WO2011048961A1 - 真空処理装置、グラフ表示方法 - Google Patents

真空処理装置、グラフ表示方法 Download PDF

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克己 山根
治郎 猿渡
勉 平木
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株式会社アルバック
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Definitions

  • a vacuum processing unit for vacuum processing a processing object disposed in a vacuum chamber, and a plurality of measurement values output by the vacuum processing unit along with measurement times
  • a vacuum processing apparatus comprising: a storage device for storing in association with the vacuum processing; an arithmetic device for computing the measurement value; and a display device for displaying the computation result of the arithmetic device, the storage device comprising: A data analysis program is stored, and the data analysis program is configured to measure the selected measurement value when a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device.
  • a time axis conversion time which is a time from the reference time, is determined, and on the display device, a time axis is displayed parallel to the X axis at a position separated from the X axis, and a straight line parallel to the Y axis
  • the times at which the operation start time and the operation stop time are determined such that the X axis conversion time and the time axis conversion time become the same time, respectively indicated by the intersection points where the X axis crosses the time axis
  • the position on the axis is determined, and the control signal is displayed on the display device with a timing chart having a horizontal segment having different heights indicating the operation signal and the stop signal on the time axis, and the desired control signal is displayed.
  • the measurement value whose time is after the extraction start time is extracted, and a second-order graph line is displayed on the XY coordinates from the measurement value and the measurement time extracted using the start time as the reference time.
  • Graph display method Further, in the first invention of the present invention, the data analysis program generates a plurality of primary graph lines from the measurement values and displays them on the display device, and one of the measurement values of one primary graph is displayed. Taking one of the extraction start times of the first graph line, obtaining the extraction start time of the other first graph line, and generating the second graph line from the displayed first graph line It is a graph display method displayed on the display device.
  • the data analysis program when a measurement value for displaying a graph line is selected from the plurality of measurement values stored in the storage device, the measurement time of the selected measurement value is set to a predetermined reference time. From Converting the X-axis conversion time to the X-axis conversion time, and determining the position on the X-axis of the measurement value from the X-axis conversion time using the predetermined position on the X-axis of the XY coordinates as the position of the reference time; The position on the Y-axis is obtained from the magnitude of the measurement value, and a graph line is generated from the position on the X-axis and the position on the Y-axis of the plurality of measurement values at successive measurement times.
  • the measurement time of the selected measurement value is converted into an X-axis conversion time that is a time from a predetermined reference time, and on the display device,
  • the time axis is displayed parallel to the X axis at a spaced position, a predetermined position on the time axis is the reference time, and a point at which a straight line parallel to the Y axis intersects the X axis and the time axis
  • Each shows The position on the time axis of the operation start time and the operation stop time is determined such that the X axis conversion time and the time conversion time become the same time, and the time axis is displayed on the display device.
  • control signal is displayed in a timing chart having horizontal line segments having different heights indicating the operation signal and the stop signal, and the timing chart belonging to the same lot as the selected graph line is selected. It is a vacuum processing apparatus which moves the same distance in the same direction parallel to the time axis together with the graph line.
  • a vacuum processing unit for vacuum processing the processing object disposed in the vacuum chamber, and a plurality of measurement values output from the vacuum processing unit correspond to the vacuum processing together with the measurement time.
  • the X axis conversion time is recalculated from the position of the X axis of the measurement value of the moved graph line, and the plurality of graph lines displayed on the display device are recalculated.
  • the graph lines of the first selection group are selected.
  • the X-axis conversion time closest to the second time among the X-axis conversion times of the graph lines of the second selection group corresponds to the X-axis conversion time closest to the second time
  • the second measurement value which is the measured value
  • the display device displays the first and second main major lines parallel to the Y axis, and the graph lines of the first selection group and the first main major lines are displayed.
  • the timing chart is configured to be able to move along the time axis in the direction in which the time axis extends together and in the same direction in the same direction, and the graph line belonging to the same lot as the selected timing chart is selected. It is a graph display method of moving the same distance in the same direction together with the timing chart.
  • the X axis conversion time is recalculated from the position of the X axis of the measurement value of the moved graph line, and the plurality of graph lines displayed on the display device are recalculated.
  • the measurement time of the selected measurement value is converted to an X-axis conversion time that is a time from a predetermined reference time, and the predetermined position on the X-axis of the XY coordinates is the reference
  • the position of the measurement value on the X axis is determined from the X axis conversion time as the time position, the position on the Y axis is determined from the magnitude of the measurement value, and the plurality of the measurement times are continuous.
  • the second processing method is a vacuum processing apparatus configured to display both the value of the difference from the second measurement value and the second measurement value on the display device.
  • two or more of the plurality of displayed graphs can be selected, and the first and second measurements can be taken from the measured values included in the selected graph. It is a vacuum processing device whose value is specified.
  • the value of the difference between the second measurement values between different graphs is also displayed on the display device.
  • a vacuum processing unit for vacuum processing a processing object disposed in a vacuum chamber, and a plurality of measured values output from the vacuum processing unit correspond to the vacuum processing together with measurement times.
  • a display device for displaying the calculation result of the arithmetic device, wherein a predetermined number of substrates subjected to the vacuum processing are regarded as one lot, and The measured values when a predetermined number of the processing objects are continuously subjected to the same vacuum processing are regarded as one lot, the measured values of a plurality of lots are stored in the storage device, and the apparatus performing the vacuum processing is operated.
  • a sequencer 41 and a computer 40 are disposed in the control unit 21, and measurement values and measurement times input from the processing device groups 23 and 24 are input to the computer 40 via the sequencer 41.
  • the computer 40 includes an arithmetic unit 42, a storage unit 43, a display unit 44, and an input unit 46.
  • the measured values and measurement times input to the computer 40 are stored in the storage unit 43.
  • the input device 46 is, for example, a keyboard.
  • the fifth rising edge 148 is designated as the extraction start point, and the extraction is the measurement time of the extraction start point Measurement points after the start time are extracted.
  • the elapsed time is input to the computer 40 by the input device 46, and the time when the elapsed time input from the extraction start time passes is taken as the extraction end time, corresponding to the range between the extraction start time and the extraction end time A measurement value including the attached measurement time is extracted.
  • a plurality of timing charts 144a and 144b formed of broken lines are displayed by control signals of portions corresponding to the extracted measurement values.
  • the displayed timing charts 144a and 144b correspond to the displayed second-order graph lines 134a and 134b
  • one of the control signals of the plurality of timing charts 144a and 144b is the stop signal.
  • the measurement value is extracted using the start time that is the rising edge of the control signal that changes from the signal to the operation signal as the reference time, but with other control signals, the rising edge of the noise 147 included in the control signal is used as the reference time
  • the value has been extracted. Therefore, the second-order graph lines 134 a and 134 b corresponding to those control signals do not overlap on the screen 100.
  • the X-axis conversion time input for movement or the X-axis conversion time for the movement destination specified by the mouse is not the time that can be handled among the measured values displayed on the graph, graph display Among the measured values, the X-axis conversion time closest to the X-axis conversion time designated as the movement destination and having the corresponding measurement value is the movement destination, and the first and second major measure lines 101 , 102, when moved at that time, the first and second major measure lines 101, 102 will pass through the measured values.
  • the present invention includes the contents of the second invention described below, in addition to the contents described in the first invention.
  • reference numeral 200 in FIG. 8 indicates the screen of the display device 44 connected to the computer 40. It may be a screen of a display device of another computer which communicates with the computer 40 by means such as a LAN.
  • the display according to the operation of the second invention is performed on this screen 200, and in the same manner as the screen 100 of the first invention, in order to specify a measured value for displaying a graph and a control signal corresponding to the measured value.
  • a measurement value identification column 210 and a signal identification column 220 are provided.
  • reference numeral 261 indicates the names ("name 11" to "name 16") of control signals that can specify a lot and vacuum processing
  • reference 262 indicates a color sample
  • reference 263 and 264 indicate check boxes.
  • the X-axis conversion time at which the first main measure line 201 is located is equal to the time conversion time at which the first auxiliary measure line 203 is located, and the second main measure line 202 is The X-axis conversion time located is also equal to the time-axis conversion time at which the second auxiliary measure line 204 is located.
  • the first measurement value is one of the first selected group that intersects the main major line.
  • the second measurement value is a measurement value corresponding to the X-axis conversion time closest to the X-axis conversion time at the intersection point of each graph line, and the second measurement value is a second selection group that intersects the main measure line.
  • the measurement values correspond to the X-axis conversion time closest to the X-axis conversion time at the intersection point of each graph line, and the first and second measurement values are set for each graph line.
  • the first and second measured values may be input by the input device 46.
  • the name display column 311 is provided in the measurement value specification column 310, and the file name 351 of the measurement values for graph display (name 1) It is designed to display ⁇ 5) in a single vertical row.
  • a display instruction sequence 314 for instructing a measured value for displaying a graph is provided in the measured value specifying column 310. Similar to the screens 100 and 200 described above, the XY coordinates to be displayed have two Y axes on the left and right sides, and the measured value is either on the left Y axis scale or on the right Y axis scale.
  • the intersection point between the value per unit time on the Y axis designated by the Y axis designation string 315 and the Y axis designated by the X axis is The value of X (which is the origin of the XY coordinates 331) is input or determined from the magnitude of the measurement value.
  • the measured value indicated by the check in the check box 354 of the display instruction column 314 is displayed as the graph line 332, and the control signal is displayed as the timing chart 334.
  • the start time and the stop time are positions on the time axis 341 according to the value of the time conversion time on the time axis.
  • FIG. 15 shows that state, and in the measured value specifying column 310 and the signal specifying column 320, two check boxes 353 and 363 are marked for one.
  • the first main measure line 301 is displayed at a predetermined position of the graph display area 330.
  • the first auxiliary measure line 303 is displayed at the time-axis conversion time that is the same as the X-axis conversion time at which the first main measure line 301 is located.
  • the first main measure line 301 and the first auxiliary measure line 303 are displayed at the positions of the X-axis conversion time and the time-axis conversion time separated by a predetermined distance from the position of the reference time. It is supposed to be
  • the measured value associated with the X-axis conversion time after movement is displayed in the graph display area 330 together with the symbols “P1” and “P2” for distinguishing the intersection points.
  • the graph line of the selected file name is taken as a first selection group.
  • the measurement value corresponding to the X-axis conversion time of the first main measurement line 301 differs for each graph line, and the first main measurement line 301 in different graph lines is different.
  • the difference between measured values corresponding to the X-axis conversion time of is calculated, and is displayed on the screen 300 along with the difference between the values of which graph 332 is the difference (“calculated value 1”).
  • the first auxiliary measure line 303 When moving the first main measure line 301, the first auxiliary measure line 303 is moved to the time axis conversion time at the same time as the X axis conversion time of the moved first main measure line 301, and reversely When the first auxiliary measure line 303 is moved, the first main measure line 301 is moved to the X axis conversion time at the same time as the time axis conversion time of the moved first auxiliary measure line 303. Ru.
  • the first main measurement line 301 is moved to the X-axis conversion time, and the first The auxiliary measure line 303 is moved to the time axis conversion time that is the same time as the X axis conversion time, and the measured value displayed and the difference between the displayed measured values use the measured value after movement. It will be changed to what it was.
  • the measurement value does not correspond to the X-axis conversion time of the movement destination, the measurement value closest to the X-axis conversion time on the movement destination among the measurement values selected by the mark of the measure indication column 313
  • the X-axis conversion time associated with is selected, and at the X-axis conversion time and the time-axis conversion time at the same time, the first main measure line 301 and the first auxiliary measure line 303 are selected. Are respectively moved and displayed on the basis of the measurement value after movement and the signal state of the intersection point after movement.
