WO2011158690A1 - グラフのグループ移動による表示プログラム - Google Patents
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Abstract
測定値を表す第一のグラフ線と制御信号を表す第二のグラフ線を用いて測定値を正確に分析できる技術を提供する。 本発明では、同じファイル名称で特定される第一、第二のグラフ線は互いに関連づけられており、画面(100)上に表示される測定値の第一のグラフ線(134a、134c、134d)と、第二のグラフ線(144a、144c、144d)のうち、所望のものを選択し、移動対象にすると、関連づけられた第一、第二のグラフ線が一緒に移動するようになっている。 従って、測定値の第一のグラフ線とタイミングチャートである第二のグラフ線の間の関係は、移動があっても維持されるので、分析ミスが発生することがない。
Description
本発明は、真空処理装置の技術分野に係り、特に、真空処理装置を用いた量産技術に関する。
真空処理技術は、スパッタリング方法、CVD方法、蒸着方法等の成膜技術や、エッチング技術、表面改質技術、不純物注入技術、真空乾燥技術等があり、広い分野で用いられている。
真空処理技術によって製品を量産する場合には、同一規格の処理対象物に同じ真空処理を行うことが多いが、製造条件が同一であっても、真空処理装置の状態や、前処理の状態の相違から、品質にはバラツキがあるのが普通である。
品質のバラツキが大きい場合は、大きなバラツキが生じた原因を分析し、再発を防止する製造工程管理が重要であり、実際に製品を量産しているときも、動作中の真空処理装置の温度や圧力、投入電力や処理に要する時間等を測定し、測定結果をロット間で比較、検証することが行われている。
特に、真空処理装置から得られた測定結果をロット間や真空処理装置間で比較しようとする場合は、製品製造の際に測定した測定結果に、真空処理装置やロットが分かるようにファイル名称を付し、測定結果をグラフ化し、その形の比較を行っていた。
しかしながら、真空処理装置内の測定対象の機器が増加し、また、測定する項目である物理量の種類も増え、多数のロット間の測定値をグラフ化して比較することが困難であり、簡単で正確な比較をおこなうことができるプログラムや分析装置が求められている。
上記課題を解決するために本発明は、真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理装置と、前記真空処理装置から送信された複数の測定値を、前記測定値が発生した測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、前記記憶装置の記憶内容を読んで演算する演算装置と、前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、前記真空処理を行なう前記真空処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが値として含まれる制御信号が、前記測定値と対応付けて前記記憶装置に記憶され、前記動作信号が開始された時刻である動作開始時刻と、前記動作開始信号が停止した時刻である動作停止時刻とが前記記憶装置に記憶された分析装置内の、前記測定値を処理する表示プログラムであって、前記測定時刻と、前記動作開始時刻と、前記動作停止時刻とを、前記基準時刻からの時刻である換算時刻と、動作開始換算時刻と、動作停止換算時刻とに変換し、前記測定値の大きさを前記画面上の縦方向の距離に換算し、前記換算時刻を、前記基準時刻の画面上の位置からの横方向の距離に換算して、前記測定値と前記測定時刻を有する測定点を前記画面上に表示することで第一のグラフ線を表示し、前記測定信号の値と、前記動作開始換算時刻と、前記動作停止換算時刻とから、前記基準時刻の位置を基準として、前記画面上に第二のグラフ線を表示し、同一の前記真空処理の前記測定値と前記制御信号とからそれぞれ得られた第一、第二のグラフ線を関連づけておき、前記第一、第二のグラフ線のうち、所望の前記第一、第二のグラフ線を選択できるようにし、関連づけられた第一又は第二のグラフ線のうち、一方が選択されると両方を移動対象にし、横方向の移動量を入力できるようにし、前記移動量を前記画面上の横方向の距離に換算して移動対象の前記第一、第二のグラフ線を前記画面上で横方向に移動させる表示プログラムである。
本発明は、前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフ線を含むことができる表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第一のグラフ線と交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第一のグラフ線と前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第二のグラフ線と交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第二のグラフ線と前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する表示プログラムである。
