JP5133323B2 - 真空処理装置、グラフ線表示方法 - Google Patents

Description

本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産技術に関する。

真空処理技術は、スパッタリング方法、ＣＶＤ方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、広い分野で用いられている。
真空処理技術によって同一品種の製品を量産する場合、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うが、品質にバラツキが発生する。
品質のバラツキが生じた原因を確認する場合や、バラツキが不良品を発生させないように製造工程を管理する場合、動作中の真空処理装置の状態を測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われている。

特に、真空処理装置内の機器の動作電流量、温度、圧力等の差違をロット間や真空処理装置間で定量的に確認しようとする場合、製造工程中に測定して測定値を記憶しておき、検査装置によって測定値をグラフ化し、その形の比較を行っていた。
しかしながら、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、大量の測定値をグラフ化して比較することが困難になっている。

特に、測定値の重要な部分をグラフ化して比較することは重要であるが、多量の測定データから見たい部分を抽出する作業は繁雑であり、抽出データ同士を比較することも困難である。

特開２００９−８０８４４号公報

本発明は上記従来技術の問題点を解決する技術を提供することを課題としており、本発明によれば、多種多量の測定値から見たい部分を簡単、正確に抽出し、抽出した測定値毎にグラフ化して比較することができるので、真空処理の分析を簡単に正確に行うことができる。

本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、前記抽出始点時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ−Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するように構成され、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定できるようにし、前記タイミングチャートの、前記抽出始点時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成する真空処理装置である。
また、本発明は、前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、一つの前記第一次グラフ線の前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示する真空処理装置である。
また、本発明は、前記データ分析プログラムは、表示した前記第二次グラフ線のうち、選択された前記第二次グラフ線を、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させる真空処理装置である。
また、本発明は、前記データ分析プログラムは、移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量を換算した時間修正する真空処理装置である。
また、本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、前記抽出始点時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ−Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するグラフ線表示方法において、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定でき、前記タイミングチャートの、前記抽出始点時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、一つの前記第一次グラフ線の前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示するグラフ線表示方法である。
また、本発明は、表示した前記第二次グラフ線のうち所望のものを選択させ、選択された前記第二次グラフ線は、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させるグラフ線表示方法である。
また、本発明は、移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量修正するグラフ線表示方法である。

真空処理を行った測定値の所望の部分を抽出してグラフ化できるので、真空処理間の比較分析を容易に行うことができる。
制御信号に基づいて抽出することができるので、比較するグラフデータの作業の時刻を一致させやすい。

画面上で見ながら抽出できるので制御信号中のノイズを見ることができ、ノイズによる誤った抽出を防止することができる。
また、抽出した測定値によるグラフ線の所望のものを移動できるので、ピーク位置などを同じＸ座標に位置させて正確にグラフ線を重ね合わせて分析することができる。

本発明の真空処理装置を説明するためのブロック図 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(１) 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(２) 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(３) 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(４) 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(５) 本発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(６)

図１の符号１は、本発明の真空処理装置の一例であり、真空処理部２０を有している。
真空処理部２０は、真空槽１１を有している。
真空槽１１の内部には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群２３が配置されている。

処理機器群２３は、複数の処理機器を有しており、ここでは処理機器には、真空槽１１の底面に配置された蒸着源３４と、蒸着源３４に電子線を照射するＥＢガン３３と、蒸着源３４の上方に配置された保持装置３１と、保持装置３１の内部に配置されたヒータ３２とが含まれる。

図１の符号１５は、処理対象物である基板であり、成膜面を蒸着源３４に向けて保持装置３１に保持されている。
真空槽１１の外部には周辺機器群２４と制御部２１とが配置されている。
周辺機器群２４は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系３６と、ガス導入系３７と、ヒータ用電源３８と、蒸着用電源３９とが含まれている。

真空排気系３６とガス導入系３７は真空槽１１に接続されており、真空排気系３６を動作させて真空槽１１の内部を真空排気することができ、ガス導入系３７を動作させて真空槽１１の内部にガス導入系３７から反応性ガス等のガスを導入でき、例えば反応性蒸着を行うことができる。

ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９は、ヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源３８と蒸着用電源３９からヒータ３２とＥＢガン３３にそれぞれ電力を供給する。
ヒータ３２は供給された電力で発熱し、保持装置３１を昇温させて真空雰囲気中で基板１５を加熱する。ＥＢガン３３は供給された電力で蒸着源３４に電子ビームを照射し、蒸着源３４内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽１１内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板１５に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。

周辺機器群２４には、処理機器群２３に含まれる処理機器にセンサ部分が取り付けられ、温度測定や圧力測定などの物理量の測定を行う測定装置も含まれており、また、ヒータ用電源３８や蒸着用電源３９等の内部に配置され、電流や電圧等の物理量を測定する測定装置も含まれている。
周辺機器群２４では、周辺機器群２４に含まれる周辺機器が測定した真空槽１１内の圧力、基板１５の温度、ガス導入量、ヒータ３２へ流れた電流量、ＥＢガン３３に供給した電力等の測定値が生成されており、測定値は、測定値と測定値の発生時刻とが対応されて、周辺機器群２４から制御部２１に入力されている。

制御部２１には、シーケンサ４１とコンピュータ４０とが配置されており、周辺機器群２４から入力された測定値と測定時刻は、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。
コンピュータ４０は、演算装置４２と、記憶装置４３と、表示装置４４とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置４３に記憶される。

真空槽１１では、真空処理がされた基板１５は真空槽１１の外部に搬出され、未処理の基板が搬入され、真空処理が行われる。
所定枚数の基板は連続して処理する基板ごとにロット番号が付与されており、測定値のロット番号が分かるように、測定値を記憶装置４３に記憶させる。ファイル名称には、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示が含まれており、また、一つのロット内でも、異なる真空処理は区別できるように、真空処理番号等の真空処理が区別できる表示もふくまれており、従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理に対応付けされていることになる。

他方、シーケンサ４１には、真空処理部２０を動作させる手順が記憶されており、シーケンサ４１からは、周辺機器群２４や処理機器群２３に対して、周辺機器群２４や処理機器群２３を制御しながら動作させて真空処理を行うための制御信号が出力されている。この制御信号には、周辺機器群２４や処理機器群２３を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが少なくとも含まれている。

制御信号は、周辺機器群２４に含まれる周辺機器３６〜３９や処理機器群２３に含まれる処理機器３１〜３４に出力されると共に、コンピュータ４０にも出力されている。また、シーケンサ４１からコンピュータ４０には、制御信号と共に、動作信号の出力が開始された開始時刻と、停止信号の出力が開始された停止時刻とが、動作信号と停止信号に対応付けて出力されており、制御信号は、制御信号によって行われた真空処理のロット番号や真空処理番号等が付され、ロットと真空処理に対応付けられ、開始時刻と停止時刻と共に記憶される。

この真空処理装置１では、複数ロットの基板の真空処理が行われ、記憶装置４３に複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号と、制御信号中の開始時刻と停止時刻とが記憶されているものとし、複数の真空処理の測定結果を比較して分析するための、コンピュータ４０の操作手順について説明する。

記憶装置４３には、真空処理の分析を行うプログラムが記憶されており、このプログラムを起動し、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に、演算処理を行うメモリ等に読み込む。
測定値が生成されたロット番号や真空処理番号等のロットと真空処理は、測定値のファイル名称によって区別できる。

分析する測定値は、ここでは、同じ処理機器３１〜３４又は周辺機器３６〜３９の測定結果であり、同じ物理量であり、測定時刻の間隔は、一真空処理中で一定であり、真空処理間でも一定値であるようにされている。
また、読み込む測定値が生成されたときの真空処理を制御していた制御信号も、読み込む。開始時刻と停止時刻は、例えば、測定時刻中に含まれる時刻にすることができる。制御信号のロットや真空処理との対応関係は、制御信号のファイルの名称で分かるものとする。

図２の符号１００は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
画面１００には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄１１０と、制御信号特定欄１２０とが設けられており、測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、測定値のグラフ線を表示するグラフ表示領域１３０と、制御信号を表示するタイミングチャート表示領域１４０とに区分けされている。タイミングチャート表示領域１４０では、動作信号と停止信号を区別でき、開始時刻と停止時刻の位置が分かるように制御信号が表示される。