  • the check boxes 353 and 363 of the major indication strings 313 and 323 are configured to be able to add a mark for one at first, in a state where no mark is added, and then one for one. When a mark is attached, it can be rewritten to a mark for two. It is displayed in the color of the mark of FIG. 15, FIG. When marked for two, in addition to the first main measure line 301 and the first auxiliary measure line 303, as shown in FIG. 16, the second main measure line 302 and the second auxiliary measure The lines 304 are displayed at predetermined positions on the XY coordinates 331 and on the time axis 341, respectively.
  • the second main measure line 302 corresponds to the measurement value.
  • X can be located at the X-axis conversion time, and when the measurement value does not correspond to the X-axis conversion time of the movement destination, X corresponding to the measurement value in the same procedure as the first main measure line 301
  • the second auxiliary major line 304 is moved to the on-axis conversion time, and is moved to the time axis time that is the same as the X-axis conversion time.
  • the positions of the second main measure line 302 and the second auxiliary measure line 304 can be changed as in the case of the first main measure line 301 and the first auxiliary measure line 303, and movement can be performed by time input as well. It may be moved by a mouse or a cursor.
  • an average value of the first measurement values or an average value of the second measurement values is determined, and a difference between the average values, Alternatively, the difference between the average value and the first or second measured value may be determined.
  • the value of each difference may include a plus or minus sign or may be indicated by an absolute value.
  • the difference in the state of vacuum processing in which each graph 332 is drawn can be understood, and the vacuum processing is performed.
  • the comparison of the measurement results of the characteristics of the substrate 15 and the comparison of the vacuum processing make it possible to understand the change in the state of the apparatus and the like.
  • the differences between the first and second times are determined for each of the plurality of vacuum processes and compared. Then, the processing contents of the processing devices 31 to 38 related to the measured value to be compared can be compared.

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Abstract

　測定値の一部を抽出し、グラフ化して抽出した測定値同士を簡単に比較できるようにする。多量の測定値を読み込んで画面１００上に一次グラフ１３２として表示させ、始点を指示して比較対象となる測定値を抽出し、抽出した測定値を二次グラフ１３４ａ、１３４ｂで表示する。二次グラフ１３４ａ、１３４ｂが重ね合わされていないときは、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２によってグラフ線１３４ａ、１３４ｂのずれ量を測定し、ずれている二次グラフ１３４ａ、１３４ｂの一方を移動させて重ね合わせることができる。

Description

真空処理装置、グラフ表示方法
　本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産技術に関する。
　真空処理技術は、スパッタリング方法、ＣＶＤ方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、広い分野で用いられている。
　真空処理技術によって同一品種の製品を量産する場合、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うが、品質にバラツキが発生する。
　品質のバラツキが生じた原因を確認する場合や、バラツキが不良品を発生させないように製造工程を管理する場合には、動作中の真空処理装置の状態を測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われている。
　特に、真空処理装置内の機器の動作電流量、温度、圧力等の物理量の差違をロット間や真空処理装置間で定量的に確認しようとする場合は、製造工程中に種々の物理量を測定し、測定値を記憶しておき、検査装置によって測定値をグラフ化し、その形の比較を行っている。
　しかしながら、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、大量の測定値をグラフ化して比較することが困難になっている。
＜第一発明＞
　特に、測定値の重要な部分をグラフ化して比較することは重要であるが、多量の測定データから見たい部分を抽出する作業は繁雑であり、抽出データ同士を比較することも困難である。
＜第二発明＞
　また、視認によって装置データを比較できることは最近重要になっているが、複数の真空処理に対する測定値をグラフ化したとき、複数のグラフを重ね合わせて比較できると視認性が向上するが、測定時刻や測定値を操作して重ね合わせるのは非常に手間がかかっている。
＜第三発明＞
　更に又、従来より、真空処理装置内の機器の動作電流量、温度、圧力等の差違をロット間や真空処理装置間で定量的に確認しようとする場合、製造工程中に測定して測定値を記憶しておき、検査装置によって測定値をグラフ化し、その形の比較を行っていたが、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、大量の測定値をグラフ化して比較することが困難になっている。
特開２００９－８０８４４号公報
　本発明は上記従来技術の問題点を解決する技術を提供することを課題としており、本発明のうち、第一発明は、多種多量の測定値から見たい部分を簡単、正確に抽出し、抽出した測定値毎にグラフ化して比較することができる技術を提供することを目的とする。
　また、本発明のうちの第二発明によれば、多種多量の測定値を簡単、正確に重ね合わせて比較する技術を提供することを目的とする。
　また、本発明のうちの第三発明によれば、多種多量の測定値を簡単、正確に比較することが可能となる。
　以上のように、本発明は、真空処理の分析を簡単に正確に行うことができる技術を提供することにある。
　上記課題を解決するため、本発明の第一発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、前記始点開始時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ－Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第一発明では、前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、一つの前記一次グラフの前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示する真空処理装置である。
　また、本発明の第一発明では、前記データ分析プログラムは、表示した前記第二次グラフ線のうち、選択された前記第二次グラフ線は、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させる真空処理装置である。
　また、本発明の第一発明では、前記データ分析プログラムは、移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量修正する真空処理装置である。
　また、本発明の第一発明では、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定できるようにする真空処理装置である。
　また、本発明の第一発明では、前記データ分析プログラムは、前記タイミングチャートの、前記始点抽出時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成する真空処理装置である。
　また、本発明の第一発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、前記始点開始時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ－Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第一発明では、前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、一つの前記一次グラフの前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第一発明では、表示した前記第二次グラフ線のうち所望のものを選択させ、選択された前記第二次グラフ線は、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させるグラフ表示方法である。
　また、本発明の第一発明では、移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量修正するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第一発明では、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶されたグラフ表示方法であって、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定できるグラフ表示方法である。
　また、本発明の第一発明では、前記タイミングチャートの、前記始点抽出時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第二発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、表示した前記グラフ線のうち、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ－Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第二発明では、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記時間軸上の所定位置が前記基準時刻とし、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させる真空処理装置である。
　また、本発明の第二発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動されるように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第二発明では、移動された前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択され、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、前記第一の測定値同士の差を表示するように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第二発明では、前記表示装置に表示され、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線が選択され、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させるように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第二発明では、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第二発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、所定枚数の前記処理対象物を連続して前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、表示した前記グラフ線のうち、所望のグラフ線を選択できるようにし、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ－Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるようにされたグラフ表示方法である。
　また、本発明の第二発明では、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶されており、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記時間軸上の所定位置が前記基準時刻とし、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させるグラフ表示方法である。
　また、本発明の第二発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動させるグラフ表示方法である。
　また、本発明の第二発明では、移動させた前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、前記第一の測定値同士の差を表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第二発明では、前記表示装置に表示した、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線を選択させ、前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させるグラフ表示方法である。