本発明は、上記いずれかの表示プログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置である。
本発明は、前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフ線を含むことができる表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第一のグラフ線と交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第一のグラフ線と前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する表示プログラムである。
本発明は、前記画面上で移動でき、前記第二のグラフ線と交差するメジャー線を前記画面上に表示し、前記第二のグラフ線と前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する表示プログラムである。
本発明は、上記いずれかの表示プログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置である。
測定値を画面上に表示した第一のグラフ線と、その測定値に対応する制御信号を表示した第二のグラフ線とをX軸上の同一方向同一距離移動させるので、測定値と制御信号の相対的な関係を維持することができ、分析ミスを防止することが出来る。
図1の符号1は、本発明の真空処理装置の一例であり、真空処理部20と制御部21とを有している。
真空処理部20は、真空槽11を有しており、真空槽11には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群23が設けられている。
真空処理部20は、真空槽11を有しており、真空槽11には、処理対象物である基板の真空処理を行う処理機器群23が設けられている。
処理機器群23は、複数の処理機器を有しており、ここでは処理機器には、真空槽11の底面に配置された蒸着源34と、蒸着源34に電子線を照射するEBガン33と、蒸着源34の上方に配置された保持装置31と、保持装置31の内部に配置されたヒータ32とが含まれる。
図1の符号15は、処理対象物である基板であり、成膜面を蒸着源34に向けて保持装置31に保持されている。
真空槽11の外部には周辺機器群24と制御部21とが配置されている。
周辺機器群24は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系36と、ガス導入系37と、ヒータ用電源38と、蒸着用電源39とが含まれている。
真空槽11の外部には周辺機器群24と制御部21とが配置されている。
周辺機器群24は、複数の周辺機器を有しており、ここでは周辺機器には、真空排気系36と、ガス導入系37と、ヒータ用電源38と、蒸着用電源39とが含まれている。
真空排気系36とガス導入系37は真空槽11に接続されており、真空排気系36を動作させて真空槽11の内部を真空排気することができ、ガス導入系37を動作させて真空槽11の内部にガス導入系37から反応性ガス等のガスを導入でき、例えば反応性蒸着を行うことができる。
ヒータ用電源38と蒸着用電源39は、ヒータ32とEBガン33にそれぞれ接続されており、ヒータ用電源38と蒸着用電源39からヒータ32とEBガン33にそれぞれ電力を供給する。
ヒータ32は供給された電力で発熱し、保持装置31を昇温させて真空雰囲気中で基板15を加熱する。EBガン33は供給された電力で蒸着源34に電子ビームを照射し、蒸着源34内に配置された蒸着材料を加熱し、真空槽11内の真空雰囲気中に蒸着材料の蒸気を放出させる。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板15に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。
この蒸気は真空雰囲気や反応ガス雰囲気中で基板15に到達し、その成膜面に薄膜を形成する。
周辺機器群24には、処理機器群23に含まれる処理機器にセンサ部分が取り付けられ、温度測定や圧力測定などの物理量の測定を行う測定装置も含まれており、また、ヒータ用電源38や蒸着用電源39等の内部に配置され、電流や電圧等の物理量を測定する測定装置も含まれている。
周辺機器群24では、周辺機器群24に含まれる周辺機器が測定した真空槽11内の圧力、基板15の温度、ガス導入量、ヒータ32へ流れた電流量、EBガン33に供給した電力等の測定値が生成されており、測定値は、測定値と測定値を測定した測定時刻とが対応されて、周辺機器群24から制御部21に入力されている。
制御部21には、シーケンサ41と分析装置40とが配置されており、周辺機器群24から入力された測定値と測定時刻は、シーケンサ41を介して分析装置40に入力される。
分析装置40は、演算装置42と、記憶装置43と、表示装置44とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置43に記憶される。
分析装置40は、演算装置42と、記憶装置43と、表示装置44とを有しており、入力された測定値は、測定時刻と共に記憶装置43に記憶される。
真空槽11で基板15の真空処理が終了すると、真空処理がされた基板15は真空槽11の外部に搬出され、未処理の基板が搬入され、真空処理が行われる。