測定値は、ロットと真空処理に加え、そのファイル名称１５１で、測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)を特定できるようにされており、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った各測定値のファイル名称１５１(名称１〜６)を縦一列に表示する名称表示列１１１が設けられている。
また、測定値特定欄１１０には、読み込みを行った測定値のうち、グラフ表示をする測定値を指示するための表示指示列１１４が設けられている。

表示するＸ−Ｙ座標は、Ｙ軸を左側と右側の二本有しており、測定値を左側のＹ軸の目盛か、右側のＹ軸の目盛のいずれかに対応させてグラフ表示することができ、測定値特定欄１１０には、Ｙ軸を選択するためのＹ軸指示列１１５が設けられており、また、後述するメジャー線の表示を指示をするメジャー指示列１１３とが設けられている。

表示指示列１１４に縦一列に表示されるチェックボックス１５４にチェックすると、チェックを付された測定値がグラフ表示領域１３０にグラフ表示され、Ｙ軸指示列１１５にそれぞれ縦一列に表示された左側のＹ軸のチェックボックス１５６と、右側のＹ軸のチェックボックス１５５のいずれか一方にチェックを付すことで、測定値を対応させるＹ軸が左か右かを選択され、メジャー指示列１１３に縦一列に配置されるチェックボックス１５３に一本用のマーク又は二本用のマークを付すことで、所望のメジャー線が表示される。

また、測定値特定欄１１０には、グラフ線の色を指示するための色指示列１１２が設けられており、色指示列１１２に縦一列に表示される色サンプル１５２の色を変更することで、表示されるグラフ線の色を変更することができる。
各列１１１〜１１４のチェックボックス等の表示内容は、表示内容と測定値の名称１５１との対応が見やすいように、表示内容と名称１５１は同一高さに表示されている。

制御信号特定欄１２０についても、Ｙ軸指示列１１５以外は、測定値特定欄１１０と同様にされており、名称表示列１２１と、色指示列１２２と、メジャー指示列１２３と、表示指示列１２４とが設けられている。
メジャー指示列１２３で指示されたメジャー線と制御信号のグラフ線(折線)との交点は、交点の制御信号が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態を、ハイを示す数値かローを示す数値を制御信号の信号値として画面１００に表示する。交点が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態は、記号や図形など、他の方法で示しても良い。

図中、符号１６１はロットや真空処理が特定できる制御信号の名称(名称１１〜１６)を示し、符号１６２は色サンプル、符号１６３、１６４は、チェックボックスを示している。
測定値特定欄１１０と制御信号特定欄１２０のチェックボックス１５３〜１５６、１６３、１６４を使用し、チェックを記載して読み込んだ測定値のうちの表示する測定値を選択する。

ここでは、多量の測定値からなる一連の測定値が一ファイル読み込まれており、それが選択され、図３に示すように、グラフ表示領域１３０には読み込んだ測定値から生成された第一次グラフ線１３２が表示されている。この第一次グラフ線１３２は、Ｘ−Ｙ座標１３１と一緒に表示されている。
タイミングチャート表示領域１４０には、読み込んだ測定値に対応した制御信号から折線１４２が作製され、時間軸１４１と一緒に表示されている。時間軸１４１は、画面１００上でＸ−Ｙ座標１３１のＸ軸の真下に位置し、Ｘ軸と平行である。

測定値に対応した測定時刻と、制御信号の動作開始と停止開始とにそれぞれ対応した開始時刻と停止時刻は、一日を２４時間とし、午前零時を始点とした時刻であり、西暦及び月日付も付随して、同一時刻でも西暦、月、又は日付のうちの一つが異なれば、異なる時刻になるようにされている。
異なる時刻である基準時刻が真空処理毎に設定されており、本例でも、読み込んだ一種類の測定値に対応された測定時刻を、その測定値が測定された真空処理の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、測定値と対応付けてメモリや記憶装置４３に記憶する。