　また、本発明の第二発明では、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置であって、前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線が第一選択群として選択され、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線が表示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の第一の時刻とし、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示する真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、前記第一選択群の前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値が第二の測定値として特定され、一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示するように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択でき、選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値が特定される真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示される真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示される真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示される真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線が表示されると、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示するように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、前記Ｘ－Ｙ座標上には表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線が表示されるように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線がそれぞれ表示され、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成された真空処理装置である。
　また、本発明の第三発明では、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記測定値を演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値を選択させ、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線が表示し、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の第一の時刻とし、前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻を指示させ、前記第一選択群の前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値を第二の測定値として特定し、一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択でき、選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値を特定させるグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線を表示すると、前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、前記データ分析プログラムは、前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、前記Ｘ－Ｙ座標上には、表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線を表示するグラフ表示方法である。
　また、本発明の第三発明では、前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線をそれぞれ表示させ、前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成されたグラフ表示方法である。
＜第一発明＞
　本発明のうち、第一発明は、真空処理を行った測定値の所望の部分を抽出してグラフ化できるので、真空処理間の比較分析を容易に行うことができる。
　制御信号や動作状態信号に基づいて抽出することができるので、比較するグラフデータの作業の時刻を一致させやすい。
　また、第一発明は、画面上で見ながら抽出できるので制御信号や動作状態信号中のノイズを見ることができ、ノイズによる誤った抽出を防止することができる。
　また、第一発明は、抽出した測定値によるグラフの所望のものを移動できるので、ピーク位置などを同じＸ座標に位置させて正確にグラフを重ね合わせて分析することができる。
＜第二発明＞
　第二発明は、測定値のグラフを簡単に重ね合わせて比較することができるので、真空処理の分析を容易に行うことができる。
　制御信号や動作状態信号の折線を一致させることで真空処理の測定値のグラフを重ね合わせることができるので、制御信号や動作状態信号に基づいた比較を行うことができる。
　ノイズによって乱れたグラフ始点を一致させることができるので、比較が正確になる。グラフの移動を制御信号や動作状態信号の折線やグラフの形状を見ながらできるので、修正が簡単である。
＜第三発明＞
　第三発明では、真空処理同士の処理内容を簡単に比較することができるので、真空処理の分析を行うことができる。
　また、ロット間の真空処理を比較できるので、真空処理を行った処理対象物の特性を、真空処理毎に検討をすることができる。
本発明のうちの第一発明の真空処理装置を説明するためのブロック図 第一発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(１) 第一発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(２) 第一発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(３) 第一発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(４) 第一発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(５) 第一発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(６) 第二発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(１) 第二発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(２) 第二発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(３) 第二発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(４) 第二発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(５) 第三発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(１) 第三発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(２) 第三発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(３) 第三発明の真空処理の分析方法を説明するための表示装置の画面(４)
１……真空処理装置
１１……真空槽
１５……処理対象物
２０……真空処理部
２１……制御部
２３、２４……処理機器群
３１～３８……処理機器
４０……コンピュータ
４２……演算装置
４３……記憶装置
４４……表示装置
４６……入力装置
１３１……Ｘ－Ｙ座標
１３２……第一次グラフ線
１３４、１３４ａ、１３４ｂ……第二次グラフ線
１４１……時間軸
１４４ａ、１４４ｂ……タイミングチャート
２０１……第一の主メジャー線
２０２……第二の主メジャー線
２０３……第一の補助メジャー線
２０４……第二の補助メジャー線
２３１……Ｘ－Ｙ座標
２４１……時間軸
３０１……第一の主メジャー線
３０２……第二の主メジャー線
３０３……第三の主メジャー線
３０４……第四の主メジャー線
３３１……Ｘ－Ｙ座標
３３２……グラフ
３３４……タイミングチャート
３４１……時間軸
　図１の符号１は、本発明うちの第一発明の真空処理装置の一例であり、真空処理部２０と制御部２１とを有している。
　真空処理部２０は、真空槽１１と、真空槽１１の内部に配置された処理対象物の真空処理をそれぞれ行う真空槽１１の内部に配置された処理機器群２３と、外部に配置された処理機器群２４とを有している。ここでは処理対象物は基板である。
　処理機器群２３、２４は、処理対象物である基板の真空処理を行う装置であり、真空槽１１内部の処理機器群２３は、真空槽１１の底面に配置された蒸着源である処理機器３４と、蒸着源である処理機器３４に電子線を照射するＥＢガンである処理機器３３と、蒸着源である処理機器３４の上方に配置された保持装置である処理機器３１と、保持装置の処理機器３１の内部に配置されたヒータである処理機器３２とが含まれる。
　また、真空槽１１外部の処理機器群２４には、複数の処理機器を有しており、ここでは蒸着用電源である処理機器３５と、真空排気系である処理機器３６と、ガス導入系である処理機器３７と、ヒータ用電源である処理機器３８とが含まれる。
　制御部２１は真空槽１１の外部に配置されている。
　図１の符号１５は、処理対象物である基板であり、成膜面を蒸着源である処理機器３４に向けて保持装置の処理機器３１に保持されている。
　真空排気系の処理機器３６とガス導入系の処理機器３７は真空槽１１に接続されており、真空排気系の処理機器３６を動作させて真空槽１１の内部を真空排気することができる。また、ガス導入系の処理機器３７を動作させて真空槽１１の内部にガス導入系の処理機器３７から反応性ガス等のガスを導入することができる。
　ヒータ用電源の処理機器３８と蒸着用電源の処理機器３５は、ヒータの処理機器３２とＥＢガンの処理機器３３にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源の処理機器３８と蒸着用電源の処理機器３５からヒータの処理機器３２とＥＢガンの処理機器３３にそれぞれ電力を供給する。
　ヒータの処理機器３２は供給された電力で発熱し、保持装置の処理機器３１を昇温させて真空雰囲気中で基板１５を加熱する。ＥＢガンの処理機器３３は供給された電力で蒸着源の処理機器３４に電子ビームを照射し、蒸着源の処理機器３４内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽１１内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。
　この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板１５に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。
　処理機器群２３、２４には、温度や圧力を検出するセンサや、センサが検出して出力する信号から温度測定や圧力測定などの物理量の測定を行う測定装置も含まれており、また、ヒータ用電源の処理機器３８や蒸着用電源の処理機器３５等の処理機器の内部に配置され、電流や電圧等の物理量を測定する測定装置も含まれている。
　測定した真空槽１１内の圧力、基板１５の温度、ガス導入量、ヒータである処理機器３２へ流れた電流量、ＥＢガンの処理機器３３に供給した電力等の測定値は、測定した時刻である測定時刻とが対応されて、処理機器群２３、２４から制御部２１に出力されている。
　制御部２１には、シーケンサ４１とコンピュータ４０とが配置されており、処理機器群２３、２４から入力された測定値と測定時刻は、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に入力される。
　コンピュータ４０は、演算装置４２と、記憶装置４３と、表示装置４４と、入力装置４６とを有しており、コンピュータ４０に入力された測定値と測定時刻は、記憶装置４３に記憶される。入力装置４６は、一例としてはキーボードである。
　真空処理は、例えば、前処理、薄膜形成、エッチング処理は、それぞれ一回の真空処理であり、一の真空槽１１内では、複数の成膜対象物(基板１５)を一枚又は複数枚ずつ同種類の真空処理を繰り返し連続して行っており、基板１５は、連続して真空処理される所定枚数毎に、同じロットに属するようにされている。
　測定値が記憶されるファイル名称は、測定値が属するロットと、測定値の種類、測定値を得た処理機器と、真空処理の内容が分かるようにされて記憶装置４３に記憶されている。ロットは番号によって区別されている。
　一枚の基板１５の一真空処理の測定値は一定の時間間隔で連続しており、その測定値はファイル名称を付されて記憶されている。ファイル名称には、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示が含まれており、また、一つのロット内でも、異なる真空処理は区別できるように、真空処理番号等の真空処理が区別できる表示も含まれている。従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理に対応付けされている。複数の真空処理の測定値が一ファイル名称によって記憶されていても、そのファイル名称の測定値から、所望の真空処理の測定値を抽出できるようにしてもよい。
　記憶装置４３には、測定値のグラフ化と分析を行うデータ分析プログラムが記憶されており、シーケンサ４１には、真空処理部２０を動作させる手順が記憶されている。
　シーケンサ４１は、処理機器群２３、２４に対して、各項処理機器３１～３８(センサを含む)を制御しながら動作させて真空処理を行わせる制御信号を出力している。この制御信号には、処理機器３１～３８に対して動作の開始を指示する動作信号と、動作の停止を指示する停止信号とが少なくとも含まれている。制御信号は、処理機器群２４に含まれる処理機器２３、２４に含まれる処理機器３１～３８に出力されると共に、コンピュータ４０にも出力されている。
　処理機器３１～３８は、制御信号に応じて動作を開始、又は終了しており、処理機器３１～３８からは、動作中である信号と、動作停止の信号とのいずれかである動作状態信号と、動作の状態を変更した変更時刻とが、シーケンサ４１を介してコンピュータ４０に出力され、記憶装置４３に記憶される。
　動作状態信号中の動作停止から動作中への変更が動作開始であり、動作開始の時刻を示す変更時刻が動作開始時刻であり、動作中から動作停止への変更が動作停止であり、動作停止の時刻を示す変更時刻が動作停止時刻である。
　制御信号も、制御信号によって行われた真空処理のロット番号や真空処理番号等が付されてロットと真空処理に対応付けられ、動作開始を指示する信号の時刻が動作開始時刻となり、動作の停止を指示する時刻が動作停止時刻となって、動作の開始又は停止を指示する制御信号として共に記憶装置４３に記憶される。
　この真空処理装置１では、真空槽１１内で基板１５が処理されると搬出され、未処理の基板が搬入されて真空槽１１内で連続して真空処理が行われるようになっており、そのように、複数ロットの基板の真空処理が行われる。
　記憶装置４３には、複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号と、処理機器３１～３８の動作状態信号と、動作状態信号に対応付けられた変更時刻が記憶されている。変更時刻には、動作開始時刻と動作停止時刻とが含まれる。
　複数の真空処理の測定結果を比較して分析する際には、コンピュータ４０は、測定値をグラフ化するデータ分析プログラムに従って動作する。