同一条件で連続して真空処理された複数枚の基板は一ロットに属するようにされており、一ロットごとに異なるロット番号が付与されており、真空処理された基板はロット番号が分かるように、測定値はロット番号と共に記憶装置43に記憶される。
ファイル名称には、ロット番号やロット名称等、ロットを区別できる表示が含まれており、また、一つのロット内でも、異なる真空処理は区別できるように、真空処理番号等の真空処理が区別できる表示も含まれている。
従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理の内容に対応付けられ、処理された内容が分かるようになっている。
従って、測定値は、そのファイル名称から、ロットと真空処理の内容に対応付けられ、処理された内容が分かるようになっている。
他方、シーケンサ41には、真空処理部20を動作させる手順が記憶されており、シーケンサ41からは、周辺機器群24や処理機器群23に対して出力され、動作の開始と停止を制御しながら周辺機器群24や処理機器群23を動作させて真空処理を行うための制御信号が出力されている。この制御信号には、周辺機器群24や処理機器群23を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが少なくとも含まれている。
制御信号は、周辺機器群24に含まれる周辺機器36~39や処理機器群23に含まれる処理機器31~34に出力されると共に、分析装置40にも出力されている。また、シーケンサ41から分析装置40には、制御信号と共に、動作信号の出力が開始された動作開始時刻と、動作信号の出力が停止され、停止信号の出力が開始されて動作が停止した動作停止時刻とが、動作信号と停止信号に対応付けて出力されており、制御信号には、制御信号によって行われた真空処理のロット番号や真空処理番号等が付され、ロットと真空処理に対応付けられ、動作開始時刻と動作停止時刻と共に記憶される。
この真空処理装置1では、複数ロットの基板の真空処理が行われ、記憶装置43に複数ロットの真空処理の測定値と、測定値に対応した測定時刻と、その真空処理を制御した制御信号と、制御信号中の動作開始時刻と動作停止時刻とが記憶されている。
制御信号は、ここではハイとローの二値であり、動作信号の信号状態はハイを示す数値として記憶され、停止信号の信号状態はローを示す数値として記憶されている。
制御信号は、ここではハイとローの二値であり、動作信号の信号状態はハイを示す数値として記憶され、停止信号の信号状態はローを示す数値として記憶されている。
ここでは一つのファイル名称に対応したデータは、同一ロットのものであり、一ロット中に含まれる複数の測定値と、各測定値毎に対応した測定時刻と、測定値が得られた真空処理を制御するための制御信号の信号状態を示す値と、信号状態の値が変化したときの時刻とが含まれている。測定時刻は、測定値が一定の時間間隔で測定されていれば、基準となる基準時刻と、測定値の測定順序と、測定の時間間隔の値とがファイル名称で示したデータ中に含まれていて、測定時刻は演算によって求められるものでもよい。
複数の真空処理の測定結果を比較して分析するために、コンピュータから成る本発明の分析装置40の操作手順について説明する。
記憶装置43には、真空処理の分析を行う本発明のプログラムが記憶されており、分析を行う操作者がそのプログラムを起動すると、演算装置42は、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に読み込み、演算して、後述する第一、第二のグラフ線を生成する。
記憶装置43には、真空処理の分析を行う本発明のプログラムが記憶されており、分析を行う操作者がそのプログラムを起動すると、演算装置42は、複数の真空処理に対応する測定値を、測定値が生成された測定時刻と共に読み込み、演算して、後述する第一、第二のグラフ線を生成する。
分析する測定値は、ここでは、同じ処理機器31~34又は周辺機器36~39の測定結果であり、同じ物理量である。測定時刻の間隔は、一真空処理中で一定であり、かつ真空処理と真空処理の間でも一定値であるようにされている。
また、読み込む測定値が生成されたときの真空処理を制御していた制御信号も、読み込む。動作開始時刻と動作停止時刻は、例えば、測定時刻中に含まれる時刻にすることができる。制御信号のロットや真空処理との対応関係は、制御信号のファイルの名称で分かる。
図2の符号100は、分析装置40に接続された表示装置44の画面を示している。分析装置40とLAN等の手段によって交信する他の分析装置の表示装置の画面であっても良い。
その画面100には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄110と、制御信号特定欄120とが設けられている。
その画面100には、読み込みを行った測定値と、その測定値に対応する制御信号を特定するために、測定値特定欄110と、制御信号特定欄120とが設けられている。
測定値の変化と、制御信号の変化を対応して視認できるように、画面100の他の領域は、測定値をむすんだ線である第一のグラフ線を表示する曲線表示領域130と、制御信号のグラフである第二のグラフ線を表示するタイミングチャート表示領域140とに区分けされている。
