示寬度加以顯示； 且進一步具備由前述第丨顯示部將表示在前述範圍指 定接受步驟所接受之顯示對象範圍之資訊，與該第i顯 不部所顯示之前述1個以上之製程關聯資料之中之至少1 個建立對應關係並加以顯示之步驟。 10. —種資料顯示方法，其藉由以下進行處理：储存部，其 可供儲存關於半導體製程在處理時之狀態之時間序列資 料’即—個製程關聯資料；資料取得部；第1顯示部； 131242.doc 200915383 範圍指定接受部；顯千咨4立& m 理；且具備以下步驟 付部；及第2顯示部所處 :資料取得步驟’由前述資料取得部從前述 别述1個製程關聯資料； 取件 驟第1顯示步驟，由前述第1顯示部將在前述資料取n 得之1個製程關聯資料，與時間軸建立對應：： 並以第1顯示寬度加以顯示； 對應關係 述定接受步驟’由前述範圍指定接受部針對在前 .不步驟所顯示之1個製程關聯資料，接受複數個 範圍，即複數個顯示對象範圍之指定；接…個 顯示資料取得步驟，由前述顯 個製程關聯資料，取俨八取仔。P從則述i 對應之期門 传刀別與前述複數個顯示對象範圍 =期間，即複數個顯示期間内之複數個製程關聯資 Γ步驟!不步θ驟’由前述第2顯示部將在前述顯示資料取 2…斤取得之複數個製程關聯資料 應系’並以較前述顯示對象範圍之寬度更’:之： 示寬度加以顯示； X更見之弟2顯 定接受步備由别述第1顯示部將表示在前述範圍指 第！顯亍^所接党之複數個顯示對象範圍之資訊，與該 並加以顯。-所顯示之前述1個製程關聯資料建立對應關係 里加以顯不之步驟。 次^式係使電腦發揮作為以下功能者： 貝料取伸部’其從可供儲存複數個關於半導體製程在 131242.doc 200915383 處理時之狀態之時間序列資料， ^ „ 即製程關聯資料之儲存 取仔1個以上之製程關聯資料； 第1顯示部，其將前述資料取得 4S ns m ^ . 斤取传之1個以上之 I程關聯-貝料與時間軸 加以顯示； f應關係並以第！顯示寬度 範圍指定接受部，立接A > 、十-制 八又月’述弟1顯示部所顯示之前 ^程關聯資料内之—部分範圍，即顯示對象範圍之指 個顯得部，其從前述複數個製程關聯資料之各 内之：：：爾示對象範圍對應之期間，即顯示期間 内之製程關聯資料；及 顯第:顯Γ部，其將前述顯示資料取得部所取得之前述 ;不：間内之複數個製程關聯資料與時間轴建立對應關 係’並以較前述顯示劈+务 度加以顯示；對象㈣…更寬之第2顯示寬 月ίι述弟1顯示部係 次將表不月’J述範圍指定接受部所接受之顯示對象範圍 聯次料之φ Λ第1顯不部所顯示之前述1個以上之製程關 :貝/、、 之至少1個建立對應關係，並進一步加以顯 不。 12. 一ί程式，錢電腦發揮作U下功能者： 貝料巨取付部’其從可供儲存關於半導體製程在處理時 t〜、之時間序列資料’即i個製程關聯資料之 部’取得前述1個製程關聯資料； 131242.doc 200915383 第1顯示部，：a脾於、+，次，， 聯資料與時間軸建立_貝 部所取得之1個製程關 示； 建立對應關係並以第1顯示寬度加以顯 範圍指定接受部，其 _ 製程關聯資料，接顯示部所顯示之1個 圍之指定；I複數個範圍’即複數個顯示對象範 顯示資料取得部，其從前 與前述複數個顯示對程闕H料，取得 顯不期間内之禮赵 …4間，即複數個 复數個I程關聯資料，·及 第2顯示部，苴& 個製裎關聯資料斑：^顯不貢料取得部所取得之複數 一 ’Ί、¥間轴建立對庳關孫 示對象範圍之賞_ Φ # …關係，並以較前述顯 固之I度更寬之第2顯 則述第1顯示部係 X .4不， 象範Si:述:圍指定接受部所接受之複數個顯示對 聯資料建立對瘅：第1顯不部所顯示之前述1個製程關 〜乂野應關#，并、也 u 你並進一步加以顯示。 I31242.doc