　測定値が生成されたロット番号、基板１５の番号、真空処理の種類、測定値の種類は、測定値のファイル名称に記載されており、ファイル名称によって、演算装置４２は、所望の測定値及び測定時刻と、その測定値に関連した動作状態信号及び変更時刻を得ることができる。演算装置４２は、それらを記憶装置４３から、より高速なメモリ等に読み込ませることができる。
　なお、分析して比較する異なる基板の測定値は、同じ処理機器３１～３８又はセンサ装置、測定装置の同じ種類の物理量であり、測定時刻の間隔は、一真空処理中では一定であるようになっている。また、真空処理と真空処理との間でも測定は行われており、その測定時刻の間隔も、真空処理中と同じ一定値であるようにされている。
　制御信号や動作状態信号のロット、基板、真空処理との対応関係や、測定値との関係は、制御信号のファイルの名称や動作状態信号のファイルの名称から分かるものとする。
　次に、本発明のうち、第一発明の実施例を説明する。
＜第一発明の実施例＞
　図２の符号１００は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
　画面１００には、グラフ化する候補の測定値と、その測定値に対応する制御信号又は動作状態信号を特定するために、測定値特定欄１１０と、信号特定欄１２０とが設けられており、測定値の変化と、制御信号又は動作状態信号の変化とを対応して視認できるように、測定値のグラフを表示するグラフ表示領域１３０と、制御信号又は動作状態信号を表示するタイミングチャート表示領域１４０とに区分けされている。
　信号特定欄１２０によって、制御信号が特定されるようになっており、タイミングチャート表示領域１４０では、動作信号と停止信号を区別でき、動作開始時刻と停止時刻の位置が分かるように制御信号が表示される。
　測定値は、例えば基板一枚の一個のセンサによる等時間間隔で連続する複数の測定値が一つのファイル名称を付されて記憶されており、測定値のファイル名称１５１で、ロットと、真空処理の種類と、測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)を特定できるようにされている。測定値特定欄１１０には、グラフの表示の候補とされた各測定値のファイル名称１５１(名称１～６)を縦一列に表示する名称表示列１１１が設けられている。
　また、測定値特定欄１１０には、グラフ表示の候補とした測定値のうち、実際にグラフ表示をする測定値を指示するための表示指示列１１４が設けられている。
　画面１００上にグラフの一部として表示するＸ－Ｙ座標は、Ｙ軸を左側と右側の二本有しており、測定値を左側のＹ軸の目盛か、右側のＹ軸の目盛のいずれかに対応させることができるようになっている。いずれかのＹ軸に対応させるために、測定値特定欄１１０には、Ｙ軸を選択するためのＹ軸指示列１１５が設けられており、また、測定値特定欄１１０には、後述する主メジャー線の表示を指示をするメジャー指示列１１３とが設けられている。
　表示指示列１１４に縦一列に表示されるチェックボックス１５４にチェックすると、チェックを付された測定値がグラフ表示領域１３０に曲線となって表示され、曲線とＸ軸、Ｙ軸とでグラフが表示される。
　このとき、Ｙ軸指示列１１５にそれぞれ縦一列に表示された左側のＹ軸のチェックボックス１５６と、右側のＹ軸のチェックボックス１５５のいずれか一方にチェックを付すことで、測定値を対応させるＹ軸が左か右であるかが選択される。メジャー指示列１１３に縦一列に配置されるチェックボックス１５３に一本用のマーク又は二本用のマークを付すことで、所望の主メジャー線が表示される。
　また、測定値特定欄１１０には、グラフの色を指示するための色指示列１１２が設けられており、色指示列１１２に縦一列に表示される色サンプル１５２の色を変更することで、表示されるグラフの色を変更することができる。
　各列１１１～１１４のチェックボックス等の表示内容は、表示内容と測定値のファイル名称１５１との対応が見やすいように、表示内容とファイル名称１５１は同一高さに表示されている。
　信号特定欄１２０についても、Ｙ軸指示列１１５以外は、測定値特定欄１１０と同様にされており、名称表示列１２１と、色指示列１２２と、メジャー指示列１２３と、表示指示列１２４とが設けられている。
　メジャー指示列１２３で指示された主メジャー線と制御信号のタイミングチャート(折線)との交点の制御信号が、制御信号が指示する処理機器３１～３８の動作中を示す場合にはハイを示す値が画面１００上に表示され、停止中である場合はローを示す数値が表示される。
　ハイ、ローを示す数値ではなく、動作と停止とを区別する図形などの他の表示であっても良い。
　図中、符号１６１はロットや真空処理が特定できる制御信号の名称(名称１１～１６)を示し、符号１６２は色サンプル、符号１６３、１６４は、チェックボックスを示している。
　測定値特定欄１１０と信号特定欄１２０のチェックボックス１５３～１５６、１６３、１６４を使用し、チェックを記載して、表示候補の測定値の中から実際にグラフ化して表示する測定値を選択する。
　記憶装置４２には、多量の測定値からなる一連の測定値が一ファイルにされて記憶されており、それらのうちの所望のファイルが選択され、図３に示すように、グラフ表示領域１３０には、選択されたファイル中の測定値から生成された曲線から成る第一次グラフ線１３２が表示されている。この第一次グラフ線１３２は、Ｘ－Ｙ座標１３１と一緒に表示されてグラフ表示が行われている。
　タイミングチャート表示領域１４０には、表示された測定値に対応した制御信号から、動作信号と停止信号が、高さが異なる横線分とで構成されたタイミングチャート１４２として表示されており、時間軸１４１と一緒に表示されている。動作信号の横線分は停止信号の横線分よりも一定高さ高い位置に表示される。時間軸１４１は、画面１００上でＸ－Ｙ座標１３１のＸ軸の真下に位置し、Ｘ軸と平行である。
　この第一発明と、後述する第二、第三発明でも、制御信号ではなく、動作状態信号を、動作中と停止中とで高さが異なる横線分にして折線を作製し、画面１００にタイミングチャートとして表示するようにしてもよい。
　第一～第三発明の時刻について説明する。
　測定値に対応した測定時刻と、制御信号の動作開始時刻と動作停止時刻とは、一日を２４時間とし、午前零時を始点とした時刻であり、更に、西暦及び月、日付も含む時刻である。従って、２４時間の中では同一数値の時刻でも西暦、月、又は日付のうちの一つが異なれば、異なる時刻と判断される。
　基板が異なる同じ真空処理についてには、異なる時刻である基準時刻がそれぞれ設定されており、本例と後述の各例でも、表示候補にされた測定値に対応し測定時刻を、設定された基準時刻からの経過時間であるＸ軸上換算時刻に変換する。この変換により、異なるファイルに含まれる異なる測定時刻の測定値であっても、互いに異なる基準時刻からの経過時間が、同じ値である測定値は、同じＸ軸上換算時刻を持つ測定値となる。
　グラフ表示を行う測定値の測定時刻は、Ｘ軸上換算時刻に換算し、測定値と対応付けてメモリや記憶装置４３に記憶する。
　基準時刻には、グラフ表示する測定値が測定された真空処理を行った処理機器群２４や処理機器群２３を制御した制御信号に含まれる動作開始時刻や動作停止時刻などを用いることができる。
　ここでは、基準時刻には、グラフ表示する測定値の真空処理を行った制御信号に含まれる最初の動作開始時刻を採用しており、画面１００上には、予め設定された個数の組の、動作信号と停止信号とが表示されるように、第一次グラフ線１３２とタイミングチャート１４２とが表示される時間範囲が決められる。
　この場合、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間は、キーボードから入力され、又は、読み込む測定値の時間などから算出されており、測定値のＸ座標は、基準時刻のＸ軸上の位置と、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間とにより、測定値に対応したＸ軸上換算時刻から、各測定点のＸ軸上の位置が求められている。
　ここではＸ軸と選択された左側Ｙ軸の交点がＸ－Ｙ座標の原点にされており、基準時刻の位置は、原点よりも右側のＸ軸上の所定位置にされている。
　同じ処理機器３１～３８は、一定の同じ時間間隔で測定しており、従って、測定時刻間の間隔は、一定時間になっている。この測定時間の間隔は、同じ処理機器３１～３８の測定値であれば、真空処理が異なっていても、同じ時間になるようにされている。
　従って、複数のファイルの測定値の測定時刻になることができる時刻を、各ファイルの基準時刻としてＸ軸上換算時刻を算出して測定値を表示するようにすると、一個のＸ軸上換算時刻に対して複数の測定値が対応されることになる。
　左右のＹ軸のうち、Ｙ軸指示列１１５によって指定されたＹ軸上の単位長さ当たりの値と、Ｙ軸上の所定位置の基準点の値は、入力装置４６によって入力されるか、又は、測定値の大きさから計算して適当な値が求められて、基準点の値として設定される。ここではＸ軸と選択されたＹ軸との交点が基準点とされているが、それに限定されるものではない。
　従って、Ｙ軸の基準点の測定値の値と、Ｙ軸上の単位長さ当たりの測定値の大きさとにより、選択されたＹ軸上の各測定値の位置であるＹ座標は、各測定値の大きさから求められる。
　このように、表示する測定値のＸ座標とＹ座標が求められ、ＸＹ座標で表される測定値の位置を曲線や線分で結んで一本の線(曲線又は折線)を表示することでグラフ化する。最小二乗法等の曲線を生成する方法で、測定値のＸＹ座標を通らない曲線を求めてグラフ化することもできる。
　図３は、表示指示列１１４内のチェックボックス１５４へチェックが付されたファイルの測定値が第一次グラフ線１３２として表示されている。
　次に、タイミングチャート表示領域１４０の表示について説明する。
　動作開始時刻と動作停止時刻は、測定値と同じ基準時刻を基準とし、基準時刻からの時間軸１４１上の時間である時間軸上換算時刻に換算されている。
　時間軸１４１の原点は、Ｘ－Ｙ座標１３１の左側のＹ軸の延長線が時間軸１４１と交叉する点であり、時間軸１４１上の基準時刻の位置は、Ｘ軸上の基準時刻を通り、Ｘ軸に対して垂直な直線が時間軸１４１と交叉する点にされている。時間軸の単位長さ当たりの時間は、予め決められており、従って、動作開始時刻と動作停止時刻は、それらの時間軸上換算時刻の値に応じた時間軸１４１上の位置になる。
　本例では、時間軸の単位長さ当たりの時間は、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間と同じにされており、従って、Ｘ軸と時間軸１４１とに垂直に交叉する直線は、同じ値のＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻を通るようになっている。
　制御信号に含まれる動作信号と停止信号は、時間軸１４１と平行で、高さが異なる横線分で表示されており、動作開始時刻を換算した時間軸上時刻では、一つの停止信号の終点と次の動作信号の始点との間と、一つの動作信号の終点と、次の停止信号の始点とが、垂直な縦線分で結ばれて形成されたタイミングチャート１４２によって制御信号が表示されている。
　縦線分は、動作開始時刻又は動作停止時刻を換算した時間軸上の時刻に位置している。動作状態信号を表示する場合は、動作変更時刻を時間軸上の時刻に換算した位置が縦線分が表示される位置である。
　本例では、図３に示すように、グラフ表示領域１３０とタイミングチャート表示領域１４０には、一本の第一次グラフ線１３２と、その第一次グラフ線１３２の測定値に対応した制御信号のタイミングチャート１４２がそれぞれ表示されている。
　各測定値に対する制御信号の中には複数の動作開始時刻が含まれており、それらの開始時刻のうち、各ファイルの中の特定の処理装置の最初の開始時刻が基準時刻とされている。
　制御信号のタイミングチャート１４２には複数の停止時刻も含まれており、動作信号の横線と停止信号の横線の高さは異なるため、各開始時刻と各停止時刻に対応して、第一次グラフ線１３２中に凹凸が見られる。
　第一次グラフ線１３２中のこれらの凹凸の一部を選択し、拡大して他の測定値と比較するために、第一次グラフ線１３２の一部を特定し、その部分を構成する測定値を抽出する。重要な部分を抽出すると、抽出した部分の比較によって真空処理の相違を明らかにすることができる。
　第一次グラフ線１３２の測定値からの抽出を開始する抽出始点と、抽出を終了させる抽出終点とは、画面に表示された第一次グラフ線１３２上の所望位置をマウスポインタを乗せてクリックすることで指定することができる。また、Ｘ軸上換算時刻や時間軸上換算時刻を入力装置４６によって入力することで、入力したＸ軸上換算時刻や時間軸上換算時刻を測定時刻に逆算して、抽出始点時刻と抽出終点時刻にすることができる。
　また、Ｘ軸上の任意の点をマウスポインタを乗せてクリックすることで指定することもできる。
　ここでは、制御信号に対応して記憶された複数の開始時刻と停止時刻のうち、時刻順に並べたときに、基準時刻よりも後の開始時刻であって、基準時刻から所望個数目の開始時刻を抽出始点時刻とし、抽出始点からの経過時間を入力装置４６によって入力して抽出終点時刻を指定するようになっている。
　タイミングチャート１４２では、ローからハイに転じる位置の縦棒を立ち上がり、ハイからローに転じる縦棒を立下りと呼ばれており、図３では、制御信号中の開始時刻を示す縦棒が立上り１４８、停止時刻を示す縦棒が立下り１４９として表示されている。
　第一次グラフ線１３２から、第一次グラフ線１３２の一部である凸状部分１３３を抽出するために、５個目の立上り１４８が抽出始点として指定され、抽出始点の測定時刻である抽出始点時刻以降の測定点が抽出される。
　本例では、入力装置４６によってコンピュータ４０に経過時間が入力され、抽出始点時刻から入力された経過時間が経過する時刻を抽出終点時刻として、抽出始点時刻と抽出終点時刻の間の範囲に、対応付けられた測定時刻が含まれる測定値が抽出される。
　抽出された測定値によって形成されるグラフを大きく表示させるために、抽出に用いた抽出始点時刻が基準時刻とされて、基準時刻がＸ軸の所定位置に配置され、測定時間から、基準時刻からの経過時間であるＸ軸上換算時刻が再計算される。
　Ｘ軸の単位長さ当たりの時間も再設定され、抽出された測定値に対応する再計算して求められたＸ軸上換算時刻によって、抽出された測定値のＸ軸上の位置であるＸ座標が求められる。
　自動的な計算又は入力装置４６を用いた入力により、Ｙ軸上の単位長さ当たりの測定値の大きさも再設定し、また、Ｙ軸とＸ軸とが交差する交点位置の測定値も再設定すると、抽出された測定値のＸ軸、Ｙ軸上の位置は再計算される。
　第一次グラフ線１３２を画面１００上に表示したときよりも、Ｙ軸上の単位長さ当たりの測定値の大きさを小さくし、Ｘ軸上の単位長さ当たりの時間の長さを短くすると、図４に示すように、測定値を結んで画面１００上に表示される第二次グラフ線１３４は第一次グラフ線１３２よりも拡大され、その結果、第二次グラフ線１３４とＸ軸Ｙ軸とから成るグラフ表示も拡大される。
　時間軸１４１の基準時刻も抽出始点時刻にされ、時間軸１４１の単位長さ当たりの時間は、第二次グラフ線１３４を画面１００に表示したときの、Ｘ軸の単位長さ当たりの時間と同じ値に変更されている。それにより、抽出始点時刻と抽出終点時刻の間に位置する開始時刻と停止時刻の時間軸上時刻は、再計算され、開始時刻と停止時刻の時間軸上の位置が求められ、一部が拡大された折線から成るタイミングチャート１４４が表示される。第二次グラフ線１３４とタイミングチャート１４４との間の相対的な位置関係は、第一次グラフ線１３２とタイミングチャート１４２との間の相対的な位置関係と同じである。
　異なる真空処理毎に測定値の一部を抽出し、抽出された測定値を真空処理間で比較する場合は、複数の真空処理毎に多量の測定値を読み込み、各真空処理間には同じ基準で抽出始点時刻と抽出終点時刻を設定し、複数の真空処理毎に測定値のうち、測定時刻が抽出始点時刻と抽出終点時刻の間にある部分を抽出し、図５に示すように、複数(ここでは二個)の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂが同一のＸ－Ｙ座標１３１上に表示される。
　図５では、時間軸１４１上では、抽出された測定値に対応する部分の制御信号によって、折線から成る複数のタイミングチャート１４４ａ、１４４ｂが表示されている。
　ここでは表示されたタイミングチャート１４４ａ、１４４ｂは、表示された第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂに対応しており、複数のタイミングチャート１４４ａ、１４４ｂの制御信号のうち、一の制御信号では、停止信号から動作信号に変化する制御信号の立上りである開始時刻を基準時刻にして測定値を抽出しているが、他の制御信号では、制御信号に含まれるノイズ１４７の立上りが基準時刻とされて測定値が抽出されてしまっている。従って、それらの制御信号に対応する第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂは画面１００上で重なり合っていない。