測定値は、ロットと真空処理に加え、そのファイル名称151で、測定値の種類(例えば、電流値、電圧、圧力等)を特定できるようにされており、測定値特定欄110と制御信号特定欄120には、読み込みを行った測定値のファイル名称151と、読み込みを行った制御信号の値のファイル名称161とを、縦一列に表示する第一、第二の名称表示列111、121がそれぞれ設けられている。
一ファイル名称で測定値と制御信号が読み込まれるから、第二の名称表示列121には、第一の名称表示列111に表示されたファイル名称151と同じ内容のファイル名称161が表示されている。
また、測定値特定欄110と制御信号特定欄120には、第一、第二の表示指示列114、124が設けられている。
また、測定値特定欄110と制御信号特定欄120には、第一、第二の表示指示列114、124が設けられている。
第一、第二の表示指示列114、124には、チェックボックス154、164が、チェックボックス154、164とファイル名称151、161とが一対一に対応するように、ファイル名称151、161と同じ高さに縦一列にそれぞれ表示されている。
チェックボックス154、164のうち、画面100上にグラフとして表示させたいファイル名称151、161と同じ高さに位置し、そのファイル名称151、161に対応するチェックボックス154、164にチェックを付すと、対応するファイル名称151、161の測定値と制御信号とが、後述するように、第一、第二のグラフ線としてそれぞれ表示される。
このような第一、第二の表示指示列114、124のチェックボックス154、164以外のチェックボックスを含め、画面100上のチェックボックスへのチェックは、画面上でチェックボックスの上にマウスのポインタの先端を位置させ、マウスの左ボタンを押下することで行うことが出来る。
表示装置44の画面100は四角形であり、その四角形の四辺のうち、水平方向に配置される一辺と鉛直方向に配置される一辺に沿って、行列状に画素が配置されている。
曲線表示領域130には、水平方向の辺に沿ったX軸と、鉛直方向に沿ったY軸とから成るXY座標が表示され、タイミングチャート表示領域140には、X軸と平行な時間軸141が表示される。符号131は、XY座標の原点である。
曲線表示領域130には、水平方向の辺に沿ったX軸と、鉛直方向に沿ったY軸とから成るXY座標が表示され、タイミングチャート表示領域140には、X軸と平行な時間軸141が表示される。符号131は、XY座標の原点である。
X軸は、時刻を示す軸線であり、X軸上の一時刻を現在時刻とすると、X軸上、画面左方側が過去、右方側が未来である。Y軸は、測定値の大きさが表示される。
分析装置40には、複数のファイル名称151のデータに含まれる測定値と、その測定値に対応する制御信号とが区別して読み込まれて記憶されている。
分析装置40には、複数のファイル名称151のデータに含まれる測定値と、その測定値に対応する制御信号とが区別して読み込まれて記憶されている。
読み込まれたデータのファイル名称151、161は、画面100上に表示されており、それらファイル名称151、161のうち、分析を行う操作者によって所望のものが選択されてチェックボックス154、164にチェックが付されると、選択されたファイル名称151、161の測定値と制御信号の値とが、測定時刻と共に、曲線表示領域130とタイミングチャート表示領域140に、第一、第二のグラフ線として表示される。
ここでは、図3に示すように、曲線表示領域130には、読み込んだ測定値から生成された複数の第一のグラフ線134a、134c、134dが表示されているが、それらは画面100上に表示された部分の多くが重なり合っている。
曲線表示領域130に表示された測定値に対応した制御信号のチェックボックス154、164はチェックされている。
曲線表示領域130に表示された測定値に対応した制御信号のチェックボックス154、164はチェックされている。
タイミングチャート表示領域140には、曲線表示領域130に表示されたX軸が平行移動されて時間軸141が表示されている。
制御信号の値は、時間軸141上で、X軸と平行な横方向に伸びる横線分であってハイがローよりも上に配置されたタイミングチャートが第二のグラフ線144a、144c、144dとして、異なる高さに配置されている。
制御信号の値は、時間軸141上で、X軸と平行な横方向に伸びる横線分であってハイがローよりも上に配置されたタイミングチャートが第二のグラフ線144a、144c、144dとして、異なる高さに配置されている。
制御信号中の測定時刻には、制御信号の動作開始の時刻を示す動作開始時刻と、動作停止の時刻を示す動作停止時刻とがあり、それらの測定時刻や、測定値と対応した測定時刻は、一日を24時間とし、午前零時を始点とした時刻であり、西暦及び月日付も付随していて、同一時刻でも西暦、月、又は日付のうちの一つが異なれば、異なる時刻になる。従って、同一装置の異なる測定値は、異なる測定時刻に対応されている。
それに対し、異なる時刻である基準時刻が真空処理毎に設定されており、本例でも、読み込んだ測定値に対応された測定時刻は、その測定値の基準時刻からの時間である換算時刻に換算され、測定値と対応付けてメモリや記憶装置43に記憶される。
上記第一、第二のグラフ線134a、134c、134d、144a、144c、144dの表示方法を説明すると、基準時刻については、各測定値の最初の動作開始時刻以前の時刻に設定されており、基準時刻のX軸上の位置は、画面上の所定の位置(ここではX軸の原点)である。