基準時刻は、測定値が測定された真空処理を行った周辺機器群２４や処理機器群２３を制御した制御信号に含まれる開始時刻や停止時刻などを用いることができる。
ここでは、読み込まれる測定値の真空処理を行った制御信号に含まれる最初の開始時刻を基準時刻として設定しており、動作信号と停止信号の組の設定された個数分、画面１００上に第一次グラフ線１３２と折線１４２とが表示されるようになっている。

この場合、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間は、キーボードから入力され、又は、読み込む測定値の時間などから算出されており、測定値のＸ座標は、基準時刻のＸ軸上の位置と、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間とにより、測定値に対応した各測定値のＸ軸上換算時刻をＸ軸上の位置に換算することで求められている。ここではＸ軸と選択された左側Ｙ軸の交点がＸ−Ｙ座標の原点であり、基準時刻の位置は、原点よりも右側のＸ軸上の所定位置に配置されている。基準時刻は測定値が対応付けられた測定時刻である。

同じ周辺機器３６〜３９又は処理機器３１〜３４が測定して生成する測定値は、一定の時間間隔で測定されており、従って、測定時刻の間隔は、一定時間になっており、真空処理同士の間でも同じ時間にされている。従って、複数のファイルを読み込んで、ファイル毎に異なる基準時刻でＸ軸上換算時刻を生成させると、一個のＸ軸上換算時刻に複数の測定値が対応されることになる。

左右のＹ軸のうち、Ｙ軸指示列１１５によって指定されたＹ軸上の単位長さ当たりの値と、Ｙ軸上の基準点(ここではＸ軸と選択されたＹ軸との交点)の値は、入力され、又は測定値の大きさから求められている。
従って、Ｙ軸とＸ軸の交点の値とＹ軸の単位長さ当たりの時間により、各測定値の選択されたＹ軸上の位置であるＹ座標は、測定値の値から求められている。
このように、読み込んだ測定値のＸ座標とＹ座標が求められ、測定値の座標が示す点を線分で結んで一本のグラフ化する。最小二乗法等の曲線を生成する方法でグラフ化することもできる。

図３に示すように、読み込んだ測定値の表示指示列１１４内のチェックボックス１５４へチェックが付され、読み込んだ測定値が第一次グラフ線１３２として表示されている。
開始時刻と停止時刻は、測定値と同じ基準時刻を基準とし、基準時刻からの時間軸１４１上の時間である時間軸上換算時刻に換算されている。

時間軸１４１の原点は、Ｘ−Ｙ座標１３１の左側のＹ軸の延長線が時間軸１４１と交叉する点であり、時間軸１４１上の基準時刻の位置は、Ｘ軸上の基準時刻を通るＸ軸に対する垂線が時間軸１４１と交叉する点にされている。時間軸の単位長さ当たりの時間は決められており、従って、開始時刻と停止時刻は、その時間軸上換算時刻の値に応じた時間軸１４１上の位置になる。

本例では、時間軸の単位長さ当たりの時間は、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間と同じにされており、従って、Ｘ軸と時間軸１４１とに垂直に交叉する直線は、同じ値のＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻を通るようになっている。
制御信号に含まれる動作信号と停止信号は、時間軸１４１と平行で、高さが異なる横線分で表示されており、開始時刻を換算した時間軸上時刻では、一つの停止信号の終点と次の動作信号の始点との間と、一つの動作信号の終点と、次の停止信号の始点とが、垂直な縦線分で結ばれて形成された折線１４２によって制御信号が表示されている。
縦線分は、開始時刻と停止時刻を換算した時間軸上時刻に位置している。

本例では、図３に示すように、グラフ表示領域１３０とタイミングチャート表示領域１４０には、一本の第一次グラフ線１３２と、その第一次グラフ線１３２に対応した折線１４２がそれぞれ表示されている。
各測定値に対する制御信号中には複数の開始時刻が含まれており、それらの開始時刻のうち、最初の開始時刻が基準時刻とされている。

制御信号の折線１４２には複数の停止時刻も含まれており、動作信号の横線と停止信号の横線の高さは異なるため、各開始時刻と各停止時刻に対応して、第一次グラフ線１３２中に凹凸が見られる。
第一次グラフ線１３２中のこれらの凹凸の一部を選択し、拡大して他の測定値と比較するために、第一次グラフ線１３２の一部を特定し、その部分を構成する測定値を抽出する。重要な部分を抽出すると、抽出した部分の比較によって真空処理の相違を明らかにすることができる。