　このデータ分析プログラムでは、グラフ表示領域１３０には、Ｘ軸と垂直(Ｙ軸とは平行)な複数(本例では二本)の主メジャー線を表示させることができ、また、タイミングチャート表示領域１４０にも、時間軸１４１に垂直な複数(本例では二本)の補助メジャー線を表示させることができる。
　主メジャー線と補助メジャー線をそれぞれ表示させる場合は、メジャー指示列１１３、１２３のチェックボックス１５３、１６３にマークを付ける。
　本例では、主メジャー線と補助メジャー線は、一本ずつ又は二本ずつ表示されるように構成されており、本例では、図６に示すように、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのピーク位置をそれぞれ通るように、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２が表示されている。
　また、本例では、タイミングチャート表示領域１４０には、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２が位置するＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上に、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４がそれぞれ時間軸と垂直に表示されるようになっている。
　第一、第二の主メジャー線１０１、１０２と第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４は、いずれも時刻や移動時間を入力することや、マウスやカーソルで動かすことで移動させることができる。
　第一、第二の主メジャー線１０１、１０２を移動させる場合、移動先のＸ軸上換算時刻は測定値と対応されることができる時刻である必要がある。移動のために入力されたＸ軸上換算時刻や、マウスで指示された移動先のＸ軸上換算時刻が、グラフ表示がされている測定値の中に対応できる時刻では無い場合は、グラフ表示がされた測定値の中で、移動先とされたＸ軸上換算時刻に最も近く、対応付けられる測定値が有るＸ軸上換算時刻が移動先となり、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２は、その時刻に移動されると第一、第二の主メジャー線１０１、１０２は測定値を通ることになる。
　第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４は、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２が移動されたＸ軸上換算時刻と同じ時刻である時間軸上換算時刻にそれぞれ移動される。
　第一、第二の主メジャー線１０１、１０２を移動させて第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４を追随させるのではなく、逆に、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４を移動させることにより、移動された第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に第一、第二の主メジャー線１０１、１０２をそれぞれ移動させることもできる。
　第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４の移動によって第一、第二の主メジャー線１０１、１０２が移動されるとき、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２の移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていた場合は、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２がそのＸ軸上換算時刻に移動され、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４は、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に移動される。
　第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４の移動によって第一、第二の主メジャー線１０１、１０２が移動されるとき、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２の移動先のＸ軸上換算時刻が、測定値が位置できる時刻ではなかった場合は、グラフ表示がされている測定値の中で、移動先とされたＸ軸上換算時刻に最も近くて測定値が対応付けられているＸ軸上換算時刻が移動先にされ、そのＸ軸上換算時刻と、それと同時刻の時間軸上換算時刻に、第一又は第二の主メジャー線１０１、１０２と第一又は第二の補助メジャー線１０３、１０４とがそれぞれ移動される。
　第一、第二の主メジャー線１０１、１０２が位置するＸ軸上換算時刻を第一、第二の時刻とし、表示されている第二次グラフ線の測定値中で、第一、第二の時刻に対応付けられている測定値を第一、第二の測定値と呼ぶことにすると、第一、第二の時刻は、その位置が分かるように、時刻を示す数値と、第一、第二の時刻間の差である時間差とが画面１００に表示される。
　また、第一、第二の測定値は、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２と第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂとの交点を区別する記号Ｐ１～Ｐ４と共に画面１００に表示されており、異なる第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂ間の第一の測定値同士の差と、第二の測定値同士の差も表示されており、更に、同一の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの測定値の中での、第一の測定値と第二の測定値との差も画面１００に表示される。第一の測定値が三個以上有る場合は、隣接する第一の測定値同士の差を表示することができる。第二の測定値についても、三個以上有る場合は、隣接する第二の測定値同士の差を表示することできる。
　次に、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動について説明すると、本発明のうち、第一発明では、表示された複数の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのうち、一以上の所望個数の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂを選択して移動できるように構成されており、所望の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂをマウスやキーボードからの入力などによって画面１００上でクリックする等で選択すると共に、移動時間を入力装置４６から入力したり、又は、移動先のＸ軸上換算時刻の入力、マウスのポインタによる指示等の手段によって、選択した所望の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂをＸ軸と平行に移動させることができる。
　上述したように、測定値の測定時間は等間隔であり、従って、測定値に対応するＸ軸上換算時刻も等間隔になっている。一つの第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂ中の一個の測定値に対応されたＸ軸上換算時刻には、他の第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂ中の測定値も対応されており、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動量は、隣接するＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間として、単位時間の整数倍にされている。
　第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動量として指定された移動時間や、移動先として指定されたＸ軸上換算時刻から求められた移動時間は、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍の移動時間に変換され、各測定点のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて変更され、その測定値の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂも移動後のＸ軸上換算時刻に基づいて書き換えられる。
　このとき、選択された第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂに関連する制御信号、例えば、選択された第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの真空処理を行った制御信号は、開始時刻と停止時刻の時間軸上変換時刻がＸ軸上換算時刻を変更する移動時間と同時間変更され、タイミングチャート１４４ａ、１４４ｂも、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動時間と同時間、同方向に時間軸１４１と平行に移動される。
　タイミングチャート表示領域１４０に表示されたタイミングチャート１４４ａ、１４４ｂの所望のものを選択し、入力装置４６からの入力による移動、移動先のＸ軸上換算時刻の指定による移動、マウスのポインタの移動に付随した移動、カーソルの移動に付随した移動等、第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂの移動のときと同じ移動手段によって移動させ、移動させる制御信号に関連した測定値の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂ、例えば、選択したタイミングチャート１４４ａ、１４４ｂの制御信号が制御した真空処理の際に測定された測定値の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂ、を一緒に移動させてもよい。
　この場合も、隣接する測定値のＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間とすると、移動量は単位時間の整数倍であり、入力された時間や、移動先の時間軸上換算時刻は、上記と同様に、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍である移動時間に変換され、移動される制御信号の時間軸上変換時刻や、移動される測定値のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて計算され、表示される。
　図６では第一、第二の主メジャー線１０１、１０２が第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのピーク位置にそれぞれ配置されている。
　従って、重なり合っていない二個の第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂのピークの時間差は、第一、第二の主メジャー線１０１、１０２の間の時間差として画面１００に表示されており、移動させた後の画面１００に表示される時間差がゼロになるようにすればピークが同じＸ軸上換算時刻に配置されることになるから、一方の第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂを選択し、重なり合うように符号を付して表示された時間差を入力することができる。
　また、第一、第二の補助メジャー線１０３、１０４を、時間軸１４１上の開始時刻の位置に配置し、タイミングチャート１４４ａ、１４４ｂの開始時刻の時間差を画面１００上に表示させると、第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂを移動させて開始時刻が同じ時間軸上換算時刻に位置するようにすることができる。
　図７は、移動して第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂを重ね合わせた状態の画面１００である。
　移動された第二次グラフ線１３４ａ又は１３４ｂの測定値に対応するＸ軸上換算時刻は、移動した時間の分修正される。
　第一又は第二の主メジャー線１０１、１０２や第二次グラフ線１３４ａ、１３４ｂが移動した後は、画面１００には移動後の第一、第二の時刻や第一、第二の測定値、それらの差が表示される。
　なお、第一、第二の測定値は、測定時刻が修正後のＸ軸上換算時刻に等しい測定値になる。従って、指定された第一次グラフ線１３２の第一の測定値の差は、移動しなかった第一次グラフ線１３２の第一の測定値と、移動後の第一次グラフ線１３２の第一の測定値の差となる。
　なお、複数の第一次グラフ線が画面１００上に表示されている場合、それらの第一次グラフ線のうち、一の第一次グラフ線を選んで、一の第一次グラフ線に含まれる一個の測定時刻が、一の第一次グラフ線の抽出始点時刻にされると、その抽出始点時刻のＸ軸上換算時刻は、他の第一次グラフ線に含まれる測定時刻のＸ軸上換算時刻と他の第一次グラフ線毎に一個ずつ等しくなる。従って、他の第一次グラフ線では、一の第一次グラフ線の抽出始点時刻のＸ軸上換算時刻に対応された測定値の測定時刻を抽出始点時刻にすればよい。
＜第二発明の実施例＞
　本発明は、上記第一発明で説明した内容に加え、下記に説明する第二発明の内容も有している。
　第二発明を説明すると、図８の符号２００は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
　この画面２００には、第二発明の動作による表示が行われており、上記第一発明の画面１００と同様に、グラフ表示を行う測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄２１０と、信号特定欄２２０とが設けられている。
　また、画面２００には、測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、測定値のグラフを表示するグラフ表示領域２３０と、制御信号を表示するタイミングチャート表示領域２４０とに区分けされている。タイミングチャート表示領域２４０では、動作信号と停止信号を区別でき、開始時刻と停止時刻の位置が分かるように制御信号が表示される。
　測定値は、第一発明と同様に、基板１５一枚の測定値が、ファイル名称２５１を付されて記憶装置４３に記憶されている。
　測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)と、ロットと、真空処理の種類は、ファイル名称から特定することができる。測定値特定欄２１０には、読み込みを行った各測定値のファイル名称２５１(名称１～６)を縦一列に表示する名称表示列２１１が設けられている。
　また、測定値特定欄２１０には、読み込みを行った測定値のうち、グラフ表示をする測定値を指示するための表示指示列２１４が設けられている。
　上述した画面１００と同様に、表示するＸ－Ｙ座標は、Ｙ軸を左側と右側の二本有しており、測定値を左側のＹ軸の目盛か、右側のＹ軸の目盛のいずれかに対応させてグラフを表示することができ、測定値特定欄２１０には、Ｙ軸を選択するためのＹ軸指示列２１５が設けられており、また、主メジャー線の表示を指示をするメジャー指示列２１３とが設けられている。
　表示指示列２１４に縦一列に表示されたチェックボックス２５４にチェックすると、チェックを付された測定値がグラフ表示領域２３０に、曲線として表示され、Ｙ軸指示列２１５にそれぞれ縦一列に表示された左側のＹ軸のチェックボックス２５６と、右側のＹ軸のチェックボックス２５５のいずれか一方にチェックを付すことで、測定値に対応するＹ軸が左か右かが選択される。メジャー指示列２１３に縦一列に配置されたチェックボックス２５３に一本用のマーク又は二本用のマークを付すことで、一本又は二本の主メジャー線を表示することができる。
　また、測定値特定欄２１０には、グラフの色を指示するための色指示列２１２が設けられており、色指示列２１２に縦一列に表示される色サンプル２５２の色を変更することで、表示されるグラフの色を変更することができる。
　各列２１１～２１４のチェックボックス等の表示内容は、表示内容と測定値のファイル名称２５１との対応が見やすいように、表示内容とファイル名称２５１は同一高さに表示されている。