画面100上の水平方向の距離は時間を表し、水平方向の単位長さ当たりの時間は、キーボードから入力される。又は、読み込む測定値の時間などから算出することもできる。
画面100上の水平方向の距離は時間を表し、水平方向の単位長さ当たりの時間は、キーボードから入力される。又は、読み込む測定値の時間などから算出することもできる。
従って、各測定値のX軸上の位置は、基準時刻の画面上の位置と、水平方向の単位長さ当たりの時間とにより、各測定値の換算時刻から、各測定値のX軸上の位置が算出される。
また、Y軸上の単位長さあたりの値と原点の値から、各測定値のY軸上の位置が算出される。
また、Y軸上の単位長さあたりの値と原点の値から、各測定値のY軸上の位置が算出される。
その結果、各測定値は、対応するX-Y軸上の位置に表示され、測定値が表示された位置のうち、隣接する位置を結ぶ線分によって、上記の第一のグラフ線134a、134c、134dが表示される。
制御信号については、ハイを示す横線分の左端が動作開始時刻であり右端が動作停止時刻であり、ローを示す横線分の左端が動作終了時刻、右端が動作開始時刻であり、動作開始時刻と動作停止時刻は換算時刻に変換され、動作開始換算時刻と動作停止終了時刻にされて、第二のグラフ線144a、144c、144dが時間軸141上に表示される。
ハイの右端部とローの左端部とハイの左端部とローの右端部とは、同一時刻に位置しており、同一時刻の端部は縦線分148、149で結ばれており、その縦線分148、149の時間軸141上の位置が、動作開始時刻又は動作停止時刻を示している。
第二のグラフ線144a、144c、144dでは、制御信号のローからハイに転じる立ち上り位置が動作開始時刻であり、ハイからローに転じる立ち下がり位置が動作停止時刻である。動作開始時刻から動作停止時刻の間が動作信号である。
なお、制御信号は真空処理装置1が起動した後の最初の動作信号が出力されるまで停止信号にされており、本例では、最初の動作信号が出力される時刻が最初の動作開始時刻である。
各周辺機器36~39又は処理機器31~34は、各器機31~34、36~39毎に一定の時間間隔で測定値を送信しており、従って、同じ器機31~34、36~39が測定した測定値は、一定の時間間隔の測定時刻で測定されている。
この一定の時間間隔は、測定対象の物理量が同じであれば、真空処理が異なっても同じ時間間隔にされており、従って、測定時刻の一つを基準時刻とし、基準時刻を基準に換算時刻を算出させると、複数のファイル名称151の測定値を読み込むと、一個の換算時刻に各ファイル名称151の測定値が対応されることになる。
測定値の画面上の垂直方向の位置は、原点の位置と、垂直方向の単位長さあたりの値とにより、測定値を垂直方向Y軸上の位置に換算することで求められている。原点は基準時刻を通る垂線であるY軸上に位置している。
動作開始時刻と動作停止時刻も、測定値と同じ基準時刻を基準とし、基準時刻からの時間である換算時刻に換算されている。
X軸と時間軸141の両方に交差するY軸と平行な直線は、X軸と時間軸141と、同じ換算時刻で交差する。
X軸と時間軸141の両方に交差するY軸と平行な直線は、X軸と時間軸141と、同じ換算時刻で交差する。
次に、本データ解析プログラムを用い、グラフを移動させる手順について説明する。
図3では、複数の第一のグラフ線134a、134c、134dが重なって表示されている。
図3では、複数の第一のグラフ線134a、134c、134dが重なって表示されている。
本発明の解析プログラムは、画面100上に表示された第一、第二のグラフ線134a、134c、134d、144a、144c、144dのうち、分析装置40の操作者が所望のものを選択できるようにされている。
同じファイル名称151、161の第一、第二のグラフ線134a、134c、134d、144a、144c、144dは、互いに関連づけられており、操作者が第一のグラフ線134aを選択して移動対象にすると、それに関連づけられた第二のグラフ線144aも移動対象にされる。逆に、第二のグラフ線144aを選択して移動対象にすると、それに関連づけられた第一のグラフ線134aも移動対象にされる。このように、同じファイル名称151、161の第一、第二のグラフ線134a、144aは、一方が選択されて移動対象にされると他方も移動対象にされる。
選択に関し、測定値特定欄110と制御信号特定欄120には、第一、第二の移動指示列117、127がそれぞれ設けられており、その第一、第二の移動指示列117、127には、ファイル名称151、161に対応されたチェックボックス157、167が縦一列にそれぞれ配置されている。
第一又は第二の移動指示列117、127のチェックボックス157、167に操作者がチェックすることで、チェックされたチェックボックス157、167に対応するファイル名の第一又は第二のグラフ線134a、144aが移動対象になる。
また、操作者は、表示された第一、第二のグラフ線134a、134c、134d、144a、144c、144dのうち、画面100上で、移動させる第一又は第二のグラフ線134a、144a上にマウスのポインタの先端を位置させ、マウスの左ボタンを押下して選択することができる。