第一次グラフ線１３２の測定値からの抽出を開始する始点と、抽出を終了させる終点とを、画面に表示されたＸ軸上換算時刻や時間軸上換算時刻で指定することができる。また、第一次グラフ線１３２上やＸ軸上の任意の点をマウスポインタ等で指定して始点や終点にすることもできる。
ここでは、制御信号に対応して記憶された複数の開始時刻と停止時刻のうち、基準時刻から並べたときの基準時刻の順番を指定して始点とし、始点からの経過時間によって終点を指定するようになっている。

図３では、制御信号中の開始時刻を示す縦棒が立上り１４８、停止時刻を示す縦棒が立下り１４９として表示されている。
第一次グラフ線１３２から、第一次グラフ線１３２の一部である凸状部分１３３を抽出するために、５個目の立上り１４８が始点として指定され、始点からの時間として入力した範囲の終点までが抽出される。

抽出された測定値によって形成されるグラフ線を大きく表示させるために、抽出に用いた始点の測定値の測定時刻がＸ軸の所定位置に対応する基準時刻にされ、基準時刻から測定時刻までの時間であるＸ軸上換算時刻が再計算される。
Ｘ軸の単位長さ当たりの時間も再設定され、抽出された測定値に対応する再計算のＸ軸上換算時刻によって、抽出された測定値のＸ軸上の位置であるＸ座標が求められる。

Ｙ軸上の単位長さ当たりの値も再設定され、Ｙ軸のＸ軸との交点位置の値も再設定されるから、抽出された測定値のＸ軸、Ｙ軸上の位置は再計算され、画面１００上には、図４に示すように、拡大されたグラフ線(第二次グラフ線１３４)が表示される。
時間軸１４１の基準時刻も始点となった測定値の測定時刻にされ、時間軸１４１の単位長さ当たりの時間はＸ軸と同じ単位長さ当たりの時間に変更されている。

従って、始点と終点の間に位置する開始時刻と停止時刻の時間軸上時刻は、再計算され、開始時刻と停止時刻の時間軸上の位置が求められ、一部が拡大された折線１４４が表示される。
異なる真空処理毎に測定値の一部を抽出し、抽出された測定値を真空処理間で比較する場合は、複数の真空処理毎に多量の測定値を読み込み、各真空処理間には同じ基準で始点と終点を設定し、複数の真空処理毎に測定値の一部を抽出し、図５に示すように、複数(ここでは二個)の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂが同一のＸ−Ｙ座標１３１上に表示される。

図５では、時間軸１４１上では、抽出された測定値に対応する部分の制御信号によって、複数の折線１４４ａ、１４４ｂが表示されている。
ここでは表示された折線１４４ａ、１４４ｂは、表示された第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂに対応しており、複数の折線１４４ａ、１４４ｂの制御信号のうち、一の制御信号では、動作信号の立上りである開始時刻を基準時刻にして測定値を抽出しているが、他の制御信号では、制御信号に含まれるノイズ１４７の立上りが基準時刻とされて測定値が抽出されてしまっている。従って、それらの制御信号に対応する第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂは画面１００上で重なり合っていない。

先ず、メジャー線と補助メジャー線の移動を説明すると、このプログラムでは、グラフ表示領域１３０には、Ｘ軸と垂直な複数(本例では二本)のメジャー線を表示させることができ、また、タイミングチャート表示領域１４０にも、時間軸１４１に垂直な複数(本例では二本)の補助メジャー線を表示させることができる。
メジャー線と補助メジャー線をそれぞれ表示させる場合は、メジャー指示列１１３、１２３のチェックボックス１５３、１６３にマークを付ける。

本例では、メジャー線と補助メジャー線は、一本ずつ又は二本ずつ表示されるように構成されており、本例では、図６に示すように、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのピーク位置をそれぞれ通るように、第一、第二のメジャー線１０１、１０２が表示されている。
また、本例では、タイミングチャート表示領域１４０には、第一、第二のメジャー線１０１、１０２が位置するＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上に、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４がそれぞれ時間軸と垂直に表示されるようになっている。

