JP5100791B2 - グラフのグループ移動による表示プログラム - Google Patents
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Description
本発明は、前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフを含むことができる表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第一のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第一のグラフと前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第二のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第二のグラフと前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する表示プログラムである。
本発明は、上記いずれかの表示プログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置である。
真空処理部20は、真空槽11を有しており、真空槽11には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群23が設けられている。
真空槽11の外部には周辺機器群24と制御部21とが配置されている。
周辺機器群24は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系36と、ガス導入系37と、ヒータ用電源38と、蒸着用電源39とが含まれている。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板15に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。
コンピュータ40は、演算装置42と、記憶装置43と、表示装置44とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置43に記憶される。
従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理の内容に対応付けられ、処理された内容が分かるようになっている。
制御信号は、ここではハイとローの二値であり、動作信号の信号状態はハイを示す数値として記憶され、停止信号の信号状態はローを示す数値として記憶されている。
記憶装置43には、真空処理の分析を行う本発明のプログラムが記憶されており、分析を行う操作者がそのプログラムを起動すると、演算装置42は、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に読み込み、演算して、後述する第一、第二のグラフを生成する。
その画面100には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄110と、制御信号特定欄120とが設けられている。
また、測定値特定欄110と制御信号特定欄120には、第一、第二の表示指示列114、124が設けられている。
曲線表示領域130には、水平方向の辺に沿ったX軸と、鉛直方向に沿ったY軸とから成るXY座標が表示され、タイミングチャート表示領域140には、X軸と平行な時間軸141が表示される。符号131は、XY座標の原点である。
分析装置40には、複数のファイル名称151のデータに含まれる測定値と、その測定値に対応する制御信号とが区別して読み込まれて記憶されている。
曲線表示領域130に表示した測定値に対応した制御信号のチェックボックス154、164はチェックされている。
制御信号の値は、時間軸141上で、X軸と平行な横方向に伸びる横線分であってハイがローよりも上に配置されたタイミングチャートが第二のグラフ144a、144c、144dとして、異なる高さに配置されている。
画面100上の水平方向の距離は時間を表し、水平方向の単位長さ当たりの時間は、キーボードから入力される。又は、読み込む測定値の時間などから算出することもできる。
また、Y軸上の単位長さあたりの値と原点の値から、各測定値のY軸上の位置が算出される。
X軸と時間軸141の両方に交差するY軸と平行な直線は、X軸と時間軸141と、同じ換算時刻で交差する。
図3では、複数の第一のグラフ134a、134c、134dが重なって表示されている。
ノイズ147の立上りの換算時刻と、最初の動作開始時刻の換算時刻との間の時間の距離だけ移動すると、移動した第二のグラフ144b’の最初の動作開始時刻の修正換算時刻と、移動しなかった第二のグラフ144cの最初の動作開始時刻の換算時刻は同じ時刻になる。
それとは異なり、本発明では、メジャー線は各々独立に移動できるようにしてもよい。
11……真空槽
15……処理対象物
20……真空処理部
21……制御部
23……処理機器群
24……周辺機器群
31〜34……処理機器
36〜39……周辺機器
40……分析装置(コンピュータ)
41……シーケンサ
42……演算装置
43……記憶装置
44……表示装置
101〜104……メジャー線
134a〜134d……第一のグラフ
144a〜144d……第二のグラフ
Claims (5)
- 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理装置と、
前記真空処理装置から送信された複数の測定値を、前記測定値が発生した測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記記憶装置の記憶内容を読んで演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
前記真空処理を行なう前記真空処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが値として含まれる制御信号が、前記測定値と対応付けて前記記憶装置に記憶され、
前記動作信号が開始された時刻である動作開始時刻と、前記動作開始信号が停止した時刻である動作停止時刻とが前記記憶装置に記憶された分析装置内の、前記測定値を処理する表示プログラムであって、
前記測定時刻と、前記動作開始時刻と、前記動作停止時刻とを、前記基準時刻からの時刻である換算時刻と、動作開始換算時刻と、動作停止換算時刻とにそれぞれ変換し、
前記測定値の大きさを前記画面上の縦方向の距離に換算し、
前記換算時刻を、前記基準時刻の画面上の位置からの横方向の距離に換算して、前記測定値と前記測定時刻を有する測定点を前記画面上に表示することで第一のグラフを表示し、
前記測定信号の値と、前記動作開始換算時刻と、前記動作停止換算時刻とから、前記基準時刻の位置を基準として、前記画面上に第二のグラフを表示し、
同一の前記真空処理の前記測定値と前記制御信号とからそれぞれ得られた第一、第二のグラフを関連づけておき、
前記第一、第二のグラフのうち、所望の前記第一、第二のグラフを選択できるようにし、
関連づけられた第一又は第二のグラフのうち、一方が選択されると両方を移動対象にし、
横方向の移動量を入力できるようにし、
前記移動量を前記画面上の横方向の距離に換算して移動対象の前記第一、第二のグラフを前記画面上で横方向に移動させる表示プログラム。 - 前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフを含むことができる請求項1記載の表示プログラム。
- 前記画面上で移動でき、前記第一のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第一のグラフと前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の表示プログラム。 - 前記画面上で移動でき、前記第二のグラフと交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第二のグラフと前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の表示プログラム。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の表示プログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置。
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