このとき、マウスの左ボタンを押下した後、押下の状態を維持しながらマウスを移動させ、ポインタをX軸に沿って移動させ、所望位置で左ボタンの押下を終了させると、ポインタの移動量が、移動させる距離になる。ポインタの移動に伴って、ポインタ先端が位置した状態でマウスの左ボタンが押下された第一、第二のグラフ線134a、134c、134d、144a、144c、144dをポインタと共に、表示しながらX軸に沿って移動するようにしてもよい。
移動量については、操作者は、キーボードでも入力することができるようにされており、画面上の移動距離を直接入力することができ、移動量がX軸上の移動時間で入力されると、画面上の距離に換算することができる。
操作者が選択する方法については、表示装置の画面100に表示された指示用の図形(不図示)上にマウスのポインタを位置させ、その状態でマウスの左ボタンを押下して、名称を入力する画面を表示させ、キーボードを用いてファイル名称を入力することもできる。
いずれにしろ、選択された第一、第二のグラフ線134a、144aは、分析装置40内では、選択されなかった第一、第二のグラフ線134c、134d、144c、144dと区別される。
図4の符号134a’、144a’は、入力された移動距離を移動された第一、第二のグラフ線を示しており、その画面からは、移動前の第一、第二のグラフ線134a、144aは消去されている。
移動量は、未来方向(右方向)への移動を正、過去方向(左方向)への移動を負としてX軸の移動距離と時間の関係から修正時間に変換され、修正時間が換算時刻に加算されて修正換算時刻が求められる。
第一のグラフ線134a中の各測定点や第二のグラフ線144a中の各点は、修正換算時刻の値に対応するX軸の位置上又は時間軸141の位置上に表示される。
移動後の第一のグラフ線134a’は、移動後の測定点を示す隣接する点間が、直線や曲線で結んで表示される。移動後の第二のグラフ線144a’は、動作開始時刻と動作停止時刻に、修正時間を加算した移動後動作開始時刻と移動後動作停止時刻が算出されている。
移動された第一、第二のグラフ線134a’、144a’に対応する換算時刻の値は変化はなく、移動前と同じであるから、移動後は、移動後のグラフ線の各測定点の換算時刻は、各測定点の真下位置のX軸上換算時刻とは異なっている。
移動後の第二のグラフ線144a’の表示方法は、移動前の第二のグラフ線144aの場合と同じであり、時間軸141上でハイの表示とローの表示が移動され、移動後動作開始時刻と移動後動作停止時刻において、一つの停止信号の端部と動作信号の端部とが画面上で結ばれる。
移動後の第一のグラフ線134a’と、移動後の第二のグラフ線144a’との間の相対的な位置関係は、移動前の第一、第二のグラフ線134a、144a間の位置関係と変わらないので、第二のグラフ線144a、144a’に示された動作開始時刻や動作停止時刻に対する第一のグラフ線134a、134a’との関係も変わらず、第一のグラフ線134a、134a’のピークの位置と第二のグラフ線の信号値変化の位置との関係も変わらない。
移動後の各グラフ線の測定値や制御信号の値の確認方法について説明すると、測定値特定欄110と制御信号特定欄120には、第一、第二のメジャー指示列113、123がそれぞれ設けられており、第一、第二のメジャー指示列113、123には、チェックボックス153、163がファイル名称151、161に対応付けて設けられている。
操作者が第一、第二のメジャー指示列113、123のチェックボックス153、163にチェックを付すと、チェックを付されたファイル名称151の測定値と制御信号に対応したメジャー線が表示される。
図5では、移動しない複数組の第一、第二のグラフ線134c、144c、134d、144dのうち、一組の第一、第二のグラフ線134c、144cのファイル名称151、161のチェックボックス153、163と、移動した第一、第二のグラフ線134a’、144a’のファイル名称151、161のチェックボックス153、163にチェックが付されており、合計四項のチェックボックス153、163にチェックが付され、四個の第一、第二のグラフ線134c、134a’、144c、144a’に対応したメジャー線101、102、103、104が表示されている。
各メジャー線101、102、103、104は画面100上で、X軸とは垂直な方向に伸びる直線であり、各メジャー線101、102、103、104は、操作者のキーボードやマウスによる移動距離の入力によって、X軸に沿った方向に移動することができる。
各メジャー線101、102、103、104は移動可能であり、各メジャー線101、102、103、104が表示されたとき又は移動したときに、対応する第一、第二のグラフ線134c、134a’、144c、144a’上の所望の点と交差できるように配置されており、各メジャー線101、102、103、104が、対応する第一、第二のグラフ線134c、134a’、144c、144a’と交差したときには、第一のグラフ線134c、134a’との交差では、交点の測定値と換算時刻とが表示され、第二のグラフ線144c、144a’との交差では、交点の制御信号の値(ハイ又はロー)と、交点に対応する時間軸141上の換算時刻が表示される。
交点の換算時刻、測定値、制御信号の値はそれらが得られるメジャー線101~104の近くに表示される。測定値には、交点を区別するための記号(ここでは、P1、P2の符号)を付して表示される。