第一、第二のメジャー線１０１、１０２と第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４は、いずれも時刻や移動時間を入力することや、マウスやカーソルで動かすことで移動させることができる。
第一、第二のメジャー線１０１、１０２を移動させる場合、移動先のＸ軸上換算時刻は測定値と対応される時刻である必要があり、移動のために入力されたＸ軸上換算時刻や、マウスで指示された移動先のＸ軸上換算時刻に、グラフ線が表示されている測定値中に対応された測定値が無い場合は、グラフ線が表示された測定値中で、移動先とされたＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値と対応付けられているＸ軸上換算時刻が移動先となり、第一、第二のメジャー線１０１、１０２は、その時刻に移動される。

第一、第２の補助メジャー線１０３、１０４は、第一、第二のメジャー線１０１、１０２が移動されたＸ軸上換算時刻と同じ時刻である時間軸上換算時刻にそれぞれ移動される。
逆に、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４を移動させることにより、移動された第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に第一、第二ののメジャー線１０１、１０２をそれぞれ移動させることができる。

第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４の移動によって第一、第二のメジャー線１０１、１０２が移動されるとき、第一、第二のメジャー線１０１、１０２の移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていた場合は、第一、第二のメジャー線１０１、１０２がそのＸ軸上換算時刻に移動され、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４は、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に移動されるが、移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていなかった場合は、グラフ線が表示されている測定値の中で、移動先とされたＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値が対応付けられているＸ軸上換算時刻が移動先にされ、そのＸ軸上換算時刻と、それと同時刻の時間軸上換算時刻に、第一又は第二のメジャー線１０１、１０２と第一又は第二の補助メジャー線１０３、１０４とがそれぞれ移動される。

第一、第二のメジャー線１０１、１０２が位置するＸ軸上換算時刻を第一、第二の時刻とし、表示されている第二次グラフ線の測定値中で、第一、第二の時刻に対応付けられている測定値を第一、第二の測定値と呼ぶとすると、第一、第二の時刻は、その位置が分かるように時刻を示す数値と、第一、第二の時刻間の差である時間差とが画面１００に表示されている。

また、第一、第二の測定値は、第一、第二のメジャー線１０１、１０２と第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂとの交点を区別する記号Ｐ１〜Ｐ４と共に画面１００に表示されており、異なる第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂ間の第一の測定値同士の差と、第二の測定値同士の差も表示されており、更に、同一の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの測定値の中での、第一の測定値と第二の測定値との差も画面１００に表示される。

次に、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動について説明すると、本発明では、表示された複数の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのうち、一以上の所望個数の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂを選択して移動できるように構成されており、所望の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂをマウスやキーボードからの入力などによって選択すると共に、移動時間をキーボードから入力したり、又は、移動先のＸ軸上換算時刻の入力、マウスのポインタによる指示等の手段によって、選択した所望の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂをＸ軸と平行に移動させることができる。

上述したように、測定値の測定時間は等間隔であり、従って、測定値に対応するＸ軸上換算時刻も等間隔になっている。一つの第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂ中の一個の測定値に対応されたＸ軸上換算時刻には、他の第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂ中の測定値も対応されており、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動量は、隣接するＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間として、単位時間の整数倍にされている。

第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動量として指定された移動時間や、移動先として指定されたＸ軸上換算時刻から求められた移動時間は、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍の移動時間に変換され、各測定点のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて変更され、その測定値の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂも移動後のＸ軸上換算時刻に基づいて書き換えられる。

このとき、選択された第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂに関連する制御信号、例えば、選択された第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの真空処理を行った制御信号は、開始時刻と停止時刻の時間軸上変換時刻がＸ軸上換算時刻を変更する移動時間と同時間変更され、折線１４４ａ、１４４ｂも、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動時間と同時間、同方向に時間軸１４１と平行に移動される。