　信号特定欄２２０についても、Ｙ軸指示列２１５以外は、測定値特定欄２１０と同様にされており、名称表示列２２１と、色指示列２２２と、メジャー指示列２２３と、表示指示列２２４とが設けられている。
　メジャー指示列２２３で指示された主メジャー線と制御信号のタイミングチャート(折線)との交点は、交点が位置する部分の制御信号が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態を、ハイを示す数値かローを示す数値で画面２００に表示する。ハイを示す数値とローを示す数値とに替え、記号や図形など、他の方法で信号状態を示しても良い。
　図中、符号２６１はロットや真空処理が特定できる制御信号の名称(「名称１１」～「名称１６」)を示し、符号２６２は色サンプル、符号２６３、２６４は、チェックボックスを示している。
　測定値特定欄２１０と信号特定欄２２０のチェックボックス２５３～２５６、２６３、２６４を使用し、チェックを記載して表示する測定値を選択すると、図９に示すように、グラフ表示領域２３０に、選択された測定値から作製された複数のグラフ線２３２が表示される。このグラフ線２３２は、真空処理毎に異なる曲線としてＸ－Ｙ座標２３１上に表示される。
　タイミングチャート表示領域２４０には、制御信号から作製された折線から成るタイミングチャート２３４が時間軸２４１と一緒に表示されている。時間軸２４１は、画面２００上でＸ－Ｙ座標２３１のＸ軸の真下に位置し、Ｘ軸と平行である。
　本例でも、グラフ表示する測定値は、異なるロットに属する基板であるものとし、測定値が得られた真空処理を制御した制御信号に含まれる最初の動作停止から動作中に変更された変更時刻を基準時刻として設定されている。
　Ｘ軸の単位長さ当たりの時間、Ｙ軸の単位長さ当たりの測定値の大きさ、各測定値のＸ軸上換算時刻、Ｘ－Ｙ座標の原点、基準時刻の位置、時間軸上換算時刻など、Ｘ－Ｙ座標や曲線、開始時刻、停止時刻、タイミングチャートの表示方法は、本第二発明と後述する第三発明でも上述した通りであり、各測定値のＸ座標とＹ座標が求められ、一基板の測定値を最小二乗法等で一本のグラフ線にして表示したり、測定値の座標値の点を線分で結んでグラフ線として表示することができる。
　また、本第二発明と後述する第三発明でも、第一発明と同じく、測定値は、処理機器３１～３８やセンサ装置が出力した測定結果を示す値である。
　図９に示すように、表示指示列２１４のチェックボックス２５４へのチェックによって表示するファイル名称を指示すると、指示されたファイル名称の測定値がグラフ線２３２として表示される。ここではグラフ線２３２は５本である。
　図９に示すように、グラフ表示領域２３０とタイミングチャート表示領域２４０には、複数のグラフ線２３２と複数のタイミングチャート２３４がそれぞれ表示されており、各測定値に対する制御信号中の最初の開始時刻が基準時刻とされたグラフ線２３２中では、グラフ線２３２のピーク位置が左方にある山形形状のグラフ線２３２ａと右方にある山形形状のグラフ線２３２ｂが見られる。
　本発明のデータ分析プログラムでは、グラフ表示領域２３０には、Ｘ軸と垂直な複数(本例では二本)の主メジャー線を表示させることができ、また、タイミングチャート表示領域２４０にも、時間軸２４１に垂直な複数(本例では二本)の補助メジャー線を表示させることができる。
　主メジャー線と補助メジャー線をそれぞれ表示させる場合は、メジャー指示列２１３、２２３のチェックボックス２５３、２６３にマークを付ける。
　本例では、コンピュータ４０は、主メジャー線と補助メジャー線を二本ずつ表示させるように構成されており、図１０では、第一の主メジャー線２０１が、左方の山形形状のグラフ線２３２ａのピークを通り、第二の主メジャー線２０２が、右方の山形形状のグラフ線２３２ｂのピークを通るように配置されている。
　主メジャー線と補助メジャー線はＸ軸上換算時刻や時間軸上換算時刻を入力して、入力したＸ軸上換算時刻や時間軸上換算時刻に移動させたり、マウス等でクリックしてマウスの移動量に対応した距離を移動させることができる。
　第一の主メジャー線２０１が位置するＸ軸上換算時刻と第一の補助メジャー線２０３が位置する時間軸上換算時刻は等しくなるようにされており、また、第二の主メジャー線２０２が位置するＸ軸上換算時刻と第二の補助メジャー線２０４が位置する時間軸上換算時刻も等しくなるようにされている。
　第一、第二の主メジャー線２０１、２０２を移動させる場合、メジャー指示列２１３でマークが付されて選択された測定値中に、移動のために入力されたＸ軸上換算時刻や、マウスでの移動による移動先のＸ軸上換算時刻に対応する測定値が無かった場合は、マークで選択された測定値中で、入力されたＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値と対応付けられているＸ軸上換算時刻に第一、第二の主メジャー線２０１、２０２は移動される。
　第一、第二の補助メジャー線２０３、２０４は、第一、第二の主メジャー線２０１、２０２が移動されたＸ軸上換算時刻と同じ時刻である時間軸上換算時刻に移動される。
　逆に、第一、第二の補助メジャー線２０３、２０４を移動させると、移動された第一、第二の補助メジャー線２０３、２０４の時間軸上換算時刻と同じ時刻のＸ軸上換算時刻に第一の主メジャー線２０１が移動される。
　このとき、第一、第二の主メジャー線２０１、２０２の移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されている場合は、第一、第二の主メジャー線２０１、２０２がそのＸ軸上換算時刻に移動され、第一、第二の補助メジャー線２０３、２０４は、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に移動される。
　他方、移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていなかった場合は、メジャー指示列２１３のマークにより選択された測定値の中で、移動先のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、そのＸ軸上換算時刻と、それと同時刻の時間軸上換算時刻に、第一又は第二の主メジャー線２０１、２０２と第一又は第二の補助メジャー線２０３、２０４とがそれぞれ移動される。
　また、メジャー指示列２１３でマークが付されて選択された測定値中で、第一、第二の主メジャー線２０１、２０２が位置するＸ軸上換算時刻を第一、第二の時刻とし、第一、第二の時刻に対応する測定値を第一、第二の測定値と呼ぶものとすると、第一、第二の時刻は位置が分かるようにされ、第一、第二の時刻間の時間と共に図１０の「計算値１」として画面２００に表示され、第一、第二の測定値は、第一、第二の主メジャー線２０１、２０２とグラフ線２３２との交点を区別する記号「Ｐ１」～「Ｐ４」と共に画面２００に表示される。
　本発明は、表示された複数のグラフ線２３２のうち、一以上の所望個数のグラフ線２３２を選択し、選択した一個以上のグラフ線２３２を一つの選択群として、一つの選択群に含まれるグラフ線２３２を一緒に移動できるように構成されており、選択して移動させるＸ軸上の距離を時間としてキーボードから入力したり、又は、グラフ線２３２中で指定した測定点を位置させるＸ軸上換算時刻の入力したり、マウスで所望個数選択してマウスのポインタと共に移動させ、または、所望個数選択した後、キーボードの特定キーの押下時間に対応させて移動するなどの移動方法によって、選択された所望個数のグラフ線２３２をＸ軸と平行に移動できるようになっている。
　選択した二個以上のグラフ線を第一選択群、他に選択した二個以上のグラフ線を第二選択群とすると、第一の測定値は、主メジャー線と交差した第一選択群中の各グラフ線の、交差した点のＸ軸上換算時刻に最も近いＸ軸上換算時刻に対応された測定値であり、第二の測定値は、主メジャー線と交差した第二選択群中の各グラフ線の、交差した点のＸ軸上換算時刻に最も近いＸ軸上換算時刻に対応された測定値であり、グラフ線毎に第一、第二の測定値が設定される。
　第一、第二の測定値は、入力装置４６によって入力しても良い。
　なお、上述したように、測定値の測定時間は等間隔であり、従って、測定値に対応するＸ軸上換算時刻も等間隔になっている。一つのグラフ線２３２中の一個の測定値に対応されたＸ軸上換算時刻には、他のグラフ線２３２中の測定値も対応されており、グラフ線２３２の移動量は、隣接するＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間として、単位時間の整数倍にされている。
　従って、グラフ線２３２の移動量として指定された移動時間や、移動先として指定されたＸ軸上換算時刻から求められた移動時間は、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍の移動時間に変換され、各測定点のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて変更され、その測定値のグラフ線２３２も移動後のＸ軸上換算時刻に基づいて書き換えられる。
　このとき、選択されたグラフ線２３２に関連する制御信号、例えば、選択されたグラフ線２３２の真空処理を行った制御信号は、開始時刻と停止時刻の時間軸上変換時刻がＸ軸上換算時刻を変更する移動時間と同時間変更され、タイミングチャート２４１も、グラフ線２３２の移動時間と同時間、同方向に時間軸２４１と平行に移動される。
　タイミングチャート表示領域２４０に表示されたタイミングチャート２４１のうちの所望のものを選択し、キーボードでの入力、移動先のＸ軸上換算時刻の指定、マウスのポインタの移動と共に移動、カーソルでの移動等、グラフ線２３２を移動させるときと同じ手段によって移動させ、移動させる制御信号に関連した測定値のグラフ線２３２、例えば、選択したタイミングチャート２３４の制御信号が制御した真空処理の際に測定された測定値のグラフ線２３２を一緒に移動させてもよい。
　この場合も、隣接する測定値のＸ軸上換算時刻間の時間を単位時間とすると、移動量は単位時間の整数倍であり、入力された時間や、移動先の時間軸上換算時刻は、上記と同様に、四捨五入、切り上げ、切り捨てなどによって単位時間の整数倍である移動時間に変換され、移動される制御信号の時間軸上変換時刻や、移動される測定値のＸ軸上換算時刻は、変換された移動時間に基づいて計算され、表示される。
　第一の時刻と第二の時刻の差は、左方の山形形状のグラフ線２３２ａのピーク位置と、右方の山形形状のグラフ線２３２ｂのピーク位置との時間差であり、マウス等によって一方の山形形状のグラフ線２３２ａ又は２３２ｂを選択し、他方の山形形状２３２ａ又は２３２ｂのグラフ線との間のピーク位置の時間差がゼロになるように移動させると、各グラフ線２３２のピーク位置が図１１に示すように重なり合い、各グラフ線２３２ａ、２３２ｂの形状や高さを簡単に比較することができる。
　また、タイミングチャート２３４は、動作信号を上、停止信号を下にして描かれており、タイミングチャート表示領域２４０では、タイミングチャート２３４には、動作信号の立上り２８１の時刻が基準時刻とされた形状２３４ａのものと、制御信号に含まれるノイズの立上り２８２が動作信号と誤認され、基準信号とされた形状２３４ｂとがあることが分かる。
　各グラフ線２３２は、各グラフ線２３２に対応した制御信号に含まれる最初の動作信号の時間軸上換算時刻を基準時刻としているが、誤認された形状２３４ｂの正しい立上り２８３を基準時刻の位置に移動させるように、タイミングチャート２３４を移動させ、対応するグラフ線２３２を一緒に移動させて重ね合わせてもよい。
　グラフ線２３２が移動され、測定値に対応したＸ軸上換算時刻は移動量だけ修正されるので、画面２００に表示される第一、第二の測定値は、測定時刻が修正後のＸ軸上換算時刻に等しい測定値になる。従って、指定されたグラフ線２３２の第一の測定値の差は、移動しなかったグラフ線２３２の第一の測定値と、移動後のグラフ線２３２の第一の測定値の差となる。
　図１２は、各グラフ線２３２のピークが一致した状態であり、第一、第二の主メジャー線２０１、２０２を一致後のグラフ線２３２上で移動させることで、観察したい位置のＸ軸上換算時刻や第一、第二の測定値を表示させることができる。
＜第三発明の実施例＞
　本発明は、上記第一、第二発明で説明した内容に加え、下記に説明する第三発明の内容も有している。
　図１３の符号３００は、コンピュータ４０に接続された表示装置４４の画面を示している。コンピュータ４０とＬＡＮ等の手段によって交信する他のコンピュータの表示装置の画面であっても良い。
　画面３００にも、第一、第二発明の画面１００、２００と同様に、グラフ表示する測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄３１０と、信号特定欄３２０とが設けられており、測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、測定値のグラフを表示するグラフ表示領域３３０と、制御信号を表示するタイミングチャート表示領域３４０とに区分けされている。タイミングチャート表示領域３４０では、動作信号と停止信号を区別でき、開始時刻と停止時刻の位置が分かるように制御信号が表示される。
　測定値の内容は上述したとおりであり、この画面３００では、測定値特定欄３１０に、名称表示列３１１が設けられ、その中に、グラフ表示を対象とする測定値のファイル名称３５１（名称１～５）を縦一列に表示するようになっている。
　また、測定値特定欄３１０には、グラフ表示をする測定値を指示するための表示指示列３１４が設けられている。
　上述した画面１００、２００と同様に、表示するＸ－Ｙ座標は、Ｙ軸を左側と右側の二本有しており、測定値を左側のＹ軸の目盛か、右側のＹ軸の目盛のいずれかに対応させてグラフを表示することができ、測定値特定欄３１０には、Ｙ軸を選択するためのＹ軸指示列３１５が設けられており、また、後述する主メジャー線の表示の指示をするメジャー指示列３１３とが設けられている。
　表示指示列３１４に縦一列に表示されたチェックボックス３５４にチェックすると、チェックを付された測定値がグラフ表示領域３３０にグラフ表示され、Ｙ軸指示列３１５にそれぞれ縦一列に表示された左側のＹ軸のチェックボックス３５６と、右側のＹ軸のチェックボックス３５５のいずれか一方にチェックを付すことで、測定値を対応させるＹ軸が左か右かを選択され、メジャー指示列３１３に縦一列に配置されたチェックボックス３５３に一本用のマーク又は二本用のマークを付すことで、所望の主メジャー線が表示される。
　また、測定値特定欄３１０には、グラフの色を指示するための色指示列３１２が設けられており、色指示列３１２に縦一列に表示される色サンプル３５２の色を変更することで、表示されるグラフの色を変更することができる。
　各列３１１～３１４のチェックボックス等の表示内容は、表示内容と測定値の名称３５１との対応が見やすいように、表示内容とファイル名称３５１は同一高さに表示されている。
　信号特定欄３２０についても、Ｙ軸指示列３１５以外は、測定値特定欄３１０と同様にされており、名称表示列３２１と、色指示列３２２と、メジャー指示列３２３と、表示指示列３２４とが設けられている。
　メジャー指示列３２３で指示された主メジャー線と制御信号のタイミングチャート(折線)との交点の信号状態の表示は上述した通りである。
　図中、符号３６１は制御信号の名称を示し、符号３６２は色サンプル、符号３６３、３６４は、チェックボックスを示している。
　第一～第三発明に於いて、名称表示列１２１、２２１、３２１に表示された制御信号の名称によって、制御信号が出力されたロットや、制御信号が制御した真空処理が特定できる。
　測定値特定欄３１０と信号特定欄３２０のチェックボックス３５３～３５６、３６３、３６４を使用し、チェックを記載して測定値をグラフ線にして表示するファイル名を選択し、図１４に示すように、グラフ表示領域３３０には、選択されたファイル名の測定値から作製されたグラフ３３２が表示される。このグラフ３３２は、異なる基板の測定値毎に別々に、Ｘ－Ｙ座標３３１上にＸ－Ｙ座標３３１と一緒に表示される。
　タイミングチャート表示領域３４０には、制御信号から作製されたタイミングチャート３３４が時間軸３４１と一緒に表示されている。上記例と同様に、時間軸３４１は、画面３００上でＸ－Ｙ座標３３１のＸ軸の真下に位置し、Ｘ軸と平行である。
　また、左右のＹ軸のうち、Ｙ軸指示列３１５によって指定されたＹ軸上の単位時間当たりの値と、Ｘ軸と指示されたＹ軸との交点(左側Ｙ軸とＸ軸の交点がＸ－Ｙ座標３３１の原点である)の値は、入力され、又は測定値の大きさから求められている。