移動後の第一、第二のグラフ線134a’、144a’は、曲線表示領域130上の重なっていた位置から別の位置に移動するから、移動した第一、第二のグラフ線134a’、144a’と、移動しなかった第一、第二のグラフ線134c、134d、144c、144dとの形状比較が容易になる。
移動した第一、第二のグラフ線134a’、144a’の間の位置関係と、移動しなかった第一、第二のグラフ線134c、144cの間の位置関係とを比較することも容易になる。
なお、メジャー線101~104の移動は、ポインタ先端を移動させたいメジャー線101~104に乗せ、マウス左ボタンを押下したままマウスを移動させると、ポインタと共に移動させたいメジャー線101~104も移動するように構成されており、所望位置で押下を終了すれば、所望のメジャー線101~104を移動させることができる。
また、第一のグラフ線134aが移動するときは、その第一のグラフ線134aに対応した第二のグラフ線144aも移動しており、移動後の第一のグラフ線134a’と交差するメジャー線102と、移動後の第二のグラフ線144a’と公差するメジャー線104とを一直線配置すると、同じ換算時刻の測定値と、それに対応した制御信号の値を読み取ることができる。
以上は、重なった第一のグラフ線134a、134c、134dのうち、所望の第一のグラフ線134aを移動させる場合であったが、離間したグラフを一致させることも出来る。
図6は、上記移動した第一、第二のグラフ線134a’、144a’の表示を指示したチェックボックス157、167と、メジャー線101~104を表示させたチェックボックス153、163とに対し、付与されたチェックを消去することで、対応する第一、第二のグラフ線134a’、144a’とメジャー線101~104の表示を画面100上から消去すると共に、第一、第二の表示指示列114、124のチェックボックス154、164にチェックを付与し、表示していなかった一つのファイル名称151、161の第一、第二のグラフ線134b、144bを新しく表示させたところである。
この図6では、第一、第二のグラフ線134b~134d、144b~144dは、制御信号中の最初の信号の立上りを検出し、その換算時刻よりも所定時間前の時刻を基準時刻としており、第一、第二のグラフ線134b~134d、144b~144dでは、基準時刻をXY座標又は時間軸上の原点に位置させて表示させている。
図3~図5でも表示されていた第一、第二のグラフ線134c、134d、144c、144dは、動作信号中の最初の動作開始時刻が最初の立上り時刻として検出されているのに対し、新しく表示した第二のグラフ線144bの測定信号には、最初の動作開始時刻よりも前の時刻にノイズ147が含まれており、ノイズ147の立上りが最初の立上り時刻として検出され、それよりも一定時間前の時刻が基準時刻にされている。
その結果、新しく表示した第一、第二のグラフ線134b、144bは、他の第一、第二のグラフ線134c、134d、144c、144dから離間している。他方、図3~図5でも表示されていた第二のグラフ線144c、144dは、最初の動作開始時刻を示す縦線分が縦一直線に並んでいる。
各第一のグラフ線134b~134dのピーク位置を一致させるために、先ず、新らしく表示した第二のグラフ線144bを上述のように選択し、移動させて、図7に示すように、各第二のグラフ線144b~144dを一直線上に配置する。第一のグラフ線134bは第二のグラフ線144bと一緒に移動する。図7の符号134b’、144b’は移動後の第一、第二のグラフ線を指している。
移動の時、移動量は、符号付き修正時間に換算されて、修正時間を換算時刻に加算して修正換算時刻が求められている。
ノイズ147の立上りの換算時刻と、最初の動作開始時刻の換算時刻との間の時間の距離だけ移動すると、移動した第二のグラフ線144b’の最初の動作開始時刻の修正換算時刻と、移動しなかった第二のグラフ線144cの最初の動作開始時刻の換算時刻は同じ時刻になる。
ノイズ147の立上りの換算時刻と、最初の動作開始時刻の換算時刻との間の時間の距離だけ移動すると、移動した第二のグラフ線144b’の最初の動作開始時刻の修正換算時刻と、移動しなかった第二のグラフ線144cの最初の動作開始時刻の換算時刻は同じ時刻になる。
そして、最初の動作開始時刻からピークの時刻までの時間が同じであれば、移動した第一のグラフ線134b’のピークのX軸上の位置と、移動しなかった第一のグラフ線134cのピークのX軸上の位置は同じになる。
換算時刻が表示される位置には、換算時刻に替えて修正換算時刻を表示させることが可能であり、図8では移動した第一、第二のグラフ線134b’、144b’とメジャー線102、104の交点の近くに、測定値、制御信号の値と、修正換算時刻とが表示されている。
換算時刻を見ながら第一、第二のグラフ線134b、144bを移動させたり、修正換算時刻を見ながらメジャー線102、104を移動させることができるので、第二のグラフ線144b’、144c、144dの位置を簡単に揃えることができる。その結果、第一のグラフ線134b’、134c、134dのピーク位置やグラフの形状を簡単に比較することが出来る。
このように、本発明では、表示された第一、第二のグラフ線134a~134d、144a~144dのうち、同一ファイル名称151、161の測定値と制御信号から得られた第一、第二のグラフ線は互いに関連づけられて、関連づけられた第一、第二のグラフ線は別々に移動できないようになっている。