タイミングチャート表示領域１４０に表示された折線１４４ａ、１４４ｂの所望のものを選択し、キーボードでの入力、移動先のＸ軸上換算時刻の指定、マウスのポインタの移動と共に移動、カーソルでの移動等、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂを移動させるときと同じ手段によって移動させ、移動させる制御信号に関連した測定値の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂ、例えば、選択した折線１４４ａ、１４４ｂの制御信号が制御した真空処理の際に測定された測定値の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂを一緒に移動させてもよい。

この場合も、隣接する測定値のＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間とすると、移動量は単位時間の整数倍であり、入力された時間や、移動先の時間軸上換算時刻は、上記と同様に、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍である移動時間に変換され、移動される制御信号の時間軸上変換時刻や、移動される測定値のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて計算され、表示される。

図６では第一、第二のメジャー線１０１、１０２が第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのピーク位置にそれぞれ配置されている。
従って、重なり合っていない二個の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのピークの時間差は、第一、第二のメジャー線１０１、１０２の間の時間差として画面１００に表示されており、移動させた後の画面１００に表示される時間差がゼロになるようにすればピークが同じＸ軸上換算時刻に配置されることになるから、一方の第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂを選択し、重なり合うように符号を付して表示された時間差を入力することができる。

また、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４を、時間軸１４１上の開始時刻の位置に配置し、折線１４４ａ、１４４ｂの開始時刻の時間差を画面１００上に表示させると、第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂを移動させて開始時刻が同じ時間軸上換算時刻に位置するようにすることができる。

図７は、移動して第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂを重ね合わせた状態の画面１００である。
移動された第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂの測定値に対応するＸ軸上換算時刻は、移動した時間の分修正される。
第一又は第二のメジャー線１０１、１０２や第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂが移動した後は、画面１００には移動後の第一、第二の時刻や第一、第二の測定値、それらの差が表示される。

なお、第一、第二の測定値は、測定時刻が修正後のＸ軸上換算時刻に等しい測定値になる。従って、指定された第一次グラフ線１３２の第一の測定値の差は、移動しなかった第一次グラフ線１３２の第一の測定値と、移動後の第一次グラフ線１３２の第一の測定値の差となる。

１……真空処理装置
１１……真空槽
１５……処理対象物
２０……真空処理部
２１……制御部
２３……処理機器群
２４……周辺機器群
３１〜３４……処理機器
３６〜３９……周辺機器
４０……コンピュータ
４２……演算装置
４３……記憶装置
４４……表示装置
１３１……Ｘ−Ｙ座標
１３２……第一次グラフ線
１３４、１３４ａ、１３４ｂ……第二次グラフ線
１４１……時間軸
１４４ａ、１４４ｂ……折線

Claims (8)

1. 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
   前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
   前記測定値を演算する演算装置と、
   前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置であって、
   前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
   前記データ分析プログラムは、
   前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
   Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
   表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、
   前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、
   前記抽出始点時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ−Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するように構成され、
   前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、
   前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
   前記データ分析プログラムは、
   前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
   前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
   前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
   前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
   所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定できるようにし、
   前記タイミングチャートの、前記抽出始点時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成する真空処理装置。
2. 前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、
   一つの前記第一次グラフ線の前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示する請求項１記載の真空処理装置。
3. 前記データ分析プログラムは、
   表示した前記第二次グラフ線のうち、選択された前記第二次グラフ線を、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させる請求項２記載の真空処理装置。
4. 前記データ分析プログラムは、
   移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量を換算した時間修正する請求項３記載の真空処理装置。
5. 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
   前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
   前記測定値を演算する演算装置と、
   前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ線表示方法であって、
   前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
   Ｘ−Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、前記測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ−Ｙ座標と共に前記表示装置に表示し、
   表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、
   前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、
   前記抽出始点時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ−Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するグラフ線表示方法において、
   前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が制御装置から出力され、
   前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
   前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
   前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
   前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
   前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
   所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定でき、
   前記タイミングチャートの、前記抽出始点時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成するグラフ線表示方法。
   
6. 前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、
   一つの前記第一次グラフ線の前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示する請求項５記載のグラフ線表示方法。
7. 表示した前記第二次グラフ線のうち所望のものを選択させ、選択された前記第二次グラフ線は、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させる請求項６記載のグラフ線表示方法。
8. 移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量修正する請求項７記載のグラフ線表示方法。

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