　本例でも、図１４に示すように、表示指示列３１４のチェックボックス３５４へのチェックによって指示された測定値がグラフ線３３２として表示され、その制御信号がタイミングチャート３３４として表示されている。開始時刻と停止時刻は、その時間軸上換算時刻の値に応じた時間軸３４１上の位置である。
　このデータ分析プログラムでは、グラフ表示領域３３０には、Ｘ軸と垂直な一本、又は二本以上(本例では二本)の主メジャー線(第一、第二の主メジャー線)を表示させることができる。また、タイミングチャート表示領域３４０にも、時間軸３４１に垂直な一本、又は二本以上(本例では二本)の補助メジャー線(第三、第四の主メジャー線)を表示させることができる。
　一本の主メジャー線と一本の補助メジャー線を表示させる場合は、メジャー指示列３１３、３２３の一又は複数のチェックボックス３５３、３６３に、一本表示用のマークを付ける。
　図１５はその状態であり、測定値特定欄３１０と信号特定欄３２０には、それぞれ二個のチェックボックス３５３、３６３に一本用のマークが付されている。一本用のマークが付されると、グラフ表示領域３３０の予め設定された位置に第一の主メジャー線３０１が表示される。このとき、タイミングチャート表示領域３４０では、第一の主メジャー線３０１が位置するＸ軸上換算時刻と同じ時刻の時間軸上換算時刻に、第一の補助メジャー線３０３が表示される。
　ここでは、基準時刻の位置から予め設定された距離だけ離間したＸ軸上換算時刻と時間軸上換算時刻の位置に第一の主メジャー線３０１と、第一の補助メジャー線３０３とがそれぞれ表示されるようになっている。
　一本用のマークが付されて選択された測定値中で、第一の主メジャー線３０１が表示される位置のＸ軸上換算時刻に対応する測定値があった場合は、その測定値は、交点であることと、交点を示す「Ｐ」を添付数字で区別するための符号「Ｐ１」、「Ｐ２」と共に、グラフ表示領域３３０に表示される。
　第一の主メジャー線３０１が表示される位置のＸ軸上換算時刻に対応する測定値が無かった場合は、一本用のマークで選択された測定値中で、第一の主メジャー線３０１のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値と対応付けられているＸ軸上換算時刻に第一の主メジャー線３０１は移動される。第一の補助メジャー線３０３も、第一の主メジャー線３０１が移動されたＸ軸上換算時刻と同じ時刻である時間軸上換算時刻に移動される。
　そして、移動後のＸ軸上換算時刻に対応付けられた測定値は、上記のように、交点を区別するための記号「Ｐ１」、「Ｐ２」と共に、グラフ表示領域３３０に表示される。
　このとき、複数のチェックボックス３５３へ一本用のマークが付され、複数のファイル名が選択されている場合は、選択されたファイル名のグラフ線を第一選択群とすると、第一選択郡中のグラフ線中の測定値の中で、第一の主メジャー線３０１のＸ軸上換算時刻と対応された測定値はグラフ線毎に異なり、異なるグラフ線中の、第一の主メジャー線３０１のＸ軸上換算時刻と対応された測定値同士の差が計算され、差がどのグラフ３３２の値同士の差であるかと共に、画面３００に表示される(「計算値１」)。
　また、第一の補助メジャー線３０３とタイミングチャート３３４との交点が動作信号であるか停止信号であるかの信号状態が分かるように、交点が動作信号又は停止信号を区別できる値や記号が交点を区別するための記号「Ｐ１」、「Ｐ２」と共に画面３００に表示される。
　第一の主メジャー線３０１や第一の補助メジャー線３０３、及び後述の第二の主メジャー線３０２や第二の補助メジャー線３０４は、時刻を入力することや、マウスやカーソルで動かすことで移動させることができる。
　第一の主メジャー線３０１を移動させる場合、移動された第一の主メジャー線３０１のＸ軸上換算時刻と同じ時刻の時間軸上換算時刻に第一の補助メジャー線３０３が移動され、逆に、第一の補助メジャー線３０３を移動させると、移動された第一の補助メジャー線３０３の時間軸上換算時刻と同じ時刻のＸ軸上換算時刻に第一の主メジャー線３０１が移動される。
　このとき、第一の主メジャー線３０１の移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されている場合は、第一の主メジャー線３０１がそのＸ軸上換算時刻に移動され、第一の補助メジャー線３０３は、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に移動され、表示される測定値と、表示される測定値同士の差は、移動後の測定値を用いたものに変更される。
　移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていなかった場合は、メジャー指示列３１３のマークにより選択された測定値の中で、移動先のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、そのＸ軸上換算時刻と、それと同時刻の時間軸上換算時刻に、第一の主メジャー線３０１と第一の補助メジャー線３０３とがそれぞれ移動され、移動後の測定値と移動後の交点の信号状態を用いた表示にされる。
　時刻の入力や画面上でのマウス等を使用した移動により、第一の補助メジャー線３０３を移動させることで、第一の主メジャー線３０１を連動して移動させることもできる。
　移動先の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に測定値が対応付けられていない場合は、メジャー指示列３１３のマークにより選択された測定値中で、移動先の時間軸上換算時刻と同時刻のＸ軸上換算時刻に最も近く、測定値に対応付けられているＸ軸上換算時刻が選択され、第一の主メジャー線３０１が移動される。移動されるＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上換算時刻に第一の補助メジャー線３０３が移動される。測定値や差の表示は移動後の測定値を用いた値が表示される。
　次に、メジャー指示列３１３、３２３のチェックボックス３５３、３６３は、マークが付されていない状態では、最初に一本用のマークを付すことができるように構成されており、次に、一本用のマークが付されているときは、それを二本用のマークに書き換えることができるようにされている。図１５、図１６のマークの色で表示される。
　二本用のマークが付されると、第一の主メジャー線３０１と、第一の補助メジャー線３０３に加え、図１６に示すように、第二の主メジャー線３０２と第二の補助メジャー線３０４がＸ－Ｙ座標３３１上と時間軸３４１上の予め設定された位置にそれぞれ表示される。
　第二の主メジャー線３０２と第二の補助メジャー線３０４についても、第一の主メジャー線３０１と第一の補助メジャー線３０３と同様に第二の主メジャー線３０２は、測定値に対応されたＸ軸上換算時刻に位置することができ、移動先のＸ軸上換算時刻に測定値が対応されていない場合、第一の主メジャー線３０１と同じ手順で、測定値に対応されたＸ軸上換算時刻に移動され、そのＸ軸上換算時刻と同時刻の時間軸上時刻に第二の補助メジャー線３０４は移動される。
　また、第二の主メジャー線３０２と第二の補助メジャー線３０４についても、第一の主メジャー線３０１と第一の補助メジャー線３０３と同様に位置を変更可能であり、移動は時刻入力でもマウスやカーソル等による移動でもよい。
　第一の主メジャー線３０１が位置するＸ軸上換算時間を第一の時刻、第二の主メジャー線３０２が位置する時刻を第二の時刻とすると、画面３００には、第一の時刻と第二の時刻と共に、第一の時刻と第二の時刻の差である時間が表示される。
　また、選択された測定値中の第一の時刻に対応付けられた測定値を第一の測定値とし、各グラフ３３２間の第一の測定値同士の差を求めて表示し、また、第二の時刻に対応付けられた測定値を第二の測定値とすると、各グラフ３３２間の第二の測定値同士の差を求めて表示し、更に、二本用のマークが付されたグラフ３３２中の測定値であって、一つのグラフ３３２の第一の測定値と第二の測定値の差を、二本用のマークが付された測定値のグラフ３３２毎に表示する。図１６中では「計算値２」の欄である。
　第一の測定値又は第二の測定値に複数の測定値が含まれる場合は、第一の測定値の平均値、又は第二の測定値の平均値を求めて、平均値同士の差、又は平均値と第一又は第二の測定値の差を求めるようにすることもできる。
　各差の値は、正負符号を含めても良いし、絶対値で示しても良い。
　一本のグラフ３３２の、第一の測定値と第二の測定値の差を、グラフ３３２同士比較することで、各グラフ３３２が描かれた真空処理の状態の差が分かり、真空処理が行われた基板１５の特性を測定した結果の比較と、真空処理の比較とにより、装置の状態の変化等が分かるようになる。特に、処理機器群２３、２４に含まれる処理機器３１～３８の動作が開始される時刻を基準時刻として、複数の真空処理について、それぞれ第一、第二の時刻の間の差を求めて比較すると、比較対象とされた測定値に関係する処理機器３１～３８の処理内容を比較することができる。
 

Claims (44)

  1. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置であって、
    　前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、
    　前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、
    　前記始点開始時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ－Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するように構成された真空処理装置。
  2. 　前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、
    　一つの前記一次グラフの前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示する請求項１記載の真空処理装置。
  3. 　前記データ分析プログラムは、
    　表示した前記第二次グラフ線のうち、選択された前記第二次グラフ線は、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させる請求項２記載の真空処理装置。
  4. 　前記データ分析プログラムは、
    　移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量修正する請求項３記載の真空処理装置。
  5. 　前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
    　前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
    　所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定できるようにする請求項１乃至請求項４のいずれか１項記載の真空処理装置。
  6. 　前記データ分析プログラムは、前記タイミングチャートの、前記始点抽出時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成する請求項５記載の真空処理装置。
  7. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有する真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから第一次グラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　表示した前記第一次グラフ線の前記測定時刻の一つを抽出始点時刻とし、
    　前記第一次グラフ線の前記測定値のうち、前記測定時刻が前記抽出始点時刻以降の前記測定値を抽出し、
    　前記始点開始時刻を前記基準時刻として、抽出した前記測定値と前記測定時刻から、前記Ｘ－Ｙ座標上に第二次グラフ線を表示するグラフ表示方法。
  8. 　前記データ分析プログラムは、前記測定値から複数の前記第一次グラフ線を生成して前記表示装置に表示し、
    　一つの前記一次グラフの前記測定値の一つをその前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻とし、他の前記第一次グラフ線の前記抽出始点時刻を求め、表示した前記第一次グラフ線から前記第二次グラフ線を生成して前記表示装置に表示する請求項７記載のグラフ表示方法。
  9. 　表示した前記第二次グラフ線のうち所望のものを選択させ、選択された前記第二次グラフ線は、前記表示装置上で、前記Ｘ軸と平行に移動させる請求項８記載のグラフ表示方法。
  10. 　移動した前記第二次グラフ線の前記測定値に対応する前記Ｘ軸上換算時刻を、移動した前記第二次グラフ線の前記Ｘ軸上の移動量修正する請求項９記載のグラフ表示方法。
  11. 　前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
    　前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶された請求項７乃至請求項１０のいずれか１項記載のグラフ表示方法であって、
    　前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
    　所望の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を前記抽出始点時刻として指定できるグラフ表示方法。
  12. 　前記タイミングチャートの、前記始点抽出時刻よりも遅い時刻の前記動作開始時刻又は前記動作停止時刻を抽出終点時刻として指定して、前記抽出始点時刻と前記抽出終点時刻の間の前記測定時刻に対応した前記測定値を抽出して前記第二次グラフ線を生成する請求項１１記載のグラフ表示方法。
  13. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
    　所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置であって、
    　前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　表示した前記グラフ線のうち、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ－Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるように構成された真空処理装置。
  14. 　前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
    　前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記時間軸上の所定位置が前記基準時刻とし、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
    　選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させる請求項１３記載の真空処理装置。
  15. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
    　連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
    　所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、
    　前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置であって、
    　前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
    　表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、
    　選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動されるように構成された真空処理装置。
  16. 　移動された前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、
    　前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択され、
    　前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、
    　前記第一の測定値同士の差を表示するように構成された請求項１３乃至請求項１５のいずれか１項記載の真空処理装置。