従って、一方が移動されても、他方も同一方向同距離移動するので、測定値とタイミングチャート(第二のグラフ線)の相対的な関係は維持され、移動後の測定値が誤って解釈されることがないようになっている。従って、真空処理により得られるデータについて、正確な分析を行うことが出来る。
なお、上記実施例では、互いに関連づけられた第一、第二のグラフ線と交差できるメジャー線は別々には移動できないようになっており、一直線に配置されている。その状態で、第一、第二のグラフ線のうち、一方と交差できるメジャー線を移動させると、他方と交差できるメジャー線も同一方向に同距離移動するようになっている。
それとは異なり、本発明では、メジャー線は各々独立して移動できるようにしてもよい。
それとは異なり、本発明では、メジャー線は各々独立して移動できるようにしてもよい。
また、上記実施例では、互いに関連づけられた一組の第一、第二のグラフ線134a、144a又は134b、144bを移動対象にして移動させたが、互いに関連づけられた複数の組の第一又は第二のグラフ線を選択し、それらの組の第一、第二のグラフ線を移動対象とすることもできる。この場合、マウスやキーボードによって、一個の移動量を入力するだけで、移動対象にした全部の第一、第二のグラフ線をX軸に沿った同一方向に、X軸上で同距離移動させることができる。
なお、測定値特定欄110と制御信号特定欄120には彩色指示列112、122が設けられており、ファイル名称151、161に対応し、彩色指示列112、122内に表示された色彩152、162を変更することで第一、第二のグラフ線の色彩を変更することが出来る。
1……真空処理装置
11……真空槽
15……処理対象物
20……真空処理部
21……制御部
23……処理機器群
24……周辺機器群
31~34……処理機器
36~39……周辺機器
40……分析装置(コンピュータ)
41……シーケンサ
42……演算装置
43……記憶装置
44……表示装置
101~104……メジャー線
134a~134d……第一のグラフ線
144a~144d……第二のグラフ線
11……真空槽
15……処理対象物
20……真空処理部
21……制御部
23……処理機器群
24……周辺機器群
31~34……処理機器
36~39……周辺機器
40……分析装置(コンピュータ)
41……シーケンサ
42……演算装置
43……記憶装置
44……表示装置
101~104……メジャー線
134a~134d……第一のグラフ線
144a~144d……第二のグラフ線
Claims (5)
- 真空槽内に配置された処理対象物を真空処理する真空処理装置と、
前記真空処理装置から送信された複数の測定値を、前記測定値が発生した測定時刻と共に前記真空処理と対応付けて記憶する記憶装置と、
前記記憶装置の記憶内容を読んで演算する演算装置と、
前記演算装置の演算結果を表示する表示装置とを有し、
前記真空処理を行なう前記真空処理装置を動作させる動作信号と、動作を停止させる停止信号とが値として含まれる制御信号が、前記測定値と対応付けて前記記憶装置に記憶され、
前記動作信号が開始された時刻である動作開始時刻と、前記動作開始信号が停止した時刻である動作停止時刻とが前記記憶装置に記憶された分析装置内の、前記測定値を処理する表示プログラムであって、
前記測定時刻と、前記動作開始時刻と、前記動作停止時刻とを、前記基準時刻からの時刻である換算時刻と、動作開始換算時刻と、動作停止換算時刻とに変換し、
前記測定値の大きさを前記画面上の縦方向の距離に換算し、
前記換算時刻を、前記基準時刻の画面上の位置からの横方向の距離に換算して、前記測定値と前記測定時刻を有する測定点を前記画面上に表示することで第一のグラフ線を表示し、
前記測定信号の値と、前記動作開始換算時刻と、前記動作停止換算時刻とから、前記基準時刻の位置を基準として、前記画面上に第二のグラフ線を表示し、
同一の前記真空処理の前記測定値と前記制御信号とからそれぞれ得られた第一、第二のグラフ線を関連づけておき、
前記第一、第二のグラフ線のうち、所望の前記第一、第二のグラフ線を選択できるようにし、
関連づけられた第一又は第二のグラフ線のうち、一方が選択されると両方を移動対象にし、
横方向の移動量を入力できるようにし、
前記移動量を前記画面上の横方向の距離に換算して移動対象の前記第一、第二のグラフ線を前記画面上で横方向に移動させる表示プログラム。 - 前記移動対象には、互いに関連づけられた複数の組の前記第一、第二のグラフ線を含むことができる請求項1記載の表示プログラム。
- 前記画面上で移動でき、前記第一のグラフ線と交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第一のグラフ線と前記メジャー線との交差点の前記測定値を表示する請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の表示プログラム。 - 前記画面上で移動でき、前記第二のグラフ線と交差するメジャー線を前記画面上に表示し、
前記第二のグラフ線と前記メジャー線との交差点の前記制御信号の値を表示する請求項1記載の表示プログラム。 - 請求項1乃至請求項4のいずれか1項記載の表示プログラムが、前記記憶装置に記憶された前記分析装置。
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