  17. 　前記表示装置に表示され、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線が選択され、
    　前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、
    　前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、
    　前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させるように構成された請求項１６記載の真空処理装置。
  18. 　前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、
    　前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された請求項１７記載の真空処理装置。
  19. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、前記測定値の測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
    　所定枚数の前記処理対象物を連続して前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とからグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　表示した前記グラフ線のうち、所望のグラフ線を選択できるようにし、いずれか一個の前記グラフ線が選択されると、選択された前記グラフ線の前記ロットに属する他の表示された前記グラフ線も一緒に選択され、選択された前記グラフ線は前記Ｘ－Ｙ座標上を前記Ｘ軸が伸びる方向に一緒に同距離移動できるようにされたグラフ表示方法。
  20. 　前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
    　前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶されており、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記時間軸上の所定位置が前記基準時刻とし、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
    　選択された前記グラフ線と同じ前記ロットに属する前記タイミングチャートは、選択された前記グラフ線と一緒に、前記時間軸と平行で同方向に同距離移動させる請求項１９記載のグラフ表示方法。
  21. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
    　連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
    　所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、
    　前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示し、
    　表示した前記タイミングチャートのうち、いずれか一個の前記タイミングチャートを選択すると、選択された前記タイミングチャートが属する前記ロットに属する他の表示された前記タイミングチャートも一緒に選択され、選択された前記タイミングチャートは前記時間軸上を前記時間軸が伸びる方向に一緒に同方向に同距離移動できるように構成され、
    　選択された前記タイミングチャートと同じ前記ロットに属する前記グラフ線は、選択された前記タイミングチャートと一緒に同方向に同距離移動させるグラフ表示方法。
  22. 　移動させた前記グラフ線の前記測定値の前記Ｘ軸の位置から前記Ｘ軸上換算時刻を再計算し、
    　前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、
    　前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第一の時刻として指示されると、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、
    　前記第一の測定値同士の差を表示する請求項１９乃至請求項２１のいずれか１項記載のグラフ表示方法。
  23. 　前記表示装置に表示した、前記第一選択群以外の複数の前記グラフ線のうちから第二選択群のグラフ線を選択させ、
    　前記Ｘ軸上の前記Ｘ軸換算時刻が第二の時刻として指示されると、
    　前記第二選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第二の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第二の測定値を各前記グラフ線毎の第二の測定値とし、
    　前記第一の測定値と前記第二の測定値の差を前記表示装置に表示させる請求項２２記載のグラフ表示方法。
  24. 　前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一、第二の主メジャー線を表示し、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、
    　前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置は変更できるように構成され、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の時刻は、変更された前記第一、第二の主メジャー線が示す前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更する請求項２３記載のグラフ表示方法。
  25. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
    　連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
    　所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、
    　前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置であって、
    　前記記憶装置には、データ分析プログラムが記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値が選択されると、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線が第一選択群として選択され、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線が表示されると、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の第一の時刻とし、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示する真空処理装置。
  26. 　前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻が指示されると、前記第一選択群の前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値が第二の測定値として特定され、
    　一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示するように構成された請求項２５記載の真空処理装置。
  27. 　表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択でき、
    　選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値が特定される請求項２６記載の真空処理装置。
  28. 　異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示される請求項２６又は請求項２７のいずれか１項記載の真空処理装置。
  29. 　前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示される請求項２６記載の真空処理装置。
  30. 　前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示される請求項２６記載の真空処理装置。
  31. 　前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線が表示されると、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、
    　前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更されるように構成された請求項２６記載の真空処理装置。
  32. 　前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
    　前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示するように構成された真空処理装置。
  33. 　前記Ｘ－Ｙ座標上には表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線が表示されるように構成された請求項３２記載の真空処理装置。
  34. 　前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線がそれぞれ表示され、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、
    　前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成された請求項３３記載の真空処理装置。
  35. 　真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理部と、
    　前記真空処理部が出力した複数の測定値を、測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
    　前記測定値を演算する演算装置と、
    　前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
    　連続して真空処理された所定枚数の基板を一ロットとし、
    　所定枚数の前記処理対象物を連続して同じ前記真空処理したときの前記測定値を一ロットとし、複数の前記ロットの前記測定値が前記記憶装置に記憶され、
    　前記真空処理を行う装置を動作させる動作信号と、前記動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作を停止する動作停止時刻と共に、前記真空処理に対応付けて前記記憶装置に記憶された真空処理装置の、前記記憶装置に記憶された前記測定値のグラフ線を前記表示装置に表示するグラフ表示方法であって、
    　前記記憶装置内に記憶された複数の前記測定値から、グラフ線を表示する測定値を選択させ、選択された前記測定値の前記測定時刻を、所定の基準時刻からの時間であるＸ軸上換算時刻に換算し、
    　Ｘ－Ｙ座標のＸ軸上の所定位置を前記基準時刻の位置として、前記Ｘ軸上換算時刻から前記測定値の前記Ｘ軸上の位置を求め、前記測定値の大きさからＹ軸上の位置を求め、測定時刻が連続している複数の前記測定値の前記Ｘ軸上の位置と前記Ｙ軸上の位置とから複数のグラフ線を生成して前記Ｘ－Ｙ座標と共に表示装置に表示し、
    　前記表示装置に表示した複数の前記グラフ線のうちから二個以上の前記グラフ線を第一選択群として選択させ、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第一の主メジャー線が表示し、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の第一の時刻とし、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線の前記Ｘ軸上換算時刻のうち、前記第一の時刻に最も近い前記Ｘ軸上換算時刻に対応された測定値である第一の測定値を各前記グラフ線毎の第一の測定値とし、前記表示装置上で、前記第一の測定値を選択された前記グラフ毎に表示し、前記第一の測定値同士の差の値を表示するグラフ表示方法。
  36. 　前記第一の時刻に加え、前記Ｘ軸に含まれる前記Ｘ軸上換算時刻の範囲内の第二の時刻を指示させ、前記第一選択群の前記グラフ毎に、前記Ｘ軸上換算時刻が前記第二の時刻に最も近い前記測定値を第二の測定値として特定し、
    　一の前記グラフの前記第一の測定値と、他の前記グラフの前記第二の測定値との差の値と、前記第二の測定値とも前記表示装置に表示する請求項３５記載のグラフ表示方法。
  37. 　表示された複数の前記グラフのうち、二個以上の前記グラフが選択でき、
    　選択された前記グラフに含まれる測定値から、前記第一、第二の測定値を特定させる請求項３６記載のグラフ表示方法。
  38. 　異なる前記グラフ間の前記第二の測定値同士の差の値も前記表示装置に表示する請求項３６又は請求項３７のいずれか１項記載のグラフ表示方法。
  39. 　前記第一の時刻と前記第二の時刻が前記表示装置に表示する請求項３６記載のグラフ表示方法。
  40. 　前記第一の時刻と前記第二の時刻の差である時間が前記表示装置に表示する請求項３６記載のグラフ表示方法。
  41. 　前記第一の主メジャー線に加え、前記表示装置に前記Ｙ軸と平行な第二の主メジャー線を表示すると、
    　前記第一選択群の各前記グラフ線と前記第一の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第一の時刻とし、
    　前記第二選択群の各前記グラフ線と前記第二の主メジャー線との交点の前記Ｘ軸上換算時刻を、各前記グラフ毎の前記第二の時刻とし、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置を変更すると、前記第一、第二の時刻は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の前記Ｘ軸上換算時刻にそれぞれ変更する請求項３６記載のグラフ表示方法。
  42. 　前記真空処理を行う処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが含まれる制御信号が前記制御装置から出力され、
    　前記制御信号は、前記動作を開始する動作開始時刻と前記動作の停止を開始する動作停止時刻と共に前記記憶装置に記憶され、
    　前記データ分析プログラムは、
    　前記記憶装置に記憶された前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の、前記基準時刻からの時間である時間軸上換算時刻を求め、
    　前記表示装置上では、前記Ｘ軸と離間した位置に、前記Ｘ軸と平行に時間軸を表示し、
    　前記Ｙ軸と平行な一直線が前記Ｘ軸と前記時間軸とに交叉した交点がそれぞれ示す前記Ｘ軸上換算時刻と前記時間軸上換算時刻は同じ時刻になるようにして前記動作開始時刻と前記動作停止時刻の前記時間軸上の位置を求め、
    　前記表示装置上には、前記時間軸上で、前記動作信号と前記停止信号を示す高さが異なる横線分を有するタイミングチャートで前記制御信号を表示する請求項４１記載のグラフ表示方法。
  43. 　前記Ｘ－Ｙ座標上には、表示された前記タイミングチャートの前記制御信号によって行われた前記真空処理中に測定された前記測定値から生成された前記グラフ線を表示する請求項４２記載のグラフ表示方法。
  44. 　前記第一、第二の主メジャー線の延長線上に、前記制御信号の表示と交叉する第三、第四の主メジャー線がそれぞれ表示させ、
    　前記第一、第二の主メジャー線の位置が変更されると、前記第三、第四の主メジャー線は、位置が変更された前記第一、第二の主メジャー線の延長線上の位置に移動され、
    　前記第三、第四の主メジャー線の位置が変更されると、前記第一、第二の主メジャー線は、位置が変更された前記第三、第四の主メジャー線の延長線上の位置にそれぞれ移動されるように構成された請求項４３記載のグラフ表示方法。
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